KR100878450B1 - 에어벤트겸용 드레인밸브 및 이를 이용한 드레인장치 - Google Patents

Abstract

이 발명은 반도체 제조설비에서 에어배관에 주로 쓰이는 드레인밸브와 드레인장치에 있어서 응축수와 같은 물을 배출시키기 위한 배수관에 설치되는 드레인밸브를 통해서 외부 공기가 유입될 수 있도록 하여 원활한 배출이 이루어지도록 하는 동시에 반도체 제조설비의 가동을 중지시키지 않고도 물을 배출시킬 수 있도록 하고 드레인 작용시 월등한 성능이 발휘되고 원가절감이 도모되도록 개선된 에어벤트겸용 드레인밸브 및 이를 이용한 드레인장치에 관한 것으로서, 에어덕트(1)의 응축수집수부(2)에 설치되는 드레인장치로서; 상기 응축수집수부(2) 하측에 배수관(3)이 고정되게 설치되고, 상기 배수관(3)에는 입구(111) 및 출구(112)를 가진 밸브몸체(110)의 보올회동공(113) 내에서 손잡이(140)와 연결된 보올축(130)에 의해 개방공(121)을 가진 보올(120)이 회동되고 상기 개방공(121) 양측에 구비하는 보올(120)의 입구폐쇄부(122)와 반대쪽에 위치하는 출구폐쇄부(123)에는 통기공(124)이 형성되고 상기 입구폐쇄부(122)에 의해 입구(111)가 차폐된 상태에서 개방공(121)과 일직선상에 위치하는 밸브몸체(110)에는 보올회동공(113)과 통하는 에어유입공(115)이 형성되게 구성된 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 설치되어 상기 배수관(3)이 개폐되도록 하고, 상기 에어벤트겸용 드레인밸브(100)의 출구(112)에는 응축수(w)가 집수되는 길다란 집수관(4)이 설치되고, 상기 집수관(4)에는 입구(12) 및 출구(13)를 가진 밸브몸체(11)의 보올회동공(14) 내에서 손잡이(15)와 연결된 보올축(16)에 의해 개방공(17)을 가진 보올(18)이 회동되어 개폐되는 드레 인밸브(10)가 설치되고, 상기 드레인밸브(10)의 출구(13)에는 드레인관(5)이 설치되어 상기 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 배수관(3)을 폐쇄하게 하고 드레인밸브(10)를 개방시키면 에어유입공(115)과 통기공(124)을 통해 외부 공기가 집수관(4)으로 유입되도록 이루어지는 드레인장치 및 에어벤트겸용 드레인밸브를 제공한다.

드레인밸브, 드레인장치, 에어벤트겸용 드레인밸브

Description

에어벤트겸용 드레인밸브 및 이를 이용한 드레인장치{The air it will cut and thu combination drain valve and will reach and the drain system which it uses}

도 1은 본 발명에 따른 드레인장치의 설치예시도,

도 2는 본 발명에 의한 에어벤트겸용 드레인밸브의 종단면도,

도 3은 도 2의 X-X'선 단면도,

도 4는 도 2의 Y-Y'선 단면도로서, (a)는 개방된 상태도이고 (b)는 차폐된 상태도이다.

도 5는 본 발명에 채용되는 드레인밸브의 구성도,

도 6은 도 5의 Z-Z'선 단면도로서, (a)는 개방된 상태도이고 (b)는 차폐된 상태도이다.

도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 드레인장치의 작용도이다.

* 도면의 주요 부분에 따른 부호의 설명 *

1 : 에어덕트 2 : 응축수집수부

3 : 배수관 4 : 집수관

5 : 드레인관 10 : 드레인밸브

11,110 : 밸브몸체 12,111 : 입구

13,112 : 출구 14,113 : 보올회동공

17,121 : 개방공 18,120 : 보올

100 : 에어벤트겸용 드레인밸브 115 : 에어유입공

116 : 이물질차단망 122 : 입구폐쇄부

123 : 출구폐쇄부 124 : 통기공

본 발명은 반도체 제조설비에서 에어배관에 주로 쓰이는 드레인밸브 및 이를 이용한 드레인장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 응축수와 같은 물을 배출시키기 위한 드레인관에 설치되는 드레인밸브를 통해서 외부 공기가 유입될 수 있도록 하여 원활한 배출이 이루어지도록 하는 동시에 반도체 제조설비의 가동을 중지시키지 않고도 물을 배출시킬 수 있도록 하고 드레인 작용시 월등한 성능이 발휘되고 원가절감이 도모되도록 개선된 에어벤트겸용 드레인밸브 및 이를 이용한 드레인장치에 관한 것이다.

일반적으로 물을 배출시키기 위한 드레인관에는 드레인밸브가 설치되고 있다.

이러한 드레인밸브는 입구와 출구를 가진 밸브몸체가 있고, 이 밸브몸체 내부에는 배수공을 가진 보올이 반회전 가능하도록 설치되고, 상기 보올은 외부에 손잡이를 가진 보올축과 연결되어 정방향 또는 역방향으로 반회전 됨으로써 상기한 배수공이 입구 및 출구와 일직선상으로 되는 경우 물이 배출되는 것이고, 배수공이 입,출구와 교각을 이루는 상태가 되면 물 배출이 차단되는 구조로 되어 있다.

상기한 드레인밸브를 이용하는 통상적인 드레인장치는 하나의 드레인관에 하나의 드레인밸브가 설치되는 드레인장치를 구성하고 있고, 이러한 드레인장치에 있어서는 드레인밸브를 개방시키는 조작에 의해 물이 배출되고 다시 폐쇄시키는 조작에 의해서 물 배출이 차단되도록 하고 있다. 한편, 상기와 같이 드레인밸브를 개방시키는 조작에 의해 물이 배출되게 하는 조작을 개방조작이라고도 하고 다시 폐쇄시키는 조작에 의해서 물이 배출되도록 하는 조작을 차폐조작이라고도 설명하기도 한다.

그러나 상기한 드레인장치는 반도체 제조설비의 에어배관 내에 발생되는 응축수와 같은 물을 배출하는 드레인장치로서는 전혀 사용될 수 없는 단점이 있다.

즉, 에어배관은 공기가 통과하는 관이므로 그 공기에 함유하고 있는 수분이 온도 차이 등에 의해서 응축수(물)가 발생되고, 이 응축수는 반도체 제조설비가 가동되는 한 계속 발생되므로 에어배관 내에서 응축수를 정기적으로 배출시켜야 한다.

따라서, 에어배관에 이미 설명된 통상적인 드레인장치를 채용하게 되는 경우 드레인밸브를 개방조작하여 응축수를 배출하는 과정이나 또는 배출이 완료된 직후그 드레인밸브를 차폐조작하기 직전에 개방된 드레인밸브를 통해서 외부공기가 에어배관 내부로 유입될 수 있다.

이 경우 반도체 제조에서 이용되는 공기는 먼지나 이물질이 전혀 없는 공기 (크린에어라고도 함)를 이용하게 되는데 상기와 같이 드레인밸브를 통해 외부공기가 에어배관으로 유입되는 경우 반도체 제조에 있어 불량제품이 양산되는 결과를 가져오게 되어 커다란 손실로 이어진다.

또한, 개방된 드레인밸브를 통해 외부공기가 에어배관 내부로 유입되는 경우 에어배관의 공기압력에 변화가 발생되고, 이와 같이 압력 변화가 있을 경우 에어배관 내의 공기 흐름이나 공기 공급량에 변화가 발생되는 요인이 되어 반도체 생산에 차질이 발생 된다.

그러므로 반도체 제조설비의 에어배관을 통해 공급되는 공기는 항상 정압(定壓)을 유지하여야 하는데, 이미 설명된 종래의 드레인장치에 의해서는 응축수 배출과정에 개방된 드레인밸브에 의해서 외부공기가 유입됨으로써 에어배관의 정압을 유지하기가 어렵다.

따라서, 종래의 드레인밸브를 이용하는 경우 에어배관 내의 공기 공급을 중단하고 응축수 배출을 한 다음 드레인밸브를 차폐조작시킨 후에 다시 가동하여야 하는데, 이 경우 응축수 배출을 위해서는 반도체 제조설비 전체를 가동 중지시킨 후에 드레인 작업을 하여야 함으로써 가동 중지에 따른 생산 중단이 초래되어 엄청난 손실로 이어지게 되는 문제점이 야기된다.

그러므로 선행기술로 개시된 한국 등록실용신안 제20-0261125호, 동 등록실용신안 제20-0360573호, 동 특허 공개번호 제2006-0069636호, 동 특허번호 제10-0671782호 등과 같은 드레인밸브장치를 이용하여 상기한 문제점을 해결하려고 시도 하였으나 오일필터용, 분수용, 농업용, 소화전용 등 각각 쓰이는 용도가 다르기 때 문에 설비의 가동을 중지시키지 않는 상태에서 에어배관내의 정압을 유지하게 하면서 원활한 배수 작용이 되도록 하는 드레인장치로서는 부적합한 것으로 나타났다.

그러므로 출원인은 상기 문제를 해결하기 위해 한쌍의 드레인밸브를 설치하여 상기 한쌍의 드레인밸브 사이에 응축수가 고이도록 하는 방법을 실시하였다.

그리고 하측에 있는 드레인밸브를 개방조작하기 전에 상측에서 에어배관에 근접되어 있는 드레인밸브를 먼저 차폐조작한 다음 하측에 있는 드레인밸브를 개방조작하여 상기한 한쌍의 드레인밸브 사이에 고여 있는 응축수가 배출되도록 하는 방법을 실시하였다.

그러나 이 경우 상측에 있는 드레인밸브가 차폐되어 있기 때문에 응축수가 고여 있는 응축수집적관 내의 음압에 의해 물이 전혀 배출되지 않는 현상이 발생되었다. 즉, 응축수 배출시에 집적관 내부로 외부공기가 유입되어야 만이 배수가 되는 것으로 실험되었다.

그러므로 응축수집적관 상부에 외부공기가 유입될 수 있게 하는 에어유입벤트관을 설치하고 그 에어유입벤트관 입구 부분에 에어밸브를 설치하는 방법을 실시함으로써 응축수 배출시에 응축수집적관 내부로 에어유입벤트관을 통해 외부 공기가 유입됨에 따라 배수 작용이 이루어지도록 하였다.

그러나 이 경우 다음과 같은 비능률적이고 비경제적인 문제점이 초래되었다.

첫째, 에어밸브를 갖는 에어유입벤트관을 별도로 설치해야 함으로써 드레인장치 설치비용이 크게 추가되어 매우 비경제적인 문제점이 야기되었다.

즉, 반도체 제조설비는 매우 방대한 설비이기 때문에 에어배관 역시 매우 방 대한 규모와 시설로 설치되는 것이므로 하나의 반도체 제조설비에는 수백개의 드레인장치가 설치되어야 하는데, 이러한 수백개의 드레인장치마다 별도의 에어밸브를 가진 에어유입벤트관을 각각 설치하는데 있어 매우 막대한 설치비용이 소요됨으로써 비경제적인 문제점이 초래되었던 것이다.

둘째, 드레인작업이 매우 불편하고 번거로운 단점이 있어 비능률적인 문제점이 초래되었다.

그 이유는 드레인작업을 하는데 있어서 먼저 상측에 있는 드레인밸브를 차폐조작한 다음 에어유입벤트관의 에어밸브를 개방조작하고 다음에 하측에 있는 드레인밸브를 개방조작하여 응축수 배출이 되도록 하여야 하는 한편, 응축수 배출이 완료된 다음에는 상기한 순서의 역순에 의해서 다시 조작하여야 하므로 결과적으로 6회에 걸처 여러번의 밸브 조작을 일일이 조작하여야 하기 때문에 매우 번거롭고 불편한 문제점이 초래되었다.

특히, 상기한 여러번의 밸브 조작을 수백개의 드레인장치마다 일일이 조작하여야 하므로 매우 비능률적인 문제점으로 야기되었던 것이다.

셋째, 밸브조작의 오류에 의해서 정압력을 유지하여야 하는 에어배관 내부에 외부공기가 유입되어 생산 차질이 발생되는 문제점이 초래되었다.

즉, 우선적으로 드레인장치의 상측에 있는 밸브를 먼저 차폐조작한 다음 에어유입벤트관의 에어밸브를 개방조작하여야 하는데, 밸브 조작 오류에 의해서 먼저 에어유입벤트관의 에어밸브를 개방조작하는 경우에는 개방되어 있는 상측의 드레인밸브를 통해서 외부공기가 에어배관 내부로 유입됨에 따라 생산제품 불량이 야기되 고 생산 차질이 발생되는 문제점으로 야기되었던 것이다.

넷째, 안전하게 배출되어야 하는 응축수가 누설되어 오염이 초래되는 문제점이 야기되었다.

그 이유는 에어유입벤트관의 에어밸브를 최초로 먼저 개방조작하는 경우 응축수집적관내에 만수 상태로 있던 응축수가 에어유입벤트관과 에어밸브로 역류되어 누수되는 것일 뿐만 아니라 누수 된 응축수가 산폐수일 경우 인체에 유해를 주게 되고 청결을 유지해야 하는 반도체를 제조하는 실내 공간을 오염시키게 되는 심각한 문제점이 야기되었던 것이다.

그러므로 에어배관 내의 정압력을 유지하게 하면서도 드레인 작업을 간편하게 할 수 있고 설치비용이 절감되는 드레인장치를 연구하기에 이르게 되었으며, 더불어서 단독적으로 사용될 수 있는 드레인밸브로도 이용될 수 있는 에어벤트겸용 드레인밸브와 이를 이용한 드레인장치를 연구하기에 이르게 되었다.

본 발명은 개방조작시에는 배수가 되게 하는 기능을 하고 차폐조작시에는 배수를 차단하는 차폐 기능을 하면서도 외부공기가 유입될 수 있는 에어벤트겸용 드레인밸브를 제공하려는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 상기 에어벤트겸용 드레인밸브를 이용하여 에어배관의 정압력을 유지하게 하면서도 드레인 작업을 간편하게 할 수 있고 설치비용이 절감되는 드레인장치를 제공하려는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 입구와 일직선상으로 형성된 출 구 사이에 보올회동공을 가진 밸브몸체와, 상기 보올회동공에서 구름 접촉되어 회동 가능하게 삽입되고 입구 및 출구와 일직선상으로 통하는 개방공이 뚫려 있는 보올과, 상기 보올를 회전시키기 위해 일단부에 고정되어 밸브몸체 중간부에 설치된 누출방지부재를 관통하여 타단부가 외부로 노출되도록 설치되는 보올축과, 상기 보올축을 회전시키기 위해 외부로 노출된 보올축 타단부에 고정되는 손잡이를 갖는 드레인밸브로서; 상기 밸브몸체의 입구와 출구를 폐쇄하기 위해 개방공 양측에 구비하는 보올의 입구폐쇄부와 출구폐쇄부 중에 상기 출구폐쇄부에 통기공이 형성되게 구성되고, 상기 입구폐쇄부에 의해 입구가 차폐된 상태에서 개방공과 일직선상에 위치하는 밸브몸체에는 보올회동공과 통하는 에어유입공이 형성되게 구성되도록 이루어지는 에어벤트겸용 드레인밸브를 그 특징으로 한다.

상기 에어유입공에는 이물질차단망이 고정되게 설치되는 것을 다른 특징으로 한다.

그리고 본 발명은 에어덕트의 응축수집수부에 설치되는 드레인장치로서; 상기 응축수집수부 하측에 배수관이 고정되게 설치되고, 상기 배수관에는 입구 및 출구를 가진 밸브몸체의 보올회동공 내에서 손잡이와 연결된 보올축에 의해 개방공을 가진 보올이 회동되고 상기 개방공 양측에 구비하는 보올의 입구폐쇄부와 반대쪽에 위치하는 출구폐쇄부에는 통기공이 형성되고 상기 입구폐쇄부에 의해 입구가 차폐된 상태에서 개방공과 일직선상에 위치하는 밸브몸체에는 보올회동공과 통하는 에어유입공이 형성되게 구성된 에어벤트겸용 드레인밸브가 설치되어 상기 배수관이 개폐되도록 하고, 상기 에어벤트겸용 드레인밸브의 출구에는 응축수가 집수되는 길 다란 집수관이 설치되고, 상기 집수관에는 입구 및 출구를 가진 밸브몸체의 보올회동공 내에서 손잡이와 연결된 보올축에 의해 개방공을 가진 보올이 회동되어 개폐되는 드레인밸브가 설치되고, 상기 드레인밸브의 출구에는 드레인관이 설치되어 상기 에어벤트겸용 드레인밸브가 배수관을 폐쇄하고 드레인밸브를 개방시키면 에어유입공과 통기공을 통해 외부 공기가 집수관으로 유입되도록 이루어지는 에어벤트겸용 드레인밸브를 이용한 드레인장치를 그 특징으로 한다.

상기 에어유입공에는 이물질차단망이 고정되게 설치되는 것을 다른 특징으로 한다

본 발명을 첨부된 바람직한 실시 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 에어벤트겸용 드레인밸브가 채용된 드레인장치를 보인 것이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 에어벤트겸용 드레인밸브를 나타낸 것이며, 도 5 및 도 6은 본 발명의 드레인장치에 채용되는 공지의 드레인밸브 구성을 나타낸 것이다.

도 1을 참조하면, 반도체 제조설비에는 에어배관(p)과 에어덕트(1)가 수많이 설치되는 것이며 이러한 에어덕트(1)에는 응축수집수부(2)를 구비한다.

그리고 응축수집수부(2)로 모이는 응축수(w)를 배출시키기 위하여 드레인장치가 에어덕트(1)마다 각각 설치된다.

따라서, 응축수집수부(2)에는 배수관(3)이 고정되게 설치되고, 상기 배수 관(3)에는 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 설치되며, 그 하측에는 길다란 집수관(4)이 설치되도록 되어 있다.

또한, 집수관(4) 하측으로는 공지의 드레인밸브(10)가 설치되고 이 드레인밸브(10)에는 드레인관(5)이 연결되게 설치되어 하나의 드레인장치를 구성하도록 되어 있다.

도 2 내지 도 4는 본 발명의 에어벤트겸용 드레인밸브(100)를 보인 것이다.

상기 에어벤트겸용 드레인밸브(100)는 밸브몸체(110)를 구비한다.

상기 밸브몸체(110)는 입구(111)와 일직선상으로 형성된 출구(112) 사이에 보올회동공(113)을 구비하도록 되어 있다.

또한, 입구(111)와 출구(112)에는 플랜지부(117)를 각각 구비하고 이 플랜지부(117)는 볼트,너트와 같은 체결구(6)에 의해서 배수관(3)이나 집수관(4)과 연결되게 고정되도록 하기 위해 구성된 것이다. 부호 117a는 체결구가 통과하는 관통공을 나타낸다.

그러므로 경우에 따라서는 입구(111)와 출구(112)에는 나사부(미도시)를 갖도록 하여 다른 부품과 체결되도록 구성될 수도 있다.

밸브몸체(110)의 보올회동공(113)에는 보올(120)이 구름 접촉되어 회동 가능하게 삽입되어 설치되고, 상기 보올(120)에는 입구(111) 및 출구(112)와 일직선상으로 통하는 개방공(121)이 뚫려 있다.

또한, 보올(120)를 회전시키기 위해 일단부에 고정되어 밸브몸체(110) 중간부에 설치된 누출방지부재(114)를 관통하여 타단부가 외부로 노출되도록 보올 축(130)이 설치되도록 구성되고 상기 외부로 노출된 보올축(130)의 타단부에는 손잡이(140)가 고정되는 구성을 갖는다.

또한, 밸브몸체(110)의 입구(111)와 출구(112)를 폐쇄하기 위해 개방공(121) 양측에 구비하는 보올(120)의 입구폐쇄부(122)와 출구폐쇄부(123) 중에 상기 출구폐쇄부(123)에 통기공(124)이 형성되게 구성된다.

그리고 입구폐쇄부(122)에 의해 입구(111)가 차폐된 상태에서 개방공(121)과 일직선상에 위치하는 밸브몸체(110)에는 보올회동공(113)과 통하는 에어유입공(115)이 뚫리도록 형성되게 구성된다.

또한, 에어유입공(115)에는 이물질차단망(116)이 고정되게 설치된다.

상기 이물질차단망(116)은 녹이 슬지 않은 스테인레스재와 같은 금속망으로 된 것으로서 금속밸브몸체(110)에 용접되어 고정될 수도 있고, 경우에 따라서는 나사(미도시)로 체결되게 하여 고정되게 할 수도 있다.

도 4는 본 발명의 에어벤트겸용 드레인밸브(100)의 작용을 보여 준다.

도 4의 (a)를 참조하면, 이미 알려진 바와 같이 손잡이(140)를 반시계방향으로 반회전되게 회전시키게 되면 보올(120)도 회전되어 개방공(121)이 입구(111) 및 출구(112)와 일직선 상태가 됨으로써 입구(111)로 유입되는 응축수(w)(또는 유체)가 개방공(121)을 통해서 출구(112)로 배출되게 되어 개방 상태를 갖도록 작동된다.

이때, 에어유입공(115)은 입구폐쇄부(122)에 의해 막혀져 있게 되는 상태가 되기 대문에 외부공기가 개방공(121)로 전혀 유입되지 않게 되는 것이고, 또한 통 기공(124)은 개방공(121)가 통하도록 되어 있으나 그 외측부가 보올회동공(113)내에서 밸브몸체(110)에 의해 가로막혀진 상태를 갖게 되므로 개방공(121)으로 흐르는 응축수(w)가 외부로 전혀 누출되지 않게 된다.

그리고 손잡이(140)를 도 4의 (b)와 같이 시계방향으로 반회전 시키게 되면 보올(120)이 반회전되어 입구폐쇄부(122)는 입구(111)를 폐쇄시키게 되고 출구폐쇄부(123)는 출구(112)를 폐쇄시킴으로써 입구(111)를 통해 출구(112)로 배출되는 응축수(w)의 흐름을 차단하게 되어 차폐 상태를 갖도록 작동된다.

그러나 본 발명은 상기한 차폐 상태에서 외부공기가 에어유입공(115)을 통해 개방공(121)으로 유입되어 통기공(124)을 통해서 출구(112)로 유입될 수 있는 상태로 작용된다.

이때, 이물질차단망(116)은 외부에서 이물질(미도시됨)이 에어유입공(115)으로 들어오는 것을 차단함으로써 비교적 작은 구멍이라고 할 수 있는 에어유입공(115)이나 통기공(124)이 막혀 버리는 것을 미연에 방지할 수 있도록 한다.

도 5 및 도 6은 본 발명의 드레인장치에 채용되는 드레인밸브(10)를 나타낸 것으로서, 이러한 드레인밸브(10)는 이미 공지된 밸브라고 할 수 있으나 본 발명을 보다 명확히 하고 이해를 돕기 위하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

즉, 상기 드레인밸브(10)는 입구(12) 및 출구(13)를 가진 밸브몸체(11)의 보올회동공(14) 내에서 손잡이(15)와 연결된 보올축(16)에 의해 개방공(17)을 가진 보올(18)이 회동되어 입구(12) 및 출구(13)가 도 6의 (a)와 같이 개방된 상태로 동작되거나 또는 도 6의 (b)와 같이 차폐되는 상태로 동작되도록 구성된 것이다.

또한, 입구(12)와 출구(13)에는 플랜지부(19)를 각각 구비하고 이 플랜지부(19)는 볼트,너트와 같은 체결구(6)에 의해서 집수관(4)이나 드레인관(5)과 연결되게 고정되도록 하기 위해 구성된 것이다. 부호 19a는 체결구(6)가 통과하는 관통공을 나타낸다.

그러므로 경우에 따라서는 입구(12)와 출구(13)에는 나사부(미도시)를 갖도록 하여 다른 부품과 체결되도록 구성될 수도 있다.

도 7 및 도 8를 참조하여 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

도 7은 본 발명의 드레인장치가 평상시 상태를 나타낸 것이고, 도 8은 응축수(w)를 배출시키는 드레인 상태를 보인 것이다.

따라서, 도 7과 같이 평상시 상태에서는 에어벤트겸용 드레인밸브(100)는 개방조작되어 개방된 상태를 갖도록 하고, 하측의 드레인밸브(10)는 차폐조작되어 차폐된 상태를 갖도록 한다.

그러므로 에어덕트(1)에서 발생 된 응축수(w)는 응축수집수부(2)로 모여져서 배수관(3)과 에어벤트겸용 드레인밸브(100)를 통과하여 집수관(4)에 집수되게 된다.

상기 집수관(4)은 길다란 길이를 가지므로 비교적 많은 양의 응축수(w)를 집수할 수 있다.

따라서, 이미 앞서 설명한 바와 같이 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 개방된 상태에서도 외부공기가 전혀 침투하지 못하게 되는 것일 뿐만 아니라 집수관(4) 하부가 드레인밸브(10)에 의해 차폐되어 있기 때문에 에어덕트(1)내의 공기압력은 항시 정해진 압력(정압력)을 유지하는 상태가 되면서도 응축수(w)가 응축수집수부(2)에 고이지 않게 되는 상태가 된다.

그리고 집수관(4)에 고이는 응축수(w)는 일정한 기간마다 정기적으로 배수시키게 되는 것으로서, 이때는 도 8에 보인 바와 같이 먼저 에어벤트겸용 드레인밸브(100)를 차폐조작하여 차폐된 상태를 갖도록 한 다음 하측에 있는 드레인밸브(10)를 개방조작하여 개방된 상태를 갖도록 조작한다.

따라서, 개방된 드레인밸브(10)를 통해서 집수관(4)에 있는 응축수(w)가 드레인관(5)을 통해 배수되게 된다.

이때, 에어벤트겸용 드레인밸브(100)의 에어유입공(115)을 통해 외부공기가 유입되어 개방공(121)과 통기공(124)을 통해서 외부공기가 집수관(4)으로 유입되기 때문에 집수관(4)내의 응축수(w)가 원활하게 드레인밸브(10)와 드레인관(5)을 통해 배수되게 된다.

이해를 돕기 위하여, 가령 집수관(4)으로 외부공기가 유입되지 않게 되면 드레인밸브(10)를 개방하여도 집수관(4)내의 음압에 의하여 응축수(w)가 원활하게 배수되지 않게 되는 것이나 본 발명은 드레인 작업시에 에어벤트겸용 드레인밸브(100)에서 외부공기가 유입되어 집수관(4)으로 공급하게 됨으로써 원활하게 배수 작용을 하게 되는 것이다.

그리고 드레인 작업시에 먼저 에어벤트겸용 드레인밸브(100)를 차폐된 상태를 갖도록 하기 때문에 에어덕트(1)내로 외부공기가 유입되지 않게 됨으로써 드레인 작업중에도 에어덕트(1)내의 공기압력은 항시 정해진 압력(정압력)을 유지할 수 있게 된다.

만약, 드레인 작업시에 에어덕트(1)내로 드레인장치를 동해서 외부공기가 유입되는 상태라면 드레인작업시에는 반도체 제조설비 가동을 중지한 상태에서 드레인 작업을 해야 하고 이러한 경우에는 제품(반도체) 생산이 중지되는 것이기 때문에 막대한 경제적 손실이 되는 것이나 본 발명은 반도체 제조설비 가동을 중지시키지 않은 상태에서도 드레인 작업을 가능하게 하는 특징이 있는 것이다.

한편, 집수관(4)의 응축수(w)가 배수되는 과정에도 에어덕트(1)내에서 응축수(w)가 발생될 수 있는데 이때에는 에어벤트겸용 드레인밸브(100)에 의해 차폐되어 있는 배수관(3)에 집수되게 되므로 에어덕트(1)내의 공기 흐름에 아무런 영향을 미치지 않게 된다.

따라서, 집수관(4)의 응축수(w) 배출이 완료된 다음에는 먼저 드레인밸브(10)를 차폐조작한 후 에어벤트겸용 드레인밸브(100)를 개방되게 하는 개방조작을 하여 도 7과 같은 평상시 상태를 갖도록 하는 것으로서 외부공기가 에어덕트(1)내로 유입되지 않게 된다.

따라서, 본 발명은 드레인작업시에 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 배수관(3)을 차폐시키면서 외부공기를 유입하여 집수관(4)으로 공급되게 함에 따라 원활한 배수가 되게 하므로 집수관에 에어밸브를 갖는 에어유입벤트관을 별도로 설치하지 않아도 되므로 드레인장치 설치비용이 절감되는 경제적인 이익을 갖게 한다.

즉, 반도체 제조설비는 매우 방대한 설비이기 때문에 에어배관 역시 매우 방대한 규모와 시설로 설치되는 것이므로 하나의 반도체 제조설비에는 수백개의 드레 인장치가 설치되어야 하는데, 이러한 수백개의 드레인장치마다 별도의 에어밸브를 가진 에어유입벤트관을 각각 설치하는데 있어 매우 막대한 설치비용이 소요될 수 있는 것을 본 발명은 그러하지 않아도 원활한 드레인이 되도록 하기 때문에 경제적인 이익을 도모할 수 있게 되는 것이다.

그리고 본 발명은 단지 에어벤트겸용 드레인밸브(100)와 드레인밸브(10)를 열고 닫는 개폐조작만 하면 되므로 드레인 작업에 있어 조작 공정수를 최대한 감소되게 하고 간편 용이한 조작을 도모하게 한다.

또한, 에어벤트겸용 드레인밸브(100)를 차폐조작하면 자동으로 외부공기가 집수관(4)으로 유입되어 원활한 배수가 도모되게 하므로 예전에 오조작으로 인해 정압력을 유지하여야 하는 에어덕트(1) 내부에 외부공기가 유입되어 생산 차질이 발생되었던 문제점이 완전히 해결되게 되고, 그로 인해 외부공기가 에어덕트(1) 내부로 유입됨에 따라 생산제품 불량이 야기되고 생산 차질이 발생되었던 문제가 완전히 해결되는 것이다.

그리고 본 발명은 드레인작업의 오조작이 없게 하므로 안전하게 배출되어야 하는 응축수가 오조작으로 인해 누설되어 오염이 초래되었던 예전의 누설 위험을 원천적으로 차단하게 되는 것이다.

이상의 설명에 따르면, 본 발명은 원활한 배수 작용이 되게 하여 배수 성능이 획기적으로 향상되게 하는 효과를 제공할 뿐만 아니라 드레인 성능이 월등하면서도 드레인장치 구조를 간소화되게 하므로 조작이 간편 용이하고 설치비용에 있어 원가절감이 도모되게 하므로 경제성을 갖게 하는 효과를 제공한다.

또한, 드레인 작업시에 에어덕트내로 외부공기가 유입되지 않게 하면서도 드레인 작업이 가능하게 하므로 생산설비 가동을 중지시키지 않게 하므로 생산 차질이 없게 하는 효과를 제공하게 되는 것이다.

그리고 본 발명은 반도체 제조설비에 있어 정압을 요구하는 에어덕트의 응축수를 배수시키는 드레인장치와 에어벤트겸용 드레인밸브를 설명하였지만 경우에 따라서는 반도체 제조설비가 아닌 것에도 실시 가능한 것이므로 청구범위를 크게 벗어나지 않는 한 폭넓게 적용되고 보호되어야 하는 것은 자명한 것이다.

Claims (4)

1. 삭제
2. 삭제
3. 에어덕트(1)의 응축수집수부(2)에 설치되는 드레인장치로서;

   상기 응축수집수부(2) 하측에 배수관(3)이 고정되게 설치되고;

   상기 배수관(3)에는 입구(111) 및 출구(112)를 가진 밸브몸체(110)의 보올회동공(113) 내에서 손잡이(140)와 연결된 보올축(130)에 의해 개방공(121)을 가진 보올(120)이 회동되고 상기 개방공(121) 양측에 구비하는 보올(120)의 입구폐쇄부(122)와 반대쪽에 위치하는 출구폐쇄부(123)에는 통기공(124)이 형성되고 상기 입구폐쇄부(122)에 의해 입구(111)가 차폐된 상태에서 개방공(121)과 일직선상에 위치하는 밸브몸체(110)에는 보올회동공(113)과 통하는 에어유입공(115)이 형성되게 구성된 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 설치되어 상기 배수관(3)이 개폐되도록 하고;

   상기 에어벤트겸용 드레인밸브(100)의 출구(112)에는 응축수(w)가 집수되는 길다란 집수관(4)이 설치되고;

   상기 집수관(4)에는 입구(12) 및 출구(13)를 가진 밸브몸체(11)의 보올회동공(14) 내에서 손잡이(15)와 연결된 보올축(16)에 의해 개방공(17)을 가진 보올(18)이 회동되어 개폐되는 드레인밸브(10)가 설치되며;

   상기 드레인밸브(10)의 출구(13)에는 드레인관(5)이 설치되어 상기 에어벤트겸용 드레인밸브(100)가 배수관(3)을 폐쇄하게 하고 드레인밸브(10)를 개방시키면 에어유입공(115)과 통기공(124)을 통해 외부 공기가 집수관(4)으로 유입되어 배수되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어벤트겸용 드레인밸브를 이용한 드레인장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 에어유입공(115)에는 이물질차단망(116)이 고정되게 설치되는 것을 특징으로 하는 에어벤트겸용 드레인밸브를 이용한 드레인장치.

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