KR100831283B1 - 액정표시소자용 제조 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시소자의 제조를 위한 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정 적하 방식을 이용하는 액정표시소자의 제조 공정에서 액정이 적하된 기판을 합착 공정의 수행 전 일시적으로 보관해 줄 수 있도록 함과 더불어 각 기판에 적하된 액정의 원활한 퍼짐이 이루어질 수 있도록 한 장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 액정이 적하된 기판이 수납되는 수납부 및 상기 수납부를 흔드는 쉐이킹(shaking) 수단이 포함되어 구성된 버퍼 장치: 그리고, 상기 버퍼 장치 또는, 여타의 장치로 기판 반송을 수행하는 반송 장치:를 포함하여 구성된 액정표시소자용 제조 장비를 제공한다.
기판의 액정 퍼짐 유도, 쉐이킹 수단

Description

액정표시소자용 제조 장비{manufacturing device for manufacturing of liquid crystal device}
도 1 은 종래 액정표시소자 제조용 기판의 액정 적하 상태를 개략적으로 나타낸 평면도
도 2 는 본 발명에 따른 액정표시소자용 제조 장비의 배치 상태를 개략적으로 나타낸 구성도
도 3 은 본 발명의 제1실시예에 따른 쉐이킹 수단의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도
도 4 는 본 발명의 제2실시예에 따른 쉐이킹 수단의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도
도 5 는 본 발명의 제3실시예에 따른 쉐이킹 수단의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도
도 6a 및 도 6b 는 본 발명 제3실시예에 따른 쉐이킹 수단의 다른 형태에 따른 정면도 및 평면도
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
400. 버퍼 장치 410. 수납부
510. 안착 테이블 600. 기판
본 발명은 제조 장치에 관한 것으로, 특히, 액정표시소자의 원활한 제조를 위해 구축한 액정표시소자용 제조 장비에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품 위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
이와 같은 액정표시소자는, 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 TFT 어레이 기판(이하, “TFT 기판”이라 한다), 칼라필터 기판(이하, “C/F 기판”이라 한다), 상기 각 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기 TFT 기판에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.
그리고, C/F 기판에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.
상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.
하지만, 상기에서 액정 주입 방식을 이용하는 방법은 액정의 주입 과정을 위한 작업 시간이 상당히 많이 소요되는 단점을 가진다.
즉, 상기한 액정의 주입 과정은 진공 상태에서 삼투압 현상을 통해 액정의 주입이 이루어지도록 되어있기 때문에 많은 작업 시간이 소요되므로 특히, 대형 액정표시소자의 제조 공정에는 부적합할 뿐 아니라 다량 생산에도 불리하였다.
이에 반해, 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자 제조 공정은 상기한 문제점을 해결할 수 있다는 장점에 의해 많은 관심을 받고 있다.
즉, 액정을 기판에 적하한 상태에서 여타의 기판과 합착을 수행함에 따라 액정 주입을 위한 공정상의 시간을 단축시킬 수 있게 된 것이다.
또한, 전술한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자 제조 공정에 있어서, 기판에 액정을 적하한 후 이 액정이 적하된 기판을 이용하여 합착을 수행하는 일련의 과정이 별도의 대기 시간없이 연속적으로 이루어지도록 설정되어 제조 공정상의 단축을 유도하고 있다.
그러나, 전술한 바와 같이 액정 적하 방식에 의해 액정표시소자를 제조하는 경우 기판에 액정을 적하하는 공정 수행 시간에 비해 합착 장비에서 기판간 합착이 이루어지는 공정 수행 시간이 상당히 길게 이루어짐을 고려할 때 상호간의 공정간에 많은 작업 부하가 발생되었던 문제점을 가지게 되었다.
뿐만 아니라, 액정을 적하하는 방식을 채택함에 있어서, 기판(10)에 적하된 액정의 각 도트(dot)(11) 간은 충분한 퍼짐에 의해 도시한 도 1의 점선 부위와 같이 상호간이 일정량 정도 붙어 있어야만 기판간 합착 완료시 상기 합착 기판의 액정 적하 불량이 적고, 상호간의 합착성이 우수함에 따라 액정의 적하 후 상기 적하된 액정의 각 도트(11)가 원활한 퍼짐을 위한 소정의 대기 시간이 있어야만 함이 바람직하다.
그러나, 종래에는 기판에 액정을 적하한 후 대기 시간 없이 바로 합착 공정을 수행하였기에 액정의 각 도트(11)간 원활한 퍼짐이 이루어지지 않은 상태로써 합착 공정이 진행되었고, 이러한 기판간 합착 완료시 상기 합착 기판의 액정 적하 불량이 컸고, 상호간의 합착성이 낮을 수 밖에 없었던 문제점을 가지게 되었다.
즉, 액정의 각 도트(11)간 충분한 퍼짐이 이루어지지 않은 상태로 기판간의 합착을 수행함에 따라 상기 각 토트간의 경계면에 의한 얼룩이 발생되는 문제점을 가지게 된 것이다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 액정 적하 방식을 이용하는 액정표시소자의 제조 공정에서 액정이 적하된 기판을 합착 공정의 수행 전 일시적으로 보관해 줄 수 있도록 함과 더불어 각 기판에 적하된 액정의 원활한 퍼짐이 이루어질 수 있도록 한 액정표시소자 제조 장비를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명의 형태에 따르면 액정이 적하된 기판이 수납되는 수납부 및 상기 수납부를 흔드는 쉐이킹(shaking) 수단이 포함되어 구성된 버 퍼 장치: 그리고, 상기 버퍼 장치 또는, 여타의 장치로 기판 반송을 수행하는 반송 장치:를 포함하여 구성된 액정표시소자용 제조 장비가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예를 첨부한 도 2 내지 도 5를 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
우선, 도시한 도 2는 본 발명의 액정표시소자의 제조 장치에 따른 배치 구성을 개략적으로 나타내고 있는데, 이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 액정표시소자용 제조 장비는 액정 적하 장치(100)와, 합착 장치(200)와, 반송 장치(300), 그리고, 버퍼 장치(400)를 포함하여 구성된다.
상기에서 액정 적하 장치(100)는 각 기판에 액정을 적하하는 역할을 수행한다.
그리고, 상기 합착 장치(200)는 상기 액정이 적하된 기판(600)을 여타의 기판과 합착시키는 역할을 수행한다.
그리고, 상기 반송 장치(300)는 각 기판을 상기한 각 장치로 반송하는 역할을 수행한다.
그리고, 상기 버퍼 장치(400)는 액정이 적하된 기판(600)이 수납되는 수납부(410) 및 상기 수납부를 흔드는 쉐이킹 수단(500)이 포함되어 구성된다.
이 때, 상기 수납부(410)는 다수의 기판(600)을 적재 가능한 별도의 기판 보관용 카세트 등의 형상으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 쉐이킹 수단(500)은 합착 장치(200)에 의한 기판간 합착이 수행되기 전 상기 수납부(410)를 흔들어 상기 수납부(410)에 수납된 기판(600)의 액정 이 충분히 퍼질 수 있도록 유도하는 역할을 수행한다.
상기와 같은 쉐이킹 수단(500)은 크게 수납부(410)와 일체로 형성되어 상기 수납부의 안착이 이루어지는 안착 테이블(510)과, 상기 안착 테이블(510)을 흔드는 구동 수단을 포함하여 구성됨을 제시한다.
그리고, 상기의 버퍼 장치(400)에 따른 구성에 있어서, 구동 수단은 다양한 형태로써 그 실시가 이루어질 수 있으며, 통상 상기 안착 테이블(510)을 회전시키거나 또는, 승강시킴으로써 기판(600)에 적하된 액정의 원활한 퍼짐을 유도하게 된다.
하기에서는 상기한 각 실시예별 구동 수단을 적용한 버퍼 장치에 관하여 설명하기로 한다.
제1실시예:
도시한 도 3은 상기한 구동 수단의 제1실시예에 따른 구성을 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 제1실시예에 따른 버퍼 장치(400)를 구성하는 쉐이킹 수단(500)의 구동 수단은 안착 테이블(510)의 양측 끝단 저면에 결합되어 상기 안착 테이블(510)의 양측을 교대로 상하 승강시키는 승강축(521)과, 상기 승강축(521)이 승강하도록 구동하는 승강 실린더(522)가 포함되어 구성됨이 제시된다.
이 때, 상기 안착 테이블(510)의 둘레면 중 각 승강축(521)이 결합된 위치와는 수직된 방향의 각 측면에는 그 중앙 부위를 따라 중앙축(530)을 구비하고, 이 중앙축(530)은 프레임(540)에 의한 지지가 이루어지도록 한다.
즉, 상기와 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 구성은 안착 테이블(510)의 중앙축(530)이 연결된 부위를 기준으로 할 때 상기 안착 테이블(510)의 양측이 교대로 승강하도록 구성함으로써 상기 안착 테이블(510)에 일체화된 수납부(410)를 흔들도록 하여 상기 수납부(410)에 수납된 각 기판(600)의 액정이 원활히 퍼질 수 있도록 한 것이다.
이는, 각 승강축(521)이 각 승강 실린더(522)의 구동을 전달받아 교대로 상하 이동하게 되면, 이 각 승강축(521)의 이동력을 전달받게 되는 안착 테이블(510)의 양측이 중앙축(530)을 기준으로 교대로 승강함에 따라 상기 안착 테이블(510)을 흔들 수 있음이 가능하다.
그리고, 상기한 구성에 있어서, 승강축(521)은 반드시 안착 테이블(510)의 양측 끝단 저면에 직접 연결하는 것으로 한정하지는 않으며, 상기 안착 테이블(510)의 양측 끝단에 별도의 돌기부(도시는 생략함)를 형성하고, 승강축(521)은 상기 돌기부를 승강시키도록 승강력을 전달하는 역할을 수행하도록 구성할 수도 있다.
또한, 상기한 구성에 있어서, 안착 테이블(510)은 양측을 교대로 승강시켜 수납부(410)를 흔들어주어 액정의 퍼짐을 향상시킬 수 있도록 한 구성으로만 이루어질 수 있는 것만은 아니며, 안착 테이블(510)에 진동을 부여하기 위한 진동 수단을 더 포함하여 구성할 수도 있다.
이 때, 상기 진동 수단은 버퍼 장치의 어느 한 부위와 접촉되는 캠과, 이 캠 을 구동하는 진동 모터를 포함하여 구성함으로써 상기 캠의 회전에 따른 반복적인 접촉에 의해 진동이 발생될 수 있도록 이루어지지만, 이에 대한 도시는 생략하기로 한다.
한편, 상기한 본 발명의 제1실시예에 따른 구성은 전술한 바와 같이 승강 실린더를 이용하여 승강축을 승강하도록 구성할 수도 있으나, 구동 모터와 캠을 이용한 승강축의 승강이 교대로 이루어지도록 구성할 수도 있음은 이해 가능하다. 하지만, 이에 대한 도시는 생략한다.
제2실시예:
도시한 도 4는 본 발명 쉐이킹 수단을 구성하는 구동 수단의 제2실시예에 따른 구성을 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 제2실시예에 따른 버퍼 장치의 쉐이킹 수단(500)을 구성하는 구동 수단은 안착 테이블(510)의 양 측면 중앙 부위를 따라 구비된 중앙축(530)과, 상기 중앙축에 연결되어 상기 중앙축(530)이 회전하도록 구동력을 전달하는 구동력 전달 수단(550)과, 상기 구동력 전달 수단에 연결되며, 중앙축이 회전하도록 구동력을 발생하는 구동 모터(560)가 포함되어 구성됨이 제시된다.
이 때, 상기 구동력 전달 수단(550)은 체인, 벨트, 기어 중 최소 어느 하나의 구조로 형성하며, 구동 모터(560)는 안착 테이블(510)의 양측이 소정 각도만큼만 회전할 수 있도록 구동한다.
즉, 상기와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 구성은 안착 테이블(510)의 중앙축(530)을 반복적으로 회전시켜, 상기 중앙축(530)이 형성된 부위와는 수직된 부위인 안착 테이블(510)의 양 측면이 상기 중앙축(530)의 회전에 의해 교대로 승강하면서 상기 안착 테이블(510)에 일체화된 수납부(410)를 흔들도록 하여 상기 수납부(410)에 수납된 기판의 액정이 원활히 퍼질 수 있도록 한 것이다.
이는, 중앙축(530)에 연결되는 구동력 전달 수단(550)이 구동 모터(560)의 구동에 의한 회전력을 전달받아 구름 운동을 수행하면서 상기 중앙축(530)을 소정 거리만큼 회전시키게 되고, 이 중앙축(530)의 회전량에 비례하여 안착 테이블(510)은 소정 각도만큼 어느 한 측으로 기울어지는 일련의 과정을 반복적으로 교대하면서 수행됨에 따라 가능하다.
또한, 상기와 같은 본 발명의 제2실시예에서도 기 전술한 본 발명의 제1실시예와 같이 구동 수단에 진동 수단을 더 포함하여 구성함으로써 안착 테이블에 진동을 부여할 수 있도록 할 수도 있다.
제3실시예:
도시한 도 5는 본 발명 버퍼 장치의 쉐이킹 수단을 구성하는 구동 수단의 제3실시예에 따른 구성을 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 제3실시예에 따른 쉐이킹 수단(500)의 구동 수단은 안착 테이블(510)의 저면에 연결된 구동축(570)과, 상기 구동축(570)과 축 결합되며, 상기 구동축(570)이 회전하도록 구동하는 구동 모터(580)가 포함되어 구성됨이 제시된다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 구성은 안착 테이블(510)을 좌우 교대로 회전시킴으로써 상기 안착 테이블(510)에 일체화된 수납부(410)를 흔들도록 하여 상기 수납부(410)에 수납된 기판의 액정이 원활히 퍼질 수 있도록 한 것이다.
이는, 구동 모터(580)의 구동에 의한 회전력을 상기 구동 모터(580)와 축 결합된 구동축(570)으로 전달하여 상기 구동축(570)을 회전시킴으로써 안착 테이블(510)의 회전이 수행될 수 있도록 함에 따라 상기 안착 테이블(510)에 안착된 기판(600)의 액정은 소정의 원심력을 적용받아 각 도트간 원활한 퍼짐이 가능하게 된다.
하지만, 상기한 본 발명의 제3실시예에 따른 구성은 전술한 바와 같이 구동축(570)이 구동 모터(580)의 축방향을 기준으로 회전하도록 구성할 수 있으나, 도시한 도 6a 및 도 6b와 같이 상기 구동축(570)의 축방향과 구동 모터(580)의 축방향이 서로 편심되도록 결합하여 상기 구동 모터(580)의 축방향과는 편심된 상태로 회전하도록 구성할 수도 있다.
이의 경우, 안착 테이블(510)은 구동 모터(580)의 축방향을 기준으로 할 때 소정 거리만큼 편심된 상태로써 그 회전 이동이 이루어짐에 따라 상기 안착 테이블(510)에 안착된 기판의 액정은 소정의 원심력과 구심력을 번갈아 가면서 적용 받게 되어 각 도트간 원활한 퍼짐이 가능하게 된다.
또한, 상기와 같은 본 발명의 제3실시예에서도 기 전술한 본 발명의 제1실시예와 같이 구동 수단에 진동 수단을 더 포함하여 구성함으로써 안착 테이블에 진동을 부여할 수 있도록 할 수도 있다.
결국, 본 발명에 따른 액정표시소자용 제조 장비는 전술한 각 실시예의 구동 수단이 적용된 쉐이킹 수단이 제공됨으로써 액정이 적하된 기판이 합착 장치로의 반송이 이루어지기 전에 소정의 대기 시간을 가지도록 함과 더불어 이 대기 시간 동안은 반복적인 흔듦에 의해 적하된 액정의 각 도트간 원활한 퍼짐을 이룬 상태로써 합착 공정이 수행될 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 쉐이킹 수단이 버퍼 장치와는 별도의 장치로써 구성될 수 있다.
이의 경우, 쉐이킹 수단의 안착 테이블에는 수납부 혹은, 기판의 안착에 따른 고정이 이루어질 수 있도록 고정 수단이 포함되어 구성됨이 바람직하며, 상기 고정 수단은 통상의 체결 구조를 이용하거나, 걸림 구조 혹은, 도시한 바와 같은 누름 구조로 형성할 수 있다.
또한, 도시하지는 않았지만, 상기 쉐이킹 수단을 반송 장치에 일체로 구비하여 상기 반송 장치에 의한 기판의 반송 중 반송 대기 상태에서 상기 기판을 흔들어 줄 수 있도록 구성할 수도 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 액정표시소자의 제조 장비에 따른 구성에서 액정이 적하된 기판이 합착 장치로 반송 되기전에 상기 기판을 임시로 대기할 수 있도록 한 수납부를 구비함과 더불어 이 수납부는 쉐이킹 수단에 의해 그 대기 시간 동안 쉐이킹이 이루어질 수 있도록 함으로써 기판에 적하된 액정의 각 도트간 충분한 퍼짐이 이루어질 수 있게 된 효과를 가진다.
이로 인해, 기판간 합착 완료시 합착 기판의 액정 적하 불량 및 상호간의 합 착성이 낮은 문제점을 방지할 수 있는 장점을 가진다.

Claims (15)

  1. 액정이 적하된 기판이 수납되는 수납부 및 상기 수납부를 흔드는 쉐이킹(shaking) 수단이 포함되어 구성된 버퍼 장치: 그리고,
    상기 버퍼 장치 또는, 여타의 장치로 기판 반송을 수행하는 반송 장치:를 포함하여 구성된 액정표시소자용 제조 장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 쉐이킹 수단은
    상기 수납부 또는, 상기 기판의 안착이 이루어지는 안착 테이블과;
    상기 안착 테이블을 회전 운동 또는, 승강 운동을 이용하여 흔드는 구동 수단;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 구동 수단은
    상기 안착 테이블의 양측 끝단에 결합되어 상기 안착 테이블의 양측을 교대로 상하 승강시키는 승강축과,
    상기 승강축이 승강하도록 구동하는 승강 실린더 혹은, 승강 모터가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 승강축 및 승강 실린더 혹은, 승강 모터는 다수개로 다수개로 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동 수단에는
    상기 안착 테이블에 진동을 부여하기 위한 진동 수단이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 진동 수단은
    상기 버퍼 장치의 어느 한 측과 접촉되는 캠과, 이 캠을 구동하는 진동 모터가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 구동 수단은
    상기 안착 테이블의 양측에 중앙 부위를 따라 구비된 중앙축과,
    상기 중앙축에 연결되어 구동력을 전달하는 구동력 전달 수단과,
    상기 구동력 전달 수단에 연결되며, 중앙축이 회전하도록 구동력을 발생하는 구동 모터가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 구동력 전달 수단은
    체인, 벨트, 기어 중 최소 어느 하나의 구조로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 구동 수단에는
    상기 안착 테이블에 진동을 부여하기 위한 진동 수단이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 구동 수단은
    상기 안착 테이블의 저면에 연결된 구동축과;
    상기 구동축에 연결되며, 상기 구동축이 회전하도록 구동하는 구동 모터:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 구동축과 구동 모터는 상호 편심 결합됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 구동 수단에는
    상기 안착 테이블에 진동을 부여하기 위한 진동 수단이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  13. 제 2 항에 있어서,
    상기 안착 테이블에는
    상기 수납부 또는, 상기 기판의 고정을 위한 고정 수단이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
  14. 삭제
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 장치에는
    쉐이킹 수단이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비.
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