KR100898639B1 - Low mass coriolis mass flowmeter having a low mass drive system - Google Patents

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로져 스코트 러빙
요셉 씨. 딜레
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Abstract

저 질량 구동 시스템을 갖는 코리올리 질량 유량계(300)는 흐름관 수단(102)을 진동시키기 위한 드라이브 코일(D)을 포함한다. 코리올리 질량 유량계는 흐름관 수단에 부착된 자석을 사용하지 않는다. 그 대신, 흐름관 수단은 흐름관 수단을 진동시키는 드라이버 코일에 의해 발생된 자기장에 반응하는 자성재료(103)로 코팅되거나, 자성재료와 일체로 형성된다. 흐름관 수단은 하나(102) 이상의 흐름관(1402C1,1402C2)들을 포함할 수 있다. 자성재료는 내부 자기장이 없는 철 재료일 수 있다. 대안적으로 자성재료는 내부 자기장을 갖는 강 또는 스테인리스강일 수 있다.A Coriolis mass flow meter 300 with a low mass drive system includes a drive coil D for vibrating the flow tube means 102. The Coriolis mass flowmeter does not use a magnet attached to the flow tube means. Instead, the flow tube means is coated with a magnetic material 103 that is responsive to the magnetic field generated by the driver coil that vibrates the flow tube means, or is formed integrally with the magnetic material. The flow tube means may comprise more than one (102) flow tubes 1402C1, 1402C2. The magnetic material may be an iron material having no internal magnetic field. Alternatively, the magnetic material may be steel or stainless steel with an internal magnetic field.

Description

저 질량 구동 시스템을 갖는 저 질량 코리올리 질량 유량계 {LOW MASS CORIOLIS MASS FLOWMETER HAVING A LOW MASS DRIVE SYSTEM}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a low mass cooriente mass flow meter having a low mass drive system,

본 발명은 코리올리 질량 유량계에 관한 것이며, 보다 상세하게는 저 질량 구동 시스템을 갖는 경량의 코리올리 질량 유량계에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 작은 직경의 흐름관을 갖는 경량의 코리올리 질량 유량계에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 부피가 작은 질량 유량을 측정하는데 적합한 경량의 코리올리 질량 유량계에 관한 것이다.The present invention relates to a Coriolis mass flow meter, and more particularly to a lightweight Coriolis mass flow meter having a low mass drive system. The present invention also relates to a lightweight Coriolis mass flow meter having a small diameter flow tube. The present invention also relates to a lightweight Coriolis mass flow meter suitable for measuring a low volume mass flow rate.

문제점problem

코리올리 질량 유량계는 물질 유동(material flow)을 측정하여 질량 유량, 밀도 등과 같은 물질 유동에 관한 정보를 발생시키도록 다양한 크기 및 유량에서 이용 가능하다. 일반적으로 코리올리 질량 유량계는 전자기 드라이버에 의해 횡방향으로 진동되는 하나 이상의 직선형 또는 불규칙한 형태의 흐름관을 갖는다. 흐름관을 지나는 물질 유동은 흐름관의 코리올리 편향을 야기하며, 코리올리 편향은 하나 이상의 픽-오프(pick-offs)에 의해 탐지된다. 픽-오프는 출력 신호를 발생시켜, 물질 유동 정보를 발생시키기 위한 관련 미터 일렉트로닉스(meter electronics)로 출력 신호를 보낸다. 코리올리 편향 및 픽-오프에 의해 발생된 합성 출력신호(resultant output signals)는 흐름관을 통하여 흐르는 유동의 질량에 비례한다. 코리올리 편향 및 픽-오프에 의해 발생된 합성 출력신호는 흐름관에 채워진 물질이 관련 드라이버 및 픽-오프의 질량에 비해 비교적 큰 질량을 가질 때 커진다. Coriolis mass flow meters are available in a variety of sizes and flow rates to measure material flow and generate information about material flow, such as mass flow, density, and so on. Generally, a Coriolis mass flow meter has one or more straight or irregular shaped flow tubes that are vibrated laterally by an electromagnetic driver. The material flow through the flow tube causes Coriolis deflection of the flow tube, and the Coriolis deflection is detected by one or more pick-offs. The pick-off generates an output signal and sends the output signal to an associated meter electronics for generating material flow information. The resultant output signals generated by Coriolis deflection and pick-off are proportional to the mass of the flow through the flow tube. The composite output signal generated by the Coriolis deflection and pick-off becomes large when the material filled in the flow tube has a relatively large mass relative to the mass of the associated driver and pick-off.

통상적인 이중 곡선관 코리올리 유량계(dual curved-tube Coriolis flowmeters)는 약 100 내지 700,000kg/h 범위의 유속(flow rates)을 가지며, 약 0.3 내지 11cm 범위의 내경을 갖는 흐름관을 갖는다. 통상적으로, 물질이 충진된 흐름관의 질량 대 드라이버 및 픽-오프의 질량의 바람직한 비율은 10 대 1 또는 그보다 크다. 이 비율은 관련 드라이버 및 픽-오프의 비교적 작은 질량에 비해 물질이 충진된 흐름관의 질량이 비교적 크기 때문에 종래의 코리올리 유량계에서 얻을 수 있다.
진동하는 흐름관 구조물에 부착되는 관련 장착 장치 및 종래의 자석을 이용하여 경량의 코리올리 질량 유량계에서 허용 가능한 질량비를 얻는 것이 문제이다. 일반적으로 물질이 충진된 금속 흐름관을 진동시키는데 이용되는 드라이버는 자석 및 코일의 결합구조인데, 일반적으로 자석은 흐름관에 부착되고 코일은 다른 흐름관 또는 지지 구조물에 부착된다. 자석의 질량은 경량의 유량계 제공에 문제가 되는데, 이는 야금학적 이유(metallurgical consideration)로 자석의 유효한 최소 사이즈(size)가 약 5mg로 제한되기 때문이다. 흐름관에 자석을 부착하는데 쓰이는 관련 하드웨어와 통합된 질량은 약 7mg이다. 바람직한 질량비 10 대 1을 얻기 위해서는 물질이 충진된 흐름관의 질량이 적어도 70mg이 되어야 한다. 문제는 부피가 작은 질량 유량을 측정하기 위해 질량이 약 70mg 이하인 물질적으로 충진되어 진동하는 흐름관 구조를 갖는 코리올리 질량 유량계를 제공하는 것이다.
Conventional dual curved tube Coriolis flowmeters have flow rates ranging from about 100 to 700,000 kg / h and have flow tubes with an inner diameter in the range of about 0.3 to 11 cm. Typically, the preferred ratio of the mass of the flow tube filled with material to the mass of the driver and pick-off is 10: 1 or greater. This ratio can be obtained in a conventional Coriolis flowmeter because the mass of the flow tube filled with material is relatively large compared to the relatively small mass of the associated driver and pick-off.
It is a problem to obtain an acceptable mass ratio in a lightweight Coriolis mass flow meter using an associated mounting device attached to a vibrating flow tube structure and conventional magnets. In general, the driver used to vibrate the material-filled metal flow tube is a magnet and coil combination structure, typically the magnet is attached to the flow tube and the coil is attached to another flow tube or support structure. The mass of the magnet is problematic in providing a lightweight flowmeter because of the metallurgical consideration that the effective minimum size of the magnet is limited to about 5 mg. The combined mass of the associated hardware used to attach the magnet to the flow tube is about 7 mg. To obtain a desired mass ratio of 10 to 1, the mass of the flow tube filled with the material should be at least 70 mg. The problem is to provide a Coriolis mass flow meter having a material-filled, oscillating flow tube structure having a mass of about 70 mg or less to measure a low mass mass flow rate.

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해결책solution

전술한 문제점 및 다른 문제점들은, 코리올리 질량 유량계가 소형 경량이며, 질량 유동 및 소량의 물질 유동을 위한 밀도 정보의 측정에 이론적으로 적합하도록 제공됨에 따라 본 발명에 의해 해결된다. 본 발명의 유량계는 소형이며, 약 10kg/h 또는 그 이하의 유량 및 약 2mm 또는 그 이하의 내경을 갖는 흐름관을 갖는다. 예를 들면, 흐름관 자체는 비례하는 벽 두께를 갖는 인간의 머리카락만큼 작을 수 있다.The above and other problems are solved by the present invention as the Coriolis mass flowmeter is small and lightweight and is provided theoretically suitable for measurement of density information for mass flow and small amount of material flow. The flow meter of the present invention is compact and has a flow tube having a flow rate of about 10 kg / h or less and an inner diameter of about 2 mm or less. For example, the flow tube itself may be as small as a human hair with a proportional wall thickness.

본 발명에서, 흐름관은 어떠한 적합한 재료로도 형성될 수 있으며 자성재료로 코팅된다. 자성재료는 분무 또는 증착에 의해 흐름관 위에 형성될 수 있다. 자성재료는 대안적으로 흐름관과 일체 성형으로 제조될 수 있거나, 흐름관이 자성재료 자체로 제조될 수 있다. 본 발명은 별도의 자석을 제거할 수 있게 함으로써 흐름관에 대한 자석의 부착 및 정렬과 관련된 제조상의 문제뿐만 아니라 과도한 질량으로 인한 물리적 문제를 방지한다.In the present invention, the flow tube may be formed of any suitable material and is coated with a magnetic material. The magnetic material may be formed on the flow tube by spraying or vapor deposition. The magnetic material may alternatively be made in one piece with the flow tube, or the flow tube may be made of the magnetic material itself. The present invention allows for the removal of separate magnets to prevent manufacturing problems associated with the attachment and alignment of magnets to the flow tube as well as physical problems due to excessive mass.

본 발명으로 드라이버와 센서 자석(sensor magnets)이 모두 제거될 수 있다. 일반적으로 코리올리 센서는 흐름관에서 코리올리 편향 정도에 대한 정보를 제공하는 위상감지(phase-sensing) "픽-오프" 조립체로서 자석과 코일을 사용한다. 본 발명에 따르면, 픽-오프 조립체용 자석은 드라이버용 자석과 동일한 방식으로 구성된다. 그러므로 드라이버 또는 픽-오프 자석 또는 이들 모두는 본 발명에 개시된 방식으로 구성될 수 있다.Both the driver and sensor magnets can be removed with the present invention. Generally, a Coriolis sensor uses a magnet and a coil as a phase-sensing "pick-off" assembly that provides information about the Coriolis deflection in the flow tube. According to the present invention, the magnet for the pick-off assembly is constructed in the same manner as the magnet for the driver. Therefore, the driver or pick-off magnets, or both, can be configured in the manner disclosed in the present invention.

매우 가벼운 흐름관의 대안적 구현은 설명한 바와 같은 구조의 드라이버와, 광 계측기기(optical measurements)에 의해 발생된 픽-오프 신호를 갖는다. 적합한 픽-오프는 흐름관의 맞은편에 배치된 광 이미터(light emitter)와 집광기(light collector)를 갖는 광 장치(light device)이다. 흐름관의 굴곡은 전송된 광선을 조절하며, 광선은 수신되어, 코리올리 반응을 포함하는 흐름관의 진동을 표시하는 출력 신호로 변환된다. An alternative implementation of a very light flow tube has a driver of the structure as described and a pick-off signal generated by optical measurements. A suitable pick-off is a light device having a light emitter and a light collector disposed across the flow tube. The curvature of the flow tube controls the transmitted light, which is received and converted into an output signal indicative of the vibrations of the flow tube including the Coriolis reaction.

본 발명의 코리올리 질량 유량계의 중요한 이점은 흐름관에 자성 도금(magnetic plating) 또는 코팅을 하는 것이다. 이러한 도금은, 도금 욕조(plating bath), 증착(vapor deposition), 플라즈마 증착(plasma deposition) 또는 다른 도금 시스템을 통해 도포될 수 있다. 이는 흐름관에 매우 얇은 박층을 증착하거나 흐름관에 박층을 일체로 형성할 수 있는 점에서 유리하다. 이로 인해 매우 적은 양의 질량이 명시된 관의 길이에 걸쳐 분포되어, 드라이브 코일과 함께 적절한 진동으로 흐름관을 구동시키는데 이용된다. 도금된 질량이 작을 뿐 아니라 분포되어 있으면 발생된 출력 정보에 밀도 변화의 효과를 감소시킬 수 있다. 또한, 낮은 도금 질량은 개선된 밀도 정확도를 허용하는 허용 주파수(acceptable frequency)에서 코리올리 질량 유량계가 공진하게 한다.An important advantage of the Coriolis mass flowmeter of the present invention is the magnetic plating or coating of the flow tube. Such plating may be applied through a plating bath, vapor deposition, plasma deposition or other plating system. This is advantageous in that a very thin layer can be deposited on the flow tube or a thin layer can be integrally formed on the flow tube. This causes a very small amount of mass to be distributed over the length of the specified tube and is used to drive the flow tube with proper vibration with the drive coil. If the plated mass is small as well as distributed, the effect of the density change on the generated output information can be reduced. Also, a low plating mass causes the Coriolis mass flow meter to resonate at an acceptable frequency that allows for improved density accuracy.

본 발명의 가능한 일 실시예에 따르면, 흐름관에는 자석 코팅(magnet coating)이 이용되어 내부 N/S 자기장을 갖는 자석과 똑같이 작용한다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 흐름관에 연성 자성재료("철성(ferrous)" 또는 "투과성")를 증착하는데 도금 욕조가 사용된다. 철 재료는 드라이버 코일에 의해 끌어 당겨진다. 단일 드라이버 코일을 갖는 이러한 재료를 이용하는 구동 시스템은 종래의 코리올리 질량 유량계의 표준 "푸쉬-풀 시스템"이 아닌 "풀-온리" 타입이다. 그러나 구동 파형의 각 절반에 의해 구동되는 마주하는 드라이브 코일은 흐름관을 구동 주파수에서 반대 방향으로 번갈아 끌어당길 수 있을 것이다. 다른 실시예에 따르면, 흐름관 자체는 내부 N/S 자기장을 갖는 자성재료로 형성될 수 있다. According to one possible embodiment of the present invention, a magnet coating is used in the flow tube to act like a magnet with an internal N / S magnetic field. According to another embodiment of the present invention, a plating bath is used to deposit a soft magnetic material ("ferrous" or "permeable") in the flow tube. The iron material is attracted by the driver coil. The drive system using this material with a single driver coil is a "full-on" type rather than the standard "push-pull system" of conventional Coriolis mass flow meters. However, the opposing drive coils driven by each half of the drive waveform will be able to alternately pull the flow tubes in the opposite direction at the drive frequency. According to another embodiment, the flow tube itself may be formed of a magnetic material having an internal N / S magnetic field.

자성재료의 도금은 전체 흐름관에 연속적으로 제조되거나, 최종 도금 패턴을 형성하는데 사용될 선택적 식각(etching)으로 축방향 부분에만 제조될 수 있다. 철 재료는 또한 합성 흐름관(composite flow tube)으로 제조될 수도 있는데, 합성 흐름관의 철 재료는 흐름관의 외부에 함께 형성되어 선택적으로 식각된다.Plating of the magnetic material may be manufactured continuously on the entire flow tube, or may be made only in the axial portion by selective etching to be used to form the final plating pattern. The iron material may also be fabricated from a composite flow tube, wherein the iron material of the synthesis flow tube is co-extruded outside the flow tube and selectively etched.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 흐름관은 직선형이고 흐름관의 축방향 중심부에 증착되는 자성재료를 갖는다. 다른 실시예는 좌측 및 우측 레그, 및 좌측 및 우측 레그의 상부와 연결되는 중앙부를 갖는 U자형 흐름관이다. U자형 흐름관의 중앙부는 중앙부에 증착된 자성재료 층을 갖는다.According to one embodiment of the present invention, the flow tube has a magnetic material that is linear and is deposited in the axial center portion of the flow tube. Another embodiment is a U-shaped flow tube having left and right legs, and a central portion connected to the upper portions of the left and right legs. The central portion of the U-shaped flow tube has a layer of magnetic material deposited at the center.

직선형 관 실시예 및 U자형 흐름관 실시예는 모두 흐름관이 자성재료의 증착층과 가까운 자석에 의해 진동될 때, 흐름관의 코리올리 반응을 탐지하기 위한 광학 픽-오프를 활용하는 유량계를 포함한다. 다른 실시예에 따르면, 자성 층은 철 재료로 형성되고 단일 드라이브 코일에 의해 풀-온리 모드로 진동된다. 다른 실시예는 연자성 철재료(soft, magnetic ferrous material) 층을 갖는 흐름관이며, 흐름관은 흐름관의 맞은편에 배치된 한 쌍의 코일을 이용하여 푸쉬-풀 모드로 진동된다. 다른 실시예는 흐름관의 축방향 중심부에만 배치된 자성재료를 갖는다. 다른 실시예는 전체 축방향 길이에 자성재료 증착 층을 갖는 흐름관을 포함한다. 다른 실시예는 전체가 자성재료로 형성된 흐름관을 갖는다. 다른 실시예는 흐름관의 전체 축방향 길이에 도포된 자성재료를 갖는다.The straight tube embodiment and the U-shaped flow tube embodiment both include a flow meter that utilizes an optical pick-off to detect the Coriolis reaction of the flow tube when the flow tube is vibrated by a magnet close to the deposition layer of magnetic material . According to another embodiment, the magnetic layer is formed of a ferrous material and is oscillated in a full-on mode by a single drive coil. Another embodiment is a flow tube having a layer of soft, magnetic ferrous material, wherein the flow tube is vibrated in a push-pull mode using a pair of coils disposed across the flow tube. Another embodiment has a magnetic material disposed only in the axial center of the flow tube. Another embodiment includes a flow tube having a magnetic material deposition layer in its entire axial length. Another embodiment has a flow tube entirely formed of a magnetic material. Another embodiment has a magnetic material applied to the entire axial length of the flow tube.

다른 실시예에 따르면, 유량계는 상부 중앙에 자성재료가 도포되는 한 쌍의 U자형 흐름관, 흐름관의 각 레그 상의 광학 검출기 및 흐름관들 사이에 배치된 구동 자석을 갖는다. 다른 실시예에서, 코리올리 질량 유량계는 광학 검출기 및 흐름관들 중간에 배치된 드라이버 코일과 함께, 자성재료가 증착된 한 쌍의 직선형 흐름관을 갖는다. 다른 실시예에서, 한 쌍의 직선형 흐름관들은 서로 평행하게 방향이 정해지며 흐름관의 외부에 배치된 자석에 의해 진동된다. 다른 실시예에서, 코리올리 질량 유량계는, 자성이며 구동 자석을 갖는 자성재료로 형성된 평행한 흐름관들 및 이 흐름관들 사이에 배치된 한 쌍의 픽-오프 자석을 갖는다.According to another embodiment, the flow meter has a pair of U-shaped flow tubes to which a magnetic material is applied at the top center, an optical detector on each leg of the flow tube, and a drive magnet disposed between the flow tubes. In another embodiment, the Coriolis mass flow meter has a pair of linear flow tubes with a magnetic material deposited, along with an optical detector and a driver coil disposed in the middle of the flow tubes. In another embodiment, the pair of linear flow tubes are oriented parallel to each other and are vibrated by a magnet disposed outside the flow tube. In another embodiment, a Coriolis mass flow meter has parallel flow tubes formed of a magnetic material having a magnetic and drive magnet and a pair of pick-off magnets disposed between the flow tubes.

따라서 본 발명의 코리올리 질량 유량계는 금속으로 형성된 현행의 코리올리 질량 유량계와 비교하여 크기순으로 더 작고 질량이 더 작은 코리올리 질량 유량계를 제공함으로써 기술에 있어서의 발전을 이룰 수 있음을 알 수 있다. 본 발명은 소형 코리올리 질량 유량계에 관한 것이지만, 전술한 해결책에 의해 설명된 이점들은 대형 센서에도 동일하게 적용 가능하다.It can thus be seen that the Coriolis mass flowmeter of the present invention can be developed in technology by providing a Coriolis mass flowmeter that is smaller in size and smaller in mass than the current Coriolis mass flowmeter formed of metal. While the present invention is directed to a small Coriolis mass flow meter, the benefits described by the above described solutions are equally applicable to large sensors.

본 발명의 일 양태는, According to an aspect of the present invention,

물질 유동을 수용하며, 상기 물질 유동과 함께 진동함으로써 코리올리 편향을 발생시키는 흐름관 수단,Flow tube means for receiving a material flow and generating Coriolis deflection by oscillating with said material flow,

드라이버 코일,Driver coil,

상기 드라이버 코일에 구동 신호를 인가하여 물질 유동과 함께 상기 흐름관 수단을 진동시키는 미터 일렉트로닉스,A meter electronics for applying a drive signal to the driver coil to vibrate the flow tube means with a material flow,

상기 흐름관 수단의 상기 코리올리 편향을 표시하는 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 흐름관 수단에 연결되는 픽-오프 수단, 및Off means coupled to said flow tube means for generating a pick-off signal indicative of said Coriolis deflection of said flow tube means, and

상기 물질 유동을 표시하는 출력 신호의 발생을 위해 상기 미터 일렉트로닉스로 상기 픽-오프 신호를 인가하기 위한 수단을 포함하는, 코리올리 유량계에 있어서,And means for applying the pick-off signal to the meter electronics for generation of an output signal indicative of the material flow, the Coriolis flowmeter comprising:

상기 흐름관 수단이 자성재료로 이루어져 있으며,Said flow tube means being made of a magnetic material,

상기 드라이버 코일은 상기 구동 신호의 인가에 응답하여 상기 물질이 충진된 상기 흐름관 수단을 진동시키도록 상기 자성재료와 상호작용하는 자기장을 발생시키는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계이다.Wherein the driver coil generates a magnetic field that interacts with the magnetic material to vibrate the flow tube means filled with the material in response to application of the drive signal.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 외부 표면의 적어도 일 부분에 포함되어 있는 철 재료 층을 포함하는 것이 바람직하다. The magnetic material preferably comprises a layer of iron material contained in at least a portion of the outer surface of the flowtube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 존재하는 것이 바람직하다.Preferably, the magnetic material is shorter than the entire axial length of the flow tube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 존재하는 것이 바람직하다.The magnetic material is preferably present in the entire axial length of the flow tube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성된 철 재료를 포함하며,Said magnetic material comprising an iron material integrally formed in at least an outer radial portion of said flow tube,

상기 철 재료는 내부 자기장이 없는 것이 바람직하다.The iron material preferably has no internal magnetic field.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 도포되는 것이 바람직하다.The magnetic material is preferably applied in a shorter length than the entire axial length of the flow tube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 도포되는 것이 바람직하다.The magnetic material is preferably applied to the entire axial length of the flow tube means.

상기 자성재료는 자가(self-contained) 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하는 것이 바람직하다.The magnetic material preferably comprises a ferromagnetic material having a self-contained magnetic field.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 존재하는 외부층을 포함하는 것이 바람직하다.The magnetic material preferably comprises an outer layer that is shorter than the entire axial length of the flow tube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 존재하는 외부층을 포함하는 것이 바람직하다.The magnetic material preferably comprises an outer layer present in the entire axial length of the flow tube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성되는 것이 바람직하다.The magnetic material is preferably integrally formed at least in the outer radial portion of the flow tube means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 일체로 형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the magnetic material is integrally formed to be shorter than the entire axial length of the flow pipe means.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 일체로 형성되는 것이 바람직하다.The magnetic material is preferably integrally formed in the entire axial length of the flow tube means.

상기 흐름관 수단은 직선형인 것이 바람직하다.The flow tube means is preferably straight.

상기 흐름관 수단은 불규칙한 형상인 것이 바람직하다.Preferably, the flow tube means has an irregular shape.

상기 흐름관 수단은 U자형인 것이 바람직하다.The flow tube means is preferably U-shaped.

상기 픽-오프 수단은 수신된 빛을 전기신호로 변환하는 광 이미터와 광 수신기를 각각 포함하는 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the pick-off means includes first and second optical pick-offs, each of which includes a light emitter and an optical receiver that convert received light into an electrical signal.

상기 드라이버 코일은 풀-온리 모드로 상기 흐름관 수단을 진동시키고, 전류가 인가될 때, 상기 풀-온리 모드에서 상기 흐름관 수단의 재료는 상기 드라이버 코일에 자기적으로 부착되고, 전류가 중단될 때 상기 흐름관 수단 고유의 탄성력이 상기 흐름관 수단을 정지 상태로 되돌리는 것이 바람직하다.The driver coil vibrates the flow tube means in a full-ONE mode, and when current is applied, in the full-ONE mode the material of the flow tube means is magnetically attached to the driver coil, It is preferable that the elastic force inherent to the flow tube means restores the flow tube means to a rest state.

상기 드라이버 코일은 제 1 드라이버 코일을 형성하고,The driver coil forming a first driver coil,

상기 코리올리 유량계는 제 2 드라이버 코일을 더 포함하며,Wherein the Coriolis flowmeter further comprises a second driver coil,

상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일은 상기 흐름관 수단의 맞은편에 배치되고,The first driver coil and the second driver coil being disposed opposite the flow tube means,

상기 미터 일렉트로닉스는 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일에 반대 정현파 전류를 인가하여 주기적으로 변화하는 자기장을 발생시키며, 상기 주기적으로 변화하는 자기장은 상기 흐름관 수단을 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일 사이에서 푸쉬-풀 모드로 주기적으로 진동시키는 것이 바람직하다.Wherein the meter electronics generates a periodically varying magnetic field by applying an opposing sinusoidal current to the first driver coil and the second driver coil, wherein the periodically varying magnetic field causes the flow tube means to contact the first driver coil It is desirable to periodically oscillate between the second driver coils in a push-pull mode.

상기 물질 유동의 질량 유량은 10,000g/h보다 작은 것이 바람직하다.The mass flow rate of the material flow is preferably less than 10,000 g / h.

상기 흐름관 수단은 2mm보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직하다.The flow tube means preferably has an inner diameter of less than 2 mm.

상기 흐름관 수단은 2mm보다 작은 내경을 갖고, 상기 물질 유동의 상기 질량 유량은 10,000g/h보다 작은 것이 바람직하다.The flow tube means has an inner diameter of less than 2 mm, and the mass flow rate of the material flow is preferably less than 10,000 g / h.

상기 물질 유동의 질량 유량은 10g/h보다 작은 것이 바람직하다.The mass flow rate of the material flow is preferably less than 10 g / h.

상기 흐름관 수단은 0.2mm보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직하다.The flow tube means preferably has an inner diameter of less than 0.2 mm.

상기 흐름관 수단은 0.2mm보다 작은 내경을 갖고, 상기 물질 유동의 질량 유량은 10g/h보다 작은 것이 바람직하다.The flow tube means has an inner diameter of less than 0.2 mm, and the mass flow rate of the material flow is preferably less than 10 g / h.

상기 흐름관 수단은 0.9mm보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직하다.The flow tube means preferably has an inner diameter of less than 0.9 mm.

상기 흐름관 수단은 0.9mm보다 작은 내경을 갖고, 상기 질량 유량은 10,000g/h보다 작은 것이 바람직하다.The flow tube means has an inner diameter of less than 0.9 mm, and the mass flow rate is preferably less than 10,000 g / h.

상기 흐름관 수단은 단일 흐름관을 포함하는 것이 바람직하다.The flow tube means preferably comprises a single flow tube.

상기 흐름관 수단은 제 1 흐름관 및 상기 제 1 흐름관과 평행한 제 2 흐름관을 포함하고,The flow tube means comprising a first flow tube and a second flow tube parallel to the first flow tube,

상기 드라이버 코일은 상기 제 1 흐름관 및 상기 제 2 흐름관의 중간에 배치되어 반대 위상에서 상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관을 진동시키는 것이 바람직하다.The driver coil is preferably disposed between the first flow tube and the second flow tube to vibrate the first flow tube and the second flow tube in opposite phases.

상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관은 각각 상부 중앙 소자에 의해 연결되어 있는 좌측 레그와 우측 레그를 갖는 U자형상이고,Wherein the first flow pipe and the second flow pipe are U-shaped with a left leg and a right leg connected by an upper central element, respectively,

상기 픽-오프 수단은 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것이 바람직하다. The pick-off means preferably includes first and second optical pick-offs adjacent the flow tube for generating the pick-off signal indicative of the Coriolis bias of the flow tube.

상기 드라이버 코일은 상기 상부 중앙 소자의 축방향 중심부에 가까이 배치되는 것이 바람직하다.The driver coil is preferably disposed close to the axial central portion of the upper central element.

상기 자성재료는 내부 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하고,Wherein the magnetic material comprises a ferromagnetic material having an internal magnetic field,

상기 자성재료의 자기장이 상기 픽-오프에 인가되도록 상기 흐름관의 축방향 길이를 따라 상기 자성재료가 연장되며,The magnetic material extends along the axial length of the flow tube such that a magnetic field of the magnetic material is applied to the pick-off,

상기 픽-오프는 상기 자성재료의 자기장 및 상기 U자형 흐름관의 상기 코리올리 편향에 반응하여 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키는 것이 바람직하다.The pick-off preferably generates the pick-off signal indicative of the Coriolis deflection in response to the magnetic field of the magnetic material and the Coriolis deflection of the U-shaped flow tube.

상기 픽-오프 수단은 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 출력 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것이 바람직하다.The pick-off means preferably includes first and second optical pick-offs adjacent the flow tube for generating the output signal indicative of the Coriolis bias of the flow tube.

상기 흐름관은 스테인리스 강으로 형성되는 것이 바람직하다.The flow pipe is preferably formed of stainless steel.

상기 흐름관 수단은 내부의 N/S 자기장을 갖는 강자성 재료로 형성되고,Said flow tube means being formed of a ferromagnetic material having an internal N / S magnetic field,

상기 픽-오프 수단은 자성 변환기이며,Wherein the pick-off means is a magnetic transducer,

상기 자성재료는 상기 드라이버 코일 및 상기 자성 변환기와 인접한 상기 흐름관 수단에 축방향으로 연장되며,Said magnetic material extending axially to said drive coil and said flow tube means adjacent said magnetic transducer,

상기 흐름관 수단에 채워진 물질의 상기 진동은 상기 자성 변환기에서 상기 코리올리 편향을 표시하는 자기장을 야기하는 것이 바람직하다.The vibration of the material filled in the flow tube means preferably causes a magnetic field indicative of the Coriolis deflection in the magnetic transducer.

흐름관 수단은 이중 직선형 흐름관을 포함하고,The flow tube means comprises a double linear flow tube,

상기 드라이버 코일은 상기 흐름관들 중간에 배치되며 반대 위상에서 상기 이중 흐름관을 진동시키는데 효과적인 것이 바람직하다.The driver coils are preferably disposed midway between the flow tubes and are effective to vibrate the double flow tubes in opposite phase.

상기 흐름관은 이중의 평행한 흐름관을 포함하고,Said flow tube comprising a double parallel flow tube,

상기 코리올리 유량계는 상기 흐름관의 외부 측면에 배치되고 반대 위상에서 상기 이중 흐름관들을 진동시키는데 효과적인 한 쌍의 드라이버 코일을 더 포함하는 것이 바람직하다.The Coriolis flowmeter preferably further comprises a pair of driver coils disposed on the outer side of the flow tube and effective to vibrate the double flow tubes in opposite phase.

상기 픽-오프는 광학 픽-오프인 것이 바람직하다.The pick-off is preferably an optical pick-off.

상기 픽-오프는 자성 변환기인 것이 바람직하다.The pick-off is preferably a magnetic transducer.

상기 드라이버 코일은 푸쉬-풀 모드로 반대위상에서 상기 흐름관 수단을 진동시키는데 효과적이고,The driver coil is effective to vibrate the flow tube means in opposite phase to a push-pull mode,

상기 픽-오프 수단은 상기 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 진동하는 흐름관 수단의 자기장과 상호작용하는 자성 변환기를 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the pick-off means comprises a magnetic transducer that interacts with the magnetic field of the oscillating flow tube means to generate the pick-off signal.

상기 흐름관 수단은 한 쌍의 상기 직선형 흐름관을 포함하고,Said flow tube means comprising a pair of said linear flow tubes,

상기 드라이버 코일은 상기 흐름관의 축방향 중앙부와 인접한 상기 흐름관들 중간에 배치되어 반대 위상에서 횡방향으로 상기 흐름관을 진동시키며,The driver coil being disposed in the middle of the flow tubes adjacent the axial center of the flow tube to vibrate the flow tube in a transverse direction in opposite phase,

상기 변환기는 상기 드라이버 코일 맞은편의 상기 흐름관 중간에 배치되는 것이 바람직하다.The transducer is preferably disposed in the middle of the flow tube opposite to the driver coil.

상기 흐름관 수단은 한 쌍의 U자형 흐름관을 포함하고,Said flow tube means comprising a pair of U-shaped flow tubes,

상기 드라이버 코일은 상기 흐름관의 상부 축방향 중앙부에 가까운 상기 흐름관들 사이에 배치되며,The driver coil is disposed between the flow tubes close to the upper axial center of the flow tube,

상기 변환기는 상기 드라이버 코일 맞은편의 상기 흐름관들 사이에 배치되는 것이 바람직하다.The transducer is preferably disposed between the flow tubes opposite the driver coils.

본 발명의 전술한 이점 및 다른 특징들은 도면과 함께 하기의 상세한 설명을 참조로 보다 잘 이해된다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The foregoing and other features of the present invention are better understood with reference to the following detailed description when taken in conjunction with the drawings, wherein: FIG.

도 1은 직선형 흐름관의 가능한 예시적인 일 실시예를 상세히 나타낸 도면,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a detailed illustration of a possible exemplary embodiment of a straight flow tube,

도 2는 U자형 흐름관의 예시를 상세히 나타낸 도면,2 is a detailed view of an example of a U-shaped flow pipe,

도 3 및 도 4는 도 1의 직선형 흐름관을 포함하는 코리올리 질량 유량계를 상세히 나타낸 도면,Figures 3 and 4 show a detailed view of a Coriolis mass flow meter including the straight flow tube of Figure 1,

도 5 및 도 6은 도 2의 U자형 흐름관을 포함하는 코리올리 질량 유량계를 상세히 나타낸 도면,FIGS. 5 and 6 are views showing a Coriolis mass flow meter including the U-shaped flow pipe of FIG. 2 in detail;

도 7은 도 3 내지 도 6의 픽-오프를 포함하는 발광다이오드 및 광 수신기를 상세히 나타낸 도면,FIG. 7 is a detailed view of a light-emitting diode and an optical receiver including the pick-offs of FIGS. 3 to 6,

도 8은 단일 "풀-온리" 드라이버 코일과 연결된 도 1의 흐름관을 나타낸 도면,Figure 8 shows the flow tube of Figure 1 connected to a single "full-on" driver coil,

도 9는 "푸시-풀" 타입의 드라이버와 연결된 도 1의 흐름관을 나타낸 도면,Figure 9 shows the flow tube of Figure 1 connected to a "push-pull" type driver,

도 10 내지 도 13은 직선형 흐름관의 다른 실시예를 나타낸 도면,Figures 10-13 illustrate another embodiment of a straight flow tube,

도 14는 본 발명의 이중 U자형 흐름관의 실시예를 나타낸 도면, 및Figure 14 shows an embodiment of a double U-shaped flow tube of the present invention, and

도 15 내지 도 17은 본 발명의 이중 직선형 흐름관을 나타낸 도면이다.15 to 17 are views showing a double linear flow tube of the present invention.

도 1의 상세한 설명Detailed description of Figure 1

도 1은 강자성 재료(hard magnetic material) 또는 연철 자성재료(soft ferrous magnetic material)를 포함할 수 있는 자성재료로 둘러싸인 축부를 갖는 중공관(102)을 포함하는 직선형 흐름관(101)을 상세히 나타낸다. 중공관(102)은 좌측 단부(104L)와 우측 단부(104R)를 갖는다. 자성 소자(103)는 직선형 관(102)의 표면에 사용된 도금용 금속(plating)일 수 있다. 도금용 금속은 약 0.0013cm의 두께를 갖는 박층(thin layer)이다. 도금된 소자(103)는 도 11에 도시된 바와 같이 흐름관(102)의 전체 축방향 길이에 도포되거나, 도 1 및 도 10에 도시된 바와 같이 흐름관(102)의 축부 한가운데에 집중될 수도 있다. 가능한 일 실시예에서, 소자(103)는 자석과 똑같이 반응하는 자성 피복재(magnetic coating)일 수 있다. 자성 피복재는 플라즈마 증착 시스템으로 증착될 수 있다. 자성 피복재의 사용으로 소자(103)는 N 또는 S 자기장을 갖는 자석과 똑같이 반응할 수 있다. 또한, 자성 피복재는 "푸쉬-풀(push-pull)" 작용 중에 단일 드라이버 코일(single driver coil)에 의해 흐름관(101)이 진동될 수 있게 한다.Figure 1 shows in detail a straight flow tube 101 comprising a hollow tube 102 having a shaft surrounded by a magnetic material, which may comprise a hard magnetic material or a soft ferrous magnetic material. The hollow tube 102 has a left end 104L and a right end 104R. The magnetic element 103 may be a plating metal used on the surface of the straight tube 102. The metal for plating is a thin layer having a thickness of about 0.0013 cm. The plated element 103 may be applied to the entire axial length of the flow tube 102 as shown in Figure 11 or may be concentrated in the middle of the shaft portion of the flow tube 102 as shown in Figures 1 and 10 have. In one possible embodiment, the element 103 may be a magnetic coating that reacts exactly like a magnet. The magnetic cladding material may be deposited with a plasma deposition system. With the use of a magnetic covering material, the element 103 can react exactly like a magnet with an N or S magnetic field. The magnetic wrapping material also allows the flow tube 101 to vibrate by a single driver coil during a "push-pull" operation.

가능한 제 2 실시예에 따르면, 소자(103)는 고유의 N/S 자기장을 갖지 않지만 소자(103)를 코일 쪽으로 당기기만 할 수 있는 단일 코일에 대하여 작동될 수 있는 연철 자성재료를 포함할 수 있다. 이러한 유형의 구동 시스템은 드라이버 코일이 철 재료(103)를 끌어당기기만 할 수 있기 때문에 "풀-온리(pull-only)"라 한다. 철 재료(103)는 코일을 통과하는 전류의 방향에 관계없이 여기된 코일쪽으로 끌린다. 흐름관(101)은 연철(103)을 코일 쪽으로 당기도록, 관련된 드라이버 코일에 전압을 인가함으로써 사용중일 때 진동된다. 흐름관(101)의 고유 탄성(inherent elasticity)은, 드라이버 코일에 통하는 전류가 끊길 때 흐름관이 다시 정지 상태로 굽혀지는데 이용된다. 이러한 유형의 흐름관 및 관련 코일은 도 8에 도시된다.According to a possible second embodiment, the element 103 may comprise a wrought iron magnetic material that does not have a unique N / S magnetic field but can be operated on a single coil that can only pull the element 103 towards the coil . This type of drive system is referred to as "pull-only" since the driver coil can only pull the ferrous material 103. The iron material 103 is attracted toward the excited coil regardless of the direction of the current passing through the coil. The flow tube 101 is vibrated during use by applying a voltage to the associated driver coil so as to pull the soft iron 103 toward the coil. The inherent elasticity of the flow tube 101 is used to cause the flow tube to bend again in a stopped state when the current through the driver coil is cut off. This type of flow tube and associated coil is shown in Fig.

대안적으로, 흐름관(101)은 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 코일(D1,D2)에 교대로 전압이 인가될 때 흐름관(102)과 소자(103)를 진동시키는 두 개의 드라이버 코일로 작동될 수 있다.Alternatively, the flow tube 101 may include two driver coils (not shown) that vibrate the flow tube 102 and the element 103 when alternating voltages are applied to the coils D1 and D2, Lt; / RTI >

도 2의 상세한 설명2,

도 2는 흐름관(101)과 유사한 U자형 흐름관(201)을 나타낸다. U자형 흐름관(201)은, 관(202)의 상부 중앙부(202C)에 연결된 자성 소자(203)와 함께 좌측(202L) 및 우측(202R)을 갖는 관 소자(202)를 포함한다. U자형 관(202)은 하부 좌측 말단(204L) 및 하부 우측 말단(204R)을 갖는다. 사용중 일 때, 흐름관(202)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 자성 소자(203)와 관련 드라이버 코일 사이의 자기적 상호작용(magnetic interaction)에 의해 진동된다.Fig. 2 shows a U-shaped flow pipe 201 similar to the flow pipe 101. Fig. The U-shaped flow tube 201 includes a tubular element 202 having a left side 202L and a right side 202R with a magnetic element 203 connected to the upper central portion 202C of the tube 202. [ The U-shaped tube 202 has a lower left end 204L and a lower right end 204R. When in use, the flow tube 202 is vibrated by magnetic interaction between the magnetic element 203 and the associated driver coil, as shown in Figs. 5 and 6.

도 3 및 도 4의 상세한 설명3 and 4

도 3 및 도 4는 코리올리 질량 유량계(300)에 포함된 흐름관(101)을 나타낸다. 코리올리 질량 유량계(300)는 흐름관 조립체(101)를 포함하며, 흐름관 조립체는 흐름관(102), 자성재료(103), 드라이버 코일(D), 좌측 픽-오프(LP0), 우측 픽-오프(RP0), 좌측 플랜지 또는 좌측 프로세스 연결부(process connection,105) 및 우측 플랜지 또는 우측 프로세스 연결부(106)를 포함한다. 코리올리 질량 유량계(300)는 미터 일렉트로닉스(meter electronics,321)를 더 포함하는데, 미터 일렉트로닉스의 도선(306,307)은 풀-온리 모드로 흐름관(101)을 진동시키도록 드 라이버 코일(D)을 제어 가능하게 인가시키고, 풀-온리 모드로 인가된 코일(D)에 통하는 전류는 드라이버 코일(D)에 통하는 전류가 끊길 때 흐름관(101)을 정지 상태로 복원시키는 흐름관(101) 본래의 탄성력에 의해 드라이버 코일 쪽으로 흐름관(101)을 편향시킨다. Figs. 3 and 4 show the flow pipe 101 included in the Coriolis mass flow meter 300. Fig. Coriolis mass flow meter 300 includes a flow tube assembly 101 that includes a flow tube 102, a magnetic material 103, a driver coil D, a left pick-off LP0, Off process (RPO), left flange or left process connection 105, and right flange or right process connection 106. The coriolis mass flow meter 300 further includes meter electronics 321 that conductors 306 and 307 control the driver coil D to vibrate the flow tube 101 in a full- And the current flowing through the coil D applied in the full-ONE mode is the elastic force of the flow tube 101 that restores the flow tube 101 to the stop state when the current through the driver coil D is cut off, Thereby deflecting the flow pipe 101 toward the driver coil.

처리되어야 할 물질 유동은 도시되지 않은 재료 공급원으로부터 프로세스 연결부(105)에 의해 수용된다. 재료는 흐름관(102)을 통해 코리올리 질량 유량계로부터 나가는 프로세스 연결부(106)를 향하여 오른쪽으로 흐른다. 물질 유동과 더불어 드라이버 코일(D)에 의한 흐름관(102)의 진동은 흐름관(102)에 코리올리 편향(Coriolis deflections)을 야기한다. 이러한 편향은 픽-오프(LP0,RP0)에 의해 검출되어 전기신호로 변환된다. 전기신호는 경로(304,305,308,309)를 통해 미터 일렉트로닉스(321)에 인가되고, 미터 일렉트로닉스는 신호를 처리하여 물질 유동에 관한 정보를 발생시킨다. 정보는 출력 경로(322)를 통하여, 도시되지 않은 이용회로(utilization circuit)에 사용된다. 미터 일렉트로닉스(321)는 도면의 복잡성을 최소화하기 위해 도 3에만 도시된다.The material flow to be treated is received by the process connection 105 from a source of material not shown. The material flows right through the flow tube 102 toward the process connection 106 outgoing from the Coriolis mass flow meter. Vibration of the flow tube 102 by the driver coil D along with the material flow causes Coriolis deflections in the flow tube 102. These deflections are detected by the pick-offs LP0 and RP0 and converted into electric signals. An electrical signal is applied to the meter electronics 321 via paths 304, 305, 308, and 309, which processes the signal to generate information about the material flow. The information is used via output path 322 to an unshown utilization circuit. The meter electronics 321 is shown only in Fig. 3 to minimize the complexity of the figure.

드라이버 코일(D)은 도선(306,307)에 의해 간헐적으로 인가될 때, 인가된 코일(D)이 흐름관(102)을 간헐적으로 끌어당기는 "풀-온리" 모드로 흐름관(102)을 진동시킨다. 흐름관(102)은 코일(D)에 통하는 전류가 각각 중지되면 고유의 탄성력으로 인해 정지 상태로 복귀된다. 드라이버 코일(D)은 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 흐름관을 상하로 진동시킨다. 도 3에 도시된 흐름관(102)은 도 3 지면에 대해 안팎으로 진동한다. 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 픽-오프(LP0,RP0)는 발광다이오드(LED,701) 및 광 수신기(702)를 포함하는 광학 픽-오프인 것이 유리하다. 흐름관(102)은 드라이버 코일(D)의 영향하에서 진동함으로써, LED(701)로부터 광 수신기(702)를 향해 전달된 광선(703)을 저지하고 조정한다. 광 수신기(702)는 수신된 광파의 패턴을 출력신호로 바꾸고, 출력신호는 경로(304,305,308,309)를 통해 미터 일렉트로닉스(321)로 전달된다. The driver coil D oscillates the flow tube 102 in a " full-only "mode in which the applied coil D intermittently pulls the flow tube 102 when intermittently applied by the leads 306 and 307 . The flow tube 102 is returned to the stopped state due to the inherent elastic force when the current through the coil D is stopped, respectively. The driver coil D oscillates the flow tube up and down as shown in Fig. The flow pipe 102 shown in Fig. 3 vibrates in and out with respect to the plane of Fig. As shown in FIG. 7, it is advantageous that the pick-off LP0, RP0 is an optical pick-off comprising a light emitting diode (LED) 701 and an optical receiver 702. The flow tube 102 vibrates under the influence of the driver coil D to block and adjust the light beam 703 transmitted from the LED 701 towards the optical receiver 702. The optical receiver 702 converts the pattern of the received light wave into an output signal and the output signal is transmitted to the meter electronics 321 via paths 304, 305, 308 and 309.

도 5 및 도 6의 상세한 설명5 and 6

도 5 및 도 6은 각각 코리올리 질량 유량계(500)에 구현된, 도 2 흐름관(201)의 정면도 및 사시도를 나타낸다. U자형 흐름관(202)의 레그(202L,202R)는 프로세스 연결부(501)에서 물질 유동을 수용하는 매니폴드(503)에 부착되며, 레그(202L)를 통해 수용된 유동을 연장시키고, 중앙부(202C)와 우측 레그(202R)를 통해 더 연장시키며, 그 과정에서 물질 유동은 매니폴드(503)의 출력단(output end)에 의해 수용되어 우측 프로세스 연결부(502)에 적용된다. 드라이버 코일(D)은 도 3 및 도 4의 코리올리 질량 유량계(300)에 관하여 설명된 것과 유사한 방식인 "풀-온리" 모드로 흐름관(202C)을 진동시킨다. 물질 유동과 함께 흐름관(202)의 진동은 흐름관(202)의 코리올리 편향을 야기하는데, 코리올리 편향은 픽-오프(LP0,RP0)에 의해 검출되어 도선(304,305,308,309)을 통해 미터 일렉트로닉스(321)에 이용되며, 미터 일렉트로닉스는 신호를 처리하여 물질 유동에 관한 출력 정보를 발생시킨다. 이러한 출력 정보는 경로(322)를 통하여, 도시되지 않은 이용회로로 도달한다.Figs. 5 and 6 show a front view and a perspective view of the flow pipe 201 of Fig. 2 implemented in the Coriolis mass flow meter 500, respectively. The legs 202L and 202R of the U-shaped flow pipe 202 are attached to the manifold 503 that receives material flow at the process connection 501 and extend the flow received through the legs 202L, And the right leg 202R in the course of which the material flow is received by the output end of the manifold 503 and applied to the right process connection 502. The driver coil D oscillates the flow tube 202C in a "full-on" mode in a manner similar to that described with respect to the Coriolis mass flow meter 300 of FIGS. The oscillation of the flow tube 202 with the material flow causes the Coriolis deflection of the flow tube 202 where the Coriolis deflection is detected by the pick offs LPO and RPO and is detected by the meter electronics 321 through the leads 304, 305, And the meter electronics processes the signal to generate output information about the material flow. This output information arrives via path 322 to a utilization circuit not shown.

도 5 및 도 6의 코리올리 질량 유량계는 물질이 충진된 흐름관의 질량 대 드라이버 및 픽-오프의 질량의 비가 10 대 1을 충족하도록 제작되어 제공된다. 이러한 일 실시예는 0.2mm의 내경과 10g/h의 유량을 갖는 흐름관을 포함한다. 제 2 실시예는 0.9mm의 내경과 10,000g/h의 유량을 갖는 흐름관을 포함한다.The Coriolis mass flowmeters of FIGS. 5 and 6 are manufactured and manufactured to satisfy the ratio of the mass of the flow pipe filled with the material to the mass of the driver and the pick-off of 10: 1. One such embodiment includes a flow tube having an inner diameter of 0.2 mm and a flow rate of 10 g / h. The second embodiment includes a flow tube having an inner diameter of 0.9 mm and a flow rate of 10,000 g / h.

도 8 및 도 9의 상세한 설명8 and 9

흐름관(102)은 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 흐름관에 결합된 단일 드라이버 코일(D)을 이용해 "풀-온리" 진동모드로 작동된다. "풀-온리" 모드에서, 드라이버 코일(D)을 지나는 전류는 본래의 정지상태로부터 흐름관(102)을 끌어당긴다. 유동이 정지하면 흐름관(102) 고유의 탄성력에 의해 흐름관이 정지 상태로 복원된다. 대안적으로, 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 흐름관(102)은 한 쌍의 드라이버 코일(D1,D2)을 이용해 "푸쉬-풀" 모드로 진동될 수도 있다. "푸쉬-풀" 모드에서, 코일(D1)을 지나는 전류는 소자(103)와 흐름관(102)을 위쪽으로 편향시킨다. 드라이버 코일(D1)을 지나는 전류와 더불어 드라이버 코일(D2)을 지나는 전류의 정지는 소자(103)와 흐름관(102)을 아래쪽으로 편향시킨다. 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 드라이버 코일(D1,D2)의 이러한 교류의 인가(energization) 및 비인가(de-energization)는 흐름관(102)을 횡방향으로 진동시키는 교류 자기장을 발생시킨다. 도 8의 실시예는 드라이버 코일(D)이 인가되지 않을 때 흐름관(102) 구조 본래의 탄성력이 흐름관(102)을 정지 상태로 복원시키기에 적합한 경우에 이용될 수도 있다. 도 9의 "푸쉬-풀" 실시예는 흐름관의 길이방향 출구를 가로지르는 각 방향에서 자기장의 영향을 받아 진동되는 것이 바람직한 경우에 이용될 수도 있다. U자형 흐름관(202)은 "풀-온리" 또는 "푸쉬-풀" 모드로 유사하게 작동될 수 있다. 도 9의 도선(306A,307A)은 미터 일렉트로닉스(321)에 연결된다. Flow tube 102 is operated in a "full-on" vibration mode using a single driver coil D coupled to the flow tube as shown in FIG. In the "full-on" mode, the current through the driver coil D pulls the flow tube 102 from its original stationary state. When the flow stops, the flow tube is restored to the stopped state by the elastic force inherent to the flow tube 102. Alternatively, as shown in Fig. 9, the flow tube 102 may be vibrated in a "push-pull" mode using a pair of driver coils D1 and D2. In the "push-pull" mode, the current through the coil D1 deflects the element 103 and the flow tube 102 upward. The stop of the current passing through the driver coil D2 together with the current passing through the driver coil D1 deflects the element 103 and the flow tube 102 downward. As shown in Fig. 9, energization and de-energization of these alternating currents of the driver coils D1 and D2 generate an alternating magnetic field that oscillates the flow tube 102 in the transverse direction. The embodiment of FIG. 8 may be used when the original elastic force of the flow tube 102 structure is suitable to restore the flow tube 102 to a rest state when the driver coil D is not applied. The "push-pull" embodiment of Fig. 9 may be used where it is desired to be vibrated under the influence of a magnetic field in each direction across the longitudinal outlet of the flow tube. U-shaped flow tube 202 may be similarly operated in a "full-on" or "push-pull" mode. The leads 306A, 307A of FIG. 9 are connected to the meter electronics 321.

도 10 10 내지 도To 13의 상세한 설명 13 detailed description

도 10 내지 도 13은 흐름관(101,202)을 도포하는데 사용될 수 있는 상이한 대안적 구조를 도시한다. 도 10은 자성재료가 흐름관(1000)의 축방향 중심부(1002)에 일체로 형성되는 흐름관을 도시한다. 단부(1001,1003)는 자성재료를 포함하지 않는다. 도 11의 실시예는, 자성재료가 전체 흐름관 길이에 대해 일체로 형성되는 것을 표시하기 위해 흐름관(1100) 전체를 어둡게 한 점에서, 도 10의 실시예와 상이하다. 도 11 흐름관(1100)의 자성재료는 연성(soft) 또는 경성(hard) 타입일 수 있다. 흐름관(1100)은 또한 내부 N/S 자기장을 갖는 강 또는 스테인리스 강 400과 같은 재료로 전체가 형성될 수도 있다. 도 12는 자성재료가 흐름관의 표면에 막으로 도포된 실시예를 도시한다. 도 12에서, 자성재료(1202)는 흐름관의 중심부에 도포되지만 단부(1201,1203)는 자성재료를 갖지 않는다. 도 13의 실시예는, 흐름관이 전체 흐름관 길이의 표면에 도포된 자성재료(1301)를 갖는 점에서, 도 12의 실시예와 상이하다. 도 10 내지 도 13의 흐름관의 자성재료는 연성 또는 경성 타입일 수 있다.10-13 illustrate different alternative structures that may be used to apply the flow tubes 101,202. 10 shows a flow pipe in which a magnetic material is integrally formed in the axial center portion 1002 of the flow pipe 1000. Fig. The ends 1001 and 1003 do not include a magnetic material. The embodiment of FIG. 11 differs from the embodiment of FIG. 10 in that the entire flow tube 1100 is darkened to indicate that the magnetic material is integrally formed with respect to the total flow tube length. 11 The magnetic material of the flow tube 1100 may be of a soft or hard type. The flow tube 1100 may also be entirely formed of a material such as steel or stainless steel 400 having an internal N / S magnetic field. Figure 12 shows an embodiment in which the magnetic material is applied as a film to the surface of the flow tube. In Fig. 12, the magnetic material 1202 is applied to the center portion of the flow tube, but the ends 1201 and 1203 have no magnetic material. The embodiment of Figure 13 differs from the embodiment of Figure 12 in that the flow tube has a magnetic material 1301 applied to the surface of the entire flow tube length. The magnetic material of the flow tubes of Figs. 10-13 may be of the soft or hard type.

도 10 내지 도 13은 도 1의 직선형 관(101)에 대한 대안적인 실시예를 나타낸다. U자형 관(203)은 자성재료가 흐름관의 전체 또는 전체보다 적게 일체로 형성될 수 있는 범위 내에서 유사한 실시예들을 가질 수 있다. 대안적으로, 자성재료는 도 2의 U자형 전제 흐름관(203)의 길이 또는 전체보다 짧은 길이의 표면에 증착될 수 있다. 대안적으로, 도 2의 U자형 흐름관은 내부 N/S 자기장을 갖는 강 또는 스테인리스 강 400과 같은 재료로 형성될 수도 있다.Figs. 10-13 illustrate an alternative embodiment to the straight tube 101 of Fig. The U-shaped tube 203 may have similar embodiments within a range where the magnetic material can be integrally formed with less than all or a portion of the flow tube. Alternatively, the magnetic material may be deposited on a surface of a length shorter than the length or the entire length of the U-shaped pre-set flow tube 203 of FIG. Alternatively, the U-shaped flow tube of FIG. 2 may be formed of a material such as steel or stainless steel 400 having an internal N / S magnetic field.

본 발명에 사용된 "자성재료"는 고유의 N/S 자기장을 갖지 않는 "연성" 연철재료로 사용된다. 영구 N/S 자기장을 가질 수 있는 강자성 재료로 사용될 수도 있다.The "magnetic material" used in the present invention is used as a "soft" soft iron material having no inherent N / S magnetic field. But may also be used as a ferromagnetic material having a permanent N / S magnetic field.

도 14의 상세한 설명14,

도 14는 본 발명을 구체화하는 이중 U자형 흐름관 코리올리 질량 유량계(1400)를 나타낸다. 코리올리 질량 유량계(1400)는, 도 14의 코리올리 유량계가 한 쌍의 U자형 흐름관(1402-1,1402-2)들을 갖는 것 외에는, 도 6의 단일 U자형 흐름관 코리올리 유량계와 유사하다. 드라이버 코일(D)은 두 개의 흐름관들 중간에 배치된다. 흐름관 상부 소자의 축방향 중앙부분에 있는 자성재료는 1403-1 및 1403-2로 지시된다. 자성재료는 경성 또는 연성 타입일 수 있다. 자성재료가 연성 타입인 경우 드라이버 코일(D)은, 전류가 흐를 때 드라이버 코일(D)에 끌어 당겨지는 흐름관들과 반대 위상에서 두 개의 흐름관들을 진동시키고, 전류가 흐르지 않을 때 고유의 탄성력으로 인해 정상 정지 상태로 되돌려진다. 자성재료가 내부 N/S 자기장을 갖는 경성 타입인 경우, 드라이버 코일(D)은 반대 위상에서 양방향으로 두 개의 흐름관들을 진동시킬 수 있다. 픽-오프(LP0,RP0)는 광 이미터(light emitter)와 광 수신기를 포함한다. 광 이미터와 광 수신기는 공지된 방법으로 작동하여 두 흐름관들의 진동을 나타내는 출력 신호를 발생시킨다. 출력 신호는 흐름관들의 진동 상태에 응답하는 광 수신기에 의해 수용된 빛의 양에 따라 조절된다. 미터 일렉트로닉스(321)까지 이어진 출력 도선(304,305,308,309,306,307)들은 도 6으로 설명된 것과 동일하게 표시된다. 도선들의 기능은 드라이버(D)를 제어하여 물질이 유동하는 흐름관들의 공진 주파수(resonant frequency)에서 두 개의 흐름관들을 진동시키는 것이다. 도선들의 기능은 또한 픽-오프 출력 신호를 미터 일렉트로닉스(321)로 연장하여 물질 유동에 관한 정보를 발생시키고 이러한 정보를 경로(322)를 통해 도시되지 않은 이용회로로 연장시키는 것이다. 매니폴드(503)는 도 6에 관하여 기술된 것과 동일한 방식으로 작동한다. U자형 흐름관의 좌측 레그들은 1402L1과 1402L2로 지시된다. 우측 레그들은 1402R1과 1402R2로 지시된다. 흐름관들의 상부 소자는 1402C1과 1402C2로 지시된다. Figure 14 shows a dual U-shaped flow tube Coriolis mass flow meter 1400 embodying the present invention. The Coriolis mass flow meter 1400 is similar to the single U-shaped flow tube Coriolis flowmeter of FIG. 6, except that the Coriolis flowmeter of FIG. 14 has a pair of U-shaped flow tubes 1402-1 and 1402-2. The driver coil D is disposed between the two flow tubes. The magnetic material in the axial center portion of the flow tube upper element is indicated by 1403-1 and 1403-2. The magnetic material may be of a hard or soft type. When the magnetic material is a soft type, the driver coil D vibrates the two flow tubes in opposite phases to the flow tubes drawn to the driver coil D when the current flows, and when the current does not flow, And is returned to the normal stop state. If the magnetic material is a rigid type with an internal N / S magnetic field, the driver coil D can vibrate the two flow tubes in opposite directions in opposite phases. The pick-offs LP0 and RP0 include a light emitter and an optical receiver. The light emitter and the optical receiver operate in a known manner to generate an output signal indicative of the oscillation of the two flow tubes. The output signal is adjusted according to the amount of light received by the optical receiver in response to the oscillating condition of the flow tubes. The output conductors 304, 305, 308, 309, 306, and 307 extending to the meter electronics 321 are displayed as shown in FIG. The function of the leads is to control the driver (D) to vibrate the two flow tubes at the resonant frequency of the flow tubes through which the material flows. The function of the leads is also to extend the pick-off output signal to the meter electronics 321 to generate information about the material flow and extend this information via path 322 to a utilization circuit not shown. Manifold 503 operates in the same manner as described with respect to FIG. The left legs of the U-shaped flow pipe are indicated as 1402L1 and 1402L2. The right legs are indicated as 1402R1 and 1402R2. The upper elements of the flow tubes are indicated as 1402C1 and 1402C2.

도 15 및 도 16의 상세한 설명15 and 16

도 15 및 도 16은 이중 직선관 코리올리 질량 유량계(1500,1600)를 나타낸다. 도 15의 실시예는 반대 위상에서 흐름관들을 진동시키기 위해 두 개의 진동관들 중간에 배치된 단일 드라이버 코일(D)을 이용한다. 흐름관 소자(1503-1,1503-2)가 연자성 재료를 포함할 때, 드라이버 코일(D)은 풀-온리 모드를 이용해 반대 위상에서 흐름관들을 진동시키는데 효과적이다. 풀-온리 모드에서, 흐름관들은 전류가 인가될 때에만 드라이버 코일(D)에 끌어 당겨진다. 전류 흐름이 멈출 때, 흐름관들은 고유 탄성력으로 인해 정지 상태로 되돌아간다. 자성재료가 내부 N/S 자기장을 갖는 경성 타입일 때, 드라이버 코일(D)은 "푸쉬-풀" 모드로 흐름관들을 진동시키는 것이 효율적이다. 픽-오프(RP0 상부 및 RP0 하부)뿐 아니라, 픽-오프(LP0 상부 및 LP0 하부)는 흐름관들의 진동 상태를 나타내는 픽-오프 신호를 발생시키기 위해 도 14에서 도시되어 설명된 바와 같은 광학 타입일 수도 있다. 픽-오프 신호는 도 14로 설명된 것과 동일한 방식으로 미터 일렉트로닉스(321)에 전달된다.15 and 16 show a dual linear tube coriolis mass flow meter (1500, 1600). The embodiment of FIG. 15 uses a single driver coil D disposed between two oscillating tubes to vibrate flow tubes in opposite phases. When the flow tube elements 1503-1 and 1503-2 include a soft magnetic material, the driver coil D is effective to vibrate the flow tubes in opposite phases using the full-on-one mode. In the full-on mode, flow tubes are attracted to the driver coil D only when current is applied. When the current flow stops, the flow tubes return to the stop state due to the inherent elastic force. When the magnetic material is a rigid type with an internal N / S magnetic field, it is efficient for the driver coil D to vibrate the flow tubes in a "push-pull" mode. The pick-off (LP0 top and LP0 bottom), as well as the pick-off (RP0 top and RP0 bottom), is an optical type as shown and described in Figure 14 to generate a pick- Lt; / RTI > The pick-off signal is transmitted to the meter electronics 321 in the same manner as described with reference to Fig.

도 15 및 도 16의 실시예는 개구(1508)로 물질 유동을 수용하는 좌측 입력 매니폴드(1505)를 포함한다. 도 10 및 도 15의 실시예는 흐름관의 우측에 연결되며 코리올리 질량 유량계에 의해 물질이 방출되는 출력(1509)을 갖는 출력 매니폴드(1506)를 더 포함한다.The embodiment of FIGS. 15 and 16 includes a left input manifold 1505 that receives material flow into an opening 1508. The embodiment of Figures 10 and 15 further includes an output manifold 1506 connected to the right side of the flow tube and having an output 1509 through which material is discharged by a Coriolis mass flow meter.

도 16은 D1 및 D2로 지시된 한 쌍의 드라이버 코일의 제공만이 도 15의 실시예와 상이하다. 이러한 드라이버 코일(D1,D2)은 미터 일렉트로닉스(321)의 제어에 따라 반대 위상에서 두 개의 흐름관을 진동시키는 기능을 한다. "풀-온리" 모드는 자성재료가 연성 타입일 때 이용된다. "푸쉬-풀" 모드는 자성재료가 경성 타입일 때 이용된다.Fig. 16 differs from the embodiment of Fig. 15 only in the provision of a pair of driver coils denoted D1 and D2. These driver coils D1 and D2 function to vibrate the two flow tubes in opposite phases under the control of the meter electronics 321. [ The "full-only" mode is used when the magnetic material is a soft type. The "push-pull" mode is used when the magnetic material is a hard type.

도 17의 상세한 설명17,

도 17은 흐름관이 내부 N/S 자기장을 갖는 마그넷 강(magnetic steel)으로 만들어지는 이중 직선관 코리올리 질량 유량계를 나타낸다. 이러한 유형의 강은 스테인리스 강 400 또는 내부 자기장을 가질 수 있는 통상적인 강일 수 있다. 전술한 강을 사용하면, 개별적 자화코팅(magnetic coating) 또는 자성재료가 내부 또는 외부에 불필요하다. 대신, 전술한 강으로 만들어진 흐름관의 내부 자기장이 이용될 수 있다. 도 17에 도시되어 있는 바와 같이, 단일 드라이버 코일(D)은 미터 일렉트로닉스(321)에 의해 제어되어 반대 위상에서 두 개의 흐름관(1703-1,1703-2)을 진동시킨다. 두 개의 흐름관들의 진동상태는 자성 픽-오프(LP0,RP0)에 의해 탐지되며, 자성 픽-오프는 물질 유동과 함께 흐름관을 진동시켜 발생된 코리올리 편향을 포함하여 흐름관의 진동을 표시하는 미터 일렉트로닉스(321)로 신호를 보낸다. 도 17의 코리올리 질량 유량계의 이점은 외부 자화코팅재(external magnetic coating)의 증착 또는 흐름관에 자성재료를 추가하기 위한 특수한 제조기술의 사용이 불필요하다는 것인데, 이는 흐름관이 자체의 자기장을 갖는 재료로 형성되기 때문이다. 도 5, 6 및 도 14에 도시되어 있는 바와 같이, U자 형상을 갖는 코리올리 질량 유량계는 강성 또는 연성 자화코팅재 대신 마그넷 강을 이용하여 흐름관/흐름관들이 형성하도록 제공될 수 있다. 도 17에 도시된 바와 같이, 이중 U자형 관의 실시예는, 물질 유동으로부터 코리올리 편향을 포함하는 흐름관의 편향을 탐지하기 위한 픽-오프로 자성 변환기(magnetic transducers)를 이용하는 "푸쉬-풀" 모드로 흐름관/흐름관들을 진동시키는 드라이버 코일을 사용한다.17 shows a dual linear tube coriolis mass flow meter in which the flow tube is made of magnetic steel with an internal N / S magnetic field. This type of steel may be stainless steel 400 or a conventional steel which may have an internal magnetic field. With the above-described steel, a separate magnetic coating or magnetic material is unnecessary inside or outside. Instead, the internal magnetic field of the flow tube made of the aforementioned steel can be used. As shown in Fig. 17, the single driver coil D is controlled by the meter electronics 321 to vibrate the two flow tubes 1703-1 and 1703-2 in opposite phases. The vibrational states of the two flow tubes are detected by the magnetic pick-off (LPO, RPO), and the magnetic pick-off represents the vibration of the flow tube including Coriolis deflection generated by oscillating the flow tube with the material flow And sends a signal to the meter electronics 321. The advantage of the Coriolis mass flowmeter of Figure 17 is that it does not require the use of a special manufacturing technique for depositing an external magnetic coating or adding a magnetic material to the flow tube because the flow tube is made of a material having its own magnetic field . As shown in FIGS. 5, 6 and 14, a Coriolis mass flow meter with a U-shape can be provided to form flow tubes / flow tubes using magnet steel instead of rigid or soft magnetic coatings. As shown in Figure 17, an embodiment of a dual U-shaped tube includes a "push-pull" system that uses magnetic transducers as pick-offs to detect deflection of a flow tube including Coriolis deflection from a material flow, Mode using a driver coil to vibrate the flow tubes / flow tubes.

청구된 발명은 특정 실시예의 설명에 한정되지 않지만 본 발명의 사상과 범주 내의 다른 수정 및 변경을 포함하는 것이 명백히 이해된다. "연자성 재료" 또는 "철재료"는 자기장에 의해 끌어 당겨지지만 자체의 내부 N/S 자기장을 갖지 않는 특징적 재료로서 이해될 것이다. It is clearly understood that the claimed invention is not limited to the description of specific embodiments, but includes other modifications and variations within the spirit and scope of the invention. A "soft magnetic material" or "iron material" will be understood as a characteristic material that is attracted by a magnetic field but does not have its own internal N / S magnetic field.

"연성" 또는 "경성 자성재료"는 모두 이미 형성된 흐름관에 코팅재, 피막(film) 또는 외부 층으로 도포되거나, 연성 또는 경성 자성재료로서 기능하는 통합 구조를 형성하도록 제조될 때 흐름관과 결합될 수도 있다."Ductile" or "hard magnetic material" may all be applied to a flow tube that has already been formed, such as a coating, film or outer layer, or combined with a flow tube when manufactured to form an integral structure that functions as a soft or hard magnetic material It is possible.

본 발명에 사용된 "물질" 및 "물질 유동"은 플러리(flurries), 플라즈마, 가스 등과 같이 유동하는 어떤 물질뿐만 아니라 액체 등과 같은 물질을 포함하는 것으로 이해될 것이다. 또한, 본 발명은 소형 흐름관 및 저유량을 갖는 소형 코리올리 질량 유량계의 이용에 특히 유리하지만, 본 발명의 원리는 어떠한 크기 및 어떠한 재료로 형성된 유량계에라도 유리하게 적용 가능함이 이해될 것이다. As used herein, "material" and "material flow" will be understood to include materials such as liquids as well as any materials that flow, such as flurries, plasma, It will also be appreciated that although the present invention is particularly advantageous for use with small flow tubes and small Coriolis mass flow meters with low flow rates, the principles of the present invention are advantageously applicable to flow meters of any size and any material.

Claims (42)

물질 유동을 수용하며, 상기 물질 유동과 함께 진동함으로써 코리올리 편향을 발생시키는 흐름관 수단(102),Flow tube means (102) for receiving a material flow and generating a Coriolis deflection by oscillating with said material flow, 드라이버 코일(D), The driver coils (D), 상기 드라이버 코일(D)에 구동 신호를 인가하여 물질 유동과 함께 상기 흐름관 수단을 진동시키는 미터 일렉트로닉스(321),A meter electronics 321 for applying a drive signal to the driver coil D to vibrate the flow tube means with the material flow, 상기 흐름관 수단의 상기 코리올리 편향을 표시하는 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 흐름관 수단에 연결되는 픽-오프 수단(LP0,RP0), 및Off means (LP0, RP0) connected to said flow tube means for generating a pick-off signal indicative of said Coriolis deflection of said flow tube means, and 상기 물질 유동을 표시하는 출력 신호의 발생을 위해 상기 미터 일렉트로닉스로 상기 픽-오프 신호를 인가하기 위한 수단(304,305,308,309)을 포함하는, 코리올리 유량계에 있어서,And means (304,305,308,309) for applying the pick-off signal to the meter electronics for generation of an output signal indicative of the material flow, the Coriolis flowmeter comprising: 상기 흐름관 수단이 자성재료(103,203)로 이루어져 있으며,Said flow tube means comprising magnetic material (103, 203) 상기 드라이버 코일이 상기 구동 신호의 인가에 응답하여 상기 물질이 충진된 흐름관 수단을 진동시키도록 상기 자성재료와 상호작용하는 자기장을 발생시키는 것을 특징으로 하는,Wherein the driver coil generates a magnetic field that interacts with the magnetic material to vibrate the flow tube means filled with the material in response to application of the drive signal. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 외부 표면의 적어도 일 부분에 포함되어 있는 철 재료 층을 포함하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the magnetic material (103,203) comprises a layer of iron material contained in at least a portion of the outer surface of the flowtube means, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 제 2 항에 있어서, 3. The method of claim 2, 상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 존재하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the magnetic material (103,203) is present in a length less than the entire axial length of the flow tube means, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 제 2 항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 존재하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the magnetic material (103,203) is present in the entire axial length of the flow tube means, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성된 철 재료를 포함하며,Wherein the magnetic material (103, 203) comprises an iron material formed integrally in at least an outer radial portion of the flow tube, 상기 철 재료는 내부 자기장이 없는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the iron material has no internal magnetic field. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 자성재료(103,203)가 자가 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the magnetic material (103,203) comprises a ferromagnetic material having a self-magnetic field. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 삭제delete 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 11 has been abandoned due to the set registration fee. 제 8 항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the magnetic material (103,203) is integrally formed at least in the outer radial portion of the flow tube means, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 17 has been abandoned due to the setting registration fee. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 픽-오프 수단이 수신된 빛을 전기신호로 변환하는 광 이미터와 광 수신기를 각각 포함하는 제 1 및 제 2 광학 픽-오프(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는,Wherein the pick-off means comprises first and second optical pick-offs (700) each comprising a light emitter and an optical receiver for converting the received light into an electrical signal, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 드라이버 코일(D)이 풀-온리 모드로 상기 흐름관 수단을 진동시키고, 상기 풀-온리 모드에서 전류가 인가될 때 상기 흐름관 수단의 재료가 상기 드라이버 코일에 자기적으로 부착되며, 전류가 중단될 때 상기 흐름관 수단 고유의 탄성력이 상기 흐름관 수단을 정지 상태로 되돌리는 것을 특징으로 하는,The driver coil D vibrates the flow tube means in a full-ONE mode and the material of the flow tube means is magnetically attached to the driver coil when current is applied in the full-ONE mode, Characterized in that the resilient force inherent in said flow tube means, when interrupted, returns said flow tube means to a rest state. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 드라이버 코일이 제 1 드라이버 코일(D1)을 형성하고,The driver coil forms the first driver coil D1, 상기 코리올리 유량계가 제 2 드라이버 코일(D2)을 더 포함하며,Wherein the Coriolis flowmeter further comprises a second driver coil (D2) 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일이 상기 흐름관 수단의 맞은편에 배치되고,Said first driver coil and said second driver coil being disposed opposite said flow tube means, 상기 미터 일렉트로닉스가 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일에 반대 정현파 전류를 인가하여 주기적으로 변화하는 자기장을 발생시키며, 상기 주기적으로 변화하는 자기장은 상기 흐름관 수단을 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일 사이에서 푸쉬-풀 모드로 주기적으로 진동시키는 것을 특징으로 하는,Wherein the meter electronics generates a periodically varying magnetic field by applying an opposing sinusoidal current to the first driver coil and the second driver coil, the periodically varying magnetic field causing the flow tube means to contact the first driver coil And oscillates periodically in a push-pull mode between the second driver coils. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 29은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 29 has been abandoned due to the setting registration fee. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 흐름관 수단이 제 1 흐름관(1402C1) 및 상기 제 1 흐름관과 평행한 제 2 흐름관(1402C2)을 포함하고,Said flow tube means comprising a first flow tube (1402C1) and a second flow tube (1402C2) parallel to said first flow tube, 상기 드라이버 코일이 상기 제 1 흐름관 및 상기 제 2 흐름관의 중간에 배치되어 반대 위상에서 상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관을 진동시키는 것을 특징으로 하는,Wherein said driver coil is disposed intermediate said first flow tube and said second flow tube to vibrate said first flow tube and said second flow tube in opposite phase, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 청구항 30은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 30 has been abandoned due to the set registration fee. 제 29 항에 있어서,30. The method of claim 29, 상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관이 각각 상부 중앙 소자에 의해 연결되어 있는 좌측 레그와 우측 레그를 갖는 U자 형상이고,Wherein said first flow pipe and said second flow pipe are U-shaped with a left leg and a right leg connected by an upper central element, respectively, 상기 픽-오프 수단이 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the pick-off means comprises first and second optical pick-offs adjacent the flow tube for generating the pick-off signal indicative of the Coriolis deflection of the flow tube. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 청구항 32은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 32 is abandoned due to the set registration fee. 제 29 항에 있어서,30. The method of claim 29, 상기 자성재료가 내부 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하고,Wherein the magnetic material comprises a ferromagnetic material having an internal magnetic field, 상기 자성재료의 자기장이 상기 픽-오프(LP0,RP0)에 인가되도록 상기 흐름관의 축방향 길이를 따라 상기 자성재료가 연장되며,The magnetic material extends along the axial length of the flow tube such that a magnetic field of the magnetic material is applied to the pick-offs LP0, RP0, 상기 픽-오프(LP0,RP0)가 상기 자성재료의 자기장 및 상기 U자형 흐름관의 상기 코리올리 편향에 반응하여 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the pick-off (LP0, RP0) is responsive to the magnetic field of the magnetic material and the Coriolis deflection of the U-shaped flow tube to generate the pick-off signal indicative of the Coriolis deflection. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 청구항 33은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 33 is abandoned due to the set registration fee. 제 29 항에 있어서, 30. The method of claim 29, 상기 픽-오프 수단이 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 출력 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the pick-off means comprises first and second optical pick-off (700) adjacent the flow tube for generating the output signal indicative of the Coriolis bias of the flow tube. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 흐름관 수단이 내부의 N/S 자기장을 갖는 강자성 재료로 형성되고,Said flow tube means being formed of a ferromagnetic material having an internal N / S magnetic field, 상기 픽-오프 수단(LP0,RP0)이 자성 변환기이며,The pick-off means LP0 and RP0 are magnetic converters, 상기 자성재료가 상기 드라이버 코일 및 상기 자성 변환기와 인접한 상기 흐름관 수단에 축방향으로 연장되며,Said magnetic material extending axially in said flow tube means adjacent said driver coil and said magnetic transducer, 상기 흐름관 수단에 충진된 물질의 진동이 상기 자성 변환기의 상기 코리올리 편향을 표시하는 자기장을 야기하는 것을 특징으로 하는,Wherein vibrations of the material filled in said flow tube means cause a magnetic field indicative of said Coriolis deflection of said magnetic transducer, 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 드라이버 코일(D)이 푸쉬-풀 모드로 반대위상에서 상기 흐름관 수단(1703-1,1703-2)을 진동시키는데 효과적이고,The driver coil D is effective to vibrate the flow tube means 1703-1, 1703-2 in opposite phases in a push-pull mode, 상기 픽-오프 수단이 상기 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 진동하는 흐름관 수단의 자기장과 상호작용하는 자성 변환기를 포함하는 것을 특징으로 하는,Characterized in that the pick-off means comprises a magnetic transducer which interacts with the magnetic field of the oscillating flow tube means to generate the pick-off signal. 코리올리 유량계.Coriolis flowmeter. 삭제delete 삭제delete
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