KR100826630B1 - 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치 및 그방법 - Google Patents

복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치 및 그방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치는 변압기와 같은 전력기기의 탱크에서 절연 파괴전압의 최저값에 영향을 미치지 않는 절연공간에 일체형 복합 센서부를 설치하고 부분방전에서 발생하는 전자파와 음파를 동시에 측정하는 것이다. 본 발명에 따른 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치는 신호를 검출하는 일체형 복합 센서부, 상기 신호를 분류하여 증폭하고 필터링하는 신호 증폭 및 필터링부, 상기 신호를 디지털화하고 처리하며 그 값으로부터 분석과 진단을 하는 것과 원격감시를 위한 네트워크를 부가할 수 있는 신호의 디지털처리 및 분석부로 구성된 점이 특징이다.
일체형 복합 센서, 커플러, 전자파, 음파, 유전체, 압전물질, 음파공진구성체, 주파수대역차폐, 필터, 매칭물질, 동축터미널, 증폭/필터링, 디지털처리, 분석

Description

복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치 및 그 방법{Apparatus for measuring electromagnetic and acoustic wave using one body hybrid sensors and method thereof}
도 1은 전자파와 음파를 같은 커플러면에서 신호를 검출하는 일체형 복합 센서의 구성도;
도 2와 도 3은 전자파와 음파를 다른 커플러면에서 신호를 검출하여 합성하는 일체형 복합 센서의 구성도;
도 4는 전자파와 음파로 복합된 신호를 디지털화 하는 A/D 콘버터까지 하나의 신호로 처리하는 방식을 나타낸 구성도;
도 5는 전자파와 음파로 복합된 신호를 앰프에서 분리하여 정형화하고 각각의 신호를 따로 디지털화 하므로 두개의 A/D 콘버터로 신호를 처리하는 방식을 나타낸 구성도;
도 6은 신호를 디지털화 한 후 네트워크를 통하여 전송하고 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 원격감시구성도;
도 7은 디지털화한 신호를 신호처리한 후 네트워크로 전송하여 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 원격감시구성도;
도 8은 디지털화, 신호처리 및 분석한 후 분석결과를 호스트컴퓨터 측에서 전송하여 원격 감시 및 분석 진단을 행하는 구성도이다.
본 발명은 하나의 센서에서 전자파와 음향의 신호를 동시에 검출하도록 하는 일체형 센서로 개발함으로써 신호의 동시처리가 가능하여 효율적이고 신뢰성이 있는 측정이 가능하여 분석에서 높은 수준의 진단을 할 수 있도록 한 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치 및 그 방법에 관한 것이다.
변압기와 같은 전력기기에서 이상이 존재할 때 발생되는 부분방전을 검출에서 결함진단, 위치추정, 잡음의 제거, 위험도 평가 등의 분석을 위하여 전자파와 음파센서 등을 각각 사용하여 왔다.
종래의 부분방전 측정방식은 전력기기에 각각의 전자파 또는 전기적인 센서와 음파센서를 설치하여 부분방전을 측정하였지만, 센서의 개수 및 출력단자 등이 많아져 설치공간 확보의 어려움과 측정 신호선의 증가로 인한 신뢰성의 저하를 가져오는 단점이 있고 각각의 신호처리로 비용이 비싸지는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 하나의 센서에서 전자파와 음파를 동시에 검출하는 일체형 센서로 하고, 이의 신호를 적절하게 분류하여 증폭하고 필터하며 합성처리하거나, 각각의 신호를 정형화한 후에 디지털화를 하고 이 신호를 디지털 신호처리를 하여 전자파 신호와 음파 신호를 분류하고 분석하는 데 사용함으로써 빠른 신호처리와 분석의 정도와 장치의 신뢰성을 높일 수 있고 센서 및 처리장치의 갯수를 감소할 수 있도록 한 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전자파 및 음파 동시 측정장치는, 전자파 및 음파신호를 검출하는 일체형 복합 센서부와; 상기 전자파 및 음파신호를 분류하여 증폭하고 필터링하는 신호증폭 및 필터링부와; 상기 신호를 디지털화 하고 처리하며 그 값으로부터 분석과 진단을 하는 신호의 디지털처리 및 분석부로 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명에 이용되는 복합 센서부는, 신호를 받아들이는 커플러와; 상기 커플러에서 전자파의 검출에 작용하는 유전체와; 음파 검출에 작용하는 압전물질 또는 음파공진 구성체와; 전자파의 특정 주파수 대역을 차폐할 수 있고 음파를 통과시키는 스크린 차폐막과; 일정 주파수 대역을 통과시키는 필터와; 음파와 매칭시키는 매칭물질; 및 검출신호를 출력하는 동축터미널로 구성되는 것이 바람직하다.
또한 신호 증폭 및 필터부는, 센서로부터 들어오는 전자파와 음파의 신호를 주파수특성으로 분리하는 분류기와; 상기 분류된 각각의 전자파와 음파의 신호를 증폭하고 일정 주파수대역으로 필터하는 신호 & 필터기와; 상기 각각의 신호를 정형화하는 파형 정형기와; 증폭되고 필터된 전자파신호의 주파수 대역을 낮추는 주파수 변환기; 및 음파신호와 전자파신호를 합성하는 합성기로 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 디지털 처리 및 분석부는, 신호를 디지털화하는 A/D변환기와; 디지털신호를 음파신호와 전자파신호로 분리하거나 각 신호의 특성에 맞게 처리하는 신호처리기; 및 신호처리된 것으로부터 결함분석, 위치추정 및 잡음제거 등을 할 수 있는 분석기로 구성될 수도 있다.
따라서, 복합센서부는 전자파와 음파를 동일 커플면에서 검출하되, 동일 커플면에서 전자장과 작용하도록 하여 전자파 신호를 검출하고 음파의 압력이 압전소자와 작용하거나 커패시티적 또는 마그네틱적으로 작용하여 동일 커플러면에 전기적인 음파신호를 발생시킨다.
또한 복합센서부는 전자파와 음파를 각각의 커플면에서 검출하되, 전자파와 음파를 합성할 때 전자파 신호를 생성하는 커플러로부터 인입하는 신호는 음파의 주파수 대역보다 높은 주파수에서 고역통과필터를 사용하여 합성하도록 할 수 있다.
더욱이, 복합센서부는 전자파와 음파를 각각의 커플면에서 검출하면서 전자파 커플러를 음파 잡음 차폐용으로 활용하여 합성하고; 전자파 커플러면의 뒷면에 음파 커플러를 위치시키고 전자파 커플러의 뒷면으로 음파가 통과할 수 있도록 구멍을 뚫거나 음향전달 매질을 두어 음파 커플러에 음향신호전달과 전자파 잡음을 억제하도록 하며; 전자파와 음파를 합성할 때 전자파 신호를 생성하는 커플러로부터 인입하는 신호는 음파의 주파수 대역보다 높은 주파수에서 고역통과필터를 사용하여 합성할 수 있다.
본 발명의 다른 양상에 따른 측정방법은 복합센서의 출력을 전자파성분과 음 파성분으로 분류하고; 이들의 신호를 증폭과 필터링을 행하며; 전자파 신호는 주파수변환기로 통하여 음파의 주파수 대역보다 높은 주파수 대역으로 낮추고; 이를 음파신호와 합성기에서 합성을 하여 적절한 샘플링율을 갖는 A/D 콘버터로 디지털화 하며; 이를 신호처리기에서 디지털 처리를 통하여 전자파 성분과 음파성분으로 분류하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 다른 측정방법으로는 복합센서의 출력을 전자파성분과 음파성분으로 분류하고; 이들의 신호를 적절한 증폭과 필터링을 행하며; 각각의 전자파 및 음파 신호는 각각의 파형정형기를 통하여 정형화 하고; 이를 각각의 특성에 맞는 적절한 샘플링율을 갖는 A/D 콘버터로 디지털화 하며; 이를 신호처리기에서 디지털 처리를 하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 전자파 성분의 신호와 음파성분의 디지털 신호로부터 결함, 위치 등의 분석단계를 더 포함하고, 원격에서 감시 분석 및 진단을 하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
또한 신호를 디지털화 한 후 네트워크를 통하여 전송하고 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 더 나아가서는 디지털화한 신호를 신호처리한 후 네트워크로 전송하여 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 디지털화, 신호처리 및 분석한 후 분석결과를 호스트컴퓨터 측에서 전송하여 원격 감시 및 분석 진단을 행하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1에는 본 발명에 따른 전자파 및 음파를 동시에 검출하는 일체형 복합 센서부가 도시되어 있다. 상기 일체형 복합 센서부는 부분방전 발생시 발생하는 전자파 및 음파를 입사받아 전자파 신호 및 음파 신호로서 검출하고 합성 신호를 출력하는 것으로, 스크린 차폐막(3), 커플러(1), 유전체(6), 및 압전 소자(2)를 포함한다. 스크린 차폐막(3)은 상기 부분 방전 발생시 발생하는 전자파에 포함된 저역 성분을 차폐한 고역 성분의 전자파, 및 상기 전자파의 주파수 대역 보다 낮은 대역의 주파수를 갖는 음파를 통과시킨다. 커플러(1)는 상기 스크린 차폐막(3)의 후단에 위치하여 상기 스크린 차폐막(3)을 통과한 상기 고역 성분의 전자파 및 상기 음파를 입사받아 각각 상기 전자파 신호 및 상기 음파 신호로서 검출한다. 유전체(6)는 상기 커플러(1)의 후단에 위치하여 상기 스크린 차폐막(3)을 통과한 상기 고주파 성분의 전자파를 상기 커플러(1)로 안내한다. 압전 소자(2)는 상기 유전체(6)에 접촉되게 상기 커플러(1)의 후단에 위치하여 상기 스크린 차폐막을 통과한 음파의 압력에 비례하는 전기적인 음파 신호를 발생한다. 즉, 부분방전 발생시 전자파 및 음파가 동시에 발생하여 전자파는 아주 높은 주파수 대역까지 신호의 스펙트럼이 분포하지만, 음파는 상대적으로 매우 낮은 대역의 스펙트럼을 가지므로 동일센서에서 신호가 복합되더라도 전자파의 낮은 주파수 대역의 신호를 제거하면 구분이 가능하다.
따라서 상기 커플러(1)는 동일 커플러 면으로 전자파와 음파가 입사하므로 전자파에 응답하는 안테나 커플러 기능 및 음파에 응답하는 압전 소자(2)의 전극 또는 커패시티브적으로 응답하는 전극 커플러 기능을 동시에 함으로써 전자파와 음파를 동시에 검출 가능하다. 이때 음파의 주파수가 낮으므로 이 주파수 대역의 전자파는 잡음으로 작용하므로 이를 제거하기 위한 스크린 차폐막(3)를 신호가 인입하는 커플면 앞에 구성한다. 그리고 필요에 따라 음파와 매칭을 위한 매칭물질을 같이 구성할 수 있도록 하였다.
도 2는 상기와 같은 신호의 검출에 있어서 전자파 검출을 하는 커플러 면에 상기 전자파를 입사받는 전자파 커플러(1)가 설치되고, 음파를 검출하는 커플러 면, 즉 상기 전자파 커플러(1)의 하부에 위치하여 상기 음파를 입사받는 음파 커플러(210)를 따로 설치하고 전자파에서 검출된 신호는 고역 통과 필터(4)를 통하여 음파의 주파수 대역보다 높은 신호와 음파의 신호를 합성하여 하나의 신호로 동축 터미널(7)을 통해 출력하는 것이다.
한편, 음파를 측정하는 음파 커플러(210) 측에는 전자파를 차폐할 수 있도록 차폐막(5)을 구성하고 필요에 따라 음파와 매칭을 위한 매칭 물질을 같이 구성할 수 있도록 하였다. 여기에서 유전체(6)는 전자 커플러(1)에서 전자파의 검출에 작용하는 것이다.
도 3은 전자파 커플러(1)의 뒷면에 음파 커플러(11)를 설치하고 전자파 커플러(1)에서 음파는 통과하고 낮은 주파수 전자파를 차폐할 수 있도 전자파 커플러 면(1)에 구멍을 뚫거나 음파통과 메쉬차폐(12)을 두어 음향 커플러(11)에 음파가 도달하고 전자파 잡음은 필터링하는 형태로 하며 전자파 커플러(1)에서 검출되는 신호는 고역 통과 필터를 통하여 낮은 음향 주파수 대역의 전자파 신호를 제거시킨 후 음향신호와 합성할 수 있도록 구성하였다. 검출신호를 출력하는 동축 터미널(7)로 구성되어 있다
도 4의 블록도는 일체형 복합 센서부(100)의 출력 신호를 증폭 및 처리를 하는 신호 증폭 및 필터부로서, 전자파/음파 분류기(101), 전자파 신호 증폭 & 필터(102), 음파 신호 증폭 & 필터(104), 주파수 변환기(103), 및 신호 합성기(105)를 포함한다. 전자파/음파 분류기(101)는 주파수 대역을 기준으로 상기 일체형 복합 센서부(100)로부터의 상기 합성 신호에서 상기 전자파 신호 및 상기 전기적 음파 신호를 분류한다. 전자파 신호 증폭 & 필터(102) 그리고 음파 신호 증폭 & 필터(104)는 상기 전자파/음파 분류기(101)로부터의 상기 분류된 전자파 신호 및 음파 신호를 각각 증폭하고 일정 주파수 대역으로 필터링한다. 주파수 변환기(103)는 상기 전자파 신호 증폭 & 필터의 출력 전자파 신호의 주파수 대역을 상기 음파 신호의 주파수 대역보다 높은 대역으로 낮춘다. 신호 합성기(105)는 상기 주파수 변환기(103)의 출력과 상기 음파 신호 증폭 & 필터의 출력 음파 신호를 합성한다. 동작에 있어서, 일체형 복합 센서부(100)로부터 인입되는 전자파와 음파 신호를 분류기(101)에서 주파수대역으로 분리하여 전자파 신호를 전자파 신호 증폭 & 필터(102)에서 신호 처리를 위하여 적정하게 증폭하고 필터링한 후에 주파수 대역이 높으므로 디지털의 비용을 감소시키기 위하여 주파수 변환기(103)에서 신호를 음파신호의 주파수 대역보다 높은 대역으로 주파수 대역을 낮추게 한다.
한편, 분리된 음파신호도 증폭 및 필터(104)에서 신호처리를 위하여 적정하게 증폭하고 필터링을 한 후에 전자의 전자파 신호와 같이 합성기(105)로 보내어 두 신호를 하나의 신호로 합성한다.
이 신호는 적절한 샘플링율을 갖는 A/D 콘버터(106)로 아날로그 신호를 디지털화 한 후 신호처리기(107)에서 디지털 필터를 통하여 전자파 신호와 음파신호를 분리한다. 그리고 분석기(108)에서 부분방전의 결함의 종류, 위치 및 위험도를 분석한다.
도 5의 블록도는 일체형 복합 센서부(200)의 출력 신호를 증폭 및 처리를 하는 것으로 상기 일체형 복합 센서부(200)로부터 인입되는 상기 전자파 및 음파신호를 분류기(201)에서 주파수 대역으로 분리하여 전자파 신호를 증폭 및 필터(202)에서 신호 처리를 위하여 적정하게 증폭하고 필터를 한 후에 제1 파형 정형기(203)를 통하여 디지털화가 쉬운 형태로 신호를 변환한다.
한편 분리된 음파신호도 신호처리를 위하여 증폭 및 필터(204)에서 적정하게 증폭하고 필터를 한 후에 제2 파형 정형기(205)를 통하여 디지털화가 쉬운 형태로 신호를 변환 한 후 전자의 전자파 신호와 후자의 음파 신호를 각각의 적절한 샘플링율을 갖는 A/D 콘버터(206,207)로서 아날로그 신호를 디지털화한 후 신호 처리기(208)에서 디지털 필터(도시안됨)를 통하여 전자파 신호와 음파 신호를 각각 처리한다. 그리고 분석기(209)에서 부분방전의 결함의 종류, 위치 및 위험도를 분석한다.
도 4와 도 5에서 디지털 신호처리는 DSP Chip에 의한 하드웨어적인 처리 또는 컴퓨터 등에 의한 소프트웨어적인 처리로 행하고 분석에서는 인공지능 등을 활용한 분석을 실시한다.
도 6, 도 7 및 도 8은 원격 감시 및 분석을 위한 구성도로서 도 6은 신호를 디지털화 한 후 네트워크를 통하여 전송하고 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 것이고, 도 7은 디지털화한 신호를 신호처리한 후 네트워크로 전송하여 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 것이며, 도 8은 디지털화, 신호처리 및 분석한 후 분석결과를 호스트컴퓨터 측에서 전송하여 원격 감시 및 분석 진단을 행하는 방식이다.
이상의 설명과 같이 본 발명에 따른 전자파 및 음파의 일체형 복합 센서와 그 측정장치는 전력기기로부터 발생되는 부분방전과 같은 전자파 및 음파의 신호를 일체형 복합센서를 통하여 검출하고 이를 동시 처리함으로써 처리방식의 단순화 및 측정의 신뢰성향상이 가능하고 결함 및 발생위치의 분석, 잡음제거의 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

Claims (19)

  1. 부분방전 발생시 발생하는 전자파 및 음파를 입사받아 전자파 신호 및 음파 신호로서 검출하고 합성 신호를 출력하는 일체형 복합 센서부;
    상기 일체형 복합 센서부로부터의 상기 합성 신호로부터 상기 전자파 및 상기 음파 신호를 분류하여 증폭하고 필터링하는 신호 증폭 및 필터링부; 및
    상기 신호 증폭 및 필터링부로부터의 상기 증폭 및 필터링된 전자파 및 음파신호를 디지털 처리하며 상기 디지털 값을 기초로 하여 부분방전의 상태를 분석 및 진단 하는 디지털처리 및 분석부를 포함하고,
    상기 일체형 복합 센서부는
    상기 전자파에 포함된 저역 성분을 차폐한 고역 성분의 전자파, 및 상기 전자파의 주파수 대역 보다 낮은 대역의 주파수를 갖는 음파를 통과시키는 스크린 차폐막;
    상기 스크린 차폐막의 후단에 위치하여 상기 스크린 차폐막을 통과한 상기 고역 성분의 전자파 및 상기 음파를 입사받아 각각 상기 전자파 신호 및 상기 음파 신호로서 검출하는 커플러;
    상기 커플러의 후단에 위치하여 상기 스크린 차폐막을 통과한 상기 고주파 성분의 전자파를 상기 커플러로 안내하는 유전체; 및
    상기 유전체에 접촉되게 상기 커플러의 후단에 위치하여 상기 스크린 차폐막을 통과한 음파의 압력에 비례하는 전기적인 음파 신호를 발생하는 압전 소자를 포함하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 신호 증폭 및 필터부는,
    주파수 대역을 기준으로 상기 일체형 복합 센서부로부터의 상기 합성 신호에서 상기 전자파 신호 및 상기 전기적 음파 신호를 분류하는 분류기;
    상기 분류기로부터의 상기 분류된 전자파 신호 및 음파 신호를 각각 증폭하고 일정 주파수 대역으로 필터링하는 전자파 신호 증폭 & 필터 그리고 음파 신호 증폭 & 필터;
    상기 전자파 신호 증폭 & 필터 그리고 음파 신호 증폭 & 필터의 출력을 각각디지털화가 쉬운 형태로 정형화하는 제1 및 제2 파형 정형기;
    상기 전자파 신호 증폭 & 필터의 출력 전자파 신호의 주파수 대역을 상기 음파 신호의 주파수 대역 보다 높은 대역으로 낮추는 주파수 변환기; 및
    상기 주파수 변환기의 출력과 상기 음파 신호 증폭 & 필터의 출력 음파 신호를 합성하는 합성기를 포함하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 디지털 처리 및 분석부는,
    상기 신호 증폭 및 필터링부의 출력 신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기와;
    상기 디지털 신호를 처리하여 디지털 음파 신호 및 디지털 전자파 신호로 분리하는 신호 처리기; 및
    상기 신호 처리기에 의해 분리된 디지털 음파 신호 및 전자파 신호를 기초로 하여 부분 방전의 종류, 위치 및 위험도를 분석하는 분석기로 구성됨을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 고역 성분의 전자파 및 상기 음파는 상기 커플러의 동일 면에 입사 및 검출되는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 커플러는
    상기 전자파를 입사받는 전자파 커플러; 및
    상기 전자파 커플러의 하부에 위치하여 상기 음파를 입사받는 음파 커플러를 포함하고,
    상기 일체형 복합 센서부는 상기 전자파 커플러와 상기 음파 커플러 사이에 위치하여 상기 전자파 커플러에 입사된 상기 전자파에 포함된 저역 주파수 성분을 차단하고 상기 음파의 주파수 대역 보다 높은 주파수 성분의 전자파와 상기 음파를 합성하는 고역 통과 필터를 포함하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 커플러는 상기 전자파 및 상기 음파를 입사받고, 커플러 면에 상기 음파를 통과시키는 구멍이 뚫려 있는 전자파 커플러; 및
    상기 전자파 커플러의 후면에 위치하여 상기 전자파 커플러의 구멍을 통과하여 전달된 상기 음파를 입사받는 음파 커플러를 포함하고,
    상기 일체형 복합 센서부는 상기 전자파 커플러에 연결되어 상기 전자파 커플러에 입사된 상기 전자파에 포함된 저주파 성분을 차단하고 상기 음파의 저주파 대역 보다 높은 대역 주파수의 전자파와 상기 음파를 합성하는 고역 통과 필터를 포함하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정장치.
  8. 복합센서의 출력을 전자파성분과 음파성분으로 분류하고;
    이들의 신호를 증폭과 필터링을 행하며;
    전자파 신호는 주파수변환기로 통하여 음파의 주파수 대역보다 높은 주파수 대역으로 낮추고;
    이를 음파신호와 합성기에서 합성을 하여 적절한 샘플링율을 갖는 A/D 콘버터로 디지털화 하며;
    이를 신호처리기에서 디지털 처리를 통하여 전자파 성분과 음파성분으로 분류함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  9. 제8항에 있어서, 전자파 성분의 신호와 음파성분의 디지털 신호로부터 결함, 위치 등의 분석단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  10. 복합센서의 출력을 전자파성분과 음파성분으로 분류하고;
    이들의 신호를 적절한 증폭과 필터링을 행하며;
    각각의 전자파 및 음파 신호는 각각의 파형정형기를 통하여 정형화 하고;
    이를 각각의 특성에 맞는 적절한 샘플링율을 갖는 A/D 콘버터로 디지털화 하며;
    이를 신호처리기에서 디지털 처리를 함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  11. 제10항에 있어서, 전자파 성분의 신호와 음파성분의 디지털 신호로부터 결함, 위치 등의 분석단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  12. 제8항에 있어서, 원격에서 감시 분석 및 진단을 하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  13. 제10항에 있어서, 원격에서 감시 분석 및 진단을 하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  14. 제12항에 있어서, 신호를 디지털화 한 후 네트워크를 통하여 전송하고 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 단계를 더포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  15. 제13항에 있어서, 신호를 디지털화 한 후 네트워크를 통하여 전송하고 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 단계를 더포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  16. 제12항에 있어서, 디지털화한 신호를 신호처리한 후 네트워크로 전송하여 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  17. 제13항에 있어서, 디지털화한 신호를 신호처리한 후 네트워크로 전송하여 이를 전송받은 컴퓨터 측에서 신호처리와 분석을 행하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  18. 제12항에 있어서, 디지털화, 신호처리 및 분석한 후 분석결과를 호스트컴퓨터 측에서 전송하여 원격 감시 및 분석 진단을 행하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
  19. 제13항에 있어서, 디지털화, 신호처리 및 분석한 후 분석결과를 호스트컴퓨터 측에서 전송하여 원격 감시 및 분석 진단을 행하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 복합 센서를 이용한 전자파 및 음파 동시 측정방법.
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