KR100849099B1 - 스페이서 산포기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 산포기 내부의 대전량을 실시간으로 확인하여 균일한 밀도를 가지도록 스페이서를 산포시킬 수 있는 스페이서 산포기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 스페이서 산포기는 상판과 하판 사이의 갭을 유지시키는 스페이서를 산포하는 액정표시장치의 스페이서 산포기에 있어서, 챔버와, 챔버의 외벽측면에 설치되어 상기 챔버 내부에 대전된 전하의 양을 감지하는 정전량 감지 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

스페이서 산포기{Spacer Diffuser}
도 1은 종래의 액정표시장치를 나타내는 도면.
도 2는 종래의 스페이서 산포기를 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스페이서 산포기를 나타내는 도면.
도 4는 도 3에 도시된 정전량 감지 센서 A를 확대하여 나타내는 도면.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 하부기판 6 : 게이트전극
8 : 소스전극 10 : 드레인전극
12 : 게이트절연막 14 : 활성층
16 : 오믹접촉층 18 : 보호층
20 : 접촉홀 22 : 화소전극
24, 34 : 배향막 26, 58 : 스페이서
28 : 공통전극 30 : 컬러필터
32 : 블랙매트릭스 38, 62 : 챔버
40, 50 : 노즐부 42, 52 : 챔버 내부
44, 54 : 상판 또는 하판 46, 56 : 스테이지
60 : 정전량 감지 센서
본 발명은 스페이서 산포기에 관한 것으로, 특히 산포기 내부의 대전량을 실시간으로 확인하여 균일한 밀도를 가지도록 스페이서를 산포시킬 수 있는 스페이서 산포기에 관한 것이다.
통상적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display; 이하 "LCD"라 함)는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상이 표시된다. 이를 위하여, LCD는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정패널과, 이 액정패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비한다. 액정패널에는 액정셀들 각각에 전계를 인가하기 위한 화소전극들과 기준전극, 즉 공통전극이 마련된다. 화소전극은 하부기판 상에 액정셀별로 형성되는 반면 공통전극은 상부기판의 전면에 일체화되어 형성된다. 화소전극들 각각은 스위칭소자로 사용되는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)에 접속된다. 화소전극은 TFT를 통해 공급되는 데이터신호에 따라 공통전극과 함께 액정셀이 구동된다. 이러한 LCD는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하며, 퍼스널 컴퓨터(Personal Computer)와 노트북 컴퓨터(Note Book Computer)는 물론, 복사기 등의 사무자동화기기, 휴대전화기나 호출기 등의 휴대기 기까지 광범위하게 이용되고 있다.
도 1을 참조하면, 종래의 LCD는 상부기판(11) 상에 순차적으로 형성된 블랙매트릭스(32)와 칼라필터(30), 공통전극(28) 및 배향막(34)으로 구성되는 상판과, 하부기판(1) 상에 형성된 TFT와 화소전극(22) 및 배향막(24)으로 구성되는 하판과, 상판과 하판 사이에 형성된 스페이서(26)와, 상판 및 하판과 스페이서(26)에 의해 마련된 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다.
블랙매트릭스(32)는 불투명수지와 크롬과 같은 불투명한 금속을 상부기판(11) 상에 코팅 또는 증착하고 패터닝함으로써 형성된다. 이 블랙매트릭스(32)는 상부기판(11) 상에 매트릭스 형태로 형성되어 상부기판(11)의 표면을 칼라필터(30)들이 형성되어질 다수의 셀영역들로 나눔과 아울러 인접 셀간의 광간섭을 방지하는 역할을 한다.
칼라필터(30)는 블랙 매트릭스(32)에 의해 나누어진 셀영역들에 위치하게 된다. 칼라필터(30)는 블랙매트릭스(32)가 형성된 상부기판(11)의 전면에 백색광원을 흡수하여 특정파장(적색, 녹색, 또는 청색)의 광만을 투과시키는 물질을 도포한 후 패터닝함으로써 형성된다.
공통전극(28)에는 공통전압이 공급되며 투명전도막을 증착함으로써 형성된다.
배향막(34)은 공통전극(28) 상에 폴리이미드를 전면 도포한 후, 러빙공정을 수행하여 프리틸트 각을 가지도록 배향처리한다.
하판에서 TFT는 게이트전극(6), 게이트절연막(12), 활성층(14) 및 오믹접촉층(16), 소스 및 드레인전극(8, 10)이 순차적으로 적층되어 구성된다. 이때, 게이트전극(6)은 게이트라인(GL)과 연결되며, 소스전극(8)은 데이터라인(DL)과 연결된다. 드레인전극(10)은 TFT를 보호하기 위한 보호층(18)에 형성된 접촉홀(20)을 통해 화소전극(22)과 접촉된다.
스페이서(26)는 상기와 같은 구성을 가지는 상판과 하판 사이의 갭을 유지시키는 역할을 한다. 스페이서(26)는 도 2에 도시된 바와 같은 스페이서 산포기에 의해 상판 또는 하판 상에 산포된다.
도 2를 참조하면, 스페이서 산포기는 챔버(38)와, 챔버(38) 상부에 설치되어 외부 전송관을 통해 유입되는 스페이서(26)를 산포하는 스페이서 노즐부(40)를 구비한다.
챔버(38) 내의 하부에는 스테이지(46)가 설치되며, 이 스테이지(46) 상에 LCD의 상판 또는 하판(44)이 위치하게 된다.
스페이서 노즐부(40)는 도시되지 않은 스페이서 공급부로부터 스페이서(26)를 공급받아 앞에서 서술된 바와 같은 구성을 가지도록 선행 공정을 마친 상판 또는 하판(44) 상으로 스페이서(26)를 산포시킨다. 이때, 스페이서(26)는 상판 또는 하판(44) 상에 균일한 밀도로 산포될 수 있도록 (+) 또는 (-) 전하 중 어느 하나의 전하를 띠게 된다. 동일한 극성을 가지는 스페이서(26)는 서로 밀어내는 척력을 가지게 되므로 뭉침없이 기판 상에 고르게 분포된다.
선행 공정을 마친 상판 또는 하판(44)은 챔버(38) 내의 스테이지(46) 상에 안착된다. 이후, 에이징공정을 수행하여 챔버 내부(42)를 스페이서(26)의 극성과 동일한 전하를 가지게끔 대전시킨다. 챔버 내부(42)를 스페이서(26)가 가지는 극성과 동일한 극성을 가지도록 적절한 대전량을 유지시킴에 따라 스페이서(26) 산포시 스페이서(26)의 밀도가 균일하게 된다. 즉, 에이징공정은 챔버 내부(42)에 전하들을 생성하여 스페이서(26)의 분포 밀도를 균일하게 하는데 도움을 주게 된다.
그러나, 현재 에이징(Aging) 공정에서 챔버 내부(42)의 대전량 정도를 모니터링(monitoring)할 방법이 없다. 이는 에이징공정을 어느 정도로 실시해야 하는지의 척도가 없다는 것으로 에이징공정 중에 대전량 정도를 확인하는 것이 아니라 스페이서(26)를 산포한 후 기판 상에 분포된 스페이서(26)로서 확인된다. 에이징공정시 챔버 내부(42)의 대전량이 적게 형성되는 경우 스페이서(26)가 기판 상에 산포되면서 뭉치게 되어 산포 밀도가 불균일해짐과 아울러 셀갭이 불균일해진다. 이에 따라, 액정표시면에서 얼룩이 발생하게 된다. 또는 기판 상에 산포되어야할 스페이서(26)가 챔버(38) 내벽에 붙게 됨으로써 스페이서(26)가 기판 상에 덜 분포되어 다시 산포공정을 거치게 됨에 따라 공정시간이 길어지게 될 뿐만 아니라 공정이 번거롭고 복잡해지게 된다.
따라서, 불필요한 에이징을 줄이면서 적당한 시간동안 에이징이 수행되도록 챔버 내부(42)의 대전량 정도를 체크할 필요가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 챔버 외벽에 정전량 감지 센서를 부착함으로써 산포기 내부의 대전량을 실시간으로 확인하여 균일한 밀도를 가지도록 스페이서를 산 포시킬 수 있는 스페이서 산포기를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 스페이서 산포기는 상판과 하판 사이의 갭을 유지시키는 스페이서를 산포하는 액정표시장치의 스페이서 산포기에 있어서, 챔버와, 챔버의 외벽 측면에 설치되어 상기 챔버 내부에 대전된 전하의 양을 감지하는 정전량 감지 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 챔버의 하부에 상판과 하판 중 어느 하나의 기판이 위치되도록 마련되는 스테이지와, 챔버 상부에 설치되어 외부로부터 유입되는 스페이서를 상판과 하판 중 어느 하나의 기판 상에 분사시키는 스페이서 노즐부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.
삭제
상기 챔버 내부에 대전된 전하는 스페이서의 대전된 전하의 극성과 동일한 것을 특징으로 한다.
상기 목적들 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 스페이서 산포기는 챔버(62)와, 챔버(62) 외벽에 설치된 정전량 감지 센서(Electro-Static Charge Sensor ; ESD Sensor)(60)와, 챔버(62) 상부에 설치되어 외부 전송관을 통해 유입되는 스페이서(58)를 산포하는 스페이서 노즐부(50)를 구비한다.
챔버(62) 내의 하부에는 스테이지(56)가 설치되며, 이 스테이지(56) 상에 LCD의 상판 또는 하판(54)이 위치하게 된다.
정전량 감지 센서(60)는 챔버 내부(52)에 대전된 전하량을 감지하는 센서로서 챔버(62)의 4개 측면 중 적어도 어느 하나의 측면에 설치된다. 정전량 감지 센서(60)는 챔버 내부(52)의 정전량의 변화를 실시간으로 감지하여 모니터링할 수 있게 해준다. 이에 따라, 에이징을 실시하지 않은 상태의 챔버 내부(42)의 정전량 상태에서 에이징을 실시하면서 정전량의 변화를 한눈에 알 수 있다. 이때, 도 4에 도시된 바와 같이 챔버(62)의 내벽에 형성된 전하들은 스페이서(58)가 가지는 극성과 동일한 극성, 즉 (+) 또는 (-) 극성을 가지게 된다. 이와 같이 정전량 감지 센서(60)에 의해 관찰자가 챔버 내부(52)의 대전량을 실시간으로 확인할 수 있음에 따라 스페이서(58)의 산포 밀도가 균일하도록 적당한 에이징 수행 시간을 조절할 수 있다. 즉, 정전량 감지 센서(60)는 챔버(62) 내부의 정전량 정도를 모니터링할 수 있으므로 적당한 시간동안 에이징공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 스페이서(58) 산포 밀도가 균일해짐과 아울러 균일한 스페이서(58)의 분포에 따라 셀갭이 균일하게 되어 액정표시면에서 얼룩이 발생되지 않는다. 또한, 적당한 에이징공정으로 인하여 챔버 내부(52)의 정전량이 적당하게 형성됨으로써 스페이서(58)가 챔버(62) 내벽에 붙게 될 염려가 없으므로 스페이서(58)가 기판 상 에 덜 분포되어 다시 산포공정을 거칠 필요가 없을 뿐만 아니라, 불필요한 공정시간을 줄이며 간소한 공정을 달성할 수 있게 된다.
스페이서 노즐부(50)는 도시되지 않은 스페이서 공급부로부터 스페이서(58)를 공급받아 앞에서 서술된 바와 같은 구성을 가지도록 선행 공정을 마친 상판 또는 하판(54) 상으로 스페이서(58)를 산포시킨다. 이때, 스페이서(58)는 상판 또는 하판(54) 상에 균일한 밀도로 산포될 수 있도록 (+) 또는 (-) 전하 중 어느 하나의 전하, 즉 동일한 극성을 띠게 된다.
선행 공정을 마친 상판 또는 하판(54)은 챔버(62) 내의 스테이지(56) 상에 안착된다. 이후, 에이징공정을 수행하여 챔버 내부(52)를 스페이서(58)의 극성과 동일한 전하를 가지게끔 대전시킨다. 여기서, 에이징공정은 챔버 내부(52)에 정전기를 발생시키는 공정으로서 정전량 감지 센서(60)에 의해 챔버 내부(52)의 정전량 변화가 실시간으로 확인된다. 챔버 내부(52)를 스페이서(58)가 가지는 극성과 동일한 극성을 가지도록 적절한 대전량을 유지시킴에 따라 스페이서(58) 산포시 스페이서(58)의 밀도가 균일하게 된다. 에이징공정은 챔버 내부(52)에 전하들을 생성하여 스페이서(58)의 분포 밀도를 균일하게 하는데 도움을 주게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스페이서 산포기는 챔버 측면의 외벽에 정전량 감지 센서를 설치한다. 이에 따라, 에이징공정시 챔버 내부에 형성되는 대전량을 실시간으로 확인할 수 있게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 스페이서 산포 기는 종래와 비교하여 에이징을 실시하면서 스페이서 산포 밀도를 균일하게 할 수 있는 대전량을 쉽게 모니터링할 수 있다. 나아가, 본 발명에 따른 스페이서 산포기는 스페이서 산포 밀도가 균일해짐에 따라 셀갭을 균일하게 할 수 있으므로 액정표시면에서 얼룩이 발생되지 않는다. 또한, 본 발명에 따른 스페이서 산포기는 불필요한 공정시간을 줄일 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (4)

  1. 상판과 하판 사이의 갭을 유지시키는 스페이서를 산포하는 액정표시장치의 스페이서 산포기에 있어서,
    챔버와,
    상기 챔버의 외벽 측면에 설치되어 상기 챔버 내부에 대전된 전하의 양을 감지하는 정전량 감지 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포기.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버의 하부에 상기 상판과 상기 하판 중 어느 하나의 기판이 위치되도록 마련되는 스테이지와,
    상기 챔버 상부에 설치되어 외부로부터 유입되는 스페이서를 상기 상판과 하판 중 어느 하나의 기판 상에 분사시키는 스페이서 노즐부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버 내부에 대전된 전하는 상기 스페이서의 대전된 전하의 극성과 동일한 것을 특징으로 하는 스페이서 산포기.
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