KR100897390B1 - Ceramic material used for protection against electrical overstress and low-capacitance multilayer chip varistor using the same - Google Patents

Ceramic material used for protection against electrical overstress and low-capacitance multilayer chip varistor using the same Download PDF

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Abstract

본 발명은 저 용량 다층 칩 배리스터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 저 용량 다층 칩 배리스터는 1MHz에서 0.5pF 보다 작은 용량을 가지며, 8KV 정전 쇼크의 수천 회 이상의 쇼크에 대한 내성 특성을 가지며, 세라믹 본체, 이 세라믹 본체의 두 단부에 배치된 외부 전극과 그 내부에 배치된 내부 전극을 포함하고, 세라믹 본체는 3~50중량%의 무기 유리와 0.1㎛ 보다 큰 입자 크기를 갖는 50~97중량%의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 상기 반도전성 또는 도전성 입자의 표면을 무기 유리 막의 층으로 덮고, 상기 무기 유리 막은 1마이크론 보다 작은 서브 마이크론 또는 나노미터의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 반도전성 또는 도전성 입자의 함유량은 무기 유리의 함유량 보다 20중량%가 적게 이루어지도록 한 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료 및 이를 이용한 저 용량 다층 칩 배리스터에 관한 것이다.The present invention relates to a low-capacity multilayer chip varistor, and more particularly, the low-capacitance multilayer chip varistor has a capacity of less than 0.5 pF at 1 MHz, has a resistance to thousands of times of shock of 8KV electrostatic shock, ceramic body, An external electrode disposed at two ends of the ceramic body and an internal electrode disposed therein, wherein the ceramic body has a 50 to 97 weight percent peninsula having an inorganic glass of 3 to 50 weight percent and a particle size larger than 0.1 µm. Comprising electrically conductive or conductive particles, covering the surface of the semiconductive or conductive particles with a layer of an inorganic glass film, wherein the inorganic glass film comprises submicron or nanometer semiconductive or conductive particles of less than 1 micron, and is semiconductive or Content of the conductive particles is less than 20% by weight of the content of the inorganic glass ceramic material for preventing electrical overload And a low capacity multilayer chip varistor using the same.

세라믹, 미세공 세라믹, 칩 배리스터 Ceramic, Microporous Ceramic, Chip Varistor

Description

전기적 과부하 방지용 세라믹 재료 및 이를 이용한 저 용량 다층 칩 배리스터{CERAMIC MATERIAL USED FOR PROTECTION AGAINST ELECTRICAL OVERSTRESS AND LOW-CAPACITANCE MULTILAYER CHIP VARISTOR USING THE SAME}Ceramic material for low electrical overload and low-capacity multilayer chip varistor using the same. {CERAMIC MATERIAL USED FOR PROTECTION AGAINST ELECTRICAL OVERSTRESS AND LOW-CAPACITANCE MULTILAYER CHIP VARISTOR USING THE SAME}

도 1은 본 발명의 하나의 바람직한 실시 예에 따른 저 용량 다층 칩 배리스터의 개략도이며,1 is a schematic diagram of a low capacity multilayer chip varistor according to one preferred embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 A영역에서의 저 용량 다층 칩 배리스터의 세라믹 본체의 개략적인 미세 구조도이다.FIG. 2 is a schematic microstructure diagram of a ceramic body of a low capacitance multilayer chip varistor in region A of FIG. 1.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10:저 용량 다층 칩 배리스터 11:세라믹 본체10: low capacity multilayer chip varistor 11: ceramic body

12:내부전극 13:외부전극12: internal electrode 13: external electrode

14, 16:도전성 입자 15:무기 유리막14, 16: conductive particles 15: inorganic glass film

본 발명은 저 용량 다층 칩 배리스터에 관한 것으로, 특히 1 MHz에서 0.5 pF 미만의 용량을 가지며, 전기적 과부하와 정전 쇼크를 억제하고 전자 회로를 보호하는 저 용량 다층 칩 배리스터에 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to low capacity multilayer chip varistors and, more particularly, to low capacity multilayer chip varistors having a capacity of less than 0.5 pF at 1 MHz, which suppresses electrical overload and electrostatic shock and protects electronic circuits.

전자 산업에서 동작 주파수는 커지고 크기는 작아지는 것이 추세이다. 따라서, 전기적 과부하로 인한 손상으로부터 IC를 보호하기 위한 배리스터의 이용에 대한 필요성이 고주파수의 어플리케이션에 더욱 요구되고 있다.In the electronics industry, there is a trend toward larger operating frequencies and smaller sizes. Thus, the need for the use of a varistor to protect the IC from damage due to electrical overload is increasingly required for high frequency applications.

종래의 배리스터는 주로 ZnO 또는 SrTiO3로 이루어지고, 산화물을 추가한 후 소결함으로써 완성된다. ZnO 배리스터를 예로 들면, 이는 ZnO 및 Bi, Sb, Si, Co, Mn, Cr 등의 산화물로 이루어진다. 1,000℃를 넘는 고온에서, Bi2O3 및 Co, Mn, Cr 등의 산화물은 그레인 경계 장벽 커패시터(grain boundary barrier capacitor)와 같은 미세 구조를 갖는 ZnO 입자들 사이에서 그레인 경계를 형성한다. 따라서, 이러한 재료로 이루어진 배리스터는 수십 pF 내지 수천 pF의 범위의 높은 용량을 갖는다. 이 재료가 다층 칩 배리스터에 사용되는 경우에도, 배리스터 용량은 1MHz에서 약 3 pF 내지 수백 pF의 범위 내에 있다. 고주파수용 회로에서, 보호를 제공하는 구성 요소의 용량이 3 pF을 초과하는 경우, 신호가 왜곡된다. 따라서 보호를 제공하는 상기의 구성 요소는 고주파수용 회로에 적합하지 않다.Conventional varistors mainly consist of ZnO or SrTiO 3 and are completed by adding an oxide and then sintering. Taking ZnO varistors as an example, these consist of ZnO and oxides such as Bi, Sb, Si, Co, Mn, Cr and the like. At high temperatures above 1,000 ° C., Bi 2 O 3 and oxides such as Co, Mn, Cr, etc., form grain boundaries between ZnO particles having a fine structure such as grain boundary barrier capacitors. Thus, varistors made of such materials have high capacities ranging from tens of pF to thousands of pF. Even when this material is used in multilayer chip varistors, the varistor capacity is in the range of about 3 pF to several hundred pF at 1 MHz. In high frequency circuits, the signal is distorted when the capacitance of the component providing protection exceeds 3 pF. Thus, the above components providing protection are not suitable for high frequency circuits.

마찬가지로, SrTiO3로 이루어지는 배리스터 구성 요소는 수천 pF을 넘는 용량을 가지며, 고주파수용 회로에는 적합하지 않다. 게다가, 전송 주파수가 높은 경우, 신호가 왜곡되는 것을 방지하기 위해서는 용량이 낮아져야 한다.Similarly, a varistor component made of SrTiO 3 has a capacity of over several thousand pF and is not suitable for high frequency circuits. In addition, when the transmission frequency is high, the capacity must be lowered to prevent the signal from being distorted.

미국 특허 제5,976,420호에는 칩 형 다층 배리스터가 개시되어 있는데, 이 배리스터는 낮은 용량과 높은 비선형 계수를 가지며, SiO2, Bi2O3, PbO, B2O3 및 ZnO 중에서 선택된 적어도 두 개의 산화물을 0.1 내지 20 mol%의 양으로 함유하고 있는 SiC로 주로 이루어지고, 톨루엔 및 결합제로 결합되고 볼밀을 사용하여 혼합시킴으로써 슬러리를 얻고, 그 후에 이 슬러리는 닥터 블레이드 공정(doctor blade process)을 이용함으로써 세라믹 그린 시트(ceramic green sheet)가 된다. 이 그린 시트의 표면에 페이스트가 인쇄되고 그 위에 내부 전극이 형성된다. 소정 개수의 세라믹 그린 시트가 적층되어 층으로 된 본체를 형성한다. 상기 층으로 된 본체는 일정한 압력으로 가압함으로써 접착된다. 그 압착된 그린 본체는 작은 크기의 칩으로 절단된다. 이 그린 칩을 700 내지 1,100℃ 범위의 온도에서 베이킹(baking)하여 정전 쇼크에 내성을 가지며, 서지(surge) 전압 억제 능력과 10 내지 20의 높은 비선형 계수를 가지는 세라믹 다층 칩 형 배리스터를 완성한다. 이 칩은 용량이 매우 높지는 않지만 3 pF보다 훨씬 큰 10 내지 40 pF 범위의 용량을 가지며, 이에 따라 고주파수용 회로에는 사용하기가 적합하지 않다. U.S. Patent No. 5,976,420 discloses a chip-type multilayer varistor, which has a low capacity and a high nonlinear coefficient, and which contains at least two oxides selected from SiO 2 , Bi 2 O 3 , PbO, B 2 O 3 and ZnO. Consisting mainly of SiC in an amount of 0.1 to 20 mol%, the slurry is obtained by combining with toluene and a binder and mixing using a ball mill, after which the slurry is obtained by using a doctor blade process. It becomes a ceramic green sheet. Paste is printed on the surface of this green sheet, and internal electrodes are formed thereon. A predetermined number of ceramic green sheets are stacked to form a layered body. The layered body is bonded by pressing at a constant pressure. The compressed green body is cut into chips of small size. The green chip is baked at a temperature in the range of 700 to 1,100 ° C. to resist electrostatic shock, thereby completing a ceramic multilayer chip varistor having a surge voltage suppression capability and a high nonlinear coefficient of 10 to 20. Although the chip is not very high in capacity, it has a capacity in the range of 10 to 40 pF, which is much higher than 3 pF, making it unsuitable for use in high frequency circuits.

미국 특허 제6,251,513호에는 보호를 제공하는 구성 요소가 개시되어 있다. 이 구성 요소의 재료는 10㎛ 미만의 입자 크기를 갖는 도전성 및 반도전성 입자를 포함하고, 이들은 중합체 절연 결합제와 혼합되어 페이스트형 재료가 된다. 좌와 우의 도전성 전극들은 절연 기판의 동일면에 인쇄되고 페이스트형 재료가 두 개의 도전성 전극 사이의 갭에 채워지고 그 후 베이킹된다. 비록 그 용량이 1MHz에서 0.25pF보다 작아도 그 구성 요소는 고주파수용 회로에 보호를 제공하는데 적합하다. 이 절연 재료는 중합체 재료로 이루어져 있는데, 이는 정전 쇼크 또는 서지 전기 과부하에 의해서 발생된 열이 중합체 재료를 탄화시키고 그 구성 요소는 도전성을 갖게 되고 전기 회로 또는 구성 요소의 보호 효과를 잃는 것을 의미한다. 따 라서, 이 구성 요소는 양호한 정전 쇼크 내성을 가지지 못하고 수명이 단축된다. 직접 접촉 8KV의 정전기가 인가된 경우 500회의 정전 쇼크 직후에 불량이 발생하는 문제점이 있다. U. S. Patent No. 6,251, 513 discloses a component that provides protection. The material of this component comprises conductive and semiconductive particles having a particle size of less than 10 μm, which are mixed with a polymer insulating binder to form a paste material. The left and right conductive electrodes are printed on the same side of the insulated substrate and the paste material is filled in the gap between the two conductive electrodes and then baked. Although its capacity is less than 0.25pF at 1MHz, the component is well suited to provide protection for high-frequency circuits. This insulating material consists of a polymeric material, which means that the heat generated by electrostatic shock or surge electrical overload carbonizes the polymeric material and the component becomes conductive and loses the protective effect of the electrical circuit or component. Thus, this component does not have good electrostatic shock resistance and shortens its life. When the static electricity of the direct contact 8KV is applied, there is a problem that a defect occurs immediately after 500 electrostatic shocks.

본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 1 MHz에서 0.5 pF 보다 작은 용량을 갖는 저 용량 다층 칩 배리스터를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to provide a low capacity multilayer chip varistor having a capacity of less than 0.5 pF at 1 MHz.

본 발명의 배리스터는 정전기에 대한 보호 효과와 서지 내성을 가지며, 특히 8KV 정전 쇼크의 수천 회를 견디는 내성에 대한 특성을 가지며, 수천 회의 정전 쇼크 이후에도 본래 기능을 유지하도록 함을 제1 목적으로 한다.The varistor of the present invention has a protective effect against static electricity and a surge resistance, and in particular, has the property of withstanding thousands of times of 8KV electrostatic shock, and maintains its original function even after thousands of electrostatic shocks.

본 발명의 다른 목적은 미세 구멍을 가진, 전기적 과부하에 대한 보호 재료를 제공하는 데에 있으며, 이 재료는 서지 전압과 정전 쇼크를 억제하기 위해 양 전극과 음 전극 사이에서 사용된다. 이 재료는 3~50 중량%의 무기 유리와 0.1 ㎛ 보다 큰 입자 크기를 갖는 50~97 중량%의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함한다. 상기의 구성 요소에서는, 반도전성 또는 도전성 입자의 표면을 무기 유리 막의 층이 덮는다. 이 무기 유리 막은 크기가 1 마이크론 보다 작은, 반도전성 또는 도전성의 서브 마이크론 또는 나노미터 입자로 이루어진다. 이 반도전성 또는 도전성 입자의 함유량은 무기 유리의 함유량보다 20 중량%가 적도록 한 것이다.It is another object of the present invention to provide a protective material against electrical overload, with micropores, which is used between positive and negative electrodes to suppress surge voltages and electrostatic shock. This material comprises 3-50% by weight inorganic glass and 50-97% by weight semiconductive or conductive particles having a particle size greater than 0.1 μm. In said component, the layer of an inorganic glass film | membrane covers the surface of semiconductive or electroconductive particle. This inorganic glass membrane consists of semiconductive or conductive submicron or nanometer particles of less than 1 micron in size. Content of this semiconductive or electroconductive particle is 20 weight% less than content of an inorganic glass.

본 발명의 또 다른 목적은 1MHz에서 0.5 pF보다 작은 용량을 갖는 저 용량 다층 칩 배리스터를 제공하는데 있다. 이 배리스터는 세라믹 본체, 상기 세라믹 본체의 두 단부에 배치된 한 쌍의 외부 전극과 그 내부에 배치된 수개의 내부 전극을 포함한다. 이 세라믹 본체는 미세 구멍을 가지며, 전기적 과부하에 대한 보호 재료로 이루어진다. 상기 재료는 3~50 중량%의 무기 유리와 0.1 ㎛ 보다 큰 입자 크기를 갖는 50~97 중량%의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함한다. 상기의 구성 요소에서는, 반도전성 또는 도전성 입자의 표면을 무기 유리막의 층이 덮는다. 이 무기 유리막은 크기가 1 마이크론 보다 작은 서브 마이크론 또는 나노 미터 입자의 반도전성 또는 도전성 재료로 이루어진다. 이 반도전성 또는 도전성 입자의 함유량은 무기 유리의 함유량 보다 20중량%가 적도록 한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a low capacity multilayer chip varistor having a capacity of less than 0.5 pF at 1 MHz. The varistor includes a ceramic body, a pair of external electrodes disposed at two ends of the ceramic body, and several internal electrodes disposed therein. This ceramic body has fine holes and is made of a protective material against electrical overload. The material comprises 3-50% by weight of inorganic glass and 50-97% by weight of semiconductive or conductive particles having a particle size of greater than 0.1 μm. In said component, the layer of an inorganic glass film | membrane covers the surface of semiconductive or electroconductive particle. This inorganic glass film consists of semi-conductive or conductive material of submicron or nanometer particles smaller than 1 micron in size. Content of this semiconductive or electroconductive particle is 20 weight% less than content of inorganic glass.

본 발명의 또 다른 목적은 저 용량 및 저 브레이크다운 전압의 다층 칩 배리스터를 제공하는데 있다. 이 배리스터의 트리거 전압은 세라믹 그린 시트의 두께, 세라믹 조밀체의 소결 온도, 그레인 경계의 유리층 두께, 도전성 또는 반도전성 입자의 크기 및 2차 분산용 나노미터 크기의 도전성 또는 반도전성 입자의 추가량에 의해 제어될 수 있도록 함을 목적으로 한 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료 및 이를 이용한 저 용량 다층 칩 배리스터를 제공할 수 있도록 한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a multilayer chip varistor of low capacitance and low breakdown voltage. The trigger voltage of this varistor is based on the thickness of the ceramic green sheet, the sintering temperature of the ceramic compact, the thickness of the glass layer at the grain boundary, the size of the conductive or semiconductive particles, and the amount of the conductive or semiconductive particles of nanometer size for secondary dispersion. The present invention provides a ceramic material for preventing electrical overload and a low-capacity multilayer chip varistor using the same.

이하 첨부 도면에 의거하며 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 하나의 바람직한 실시 예에 따른 저 용량 다층 칩 배리스터(10)는 다층 기술 공정에 의해서 만들어진다. 상기 배리스터(10)는 고온 소결 등을 포함하는 다층 세라믹 공정에 의해서 만들어지고, 세라믹 본체(11), 상기의 세라믹 본체(11)의 두 단부에 배치된 외부 전극(13) 및 그 내부 에 배치된 내부 전극(12)을 포함한다.As shown in FIG. 1, a low capacity multilayer chip varistor 10 according to one preferred embodiment of the present invention is made by a multilayer technology process. The varistor 10 is made by a multilayer ceramic process including high temperature sintering and the like, and has a ceramic body 11, an external electrode 13 disposed at two ends of the ceramic body 11, and disposed therein. Internal electrode 12 is included.

상기의 세라믹 본체(11)는 미세 구멍을 가지고, 전기적 과부하에 대한 보호 재료로 만들어지며 그 미세 구조가 도 2에 도시되어 있으며, 높은 구멍 비율을 갖는다. 본 예의 재료는 3~50 중량%의 무기 유리와 0.1 ㎛ 보다 큰 입자 크기를 갖는 50~97 중량%의 반도전성 또는 도전성 입자(14)를 포함한다. 내 고온성을 갖는 무기 유리막(15)의 층이 반도전성 또는 도전성 입자(14)의 표면을 덮는다. The ceramic body 11 has fine pores, is made of a protective material against electrical overload, and its fine structure is shown in FIG. 2, and has a high hole ratio. The material of this example comprises 3-50% by weight of inorganic glass and 50-97% by weight of semiconductive or conductive particles 14 having a particle size greater than 0.1 μm. The layer of the inorganic glass film 15 having high temperature resistance covers the surface of the semiconductive or conductive particles 14.

무기 유리막(15)은 2차 분산용의 1 마이크론 보다 작은, 서브 마이크론 또는 나노미터의 반도전성 또는 도전성 입자(16)를 더 포함한다. 반도전성 또는 도전성 입자의 함유량은 무기 유리의 함유량보다 20중량%가 적다.The inorganic glass film 15 further includes semiconductive or conductive particles 16 of submicron or nanometers smaller than 1 micron for secondary dispersion. Content of semiconductive or electroconductive particle is 20 weight% less than content of inorganic glass.

본 발명의 바람직한 실시 예에서의 저 용량 다층 칩 배리스터(10)에 따르면, 세라믹 본체(11)의 미세 구조는 높은 구멍 비율을 가지며, 1MHz에서 0.5 pF 미만의 저 용량을 갖는다.According to the low capacity multilayer chip varistor 10 in the preferred embodiment of the present invention, the microstructure of the ceramic body 11 has a high hole ratio and has a low capacity of less than 0.5 pF at 1 MHz.

또한, 본 발명의 바람직한 실시 예에서의 저 용량 다층 칩 배리스터(10)에 따르면, 정전기 쇼크 또는 서지 전기 과부하를 억제하는 경우 생성되는 열에 견디기 위한 세라믹 본체(11)의 반도전성 또는 도전성 입자(14) 중에 내 고온성을 가진 무기 유리막(15)이 있다. 무엇보다도, 상기의 무기 유리막(15)은 2차 분산용의 0.1 마이크론 또는 나노미터의 반도전성 또는 도전성 입자(16)를 포함하고, 입자(16) 간 갭이 매우 작아서, 비정상적인 전기 과부하가 발생한 경우 터널 효과가 일어난다. 결과적으로, 본 발명에 개시된 저 용량 다층 칩 배리스터(10)는 전기 과부하를 억제하고, 정전기 쇼크에 내성을 가지며, 수명 시간이 길다.Further, according to the low-capacity multilayer chip varistor 10 in the preferred embodiment of the present invention, the semiconductive or conductive particles 14 of the ceramic body 11 to withstand the heat generated when suppressing electrostatic shock or surge electric overload There is an inorganic glass film 15 having high temperature resistance. Above all, the inorganic glass film 15 contains 0.1 micron or nanometer semiconductive or conductive particles 16 for secondary dispersion, and the gap between the particles 16 is so small that abnormal electrical overload occurs. Tunnel effect occurs. As a result, the low capacity multilayer chip varistor 10 disclosed in the present invention suppresses electrical overload, is resistant to electrostatic shock, and has a long life time.

본 발명의 하나의 바람직한 실시 예에 따른 저 용량 다층 칩 배리스터(10)를 제조하는 공정은 다음의 단계를 포함한다.The process of manufacturing the low capacity multilayer chip varistor 10 according to one preferred embodiment of the present invention includes the following steps.

(1) 유리 성분으로 이루어진 용액에 나노-금속 입자 또는 반도전성 입자가 균일하게 분산시키기 위해 유리 성분으로 이루어지고, 졸-겔 공정에 의해서 만들어진 용액을 사용하는 단계이며, 여기서 유리 성분은 규산염 유리, 알루미노규산염 유리, 붕산염 유리, 인산염 유리, 납산염 유리 등을 함유한다. 상기의 나노 입자는 1,000 나노미터보다 작은 입자 크기를 갖고, Pt, Pd, Au, Ag, Ni, Cu 등을 함유하는 금속 도전성 입자 또는 ZnO, TiO2, SnO2, Si, Ge, SiC, Si-Ge 합금, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO3 및 BaTiO3 등을 함유하는 반도전성 입자를 포함한다.(1) a step of using a solution made of a glass component and made by a sol-gel process to uniformly disperse nano-metal particles or semiconductive particles in a solution composed of a glass component, wherein the glass component is silicate glass, Aluminosilicate glass, borate glass, phosphate glass, lead acid glass and the like. The nanoparticles have a particle size of less than 1,000 nanometers, and metal conductive particles containing Pt, Pd, Au, Ag, Ni, Cu, or the like or ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Si, Ge, SiC, Si— Semi-conductive particles containing Ge alloy, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO 3 , BaTiO 3 and the like.

(2) 분산된 금속 또는 반도전성 나노입자를 가진 상술한 용액에 반도전성 또는 도전성 입자를 균일하게 혼합하고, 적절한 온도(1,000℃보다 낮은 온도)에서 건조하고 소성한 후에 이들을 복합 재료 내로 밀링(milling)하는 단계이며, 여기서, 반도전성 또는 도전성 입자 크기는 0.1 ㎛ 보다 큰 서브 마이크론 또는 마이크론이다. 상기의 도전성 입자는 Pt, Pd, Au, Ag, Ni, Cu 등을 함유하고, 반도전성 입자는 또는 ZnO, TiO2, SnO2, Si, Ge, SiC, Si-Ge 합금, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO3 및 BaTiO3 등을 또는 상술한 반도전성 입자를 함유한다.(2) Uniformly mix the semiconductive or conductive particles with the above-mentioned solution with dispersed metal or semiconductive nanoparticles, dry and fire at an appropriate temperature (less than 1,000 ° C) and mill them into the composite material. Wherein the semiconductive or conductive particle size is submicron or micron greater than 0.1 μm. Conductive particles of the Pt, Pd, Au, Ag, Ni, containing Cu or the like, and semi-conductive particles or ZnO, TiO 2, SnO 2, Si, Ge, SiC, Si-Ge alloy, InSb, GaAs, InP , GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO 3 and BaTiO 3 or the like, or the semiconductive particles described above.

(3) 상기의 복합 재료에 결합제를 첨가함으로써 슬러리를 얻기 위한 종래 다층 기술을 이용하는 단계이며, 닥터 블레이드 공정은 10~50 ㎛의 두께의 세라믹 그린 시트를 형성하는데 사용된다. 그 다음 다층 칩 공정을 이용하여 두 층 또는 그 이상의 스태거(stagger)된 내부 전극을 인쇄한다. 상기의 내부 전극은 Pt, Pd, Au, Ag, Ni 등을 포함하는 금속을 포함한다. 상부와 하부 커버층으로 라미네이팅하고 절단한 후에, 700~1200℃에서 소결이 행해진다. 이 구성 요소의 두 단부에는 소결될 은 플레이스트(silver paste)를 부착하여 외부 전극을 형성한다. 이와 같이 하여 정전기와 서지를 억제하는 저 용량 다층 칩 배리스터가 완성된다. 또한, 외부 전극의 재료는 Ag, Cu, Ag-Pd 합금 등을 포함한다.(3) It is a step using the conventional multilayer technique for obtaining a slurry by adding a binder to the said composite material, and a doctor blade process is used to form the ceramic green sheet of thickness of 10-50 micrometers. The multilayer chip process is then used to print two or more staggered internal electrodes. The internal electrode includes a metal including Pt, Pd, Au, Ag, Ni, and the like. After laminating and cutting into the upper and lower cover layers, sintering is performed at 700 to 1200 ° C. At both ends of this component a silver paste to be sintered is attached to form an external electrode. In this way, a low-capacity multilayer chip varistor that suppresses static electricity and surges is completed. In addition, the material of the external electrode includes Ag, Cu, Ag-Pd alloy or the like.

상기 공정에 의해서 만들어진 본 발명의 바람직한 실시 예에서의 저 용량 다층 칩 배리스터는 저 용량과 저 브레이크다운 전압을 가지며, 그 용량이 0.5 pF보다 작을 경우에 8 KV 정전기 쇼크의 수천 회의 쇼크를 억제하며, 이에 따라 고주파수용 전자 회로를 보호하는데 사용될 수 있다.The low capacitance multilayer chip varistor in the preferred embodiment of the present invention made by the above process has a low capacitance and a low breakdown voltage, and suppresses thousands of shocks of 8 KV electrostatic shock when its capacity is less than 0.5 pF, It can thus be used to protect high frequency electronic circuits.

(바람직한 (desirable 실시예Example ))

이하, 본 발명에 따른 저 용량 다층 칩 배리스터의 바람직한 실시예들을 설명한다. 여기서 배리스터는 1MHz에서 0.5 pF의 용량을 가지고, 8 KV 정전 쇼크의 수천 회의 쇼크를 억제하고, 전기 과부하를 억제하고, 정전 쇼크를 억제하고, 고주파수용 전자 회로를 보호한다.Hereinafter, preferred embodiments of the low capacity multilayer chip varistor according to the present invention will be described. Here the varistor has a capacity of 0.5 pF at 1 MHz, suppressing thousands of shocks of 8 KV electrostatic shock, suppressing electrical overload, suppressing electrostatic shock, and protecting high frequency electronic circuits.

또한, 이하 바람직한 실시 예들은 다층 칩 배리스터를 예로 든 것이다. 그러나 본 발명에서의 공정은 디스크형 배리스터를 제조하는데도 사용될 수 있고, 또는 본 발명에 따른 재료는 과도 서지전압 또는 정전 쇼크를 억제하기 위해 임의의 두 개의 전극 사이에 배치하도록 사용될 수 있다.In addition, the following preferred embodiments take a multi-layer chip varistor as an example. However, the process in the present invention can also be used to make disc-shaped varistors, or the material according to the present invention can be used to place between any two electrodes to suppress transient surge voltages or electrostatic shock.

(    ( 실시예Example 1) One)

0.1~20 ㎛ 범위의 입자 크기를 갖는 SiC 분말과 0.01~2 ㎛ 범위의 입자 크기를 갖는 나노-금속 Pt를 졸-겔 공정에 의해서 만들어진 나노-규산염 유리로 이루어진 겔형 용액에 첨가하고 이 혼합된 용액을 잘 젓는다. 따라서, SiC 분말은 유리 성분을 함유하는 유기 막의 층으로 균일하게 둘러싸이게 된다. 표 1에 나타낸 바와 같이 SiC 분말, 나노-Pt 및 유리의 중량비에 따라 서로 다른 8개 샘플 용액이 얻어진다.SiC powder having a particle size in the range of 0.1 to 20 μm and nano-metal Pt having a particle size in the range of 0.01 to 2 μm are added to a gel-like solution consisting of nano-silicate glass made by the sol-gel process and mixed Stir well. Thus, the SiC powder is uniformly surrounded by the layer of the organic film containing the glass component. As shown in Table 1, eight different sample solutions were obtained depending on the weight ratio of SiC powder, nano-Pt and glass.

샘플Sample SiC (중량%)SiC (% by weight) Pt 입자 (중량%)Pt particles (% by weight) 유리 (중량%)Glass (wt%) 1One 100100 00 1010 22 100100 1One 1010 33 100100 00 1515 44 100100 1One 1515 55 100100 00 2020 66 100100 1One 2020 77 100100 00 4040 88 100100 1One 4040

표 1에 나타낸 혼합된 용액은 건조되어 분말이 되고 소성 오븐 내에서 700℃에서 소성됨으로써 유리막으로 도포된 SiC 분말이 된다.The mixed solution shown in Table 1 is dried to a powder and then fired at 700 ° C. in a baking oven to be a SiC powder coated with a glass film.

이 소성된 분말을 대략적으로 밀링한 후에 미세하게 밀링하고, 용액(톨루엔 또는 부탄올과 같은 용액), 결합제(폴리비닐 부티랄과 같은 결합제) 및 분산제를 볼밀(ball mill)에 함께 넣고 밀링하여 슬러리를 얻는다. 그 후 이 슬러리는 닥터 블레이드 공정을 이용함으로써 30㎛ 두께의 세라믹 그린 시트가 된다.The calcined powder is roughly milled and then milled finely, and the solution (a solution such as toluene or butanol), a binder (binder such as polyvinyl butyral) and a dispersant are put together in a ball mill and milled to obtain a slurry. Get This slurry is then turned into a ceramic green sheet having a thickness of 30 µm by using a doctor blade process.

표 1에 나타낸 것처럼, 이들 8 개 종류의 시트를 약 200㎛의 두께를 갖는 하부 커버가 되도록 적층하고 가압한다. 이 하부 커버 상에 내부 전극을 인쇄하고 건조한 후에, 30㎛의 두께를 갖는 박막 시트를 배치하고 다시 내부 전극을 인쇄한다. 이 내부 전극과 하부 층상의 내부 전극은 스태거 방식으로 구성 요소의 좌우 단부에 연결된다. 이 내부 전극의 재료는 Pt, Ag, Pd 또는 이들 금속 중 임의의 두 개의 합금을 포함한다.As shown in Table 1, these eight kinds of sheets were laminated and pressed to have a lower cover having a thickness of about 200 μm. After printing and drying the inner electrode on the lower cover, a thin film sheet having a thickness of 30 mu m is placed and the inner electrode is printed again. This inner electrode and the inner electrode on the lower layer are connected to the left and right ends of the component in a staggered manner. The material of this internal electrode comprises Pt, Ag, Pd or any two alloys of these metals.

이들 8개 종류의 시트를 약 200㎛의 두께를 갖는 상부 커버가 되도록 적층하고 가압한다. 상부 커버와 내부 전극을 가진 상술한 하부 커버를 함께 적층하고 가압하고나서 1.2 mm x 0.6 mm x 0.6 mm의 크기를 갖는 세라믹 시트 칩으로 절단한다. 상기의 세라믹 시트 칩을 소성 오븐에 배치하고 소성하며, 소성 온도는 약 800~1,000℃이다. 소성 후에 칩의 크기는 1.0 mm x 0.5 mm x 0.5 mm가 된다. 이 칩의 두 단부를 외부 전극 위에 대고 600~900℃에서 가열하여 부착시키면, 저 용량, 저 전압, 및 서지 또는 정전 억제 다층 칩 배리스터가 완성된다. These eight kinds of sheets are laminated and pressed to form an upper cover having a thickness of about 200 mu m. The above-described lower cover with the upper cover and the inner electrode are laminated and pressed together and then cut into ceramic sheet chips having a size of 1.2 mm x 0.6 mm x 0.6 mm. The ceramic sheet chip is placed in a baking oven and fired, and the firing temperature is about 800 to 1,000 ° C. After firing, the chip size is 1.0 mm x 0.5 mm x 0.5 mm. When the two ends of the chip are placed on an external electrode and heated at 600 to 900 ° C., a low capacitance, low voltage, and surge or static suppression multilayer chip varistor are completed.

다층 칩 배리스터의 브레이크다운 전압 및 8 KV 정전 검사 후의 브레이크다운 전압이 표 2에 나타나 있다.The breakdown voltages of the multilayer chip varistors and the breakdown voltages after the 8 KV blackout test are shown in Table 2.

샘플Sample 브레이크다운 전압 (V1mA)Breakdown Voltage (V1mA) 용량 (1MHz에서 pF)Capacity (pF at 1 MHz) 트리거 전압 (V)Trigger voltage (V) 정전쇼크의 1000회 쇼크 이후 브레이크다운 전압 변동률 (%)% Change in breakdown voltage after 1000 shocks of blackout shock 1One 6767 0.250.25 120120 -23.0-23.0 22 5454 0.280.28 110110 -15.1-15.1 33 110110 0.140.14 205205 -9.0-9.0 44 7575 0.120.12 154154 -7.2-7.2 55 234234 0.090.09 422422 -7.5-7.5 66 137137 0.080.08 257257 -6.0-6.0 77 415415 0.080.08 10321032 -11.4-11.4 88 343343 0.070.07 730730 -8.6-8.6

표 2에서 알 수 있는 바와 같이, 유리가 더 많이 함유될수록 브레이크다운 전압이 높아지고 용량이 작아진다. 이 현상은 유리의 높은 저항과 연관된다. 함유된 유리가 많은 경우, 그레인 경계 절연층이 두꺼워지고 따라서 다층 칩 배리스터는 브레이크다운 전압이 높아지고 용량이 작아진다.As can be seen from Table 2, the more glass is contained, the higher the breakdown voltage and the smaller the capacity. This phenomenon is associated with the high resistance of the glass. In the case of a large amount of glass contained, the grain boundary insulating layer becomes thick, so that the multilayer chip varistor has a high breakdown voltage and a small capacity.

또한, SiC 대 유리의 중량비가 100:15 내지 100:20가 되는 경우, 다층 칩 배리스터는 바람직한 정전기 방전(electro-static discharge, ESD)에 대한 내성을 갖는다. 유리가 작게 함유된 경우, 절연 저항이 충분하지 않아 1 mA에서의 브레이크다운 전압의 변동이 정전기 방전 이후의 다층 칩 배리스터에 대하여 10%를 넘게 된다. 따라서, 전기적 특성은 함유된 유리가 15 중량%를 넘는 경우에 양호하게 된다. 그러나, 함유된 유리가 20 중량%를 넘는 경우에는 그레인 경계가 두꺼워지기 때문에, 브레이크다운 전압과 트리거 전압이 지나치게 높아져(트리거 전압은 800V를 넘는다) 보호 구성 요소로서 적합하지 않다. 따라서, 유리 첨가량은 15 중량% 내지 20 중량%의 사이에서 제어되는 것이 바람직하다.In addition, when the weight ratio of SiC to glass is from 100: 15 to 100: 20, the multilayer chip varistor has a desirable resistance to electro-static discharge (ESD). If the glass is small, the insulation resistance is not sufficient, so that the breakdown voltage variation at 1 mA exceeds 10% for the multilayer chip varistor after electrostatic discharge. Thus, the electrical properties are good when the glass contained exceeds 15% by weight. However, when the contained glass is more than 20% by weight, the grain boundaries become thick, and the breakdown voltage and the trigger voltage become excessively high (the trigger voltage exceeds 800 V), making it unsuitable as a protective component. Therefore, the glass addition amount is preferably controlled between 15% and 20% by weight.

표 2에서 알 수 있는 바와 같이, 첨가된 유리에 대한 SiC의 비율과 무관하게, 첨가된 나노-금속 입자는 트리거 전압을 낮추고 정전 쇼크 이후 브레이크다운 전압의 변동을 개선하는 효과를 갖지만 용량은 상대적으로 높다.As can be seen from Table 2, irrespective of the ratio of SiC to glass added, the added nano-metal particles have the effect of lowering the trigger voltage and improving the variation of the breakdown voltage after electrostatic shock, but the capacity is relatively high.

표 2에서 알 수 있는 바와 같이, 함유된 유리가 10 중량% 내지 40 중량%인 경우, 다층 칩 배리스터의 용량이 0.5 pF보다 작다.As can be seen in Table 2, when the glass contained is 10% to 40% by weight, the capacity of the multilayer chip varistor is less than 0.5 pF.

(( 실시예Example 2) 2)

0.1~20㎛ 범위의 입자 크기를 갖는 ZnO 분말, Bi2O3, CoO 등과 같은 산화물과 0.01~2㎛ 범위의 입자 크기를 갖는 나노-금속 Pd를 졸-겔 공정에 의해서 만들어지고, 나노-규산염 유리로 이루어진 겔형 용액에 첨가하고 이 혼합된 용액을 잘 젖는다. 따라서, SiC 분말은 유리 성분을 함유하는 유기 막의 층으로 균일하게 둘러싸이게 된다. ZnO, Bi2O3, CoO, 나노-금속 Pd 입자 및 나노-유리의 중량비가 표 3에 나타나 있다.ZnO powders having a particle size in the range of 0.1-20 μm, oxides such as Bi 2 O 3 , CoO and the like, and nano-metal Pds having a particle size in the range of 0.01-2 μm are made by the sol-gel process, and nano-silicates It is added to a gelled solution made of glass and the mixed solution is well wetted. Thus, the SiC powder is uniformly surrounded by the layer of the organic film containing the glass component. The weight ratios of ZnO, Bi 2 O 3 , CoO, nano-metal Pd particles and nano-glass are shown in Table 3.

ZnOZnO Bi2O3 Bi 2 O 3 CoOCoO PdPd 유리Glass 중량 %weight % 100100 55 22 1One 2020

그 후, 실시예 1에서와 동일한 방식으로, 상기의 분말을 처리하면 다층 칩 배리스터가 된다. 이 구성 요소의 브레이크다운 전압과 8 KV 정전 쇼크 후의 브레이크다운 전압 변동, 용량이 표 4에 나타나 있다.Thereafter, the powder is treated in the same manner as in Example 1 to form a multilayer chip varistor. The breakdown voltage of this component, the breakdown voltage variation after 8 KV electrostatic shock, and the capacity are shown in Table 4.

시트 두께 (㎛)Sheet thickness (㎛) 브레이크다운 전압 (V1mA)Breakdown Voltage (V1mA) 용량 (1MHz에서 pF)Capacity (pF at 1 MHz) 트리거 전압 (V)Trigger voltage (V) 정전 쇼크의 1,000회의 쇼크 이후 브레이크다운 전압의 변동률 (%)% Change in breakdown voltage after 1,000 shocks of blackout shock 3030 206206 0.270.27 420420 1010

표 4는 ZnO 등과 같은 산화물을 반도전성 입자로서 취하여 본 발명의 공정을 사용한 경우, 저 용량 및 정전 억제 다층 칩 배리스터가 만들어질 수 있음을 나타낸다.Table 4 shows that low capacitance and static suppression multilayer chip varistors can be made when the process of the invention is taken with oxides such as ZnO and the like as semiconductive particles.

표 4는 또한 재료로서 ZnO을 사용하는 다층 칩 배리스터가 높은 트리거 전압을 갖는 것을 나타낸다. 트리거 전압을 낮추기 위해서는, 전극간 시트의 두께를 30 ㎛로부터 15 ㎛로 변경하고 그 결과는 표 5에 나타낸 바와 같다.Table 4 also shows that multilayer chip varistors using ZnO as the material have high trigger voltages. In order to lower the trigger voltage, the thickness of the inter-electrode sheet was changed from 30 µm to 15 µm and the results are shown in Table 5.

시트 두께 (㎛)Sheet thickness (㎛) 브레이크다운 전압 (V1mA)Breakdown Voltage (V1mA) 용량 (1MHz에서 pF )Capacity (pF at 1 MHz) 트리거 전압 (V)Trigger voltage (V) 정전 쇼크의 1000회의 쇼크 이후 브레이크다운 전압의 변동률 (%)% Change in breakdown voltage after 1000 shocks of blackout shock 1515 143143 0.430.43 257257 1515

표 4와 표 5의 결과를 비교하면, 더 얇은 시트가 사용되는 경우, 트리거 전압이 낮아지고 용량이 높아진다. 이 결과는 일반적인 다층 ZnO 배리스터와 유사하다. 따라서, 소정의 범위에서 시트의 두께를 조절하여 트리거 전압을 제어할 수 있다.Comparing the results of Table 4 and Table 5, when thinner sheets are used, the trigger voltage is lower and the capacity is higher. This result is similar to a general multilayer ZnO varistor. Therefore, it is possible to control the trigger voltage by adjusting the thickness of the sheet in a predetermined range.

(( 실시예Example 3) 3)

또한 2~7 ㎛ 범위의 입자 크기를 갖는 SiC 분말과 0.03~0.5 ㎛ 범위의 입자 크기를 갖는 나노-금속 Pt를 졸-겔 공정에 의해서 만들어진, 나노-규산염 유리로 이루어진, 겔형 용액에 첨가하고 이 혼합된 용액을 잘 젖는다. 따라서, SiC 분말은 유리 성분을 함유하는 유기막의 층으로 균일하게 둘러싸이게 된다. 그 다음, 제 1 바람직한 실시예와 동일한 방식으로, 다층 칩 배리스터가 완성된다. 이 다층 칩 배리스터의 전기 특성이 측정되어 표 6에 나타나 있다.In addition, SiC powder having a particle size in the range of 2 to 7 μm and nano-metal Pt having a particle size in the range of 0.03 to 0.5 μm are added to a gel-type solution made of nano-silicate glass made by a sol-gel process. Wet the mixed solution well. Thus, the SiC powder is uniformly surrounded by the layer of the organic film containing the glass component. Then, in the same manner as in the first preferred embodiment, the multilayer chip varistor is completed. The electrical properties of this multilayer chip varistor were measured and shown in Table 6.

2차 분산용 입자 크기 (㎛)Particle Size for Secondary Dispersion (μm) 브레이크다운 전압 (V1 mA)Breakdown Voltage (V1 mA) 용량 (1MHz에서 pF)Capacity (pF at 1 MHz) 트리거 전압 (V)Trigger voltage (V) SiC (30 ㎛ 시트)SiC (30 μm Sheet) 0.50.5 5858 0.260.26 124124 0.030.03 4545 0.290.29 6868

표 6에서 알 수 있는 바와 같이, 2차 분산용 입자 크기가 작은 경우 다층 칩 배리스터는 낮은 브레이크다운 전압을 갖지만, 용량이 상대적으로 크다.As can be seen from Table 6, multilayer chip varistors have a low breakdown voltage when the particle size for secondary dispersion is small, but the capacity is relatively large.

(( 실시예Example 4) 4)

실시예 1에서 만들어진 다층 칩 배리스터 시트는 850~1000℃에서 소결되고, 서로 다른 소결 조건의 효과가 표 7에 나타나 있다. 소결 온도가 높아지면, 브레이크다운 전압이 낮아지지만, 용량이 증가하고 누설 전류가 감소하는 것을 알 수 있다. 마찬가지로, 소결 시간이 증가하면, 브레이크다운 전압이 낮아진다.The multilayer chip varistor sheet made in Example 1 is sintered at 850 to 1000 ° C, and the effects of different sintering conditions are shown in Table 7. It can be seen that as the sintering temperature is increased, the breakdown voltage is lowered, but the capacity increases and the leakage current decreases. Likewise, as the sintering time increases, the breakdown voltage lowers.

소결 온도 (℃)Sintering Temperature (℃) 소결 시간 (hr)Sintering Time (hr) 브레이크다운 전압 (V1mA)Breakdown Voltage (V1mA) 용량 (1MHz에서 pF)Capacity (pF at 1 MHz) 누설 전류 (24 V에서 ㎂ )Leakage Current (㎂ at 24 V) 850850 22 265265 0.100.10 0.670.67 850850 55 228228 0.110.11 0.530.53 950950 22 185185 0.130.13 0.500.50

(( 실시예Example 5) 5)

상술한 제 1 바람직한 실시예와 동일한 방식에 따라 만들어진 다층 칩 배리스터 시트의 내부 전극의 중첩 영역을 변경하는 때에, 표 8에 나타낸 바와 같이 0.02pF의 배리스터가 완성된다. 따라서, 내부 전극의 중첩 영역의 크기는 실질적으로 용량을 조정하는데 사용될 수 있다.When changing the overlapping area of the internal electrodes of the multilayer chip varistor sheet made in the same manner as in the first preferred embodiment described above, a varistor of 0.02 pF is completed as shown in Table 8. Thus, the size of the overlapping region of the inner electrode can be used to substantially adjust the capacitance.

내부 전극의 중첩 영역(mm2)Overlap area of the inner electrode (mm 2 ) 0.120.12 0.060.06 0.030.03 용량 (1MHz에서 pF)Capacity (pF at 1 MHz) 0.120.12 0.070.07 0.030.03

상술한 실시예들에서 알 수 있는 바와 같이, 각종 파라미터를 조정한 후에, 본 발명에 따른 다층 칩 배리스터는 매우 낮은 용량을 가지게 되고, 특히 정전기 또는 과도 서지와 같은 전기적 과부하에 대하여 고주파수용 회로를 보호하는데 적용하기에 적합하다.As can be seen in the above-described embodiments, after adjusting various parameters, the multilayer chip varistor according to the present invention has a very low capacity, and particularly protects the high frequency circuit against electric overloads such as electrostatic or transient surges. It is suitable for application.

이와 같이 본 발명은 저 용량 다층 칩 배리스터에 따르면, 정전기 쇼크 또는 서지 전기 과부하를 억제하는 경우 생성되는 열에 견디기 위한 세라믹 본체의 반도 전성 또는 도전성 입자 중에 내 고온성을 가진 무기 유리막을 가지므로 무엇보다도, 2차 분산용의 0.1 마이크론 또는 나노미터의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 입자 간 갭이 매우 작아서, 비정상적인 전기 과부하가 발생한 경우 터널 효과가 있으며, 저 용량 다층 칩 배리스터는 전기 과부하를 억제하고, 정전기 쇼크에 내성을 가지며, 수명 시간이 길은 효과를 갖는다.As described above, according to the low-capacity multilayer chip varistor, the present invention has an inorganic glass film having high temperature resistance in the semiconductive or conductive particles of the ceramic body to withstand the heat generated when suppressing electrostatic shock or surge electric overload. It contains 0.1 micron or nanometer semiconducting or conductive particles for secondary dispersion, and the gap between particles is very small, which has a tunnel effect in case of abnormal electrical overload, low capacity multilayer chip varistors suppress electrical overload, It is resistant to electrostatic shock and has a long life time effect.

Claims (8)

삭제delete 전기적 과부하 방지용 미세 구멍을 가진 재료로서, 과도, 서지 전압과 정전 쇼크를 억제하기 위해 양 전극과 음 전극 사이에 사용되고, 3~50 중량%의 무기 유리와 0.1 마이크론 보다 큰 입자 크기를 갖는 50~97 중량%의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 상기 반도전성 또는 도전성 입자의 표면을 무기 유리막의 층으로 덮는, 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료에 있어서,A material with micropores for electrical overload protection, used between positive and negative electrodes to suppress transients, surge voltages and electrostatic shocks, 50-97 with inorganic glass of 3-50% by weight and particle size larger than 0.1 micron In a ceramic material for preventing electrical overload, comprising a semi-conductive or conductive particle by weight, and covering the surface of the semi-conductive or conductive particle with a layer of an inorganic glass film, 상기 무기 유리 막은 1마이크론 보다 작은 서브 마이크론 또는 나노미터의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 상기 반도전성 또는 도전성 입자의 함유 량은 무기 유리의 함유량 보다 20중량% 적은 것을 특징으로 하는 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료.The inorganic glass film comprises semi-conductive or conductive particles of less than 1 micron or nanometer, the content of the semi-conductive or conductive particles is less than 20% by weight of the content of the inorganic glass, the ceramic for preventing electrical overload material. 삭제delete 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 반도전성 입자는 ZnO, TiO2, SnO2, Si, Ge, SiC, Si-Ge 합금, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO3 및 BaTiO3 중 하나가 선택된 것이고, The semiconductive particles are one selected from ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Si, Ge, SiC, Si-Ge alloy, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO 3 and BaTiO 3 , 상기 도전성 입자는 Pt, Pd, W, Au, Al, Ag, Ni, Cu 및 이들의 합금 중 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료.The conductive particles are selected from Pt, Pd, W, Au, Al, Ag, Ni, Cu, and alloys thereof. 삭제delete 1 MHz에서 0.5 pF 보다 작은 용량을 갖는 저 용량 다층 칩 배리스터로서, 세라믹 본체, 상기 세라믹 본체의 두 단부에 배치된 외부 전극들과 그 내부에 배치된 내부 전극들을 포함하고, 상기 세라믹 본체는 3~50 중량%의 무기 유리와 0.1 ㎛보다 큰 입자 크기를 갖는 50~97 중량%의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 상기 반도전성 또는 도전성 입자의 표면을 무기 유리막의 층으로 덮는, 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료를 이용한 저 용량 다층 칩 배리스터에 있어서,A low capacitance multi-layer chip varistor having a capacitance of less than 0.5 pF at 1 MHz, comprising a ceramic body, external electrodes disposed at two ends of the ceramic body and internal electrodes disposed therein, wherein the ceramic body has three to An electrical overload ceramic comprising 50 wt% inorganic glass and 50 wt% to 97 wt% semiconductive or conductive particles having a particle size greater than 0.1 μm and covering the surface of the semiconductive or conductive particles with a layer of an inorganic glass film In low-capacity multilayer chip varistors using materials, 상기 무기 유리 막은 1 마이크론 보다 작은 서브 마이크론 또는 나노 미터의 반도전성 또는 도전성 입자를 포함하고, 상기 반도전성 또는 도전성 입자의 함유량은 상기 무기 유리의 함유량 보다 20 중량% 적은 것을 특징으로 하는 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료를 이용한 저 용량 다층 칩 배리스터.The inorganic glass film contains semiconducting or conductive particles of submicron or nanometer smaller than 1 micron, and the content of the semiconducting or conductive particles is 20 wt% less than the content of the inorganic glass. Low capacity multilayer chip varistors using materials. 삭제delete 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 반도전성 입자는 ZnO, TiO2, SnO2, Si, Ge, SiC, Si-Ge 합금, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO3 및 BaTiO3 중 하나가 선택된 것이고, The semiconductive particles are one selected from ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Si, Ge, SiC, Si-Ge alloy, InSb, GaAs, InP, GaP, ZnS, ZnSe, ZnTe, SrTiO 3 and BaTiO 3 , 상기 도전성 입자는 Pt, Pd, W, Au, Al, Ag, Ni, Cu 및 이들의 합금 중 하나 이상 선택된 것을 특징으로 하는 전기적 과부하 방지용 세라믹 재료를 이용한 저 용량 다층 칩 배리스터.The conductive particles are Pt, Pd, W, Au, Al, Ag, Ni, Cu and alloys of low capacity multilayer chip varistor using a ceramic material for preventing electrical overload, characterized in that at least one of them.
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