KR100819078B1 - 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치 및 방법 - Google Patents
정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 웨이퍼를 가공하기 위한 챔버;상기 챔버 내부에 설치되어 상기 웨이퍼를 척킹 및 지지하는 정전 척; 및상기 웨이퍼를 디척킹 하는 경우 상기 정전 척에 직류 전원을 스위칭하여 공급하는 직류 전원 스위칭부; 및상기 정전 척에 내부에 마련되어 상기 웨이퍼에 잔류하는 전하를 측정하는 잔류 전하 검출부를 포함하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치.
- 제1항에 있어서,상기 직류 전원 스위칭부는 상기 직류 전원을 형성하기 위하여 음 전압과 양 전압을 교대로 공급하기 위한 복수의 스위치와 전지를 구비하며, 상기 직류 전원의 주파수를 가청 주파수로 설정하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치.
- 제1항에 있어서,상기 직류 전원 스위칭부는 상기 직류 전원의 전압의 크기를 수렴시키면서 스위칭하거나 또는 상기 직류 전원의 스위칭 시 전압의 크기를 일정하게 유지하여 스위칭하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치.
- 제1항에 있어서,상기 잔류 전하 검출부에 의해 검출한 잔류 전하에 따라 상기 웨이퍼의 디척킹 시기를 인식하는 제어부를 더 포함하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치.
- 제4항에 있어서,상기 잔류 전하 검출부는 상기 정전 척의 형성된 설치홈 내부에 설치하는 표면전위 센서, 상기 설치홈의 일단을 밀봉하는 밀봉부재를 포함하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치.
- 웨이퍼를 정전 척 위에 올려 놓는 단계;상기 정전 척에 직류전원을 인가하여 상기 웨이퍼를 척킹하는 단계;척킹된 웨이퍼를 가공하는 단계;가공을 완료한 상기 웨이퍼에 잔류하는 전하를 방전하기 위해 상기 정전 척에 직류 전원을 스위칭하여 공급하는 단계;상기 정전 척에 설치되는 표면전위 센서를 이용하여 상기 웨이퍼에 잔류하는 전하를 측정하는 단계;상기 잔류 전하의 측정 결과를 토대로 상기 웨이퍼의 디척킹 시기를 판단하는 단계; 및리프트 수단을 이용하여 상기 웨이퍼를 디척킹하는 단계를 포함하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 방법.
- 삭제
- 제6항에 있어서,상기 잔류 전하의 측정 결과 상기 웨이퍼의 디척킹 시기가 아니면 상기 정전 척에 직류 전원을 스위칭하여 공급하는 단계를 반복하는 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 방법.
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KR1020060117693A KR100819078B1 (ko) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | 정전 척에서 웨이퍼를 디척킹하는 장치 및 방법 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101161125B1 (ko) * | 2009-04-24 | 2012-06-28 | 어드밴스드 마이크로 패브리케이션 이큅먼트 인코퍼레이티드 아시아 | 처리된 웨이퍼로부터 잔류 전하를 감지하고 제거하는 시스템 및 방법 |
JP2018501757A (ja) * | 2014-12-11 | 2018-01-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 高温rf用途のための静電チャック |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5790365A (en) * | 1996-07-31 | 1998-08-04 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for releasing a workpiece from and electrostatic chuck |
KR20020036299A (ko) * | 2000-11-09 | 2002-05-16 | 윤종용 | 정전척을 구비한 웨이퍼 지지대 및 이를 이용한 디척킹 방법 |
-
2006
- 2006-11-27 KR KR1020060117693A patent/KR100819078B1/ko active IP Right Grant
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