KR100848378B1 - Structure for inserting heat wire of susceptor and method for the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서셉터의 열선삽입 구조 및 방법에 관한 것으로서,The present invention relates to a heat insertion structure and method of a susceptor,

LCD기판에 박막을 증착하는 플라즈마 화학기상 증착 장비의 챔버 내에 설치된 샤워헤드의 하측에 설치되며, LCD기판이 상면에 안착되는 서셉터의 열선삽입 구조에 있어서, 하면에 삽입홈이 형성되는 메인플레이트와, 상기 삽입홈에 삽입장착되는 열선과, 상기 열선의 하부를 지지하며 상기 삽입홈의 상측 공간에 밀착 삽입되는 속쫄대와, 상기 속쫄대의 하부를 지지하며 상기 삽입홈의 하측 공간에 억지끼움식으로 밀착 삽입되도록 끼워맞춤공차를 갖는 겉쫄대를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 서셉터의 열선삽입 구조와 이를 또다른 측면으로 구현한 서셉터의 열선삽입 방법을 제공하여,In the hot wire insertion structure of the susceptor, which is installed at the lower side of the shower head installed in the chamber of the plasma chemical vapor deposition equipment for depositing a thin film on the LCD substrate, the LCD substrate is seated on the upper surface, the main plate and the insertion groove is formed on the lower surface; And a heating wire inserted into the insertion groove, a fastening shaft supporting the lower portion of the heating wire and tightly inserted into the upper space of the inserting groove, and supporting a lower portion of the fastening shaft in the lower space of the insertion groove. By providing a heat wire insertion structure of the susceptor characterized in that it comprises a sheath having a fitting tolerance to be inserted in close contact with the susceptor, and another method to implement the heat wire insertion,

겉쫄대를 억지끼움식으로 삽입하여 서셉터의 역변형을 주어, 열에 의한 처짐과 중력하중에 의한 처짐을 최소화하고, 열선의 열전달이 좋고 수명도 연장될 수 있도록 한다.By inserting the outer shell into the interference fit type, the susceptor is inversely deformed to minimize deflection due to heat and deflection due to gravity load, so that heat transfer of the hot wire is good and life can be extended.

서셉터, 열선, 억지끼움 Susceptor, hot wire, interference

Description

서셉터의 열선삽입 구조 및 방법{Structure for inserting heat wire of susceptor and method for the same}Structure for inserting heat wire of susceptor and method for the same}

도 1은 일반적인 플라즈마 화학기상 증착 장비의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.1 is a view schematically showing the configuration of a typical plasma chemical vapor deposition equipment.

도 2는 일반적인 서셉터의 열선삽입상태를 나타낸 평면도.Figure 2 is a plan view showing a hot wire insertion state of a typical susceptor.

도 3은 종래의 서셉터의 열선삽입구조를 나타낸 부분단면도.Figure 3 is a partial cross-sectional view showing a heat ray insertion structure of a conventional susceptor.

도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 구조를 나타내는 분해사시도.Figure 4 is an exploded perspective view showing a heat ray insertion structure of the susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 구조를 나타내는 분해단면도.Figure 5 is an exploded cross-sectional view showing a heat ray insertion structure of the susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 6는 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 메인플레이트의 부분단면도.Figure 6 is a partial cross-sectional view of the main plate of the susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 속쫄대의 단면도.7 is a cross-sectional view of the inner ear of the susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 겉쫄대의 단면도.Figure 8 is a cross-sectional view of the outer shell of the susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 9은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 구조를 나타내는 단면도.Figure 9 is a cross-sectional view showing a heat ray insertion structure of the susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 방법을 나타내는 결합 순서도.10 is a coupling flow diagram illustrating a method for inserting a hot wire of a susceptor according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100:메인플레이트 110:삽입홈100: main plate 110: insertion groove

120:삽입면 130:삽입홈의 상단면120: insertion surface 130: the upper surface of the insertion groove

140a:상측홈 140b:하측홈140a: upper groove 140b: lower groove

200:열선 300a:속쫄대200: heating wire 300a: whisper

300b:겉쫄대 310a, 310b:모따기부300b: Crust 310a, 310b: Chamfer part

320:속쫄대의 상단면 330:겉쫄대의 상단면320: upper surface of the inner ear 330: upper surface of the inner ear

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)기판에 박막을 증착하는 플라즈마 화학기상 증착 장비의 챔버 내의 샤워헤드 하측에 설치되며, LCD기판이 상면에 안착되는 서셉터의 열선삽입 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 메인플레이트의 하부에 형성된 삽입홈에 열선을 삽입 장착한 후 삽입홈의 상측 공간에 속쫄대를 삽입하여 열선을 지지하고, 삽입홈의 하측 공간에 겉쫄대를 억지끼움식으로 삽입하여 서셉터에 역변형을 주어 서셉터가 열에 의한 처짐과 중력하중에 의한 처짐을 최소화할 수 있는 서셉터의 열선삽입 구조 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a heat ray insertion structure of a susceptor installed under a showerhead in a chamber of a plasma chemical vapor deposition apparatus for depositing a thin film on a liquid crystal display (LCD) substrate, and having an LCD substrate seated on an upper surface thereof. The hot wire is inserted into the insertion groove formed in the lower part of the main plate and then inserted into the upper space of the insertion groove to support the hot wire, and inserts the outer shell into the lower space of the insertion groove in a susceptor. The present invention relates to a heat insertion structure and method of a susceptor which can be subjected to inverse deformation to minimize the deflection caused by heat and the deflection caused by gravity load.

최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판표시장치(plate panel display)의 필요성이 대두되었고, 이에 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)가 개발되어 노트북이나 데스크톱 모니터 등에 활발하게 사용되고 있다.With the recent rapid development of the information society, the necessity of a flat panel display having excellent characteristics such as thinness, light weight, and low power consumption has emerged. Accordingly, a liquid crystal display (LCD) has been developed. It is actively used in laptops and desktop monitors.

액정표시장치란, 서로 대향되는 두 기판의 일면에 각각 전계 생성 전극을 형성한 후 이들 전극을 서로 마주보도록 배치한 상태에서 그 사이에 액정 물질을 삽입하여 구성되는 것으로, 상기 각각의 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장의 변화에 따라 액정을 구동시킴으로써 변화하는 빛의 투과율로 화상을 표현하는 장치이다.A liquid crystal display device is formed by forming a field generating electrode on one surface of two substrates facing each other, and then placing a liquid crystal material therebetween with the electrodes facing each other, and applying a voltage to each electrode. It is a device that expresses an image by changing the transmittance of light by driving a liquid crystal in response to a change in an electric field generated by application.

일반적으로 액정표시장치를 제조 위한 장비로서, 도 1에 도시된 바와 같이 플라즈마 화학기상 증착 장비가 이용되며, 도 2는 이러한 플라즈마 화학기상 증착 장비 내에 설치되는 서셉터의 열선삽입구조를 나타낸 평면도이다.In general, as a device for manufacturing a liquid crystal display device, a plasma chemical vapor deposition apparatus is used as shown in FIG. 1, and FIG. 2 is a plan view illustrating a heat ray insertion structure of a susceptor installed in the plasma chemical vapor deposition apparatus.

도 1 및 도 2를 참조하여 플라즈마 화학기상 증착 장비를 설명하면 다음과 같다.The plasma chemical vapor deposition apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 2 as follows.

일반적인 플라즈마 화학기상 증착 장비는 상부가 개방된 반응챔버(10)가 챔버덮개(20)에 의해 덮여지게 된다. 이에 따라, 반응챔버(10)와 챔버덮개(20)에 의해 외부와 차단된 반응공간이 형성된다. 또한, 반응공간의 효과적인 밀폐를 위해 반응챔버(10)와 챔버덮개(20) 사이에는 오링(30)이 삽입되어 설치된다.In a typical plasma chemical vapor deposition apparatus, a reaction chamber 10 having an open top is covered by a chamber cover 20. Accordingly, the reaction space is cut off from the outside by the reaction chamber 10 and the chamber cover 20 is formed. In addition, the O-ring 30 is inserted and installed between the reaction chamber 10 and the chamber cover 20 to effectively seal the reaction space.

그리고 반응공간 내에는 이송수단(45)에 의해 상하 이송이 가능하고 전기적으로 접지되는 서셉터(40)가 설치된다. 이때, 증착이 수행될 LCD기판(50)은 서셉터(40)의 상부에 안착되며, 서셉터(40)의 내부에는 LCD기판(50)을 가열시키기 위한 열선(44)이 장착된다.In the reaction space, a susceptor 40 capable of vertically moving and electrically grounded by the transfer means 45 is installed. In this case, the LCD substrate 50 to be deposited is mounted on the susceptor 40, and a heating wire 44 for heating the LCD substrate 50 is mounted inside the susceptor 40.

한편, 서셉터(40)의 상부에 마련되는 반응공간에는 외부 RF 발전기와 연결되는 샤워헤드형 플라즈마 전극(70)이 설치된다. 이와 같은 플라즈마 전극(70)은 속이 비어 있으며, 기체 주입관(80a)은 플라즈마 전극(70)의 내부와 연결되도록 설치된다. 그리고 플라즈마 전극(70)의 저면에는 미세한 직경을 가지는 복수의 분사구멍(70a)이 일정간격으로 형성되어 있다.Meanwhile, a showerhead plasma electrode 70 connected to an external RF generator is installed in the reaction space provided above the susceptor 40. The plasma electrode 70 is hollow and the gas injection tube 80a is installed to be connected to the inside of the plasma electrode 70. In the bottom surface of the plasma electrode 70, a plurality of injection holes 70a having minute diameters are formed at regular intervals.

이에 따라, 기체 주입관(80a)에 의해 플라즈마 전극(70)으로 주입된 기체는 분사구멍(70a)을 통하여 반응공간으로 분사되며, 반응공간으로 분사된 기체는 기체 배기관(80b)을 통하여 배기된다. 그리고 플라즈마 전극(70)은 스테인리스 또는 알루미늄 등의 금속 재질로 이루어지며, 플라즈마에 의한 아크 발생을 방지하기 위하여 통상적으로 그 표면은 양극화처리(anodizing)된다.Accordingly, the gas injected into the plasma electrode 70 by the gas injection tube 80a is injected into the reaction space through the injection hole 70a, and the gas injected into the reaction space is exhausted through the gas exhaust pipe 80b. . In addition, the plasma electrode 70 is made of a metal material such as stainless steel or aluminum, and the surface thereof is typically anodized to prevent arc generation by plasma.

또한, 반응챔버(10)의 측벽에는 로드락부(미도시)와 반응공간과의 연통 여부를 결정하는 슬롯밸브(60)가 설치되어 있으며, 이와 같은 로드락부로부터 서셉터(40)의 상부로 LCD기판(50)을 이송시키기 위해서는 슬롯밸브(60)를 열어야 한다.In addition, the side wall of the reaction chamber 10 is provided with a slot valve 60 for determining whether the communication between the load lock portion (not shown) and the reaction space, the LCD from the load lock portion to the top of the susceptor 40 In order to transfer the substrate 50, the slot valve 60 must be opened.

상술한 바와 같은 일반적인 플라즈마 화학기상 증착 장비에서, 서셉터(40)는 LCD기판(50)에 밀착 설치되어 일정한 온도를 균일하게 부여함으로써 박막의 균일도를 유지할 수 있도록 하는 역할을 수행한다.In the general plasma chemical vapor deposition apparatus as described above, the susceptor 40 is installed in close contact with the LCD substrate 50 and serves to maintain uniformity of the thin film by uniformly giving a constant temperature.

최근에 액정표시장치가 점차 대형화되고, 이에 따라서 액정표시장치를 제작하기 위한 LCD기판(50)도 대형화되었다. 그로 인해, 서셉터(40)의 크기도 대형화되었고, 소형이나 중형의 서셉터(40)에서 발생되지 않았던 LCD기판(50)의 사이드 에 지 부위와 서셉터(40)의 사이드 에지 부위의 접촉면이 일치하지 않고 틈이 생기는 문제점이 발생되었다.Recently, the liquid crystal display device has gradually increased in size, and accordingly, the LCD substrate 50 for manufacturing the liquid crystal display device has also increased in size. As a result, the size of the susceptor 40 is also increased, and the contact surface between the side edge portion of the LCD substrate 50 and the side edge portion of the susceptor 40, which has not been generated in the small or medium susceptor 40, is increased. There was a problem of inconsistency and gaps.

LCD기판(50)과 서셉터(40)의 접촉면이 일치하지 않고 틈이 생겨서, 서셉터(40)에서 LCD기판(50)으로의 열전달이 균일하게 이루어지지 않아 LCD기판(50)에 온도차가 발생되어 균일한 박막형성에 있어서 커다란 문제가 되고 있었다.Since the contact surface between the LCD substrate 50 and the susceptor 40 does not match and a gap is generated, the heat transfer from the susceptor 40 to the LCD substrate 50 is not made uniformly, thereby causing a temperature difference in the LCD substrate 50. It has become a big problem in forming a uniform thin film.

이러한 문제점을 해결하기 위한 종래의 메인플레이트 내에 열선이 내장된 구조의 일예를 도시한 도 3은 단면도로서, 도 3에 도시된 바와 같이, 대한민국 공개특허 제2005-0105120호(2005.11.03)에 기재된 '서셉터 및 서셉터의 히터 밀봉방법'은 알루미늄 재질의 서셉터바디(42)의 저면으로부터 약 1/2지점 위치까지 매입홈을 요구되는 패턴으로 요설하고, 이에 매입홈과 동일한 패턴으로 굴절시킨 히터봉(44)을 매입한 후, 이의 하부 전면에 걸쳐 알루미늄재 밀봉커버(46)를 삽치하여 복개하고, 히터봉(44)을 밀봉하는 밀봉커버(46) 외측의 매입홈내의 하부 공간부에 빈 공간이 없이 아르곤용접, 전자빔 또는 브레이징방식 등의 용접방법으로 용접재(48)로 충전시켜 용접한 후, 용접재(48)의 표면을 그라인더와 같은 연마수단으로 연마한 후, 압착구면을 갖는 압착지그로 용접재(48)의 전면을 압착하여 용접재(48)와 공간부사이의 빈 공간과 용접재(48) 내부의 공극을 완전히 제거하면서 밀봉한 후, 450℃ 정도의 동작 온도로 10시간 가열하여 열처리한 후 공냉시켜 내부 응력을 제거하여 완성되는 서셉터 및 서셉터의 히터 밀봉방법이다.FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of a structure in which a heating wire is embedded in a conventional main plate for solving such a problem. As shown in FIG. 3, Korean Patent Application Publication No. 2005-0105120 (2005.11.03) The method for sealing the susceptor and the heater of the susceptor is a summary of the recessed groove in the required pattern from the bottom surface of the susceptor body 42 made of aluminum to the position of about 1/2, and thus refracted in the same pattern as the recessed groove. After embedding the heater rod 44, the aluminum sealing cover 46 is inserted and covered over the lower entire surface of the heater rod 44, and in the lower space in the recessed groove outside the sealing cover 46 for sealing the heater rod 44. After filling with the welding material 48 by welding method such as argon welding, electron beam or brazing method without empty space, the surface of the welding material 48 is polished by grinding means such as a grinder, and has a crimped surface. With crimping jig The entire surface of the contact member 48 is pressed and sealed while completely removing the voids between the welding member 48 and the space and the voids in the welding member 48, and then heated to a temperature of about 450 ° C. for 10 hours to heat treatment. After the air cooling to remove the internal stress is a susceptor and a heater sealing method of the susceptor is completed.

그러나 상기 구조의 서셉터는 히터봉(44)의 밀봉 요소가 알루미늄 밀봉커버(46)과 용접재(48)이기 때문에, 히터봉(44)에 의해서 열을 전달받아 열팽창이 일어 나면 밀봉커버(46)와 용접재(48)의 열팽창률이 달라서 내부에 공극이 발생되는 문제점이 있었다. 이러한 공극이 과다하게 발생되면, 결국에는 리크(leak)가 발생되어 분사가스가 새나오게 되므로 LCD기판(50)에 박막을 증착시키는데 있어서 커다란 문제점이 되고 있었다.However, since the sealing element of the heater rod 44 is the aluminum sealing cover 46 and the welding material 48, the susceptor having the structure receives the heat by the heater rod 44 and thermal expansion occurs. ) And the welding material 48 has a problem that the voids are generated because the thermal expansion coefficient is different. When such voids are excessively generated, leaks are eventually generated and the injection gas leaks out, which causes a great problem in depositing a thin film on the LCD substrate 50.

한편, 매입홈 요설, 히터봉(44) 매입, 밀봉커버(46)를 삽치, 용접재(48) 충진, 연마수단으로 연마, 압착지그로 압착, 10시간 동안 열처리, 공냉 등의 공정이 순차적으로 이루어지는데, 이러한 작업공정은 그 단계가 복잡할 뿐만 아니라, 연마와 압착과 열처리 및 공냉의 작업에 필요한 소요시간이 길다는 문제점과 경제적인 측면에서도 비용이 과다하게 소요되는 문제점이 있었다.On the other hand, recessed grooves, embedding the heating rod 44, inserting the sealing cover 46, filling the welding material 48, polishing by polishing means, pressing with a jig, heat treatment for 10 hours, air cooling, etc. sequentially This work process is not only complicated in the steps, but also requires a long time required for polishing, pressing, heat treatment, and air cooling, and there is a problem in that the cost is excessive.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 메인플레이트의 삽입홈에 삽입되는 겉쫄대가 삽입홈에 억지끼움식으로 밀착 삽입되도록 끼워맞춤공차를 갖도록 하여 열에 의한 처짐과 중력하중에 의한 처짐을 최소화할 수 있는 서셉터의 열선삽입 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above problems, the outer surface is inserted into the insertion groove of the main plate to have a fitting tolerance so that the insertion groove tightly inserted into the insertion groove deflection by heat and deflection by gravity load It is an object of the present invention to provide a method for inserting a susceptor to minimize the heat sink.

또한, 본 발명은 상기와 같은 기술적 특징을 또다른 측면으로 구현한 서셉터의 열선삽입 구조를 제공하는 것을 또다른 목적으로 한다.In addition, another object of the present invention is to provide a heat ray insertion structure of a susceptor that implements the above technical features as another aspect.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 서셉터의 열선삽입 구조는, LCD기판에 박막을 증착하는 플라즈마 화학기상 증착 장비의 챔버 내에 설치된 샤워헤드의 하측에 설치되며, LCD기판이 상면에 안착되는 서셉터의 열선삽입 구조에 있 어서, 하면에 삽입홈이 형성되는 메인플레이트와, 상기 삽입홈에 삽입장착되는 열선과, 상기 열선의 하부를 지지하며 상기 삽입홈의 상측 공간에 밀착 삽입되는 속쫄대와, 상기 속쫄대의 하부를 지지하며 상기 삽입홈의 하측 공간에 억지끼움식으로 밀착 삽입되도록 끼워맞춤공차를 갖는 겉쫄대를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The heat ray insertion structure of the susceptor of the present invention for achieving the above object is installed on the lower side of the shower head installed in the chamber of the plasma chemical vapor deposition equipment for depositing a thin film on the LCD substrate, the LCD substrate is seated on the upper surface In the hot wire insertion structure of the susceptor, a main plate having an insertion groove formed on the lower surface, a heating wire inserted into and inserted into the insertion groove, and a fastener supporting the lower portion of the heating wire and closely inserted into the upper space of the insertion groove And, it is characterized in that it comprises a cover having a fitting tolerance to support the lower portion of the inner shaft and to be inserted in close contact with the lower space of the insertion groove.

보다 바람직하게, 상기 속쫄대와 겉쫄대는 상단면의 양측모서리가 모따기 처리가 된 것을 특징으로 한다.More preferably, the inner corner and the outer shell is characterized in that both edges of the top surface has been chamfered.

또다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 서셉터의 열삽삽입 방법은, LCD기판에 박막을 증착하는 공정을 위한 장비의 챔버 내의 샤워헤드 하측에 설치되며, LCD기판이 장착되는 서셉터의 열선삽입 방법에 있어서, 메인플레이트의 하면에 삽입홈을 형성하는 단계와, 상기 삽입홈에 열선을 삽입장착하는 단계와, 상기 열선을 지지하도록 상기 삽입홈의 상측 공간에 속쫄대를 밀착 삽입하는 단계와, 상기 속쫄대를 지지하도록 상기 삽입홈의 하측 공간에 억지끼움식으로 겉쫄대를 밀착 삽입하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The method for inserting the susceptor of the susceptor of the present invention for achieving another object is installed under the showerhead in a chamber of the equipment for a process for depositing a thin film on the LCD substrate, the method of inserting the susceptor on which the LCD substrate is mounted. In the step of forming an insertion groove in the lower surface of the main plate, the step of inserting and mounting the heating wire in the insertion groove, the step of closely inserting the inner ear in the upper space of the insertion groove to support the heating wire, and It characterized in that it comprises a step of tightly inserting the outer shell in the lower space of the insertion groove to support the inner ear.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 구조를 나타내는 분해사시도, 도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 구조를 나타내는 분해단면도, 도 6는 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 메인플레이트의 부분단면 도, 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 속쫄대의 단면도, 도 8은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 겉쫄대의 단면도, 도 9은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 구조를 나타내는 단면도, 도 10은 본 발명의 일실시예에 의한 서셉터의 열선삽입 방법을 나타내는 결합 순서도이다.Figure 4 is an exploded perspective view showing a heat ray insertion structure of the susceptor according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is an exploded cross-sectional view showing a heat ray insertion structure of the susceptor according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a Partial cross-sectional view of the main plate of the susceptor according to one embodiment, Figure 7 is a cross-sectional view of the inner ear of the susceptor according to an embodiment of the present invention, Figure 8 is a cover of the susceptor according to an embodiment of the present invention 9 is a cross-sectional view illustrating a heat ray insertion structure of a susceptor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a coupling flowchart illustrating a heat ray insertion method of a susceptor according to an embodiment of the present invention.

먼저, 본 실시예에 따른 서셉터의 열선삽입 구조에 대하여 설명한다.First, the heat wire insertion structure of the susceptor according to the present embodiment will be described.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 서셉터의 열선삽입 구조는 메인플레이트(100), 열선(200), 속쫄대(300a), 겉쫄대(300b)로 구성된다.As shown in Figures 4 and 5, the heat wire insertion structure of the susceptor of the present embodiment is composed of the main plate 100, the heating wire 200, the inner ring 300a, the outer shell 300b.

우선, 도 6에 도시된 바와 같이, 메인플레이트(100)의 하면에 종래와 같이 만곡한 형상으로 삽입홈(110)이 형성된다.First, as shown in FIG. 6, the insertion groove 110 is formed on the bottom surface of the main plate 100 in a curved shape as in the related art.

삽입홈(110)은 열선(200)이 삽입될 수 있도록, 메인플레이트(100)의 하면으로부터 대략 1/2지점의 위치까지 홈으로 형성된 부분으로서, 그 단면의 형상은 단층구조로 형성될 수도 있고, 다단구조로 형성될 수도 있으며, 어느 하나의 형태로 한정되는 것은 아니다.Insertion groove 110 is a portion formed as a groove from the lower surface of the main plate 100 to the position of about 1/2 point so that the heating wire 200 can be inserted, the cross-sectional shape may be formed in a single layer structure It may be formed in a multistage structure, and is not limited to any one form.

한편, 삽입홈(110)의 상단면(130)의 중심부에 반원형태의 상측홈(140a)이 형성된다. 상측홈(140a)은 열선(200)이 삽입홈(110)에 삽입 장착 되었을 때, 메인플레이트(100)와 열선(200) 사이에 빈 공간이 없도록하기 위한 부분으로서, 열선(200)의 단면형상을 고려하여 반원형태로 형성되는 것이 바람직하다. 그러나 열선(200)의 단면형상이 원형이 아닌 다른 형태일 경우에는 충분히 변형이 가능하다는 것은 자명하다.Meanwhile, a semicircular upper groove 140a is formed at the center of the top surface 130 of the insertion groove 110. The upper groove 140a is a portion for preventing the empty space between the main plate 100 and the heating wire 200 when the heating wire 200 is inserted into the insertion groove 110 and has a cross-sectional shape of the heating wire 200. In consideration of this, it is preferable to be formed in a semicircular shape. However, if the cross-sectional shape of the heating wire 200 is other than circular shape, it is obvious that the deformation is sufficiently possible.

다음으로, 메인플레이트(100)의 하면에 형성된 삽입홈(110)에 열선(200)이 삽입된 후, 이 열선(200)의 하부를 지지하며 삽입홈(110)의 상측 공간에 속쫄대(300a)가 밀착 삽입된다.Next, after the hot wire 200 is inserted into the insertion groove 110 formed on the lower surface of the main plate 100, the lower wire 300 supports the lower portion of the hot wire 200 and is placed in the upper space of the insertion groove 110. ) Is tightly inserted.

도 7에 도시된 바와 같이, 속쫄대(300a)의 상단면(320)의 중심부에는 상측홈(140a)과 대향되도록, 하측홈(140b)이 형성된다. 하측홈(140b)은 열선(200)이 삽입홈(110)에 삽입 장착 되었을 때, 상측홈(140a)과 마찬가지로 속쫄대(300a)와 열선(200) 사이에 빈 공간이 없도록 하기 위한 부분으로서, 열선(200)의 단면형상을 고려하여 반원형태로 형성되는 것이 바람직하지만, 열선(200)의 단면형상이 원형이 아닌 다른 형태일 경우에는 상측홈(140a)과 같이 변형이 가능하다.As shown in FIG. 7, the lower groove 140b is formed at the center of the upper surface 320 of the whisper 300a so as to face the upper groove 140a. The lower groove 140b is a portion for preventing the empty space between the whirlpool 300a and the heating wire 200, similarly to the upper groove 140a when the heating wire 200 is inserted into the insertion groove 110. In consideration of the cross-sectional shape of the hot wire 200 is preferably formed in a semi-circular shape, when the cross-sectional shape of the hot wire 200 is other than the circular shape can be modified as in the upper groove 140a.

한편, 속쫄대(300a)의 상단면(320)의 양측모서리는 모따기 처리를 하여 모따기부(310a)가 형성되어, 속쫄대를 삽입홈(110)에 삽입함에 있어서 용이하도록 한다.On the other hand, both side edges of the upper surface 320 of the whiskers 300a are chamfered to form a chamfer 310a, which facilitates insertion of the whiskers into the insertion groove 110.

다음으로, 속쫄대(300a)의 하부를 지지하며 삽입홈(110)의 하측 공간에 억지끼움식으로 밀착 삽입되도록 겉쫄대(300b)가 끼워맞춤공차를 갖도록 형성되어 삽입된다.Next, the support 300b is formed and inserted to have a fitting tolerance so as to support the lower portion of the inner blade 300a and to be tightly inserted into the lower space of the insertion groove 110.

도 5에 도시된 바와 같이, 열선(200)이 삽입홈(110)에 삽입 장착된 후 속쫄대(300a)가 이 열선(200)을 지지하며 삽입홈(110)의 상측 공간에 밀착 삽입되고, 최종적으로 겉쫄대(300b)를 삽입홈(110)의 하측 공간에 밀착 삽입된다.As shown in FIG. 5, after the heating wire 200 is inserted into the insertion groove 110, the inner ear 300a supports the heating wire 200 and is closely inserted into the upper space of the insertion groove 110. Finally, the outer sheath 300b is tightly inserted into the lower space of the insertion groove 110.

이때, 겉쫄대(300b)가 삽입홈(110)의 하측 공간에 억지끼움식으로 밀착 삽입되도록, 겉쫄대(300b)의 폭 치수는 삽입홈(110)과 관련하여 끼워맞춤공차를 갖도록 형성된다.At this time, the width 300 of the sheath 300b is formed to have a fitting tolerance with respect to the insertion groove 110 so that the sheath 300b is tightly inserted into the lower space of the insertion groove 110.

도 9에 도시된 바와 같이, 삽입홈(110)과 관련하여 끼워맞춤공차를 갖는 겉쫄대(300b)가 삽입홈(110)에 삽입되었을 때, 쐐기를 박아넣는 원리와 같이 겉쫄대(300b)가 삽입홈(110)의 삽입면(120)을 양측으로, 즉, 도 9의 화방표 방향으로 밀어주는 효과가 발생하기 때문에 메인플레이트(100)는 열에 의한 처짐과 중력하중에 의한 처짐에 대해서 역변형의 영향을 받아 처짐을 최소화할 수 있다.As shown in FIG. 9, when a table 300b having a fitting tolerance with respect to the insertion groove 110 is inserted into the insertion groove 110, the table 300b is driven in a manner as to drive a wedge. Since the effect of pushing the insertion surface 120 of the insertion groove 110 to both sides, that is, in the direction of the arrow in FIG. 9 occurs, the main plate 100 is inversely deformed with respect to deflection due to heat and deflection due to gravity load. Under the influence of sag, the deflection can be minimized.

겉쫄대(300b)를 억지끼움식으로 삽입하는 방법은 고압의 프레스 등과 같은 압입기계를 사용하여 압입시켜 삽입하거나 메인플레이트(100)를 열에 의해 열팽창시킨 후 겉쫄대(300b)를 삽입하는 열박음 방식으로 할 수 있으며, 이외에도 메인플레이트(100)에 겉쫄대(300b)를 억지끼움식으로 삽입하는 방법은 어떠한 방법도 사용될 수 있다.Method of inserting the outer sheath 300b by interference fit method is press fit using a press-fitting machine such as a high-pressure press or the like or a shrink fit method of inserting the outer sheath 300b after thermal expansion of the main plate 100 by heat. In addition, in addition to the method of inserting the shell 300b into the main plate 100 in the interference fit method can be used any method.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 겉쫄대(300b)의 상단면(330)의 양측모서리도 모따기 처리를 하여 모따기부(310b)가 형성되어, 겉쫄대(300b)를 삽입홈(110)에 삽입함에 있어서 용이하도록 하며, 겉쫄대(300b)의 양 측면은 상측으로 폭이 작아지도록 미세하게 테이퍼(taper)진 형상으로 형성되어, 삽입홈(110)에 열박음 방식이나 또는 고압의 프레스 등과 같은 압입기계를 사용하여 압입시 용이하도록 하는 것이 바람직하다.Meanwhile, as shown in FIG. 8, both side edges of the upper surface 330 of the shell 300b are also chamfered to form a chamfer 310b, thereby inserting the shell 300b into the insertion groove 110. To facilitate insertion, both sides of the sheath 300b is formed in a fine tapered shape so that the width thereof becomes smaller upwards, such as a shrink fit method or a high pressure press in the insertion groove 110. It is preferable to use an indentation machine to facilitate the indentation.

다음으로, 서셉터의 열선삽입 방법에 대하여 설명한다.Next, the method of inserting the susceptor into the hot wire will be described.

서셉터의 열선삽입 방법은 도 10에 도시된 바와 같은 단계로 이루어지며, 상 세하게는 다음과 같다.The method of inserting the susceptor into the hot wire is made of the steps as shown in FIG. 10, and is described in detail as follows.

첫째로, 메인플레이트(100)의 하면에 열선(200)을 삽입되는 패턴에 따라서 열선(200)이 삽입될 수 있도록, 메인플레이트(100)의 하면으로부터 대략 1/2지점의 위치까지 삽입홈(110)을 형성한다.(S10)First, an insertion groove (up to a position of approximately 1/2 point from the lower surface of the main plate 100 so that the heating wire 200 can be inserted according to a pattern into which the heating wire 200 is inserted into the lower surface of the main plate 100). 110 is formed. (S10)

일반적으로 삽입홈(110)을 형성하기 위해서는 회전하는 절삭공구에 공작물을 이송하여 소정의 형상으로 가공하는 공작기계인 밀링머신(milling machine)이 이용되며, 이 외에도 홈을 형성할 수 있는 기계라면 모두 이용할 수 있다.In general, in order to form the insertion groove 110 is used a milling machine (milling machine) which is a machine tool that transfers the workpiece to the rotating cutting tool to be processed into a predetermined shape, in addition to any machine that can form a groove It is available.

한편, 열선(200)의 밀착 삽입을 위해서, 삽입홈(110)을 형성한 후 또는 삽입홈(110) 형성과 동시에 삽입홈(110)의 상단면(130)에 상측홈(140a)을 형성한다.Meanwhile, in order to closely insert the heating wire 200, the upper groove 140a is formed on the top surface 130 of the insertion groove 110 after the insertion groove 110 is formed or at the same time as the insertion groove 110 is formed. .

둘째로, 삽입홈(110)에 열선(200)을 삽입 장착한다.(S20)Second, insert the hot wire 200 into the insertion groove 110. (S20)

메인플레이트(100)에 열전달을 효율적으로 하기 위해서 특정 형태로 구부러진 열선(200)의 형상에 맞게 형성된 삽입홈(110)에 열선(200)을 삽입하여 상측홈(140a)에 밀착 삽입되도록 한다.In order to efficiently heat transfer to the main plate 100, the heating wire 200 is inserted into the insertion groove 110 formed to fit the shape of the heating wire 200 bent in a specific shape so as to be closely inserted into the upper groove 140a.

셋째로, 열선(200)을 지지하도록 삽입홈(110)의 상측 공간에 속쫄대(300a)를 밀착 삽입한다.(S30)Third, the fastener 300a is closely inserted into the upper space of the insertion groove 110 so as to support the heating wire 200. (S30)

속쫄대(300a)의 상단면(320)에는 상측홈(140a)과 대향되도록 하측홈(140b)을 형성하여, 상측홈(140a)과 함께 열선(200)을 밀착 삽입시킨다.The lower surface 140b is formed on the upper surface 320 of the speed zone 300a so as to face the upper groove 140a, and the hot wire 200 is tightly inserted together with the upper groove 140a.

넷째로, 속쫄대(300a)의 하부를 지지하도록 삽입홈(110)의 하측 공간에 억지끼움식으로 겉쫄대(300b)를 밀착 삽입한다.(S40)Fourth, the outer sheath 300b is tightly inserted into the lower space of the insertion groove 110 so as to support the lower portion of the inner sheath 300a. (S40)

삽입홈(110)에 억지끼움식으로 삽입되도록 끼워맞춤공차를 갖는 겉쫄대 (300b)를 열박음 방식이나 또는 고압의 프레스 등과 같은 압입기계를 사용하여 압입시킨다.The faceplate 300b having a fitting tolerance to be inserted into the insertion groove 110 is press-fitted using a press fit machine such as a shrink fit method or a high pressure press.

상술한 바와 같은 단계로 이루어지는 서셉터의 열선삽입 방법은 종래의 작업공정보다 훨씬 간단한 작업공정으로 이루어지므로, 작업시간이 단축되고 서셉터의 제작에 소요되는 비용을 줄일 수 있어서 경제적인 장점이 있다.Since the method of inserting the susceptor into the hot wire of the susceptor made as described above is made with a much simpler working process than the conventional working process, the work time can be shortened and the cost required for the manufacture of the susceptor can be reduced.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서, 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.The present invention described above can be embodied in many other forms without departing from the spirit or main features thereof. Therefore, the above embodiments are merely examples in all respects and should not be interpreted limitedly.

상기와 같은 본 발명은, 겉쫄대를 억지끼움식으로 삽입하여 서셉터의 역변형을 주어, 열에 의한 처짐과 중력하중에 의한 처짐을 방지하므로, 메인플레이트와 LCD기판의 접촉면의 틈이 최소화되므로, LCD기판의 박막증착형성을 효과적으로 할 수 있다.As described above, the present invention provides a reverse deformation of the susceptor by inserting the outer shell into an interference fit method, thereby preventing sag caused by heat and sag caused by gravity load, so that the gap between the main plate and the LCD substrate is minimized. It is possible to effectively form thin film deposition on the LCD substrate.

또한, 서셉터의 처짐을 방지하므로, 공극의 발생을 최소화하여 리크(leak) 현상을 방지할 수 있다.In addition, since the deflection of the susceptor is prevented, leakage may be prevented by minimizing the occurrence of voids.

또한, 메인플레이트와 열선이 기밀하게 밀착되어 열선의 열전달이 좋고 수명도 연장되는 효과가 있다.In addition, since the main plate and the heating wire are hermetically adhered to each other, the heat transfer of the heating wire is good and the life is extended.

또한, 작업 공정의 순서가 간단하기 때문에, 작업시간이 짧고 경제적인 측면에서도 비용이 적게 소요되는 장점이 있다.In addition, since the order of the work process is simple, there is an advantage that the work time is short and the cost is low in terms of economics.

Claims (3)

삭제delete LCD기판에 박막을 증착하는 플라즈마 화학기상 증착 장비의 챔버 내에 설치된 샤워헤드의 하측에 설치되며, LCD기판이 상면에 안착되는 서셉터의 열선삽입 구조에 있어서,In the hot wire insertion structure of the susceptor is installed on the lower side of the shower head installed in the chamber of the plasma chemical vapor deposition equipment for depositing a thin film on the LCD substrate, the LCD substrate is seated on the upper surface, 하면에 삽입홈(110)이 형성되는 메인플레이트(100)와;A main plate 100 having an insertion groove 110 formed on a bottom surface thereof; 상기 삽입홈(110)에 삽입장착되는 열선(200)과;A heating wire 200 inserted into and inserted into the insertion groove 110; 상기 열선(200)의 하부를 지지하며 상기 삽입홈(110)의 상측 공간에 밀착 삽입되는 속쫄대(300a)와;A fastener 300a supporting the lower portion of the heating wire 200 and being tightly inserted into the upper space of the insertion groove 110; 상기 속쫄대(300a)의 하부를 지지하며 상기 삽입홈(110)의 하측 공간에 억지끼움식으로 밀착 삽입되어 상기 메인플레이트(100)에 역변형을 주도록 끼워맞춤공차를 갖는 겉쫄대(300b)를 포함하며, Supporting the lower portion of the speed zone 300a and is tightly inserted into the lower space of the insertion groove 110 by pressing the outer surface 300b having a fitting tolerance to give a reverse deformation to the main plate 100. Include, 상기 속쫄대(300a)와 겉쫄대(300b)는 상단면의 양측모서리가 모따기 처리가 된 것을 특징으로 하는 서셉터의 열선삽입 구조.The fastener (300a) and the outer shell (300b) is a hot wire insertion structure of the susceptor, characterized in that both edges of the top surface has been chamfered. 삭제delete
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