KR100859243B1 - Apparatus for generating wordline driving signals in semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 메모리의 구동시 노멀 패스(normal path)와 리던던시 패스(redundancy path)간의 타이밍 미스매치를 해결함과 동시에 신호 공유에 따른 낭비공간을 줄일 수 있는 구동회로를 제공하기 위한 것으로, 뱅크선택 신호(bsenp)의 펄스 변환 시점을 지연시킴으로서 노멀 패스와 리던던시 패스의 워드 라인 간의 타이밍 미스매치를 해결하거나, 또는 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)의 펄스 변환 시점을 지연시킴으로서 노멀 패스와 리던던시 패스의 워드 라인 간의 미스매치를 해결하며, 동시에 상기 뱅크선택 신호(bsenp)를 외부에서 인가하므로서 종래의 구조에서 신호 공유에 따른 낭비공간을 줄일 수 있도록 구성된다. Disclosure of Invention The present invention provides a driving circuit that can solve a timing mismatch between a normal path and a redundancy path while driving a semiconductor memory, and at the same time reduce the wasted space due to signal sharing. Delay the pulse transition point of the signal bsenp to resolve the timing mismatch between the word line of the normal path and the redundancy path, or delay the pulse transition point of the redundancy word line selection signal Xhit to prevent the word of the normal path and the redundancy pass. The mismatch between lines is solved, and at the same time, the bank selection signal bsenp is externally applied to reduce waste space due to signal sharing in the conventional structure.

리던던시 워드라인, 노멀 워드라인, SDRAM, 타이밍 미스매치 Redundancy Wordline, Normal Wordline, SDRAM, Timing Mismatch

Description

반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치{Apparatus for generating wordline driving signals in semiconductor memory device}Apparatus for generating wordline driving signals in semiconductor memory device

도 1 은 리페어 동작을 설명하기 위해 반도체 메모리 소자를 간략하게 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a semiconductor memory device for explaining a repair operation.

도 2 는 종래 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 설명하기 위한 회로도이다.2 is a circuit diagram illustrating a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to the prior art.

도 3 은 도 2의 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h) 각각을 상세히 나타낸 회로도이다.3 is a circuit diagram illustrating each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h of FIG. 2 in detail.

도 4a는 도 2의 구조를 갖는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치에서 노멀(normal) 동작시 구동신호의 타이밍도이다.FIG. 4A is a timing diagram of a driving signal during normal operation in the word line driving signal generator of the semiconductor memory device having the structure of FIG. 2.

도 4b는 도 2의 구조를 갖는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치에서 리페어(repair) 동작시 구동신호의 타이밍도이다.FIG. 4B is a timing diagram of a driving signal during a repair operation in the word line driving signal generator of the semiconductor memory device having the structure of FIG. 2.

도 5a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 설명하기 위한 회로도이다.5A is a circuit diagram illustrating a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.

도 5b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 설명하기 위한 회로도이다.5B is a circuit diagram illustrating a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention.

도 6a는 도 5a 및 도 5b의 구조를 갖는 제 1 실시예에서 노멀(normal) 동작 시 구동신호의 타이밍도이다.FIG. 6A is a timing diagram of a driving signal during normal operation in the first embodiment having the structures of FIGS. 5A and 5B.

도 6b는 도 5a의 구조를 갖는 제 1 실시예에서 리페어(repair) 동작시 구동신호의 타이밍 미스매치를 해결하는 방법을 나타낸 구동신호의 타이밍도이다.FIG. 6B is a timing diagram of a drive signal illustrating a method of resolving a timing mismatch of a drive signal during a repair operation in the first embodiment having the structure of FIG. 5A.

도 6c는 도 5b의 구조를 갖는 제 2 실시예에서 리페어(repair) 동작시 구동신호의 타이밍 미스매치를 해결하는 방법을 나타낸 구동신호의 타이밍도이다.FIG. 6C is a timing diagram of a drive signal illustrating a method of resolving a timing mismatch of a drive signal during a repair operation in the second embodiment having the structure of FIG. 5B.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10a 내지 10d : 셀 어레이 12a 내지 12h : 퓨즈회로10a to 10d: Cell array 12a to 12h: Fuse circuit

20 : 워드라인 구동부20: word line driver

21<a> 내지 21<p> : 리던던시 워드라인 구동부21 <a> to 21 <p>: redundancy word line driver

30, 300 : 제어 회로부 31a, 31b, 310a, 310b, 310c : 버스라인30, 300: control circuit section 31a, 31b, 310a, 310b, 310c: bus line

32a 내지 32d, 320a 내지 320d : 버퍼회로32a to 32d, 320a to 320d: buffer circuit

33a 내지 33g, 330a 내지 330j : 낸드 게이트 33a to 33g, 330a to 330j: NAND gate

34a, 34b, 340 : 노아 게이트 101 : 전압 풀업부34a, 34b, 340: Noah gate 101: voltage pull-up part

102 : 퓨즈부 103 : 전압 유지부102: fuse unit 103: voltage holding unit

104 : 퓨즈신호 출력부 350, 360a 내지 360d : 지연부104: fuse signal output unit 350, 360a to 360d: delay unit

rwl<0:3> : 리던던시 워드라인 wl<0:n> : 노멀 워드라인rwl <0: 3>: Redundancy word line wl <0: n>: Normal word line

본 발명은 반도체 메모리 소자에 관한 것으로, 특히 반도체 메모리의 구동시 노멀 패스(normal path)와 리던던시 패스(redundancy path)간의 타이밍 미스매치를 해결하기 위한 워드라인 구동신호 발생장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a word line driving signal generator for resolving a timing mismatch between a normal path and a redundancy path when a semiconductor memory is driven.

일반적으로 반도체 메모리 소자는 셀 어레이 내부의 임의의 셀에 결함이 발생하게 되면, 결함 셀을 리던던시 메모리 셀로 대체하여 결함을 보상하는 리던던시 회로를 구비한다. 구체적으로 결함이 발생한 메모리 셀을 선택하는 어드레스가 지정되면 리던던시 회로는 결함이 있는 메모리 셀 대신 리던던시 메모리 셀에 접속된 워드라인을 인에이블 시킨다.In general, when a defect occurs in any cell in the cell array, the semiconductor memory device includes a redundancy circuit that compensates the defect by replacing the defective cell with a redundant memory cell. Specifically, when an address for selecting a defective memory cell is specified, the redundancy circuit enables the word line connected to the redundant memory cell instead of the defective memory cell.

도 1 은 리페어 동작을 설명하기 위해 반도체 메모리 소자를 간략하게 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a semiconductor memory device for explaining a repair operation.

도 1과 같이, 반도체 메모리 소자는 셀 어레이들(10a 내지 10d)과, 퓨즈 회로(12)를 포함한다. 이때 셀 어레이들(10a 내지 10d) 각각은 노말 셀들과 리페어 셀로 이루어지며, 노말 셀들은 노말 워드라인들(wl<0> 내지 wl<n>)에 연결되고, 리페어 셀들은 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)에 연결된다. 그리고 퓨즈 회로(12)는 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)들에 각각 대응하여 형성된다.As shown in FIG. 1, the semiconductor memory device includes cell arrays 10a to 10d and a fuse circuit 12. In this case, each of the cell arrays 10a to 10d includes normal cells and a repair cell, the normal cells are connected to normal word lines wl <0> to wl <n>, and the repair cells are connected to the redundancy word line rwl <. 0: 3>). The fuse circuit 12 is formed to correspond to the redundancy word lines rwl <0: 3>, respectively.

이와 같이 구성되어 반도체 메모리 소자는 불량 메모리 셀에 해당하는 어드레스를 퓨즈 회로에서 퓨즈 컷팅(fuse cutting) 방식으로 프로그래밍하면 불량 셀에 해당하는 어드레스 입력시에 원래의 워드라인 대신에 프로그래밍된 퓨즈 회로(12)에 대응하는 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)이 선택되게 된다.When the semiconductor memory device is configured in such a manner that an address corresponding to a bad memory cell is programmed in a fuse cutting method in a fuse circuit, the fuse circuit 12 programmed in place of the original word line at the input of the address corresponding to the bad cell may be used. ), The redundancy word lines rwl <0: 3> are selected.

도 2 는 종래 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 설명하기 위한 회로도이다.2 is a circuit diagram illustrating a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to the prior art.

도 2를 참조하여 상세히 설명하면, 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h)들 각각은 노말(normal) 셀에 결함이 발생할 경우 이에 해당하는 어드레스를 프로그래밍한다. 그리고 제 1, 2 버스라인(31a)(31b)에서 인가되는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)가 입력되어 퓨즈신호를 출력한다. 아울러, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(32a 내지 32d) 각각은 제 1 버스라인(31a)에서 인가되는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij) 및 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)와, 제 2 버스라인(31b)에서 인가되는 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)를 입력받아 버퍼링하여 출력한다.Referring to FIG. 2, each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h programs an address corresponding to a defect in a normal cell. A pre-coded input address Baxij and a word line disable signal wlcb applied from the first and second bus lines 31a and 31b are input to output a fuse signal. In addition, each of the first to fourth buffer circuits 32a to 32d may have a pre-coded input address Baxij applied to the first bus line 31a and an input address signal bsenp for selecting a block. ) And the word line disable signal wlcb applied from the second bus line 31b are buffered and output.

그리고 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h)에서 출력되는 퓨즈신호를 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(33a 내지 33d)에서 이웃하는 퓨즈신호의 쌍으로 입력받아 NAND 논리연산하여 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)를 출력한다. 즉, 제 1 낸드 게이트(33a)는 제 1 및 제 2 퓨즈회로(12a)(12b)에서 출력되는 퓨즈신호를 각각 입력받아 NAND 논리연산하여 제 1 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1)를 출력한다. 그리고 제 2 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit2 내지 Xhit4)도 제 1 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1)와 유사하게 제 2 내지 제 4 낸드 게이트(33b 내지 33d)에 의해 생성된다.The first and fourth fuse circuits 12a to 12h receive the fuse signals output from the first to fourth NAND gates 33a to 33d as pairs of neighboring fuse signals and perform NAND logic operations to perform the first to fourth operations. The redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4 are output. That is, the first NAND gate 33a receives the fuse signals output from the first and second fuse circuits 12a and 12b, respectively, and performs a NAND logic operation to output the first redundancy word line selection signal Xhit1. The second to fourth redundancy word line selection signals Xhit2 to Xhit4 are also generated by the second to fourth NAND gates 33b to 33d similarly to the first redundancy word line selection signal Xhit1.

그리고 출력되는 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)를 제 1, 2 노아 게이트(34a)(34b)에서 각각 쌍으로 입력받아 NOR 논리연산하여 출력한다. 즉, 제 1 노아 게이트(34a)는 제 1 리던던시 워드라인 선택신호 (Xhit1) 및 제 2 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit2)를 입력받아 NOR 논리연산한다. 그리고 제 2 노아 게이트(34b)는 제 3 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit3) 및 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit4)를 입력받아 NOR 논리연산한다.The first to fourth redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4 are output from the first and second NOR gates 34a and 34b in pairs, respectively, and are NOR logically operated. That is, the first NOR gate 34a receives the first redundancy word line selection signal Xhit1 and the second redundancy word line selection signal Xhit2 and performs NOR logic operation. The second NOR gate 34b receives a third redundancy word line selection signal Xhit3 and a fourth redundancy word line selection signal Xhit4 and performs NOR logic operation.

이어, 제 1, 2 노아 게이트(34a)(34b)에서 논리연산된 출력신호를 각각 제 5, 6 낸드 게이트(33e)(33f)에서 입력받아 NAND 논리연산하여 출력하고, 제 5, 6 낸드 게이트(33e)(33f)에서 논리연산된 출력신호를 제 7 낸드 게이트(33g)에서 입력받아 NAND 논리연산하여 코딩신호(nre)를 출력한다.Subsequently, the output signals logically operated by the first and second NOR gates 34a and 34b are inputted from the fifth and sixth NAND gates 33e and 33f, respectively, and are output by performing NAND logic operations to output the fifth and sixth NAND gates. An output signal logically operated at (33e) (33f) is input from the seventh NAND gate 33g to perform NAND logic operation to output the coded signal nre.

그러면, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(32a 내지 32d)에서 출력되는 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)와, 제 7 낸드 게이트(33g)에서 출력되는 코딩신호(nre)가 제 1 내지 제 4 노멀 워드라인 구동부(22a 내지 22d)에 각각 입력된다. 그래서 제 1 내지 제 4 노멀 워드라인 구동부(22a 내지 22d)는 노멀 워드라인(wl<0:n>) 구동을 위한 구동신호를 생성한다.Then, the input address Baxij and the word line disable signal wlcb output from the first to fourth buffer circuits 32a to 32d and the coding signal nre output from the seventh NAND gate 33g are then output. ) Are input to the first to fourth normal word line drivers 22a to 22d, respectively. Thus, the first to fourth normal word line drivers 22a to 22d generate driving signals for driving the normal word lines wl <0: n>.

즉, 제 1 노멀 워드라인 구동부(22a)는 제 7 낸드 게이트(33g)의 코딩신호(nre)와 제 1 버퍼회로(32a)를 통하여 출력되는 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 제 1 셀 어레이(10a)를 구동하기 위한 신호를 출력한다. 그리고 제 2 내지 4 노멀 워드라인 구동부(22b 내지 22d)도 제 1 노멀 워드라인 구동부(22a)와 유사하게, 제 7 낸드 게이트(33g)의 코딩신호(nre)와 제 2 내지 제 4 버퍼회로(32b 내지 32d)를 통하여 출력되는 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij)와 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 제 2 내지 제 4 셀 어레이들(10b 내지 10d)을 구동하기 위한 신호를 각각 출력한다.That is, the first normal word line driver 22a disables the precoded input address Baxij and word line outputted through the coding signal nre of the seventh NAND gate 33g and the first buffer circuit 32a. A signal for driving the first cell array 10a is output according to the signal wlcb. Similarly to the first normal word line driver 22a, the second to fourth normal word line drivers 22b to 22d may also include the coded signal nre and the second to fourth buffer circuits of the seventh NAND gate 33g. Signals for driving the second to fourth cell arrays 10b to 10d are respectively output according to the precoded input address Baxij and the wordline disable signal wlcb output through the 32b to 32d.

또한, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(32a 내지 32d)에서 출력되는 블록을 선택하기 위한 프리코딩된 입력 어드레스 신호(bsenp)와, 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(33a 내지 33d)에서 출력되는 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)가 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<0>)에 각각 입력된다. 그래서 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<0>)는 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)의 구동을 위한 구동신호를 생성한다.Further, a precoded input address signal bsenp for selecting a block output from the first to fourth buffer circuits 32a to 32d, and a first output from the first to fourth NAND gates 33a to 33d. The fourth to fourth redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4 are input to the first to fourth redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <0>, respectively. Thus, the first to fourth redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <0> generate driving signals for driving the redundancy word lines rwl <0: 3>.

즉, 제 1 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<d>)는 제 1 낸드 게이트(33a)에서 출력되는 제 1 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1)와 제 1 버퍼회로(32a)에서 출력되는 블록을 선택하기 위한 프리코딩된 입력 어드레스(bsenp) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 구동하기 위한 신호를 출력한다. 그리고 제 2 내지 4 리던던시 워드라인 구동부(21<e> 내지 21<0>)도 제 1 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<d>)와 유사하게, 제 2 내지 4 낸드 게이트(33b 내지 33d)에서 출력되는 제 2 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit2 내지 Xhit4)와, 2 내지 제 4 버퍼회로(32b 내지 32d)에서 출력되는 블록을 선택하기 위한 프리코딩된 입력 어드레스(bsenp)와 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 구동하기 위한 신호를 출력한다.That is, the first redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <d> are output from the first redundancy word line selection signal Xhit1 and the first buffer circuit 32a output from the first NAND gate 33a. A signal for driving the redundancy word lines rwl <0: 3> is output according to the precoded input address bsenp and the word line disable signal wlcb for selecting a block to be used. The second to fourth redundancy word line drivers 21 <e> to 21 <0> are also similar to the first redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <d>, and the second to fourth NAND gates 33b. To the second to fourth redundancy word line selection signals Xhit2 to Xhit4 output from the second to fourth signals, and the precoded input address bsenp for selecting the blocks output from the second to fourth buffer circuits 32b to 32d. And a signal for driving the redundancy word lines rwl <0: 3> according to the word line disable signal wlcb.

도 3 은 도 2의 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h) 각각을 상세히 나타낸 회로도이다.3 is a circuit diagram illustrating each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h of FIG. 2 in detail.

도 3을 참조하여 설명하면, 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h) 각각은 전압 풀업부(101), 퓨즈부(102), 전압 유지부(103) 및 퓨즈신호 출력부(104)를 포 함한다.Referring to FIG. 3, each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h may include a voltage pull-up unit 101, a fuse unit 102, a voltage holding unit 103, and a fuse signal output unit 104. Include.

그리고 전압 풀업부(101)는 전원전압(VDD)과 노드(Q1) 사이에 연결되고, 뱅크 액티브 신호(BACK)에 응답하여 프리차지시 노드(Q1)의 전압을 풀업시키는 PMOS 트랜지스터로 구현된다. 그리고 퓨즈부(102)는 노드(Q1)와 접지전압(VSS) 사이에 각각 직렬 연결된 다수의 퓨즈(F1 내지 F22)와, 입력되는 어드레스 신호(Baxij)에 각각 응답하여 턴온되어 각각 연결된 다수의 퓨즈(F1 내지 F22)의 상태에 따라 노드(q1)의 전압을 풀다운 시키거나 유지시키는 다수의 NMOS 트랜지스터(N1 내지 N22)를 포함한다. 그리고 전압유지부(103)는 노드(Q1)와 전원전압(VDD) 사이에 연결되고, 노드(Q1)의 신호를 반전하는 인버터(I1)의 출력 신호에 응답하여 노드(Q1)와 전원전압(VDD)을 연결하거나 분리하는 PMOS 트랜지스터(P1)를 포함한다. 그리고 퓨즈 신호 출력부(104)는 노드Q2)의 신호와 테스트 신호(TM_XYRST)에 기초한 신호(TS)를 NAND 논리연산하여 퓨즈신호를 출력하는 NAND 게이트(ND1)와, 상기 테스트 신호(TM_XYRST)를 반전시켜 신호(TS)를 상기 NAND 게이트(ND1)에 출력하는 다수의 인버터(I2 내지 I4)를 포함한다. The voltage pull-up unit 101 is connected between the power supply voltage VDD and the node Q1 and implemented as a PMOS transistor that pulls up the voltage of the node Q1 at the time of precharging in response to the bank active signal BACK. The fuse 102 is turned on in response to the plurality of fuses F1 to F22 connected in series between the node Q1 and the ground voltage VSS and the address signal Baxij, respectively. It includes a plurality of NMOS transistors (N1 to N22) for pulling down or maintaining the voltage of the node q1 according to the state of (F1 to F22). The voltage holding unit 103 is connected between the node Q1 and the power supply voltage VDD and responds to the output signal of the inverter I1 inverting the signal of the node Q1 and the power supply voltage ( And a PMOS transistor P1 for connecting or disconnecting VDD). The fuse signal output unit 104 performs a NAND logic operation on a signal TS based on the signal of the node Q2 and the test signal TM_XYRST, and outputs a NAND gate ND1 for outputting a fuse signal, and the test signal TM_XYRST. A plurality of inverters I2 to I4 for inverting and outputting the signal TS to the NAND gate ND1 are included.

이처럼, 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h)는 리페어하고자 하는 특정 어드레스에 해당하는 퓨즈들은 절단(cutting)되어, 해당 어드레스 인가시에만 로우 레벨의 퓨즈신호를 출력한다.As such, the first to eighth fuse circuits 12a to 12h cut the fuses corresponding to the specific address to be repaired, and output the low level fuse signal only when the corresponding address is applied.

이와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치의 동작을 설명하면 다음과 같다. 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)는 액티브 신호에 의하여 하이(High)가 되고, 프리챠지 신호에 의하여 로우(Low)가 된다.The operation of the word line driving signal generator of the semiconductor memory device according to the related art constructed as described above is as follows. The word line disable signal wlcb becomes high by the active signal and becomes low by the precharge signal.

도 4a는 도 2의 구조를 갖는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치에서 노멀(normal) 동작시 구동신호의 타이밍도이고, 도 4b는 도 2의 구조를 갖는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치에서 리페어(repair) 동작시 구동신호의 타이밍도이다.4A is a timing diagram of a driving signal during normal operation in the word line driving signal generator of the semiconductor memory device having the structure of FIG. 2, and FIG. 4B is a word line driving signal of the semiconductor memory device having the structure of FIG. 2. A timing diagram of a drive signal during a repair operation in the generator.

노멀(normal) 동작시에는 도 4a와 같이, 액티브 신호에 의하여 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij)가 하이가 되면, 리페어(repair) 여부 감지 신호인 제 7 낸드 게이트(33g)의 출력 신호(nre)가 하이가 된다. 따라서, 제 1 내지 제 4 노멀 워드라인 구동회로(22a 내지 22d)가 구동됨에 따라 상기 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>)이 인에이블되고 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)은 디스에이블되게 된다.In the normal operation, as shown in FIG. 4A, when the input address Baxij precoded by the active signal becomes high, the output signal nre of the seventh NAND gate 33g serving as a repair detection signal is repaired. Becomes high. Accordingly, as the first to fourth normal word line driving circuits 22a to 22d are driven, the normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are enabled and redundancy word lines are provided. (rwl <0: 3>) will be disabled.

또한, 리페어(repair) 동작시에는 도 4b와 같이, 액티브 신호에 의하여 프리코딩된 블록 선택을 위한 프리코딩된 어드레스 신호(bsenp)가 하이가 되고, 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 응답하여 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(33a 내지 33d)의 출력신호(Xhit)가 하이가 된다. 따라서, 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>은 디스에이블 되고 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)이 인에이블되어 상기 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)에 대응되는 센스앰프 어레이(38)가 동작하게 된다.In addition, during the repair operation, as shown in FIG. 4B, the precoded address signal bsenp for block selection precoded by the active signal becomes high, and in response to the wordline disable signal wlcb, the precoded address signal bsenp becomes high. The output signal Xhit of the first to fourth NAND gates 33a to 33d becomes high. Accordingly, the normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are disabled and the redundancy word lines rwl <0: 3> are enabled so that the redundancy word lines rwl <0. The sense amplifier array 38 corresponding to (3>) is operated.

그러나, 도 4a 및 도 4b에서와 같이 노멀 동작시의 노멀 워드라인들이 인에 이블되는 패스 단계와 리페어 동작시의 리던던시 워드라인들이 인에이블 되는 패스 단계에 서로 차이가 있다.However, as shown in FIGS. 4A and 4B, there is a difference between a pass step in which normal word lines in the normal operation are enabled and a pass step in which redundancy word lines in the repair operation are enabled.

즉, 노멀 동작인 경우에는 액티브 신호가 인가되면, 먼저 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 응답한 후, 프리코딩하여 얻은 입력 어드레스(Baxij)와 블록 선택을 위한 어드레스 신호(bsenp)에 응답하고, 이어 리페어 여부 감지 신호(nre)에 응답하여 노멀 워드라인들(wl<0:n>)을 인에이블시키고 있다.That is, in the normal operation, when the active signal is applied, first respond to the word line disable signal wlcb, and then respond to the input address Baxij obtained by precoding and the address signal bsenp for block selection. Next, the normal word lines wl <0: n> are enabled in response to the repair status detection signal nre.

이에 반해, 리페어 동작시인 경우에는 액티브 신호가 인가되면, 먼저 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 응답한 후, 퓨즈회로를 통해 출력된 퓨즈신호를 코딩하여 얻은 코딩신호(Xhit)에 응답하여 바로 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)을 인에이블시키고 있다. On the other hand, in the case of a repair operation, when an active signal is applied, first, in response to the word line disable signal wlcb, the redundancy is immediately performed in response to the coding signal Xhit obtained by coding the fuse signal output through the fuse circuit. Word lines rwl <0: 3> are enabled.

아울러 도 2에서 알 수 있는 것과 같이 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)을 인에이블시키기 위한 코딩신호(Xhit)는 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 응답하여 빠른 시점에 생성되지만, 노멀 워드라인들(wl<0:n>)을 인에이블시키기 위한 리페어 여부 감지 신호(nre)는 많은 논리연산을 거친 후 생성되고 있다.In addition, as shown in FIG. 2, the coding signal Xhit for enabling the redundancy word lines rwl <0: 3> is generated at a fast time in response to the word line disable signal wlcb, but is normal. The repair status detection signal nre for enabling the word lines wl <0: n> is generated after many logic operations.

따라서, 메모리 소자의 경우에 결함 메모리 셀이 발생되어 일부는 노멀 워드라인이 선택되고 일부는 리던던시 워드라인이 선택될 경우에 데이터가 워드 라인에 실리는 타이밍이 서로 달라질 수 있어 도 4b의 “A" 만큼의 서로 미스매치(mismatch)가 되는 문제가 발생된다.Accordingly, in the case of a memory device, when a defective memory cell is generated and some of the normal word lines are selected and some of the redundancy word lines are selected, the timing at which data is loaded on the word lines may be different from each other. The problem of mismatches with each other arises.

더욱이, 그래픽 메모리의 경우는 각 뱅크(bank)가 분산된 구조로 되어 있어서 상기 분산된 뱅크를 선택하기 위한 회로들이 별개로 구분되어 있는데, 이런 경 우 각 뱅크들의 데이터가 다음단의 워드 라인에 실리는 타이밍에 더욱 큰 차이를 나타낼 수 있어 서로 미스매치(mismatch)될 여지를 더욱 크게 안고 있다. Furthermore, in the case of the graphic memory, each bank is divided so that circuits for selecting the divided banks are divided separately. In this case, data of each bank is placed on the next word line. Can show a greater difference in timing, with greater room for mismatch.

따라서 최근 이를 해결하기 위해 결함이 없는 이웃한 위치에 있는 노멀 워드라인을 참조하여 서로간의 타이밍을 맞추도록 하고 있지만, 이를 위해서는 각 신호의 공유가 반드시 필요하며, 이에 따라 각 퓨즈에서 발생되는 인에이블 신호를 위한 회로가 추가되는데 이는 소자의 제작에 있어서 여러 가지 문제점을 야기하는 요인이 된다.Therefore, in order to solve this problem, the timing of each other has been adjusted by referring to the normal word line in the neighboring position where there is no defect, but for this purpose, it is necessary to share each signal, and thus enable signals generated from each fuse. A circuit for is added, which causes various problems in the fabrication of the device.

이에 따라, 최신의 소자들은 칩 수량 이슈(net die issue)의 병목(bottleneck)이 되고 있는 지역에 이러한 이웃하는 노멀 셀 간 신호의 공유로 인해 발생되는 자원의 낭비 및 소자 소형화에 따른 불필요한 공간낭비를 최대한 줄일 수 있는 방안이 요구되고 있다.As a result, the latest devices eliminate waste of resources caused by sharing signals between neighboring normal cells and unnecessary space waste due to device miniaturization in areas where bottlenecks of net die issues are caused. What is needed is a way to reduce as much as possible.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 노멀 동작시 패스와 리페어 동작시 패스간의 타이밍 미스매치를 해결할 수 있는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a device for generating a word line driving signal of a semiconductor memory device capable of resolving a timing mismatch between a path during a normal operation and a path during a repair operation.

본 발명의 다른 목적은 노멀 동작시 패스와 리페어 동작시 패스간의 타이밍 미스매치를 해결하기 위해 발생되는 신호 공유에 따른 공간을 줄일 수 있는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a device for generating a word line driving signal of a semiconductor memory device capable of reducing a space due to signal sharing generated to solve a timing mismatch between a path during a normal operation and a path during a repair operation.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치의 특징은 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 입력받아 퓨즈 신호를 출력하는 다수의 퓨즈회로와, 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 생성한 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 리던던시 워드라인 구동부로 출력하고, 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 생성한 리페어 여부 감지신호(nxe)를 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 논리조합부와, 블록 선택을 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)를 소정시간 지연시켜 상기 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 제 1 지연부를 포함하는데 있다.
바람직하게 상기 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 버퍼링하여 상기 노멀 워드라인 구동부 및 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 다수의 버퍼회로를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
A feature of a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to the present invention for achieving the above object is to receive a precoded input address Baxij and a word line disable signal wlcb to output a fuse signal. A plurality of fuse circuits and a redundancy word line selection signal Xhit generated by logically combining the fuse signals are output to a redundancy word line driver, and a repair detection signal nxe generated by logically combining the fuse signals is normal. And a first delay unit for outputting the logical combination unit to the word line driver and a redundancy word line driver to delay the input address signal bsenp for block selection for a predetermined time.
The method may further include a plurality of buffer circuits configured to buffer the precoded input address Baxij and the word line disable signal wlcb and output the buffers to the normal word line driver and the redundancy word line driver.

바람직하게 상기 논리 조합부는 상기 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 생성하여 상기 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 제1 논리 회로부와, 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)를 생성하여 상기 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 제2 논리 회로부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the logic combination unit generates a redundancy word line selection signal Xhit and outputs the redundancy word line driver to the redundancy word line driver, and generates the repair presence detection signal nxe to output the redundancy word line selection signal Xhit to the normal word line driver. It characterized in that it comprises a second logic circuit portion.

바람직하게 상기 제 1 지연부는 상기 블록 선택을 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)를 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)가 로우에서 하이로의 펄스 변환된 이후까지 지연시키는 것을 특징으로 한다.Preferably, the first delay unit delays the input address signal bsenp for the block selection until after the repair status detection signal nxe pulses from low to high.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치의 다른 특징은 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 입력받아 퓨즈 신호를 출력하는 다수의 퓨즈회로와, 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 생성하고, 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 생성한 리페어 여부 감지신호(nxe)를 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 논리조합부와, 상기 생성된 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 소정시간 지연시켜 리던던시 워드라인 구동부에 공급하는 제 2 지연부를 포함하는데 있다.
바람직하게 상기 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 버퍼링하여 상기 노멀 워드라인 구동부 및 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 다수의 버퍼회로를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
Another feature of the word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to the present invention for achieving the above object is to output a fuse signal by receiving the pre-coded input address (Baxij) and the word line disable signal (wlcb) And a plurality of fuse circuits to generate a redundancy word line selection signal Xhit by logically combining the fuse signals and outputting a repair status detection signal nxe generated by logically combining the fuse signals to a normal word line driver. And a logic delay unit and a second delay unit which delays the generated redundancy word line selection signal Xhit by a predetermined time and supplies the redundancy word line driver.
The method may further include a plurality of buffer circuits configured to buffer the precoded input address Baxij and the word line disable signal wlcb and output the buffers to the normal word line driver and the redundancy word line driver.

바람직하게 상기 논리 조합부는 상기 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 생성하여 상기 제2 지연부로 출력하는 제1 논리 회로부와, 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)를 생성하여 상기 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 제2 논리 회로부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the logic combining unit generates the redundancy word line selection signal Xhit and outputs the redundancy word line selection signal Xhit to the second delay unit, and generates the repair status detection signal nxe and outputs the repaired word detection signal nxe to the normal word line driver. And a second logic circuit portion.

바람직하게 상기 제 2 지연부는 상기 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)가 로우에서 하이로의 펄스 변환된 이후까지 지연시키는 것을 특징으로 한다.Preferably, the second delay unit delays the redundancy word line selection signal Xhit until the repair status detection signal nxe is pulsed from low to high.

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본 발명의 다른 목적, 특성 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 노멀 패스와 리던던시 패스의 타이밍 미스매치를 해결하기 위한 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 이에 앞서 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 단지 본 실시예에는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 본원의 특허 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of a word line driving signal generator of a semiconductor memory device for solving timing mismatches between a normal pass and a redundancy pass according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Only the present embodiment is provided to complete the disclosure of the present invention and to fully inform those skilled in the art the true scope of the invention, the true technical protection scope of the present invention in the technical spirit of the claims Should be decided by

제 1 First 실시예Example

도 5a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 설명하기 위한 회로도이다.5A is a circuit diagram illustrating a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.

도 5a를 참조하여 상세히 설명하면, 제 1 실시예에 따른 반도체 메모리 소자는 다수의 노멀 워드라인(wl<0:n>) 및 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 갖는 셀 어레이들(10a 내지 10d)과, 다수의 노멀 워드라인(wl<0:n>)의 구동을 위한 노멀 워드라인 구동부(22a 내지 22d)와, 다수의 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)의 구동을 위한 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<p>)와, 블록 선택을 위한 어드레스 신호(bsenp)의 펄스 변환 시점을 지연시켜 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<p>)의 동작을 제어하는 제어 회로부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 5A, the semiconductor memory device according to the first embodiment may include cell arrays having a plurality of normal word lines wl <0: n> and redundancy word lines rwl <0: 3>. 10a to 10d, the normal word line drivers 22a to 22d for driving the plurality of normal word lines wl <0: n>, and the driving of the plurality of redundancy word lines rwl <0: 3>. The redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <p> and the redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <p> by delaying the pulse conversion timing of the address signal bsenp for block selection. It includes a control circuit unit 300 for controlling the operation.

이때, 셀 어레이들(10a 내지 10d) 및 워드라인 구동부(20)는 도 2에서 설명했던 종래의 구성과 동일하다. 따라서, 동일한 도면부호를 사용하며, 이에 따른 설명은 생략한다.In this case, the cell arrays 10a to 10d and the word line driver 20 are the same as the conventional configuration described with reference to FIG. 2. Therefore, the same reference numerals are used, and a description thereof will be omitted.

그리고 제어 회로부(300)는 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h)와, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(320a 내지 320d)와, 다수의 낸드 게이트(330a 내지 330j)와, 노아 게이트(340)와, 제 1 지연부(350)를 포함한다. 또한, 제어 회로부(300)는 제 1 내지 제 3 버스라인(310a 내지 310c)을 포함하는데, 제 1 버스라인(310a)에는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij)가 인가되고, 제 2 버스라인(310b)에는 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)가 인가되며, 제 3 버스라인(310c)에는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스(bsenp)가 인가된다. The control circuit unit 300 includes first to eighth fuse circuits 12a to 12h, first to fourth buffer circuits 320a to 320d, a plurality of NAND gates 330a to 330j, and a noah gate 340. ) And a first delay unit 350. In addition, the control circuit unit 300 includes first to third bus lines 310a to 310c, and a pre-coded input address Baxij is applied to the first bus line 310a. A word line disable signal wlcb is applied to the second bus line 310b, and an input address bsenp for selecting a block is applied to the third busline 310c.

제 1 내지 제 8 퓨즈회로들(12a 내지 12h) 각각은 노말(normal) 셀에 결함이 발생할 경우 이에 해당하는 어드레스를 프로그래밍한다. 그리고 제 1, 2 버스라인(31a)(31b)에서 인가되는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)가 입력되어 퓨즈신호를 출력한다. 아울러, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(320a 내지 320d)는 제 1, 2 버스라인(310a)(310b)에서 인가되는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)를 입력으로 버퍼링하여 출력한다.Each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h programs an address corresponding to a failure of the normal cell. A pre-coded input address Baxij and a word line disable signal wlcb applied from the first and second bus lines 31a and 31b are input to output a fuse signal. In addition, the first to fourth buffer circuits 320a to 320d may have pre-coded input addresses Baxij and wordline disable applied from the first and second bus lines 310a and 310b. ) Signal wlcb is buffered to the input and output.

그러면, 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(330a 내지 330d)는 셀 어레이들 각각에 대하여 연속되는 퓨즈회로를 2개씩 구성하고, 각각 연결된 퓨즈회로의 퓨즈신호를 입력받아 NAND 논리연산하여 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)를 출력한다. Then, the first to fourth NAND gates 330a to 330d form two consecutive fuse circuits for each of the cell arrays, and receive NAND logic operations of the fuse signals of the connected fuse circuits, respectively, to perform the first to fourth operations. The redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4 are output.

즉, 제 1 낸드 게이트(330a)는 제 1 퓨즈회로(12a)의 퓨즈신호와 제 2 퓨즈회로(12b)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산하여 제 1 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1)를 출력한다. 그리고 제 2 낸드 게이트(330b)는 제 3 퓨즈회로(12c)의 퓨즈신호와 제 4 퓨즈회로(12d)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산하여 제 2 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit2)를 출력한다. 그리고 제 3 낸드 게이트(330c)는 제 5 퓨즈회로(12e)의 퓨즈신호와 제 6 퓨즈회로(12f)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산하여 제 3 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit3)를 출력한다. 그리고 제 4 낸드 게이트(330d)는 제 7 퓨즈회로(12g)의 퓨즈신호와 제 8 퓨즈회로(12h)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다.That is, the first NAND gate 330a performs NAND logic operation on the fuse signal of the first fuse circuit 12a and the fuse signal of the second fuse circuit 12b to output the first redundancy word line selection signal Xhit1. The second NAND gate 330b performs a NAND logic operation on the fuse signal of the third fuse circuit 12c and the fuse signal of the fourth fuse circuit 12d to output the second redundancy word line selection signal Xhit2. The third NAND gate 330c performs a NAND logic operation on the fuse signal of the fifth fuse circuit 12e and the fuse signal of the sixth fuse circuit 12f to output a third redundancy word line selection signal Xhit3. The fourth NAND gate 330d performs a NAND logic operation on the fuse signal of the seventh fuse circuit 12g and the fuse signal of the eighth fuse circuit 12h.

이어, 제 5 내지 제 8 낸드 게이트(330e 내지 330h)는 셀 어레이들 각각에 대하여 짝수 또는 홀수 번째 퓨즈회로를 2개씩 구성하고, 각각 연결된 퓨즈회로의 퓨즈신호를 입력받아 NAND 논리연산한다.Subsequently, the fifth to eighth NAND gates 330e to 330h configure two even or odd-numbered fuse circuits for each of the cell arrays, and receive NAND logic operations by receiving fuse signals of the connected fuse circuits.

즉, 제 5 낸드 게이트(330e)는 상기 제 1 퓨즈회로(12a)의 퓨즈신호와 제 3 퓨즈회로(12c)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다. 그리고 제 6 낸드 게이트(330f)는 제 2 퓨즈회로(12b)의 퓨즈신호와 제 4 퓨즈회로(12d)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다. 그리고 제 7 낸드 게이트(330g)는 상기 제 5 퓨즈회로(12e)의 퓨즈신호와 제 7 퓨즈회로(12g)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다. 그리고 제 8 낸드 게이트(330h)는 제 6 퓨즈회로(12f)의 퓨즈신호와 상기 제 8 퓨즈회로(12h)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다.That is, the fifth NAND gate 330e performs NAND logic operation on the fuse signal of the first fuse circuit 12a and the fuse signal of the third fuse circuit 12c. The sixth NAND gate 330f performs NAND logic operation on the fuse signal of the second fuse circuit 12b and the fuse signal of the fourth fuse circuit 12d. The seventh NAND gate 330g performs NAND logic operation on the fuse signal of the fifth fuse circuit 12e and the fuse signal of the seventh fuse circuit 12g. The eighth NAND gate 330h performs a NAND logic operation on the fuse signal of the sixth fuse circuit 12f and the fuse signal of the eighth fuse circuit 12h.

다음으로 제 9 낸드 게이트(330i)는 제 5 내지 제 8 낸드 게이트 중 짝수 번째 퓨즈회로들의 출력신호들을 입력으로 논리연산한다. 즉, 상기 제 5 낸드 게이트(330e)의 출력신호와 상기 제 7 낸드 게이트(330g)의 출력신호를 NAND 논리연산한다.Next, the ninth NAND gate 330i performs a logic operation on the output signals of even-numbered fuse circuits among the fifth to eighth NAND gates as inputs. That is, NAND logic operation is performed on the output signal of the fifth NAND gate 330e and the output signal of the seventh NAND gate 330g.

이어 제 10 낸드 게이트(330j)는 제 5 내지 제 8 낸드 게이트 중 홀수 번째 퓨즈회로의 출력신호들을 입력으로 논리연산한다. 즉, 상기 제 6 낸드 게이트(330f)의 출력신호와 상기 제 8 낸드 게이트(330h)의 출력신호를 NAND 논리연산한다.Subsequently, the tenth NAND gate 330j performs logic operation on the output signals of odd-numbered fuse circuits among the fifth to eighth NAND gates as inputs. That is, NAND logic operation is performed on the output signal of the sixth NAND gate 330f and the output signal of the eighth NAND gate 330h.

그리고 노아 게이트(340)는 제 9 낸드 게이트(330i) 및 제 10 낸드 게이트(330j)의 출력신호를 입력으로 논리연산하여 코딩신호(nxe)를 출력한다.The NOR gate 340 logically operates the output signals of the ninth NAND gate 330i and the tenth NAND gate 330j as inputs, and outputs a coded signal nxe.

아울러, 제 1 지연부(350)는 제 3 버스라인(310c)으로 인가되는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)를 소정시간 지연된 입력 어드레스 신호(bsenp')를 출력한다.In addition, the first delay unit 350 outputs an input address signal bsenp 'delayed by a predetermined time from the input address signal bsenp for selecting a block applied to the third bus line 310c.

그러면, 노멀 워드라인 구동부(22a 내지 22d)는 제어 회로부(300)내의 버퍼회로(320a 내지 320d)에서 버퍼링된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)와, 제어 회로부(300)내의 노아 게이트(340)에서 출력되는 코딩신호(nxe)를 입력받아 다수의 노멀 워드라인(wl<0:n>)의 구동을 위한 구동신호를 출력한다.Then, the normal word line drivers 22a to 22d may include the input address Baxij and the word line disable signal wlcb buffered in the buffer circuits 320a to 320d in the control circuit unit 300, and the control circuit unit ( The coded signal nxe output from the NOR gate 340 in the 300 is input to output a driving signal for driving the plurality of normal word lines wl <0: n>.

즉, 제 1 노멀 워드라인 구동부(22a)는 노아 게이트(340)의 출력신호(nxe)와 제 1 버퍼회로(320a)를 통하여 버퍼링된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 제 1 셀 어레이(10a)를 구동하기 위한 신호를 출력한다. 그리고 제 2 내지 4 노멀 워드라인 구동부(22b 내지 22d)도 제 1 노멀 워드라인 구동부(22a)와 유사하게, 노아 게이트(340)의 출력신호와 제 2 내지 제 4 버퍼회로(320b 내지 320d)를 통하여 버퍼링된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 제 2 내지 제 4 셀 어레이들(10b 내지 10d)을 구동하기 위한 신호를 출력한다.That is, the first normal word line driver 22a is connected to the input address Baxij and the word line disable signal wlcb buffered through the output signal nxe of the NOR gate 340 and the first buffer circuit 320a. Accordingly, a signal for driving the first cell array 10a is output. Similarly to the first normal word line driver 22a, the second to fourth normal word line drivers 22b to 22d may also output the output signal of the NOR gate 340 and the second to fourth buffer circuits 320b to 320d. A signal for driving the second to fourth cell arrays 10b to 10d is output based on the buffered input address Baxij and the word line disable signal wlcb.

아울러 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<p>)는 제어 회로부(300)내의 버퍼회로(320a 내지 320d)에서 버퍼링된 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)와, 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(330a 내지 330d)에서 출력되는 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)와, 제 1 지연부(350)에서 출력되는 블록을 선택하기 위한 지연된 입력 어드레스 신호(bsenp’)를 입력받아 다수의 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)의 구동을 위한 구동신호를 출력한다.In addition, the redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <p> may include a word line disable signal wlcb buffered by the buffer circuits 320a to 320d in the control circuit unit 300, and first to fourth NAND gates. The first to fourth redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4 output from 330a to 330d and the delayed input address signal bsenp 'for selecting a block output from the first delay unit 350 are input. And outputs a driving signal for driving a plurality of redundancy word lines rwl <0: 3>.

즉, 상기 제 1 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<d>)는 제 1 낸드 게이트(330a)의 제 1 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1)와 제 1 버퍼회로(320a)를 통하여 버퍼링된 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)와 제 1 지연부(350)에서 출력되는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스(bsenp')에 따라 제 1 셀 어레이(10a)에 포함된 상기 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 구동하기 위한 신호를 출력한다. 그리고 제 2 내지 4 리던던시 워드라인 구동부(21<e> 내지 21<0>)도 제 1 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<d>)와 유사하게, 제 2 내지 4 낸드 게이트(330b 내지 330d)의 제 2 내지 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit2 내지 Xhit4)와 제 2 내지 제 4 버퍼회로(320b 내지 320d)를 통하여 버퍼링된 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)와 제 1 지연부(350)에서 출력되는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스(bsenp’)에 따라 제 2 내지 제 4 셀 어레이(10b 내지 10d)에 포함된 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 구동하기 위한 신호를 출력한다.That is, the first redundancy word line driver 21 <a> to 21 <d> is buffered through the first redundancy word line selection signal Xhit1 and the first buffer circuit 320a of the first NAND gate 330a. The redundancy word line rwl <included in the first cell array 10a according to the selected word line disable signal wlcb and an input address bsenp 'for selecting a block output from the first delay unit 350. 0: 3>) to output a signal to drive. The second to fourth redundancy word line drivers 21 <e> to 21 <0> are also similar to the first redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <d>, and the second to fourth NAND gates 330b. Through the second to fourth redundancy word line selection signals Xhit2 to Xhit4, the second to fourth buffer circuits 320b to 320d, and the first delay unit 350 buffered through the second to fourth buffer circuits 320b to 320d. Outputs a signal for driving the redundancy word lines rwl <0: 3> included in the second to fourth cell arrays 10b to 10d according to an input address bsenp 'for selecting a block output from do.

그리고 제어 회로부(300)내의 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h) 각각은 위에서 설명한 도 3과 같이 전압 풀업부(101), 퓨즈부(102), 전압 유지부(103) 및 퓨즈신호 출력부(104)를 포함하고, 리페어하고자 하는 특정 어드레스에 해당하는 퓨즈들은 절단(cutting)되어, 해당 어드레스 인가시에만 로우 레벨의 퓨즈신호를 출력한다. 이와 같은 구조 및 동작을 갖는 퓨즈회로의 상세한 설명은 위에서 설명되었으므로 생략한다. 또한, 이와 같은 퓨즈회로의 구조는 일 실시예로서 이 구조에 한정되지는 않는다.Each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h in the control circuit unit 300 includes a voltage pull-up unit 101, a fuse unit 102, a voltage holding unit 103, and a fuse signal output as shown in FIG. 3. The fuse 104 may include a fuse corresponding to a specific address to be repaired and output a low level fuse signal only when the corresponding address is applied. Detailed description of the fuse circuit having such a structure and operation has been described above, and thus will be omitted. In addition, the structure of such a fuse circuit is not limited to this structure as one embodiment.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치의 동작을 설명하면 다음과 같다. 이때, 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)는 액티브 신호에 의하여 하이(High)가 되고, 프리챠지 신호에 의하여 로우(Low)가 된다.Referring to the operation of the word line driving signal generator of the semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention configured as described above are as follows. In this case, the word line disable signal wlcb becomes high by the active signal and becomes low by the precharge signal.

도 6a는 도 5a의 구조를 갖는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치에서 노멀(normal) 동작시 구동신호의 타이밍도이고, 도 6b는 도 5a의 구조를 갖는 제 1 실시예에서 리페어(repair) 동작시 구동신호의 타이밍 미스매치를 해결 하는 방법을 나타낸 구동신호의 타이밍도이다.6A is a timing diagram of a driving signal during normal operation in a word line driving signal generator of the semiconductor memory device having the structure of FIG. 5A, and FIG. 6B is a repair diagram in the first embodiment having the structure of FIG. 5A. ) Is a timing diagram of a drive signal showing a method of solving a timing mismatch of a drive signal during operation.

먼저 노멀(normal) 동작은 도 6a와 같이, 액티브 신호에 의하여 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij)가 하이가 되면, 리페어(repair) 여부 감지 신호인 상기 노아 게이트(340)의 출력 신호(nxe)가 하이가 된다. 따라서, 제 1 내지 제 4 노멀 워드라인 구동회로(22a 내지 22d)가 구동됨에 따라 상기 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>)이 인에이블되고 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)은 디스에이블되게 된다.First, in the normal operation, as shown in FIG. 6A, when the input address Baxij precoded by the active signal becomes high, the output signal nxe of the noah gate 340 which is a repair detection signal is changed. Goes high. Accordingly, as the first to fourth normal word line driving circuits 22a to 22d are driven, the normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are enabled and redundancy word lines are provided. (rwl <0: 3>) will be disabled.

또한, 리페어(repair) 동작은 도 6b와 같이, 액티브 신호에 의하여 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)가 하이가 되고, 이에 응답하여 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(330a 내지 330d)의 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)가 하이가 된다. 아울러, 액티브 신호에 의하여 하이로 인가되는 블록 선택을 위한 어드레스 신호(bsenp)가 지연부(350)를 통해 소정시간(A) 지연된 신호(bsenp')로 인가된다. 그리고 이 지연된 신호(bsenp')가 로우에서 하이로 인가되는 시점에 대응하여 상기 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)이 인에이블 된다. 한편, 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>)은 디스에이블 된다.In addition, in the repair operation, as shown in FIG. 6B, the word line disable signal wlcb becomes high due to the active signal, and in response to the redundancy word line selection of the first to fourth NAND gates 330a to 330d. The signal Xhit goes high. In addition, an address signal bsenp for selecting a block applied high by the active signal is applied as a signal bsenp 'delayed by a predetermined time A through the delay unit 350. The redundancy word lines rwl <0: 3> are enabled in response to the time when the delayed signal bsenp 'is applied from low to high. Meanwhile, normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are disabled.

이처럼 워드라인 구동을 위한 블록 선택을 위한 어드레스 신호(bsenp)를 로우(low)에서 하이(high)로 변환되는 펄스 변환 시점을 제 1 지연부(350)를 통해 소정시간(A) 지연시킴으로서, 노멀 워드라인 패스와 리던던시 워드라인 패스간의 미스매치를 해결하고 있다. 이때, 제 1 지연부(350)를 통한 펄스 변환의 지연시간 A는 도 5a의 노아 게이트(340)에서 출력되는 리페어(repair) 여부 감지 신호(nxe)가 노멀 동작시에 로우에서 하이로의 펄스 변환되는 시점의 이후까지로 지연시키는 것이 바람직하다. Thus, by delaying the pulse conversion time point at which the address signal bsenp for block selection for word line driving is changed from low to high through the first delay unit 350, the predetermined time A is delayed. The mismatch between the word line pass and the redundancy word line pass is resolved. At this time, the delay time A of the pulse conversion through the first delay unit 350 is a pulse conversion from low to high when the repair detection signal nxe output from the Noah gate 340 of FIG. 5A is normal. It is desirable to delay until after that point.

아울러, 블록 선택을 위한 어드레스 신호(bsenp)의 펄스 변환 시점을 소정시간(A)만큼 지연시킴으로서 노멀 패스와 리던던시 패스의 워드 라인 간의 타이밍 미스매치를 해결함과 동시에, 뱅크 선택신호(bsenp)를 워드라인 구동부(20)로 직접 인가하므로서 종래의 구조의 신호 공유에 따른 낭비공간을 해결하고 있다.In addition, by delaying the pulse conversion time of the address signal bsenp for block selection by a predetermined time A, the timing mismatch between the word line of the normal path and the redundancy path is solved, and the bank selection signal bsenp is converted into a word. By directly applying to the line driver 20, the waste space according to the signal sharing of the conventional structure is solved.

제 2 2nd 실시예Example

도 5b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치를 설명하기 위한 회로도이다.5B is a circuit diagram illustrating a word line driving signal generator of a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention.

도 5b를 참조하여 상세히 설명하면, 제 2 실시예에 따른 반도체 메모리 소자는 다수의 노멀 워드라인(wl<0:n>) 및 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 갖는 셀 어레이들(10a 내지 10d)과, 다수의 노멀 워드라인(wl<0:n>)의 구동을 위한 노멀 워드라인 구동부(22a 내지 22d)와, 다수의 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)의 구동을 위한 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<p>)와, 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)의 펄스 변환 시점을 지연시켜 워드라인 구동부(20)의 동작을 제어하기 위한 제어 회로부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 5B, the semiconductor memory device according to the second embodiment may include cell arrays having a plurality of normal word lines wl <0: n> and redundancy word lines rwl <0: 3>. 10a to 10d, the normal word line drivers 22a to 22d for driving the plurality of normal word lines wl <0: n>, and the driving of the plurality of redundancy word lines rwl <0: 3>. The control circuit unit 300 for controlling the operation of the word line driver 20 by delaying the pulse conversion timing of the redundancy word line driver 21 <a> to 21 <p> and the redundancy word line selection signal Xhit. It includes.

이때, 상기 셀 어레이들(10a 내지 10d) 및 워드라인 구동부(20)는 도 2에서 설명했던 종래의 구성과 동일하므로, 동일한 도면부호의 사용과 함께 이에 따른 상세한 설명은 생략한다. In this case, since the cell arrays 10a to 10d and the word line driver 20 are the same as those of the conventional configuration described with reference to FIG. 2, detailed description thereof will be omitted with the same reference numerals.

그리고 제어 회로부(300)는 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h)와, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(320a 내지 320d)와, 다수의 낸드 게이트(330a 내지 330j)와, 노아 게이트(340)와, 제 2 내지 제 5 지연부(360a 내지 360d)를 포함한다. 또한, 제어 회로부(300)는 제 1 내지 제 3 버스라인을 포함하는데, 제 1 버스라인은 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij)가 인가되고, 제 2 버스라인은 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)가 인가되며, 제 3 버스라인은 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스(bsenp)가 인가된다. The control circuit unit 300 includes first to eighth fuse circuits 12a to 12h, first to fourth buffer circuits 320a to 320d, a plurality of NAND gates 330a to 330j, and a noah gate 340. ) And second to fifth delay units 360a to 360d. In addition, the control circuit unit 300 includes first to third bus lines, and the first bus line is supplied with a pre-coded input address Baxij, and the second bus line is word line disabled. (disable) signal wlcb is applied, and the third bus line is applied with an input address bsenp for selecting a block.

따라서, 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h)는 노말(normal) 셀에 결함이 발생할 경우 이에 해당하는 어드레스를 프로그래밍한다. 그리고 제 1, 2 버스라인(31a)(31b)에서 인가되는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)가 입력되어 퓨즈신호를 출력한다. 아울러, 제 1 내지 제 4 버퍼회로(320a 내지 320d)는 제 1, 2 버스라인(310a)(310b)에서 인가되는 프리코딩(pre-coding)된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)를 입력으로 버퍼링하여 출력한다.Thus, the first to eighth fuse circuits 12a to 12h program an address corresponding to a defect in the normal cell. A pre-coded input address Baxij and a word line disable signal wlcb applied from the first and second bus lines 31a and 31b are input to output a fuse signal. In addition, the first to fourth buffer circuits 320a to 320d may have pre-coded input addresses Baxij and wordline disable applied from the first and second bus lines 310a and 310b. ) Signal wlcb is buffered to the input and output.

그러면, 제 1 내지 4 낸드 게이트(330a 내지 330d)는 셀 어레이들(10a 내지 10d) 각각에 대하여 연속되는 퓨즈회로를 2개씩 구성하고, 각각 연결된 퓨즈회로의 퓨즈신호를 입력받아 NAND 논리연산하여 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)를 출력한다. 그리고 제 2 내지 제 5 지연부(360a 내지 360d)는 출력되는 제 1 내지 제 4 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1 내지 Xhit4)를 각각 입력받아 소정시간 지연된 제 5 내지 제 8 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1' 내지 Xhit4')를 출력한다.Then, the first to fourth NAND gates 330a to 330d constitute two continuous fuse circuits for each of the cell arrays 10a to 10d, and receive NAND logic operations by inputting fuse signals of the connected fuse circuits, respectively. The first to fourth redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4 are output. The second to fifth delay units 360a to 360d receive the output first to fourth redundancy word line selection signals Xhit1 to Xhit4, respectively, and the fifth to eighth redundancy word line selection signals Xhit1 that are delayed by a predetermined time. 'To Xhit4').

즉, 제 1 낸드 게이트(330a)는 제 1 퓨즈회로(12a)의 퓨즈신호와 제 2 퓨즈회로(12b)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한 후, 제 2 지연부(360a)를 통해 소정시간 지연된 제 5 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1')를 출력한다. 그리고 제 2 낸드 게이트(330b)는 제 3 퓨즈회로(12c)의 퓨즈신호와 제 4 퓨즈회로(12d)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한 후, 제 3 지연부(360b)를 통해 소정시간 지연된 제 6 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit2')를 출력한다. 그리고 제 3 낸드 게이트(330c)는 제 5 퓨즈회로(12e)의 퓨즈신호와 제 6 퓨즈회로(12f)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한 후, 제 4 지연부(360c)를 통해 소정시간 지연된 제 7 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit3')를 출력한다. 그리고 제 4 낸드 게이트(330d)는 제 7 퓨즈회로(12g)의 퓨즈신호와 제 8 퓨즈회로(12h)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한 후, 제 5 지연부(360d)를 통해 소정시간 지연된 제 8 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit4')를 출력한다. That is, the first NAND gate 330a performs a NAND logic operation on the fuse signal of the first fuse circuit 12a and the fuse signal of the second fuse circuit 12b, and then delays the predetermined time through the second delay unit 360a. The fifth redundancy word line selection signal Xhit1 'is output. The second NAND gate 330b performs a NAND logic operation on the fuse signal of the third fuse circuit 12c and the fuse signal of the fourth fuse circuit 12d and then delays the predetermined time by a third delay unit 360b. 6 The redundancy word line selection signal Xhit2 'is output. The third NAND gate 330c performs a NAND logic operation on the fuse signal of the fifth fuse circuit 12e and the fuse signal of the sixth fuse circuit 12f, and then delays the predetermined time by the fourth delay unit 360c. 7 The redundancy word line select signal Xhit3 'is output. The fourth NAND gate 330d performs a NAND logic operation on the fuse signal of the seventh fuse circuit 12g and the fuse signal of the eighth fuse circuit 12h, and then delays the predetermined time by the fifth delay unit 360d. 8 A redundancy word line select signal Xhit4 'is output.

이어, 제 5 내지 제 8 낸드 게이트(330e 내지 330h)는 셀 어레이들 각각에 대하여 짝수 또는 홀수 번째 퓨즈회로를 2개씩 구성하고, 각각 연결된 퓨즈회로의 퓨즈신호를 입력받아 NAND 논리연산한다.Subsequently, the fifth to eighth NAND gates 330e to 330h configure two even or odd-numbered fuse circuits for each of the cell arrays, and receive NAND logic operations by receiving fuse signals of the connected fuse circuits.

즉, 제 5 낸드 게이트(330e)는 제 1 퓨즈회로(12a)의 퓨즈신호와 제 3 퓨즈회로(12c)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다. 그리고 제 6 낸드 게이트(330f)는 제 2 퓨즈회로(12b)의 퓨즈신호와 제 4 퓨즈회로(12d)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다. 그리고 제 7 낸드 게이트(330g)는 제 5 퓨즈회로(12e)의 퓨즈신호와 제 7 퓨즈 회로(12g)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다. 그리고 제 8 낸드 게이트(330h)는 제 6 퓨즈회로(12f)의 퓨즈신호와 제 8 퓨즈회로(12h)의 퓨즈신호를 NAND 논리연산한다.That is, the fifth NAND gate 330e performs NAND logic operation on the fuse signal of the first fuse circuit 12a and the fuse signal of the third fuse circuit 12c. The sixth NAND gate 330f performs NAND logic operation on the fuse signal of the second fuse circuit 12b and the fuse signal of the fourth fuse circuit 12d. The seventh NAND gate 330g performs a NAND logic operation on the fuse signal of the fifth fuse circuit 12e and the fuse signal of the seventh fuse circuit 12g. The eighth NAND gate 330h performs a NAND logic operation on the fuse signal of the sixth fuse circuit 12f and the fuse signal of the eighth fuse circuit 12h.

다음으로 제 9 낸드 게이트(330i)는 제 5 내지 제 8 낸드 게이트(330e 내지 330h) 중 짝수 번째 퓨즈회로의 출력신호들을 입력으로 논리연산한다. 즉, 제 5 낸드 게이트(330e)의 출력신호와 제 7 낸드 게이트(330g)의 출력신호를 NAND 논리연산한다.Next, the ninth NAND gate 330i performs logical operation on the output signals of the even-numbered fuse circuits among the fifth to eighth NAND gates 330e to 330h as inputs. That is, NAND logic operation is performed on the output signal of the fifth NAND gate 330e and the output signal of the seventh NAND gate 330g.

이어 제 10 낸드 게이트(330j)는 제 5 내지 제 8 낸드 게이트(330e 내지 330h) 중 홀수 번째 퓨즈회로의 출력신호들을 입력으로 논리연산한다. 즉, 제 6 낸드 게이트(330f)의 출력신호와 제 8 낸드 게이트(330h)의 출력신호를 NAND 논리연산한다.Subsequently, the tenth NAND gate 330j performs logic operation on the output signals of the odd-numbered fuse circuits among the fifth to eighth NAND gates 330e to 330h as inputs. That is, NAND logic operation is performed on the output signal of the sixth NAND gate 330f and the output signal of the eighth NAND gate 330h.

그리고 노아 게이트(340)는 제 9 낸드 게이트(330i) 및 제 10 낸드 게이트(330j)의 출력신호를 입력으로 논리연산하여 코딩신호(nxe)를 출력한다.The NOR gate 340 logically operates the output signals of the ninth NAND gate 330i and the tenth NAND gate 330j as inputs, and outputs a coded signal nxe.

그러면, 노멀 워드라인 구동부(22a 내지 22d)는 제어 회로부(300)내의 버퍼회로(320a 내지 320d)에서 버퍼링된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블(disable) 신호(wlcb)와, 제어 회로부(300)내의 노아 게이트(340)에서 출력되는 코딩신호(nxe)를 입력받아 다수의 노멀 워드라인(wl<0:n>)의 구동을 위한 구동신호를 출력한다.Then, the normal word line drivers 22a to 22d may include the input address Baxij and the word line disable signal wlcb buffered in the buffer circuits 320a to 320d in the control circuit unit 300, and the control circuit unit ( The coded signal nxe output from the NOR gate 340 in the 300 is input to output a driving signal for driving the plurality of normal word lines wl <0: n>.

즉, 제 1 노멀 워드라인 구동부(22a)는 노아 게이트(340)의 코딩신호(nxe)와 제 1 버퍼회로(320a)를 통하여 버퍼링된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에 이블 신호(wlcb)에 따라 제 1 셀 어레이(10a)를 구동하기 위한 신호를 출력한다. 그리고 제 2 내지 4 노멀 워드라인 구동부(22b 내지 22d)도 제 1 노멀 워드라인 구동부(22a)와 유사하게, 노아 게이트(340)의 코딩신호(nxe)와 제 2 내지 제 4 버퍼회로(320b 내지 320d)를 통하여 버퍼링된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 따라 제 2 내지 제 4 셀 어레이들(10b 내지 10d)을 구동하기 위한 신호를 출력한다.That is, the first normal word line driver 22a may include the input address Baxij and the word line disable signal wlcb buffered through the coding signal nxe of the NOR gate 340 and the first buffer circuit 320a. As a result, a signal for driving the first cell array 10a is output. Similarly to the first normal word line driver 22a, the second to fourth normal word line drivers 22b to 22d also have a coding signal nxe and a second to fourth buffer circuit 320b to the noah gate 340. A signal for driving the second to fourth cell arrays 10b to 10d is output according to the buffered input address Baxij and the word line disable signal wlcb through 320d.

아울러 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<p>)는 제어 회로부(300)내의 버퍼회로(320a 내지 320d)에서 버퍼링된 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)와, 제 2 내지 제 5 지연부(360a 내지 360d)에서 출력되는 지연된 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit')와, 제 3 버스라인(310c)으로 인가되는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)를 입력받아 다수의 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)의 구동을 위한 구동신호를 출력한다.In addition, the redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <p> may include a word line disable signal wlcb buffered by the buffer circuits 320a to 320d in the control circuit unit 300, and second to fifth delay units. A plurality of redundant word lines are received by receiving the delayed redundancy word line selection signal Xhit 'output from 360a to 360d and an input address signal bsenp for selecting a block applied to the third bus line 310c. rwl <0: 3> is outputted.

즉, 제 1 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<d>)는 제 2 지연부(360a)의 출력신호인 지연된 제 5 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit1’)와, 제 1 버퍼회로(320a)를 통하여 버퍼링된 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)와, 제 3 버스라인(310c)으로 인가되는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)에 따라 제 1 셀 어레이(10a)에 포함된 상기 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 구동하기 위한 신호를 출력한다. 그리고 상기 제 2 내지 4 리던던시 워드라인 구동부(21<e> 내지 21<0>)도 제 1 리던던시 워드라인 구동부(21<a> 내지 21<d>)와 유사하게, 제 3 내지 5 지연부(360b 내지 360d)의 출력신호인 지연된 제 5 내지 제 8 리던던시 워드 라인 선택신호(Xhit2’내지 Xhit4')와, 제 2 내지 제 4 버퍼회로(320b 내지 320d)를 통하여 버퍼링된 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)와, 제 3 버스라인(310c)으로 인가되는 블록을 선택하기 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)에 따라 제 2 내지 제 4 셀 어레이(10b 내지 10d)에 포함된 상기 리던던시 워드라인(rwl<0:3>)을 구동하기 위한 신호를 출력한다.That is, the first redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <d> may include a delayed fifth redundancy word line selection signal Xhit1 'which is an output signal of the second delay unit 360a, and a first buffer circuit. The cell included in the first cell array 10a according to the word line disable signal wlcb buffered through 320a and the input address signal bsenp for selecting a block applied to the third bus line 310c. A signal for driving the redundancy word lines rwl <0: 3> is output. The second to fourth redundancy word line drivers 21 <e> to 21 <0> are also similar to the first redundancy word line drivers 21 <a> to 21 <d>, and the third to fifth delay units (eg Delayed fifth to eighth redundancy word line selection signals Xhit2 'to Xhit4', which are output signals of 360b to 360d, and wordline disable signals buffered through second to fourth buffer circuits 320b to 320d. The redundancy word line rwl <0 included in the second to fourth cell arrays 10b to 10d according to wlcb and an input address signal bsenp for selecting a block applied to the third bus line 310c. : 3>) outputs a signal to drive.

그리고 제어 회로부(300)내의 제 1 내지 제 8 퓨즈회로(12a 내지 12h) 각각은 위에서 설명한 도 3과 같이 전압 풀업부(101), 퓨즈부(102), 전압 유지부(103) 및 퓨즈신호 출력부(104)를 포함하고, 리페어하고자 하는 특정 어드레스에 해당하는 퓨즈들은 절단(cutting)되어, 해당 어드레스 인가시에만 로우 레벨의 퓨즈신호를 출력한다. 이와 같은 구조 및 동작을 갖는 퓨즈회로의 상세한 설명은 위에서 설명되었으므로 생략한다. 또한, 이와 같은 퓨즈회로의 구조는 일 실시예로서 이 구조에 한정되지는 않는다.Each of the first to eighth fuse circuits 12a to 12h in the control circuit unit 300 includes a voltage pull-up unit 101, a fuse unit 102, a voltage holding unit 103, and a fuse signal output as shown in FIG. 3. The fuse 104 may include a fuse corresponding to a specific address to be repaired and output a low level fuse signal only when the corresponding address is applied. Detailed description of the fuse circuit having such a structure and operation has been described above, and thus will be omitted. In addition, the structure of such a fuse circuit is not limited to this structure as one embodiment.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치의 동작을 설명하면 다음과 같다. 이때, 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)는 액티브 신호에 의하여 하이(High)가 되고, 프리챠지 신호에 의하여 로우(Low)가 된다.Referring to the operation of the word line driving signal generator of the semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention configured as described above are as follows. In this case, the word line disable signal wlcb becomes high by the active signal and becomes low by the precharge signal.

도 6a는 도 5b의 구조를 갖는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동신호 발생장치에서 노멀(normal) 동작시의 구동신호의 타이밍도이고, 도 6c는 도 5b의 구조를 갖는 제 2 실시예에서 리페어(repair) 동작시 구동신호의 타이밍 미스매치를 해 결하는 방법을 나타낸 구동신호의 타이밍도이다.FIG. 6A is a timing diagram of a driving signal during normal operation in the word line driving signal generator of the semiconductor memory device having the structure of FIG. 5B, and FIG. 6C is a repair diagram of the second embodiment having the structure of FIG. 5B. This is a timing diagram of a drive signal showing a method of solving a timing mismatch of a drive signal during a repair operation.

먼저 노멀(normal) 동작은 도 6a와 같이, 액티브 신호에 의하여 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij)가 하이가 되면, 리페어(repair) 여부 감지 신호인 상기 노아 게이트(340)의 출력 신호(nxe)가 하이가 된다. 따라서, 제 1 내지 제 4 노멀 워드라인 구동회로(22a 내지 22d)가 구동됨에 따라 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>)이 인에이블되고 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)은 디스에이블되게 된다.First, in the normal operation, as shown in FIG. 6A, when the input address Baxij precoded by the active signal becomes high, the output signal nxe of the noah gate 340 which is a repair detection signal is changed. Goes high. Therefore, as the first to fourth normal word line driving circuits 22a to 22d are driven, the normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are enabled and the redundancy word lines ( rwl <0: 3>) will be disabled.

또한, 리페어(repair) 동작은 도 6b와 같이, 액티브 신호에 의하여 블록 선택을 위한 어드레스 신호(bsenp)가 하이가 되고, 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)에 응답하여 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(330a 내지 330d)의 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)가 하이가 된다. 아울러, 제 1 내지 제 4 낸드 게이트(330a 내지 330d)의 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)가 제 1 내지 제 4 지연부(360a 내지 360d)를 통해 소정시간(A) 지연된 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit')로 상기 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)에 출력된다.In the repair operation, as shown in FIG. 6B, the address signal bsenp for block selection is made high by the active signal, and the first to fourth NAND gates in response to the word line disable signal wlcb are performed. The redundancy word line select signal Xhit of 330a to 330d becomes high. In addition, the redundancy word line selection signal X delay of the redundancy word line selection signals Xhit of the first to fourth NAND gates 330a to 330d is delayed by a predetermined time (A) through the first to fourth delay units 360a to 360d. Xhit ') is output to the redundancy word lines rwl <0: 3>.

따라서, 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>)은 디스에이블 되고 상기 리던던시 워드라인들(rwl<0:3>)은 제 1 내지 제 4 지연부(360a 내지 360d)를 통해 소정시간(A) 지연된 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit') 이후에 인에이블된다. 한편, 셀 어레이(10a 내지 10d)의 노멀 워드라인들(wl<0:n>)은 디스에이블 된다.Therefore, normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are disabled, and the redundancy word lines rwl <0: 3> are first through fourth delay units 360a through. It is enabled after the redundancy word line selection signal Xhit 'which is delayed by a predetermined time A through 360d. Meanwhile, normal word lines wl <0: n> of the cell arrays 10a to 10d are disabled.

이처럼 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)가 로우(low)에서 하이(high)로 변 환되는 펄스 변환 시점을 지연부(350)를 통해 소정시간(A) 지연시킴으로서, 노멀 패스와 리던던시 패스의 워드라인 간의 미스매치를 해결하도록 하고 있다. 이때, 제 1 내지 제 4 지연부(360a 내지 360d)를 통한 펄스 변환의 지연시간 A는 도 5a의 노아 게이트(340)에서 출력되는 리페어(repair) 여부 감지 신호(nxe)가 노멀 동작시에 로우에서 하이로의 펄스 변환되는 시점의 이후까지로 지연시키는 것이 바람직하다. As such, the delay time of the pulse conversion time at which the redundancy word line selection signal Xhit is changed from low to high is delayed by the delay unit 350 to thereby delay the word lines of the normal pass and the redundancy pass. It is trying to solve the mismatch between the livers. At this time, the delay time A of the pulse conversion through the first to fourth delay units 360a to 360d is low when the repair detection signal nxe output from the Noah gate 340 of FIG. 5A is normal. It is desirable to delay until after the time of the pulse conversion from to high.

아울러, 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)의 펄스 변환 시점을 소정시간(A)만큼 지연시킴으로서 노멀 패스와 리던던시 패스의 워드 라인 간의 타이밍 미스매치를 해결함과 동시에, 상기 뱅크 선택신호(bsenp)를 워드라인 구동부(20)로 직접 인가하므로서 종래의 구조의 신호 공유에 따른 낭비공간을 해결하고 있다.In addition, by delaying the pulse conversion time of the redundancy word line selection signal Xhit by a predetermined time A, the timing mismatch between the normal path and the word line of the redundancy pass is solved, and the bank selection signal bsenp is converted into a word. By directly applying to the line driver 20, the waste space according to the signal sharing of the conventional structure is solved.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 워드라인의 구동장치는 다음과 같은 효과가 있다.The apparatus for driving a word line according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 노멀 워드라인 패스와 리페어 워드라인 패스 간의 미스매치를 해결함과 동시에 신호 공유에 따른 낭비공간을 줄일 수 있는 효과가 있다.First, there is an effect of reducing the mismatch between the normal word line pass and the repair word line pass, and at the same time reducing the wasted space due to signal sharing.

둘째, SDRAM 이상의 전제품에 널리 사용이 가능하므로, 적용 가능한 모든 칩 수량 이슈(net die issue)의 병목(bottleneck)이 되고 있는 영역에 신호의 공유로 인한 자원의 낭비 및 소자의 소형화의 이유로 인해 불필요한 공간낭비를 최대한 줄일 수 있다.Second, since it can be widely used in all products above SDRAM, it is unnecessary because of waste of resources and signal miniaturization due to signal sharing in the area where bottleneck of all applicable net die issues is a bottleneck. The space waste can be reduced as much as possible.

Claims (8)

프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 입력받아 퓨즈 신호를 출력하는 다수의 퓨즈회로와,A plurality of fuse circuits that receive the precoded input address Baxij and the word line disable signal wlcb and output a fuse signal; 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 생성한 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 리던던시 워드라인 구동부로 출력하고, 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 생성한 리페어 여부 감지신호(nxe)를 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 논리조합부와,The redundancy word line selection signal Xhit generated by the logical combination of the fuse signals is output to the redundancy word line driver, and the repair condition detection signal nxe generated by the logical combination of the fuse signals is output to the normal word line driver. Logical combination, 블록 선택을 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)를 소정시간 지연시켜 상기 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 제 1 지연부와,A first delay unit delaying an input address signal bsenp for block selection by a predetermined time and outputting the redundancy word line driver to the redundancy word line driver; 상기 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 버퍼링하여 상기 노멀 워드라인 구동부 및 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 다수의 버퍼회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동 신호 발생장치.And a plurality of buffer circuits for buffering the precoded input address Baxij and wordline disable signal wlcb and outputting the buffers to the normal wordline driver and the redundancy wordline driver. Line drive signal generator. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 논리 조합부는 상기 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 생성하여 상기 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 제1 논리 회로부와,The logic circuit of claim 1, wherein the logic combination unit generates a redundancy word line selection signal Xhit and outputs the redundancy word line selection signal to the redundancy word line driver. 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)를 생성하여 상기 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 제2 논리 회로부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동 신호 발생장치.And a second logic circuit configured to generate the repair detection signal (nxe) and output the repaired detection signal (nxe) to the normal word line driver. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 지연부는 상기 블록 선택을 위한 입력 어드레스 신호(bsenp)를 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)가 로우에서 하이로의 펄스 변환된 이후까지 지연시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동 신호 발생장치. Wherein the first delay unit delays the input address signal bsenp for the block selection until after the repair detection signal nxe is pulse-transformed from low to high. Device. 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 입력받아 퓨즈 신호를 출력하는 다수의 퓨즈회로와,A plurality of fuse circuits that receive the precoded input address Baxij and the word line disable signal wlcb and output a fuse signal; 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 생성하고, 상기 퓨즈 신호들을 논리조합하여 생성한 리페어 여부 감지신호(nxe)를 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 논리조합부와,A logic combination unit generating a redundancy word line selection signal Xhit by logically combining the fuse signals and outputting a repair detection signal nxe generated by logically combining the fuse signals to a normal word line driver; 상기 생성된 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 소정시간 지연시켜 리던던시 워드라인 구동부에 공급하는 제 2 지연부와,A second delay unit which delays the generated redundancy word line selection signal Xhit by a predetermined time and supplies the redundancy word line driver to the redundancy word line driver; 상기 프리코딩된 입력 어드레스(Baxij) 및 워드라인 디스에이블 신호(wlcb)를 버퍼링하여 상기 노멀 워드라인 구동부 및 리던던시 워드라인 구동부로 출력하는 다수의 버퍼회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동 신호 발생장치. And a plurality of buffer circuits for buffering the precoded input address Baxij and wordline disable signal wlcb and outputting the buffers to the normal wordline driver and the redundancy wordline driver. Line drive signal generator. 삭제delete 제5항에 있어서, 상기 논리 조합부는 상기 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 생성하여 상기 제2 지연부로 출력하는 제1 논리 회로부와,6. The logic circuit of claim 5, wherein the logic combiner comprises: a first logic circuit unit configured to generate the redundancy word line select signal Xhit and to output the second delay unit; 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)를 생성하여 상기 노멀 워드라인 구동부로 출력하는 제2 논리 회로부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동 신호 발생장치.And a second logic circuit configured to generate the repair detection signal (nxe) and output the repaired detection signal (nxe) to the normal word line driver. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 제 2 지연부는 상기 리던던시 워드라인 선택신호(Xhit)를 상기 리페어 여부 감지신호(nxe)가 로우에서 하이로의 펄스 변환된 이후까지 지연시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 워드라인 구동 신호 발생장치.And the second delay unit delays the redundancy word line selection signal (Xhit) until after the repair status detection signal (nxe) is pulsed from low to high.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US9142325B2 (en) 2013-10-08 2015-09-22 SK Hynix Inc. Semiconductor memory device for performing repair operation

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980074604A (en) * 1997-03-26 1998-11-05 윤종용 Semiconductor memory device and redundant cell test circuit thereof
KR0184491B1 (en) * 1996-04-22 1999-04-15 김광호 Decoder having dynamic fuse box for word-line controling

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0184491B1 (en) * 1996-04-22 1999-04-15 김광호 Decoder having dynamic fuse box for word-line controling
KR19980074604A (en) * 1997-03-26 1998-11-05 윤종용 Semiconductor memory device and redundant cell test circuit thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9142325B2 (en) 2013-10-08 2015-09-22 SK Hynix Inc. Semiconductor memory device for performing repair operation

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