KR100875797B1 - 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 관한 것으로, 상세하게는 포토 레지스터를 도포하는 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐에 관한 것이다.

그에 따른 본 발명은 포토 레지스터 감지 기능이 구현된 노즐 팁은 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 있어서, 입구부와 출구부를 구비하는 유로가 형성된 노즐 몸체; 상기 유로의 입구부 또는 출구부와 결합되는 노즐 팁; 및 상기 유로까지 상기 노즐 몸체를 관통하여 상기 유로에 흐르는 포토 레지스터를 감지하는 포토 레지스터 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 포토 레지스터의 흐름을 감지하는 기능을 유지함과 동시에, 포토 레지스터가 흐르는 튜브의 길이가 줄어든다. 또한, 포토 레지스터 감지수단이 노즐몸체에 형성됨으로 인해 튜브의 꺽임이 발생하지 않아 포토 레지스터의 공급을 원할이 하고 또한, 포토 레지스터 감지수단이 노즐몸체에 형성됨으로 인해, 공기방울을 함유한 포토 레지스터가 불량으로 도포되었을 때의 반도체 기판을 즉각적으로 선별할 수 있는 효과가 있다.

포토 레지스터 감지수단, 포토 센서, 광센서

Description

포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐{NOZZLE HAVING A FUNCTION OF DETECTING PHOTORESIST}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐 팁의 구성도이다.

도 2는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐 팁의 구성도이다.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐 팁의 구성도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100; 노즐 몸체 111; 입구부

112; 출구부 110; 유로

120; 홀 200; 노즐 팁

300; 포토 레지스터 감지수단 400; 광센서

410; 발광센서 420; 수광센서

500; 광 감지수단 600; 압력 감지수단

본 발명은 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 관한 것으로, 상세하게는 포토 레지스터를 도포하는 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐에 관한 것이다.

포토 레지스터를 도포하는 장치는 탱크에 담긴 액상의 포토 레지스터를 펌프에 의해 토출시켜 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하게 된다. 이때, 탱크에서 토출된 포토 레지스터가 흐르는 튜브에는 압력 조절 밸브가 형성되어 토출되는 포토 레지스터의 압력을 조절하고, 필터등이 형성되어 포토 레지스터의 이물질을 걸러내게 된다. 또한, 튜브에 흐르는 포토 레지스터를 통과 또는 차단시키기 위해서, 전기적 신호에 의해 구동되는 전자식 개/폐 밸브가 개재되어 포토 레지스터를 통과 또는 차단시키게 된다. 이때, 전자식 개/폐 밸브를 통하여 흐르는 포토 레지스터를 통과 또는 차단시키기 위해서, 포토 레지스터의 흐름을 감지할 수 있는 센서가 튜브 중간에 설치되어 포토 레지스터의 흐름을 감지하게 된다.

그러나, 포토 레지스터의 흐름을 감지하는 센서는 포토 레지스터가 흐르는 튜브 사이에 연결될 때, 튜브를 휘어지게 하여 포토 레지스터의 흐름을 막는 문제가 발생하고 또한, 센서가 부착될 위치를 포토 레지스터 도포 장치 내에 따로 형성해야 하기 때문에 포토 레지스터 도포 장치의 실장공간이 늘어남과 동시에 튜브의 길이도 길어져야 하는 문제가 있다.

또한, 튜브에 공기방울 유입되면, 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포할 때, 반도체기판에는 포토 레지스터의 도포 불량이 발생하게 되는데, 센서가 튜브의 중 간에 설치되므로 인해서 공기 방울의 발생 유무를 확인할 수 있으나, 이러한 공기 방울을 함유한 포토 레지스터가 반도체 기판에 도포되는 시점은 정확히 알 수 없으므로, 포토 레지스터가 불량으로 도포된 반도체 기판을 선별하는 데에는 많은 시간이 걸리는 문제가 있다.

상기한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 포토 레지스터의 흐름을 감지하는 기능을 유지하면서, 포토 레지스터가 흐르는 튜브의 길이를 줄이고, 튜브에 공기방울이 유입되었을 때, 공기방울을 내포한 포토 레지스터가 반도체기판에 도포될 때의 시점을 정확이 앎으로써, 불량으로 도포된 반도체 기판을 선별하는 데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 포토 레지스터 감지 기능이 구현된 노즐 팁은 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 있어서, 입구부와 출구부를 구비하는 유로가 형성된 노즐 몸체; 상기 유로의 입구부 또는 출구부와 결합되는 노즐 팁; 및 상기 유로까지 상기 노즐 몸체를 관통하여 상기 유로에 흐르는 포토 레지스터를 감지하는 포토 레지스터 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 포토 레지스터 감지수단은 상기 노즐 몸체를 관통하여 상기 유로까지 홀을 형성하고, 상기 홀에 반사형 초음파 센서를 설치하여 상기 포토 레지스터를 감지할 수 있다.

또한, 상기 포토 레지스터 감지수단은 상기 노즐 몸체의 양 측면에서 상기 노즐 몸체를 상기 유로까지 관통하여 홀을 형성하며, 상기 노즐 몸체의 양 측면에 형성된 양측 홀의 각각에 광센서가 상기 유로까지 삽입되고, 상기 광센서들에 광 감지 수단을 연결하여 상기 포토레지스터의 유/출입을 감지할 수 있다.

또한, 상기 광센서는 발광센서와, 수광센서로 나뉘어질 수 있다.

또한, 상기 포토 레지스터 감지수단은 상기 노즐 몸체를 관통하여 상기 유로까지 홀을 형성하고, 상기 홀에 압력 감지 수단을 설치하여 형성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 포토 레지스터 감지 기능이 구현된 노즐 팁은 노즐 몸체(100)와, 노즐 팁(200), 및 포토 레지스터 감지수단(300)을 포함하여 형성될 수 있다.

노즐 몸체(100)는 입구부(111)와 출구부(112)를 구비하는 유로(110)가 형성되어 있다. 이러한 유로(110)는 액상의 포토 레지스터를 공급하는 통로가 되며, 입구부(111)와 출구부(112)에는 노즐 팁(200)과의 결합을 위한 나사 산이 형성되거나, 유로(110)와 노즐 팁(200)이 결합한 후, 이들 사이를 씰링하는 씰링 부재(미도시)가 안착될 수 있는 홈(미도시) 입구부(111)와 출구부(112) 주변에 형성될 수 있다. 이때, 노즐 몸체(100)의 입구부(111) 또는 출구부(112)에는 튜브(미도시)가 연결될 수 있으며, 이 튜브를 통해 포토 레지스터를 공급할 수 있다.

노즐 팁(200)은 유로(110)의 입구부(111) 또는 출구부(112)와 결합된다. 이때, 노즐 몸체(100)와 노즐 팁(200)은 나사 결합을 할 수 있으며, 이들이 나사 결합하고 난 뒤에 이들 사이에 형성된 틈에는 오링 등과 같은 씰링 부재(미도시)가 개재되거나, 접착제등과 같은 씰링 부재가 도포되어 노즐 팁(200)과 노즐 몸체(100)를 씰링 할 수 있다. 이러한 노즐 팁(200)은 스레인레스 스틸 같은 부식에 강한 재질로 형성될 수 있지만, 본 발명에서 그 재질을 한정하는 것은 아니다. 또한, 본 발명에서 노즐 팁(200)과 노즐 몸체(100)와의 결합관계를 한정하는 것을 아니다.

포토 레지스터 감지수단(300)은 노즐 몸체(100)를 관통하여 유로(110)까지 형성되고, 유로(110)에 흐르는 포토 레지스터의 흐름을 감지할 수 있다. 이러한, 포토 레지스터 감지수단(300)은 노즐 몸체(100)를 관통하여 유로(110)까지 형성되는 형태로, 포토 레지스터의 흐름을 감지하는 모든 수단이 적용될 수 있다. 예를 들면, 노즐 몸체(100)의 외부면에서 유로(110)까지 홀(120)을 형성하고, 홀(120)에 반사형 초음파 센서(미도시)를 설치하여 포토 레지스터의 흐름을 감지할 수 있다. 또는, 노즐 몸체(100)의 유로(110)까지 노즐 몸체(100)를 관통하는 홀(미도시)을 형성하고, 노즐 몸체(100)의 형성된 양측 홀(미도시)의 각각에 송신용 포토 센서(미도시)와 수신용 포토 센서(미도시)를 설치하여 포토 레지스터의 흐름을 감지할 수도 있다.

이러한 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐을 사용하여 반도체 기판의 일면에 포토 레지스터를 도포하게 되면, 포토 레지스터의 흐름을 측정하는 포토 레지스터 측정 장치를 별도로 설치하지 않아도, 포토 레지스터를 측정할 수 있으며, 또한 노즐 몸체(100)과 포토 레지스터 감지 수단(300)이 분리되었을 때, 이들을 연결하는 튜브(미도시)를 별도로 장착하지 않아 튜브의 고장에 의한 오작동을 염려하지 않아도 된다. 또한, 튜브를 별도로 장착하지 않으므로, 노즐 팁(200)과 포토 레지스터 감지 수단(300)과의 거리 차에 의한 감지 시간의 오차를 줄일 수 있게 된다. 예를 들어, 본 발명에 의한 바와 같이, 노즐 팁(200)과 포토 레지스터 감지수단(300)를 일체형으로 형성하면, 포토 레지스터가 노즐 팁(200)을 지나 칠때, 포토 레지스터 감지 수단을 이를 감지하게 되고, 이 데이타를 포토 레지스터 도포 시스템(미도시)에 보내게 된다. 이때, 포토 레지스터 감지 수단(300)과 포토 레지스터 도포 시스템과의 지연 시간을 차감하면, 노즐 팁(200)에 흐르는 현재 포토 레지스터의 시간을 정밀하게 알 수 있게 된다. 또한, 노즐 몸체(100)에 튜브가 연결되고, 이 튜브를 통하여 공기방울이 유입되면, 이 공기방울은 포토 레지스터와 함께 반도체 기판에 도포된다. 이러한 공기방울이 포토 레지스터와 함께 도포됨으로 인하여 반도체 기판은 포토 레지스터의 도포불량이 발생하게 된다. 이때, 본 발명의 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐 팁을 이용하게 되면, 노즐 몸체(100)와 포토 레지스터 감지 수단(300)이 일체형으로 형성되어 있으므로, 공기 방울을 함유한 포토 레지스터가 반도체 기판에 도포될 때, 이 공기방울을 포토 레지스터 감지 수단(300)이 검출하게 된다. 이때, 이 검출시점의 공기방울을 함유한 포토레지스터가 도포된 반도체 기판을 검사하여 포토 레지스터의 도포 상태를 검사할 수 있게 된다. 따라서, 공기방울로 인해 포토 레지스터가 불량으로 도포된 반도체 기판을 즉각적으로 선별할 수 있게 된다.

한편, 포토 레지스터 감지수단의 또 다른 실시예에 대해 도 2를 참조하여 보면, 포토 레지스터 감지수단은 광센서(400)와, 광센서(400)와 연결된 광 감지 수단(500)으로 형성될 수 있다.

먼저, 노즐 몸체(100)의 외부면에서 노즐 몸체(100)를 유로(110)까지 관통하는 복수의 홀(131,132)을 형성한다. 상기 복수의 홀(131, 132)은 상기 유로(110)를 기준으로 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 광센서(400)를 노즐 몸체(100)의 양측 홀(131,132) 각각에 삽입한다. 이러한 광센서(400)는 노즐 몸체(100)의 양 측에 형성된 홀(131,132) 가운데 어느 하나의 홀에 삽입된 발광센서(410)와, 발광센서(410)가 삽입된 홀과 대향하는 홀에 수광센서(420)를 설치하여 형성될 수 있다. 이러한 광센서(400)들은 외부와의 빛을 차단하기 위한 피복 등과 같은 광차폐 수단을 더 구비할 수 있으며, 노즐 몸체(100)에 형성된 홀(131, 132)에 삽입되어 결합하기 위해 나사산이 형성되거나 그 주변에 씰링부재가 더 형성될 수 있다.

그런 다음, 발광센서(410)와 수광센서(420)들에 광 감지 수단(500)을 연결하여 포토레지스터의 유/출입을 감지한다. 포토 레지스터의 유/출입을 감지하는 방법은 발광센서(410)에 발사된 광원을 수광센서(420)가 감지하여 포토 레지스터가 흐르지 않는 것을 감지한다. 이때, 유로(110)에 포토 레지스터가 흐르게 되면, 발광센서(410)에서 발사된 광원을 포토 레지스터가 차단하게 되고, 수광센서(420)는 광원이 차단된 상태가 된다. 그리고 나서, 광 감지 수단(500)은 수광센서(420)의 광원이 차단된 상태를 감지하여 포토 레지스터가 공급되는 것을 포토레지스터 도포 시스템에 알리게 된다. 이때, 광센서(400)에서 광 감지 수단(500)까지 광섬유가 연결되어 광신호를 전달할 수도 있으며, 또는, 광센서(400)가 포토센서 등으로 형성 되어 광센서(400)에서 광 감지 수단(500)까지 연결된 전기선을 통해 전기 신호를 전달할 수 있다.

한편, 도 3을 참조하면, 본 발명의 포토 레지스터 감지수단은 노즐 몸체(100)의 외부면을 관통하여 유로(110)까지 홀(120)을 형성하고, 홀(120)에 압력 감지 수단(600)을 설치하여 형성할 수 있다.

압력 감지 수단(600)은 압력 센서(미도시)와 압력 센서와 전기적으로 연결된 압력 감지 장치(미도시)를 포함하여 형성될 수 있다.

압력 센서(미도시)는 노즐 몸체(100)에 형성된 홀(120)에 설치될 수 있다. 이러한 압력 센서는 유로(110)에 흐르는 포토 레지스터가 유로를 관통한 홀(120) 주변에 흐를 때, 포토 레지스터의 압력을 감지하여 이를 전기적 신호로 변환시키고, 변환된 전기신호는 압력 감지 장치로 보내지게 되어, 포토 레지스터의 흐름 유무와 내부 압력을 알 수 있게 된다. 이때, 압력 센서는 홀(120)과 나사 결합 등으로 결합되고, 압력 센서와 홀(120)이 결합하는 사이에는 씰링 부재(미도시)가 형성될 수 있다.

본 발명은 상술한 특정의 실시예나 도면에 기재된 내용에 그 기술적 사상이 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 본 발명의 청구범위 내에 있게 된 다.

본 발명의 효과는 노즐 팁과 결합한 노즐몸체에 포토 레지스터 감지수단을 결합할 때 발생한다.

그에 따른 효과로는 포토 레지스터의 흐름을 감지하는 기능을 유지하면서, 포토 레지스터가 흐르는 튜브의 길이가 줄어드는 효과가 있다.

또한, 포토 레지스터의 흐름을 감지하는 기능을 유지하면서, 포토 레지스터 감지수단이 노즐몸체에 형성됨으로 인해, 튜브의 꺽임이 발생하지 않아 포토 레지스터의 공급을 원할이 하는 효과가 있다.

또한, 포토 레지스터 감지수단이 노즐몸체에 형성됨으로 인해, 공기방울을 함유한 포토 레지스터가 불량으로 도포되었을 때의 상기 반도체 기판을 즉각적으로 선별할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 삭제
2. 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 있어서,

   입구부와 출구부를 구비하는 유로가 형성된 노즐 몸체;

   상기 유로의 입구부 또는 출구부와 결합되는 노즐 팁; 및

   상기 노즐 몸체의 외부면에서 상기 유로까지 형성된 홀에 위치하는 반사형 초음파 센서;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐.
3. 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 있어서,

   입구부와 출구부를 구비하는 유로가 형성된 노즐 몸체;

   상기 유로의 입구부 또는 출구부와 결합되는 노즐 팁;

   상기 노즐몸체의 외부면에서 상기 유로까지 관통되며, 상기 유로를 기준으로 대응되는 위치에 형성되는 복수의 홀에 각각 위치하는 복수의 광센서; 및

   상기 복수의 광센서에 연결되어 상기 포터레지스터의 유/출입을 감지하는 광 감지 수단;

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 복수의 광센서는 발광센서와 수광센서로 나뉘어지는 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐.
5. 반도체 기판에 포토 레지스터를 도포하는 장치에 있어서,

   입구부와 출구부를 구비하는 유로가 형성된 노즐 몸체;

   상기 유로의 입구부 또는 출구부와 결합되는 노즐 팁; 및

   상기 노즐 몸체의 외부면에서 상기 유로까지 형성된 홀에 위치하는 압력 감지 수단;

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 감지 기능이 구비된 노즐.

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