KR100873190B1 - 초소형 전자칼럼 - Google Patents
초소형 전자칼럼 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100873190B1 KR100873190B1 KR1020030066003A KR20030066003A KR100873190B1 KR 100873190 B1 KR100873190 B1 KR 100873190B1 KR 1020030066003 A KR1020030066003 A KR 1020030066003A KR 20030066003 A KR20030066003 A KR 20030066003A KR 100873190 B1 KR100873190 B1 KR 100873190B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- lens
- source
- holder
- column
- base
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 전자 방출원, 소스 렌즈, 디플렉터, 및 아인젤 렌즈를 포함하는 초소형 전자칼럼에 있어서,방출원이 삽입되는 방출원 홀더, 상기 방출원 홀더가 삽입되는 홀더 베이스, 및 상기 홀더 베이스와 결합되는 렌즈부 하우징을 포함하며, 상기 방출원 홀더와 홀더 베이스가 상하 방향으로 나사결합되어 상기 방출원 홀더와 홀더 베이스의 높이 조정이 가능한 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼.
- 전자 방출원, 소스 렌즈, 디플렉터, 및 아인젤 렌즈를 포함하는 초소형 전자칼럼에 있어서,상기 소스 렌즈 또는 상기 아인젤 렌즈가 삽입 고정되는 렌즈 플레이트를 포함하며, 상기 렌즈 플레이트가 착탈 가능하게 타 부분과 결합되어 상기 소스 렌즈 또는 상기 아인젤 렌즈가 다른 부분과는 직접 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼.
- 전자 방출원, 소스 렌즈, 디플렉터, 아인젤 렌즈, 및 칼럼 베이스를 포함하는 초소형 전자칼럼에 있어서,상기 전자 방출원이 삽입되도록 중공이며 외부의 전부 또는 하부 일부에 나사산이 형성된 전자 방출원 홀더;상기 전자 방출원 홀더가 동축상으로 삽입되어 나사 결합되도록 나사산이 내 부에 형성되어 있고, 하부에는 상기 소스 렌즈가 결합되는 방출원 홀더 베이스;상기 아인젤 렌즈가 삽입 고정되며 중공 홀이 있는 렌즈 플레이트; 및중공이며 상부에서는 상기 홀더 베이스와 결합되며, 중심부에는 디플렉터가 삽입될 수 있도록 방사상으로 관통홀들이 형성되어 있고, 하부에는 상기 렌즈 플레이트가 삽입 형성될 수 있도록 단이 형성된 칼럼 베이스;을 포함하는 초소형 전자칼럼.
- 제3항에 있어서, 상기 홀더 베이스와 상기 칼럼베이스에는 각각 대응되게 나사부를 더 포함하여 상하 나사결합되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 렌즈 플레이트와 상기 홀더 베이스에 각각 렌즈 배선을 위한 홈 또는 홀이 방사상으로 형성되고 상기 칼럼베이스에도 렌즈 및 디플렉터의 배선을 위한 도피홈 또는 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼.
- 제1항, 제3항, 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 홀더 베이스에 방사상으로 복수개의 탭홀이 형성되어 볼트 또는 무드 볼트로 상기 방출원 홀더와 홀더 베이스사이에서 X-Y 좌표이동 및 고정이 되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030066003A KR100873190B1 (ko) | 2003-09-23 | 2003-09-23 | 초소형 전자칼럼 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030066003A KR100873190B1 (ko) | 2003-09-23 | 2003-09-23 | 초소형 전자칼럼 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050029794A KR20050029794A (ko) | 2005-03-29 |
KR100873190B1 true KR100873190B1 (ko) | 2008-12-10 |
Family
ID=37386303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030066003A KR100873190B1 (ko) | 2003-09-23 | 2003-09-23 | 초소형 전자칼럼 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100873190B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101945411B1 (ko) * | 2014-05-07 | 2019-02-07 | 한화파워시스템 주식회사 | 축 정렬 장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970030237A (ko) * | 1995-11-13 | 1997-06-26 | 파커 윌리암 엔 | 다중빔 전자리쏘그래픽 시스템용 전자칼럼 광학기 |
KR20010074651A (ko) * | 1999-05-05 | 2001-08-04 | 게스레이 마크 | 집적화된 마이크로컬럼과 주사프로브현미경 어레이 |
-
2003
- 2003-09-23 KR KR1020030066003A patent/KR100873190B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970030237A (ko) * | 1995-11-13 | 1997-06-26 | 파커 윌리암 엔 | 다중빔 전자리쏘그래픽 시스템용 전자칼럼 광학기 |
KR20010074651A (ko) * | 1999-05-05 | 2001-08-04 | 게스레이 마크 | 집적화된 마이크로컬럼과 주사프로브현미경 어레이 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050029794A (ko) | 2005-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6957587B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のための交換可能マルチ開孔構成、および荷電粒子ビーム装置を操作するための方法 | |
US6320194B1 (en) | Portable high resolution scanning electron microscope column using permanent magnet electron lenses | |
Tromp et al. | Design of a new photo-emission/low-energy electron microscope for surface studies | |
US7834326B2 (en) | Aberration corrector and charged particle beam apparatus using the same | |
US20020117967A1 (en) | Electron beam system using multiple electron beams | |
US20110315890A1 (en) | Gas ion source with high mechanical stability | |
JP5425475B2 (ja) | 電子カラム用真空度差維持器具 | |
US7675042B2 (en) | Beam optical component for charged particle beams | |
KR100895959B1 (ko) | 초소형 전자칼럼용 하우징 | |
KR100873190B1 (ko) | 초소형 전자칼럼 | |
US7829865B2 (en) | Electrostatic deflector | |
US5304888A (en) | Mechanically stable field emission gun | |
EP0689224B1 (en) | Charged particle beam device | |
KR100973337B1 (ko) | 단순 구조의 초소형 전자칼럼 | |
Spallas et al. | A manufacturable miniature electron beam column | |
US20050190886A1 (en) | X-ray tube | |
KR20000034984A (ko) | 하전입자 빔을 포커싱하는 자기 렌즈 | |
JP5349265B2 (ja) | 静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法および偏向器・レンズ | |
US5763889A (en) | Electron beam-generating apparatus | |
KR101204358B1 (ko) | 전자 칼럼용 모셔닝 장치 | |
KR100506027B1 (ko) | 마이크로컬럼 어레이 | |
JP2000133181A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2010528446A (ja) | Cntチップを用いる電子カラム及びcntチップを整列する方法 | |
KR20130062171A (ko) | 멀티 전자칼럼용 멀티 전자방출원 | |
KR20170040785A (ko) | 정렬이 용이한 나노구조팁을 구비한 초소형전자칼럼 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121203 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131203 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141203 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151203 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161205 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171204 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181203 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191203 Year of fee payment: 12 |