KR100861106B1 - 다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템 - Google Patents

다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100861106B1
KR100861106B1 KR1020060135676A KR20060135676A KR100861106B1 KR 100861106 B1 KR100861106 B1 KR 100861106B1 KR 1020060135676 A KR1020060135676 A KR 1020060135676A KR 20060135676 A KR20060135676 A KR 20060135676A KR 100861106 B1 KR100861106 B1 KR 100861106B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
chemical liquid
transfer pipe
transfer
chemical
Prior art date
Application number
KR1020060135676A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080060992A (ko
Inventor
오종주
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020060135676A priority Critical patent/KR100861106B1/ko
Publication of KR20080060992A publication Critical patent/KR20080060992A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100861106B1 publication Critical patent/KR100861106B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

다수개의 필터부를 가지고 선택적으로 운용할 수 있는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템이 설명된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템은 화학 약액을 일시적으로 저장하는 탱크, 탱크에 화학 약액을 공급하는 공급관, 탱크로부터 화학 약액을 이송해가는 제1 이송관, 제1 이송관과 연결되고, 탱크로부터 화학 약액을 끌어내는 이송 펌프, 이송 펌프와 연결되고, 이송 펌프가 밀어내는 화학 약액을 전달하는 제2 이송관, 제2 이송관과 연결되고, 화학 약액을 필터링하기 위한 필터부, 및 필터부와 연결되고, 필터부를 통과한 화학 약액을 이송하는 제3 이송관을 포함하고, 필터부는 병렬로 연결된 제1 필터부와 제2 필터부를 포함한다.
필터, 3웨이 밸브

Description

다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템{A Filtering System Including a Plurality of Filter Unit}
도 1은 종래 기술에 의한 화학 약액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
110, 210, 310: 필터링 시스템
120: 공급관
130: 배출관
140: 탱크
150, 250, 350: 이송관
160, 260: 밸브 360: 3웨이 밸브
170, 270, 370: 필터
본 발명은 화학 약액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템에 관한 것으로서, 특히 병렬로 연결된 화학 약액 필터 라인을 포함하는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템에 관한 것이다.
반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 공정에는 다양한 종류의 화학 약액이 사용된다. 이러한 화학 약액들은 보틀 상태 또는 드럼 상태 등으로 생산 라인으로 반입되어 화학 약액들을 사용하는 제조 장치에 제공된다. 화학 약액들을 사용하는 장치들은, 일반적으로 화학 약액들을 일시적으로 저장하는 탱크를 가지고 있어서, 이 탱크에 화학 약액들을 각각 일시적으로 저장한 다음, 필요할 때마다 적당량을 빼내어 사용하는 방식으로 화학 약액들을 사용한다.
이때, 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는데 사용되는 제조 장치들은 일시적으로 저장되어 있는 화학 약액을 그대로 사용하는 것이 아니라 필터링 시스템을 구비하여 사용할 때마다 필터링하여 사용한다. 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는데 사용되는 화학 약액들을 포장 상태의 화학 약액 및 탱크에 일시적으로 저장된 화학 약액 상태보다 더 깨끗하고 순수한 상태이어야만 하기 때문이다.
첨부한 도면을 참조하여 종래 기술에 의한 화학 약액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템을 설명한다.
도 1은 종래 기술에 의한 화학 약액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 의한 화학 약액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템(10)은, 화학 약액 공급관(20), 화학 약액 공급관(20)으로부터 화학 약액을 공급받아 일시적으로 저장하는 화학 약액 탱크(40), 화학 약액의 불순물이나 지꺼기를 배출하기 위한 화학 약액 배출관(30), 화학 약액 탱크(40)에 저장된 화학 약액을 이송하는 제1 이송관(50a), 제1 이송관(50a)에 연결되어 화학 약액을 끌어들이고 밀어내는 이송 펌프(60), 이송 펌프(60)와 연결되어 이송 펌프(60)가 밀어내는 화학 약액을 이송하는 제2 이송관(50b), 제2 이송관(50b)과 연결되어 제2 이송관(50b)을 개폐하는 제1 밸브(60a), 제1 밸브(60a)와 연결되어 화학 약액을 필터링하는 필터부(70), 필터부(70)와 연결된 제2 밸브(60b), 및 제2 밸브(60b)와 연결되어 화학 약액을 다른 곳으로 이송하는 제3 이송관(50c)을 포함한다.
도1에 도시된 종래 기술에 의한 화학 약액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템(10)은, 이송관들(50a, 50b, 50c), 이송 펌프(60), 밸브들(60a, 60b), 및 필터부(70)가 직렬 연결로 구성된다. 따라서, 어느 한 곳이 오동작 또는 고장을 일으킬 경우, 시스템 전체, 장치가 공정을 진행하지 못하고 멈추어야 한다. 또는, 어느 한 곳을 점검 또는 수리하고자 할 경우에도 마찬가지로 시스템 전체, 장치가 공정을 진행하지 못하고 멈추어야 한다.
이 같은 현상은 고가의 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 가격을 고려할 때, 매우 비경제적인 부분이고, 또한 24시간 가동되어야 하는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 특성 상, 마이너스 요인이다. 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치는, 잠시간이라도 멈추게 되면 다시 정상적인 동작 상태가 되기까지 많은 시간이 걸리기 때문이다.
따라서, 장치가 오동작 또는 고장을 일으킨 경우, 장치를 점검하거나 수리하는 경우 등에 있어서, 장치를 멈추지 않고 계속 가동 상태를 유지하면서 장치를 점검 및 수리할 수 있는 필터링 시스템이 필요하다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 화학 용액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치를 점검 및/또는 수리하고자 할 때에도 장치를 멈추지 않고 계속 가동 상태를 유지하면서 장치를 점검 및/또는 수리할 수 있는 화학 용액을 사용하여 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조하는 장치의 필터링 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템은, 화학 약액을 일시적으로 저장하는 탱크, 탱크에 화학 약액을 공급하는 공급관, 탱크로부터 화학 약액을 이송해가는 제1 이송관, 제1 이송관과 연결되고, 탱크로부터 화학 약액을 끌어내는 이송 펌프, 이송 펌프와 연결되고, 이송 펌프가 밀어내는 화학 약액을 전달하는 제2 이송관, 제2 이송관과 연결되고, 화학 약액을 필터링하기 위한 필터부, 및 필터부와 연결되고, 필터부를 통과한 화학 약액을 이송하는 제3 이송관을 포함하고, 필터부는 병렬로 연결된 제1 필터부와 제2 필터부를 포함한다.
제1 필터부는 직렬로 연결된 제1 밸브, 제1 필터, 및 제2 밸브를 포함하고, 제2 필터부는 직렬로 연결된 제3 밸브, 제2 필터, 및 제4 밸브를 포함할 수 있다.
제1 밸브 및 제3 밸브는 제2 이송관으로부터 화학 약액이 제1 필터로 유입되는 것을 개폐하고, 제2 밸브 및 제4 밸브는 제1 필터로부터 화학 약액이 제3 이송관으로 유출되는 것을 개폐할 수 있다.
제2 이송관에는 화학 약액을 제1 필터부와 제2 필터부 중 어느 한 곳으로 보내기 위한 3웨이 밸브를 포함할 수 있고, 제3 이송관에는 제1 필터부와 제2 필터부 중 어느 한 곳으로부터 유출되는 화학 약액을 받아들이기 위한 3웨이 밸브를 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(110)은, 화학 약액을 일시적으로 저장하는 탱크(140), 탱크에 화학 약액을 공급하는 공급관(120), 탱크로부터 화학 약액을 이송해가는 제1 이송관(150a), 제1 이송관(150a)과 연결되고, 탱크(140)로부터 화학 약액을 끌어내는 이송 펌프(160), 이송 펌프(160)와 연결되고, 이송 펌프(160)가 밀어내는 화학 약액을 전달하는 제2 이송관(150b), 제2 이송관(150b)과 연결되고, 화학 약액을 필터링하기 위한 필터부(F1, F2), 및 필터부(F1, F2)와 연결되고, 필터부(F1, F2)를 통과한 화학 약액을 이송하는 제3 이송관(150c)을 포함하고, 필터부(F1, F2)는 병렬로 연결된 제1 필터부(F1)와 제2 필터부(F2)를 포함한다.
공급관(120)은 탱크(140)에 화학 약액을 공급하기 위한 배관이고, 배출 관(130)은 탱크(140) 내부의 물질을 외부로 배출하기 위한 배관이다. 공급관(120) 및 배출관(130)은 필요시에만 개방되어 화학 약액을 탱크(140)에 공급하거나 탱크(140)로부터 외부로 배출한다.
탱크(140)는 화학 약액을 일시적으로 저장하고, 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치에서 정상적인 제조 공정을 진행할 때 화학 약액을 제공하는 역할을 한다.
이송관들(150a, 150b, 150c)은 화학 약액을 탱크(140)로부터 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 공정 공간으로 이송, 전달하는 기능을 갖는다. 본 실시예에서는 본 발명의 기술적 사상을 이해하기 쉽도록 하기 위하여 세 부분으로 지적하여 설명하지만 이것은 예시적이고 편의적인 것이다. 이송관들(150a, 150b, 150c)은 본 발명의 다른 실시예에서 볼 수 있듯이 더 다양할 수도 있고 단순할 수도 있다.
본 실시예에서 제1 이송관(150a)은 탱크(140)로부터 이송 펌프(160)까지 화학 용액이 이송되는 통로에 해당한다.
이송 펌프(160)는 본 실시예에서 로터리 펌프 또는 메카니컬 펌프 일 수 있으며, 탱크(140)로부터 화학 용액을 끌어 들여 필터부(F1, F2)로 전달하는 구동력을 제공한다.
제2 이송관(150b)은 이송 펌프(160)로부터 필터부(F1, F2)로 화학 용액을 이송, 전달하는 기능을 갖는다.
필터부(F1, F2)는 본 실시예에서 제1 필터부(F1)와 제2 필터부(F2)를 포함한 다.
제1 필터부(F1)는 직렬로 연결된 제1 밸브(160a), 제1 필터(170a), 및 제2 밸브(160b)를 포함하며, 제2 필터부(F2)는 직렬로 연결된 제3 밸브(160c), 제2 필터(170b), 및 제4 밸브(160d)를 포함한다.
제1 밸브(160a)는 제2 이송관(150b)으로부터 제1 필터(170a)로 화학 용액이 전달되거나 전달되지 않도록 화학 약액 이송 통로를 개폐하는 기능을 갖는다.
제1 필터(170a)는 제1 밸브(160a)를 통하여 전달되어 온 화학 약액을 필터링한다.
제2 밸브(160b)는 제1 필터(170a)를 통과한 화학 약액을 제3 이송관(150c)으로 전달될 수 있도록 화학 약액 이송 통로를 개폐하는 기능을 갖는다.
제3 밸브(160c)는 제2 이송관(150b)으로부터 제2 필터(170b)로 화학 용액이 전달되거나 전달되지 않도록 화학 약액 이송 통로를 개폐하는 기능을 갖는다.
제2 필터(170b)는 제3 밸브(160c)를 통하여 전달되어 온 화학 약액을 필터링한다.
제4 밸브(160d)는 제1 필터(170b)를 통과한 화학 약액을 제3 이송관(150c)으로 전달될 수 있도록 화학 약액 이송 통로를 개폐하는 기능을 갖는다.
본 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(110)은 제1 필터부(F1)와 제2 필터부(F2)를 선택적으로 하나만 운용되도록 할 수 있으며, 특히 제조 장치의 가동 상태를 멈추지 않고도 특정한 필터부(F1, F2)를 선택적으로 하나만 운용되도록 할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(210)은, 제1 이송관(250a), 제1 이송관(250a)과 연결되고, 화학 약액을 필터링하기 위한 필터부(F1, F2, F3), 및 필터부(F1, F2, F3)와 연결되고, 필터부(F1, F2, F3)를 통과한 화학 약액을 이송하는 제2 이송관(250b)을 포함하고, 필터부(F1, F2, F3)는 병렬로 연결된 제1 필터부(F1), 제2 필터부(F2) 및 제3 필터부(F3)를 포함한다.
도 3에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(210)은, 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(110)과 비교하여, 제3 필터부(F3)를 포함한다. 즉, 본 발명의 실시예들에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(110, 210)들은 더 많은 다수개의 필터부(F1, F2, F3)를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(310)은, 제1 이송관(350a), 제1 이송관(350a)으로부터 화학 약액을 이송 받아 제1 필터(370a)와 제2 필터(370b) 중 어느 한 곳으로 전달하기 위한 제1 3웨이 밸브(360a), 제1 3웨이 밸브(360a)로부터 화학 약액을 이송 받아 필터링하는 제1 필터(370a) 및 제2 필터(370b), 제1 필터(370a) 및 제2 필터(370b)로부터 화학 약액을 이송 받아 제2 이송관(350b)으로 이송하기 위한 제2 3웨이 밸브(360b)를 포함한다.
본 실시예에서, 제1 3웨이 밸브(360a)는 화학 약액의 흐름을 제1 필터(370a) 또는 제2 필터(370b) 중 어느 한 곳으로 선택적으로 이송되도록 할 수 있다. 즉, 제1 3웨이 밸브(360a)가 제1 필터(370a)로 화학 약액이 이송되도록 할 경우, 제2 필터(370b)로는 화학 약액이 이송되지 않으며, 반대로 제2 필터(370b)로 화학 약액이 이송될 경우, 제1 필터(370a)로는 화학 약액이 이송되지 않도록 할 수 있다.
본 실시예에서, 제2 3웨이 밸브(360b)는 제1 필터(370a) 또는 제2 필터(370b)로부터 화학 약액을 이송 받아 제2 이송관(350b)으로 이송되도록 할 수 있다. 제2 3웨이 밸브(360b)는 제1 필터(370a)를 통과한 화학 약액이 제2 필터(370b)쪽으로 흘러 들지 않도록 하거나, 제2 필터(370b)를 통과한 화학 약액이 제1 필터(370a)로 흘러 들지 않도록 할 수 있다.
본 실시예에서도, 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템(310)은 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 가동을 멈추지 않은 상태에서 특정한 필터(370a, 370b)를 선택적으로 하나만 운용되도록 할 수 있다.
또한, 4웨이, 5웨이 밸브 등을 이용하여 더 많은 수의 필터를 이용한 필터링 시스템을 구현할 수 있다는 것은 당 업자에게 자명하다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적 인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 실시예들에 의한 반도체, LCD 또는 평판 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템은, 다수개의 필터부를 포함하여, 선택적으로 운용할 수 있으므로 제조 장치의 가동을 멈추지 않은 상태에서 선택적으로 필터부를 운용할 수 있고, 필터링 시스템의 점검 및/또는 수리 등도 제조 장치를 멈추지 않고 수행할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

Claims (7)

  1. 화학 약액을 일시적으로 저장하는 탱크,
    상기 탱크에 상기 화학 약액을 공급하는 공급관,
    상기 탱크로부터 상기 화학 약액을 이송해가는 제1 이송관,
    상기 제1 이송관과 연결되고, 상기 탱크로부터 상기 화학 약액을 끌어내는 이송 펌프,
    상기 이송 펌프와 연결되고, 상기 이송 펌프가 밀어내는 상기 화학 약액을 전달하는 제2 이송관,
    상기 제2 이송관과 연결되고, 상기 화학 약액을 필터링하기 위해 병렬로 연결된 제1 필터부와 제2 필터부를 포함하는 필터부, 및
    상기 필터부와 연결되고, 상기 필터부를 통과한 상기 화학 약액을 이송하는 제3 이송관을 포함하고,
    상기 제1 필터부는 제1 필터, 상기 제2 이송관으로부터 상기 화학 약액이 상기 제1 필터로 유입되는 것을 개폐하는 제1 밸브, 및 상기 제1 필터로부터 상기 화학 약액이 상기 제3 이송관으로 유출되는 것을 개폐하는 제2 밸브가 직렬로 연결된 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 필터부는 직렬로 연결된 제3 밸브, 제2 필터, 및 제4 밸브를 포함하는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이를 제조 장치의 필터링 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제3 밸브는 화학 약액이 상기 제2 이송관으로부터 상기 제2 필터로 유입되는 것을 개폐하고,
    상기 제4 밸브는 화학 약액이 상기 제2 필터로부터 상기 제3 이송관으로 유출되는 것을 개폐하는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템.
  5. 삭제
  6. 화학 약액을 일시적으로 저장하는 탱크,
    상기 탱크에 상기 화학 약액을 공급하는 공급관,
    상기 탱크로부터 상기 화학 약액을 이송해가는 제1 이송관,
    상기 제1 이송관과 연결되고, 상기 탱크로부터 상기 화학 약액을 끌어내는 이송 펌프,
    상기 이송 펌프와 연결되고, 상기 이송 펌프가 밀어내는 상기 화학 약액을 전달하는 제2 이송관,
    상기 제2 이송관과 연결되고, 상기 화학 약액을 필터링하기 위해 병렬로 연결된 제1 필터부와 제2 필터부를 포함하는 필터부, 및
    상기 필터부와 연결되고, 상기 필터부를 통과한 상기 화학 약액을 이송하는 제3 이송관을 포함하고,
    상기 제2 이송관에는 상기 화학 약액을 상기 제1 필터부와 제2 필터부 중 어느 한 곳으로 보내기 위한 3웨이 밸브를 포함하는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템.
  7. 화학 약액을 일시적으로 저장하는 탱크,
    상기 탱크에 상기 화학 약액을 공급하는 공급관,
    상기 탱크로부터 상기 화학 약액을 이송해가는 제1 이송관,
    상기 제1 이송관과 연결되고, 상기 탱크로부터 상기 화학 약액을 끌어내는 이송 펌프,
    상기 이송 펌프와 연결되고, 상기 이송 펌프가 밀어내는 상기 화학 약액을 전달하는 제2 이송관,
    상기 제2 이송관과 연결되고, 상기 화학 약액을 필터링하기 위해 병렬로 연결된 제1 필터부와 제2 필터부를 포함하는 필터부, 및
    상기 필터부와 연결되고, 상기 필터부를 통과한 상기 화학 약액을 이송하는 제3 이송관을 포함하고,
    상기 제3 이송관에는 상기 제1 필터부와 제2 필터부 중 어느 한 곳으로부터 유출되는 상기 화학 약액을 받아들이기 위한 3웨이 밸브를 포함하는 반도체, LCD 또는 평판 패널 디스플레이 제조 장치의 필터링 시스템.
KR1020060135676A 2006-12-27 2006-12-27 다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템 KR100861106B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060135676A KR100861106B1 (ko) 2006-12-27 2006-12-27 다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060135676A KR100861106B1 (ko) 2006-12-27 2006-12-27 다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080060992A KR20080060992A (ko) 2008-07-02
KR100861106B1 true KR100861106B1 (ko) 2008-09-30

Family

ID=39813447

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060135676A KR100861106B1 (ko) 2006-12-27 2006-12-27 다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100861106B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101303099B1 (ko) * 2010-11-30 2013-09-06 이정용 필터 교체주기 감지수단이 채용된 아연-공기 연료전지 셀 어셈블리

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0255293A (ja) * 1988-08-18 1990-02-23 Nec Corp 減圧気相成長装置
KR19990018155U (ko) * 1997-11-07 1999-06-05 구본준 반도체소자 제조를 위한 질화막 식각공정용 화학용액 순환시스템
KR20000005929U (ko) * 1998-09-04 2000-04-06 김영환 케미칼 공급장치의 휠터 웨팅시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0255293A (ja) * 1988-08-18 1990-02-23 Nec Corp 減圧気相成長装置
KR19990018155U (ko) * 1997-11-07 1999-06-05 구본준 반도체소자 제조를 위한 질화막 식각공정용 화학용액 순환시스템
KR20000005929U (ko) * 1998-09-04 2000-04-06 김영환 케미칼 공급장치의 휠터 웨팅시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101303099B1 (ko) * 2010-11-30 2013-09-06 이정용 필터 교체주기 감지수단이 채용된 아연-공기 연료전지 셀 어셈블리

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080060992A (ko) 2008-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5385468B2 (ja) 自動機における三動弁と溶剤弁とスプレーガンの洗浄・検出システム
US10926996B2 (en) Mobile distribution station having adjustable feed network
JP5550666B2 (ja) 油圧回路の破損個所特定方法
CN202876653U (zh) 一种陶瓷膜过滤设备
CN211146071U (zh) 一种加氢站的卸气柜及其双接口卸气系统
JP2012137183A5 (ko)
KR100861106B1 (ko) 다수개의 필터부를 포함하는 필터링 시스템
TW201009526A (en) Internal leak detection and backflow prevention in a flow control arrangement
CN106988890A (zh) 可靠的气体‑液体转变的方法和系统
CN202301289U (zh) 液压系统高低压复合在线循环冲洗和试压装置
KR100796527B1 (ko) 안전밸브의 작동 구조
JP5468922B2 (ja) 高圧塗装装置及びその洗浄方法
CN102151666B (zh) 一种流体输送管路安全阀的自动冲洗系统
CN205716438U (zh) 一种油品输送装置
CN219736737U (zh) 一种多系统联合试压装置
CN208848033U (zh) 供给系统
CN110296322A (zh) 一种液态co2装卸车一体化集成装置及其应用方法
CN111022927A (zh) 一种单母管输送系统
CN211477804U (zh) 一种可自检测的全自动加排液装置
CN112945681A (zh) 一种可自检测的全自动加排液装置
RU2493477C2 (ru) Гидравлическая система для заправки сжатым природным газом и способ управления заправкой газом
CN213913658U (zh) 多管路物料输送装置
CN221157948U (zh) 基于气动反吹管道的浆料输送管道清堵装置
CN2473443Y (zh) 一种管道补漏放空装置
CN202006194U (zh) 喷枪的冲洗和检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120911

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130924

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140923

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150909

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170905

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190830

Year of fee payment: 12