KR100884733B1 - Coating method of epoxy release wax on chip package mold and thereby suitable coating seat - Google Patents
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Abstract
본 발명은 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 방법 및 이에 적합한 도포 시트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시로 반도체 칩의 패키지를 제작할 때 패키징용 금형에 에폭시가 달라붙는 것을 방지하기 위해 에폭시 릴리즈 왁스를 효과적으로 도포할 수 있도록 한 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 방법 및 이에 적합한 도포 시트에 관한 것이다.The present invention relates to a method for applying epoxy release wax to a chip packaging mold and a coating sheet suitable for the same, and more particularly, to prevent the epoxy from sticking to the packaging mold when the semiconductor chip is packaged with epoxy. A method for applying an epoxy release wax to a chip packaging mold capable of effectively applying the release wax and a coating sheet suitable therefor.
본 발명의 목적은, 칩 패키징 작업의 봉지 작업에서 상하부 금형의 캐비티에 왁스를 도포하는 작업 시간을 단축하여 작업 효율을 향상시킴과 아울러 작업자가 수작업을 왁스도포제를 떼어내는 작업이 용이하게 되어 위험을 제거한 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 방법 및 이에 적합한 도포 시트를 제공함에 있다.The object of the present invention is to shorten the work time for applying wax to the cavity of the upper and lower molds in the encapsulation operation of chip packaging, thereby improving the work efficiency and to facilitate the worker's manual removal of the wax coating agent. A method for applying an epoxy release wax to a removed chip packaging mold and a coating sheet suitable therefor.
상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명에 따른 도포 시트는, 칩 패키징용 상하부 금형(55, 53)의 맞닿는 면을 한꺼번에 덮을 수 있을 정도의 크기로 제작됨과 아울러 금형의 온도에 의해 타지 않을 정도의 내열성을 갖는 섬유재질로 제작된 지지부(1)와, 상기한 지지부(1)에 균일하게 도포되어 있는 에폭시 이형제인 왁스(2)로 구성함을 특징으로 한다.In order to realize the above object, the coated sheet according to the present invention is manufactured to a size that can cover the contact surfaces of the upper and lower molds 55 and 53 for chip packaging at the same time, and heat resistance that does not burn by the temperature of the mold. It is characterized by consisting of a support (1) made of a fiber material having a and a wax (2) which is an epoxy releasing agent uniformly applied to the support (1).
또한, 본 발명에 따른 방법은, 칩 패키징용 상하부 금형(55, 53)의 맞닿는 면을 한꺼번에 덮을 수 있을 정도의 크기로 제작됨과 아울러 에폭시 이형제인 왁스(2)가 균일하게 도포된 지지부(1)를 하부금형(53)의 상면 전체를 덮도록 안착시키는 단계와,In addition, the method according to the present invention is manufactured to a size that can cover the contact surfaces of the upper and lower molds 55 and 53 for chip packaging at the same time, and the support portion 1 uniformly coated with wax 2 which is an epoxy release agent. And seating to cover the entire upper surface of the lower mold (53),
상기한 지지부(2)가 하부금형(53)에 안착되면 상부금형(55)을 하향시켜서 지지부(1)를 가압하는 단계와,Pressing the support part 1 by lowering the upper mold 55 when the support part 2 is seated on the lower mold 53;
상기한 지지부(1)가 가압되면 캐비티(51)에 위치된 지지부(1)가 캐비티(51) 내부에 충진되어 왁스(2)를 도포하는 단계로 구성함을 특징으로 한다.When the support part 1 is pressed, the support part 1 located in the cavity 51 is filled in the cavity 51 to apply the wax 2.
칩 패키징, 반도체 패키징 도포 시트, 에폭시 몰딩Chip Packaging, Semiconductor Packaging Coating Sheet, Epoxy Molding
Description
본 발명은 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 방법 및 이에 적합한 도포 시트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시로 반도체 칩의 패키지를 제작할 때 패키징용 금형에 에폭시가 달라붙는 것을 방지하기 위해 에폭시 릴리즈 왁스를 효과적으로 도포할 수 있도록 한 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 방법 및 이에 적합한 도포 시트에 관한 것이다.The present invention relates to a method for applying epoxy release wax to a chip packaging mold and a coating sheet suitable for the same, and more particularly, to prevent the epoxy from sticking to the packaging mold when the semiconductor chip is packaged with epoxy. A method for applying an epoxy release wax to a chip packaging mold capable of effectively applying the release wax and a coating sheet suitable therefor.
일반적으로, 반도체 칩을 제조하여 사용하기 위해서는 매우 작은 크기일 뿐만 아니라 약한 칩을 보호하기 위하여 칩에 리이드선을 연결한 후 이를 에폭시로 감싸는 패키징 공정을 실시하게 된다.In general, in order to manufacture and use a semiconductor chip, not only a very small size, but also a packaging process in which a lead wire is connected to a chip and then wrapped in epoxy to protect a weak chip.
상기한 패키징 공정은 금형에 칩과 리이드선등을 배치한 후 액체 상태인 에폭시를 다수의 캐비티(하나의 칩 패키지를 형성하는 공간)에 공급함과 아울러 고온(약 175℃)에서 가압, 봉지(ENCAPSULATION)시키면서 이루어지게 된다.In the packaging process, chips and lead wires are placed in a mold, and then liquid epoxy is supplied to a plurality of cavities (spaces forming one chip package), and pressurized and encapsulated at a high temperature (about 175 ° C). Will be done.
상기한 패키징 공정에서 제조된 칩의 일예는 도4에 도시된 바와 같이 리이드 선(L)과 칩(C)이 와이어(W)로 연결되어 있고, 상기한 리이드선(L)과 와이어(W) 및 칩(C)이 에폭시(E)에 의해 밀폐되면서 보호되는 바, 상기한 패키징 상태의 두께d는 대략 3mm 내외가 된다.As an example of the chip manufactured in the above packaging process, as shown in FIG. 4, the lead line L and the chip C are connected by a wire W, and the lead wire L and the wire W are And the chip (C) is protected while being sealed by the epoxy (E), the thickness d of the packaging state is about 3mm or so.
상기한 바와 같은 칩의 패키징 공정에 적용되는 금형은 도5와 도6에 도시된 바와 같이 베이스(50)에 안착되어 있을 뿐만 아니라 다수의 캐비티(51)가 순차 형성되어 있고 각각의 캐비티(51)에 에폭시(E)가 주입되도록 복잡한 형상의 주입로(52)가 형성된 하부 금형(53)과, 상기한 하부 금형(53)의 캐비티(51)와 반대방향의 캐비티가 형성되고 승강플레이트(54)에 설치되어 있는 상부금형(55)으로 이루어져 있다.The mold applied to the chip packaging process as described above is not only seated on the
상기한 패키징 공정에서는 상하부 금형(55, 53)을 닫고 상하부 금형의 캐비티(51)가 하나의 공간을 형성한 상태에서 에폭시(E)를 주입하고 소정시간동안 이를 유지하여 에폭시(E)가 고형화되도록 하는 것으로서, 이때 금형의 온도가 175℃정도로 가열되어 있는 상태이기 때문에, 상기한 에폭시(E)의 고형화 과정에서 에폭시(E)가 산화된 산화물, 먼지등과 같은 이물질이 금형의 캐비티(51)에 고착된다.In the above packaging process, the upper and
그래서, 상기한 산화물, 이물질등을 제거하기 위하여, 일정 횟수의 봉지 작업(ENCAPSULATION) 후 클리닝(CLEANING) 작업과 왁스(WAX) 도포 작업을 실시하게 된다.Therefore, in order to remove the oxides, foreign substances, and the like, a cleaning operation and a wax coating operation are performed after a certain number of encapsulation operations.
상기한 클리닝 작업은 멜라민 또는 고무에 에폭시 산화물등의 금형 분리를 위한 소정 약품을 혼합하여 제작한 청소제를 상하부 금형(55, 53) 사이에 위치시킨 후, 상부 금형(55)을 하향시켜 하부금형(53)에 밀착시키고 대략 5분 이상 유지시켜 서 청소제에 이물질등이 묻어나오도록 하는 것이다.In the cleaning operation, a cleaning agent prepared by mixing a predetermined chemical for separating a mold such as epoxy oxide and melamine or rubber is placed between upper and
또한, 상기한 클리닝 작업후에는 칩 패키징시의 봉지 작업 시 금형의 캐비티(51)에 에폭시 산화물, 이물질등이 달라붙지 않도록 왁스를 도포하는 작업을 하게 되는 바, 왁스는 에폭시 이형제로서, 멜라민, 고무등에 이를 혼합하여 고형화시킨 왁스도포제(56)를 상하부금형(55, 53)에서 압착함으로써 왁스가 캐비티(51)에 묻도록 하는 것이다.In addition, after the above-mentioned cleaning operation, wax is applied to prevent the epoxy oxide, foreign substances, etc. from adhering to the
즉, 도5에 도시된 바와 같이 하부 금형(53)의 캐비티(51) 상부에 왁스도포제(56)를 위치시킨 후 상부금형(55)을 하강시켜서 이를 가압함과 아울러 왁스도포제가 용융되는 시간인 5분정도를 유지시켜 왁스가 캐비티(51) 내부에 충분히 도포되도록 하는 것이다.That is, as shown in FIG. 5, after the wax coating agent 56 is positioned on the upper portion of the
그러나, 상기한 바와 같이 금형의 캐비티에 왁스를 도포하기 위하여 왁스 도포제를 금형의 캐비티에 올려 놓은 후 상부 금형을 하강시켜 가압하고 5분 이상 가압 상태를 유지하게 되면, 고온(약175℃)인 금형에 작업자가 근접하여 여러줄로 형성되어 있는 캐비티 각각에 왁스도포제를 올려 놓는 작업이 위험할 뿐만 아니라 다수의 왁스도포제를 놓기 때문에 작업 시간이 대략 10분 정도 소요되는 문제점이 있다.However, as described above, in order to apply wax to the cavity of the mold, the wax coating agent is placed on the cavity of the mold, and then the upper mold is lowered and pressurized, and if the pressure is maintained for 5 minutes or more, the mold is high temperature (about 175 ° C). There is a problem that the operation time is not only dangerous to put the wax coating agent on each of the cavity is formed in multiple lines in close proximity to the worker because the work time is about 10 minutes.
즉, 왁스도포제를 금형에 올려 놓고 금형을 고온으로 가열하는데 필요한 준비작업시간이 대략 5분정도 소요되고, 왁스도포제를 상하부 금형 사이에서 가압하는데 대략 5분정도가 소요되는 것이다.In other words, the preparation time required to place the wax coating agent on the mold and heat the mold to a high temperature takes about 5 minutes, and it takes about 5 minutes to pressurize the wax coating agent between the upper and lower molds.
또한, 멜라민 또는 고무재질인 왁스도포제가 고온의 상하부 금형에 가압되면 금형의 캐비티에 달라붙어 잘 떨어지지 않고 제품이 타면서 화학연기가 발생되기 때문에, 작업자가 화학연기를 마시는 위험이 있을 뿐만 아니라 수작업으로 왁스도포제를 떼어내기가 어려워 화상등의 위험이 발생된다.In addition, when the melamine or rubber wax coating agent is pressed into the upper and lower molds of high temperature, they stick to the cavity of the mold and do not fall well, resulting in chemical smoke as the product burns. It is difficult to remove the wax coating agent, resulting in a burn or the like.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 칩 패키징 작업의 봉지 작업에서 상하부 금형의 캐비티에 왁스를 도포하는 작업 시간을 10초 내외로 단축하여 작업 효율을 향상시킴과 아울러 작업자가 왁스도포제를 떼어내는 작업이 용이하게 되어 위험을 제거한 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 방법 및 이에 적합한 도포 시트를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, and in the encapsulation operation of the chip packaging operation, the work time for applying wax to the cavity of the upper and lower molds is reduced to about 10 seconds to improve the work efficiency and the operator The present invention provides a method for applying an epoxy release wax to a chip packaging mold which eliminates the risk of easy removal of the wax coating agent and a coating sheet suitable therefor.
상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명에 따른 도포 시트는, 칩 패키징용 상하부 금형의 맞닿는 면을 한꺼번에 덮을 수 있을 정도의 크기로 제작되거나 또는 각 캐비티군의 상면을 덮을 정도의 크기로 형성됨과 아울러 금형의 온도에 의해 타지 않을 정도의 내열성을 갖는 섬유재질로 제작된 지지부와, 상기한 지지부에 균일하게 도포되어 있는 에폭시 이형제인 왁스로 구성함을 특징으로 한다.In order to realize the above object, the coated sheet according to the present invention is manufactured to a size that can cover the contact surface of the upper and lower molds for chip packaging at once or formed to a size that covers the upper surface of each cavity group and the mold It is characterized by comprising a support made of a fiber material having a heat resistance that does not burn by the temperature of and a wax which is an epoxy releasing agent uniformly applied to the support.
또한, 본 발명에 따른 방법은, 칩 패키징용 상하부 금형의 맞닿는 면을 한꺼번에 덮을 수 있을 정도의 크기로 제작됨과 아울러 에폭시 이형제인 왁스가 균일하게 도포된 지지부를 하부금형의 상면 전체를 덮도록 안착시키는 단계와,In addition, the method according to the present invention is manufactured to a size large enough to cover the contact surface of the upper and lower molds for chip packaging at the same time, and seating the support portion coated with wax, which is an epoxy releasing agent, to cover the entire upper surface of the lower mold. Steps,
상기한 지지부가 하부금형에 안착되면 상부금형을 하향시켜서 지지부를 가압하는 단계와,Pressing the support by lowering the upper mold when the support is seated on the lower mold;
상기한 지지부가 가압되면 캐비티에 위치된 지지부가 캐비티 내부에 충진되어 왁스를 도포하는 단계로 구성함을 특징으로 한다.When the support is pressed, the support located in the cavity is filled in the cavity, characterized in that configured to apply a wax.
이상과 같이 본 발명은 직물인 부직포, 탄소섬유, 플라스틱등으로 지지부를 형성하고 여기에 에폭시 이형제인 왁스를 도포하여, 캐비티에 왁스 도포 시 한번의 작업만으로 상하부 금형 전체에 왁스를 도포할 수 있도록 함으로써, 작업효율이 향상되고 작업자의 화상 위험을 해소할 수 있는 잇점이 있는 것이다.As described above, the present invention forms a supporting part with a nonwoven fabric, carbon fiber, plastic, and the like, and applies wax, which is an epoxy releasing agent, so that the wax can be applied to the entire upper and lower molds by one operation when wax is applied to the cavity. This has the advantage of improving work efficiency and eliminating the risk of burns to workers.
도1과 도2는 본 발명에 따른 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 도포 시트를 도시한 사시도와 상하부금형 사이에 위치된 상태를 도시한 단면도로서, 상하부 금형(55, 53)의 맞닿는 면을 한꺼번에 덮을 수 있을 정도의 크기로 제작되거나 또는 각 캐비티군의 상면을 덮을 정도의 크기로 형성됨과 아울러 내열성이 우수하여 금형에 달라붙지 않는 섬유재질로 제작된 지지부(1)와, 상기한 지지부(1)에 균일하게 도포되어 있는 에폭시 이형제인 왁스(2)로 구성되어 있다.1 and 2 are cross-sectional views showing a perspective view showing an application sheet for applying epoxy release wax to a chip packaging mold according to the present invention, and a state positioned between upper and lower molds, wherein the upper and
즉, 지지부의 크기는 상하부 금형에 형성된 캐비티 전체를 한번에 덮을 정도의 크기로 형성하거나 또는 다수군으로 나뉘어서 형성된 캐비티군을 덮을 정도의 크기로 형성한 것으로서, 이는 공정에서 편리하도록 지지부의 크기를 조절하여 제작하면 된다.That is, the size of the support is formed to the size to cover the entire cavity formed in the upper and lower molds at a time or to cover the cavity group formed by dividing into a plurality of groups, which is to adjust the size of the support for convenience in the process Produce it.
상기한 지지부(1)는 금형의 작업 온도인 175℃ 정도에서 타지 않고 견딜 수 있어야 하는 바, 지지부(1)는 200℃정도의 내열성을 갖고 있는 것을 선택하는 것이 좋다.Since the
상기한 지지부(1)는 천연섬유(종이, 면등), 화학섬유(부직포, 유리섬유, 탄소섬유, 나일론등), 플라스틱등으로 제작할 수 있는 바, 플라스틱은 내열 플라스틱을 시트(SHEET)상으로 제작하여 사용된다.The
특히, 상기한 지지부(1)의 두께D는 패키징된 칩의 평균적인 두께d(대략 3mm)보다 약간 두껍게(대략 3.5mm) 형성됨으로써, 상하부 금형(55, 53)을 닫았을 때 캐비티(51) 내부로 충진되어 왁스(2)를 도포할 수 있을 정도로 설정하게 된다.In particular, the thickness D of the
상기한 지지부(1)에 도포되는 왁스(2)는 액상, 고체상(분말)등으로 형성한 상태에서, 액상인 경우는 지지부(1)를 왁스(2)에 묻혀 형성한 것이고, 분말일 경우 에는 별도의 본딩재(미 도시)와 혼합하여 지지부(1)에 도포한 것이다.The
특히, 상기한 왁스(2)를 지지부(1)에 도포할 때에는 매우 균일하게 도포되도록 함으로써, 상하부 금형(55, 53)이 맞닿은 상태에서 캐비티(51)에 왁스(2)가 균일하게 도포되도록 한다.In particular, when the
상기한 왁스(2)를 지지부(1)에 도포할 때, 액상인 경우에는 지지부(1)에서 흐르지 않을 정도의 양을 도포하여, 분말일 경우에는 왁스(2) 접합 후 지지부(1)를 세웠을 때 흘러 내리지 않을 정도로 하는 바, 상기한 양은 미리 설정된 양을 도포함으로써 고온인 금형에서 왁스(2)가 끓어 외부로 넘치지 않고 너무 부족하여 금형 내부에 도포되지 못하는 것을 방지할 수 있도록 한다.When applying the wax (2) to the support (1), in the case of a liquid is applied to an amount that does not flow in the support (1), in the case of powder, the support (1) after the bonding of the wax (2) When the amount does not flow down, the above-described amount is applied by applying a predetermined amount to prevent the wax (2) from boiling in the mold at high temperature does not overflow to the outside and is too insufficient to be applied to the inside of the mold.
상기한 바와 같은 본 발명의 작용 효과를 설명하면 칩 패키징 작업을 일정 횟수 반복 실시하게 되면, 에폭시(E)의 특성상 금형의 캐비티(51)에 달라붙은 산화물이 발생됨과 아울러 이물질이 타서 달라 붙게 된다.Referring to the operation and effect of the present invention as described above, if the chip packaging operation is repeated a certain number of times, the oxide stuck to the
금형의 캐비티(51)에 산화물등이 발생되면 이를 클리닝해야 하는 바, 상기한 상하부 금형(55, 53)의 사이에 청소제를 놓고 가압하여 클리닝 작업을 하게 되고, 상기한 클리닝 작업 후 상부 금형(55)을 상승시킨 상태에서 작업자가 왁스(2)가 코팅된 지지부(1)를 하부금형(53)의 상면에 올려 놓게 된다.If an oxide or the like is generated in the
예를 들어, 상하부 금형 전체를 커버할 수 있을 정도의 크기로 제작된 지지부를 사용한다고 할 때, 지지부(1)가 도2와 같이 하부 금형(53)의 상면에 안착되면 상부 금형(55)을 하강시켜 하부 금형(53)에 밀착시키는 바, 이 상태에서는 도3에 도시된 바와 같이 상하부 금형(55, 53)의 사이에 지지부(1)가 압착되기 때문에 지 지부(1)의 두께가 현저하게 감소되지만 캐비티(51)에 위치된 지지부(1)는 약간만(지지부의 두께 D와 패키지의 두께 d(결과적으로 캐비티의 폭)의 차이만큼)가압되고, 이로 인해 캐비티(51) 내부에서 모서리까지 충진된다.For example, when using a support manufactured to a size that can cover the entire upper and lower mold, when the
지지부(1)가 캐비티(51)의 내부에 충진되면 지지부(1)에 도포되어 있는 왁스(2)가 캐비티(51)의 내면에 도포되는 것으로서, 상기한 상부금형(55)이 하강하고 왁스를 도포하고 다시 이형되는 시간은 대략 10초 정도면 충분하게 왁스(2)가 캐비티(51) 내부에 도포된다.When the
즉, 상하부 금형(55, 53)이 닫혔을 때 형성되는 캐비티(51)의 공간 높이보다 지지부(1)의 두께 D가 더 두껍기 때문에, 캐비티(51)가 형성되지 않은 곳에서는 예를 들어 부직포등으로 제작된 지지부(1)가 많이 압축되는 반면에, 캐비티(51) 부분에서는 약간만 압축되면서 캐비티(51) 내부를 꽉 채우게 되고, 이로 인해 캐비티(51) 내부의 구석까지 왁스(2)가 도포될 수 있게 되는 것이다.That is, since the thickness D of the
특히, 지지부(1)가 상하부금형(55, 53) 전체에 밀착되기 때문에, 한번의 작업으로 에폭시(E)를 주입하는 주입로(52)까지 왁스(2)가 도포됨으로써, 이 부분에의 에폭시 및 이물질 부착을 방지할 수 있게 된다.In particular, since the
즉, 종래 고무 또는 멜라민으로 제작된 왁스도포제(56)를 사용할 때는 캐비티(51) 각각에 왁스도포제를 하나씩 올려놓아야 하기 때문에, 주입로(52)까지 왁스를 도포하기가 쉽지 않았지만, 본원에서는 단 한번의 작업으로 캐비티(51) 및 주입로(52)까지 왁스(2)를 도포할 수 있게 되는 것이다.That is, when using a wax coating agent 56 made of conventional rubber or melamine, it is not easy to apply wax to the
물론, 상하부 금형의 각 캐비티군별로 덮도록 크기가 형성된 지지부를 여러 장 사용하여 금형의 캐비티에 왁스를 도포하여도 동일한 효과를 얻을 수 있게 된다.Of course, the same effect can be obtained even if wax is applied to the cavity of the mold by using a plurality of support parts each having a size formed to cover each cavity group of the upper and lower molds.
도1은 본 발명에 따른 칩 패키징 금형에 에폭시 릴리즈 왁스를 도포하기 위한 도포 시트로서 섬유에 왁스가 도포된 상태를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a state in which wax is applied to fibers as an application sheet for applying epoxy release wax to a chip packaging mold according to the present invention;
도2는 도1에 따른 왁스가 도포된 섬유가 상하부 금형 사이에 위치되는 상태를 도시한 개략 단면도,Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing a state where the wax-coated fiber according to Figure 1 is located between the upper and lower molds;
도3은 도2에서 상하부 금형이 맞물렸을 때의 상태를 도시한 부분 확대 단면도,3 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state when the upper and lower molds are engaged in FIG.
도4는 일반적으로 에폭시로 패키징된 칩의 일예를 도시한 단면도,4 is a cross-sectional view showing an example of a chip generally packaged with epoxy;
도5는 도4의 칩 패키징 공정에 사용되는 금형을 도시한 개략도,5 is a schematic diagram showing a mold used in the chip packaging process of FIG.
도6은 도5에서 하부 금형의 일예를 도시한 사시도.FIG. 6 is a perspective view showing an example of a lower mold in FIG. 5; FIG.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
1: 지지부 2: 왁스1: support portion 2: wax
51: 캐비티 52: 주입로51: cavity 52: with injection
53: 하부금형 55: 상부금형53: lower mold 55: upper mold
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