KR100890051B1 - Interface system between pattern apparatus and review station - Google Patents

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Abstract

본 발명은 패턴(pattern) 장비단과 리뷰 스테이션(review station) 장비단에 관한 것으로, 특히 두 장비단간의 쌍방향 공유 시스템(system)에 관한 것이다. 종래에는 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단이 하나의 세트(set)로 운영됨에도 불구하고, 각각 따로 떨어져 위치하여 1명의 작업자가 패턴 장비단 및 리뷰 스테이션 장비단을 동시에 다룰 수 없는 문제점이 있었다.

이를 해결하기 위해 본 발명에서는 리뷰 스테이션 장비단에 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템과 양방향 공유장치를 이용하여 연결된 제 2 구동 및 검사 시스템을 추가함으로써, 1명의 작업자가 한곳에서 패턴 장비 및 리뷰 스테이션 장치를 동시에 운용할 수 있게 할 수 있다. 따라서, 작업자에게 이동거리의 단축을 가져오고 작업자의 불편을 해소케 하며, 작업의 효율성 향상 및 생산력의 향상을 초래할 수 있게 된다.

Figure R1020020086109

패턴 장비단, 리뷰 스테이션(review station), 양방향 공유 장치, 구동 및 검사 시스템, 공유시스템, 공유터미널

The present invention relates to a pattern equipment stage and a review station equipment stage, and more particularly, to a two-way sharing system between two equipment stages. In the related art, although the pattern equipment stage and the review station equipment stage are operated as a set, there is a problem in that one operator cannot handle the pattern equipment stage and the review station equipment stage at the same time.

In order to solve this problem, in the present invention, by adding a second driving and inspection system connected to the driving and inspection system of the pattern equipment stage by using the bidirectional sharing device, the pattern equipment and the review station apparatus are operated by one operator. Can be operated simultaneously. Therefore, it is possible to bring a shortening of the moving distance to the worker, to solve the inconvenience of the worker, and to increase the efficiency of the work and the improvement of the productivity.

Figure R1020020086109

Pattern equipment stage, review station, bidirectional sharing device, driving and inspection system, sharing system, sharing terminal

Description

패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단간의 공유 시스템 {Interface system between pattern apparatus and review station} Interface system between pattern apparatus and review station             

도 1 은 일반적인 컬러액정표시장치를 도시한 분해 사시도 이고, 1 is an exploded perspective view showing a general color liquid crystal display device;

도 2는 패턴장비 및 이를 구동하고 패턴된 기판을 검사하는 시스템을 구비한 패턴 장비단을 개략적으로 보여주는 도면이고, 2 is a view schematically showing a pattern equipment stage having a pattern equipment and a system for driving the patterned substrate and

도 3은 도 2의 구동 및 검사 시스템의 구성을 상세히 설명한 도면이고, 3 is a view illustrating in detail the configuration of the driving and inspection system of FIG.

도 4는 리뷰 스테이션(review station) 장비와 이를 구동하고 기판을 검사하는 시스템을 구비한 리뷰 스테이션(review station) 장비단을 개략적으로 나타낸 것이고, FIG. 4 is a schematic illustration of a review station equipment stage having review station equipment and a system for driving the same and inspecting a substrate; FIG.

도 5는 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단을 서로 공유하는 본 발명의 특징을 개략적으로 나타낸 도면이고, 5 is a view schematically showing a feature of the present invention sharing a pattern equipment stage and a review station equipment stage with each other,

도 6는 리뷰 스테이션 장비단의 검사장비를 개략적으로 도면이다. 도 6 에서는 기판상에 형성된 박막패턴 및 화소들의 이미지(image)들이 검사자에 전달되는 과정을 묘사하고 있고, Figure 6 is a schematic diagram of the inspection equipment of the review station equipment stage. FIG. 6 illustrates a process in which images of thin film patterns and pixels formed on a substrate are transferred to an inspector.

도 7은 본 발명에 따라 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템과 리뷰 스테이션 장비단을 양방향 공유 시스템을 이용하여 연결하는 것을 구체적으로 보여주는 도면 이다.
7 is a view showing in detail the connection between the driving and inspection system of the pattern equipment stage and the review station equipment stage in accordance with the present invention using a bi-directional sharing system.

본 발명은 패턴(pattern) 장비단과 리뷰 스테이션(review station) 장비단에 관한 것으로, 특히 두 장비단간의 쌍방향 공유 시스템(system)에 관한 것이다. The present invention relates to a pattern equipment stage and a review station equipment stage, and more particularly, to a two-way sharing system between two equipment stages.

최근 정보화 시대를 맞이하여 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었고, 이에 해상도, 컬러표시, 화질 등에서 특히 우수한 액정표시장치(liquid crystal display)가 개발되어, 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다. Recently, the necessity of a flat panel display having excellent characteristics such as thinning, light weight, and low power consumption has emerged in the information age, and thus a liquid crystal display (liquid crystal display), which is particularly excellent in resolution, color display, and image quality, etc. ) Has been developed and actively applied to laptops and desktop monitors.

액정표시장치란 각각 일면에 화소전극을 가지는 하부 어레이기판(lower substrate)과 공통전극을 가지는 상부 공통전극기판(upper substrate)을 구비하여, 이들 전극을 서로 마주보도록 배열한 상태에서 그 사이에 액정을 충진하여 구성한다. 상기 충진된 액정은 광학적 이방성과 분극성질을 가지고 있어서, 서로 대향되는 두 전극에 전압을 인가하게 되면 발생된 전기장의 변화에 의해 구동하게 된다. 즉, 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 갖고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다. 이에 따라 달라지는 빛의 투과율을 통해 화상을 표현하는 장치가 액정표시장치인 것이다. A liquid crystal display device has a lower array substrate having a pixel electrode on one surface and an upper substrate having a common electrode on one surface thereof, and the liquid crystal is disposed therebetween with these electrodes arranged to face each other. Configure by filling. The filled liquid crystal has optical anisotropy and polarization, and is driven by a change in electric field generated when a voltage is applied to two electrodes facing each other. That is, since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has directivity in the arrangement of molecules, and the direction of the molecular arrangement can be controlled by artificially applying an electric field to the liquid crystal. Accordingly, the liquid crystal display device is an apparatus for displaying an image through light transmittance that varies accordingly.

따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 상기 액정의 분자 배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상정보를 표현할 수 있다.Accordingly, when the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light is refracted in the molecular arrangement direction of the liquid crystal due to optical anisotropy to express image information.

현재에는 박막 트랜지스터와 박막 트랜지스터에 연결된 화소전극이 행렬 방식으로 배열된 능동행렬 액정 표시장치(Active Matrix LCD : AM-LCD)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다. Currently, an active matrix liquid crystal display (AM-LCD) in which a thin film transistor and pixel electrodes connected to the thin film transistor are arranged in a matrix manner is attracting the most attention due to its excellent resolution and ability to implement video.

일반적으로 액정 표시장치를 구성하는 기본적인 부품인 액정 패널의 구조를 살펴보면 다음과 같다.In general, the structure of a liquid crystal panel, which is a basic component of a liquid crystal display, will be described.

도 1 은 일반적인 컬러액정표시장치를 도시한 분해 사시도 이다.1 is an exploded perspective view showing a general color liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 일반적인 액정표시장치(11)는 블랙매트릭스(16)를 포함하는 컬러필터(17)와 컬러필터 상에 투명한 공통전극(13)이 형성된 상부기판(15)과, 화소영역(P)과 화소영역 상에 화소전극(19)과 스위칭소자(T)를 포함한 어레이배선이 형성된 하부기판(21)으로 구성되며, 상기 상부기판(15)과 하부기판(21) 사이에는 액정(23)이 충진되어 있다.As shown in the drawing, a typical liquid crystal display 11 includes a color filter 17 including a black matrix 16, an upper substrate 15 having a transparent common electrode 13 formed on the color filter, and a pixel region P. As shown in FIG. ) And a lower substrate 21 having an array wiring including a pixel electrode 19 and a switching element T formed on the pixel region, and a liquid crystal 23 between the upper substrate 15 and the lower substrate 21. Is filled.

상기 하부기판(21)은 어레이 기판(array substrate)이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터를 교차하여 지나가는 게이트배선(25)과 데이터배선(27)이 형성된다.The lower substrate 21 is also called an array substrate, and the thin film transistor T, which is a switching element, is positioned in a matrix type, and the gate wiring 25 and data passing through the plurality of thin film transistors are crossed. The wiring 27 is formed.

이때, 상기 화소영역(P)은 상기 게이트배선(25)과 데이터배선(27)이 교차하여 정의되는 영역이며, 상기 화소영역(P)상에 형성된 화소전극(19)은 주로 투명전극으로 형성하여 구성한다. 일반적으로, 상기 화소전극(19)의 투명전극은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같은 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명도전성 금속을 사용한다. 이러한 구성을 갖는 액정표시장치(11)는 빛의 대부분을 외부의 자연광원 또는 인조광원을 사용하게 된다. In this case, the pixel area P is an area defined by the gate wiring 25 and the data wiring 27 intersecting, and the pixel electrode 19 formed on the pixel area P is mainly formed of a transparent electrode. Configure. In general, the transparent electrode of the pixel electrode 19 uses a transparent conductive metal having relatively high transmittance of light such as indium-tin-oxide (ITO). The liquid crystal display device 11 having such a configuration uses an external natural light or artificial light source for most of the light.

상기 도 1에서 설명한 각 구성요서를 상부기판 또는 하부기판에 구성하기 위해서는, 일반적으로 유리기판과 같은 곳에 리소그래피(lithography)공정을 이용하여 다수의 금속막 및 절연막을 박막(thin film) 형태로 형성하고 패턴(pattern)을 하는 공정을 거치게 된다. 다시 말해서, 유리기판과 같은 곳에 박막(thin film)을 형성하기 위해서는 증착(deposition), 노광(exposure), 현상(developing), 식각(etching), 세정(rinsing & cleaning)과 같은 여러 작업을 요구하고 있다. In order to configure each component described in FIG. 1 on the upper substrate or the lower substrate, a plurality of metal films and insulating films are generally formed in a thin film form by using a lithography process, such as a glass substrate. It goes through the process of patterning. In other words, forming a thin film on a glass substrate requires several operations such as deposition, exposure, developing, etching, and cleaning and cleaning. have.

이들 공정 중 식각과 같은 공정을 진행하는 패턴(pattern)장비는 원하는 박막이 원하는 형상으로 패턴할 뿐만 아니라, 더불어 박막패턴(thin film pattern)에 대하 검사를 실시하게 된다. Among these processes, a patterning device that performs a process such as etching not only patterns a desired thin film into a desired shape, but also inspects a thin film pattern.

도 2는 패턴장비 및 이를 구동하고 패턴된 기판을 검사하는 시스템을 구비한 패턴 장비단을 개략적으로 보여주는 도면이다. FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a pattern equipment stage having a pattern equipment and a system for driving the pattern apparatus and inspecting the patterned substrate.

도시한 바와 같이, 팬턴 장비단에는 실질적으로 패턴을 진행하는 장비와 이들 패턴장비를 구동하고 검사하는 시스템을 갖추고 있다. 구동 및 검사 시스템은 패턴 장비에 부속하며, 일체형으로 이루어져 있거나 패턴 장비에 내장되어 구성된다. 패턴 장비에는 프로세스 모듈(process module) 챔버(chamber)를 포함하고 있어, 25개의 기판이 장착된 카세트(cassette)별로 패턴을 진행할 수 있게 해준다. 이들 패턴 프로세스(pattern process)는 구동시스템(operation system)에 의해 작 동되며, 패턴의 양품 및 불량 판정은 검사시스템에 의해 진행된다. 도 2의 패턴 장비단 중 이들 구동 및 검사시스템의 구성요소를 도 3에 도시하였다.As shown in the figure, the phanton equipment stage is equipped with equipment for substantially patterning and a system for driving and inspecting these pattern equipment. The drive and inspection system is attached to the patterning equipment and may be integrated or built in the patterning equipment. The pattern equipment includes a process module chamber, which allows the pattern to be processed for each cassette on which 25 substrates are mounted. These pattern processes are operated by an operation system, and the determination of good or bad of a pattern is performed by an inspection system. Components of these driving and inspection systems of the pattern equipment stage of FIG. 2 are shown in FIG. 3.

도 3은 도 2의 구동 및 검사 시스템의 구성을 상세히 설명한 도면이다. 3 is a view for explaining the configuration of the drive and inspection system of FIG.

도시한 바와 같이 구동 및 검사 시스템에는 패턴장비 구동을 위한 시스템 컴퓨터(system computer)와 여기에 연결된 구동모니터(operation monitor)로 구성되며, 시스템 컴퓨터에는 컴퓨터 작동을 위한 키보드(keyboard)와 마우스(mouse)가 연결되어 있다. 작업자(operator)는 키보드와 마우스를 통해 구동모니터에 나타나는 패턴장비의 패턴법(recipe) 및 모드(mode)등을 선택하여 입력하고 패턴장비를 구동시킬 수 있다. As shown, the driving and inspection system includes a system computer for driving pattern equipment and an operation monitor connected thereto. The system computer includes a keyboard and a mouse for operating a computer. Is connected. The operator may select and input a pattern method and a mode of the pattern device appearing on the drive monitor through a keyboard and a mouse, and drive the pattern device.

또한, 구동 및 검사 시스템에는 검사모니터(review monitor)가 장착되어 있는데, 작업자는 이를 통해 불량여부를 판별할 수 있다. 구동 및 검사 시스템에서는 불량이 발생했을 경우 이에 대한 데이터(data)를 수집하여 컴퓨터 파일(computer file)형태로 작성하여 저장하며 궁긍적으로는 도 4에 도시한 리뷰 스테이션(review station)에 보내게 된다. In addition, the drive and inspection system is equipped with a review monitor, the operator can determine whether or not through this. In case of a failure, the driving and inspection system collects data about the defect, prepares and stores it in the form of a computer file, and ultimately sends it to the review station shown in FIG. .

도 4는 리뷰 스테이션(review station) 장비와 이를 구동하고 기판을 검사하는 시스템을 구비한 리뷰 스테이션(review station) 장비단을 개략적으로 나타낸 것이다. 4 is a schematic representation of a review station equipment stage having review station equipment and a system for driving it and inspecting the substrate.

도시한 바와 같이, 리뷰 스테이션(review station) 장비단은 불량이 발생한 기판을 검사할 수 있도록 상하좌우로 움직이는 X-Y 스테이지(stage) 및 불량이 난 박막패턴(thin film pattern) 이나 화소(pixel)를 작업자(operator)의 시각으로 관 찰할 수 있게 도와주는 광학장비를 포함하고 있다. 구동 및 검사 시스템은 리뷰 스테이션(review station) 장비에 부속하여 일체형으로 구성되거나 내장형으로 구성되어 있다. As shown, the review station equipment stage is equipped with an XY stage that moves up, down, left, and right, and a thin film pattern or pixel that is defective to inspect a substrate having a defect. It includes optics to help observe from the operator's perspective. The drive and inspection system is either integrally built or embedded in the review station equipment.

리뷰 스테이션(review station)장비는 패턴 장비단으로부터 이송되어온 기판을 검사하게 되는데, 이때 패턴 장비단의 구동 및 검사시스템에 의해 작성된 컴퓨터 파일을 이용한다. 즉, 리뷰 스테이션 장비단의 구동 및 검사 시스템에서, 구동 시스템은 X-Y 스테이지 및 광학장비를 구동하며 검사 시스템은 패턴 장비단으로부터 받은 컴퓨터 파일을 이용하여 구체적으로 기판을 검사한다. 구동 및 검사 시스템은 도 3의 구성과 동일한 구성을 가질 수도 있는데, 모니터와 컴퓨터 및 입력수단을 구비한다. The review station equipment inspects a substrate transferred from the pattern equipment stage, using a computer file created by the driving and inspection system of the pattern equipment stage. That is, in the drive and inspection system of the review station equipment stage, the drive system drives the X-Y stage and the optical equipment, and the inspection system specifically inspects the substrate using a computer file received from the pattern equipment stage. The drive and inspection system may have the same configuration as that of FIG. 3, including a monitor, a computer, and input means.

이상과 같은 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단은 하나의 세트(set)개념으로 묶여지며, 설치 시에도 하나의 쌍으로 설치된다. 그러나, 두 장비단은 독립적이며 서로 별개의 장비이기 때문에 설치 시(時) 위치상으로 서로 거리가 멀게 설치되거나 둘 사이에 다른 장비들이 위치하기도 한다. 이는 1명의 작업자(operator)가 두 장비단을 한꺼번에 다룰 수 없도록 하며 2명 이상의 작업 인력을 필요로 하게 만든다. 또한, 1명의 작업자가 두 장비를 다루게 되면, 두 장비사이를 번갈아 오가야 하는 문제가 생기고, 작업자에게 비효율성을 초래하고 작업시간의 비효율성 및 생산력의 저하를 초래한다.

The pattern equipment stage and the review station equipment stage as described above are bundled in a set concept, and are installed in a pair at the time of installation. However, because the two equipment stages are independent and separate equipments, they may be installed at a distance from each other at the time of installation, or different equipment may be located between them. This prevents one operator from handling both stages at the same time and requires more than two personnel. In addition, when one worker handles two pieces of equipment, there is a problem of switching between the two pieces of equipment, causing inefficiency to workers and inefficiency of work time and lowering of productivity.

따라서, 전술한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 1명의 작업자가 패턴 장비단 및 리뷰 스테이션 장비단을 동시에 다룰 수 있도록 하는데 목적이 있다. 이를 위해 두 장비단에 각각 부속되어 있는 구동 및 검사 시스템을 서로 연결하여 한곳에서 두 장비단을 한꺼번에 제어할 수 있도록 하는 것이다.
Therefore, in order to solve the above-mentioned problem, an object of the present invention is to allow one worker to simultaneously handle the pattern equipment stage and the review station equipment stage. To this end, the driving and inspection systems attached to the two equipment stages are connected to each other so that two equipment stages can be controlled at once from one place.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단간의 연결 시스템은 (가). 기판을 패턴하는 패턴장비와; ㄱ. 시스템 컴퓨터와;ㄴ. 상기 시스템 컴퓨터와 호스트케이블을 통해 연결되어 있는 공유시스템과; ㄷ. 상기 공유시스템과 연결되어 있고 상기 패턴장비의 구동을 보여주는 제 1 구동 모니터와; ㄹ. 상기 공유시스템과 연결되어 있고 상기 시스템 컴퓨터로의 입력 및 상기 패턴장비의 구동을 제어하기 위한 제 1 입력수단과; ㅁ. 상기 패턴장비에 의해 패턴된 기판의 검사화면을 보여주는 제 1 검사 모니터를 포함하며 (나). 상기 패턴장비를 구동하고 패턴된 기판을 검사하는 제 1 구동 및 검사 시스템을 포함하는 패턴 장비단과; (가). 원거리에서 상기 패턴장비를 구동하고 패턴된 기판을 검사할 수 있는 제 2 구동 및 검사 시스템과; (나). 상기 패턴장비로부터 이송된 기판을 상세 검사할 수 있는 리뷰 스테이션을 포함하는 리뷰 스테이션 장비단과; 상기 패턴 장비단과 상기 리뷰 스테이션 장비단을 연결하는 양방향 공유 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. The connection system between the pattern equipment stage and the review station equipment stage according to the present invention for achieving the above object is (a). Pattern equipment for patterning a substrate; A. A system computer; A sharing system connected to the system computer via a host cable; C. A first driving monitor connected to the sharing system and showing driving of the pattern equipment; D. First input means connected to the sharing system and controlling input of the system computer and driving of the pattern equipment; M. And a first inspection monitor showing an inspection screen of the substrate patterned by the patterning equipment (b). A pattern equipment stage including a first drive and inspection system for driving the pattern equipment and inspecting the patterned substrate; (end). A second drive and inspection system capable of driving the pattern equipment at a distance and inspecting the patterned substrate; (I). A review station equipment stage including a review station capable of inspecting the substrate transferred from the pattern equipment in detail; And a bidirectional sharing device connecting the pattern equipment stage and the review station equipment stage.                     

상기 제 1 입력수단은 제 1 키보드 및 제 1 마우스를 포함하며, 상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 공유시스템과 상기 공유케이블을 통해 연결되어 있는 공유터미널을 포함하는 것을 특징으로 한다. The first input means includes a first keyboard and a first mouse, and the second driving and inspection system includes a sharing terminal connected to the sharing system through the sharing cable.

상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 공유터미널과 연결되어 있고 상기 공유케이블과 상기 공유시스템 및 상기 호스트케이블을 통해 상기 시스템 컴퓨터로의 입력 및 상기 패턴장비의 구동을 제어하기 위한 제 2 입력수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 제 2 입력수단은 제 2 키보드 및 제 2 마우스를 포함하는 것을 특징으로 한다. The second drive and inspection system is connected to the shared terminal and includes second input means for controlling the input of the system computer and the input of the pattern equipment through the shared cable, the shared system and the host cable. Characterized in that. The second input means may include a second keyboard and a second mouse.

상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 공유터미널에 연결되어 있고 상기 제 1 구동 모니터와 같은 화면 및 다른 화면을 표시하는 제 2 구동 모니터를 포함하는 것을 특징으로한다. 또한, 상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 제 1 검사 모니터와 화상케이블로 연결되어 있어서 상기 제 1 검사 모니터에 표시되는 화면을 실시간으로 나타내는 제 2 검사 모니터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 양방향 공유 장치는 상기 공유시스템과 상기 공유케이블과 상기 공유터미널과 상기 화상케이블을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 화상케이블은 초고속 화상전송이 가능한 것을 특징으로 한다. The second drive and inspection system is characterized in that it comprises a second drive monitor connected to the shared terminal and displaying the same screen and the other screen as the first drive monitor. The second driving and inspection system may include a second inspection monitor connected to the first inspection monitor through an image cable and displaying a screen displayed on the first inspection monitor in real time. The bidirectional sharing apparatus may include the sharing system, the sharing cable, the sharing terminal, and the image cable. The image cable is characterized in that ultra-fast image transmission is possible.

상기 리뷰 스테이션 장비단은 패턴 장비단으로부터 받은 기판을 지지하는 X-Y 스테이지와; 상기 기판의 박막패턴을 투영하는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈에 의해 투영된 영상을 전달받아 촬영하여 모니터에 영상신호를 전달하는 CCD 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. The review station equipment stage includes an X-Y stage for supporting a substrate received from the pattern equipment stage; An objective lens for projecting the thin film pattern of the substrate; It characterized in that it comprises a CCD camera for receiving and projecting the image projected by the objective lens to transfer the image signal to the monitor.                     

상기 X-Y 스테이지는 구동장치에 의해 상하좌우(X-축 및/또는 Y-축)로 움직이며, 상기 CCD 카메라는 상기 대물렌즈로부터 들어온 빛 에너지를 전기적 신호로 변환하는 것을 특징으로 한다. 상기 대물렌즈는 5배(5X), 10배(10X), 20배(20X), 50배(50X) 및 100배(100X)의 배율을 가지고 있는 것을 특징으로 한다. The X-Y stage is moved up, down, left and right (X-axis and / or Y-axis) by a driving device, and the CCD camera is characterized by converting light energy from the objective lens into an electrical signal. The objective lens has a magnification of 5 times (5X), 10 times (10X), 20 times (20X), 50 times (50X), and 100 times (100X).

상기 제 1 구동 및 검사 시스템은 상기 패턴된 기판의 불량의 판독 및 이에 대한 데이터(data)를 수집하는 역할을 수행하며, 상기 리뷰 스테이션 장비단은 상기 패턴 장비단으로부터 수집된 상기 데이터(data)를 이용하여 불량이 발생한 기판에 대한 정확한 검사를 실시하는 것을 특징으로 한다. 상기 패턴 장비단과 상기 리뷰 스테이션 장비단 사이에 상기 데이터(data)의 전송은 네트워크(network) 방식인 LAN(Local Area Network)을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 한다. The first driving and inspection system reads the defects of the patterned substrate and collects data on them, and the review station equipment stage collects the data collected from the pattern equipment stage. It is characterized by performing an accurate inspection on the substrate in which the defect occurred. The data is transmitted between the pattern equipment stage and the review station equipment stage through a local area network (LAN).

본 발명에서는 패턴(pattern) 장비단과 리뷰 스테이션(review station) 장비단은 양방향 공유 장치(operation interface unit)를 이용하여 두 장비단을 1명의 작업자가 운용할 수 있게 하는데 그 특징이 있다. In the present invention, the pattern equipment stage and the review station equipment stage have a feature that allows one operator to operate two equipment stages using a bidirectional operation interface unit.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단을 서로 공유하는 본 발명의 특징을 개략적으로 나타낸 도면이다. 5 is a view schematically showing a feature of the present invention for sharing the pattern equipment stage and the review station equipment stage with each other.

도시한 바와 같이, 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단은 각각 별개의 장소에 거리를 두고 위할 수 있다. 그러므로 하나의 세트(set)개념으로 작동하는 두 장비는 설치장소의 제약을 받지 않을 수 있으며, 작업장의 공간활용 측면에서도 유리하다. As shown, the pattern equipment stage and the review station equipment stage may be located at a separate location from each other. Therefore, two equipments operating in a single set concept may not be constrained by the installation location, and are advantageous in terms of space utilization of the workplace.                     

본 발명에서는, 패턴 장비단과 스테이션 장비단을 양방향 공유 장치(operation interface unit)를 통해 서로 데이터를 공유할 수 있도록 한다. 양방향 공유장치의 구성은 컴퓨터 장치에 연결된 LAN(local area network)장비 일수도 있으며, 두 장비단을 직접 케이블(cable)로 연결할 수도 있다. In the present invention, the pattern equipment end and the station equipment end can share data with each other through an operation interface unit (operation interface unit). The configuration of the bidirectional sharing device may be a local area network (LAN) device connected to a computer device, or the two device ends may be directly connected by a cable.

패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단을 연결하는데 있어서, 패턴 장비단의 기본적 구성요소들은 변화가 없으며, 리뷰 스테이션 장비단의 구동 및 검사 시스템에 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템을 직접 연결하는 방법을 택할 수도 있다. 또한, 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템과 양방향 공유 장치를 통해 연결된 구동 및 검사 시스템을 리뷰 스테이션 장비단에 추가적으로 설치 할 수 있다. 그러므로 작업자은 리뷰 스테이션 장비단을 구동하면서 동시에 패턴 장비단을 구동할 수 있을 뿐만 아니라, 패턴 장비단에서도 패턴 장비단 만을 별도로 운용할 수도 있게 된다. In connecting the pattern equipment stage and the review station equipment stage, the basic components of the pattern equipment stage remain unchanged, and a method of directly connecting the driving and inspection system of the pattern equipment stage to the driving and inspection system of the review station equipment stage may be selected. have. In addition, the driving and inspection system connected to the driving and inspection system of the pattern equipment stage can be additionally installed in the review station equipment stage. Therefore, the operator can not only drive the pattern equipment stage while driving the review station equipment stage, but also separately operate the pattern equipment stage in the pattern equipment stage.

상기와 같은 구성을 이룸으로서, 본 발명에서는 1명의 작업자만으로도 패턴장비단 및 리뷰 스테이션 장비단를 운용할 수 있게 된다. 리뷰 스테이션(review station) 장비단은 불량이 발생한 기판을 검사할 수 있도록 상하좌우로 움직이는 X-Y 스테이지(stage) 및 불량이 난 박막패턴(thin film pattern) 이나 화소(pixel)를 작업자(operator)의 시각으로 관찰할 수 있게 도와주는 광학장비를 포함하고 있다. 이에 대해 도 6를 참조하여 설명하도록 한다. By accomplishing the above configuration, in the present invention, only one operator can operate the pattern equipment stage and the review station equipment stage. The review station equipment stage moves the XY stage up, down, left, and right and the thin film pattern or pixel that is defective to inspect the defective substrate. It includes optics to help you observe. This will be described with reference to FIG. 6.

도 6는 리뷰 스테이션 장비단의 검사장비를 개략적으로 도면이다. 도 6 에서는 기판상에 형성된 박막패턴 및 화소들의 이미지(image)들이 검사자에 전달되는 과정을 묘사하고 있다. Figure 6 is a schematic diagram of the inspection equipment of the review station equipment stage. FIG. 6 illustrates a process of transferring images of thin film patterns and pixels formed on a substrate to an inspector.

도시한 바와 같이, 결함 측정장비는 박막패턴(thin film pattern)이 형성되어 있는 기판(102)을 고정하고 상하좌우(X-축 및/또는 Y-축)로 움직일 수 있게 되어 있는 X-Y 스테이지(stage)(104)를 포함하고 있으며, 기판의 상부에는 기판에 형성된 박막패턴을 투영하여 확대할 수 있는 대물렌즈(lens)(106)가 형성되어 있다. 상기 대물렌즈(106)는 박막패턴을 확대할 수 있도록 배율을 가지고 있다. 즉, 대물렌즈(106)는 5배(5X), 10배(10X), 20배(20X), 50배(50X) 및 100배(100X)의 배율을 가지고 있어서 불량이 난 부분을 현미경 원리에 의해 확대할 수 있다. As shown in the drawing, the defect measuring equipment fixes an substrate 102 on which a thin film pattern is formed, and an XY stage capable of moving up, down, left, and right (X-axis and / or Y-axis). ), And an objective lens 106 is formed on the substrate to enlarge and project the thin film pattern formed on the substrate. The objective lens 106 has a magnification so that the thin film pattern can be enlarged. That is, the objective lens 106 has a magnification of 5 times (5X), 10 times (10X), 20 times (20X), 50 times (50X), and 100 times (100X), so that the defective part is determined by the microscope principle. It can be enlarged by.

상기 대물렌즈(106)에 의해 투영된 영상(image)은 CCD 카메라(charge-coupled device camera)(108)에 전달되고 검사 모니터(review monitor)에 전송되어, 작업자가 불량이 난 부분을 볼 수 있게 된다. 다시 말해서, 기판(102)의 표면은 대물렌즈(106)에 의해 확대되고 CCD 카메라(108)에 의해 촬영되어 리뷰 스테이션 장비단의 검사 모니터에 나타나게 되는데, 작업자(또는 검사자)는 모티터에 투영된 영상을 보고 화소에 형성된 박막패턴의 불량을 검사하게 된다. The image projected by the objective lens 106 is transferred to a charge-coupled device camera 108 and sent to a review monitor so that the operator can see the defective part. do. In other words, the surface of the substrate 102 is magnified by the objective lens 106 and photographed by the CCD camera 108 to appear on the inspection monitor of the review station equipment stage, where the operator (or inspector) is projected onto the monitor. The image is inspected for defects in the thin film pattern formed in the pixel.

CCD 카메라(108)는 내부에는 초점(focus) 조절을 위한 렌즈 및 전자 장비를 내장하고 있다. CCD는 Charge Coupled Device의 약어로서 전하결합소자 혹은 고체화상소자로 불리며, 렌즈를 통해 들어온 빛 에너지를 전기적인 신호(0과 1의 디지털 데이터)로 변환하는 집적회로가 내장된 이미지 센서이다. 빛의 세기에 따라 전하의 양이 달라져 빛의 양을 검출할 수 있게 된다. 즉 빛의 명암만을 판단할 수 있으며 컬러 정보는 검출해내지 못한다. CCD는 빛의 강도의 비율에 따라 반응하는 트랜지스터가 일정하게 배열되어 있는 장치로 각각의 트랜지스터의 정보는 한데 모여 전체적인 하나의 이미지를 만든다. 화소란 이미지를 인식할 수 있는 CCD내부의 최소 개체 단위(포토 다이오드, photo diode)를 말하며, 그 수가 많을수록 더 정확하게 이미지를 인식할 수 있다. The CCD camera 108 has a lens and electronic equipment for focusing therein. CCD is an abbreviation of Charge Coupled Device, called Charge Coupled Device or Solid State Image Device, and is an image sensor with integrated circuit that converts light energy input through lens into electrical signal (digital data of 0 and 1). The amount of charge varies depending on the intensity of the light, so that the amount of light can be detected. In other words, only the contrast of light can be determined, and color information cannot be detected. CCD is a device in which transistors are constantly arranged according to the ratio of light intensity. The information of each transistor is gathered together to make a whole image. The pixel is a minimum individual unit (photo diode) inside the CCD capable of recognizing an image, and the larger the number, the more accurately the image can be recognized.

위 도 6에 도시한 리뷰 스테이션 장비단의 검사 장비는 패턴 장비단에서도 쓰일 수 있는데, 패턴 장비단에서는 다수의 거울(mirror)을 이용하여 기판표면의 이미지(image)가 CCD 카메라까지 전달되게 할 수 있다. 패턴 장비단의 검사 장치는 불량의 판독 및 이에 대한 데이터를 수집하는 역할을 하며, 리뷰 스테이션 장비단의 검사장비는 패턴 장비단으로부터 수집된 데이터(data)를 이용하여 이들 불량이 발생한 기판에 대한 정확한 검사를 실시한다. 다시 말해서, 리뷰 스테이션(review station)장비는 패턴 장비단으로부터 이송되어온 기판을 검사하게 되는데, 이때 패턴 장비단의 구동 및 검사시스템에 의해 작성된 컴퓨터 파일을 이용한다. 데이터의 전송은 네트워크(network) 방식인 LAN(Local Area Network)을 통해서 패턴 장비단으로부터 리뷰 스테이션 장비단에 전송된다. The inspection equipment of the review station equipment stage shown in FIG. 6 may also be used in the pattern equipment stage. In the pattern equipment stage, images of the substrate surface may be transferred to the CCD camera by using a plurality of mirrors. have. The inspection equipment of the pattern equipment stage is responsible for reading defects and collecting data on them, and the inspection equipment of the review station equipment stage uses the data collected from the pattern equipment stage to accurately identify the substrates on which these defects have occurred. Carry out an inspection. In other words, the review station equipment inspects a substrate transferred from the pattern equipment stage, using a computer file created by the driving and inspection system of the pattern equipment stage. The data is transmitted from the pattern equipment end to the review station equipment end through a LAN (Local Area Network).

도 7은 본 발명에 따라 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템과 리뷰 스테이션 장비단을 양방향 공유 시스템을 이용하여 연결하는 것을 구체적으로 보여주는 도면이다. 7 is a view showing in detail the connection between the driving and inspection system of the pattern equipment stage and the review station equipment stage in accordance with the present invention using a bi-directional sharing system.

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템에는 패턴장비 구동을 위한 시스템 컴퓨터(system computer)와, 리뷰 스테이션 장비단과의 양방향 공유를 위해 공유 시스템(interface system)이 시스템 컴퓨터에 호스트 케이브(host cable)을 통해 연결되어 있다. 공유 시스템에는 패턴장비의 제어의 용이 및 제어상태 표시등을 작업자에게 보여주기 위해 제 1 구동모니터(first operation monitor)가 연결되어 있으며, 시스템 컴퓨터 작동을 위한 제 1 키보드(first keyboard)와 제 1 마우스(first mouse)가 연결되어 있다. 제 1 검사 모니터(first review monitor)는 패턴 장비단의 검사장치에 설치된 카메라에 연결되어 있어서, 불량요소가 발견되었을 때 이를 화면에 표시하는 기능을 한다. As shown, the system for driving and inspecting the pattern equipment stage according to the present invention includes a system computer for driving the pattern equipment and an interface system for bidirectional sharing with the review station equipment stage. It is connected via a host cable. The shared system has a first operation monitor connected to the operator to show the control of the pattern equipment and control status indicators. The first keyboard and the first mouse for operating the system computer are provided. first mouse) is connected. First review monitor (first review monitor) is connected to the camera installed in the inspection device of the pattern equipment stage, and serves to display a screen when a defect is found.

도 7에 도시한 본 발명에 따른 리뷰 스테이션 장비단에는 종래와 같은 리뷰스테이션 외에 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템과 연결되어 있은 별도의 제 2 구동 및 검사 시스템이 추가되어 있다. 추가된 제 2 구동 및 검사 시스템에는 패턴 장비단의 공유시스템과 공유케이블을 통해 연결되어 있는 공유터미널(interface terminal)이 위치하고 있다. 이 공유터미널에는 패턴 장비단의 제 1 구동 모니터와 같은 역할을 하는 제 2 구동 모니터(second operation monitor)가 연결되어 있다. 제 2 구동 모니터는 제 1 구동 모니터에 표시하는 화면과 같은 화면을 표시할 수 있으며, 필요에 따라서는 공유터미널 및 공유시스템을 통해 패턴 장비단의 시스템 컴퓨터와 연결하여 제 1 구동 모니터와 다른 화면을 표시할 수도 있다. The review station equipment stage according to the present invention shown in FIG. 7 includes a second drive and inspection system which is connected to the driving and inspection system of the pattern equipment stage in addition to the review station as in the related art. In the second drive and inspection system added, a shared terminal connected to a shared system of the pattern equipment stage and a shared cable is located. A second operation monitor is connected to the sharing terminal, which serves as a first driving monitor of the pattern equipment stage. The second driving monitor may display a screen such as a screen displayed on the first driving monitor, and if necessary, the second driving monitor may be connected to the system computer of the pattern equipment through a sharing terminal and a sharing system to display a different screen from the first driving monitor. Can also be displayed.

또한, 공유터미널에는 제 2 키보드 및 제 2 마우스가 연결되어 있어서, 패턴 장비를 구동 및 제어 할 수 있게 한다. 즉, 작업자는 패턴 장비단에 위치하지 않더라도 리뷰 스테이션에서 리뷰 스테이션 장비를 운용하면서, 동시에 제 2 구동 모니터를 보면서 제 2 키보드와 제 2 마우스를 이용하여 패턴 장비를 원거리에서도 운용할 수 있게 되는 것이다. 작업자는 키보드와 마우스를 통해 제 2 구동모니터 에 나타나는 패턴장비의 패턴법(recipe) 및 모드(mode)등을 선택하여 입력하고 패턴장비를 구동시킬 수 있다. In addition, a second keyboard and a second mouse are connected to the sharing terminal, so that the pattern equipment can be driven and controlled. That is, even if the operator is not located in the pattern equipment stage, while operating the review station equipment in the review station, at the same time while watching the second driving monitor using the second keyboard and the second mouse can operate the pattern equipment from a long distance. The operator can select and input a pattern method and a mode of the pattern device appearing on the second drive monitor through a keyboard and a mouse, and drive the pattern device.

또한, 리뷰 스테이션 장비단에 추가된 제 2 검사 모니터는 제 1 검사 모니터와 화상케이블을 통해 연결되어 있다. 화상 케이블은 초고속 화상전송이 가능하며, 제 1 검사 모니터에 나타나 화상을 제 2 검사 모니터에 실시간으로 전달하여 준다. 그러므로 작업자는 리뷰 스테이션에 위치하였음에도 불구하고 패턴 장비단에서 보여주는 검사화면을 볼 수 있고, 리뷰 스테이션에서도 패턴 장비단에서 발생하는 불량여부를 검사 및 판별할 수 있는 것이다. In addition, the second inspection monitor added to the review station equipment stage is connected to the first inspection monitor through an image cable. The image cable is capable of ultra-fast image transmission, which appears on the first inspection monitor and delivers the image to the second inspection monitor in real time. Therefore, even though the operator is located in the review station, the operator can see the inspection screen shown by the pattern equipment stage, and the review station can inspect and determine whether the defect occurs in the pattern equipment stage.

패턴 장비단에서 불량이 발생하였을 경우 이에 대한 데이터(data)는 시스템 컴퓨터가 수집하고 컴퓨터 파일형태로 작성/저장되며, 네트워크(network) 방식인 LAN(Local Area Network)을 통해서 리뷰 스테이션 장비단에 전송되어 지며 이 자료는 리뷰 스테이션에 의해 분석되어 활용된다. 작업자는 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단을 왕복하지 않고도 원거리에서 데이터의 수집, 분석 활용이 가능하게 되는 것이다. When a defect occurs in the pattern equipment stage, data about this data is collected by the system computer, created and stored in the form of a computer file, and transmitted to the review station equipment stage through a local area network (LAN), which is a network method. This data is analyzed and used by the review station. Operators will be able to collect and analyze data from a distance without having to travel back and forth between pattern equipment and review station equipment.

한편, 패턴 장비단으로부터 리뷰 스테이션 장비단으로 기판의 이송은 불량이 발생한 기판만을 전송 받을 수도 있고, 샘플링(sampling)검사처럼 특정의 기판집단 또는 카세트(cassette)별 모집단을 채취하여 리뷰 스테이션에서 불량검사를 진행 할 수도 있다. On the other hand, the transfer of the substrate from the pattern equipment stage to the review station equipment stage may receive only the substrate on which the defect has occurred, or a defect inspection at the review station by collecting a specific substrate group or a population of cassettes like a sampling test. You can also proceed.

이상과 같이 본 발명에서는 리뷰 스테이션 장비단에 패턴 장비단의 구동 및 검사 시스템과 양방향 공유장치를 이용하여 연결된 제 2 구동 및 검사 시스템을 추 가한다. 그러므로 작업자는 한곳에서 패턴 장비 및 리뷰 스테이션 장치를 한곳에서 동시에 운용할 수 있게 되는 것이다. As described above, the present invention adds a second driving and inspection system connected to the review station equipment stage by using the driving and inspection system of the pattern equipment stage and the bidirectional sharing apparatus. Therefore, the operator can operate the pattern equipment and the review station apparatus in one place at the same time.

또한, 본 발명에서 도 7에 나타난 호스트케이블과 공유케이블 및 화상케이블의 길이 및 크기는 전송되는 데이터 및 화상데이터의 크기와 패턴 장비단과 리뷰스테이션 장비단과의 거리 등을 고려하여 화경에 맞게 제작된다.
In addition, in the present invention, the length and size of the host cable, the shared cable, and the image cable shown in FIG. 7 are manufactured according to the landscape in consideration of the size of the transmitted data and image data and the distance between the pattern equipment stage and the review station equipment stage.

이상과 같이, 본 발명에 따른 양방향 공유장치를 이용한 패턴 장치단과 리뷰 스테이션 장비단과의 연결은 작업자에게 이동거리의 단축을 가져오고 작업자의 불편을 해소케 한다. 또한, 1명의 작업자가 두 장비를 다룰 수 있게 할 수 있으므로, 두 장비사이를 번갈아 오가야 하는 문제도 생기지 않으며, 작업의 효율성 향상 및 생사력의 향상을 초래할 수 있게 된다. As described above, the connection between the pattern device stage and the review station equipment stage using the bidirectional sharing apparatus according to the present invention brings a shortening of the moving distance to the worker and solves the inconvenience of the worker. In addition, since one operator can handle two pieces of equipment, there is no problem of switching between the two pieces of equipment, resulting in improved work efficiency and improved mortality.

Claims (16)

(가) 기판을 패턴하는 패턴장비와; (A) patterning equipment for patterning substrates; 시스템 컴퓨터와, 상기 시스템 컴퓨터와 호스트케이블을 통해 연결되어 있는 공유시스템과, 상기 공유시스템과 연결되어 있고 상기 패턴장비의 구동을 보여주는 제 1 구동 모니터와, 상기 공유시스템과 연결되어 있고 상기 시스템 컴퓨터로의 입력 및 상기 패턴장비의 구동을 제어하기 위한 제 1 입력수단과, 상기 패턴장비에 의해 패턴된 기판의 검사화면을 보여주는 제 1 검사 모니터를 포함하며, 상기 패턴장비를 구동하고 패턴된 기판을 검사하는 제 1 구동 및 검사 시스템A system computer, a shared system connected to the system computer via a host cable, a first drive monitor connected to the shared system and showing the drive of the pattern equipment, and to the system computer connected to the shared system. A first input means for controlling the input of the device and driving of the pattern equipment, and a first inspection monitor showing an inspection screen of the substrate patterned by the pattern equipment, and driving the pattern equipment and inspecting the patterned substrate. 1st driving and inspection system 을 포함하는 패턴 장비단과; Pattern equipment stage comprising a; (나) 원거리에서 상기 패턴장비를 구동하고 패턴된 기판을 검사할 수 있는 제 2 구동 및 검사 시스템과; (B) a second drive and inspection system capable of driving the pattern equipment at a distance and inspecting the patterned substrate; 상기 패턴장비로부터 이송된 기판을 상세 검사할 수 있는 리뷰 스테이션Review station for detailed inspection of the substrate transferred from the pattern equipment 을 포함하는 리뷰 스테이션 장비단과; A review station equipment stage comprising a; (다) 상기 패턴 장비단과 상기 리뷰 스테이션 장비단을 연결하는 양방향 공유 장치를 포함하는 패턴 장비단과 리뷰 스테이션 장비단 연결 시스템. (C) Pattern equipment stage and review station equipment connection system including a bi-directional sharing device for connecting the pattern equipment and the review station equipment stage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 입력수단은 제 1 키보드 및 제 1 마우스를 포함하는 시스템. The first input means includes a first keyboard and a first mouse. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 공유시스템과 상기 공유케이블을 통해 연결되어 있는 공유터미널을 포함하는 시스템. The second drive and test system includes a sharing terminal connected to the sharing system through the sharing cable. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 공유터미널과 연결되어 있고 상기 공유케이블과 상기 공유시스템 및 상기 호스트케이블을 통해 상기 시스템 컴퓨터로의 입력 및 상기 패턴장비의 구동을 제어하기 위한 제 2 입력수단을 포함하는 시스템. The second drive and inspection system is connected to the shared terminal and includes second input means for controlling the input of the system computer and the input of the pattern equipment through the shared cable, the shared system and the host cable. System. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 2 입력수단은 제 2 키보드 및 제 2 마우스를 포함하는 시스템. And said second input means comprises a second keyboard and a second mouse. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 공유터미널에 연결되어 있고 상기 제 1 구동 모니터와 같은 화면 및 다른 화면을 표시하는 제 2 구동 모니터를 포함하는 시스템. And the second drive and test system includes a second drive monitor connected to the shared terminal and displaying a screen identical to the first drive monitor and another screen. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 2 구동 및 검사 시스템은 상기 제 1 검사 모니터와 화상케이블로 연결되어 있어서 상기 제 1 검사 모니터에 표시되는 화면을 실시간으로 나타내는 제 2 검사 모니터를 포함하는 시스템. The second drive and inspection system includes a second inspection monitor connected to the first inspection monitor via an image cable and displaying a screen displayed on the first inspection monitor in real time. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 양방향 공유 장치는 상기 공유시스템과 상기 공유케이블과 상기 공유터미널과 상기 화상케이블을 포함하는 시스템. The bidirectional sharing device includes the sharing system, the sharing cable, the sharing terminal, and the image cable. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 화상케이블은 초고속 화상전송이 가능한 시스템. The image cable is a system capable of ultra-fast image transmission. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리뷰 스테이션 장비단은 The review station equipment stage 패턴 장비단으로부터 받은 기판을 지지하는 X-Y 스테이지와;An X-Y stage for supporting the substrate received from the pattern equipment end; 상기 기판의 박막패턴을 투영하는 대물렌즈와;An objective lens for projecting the thin film pattern of the substrate; 상기 대물렌즈에 의해 투영된 영상을 전달받아 촬영하여 모니터에 영상신호를 전달하는 CCD 카메라CCD camera for receiving and projecting the image projected by the objective lens to transfer the image signal to the monitor 를 포함하는 시스템. System comprising a. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 X-Y 스테이지는 구동장치에 의해 상하좌우로 움직이는 시스템. The X-Y stage is moved up, down, left and right by a drive device. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 CCD 카메라는 상기 대물렌즈로부터 들어온 빛 에너지를 전기적 신호로 변환하는 시스템. The CCD camera converts light energy received from the objective lens into an electrical signal. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 대물렌즈는 5배(5X), 10배(10X), 20배(20X), 50배(50X) 및 100배(100X)의 배율을 가지고 있는 시스템. The objective lens has a magnification of 5 times (5X), 10 times (10X), 20 times (20X), 50 times (50X) and 100 times (100X). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 구동 및 검사 시스템은 상기 패턴된 기판의 불량의 판독 및 이에 대한 데이터(data)를 수집하는 역할을 수행하는 시스템. And the first drive and inspection system serves to read and collect data on defects of the patterned substrate. 제 14 항에 있어서, The method of claim 14, 상기 리뷰 스테이션 장비단은 상기 패턴 장비단으로부터 수집된 상기 데이터(data)를 이용하여 불량이 발생한 기판에 대한 정확한 검사를 실시하는 시스템. And the review station equipment stage performs an accurate inspection on the defective substrate using the data collected from the pattern equipment stage. 제 15 항에 있어서, The method of claim 15, 상기 패턴 장비단과 상기 리뷰 스테이션 장비단 사이에 상기 데이터(data)의 전송은 네트워크(network)방식의 LAN(Local Area Network)을 통해서 이루어지는 시스템. And transmitting the data between the pattern equipment stage and the review station equipment stage through a local area network (LAN).
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JP2001072489A (en) * 1999-09-02 2001-03-21 Komatsu Electronic Metals Co Ltd Integrated control system of single crystal-producing apparatus

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