KR100818100B1 - Repair fuse circuit and repair fuse test method - Google Patents

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Abstract

A repair fuse circuit and a repair fuse test method are provided to check a failure due to a fuse in advance by stopping latch operation during initial test. A precharge part(10) precharges a node connected to a number of fuses in common when a word line is disabled. A fuse decoding part(20) performs fuse decoding with a number of decoded row addresses when the word line is enabled and then provides the result to the common node. A latch part(30) outputs a fuse decoding signal determining one of a repair path and a normal path through the common node, and latches the determined one. A test part(40,50) disables latch operation of the latch part in order to remedy failure due to the fuses in a test mode.

Description

리페어 퓨즈 회로 및 리페어 퓨즈 테스트 방법{REPAIR FUSE CIRCUIT AND REPAIR FUSE TEST METHOD}Repair fuse circuit and repair fuse test method {REPAIR FUSE CIRCUIT AND REPAIR FUSE TEST METHOD}

도 1은 종래 기술에 따른 리페어 퓨즈 회로를 나타내는 회로도.1 is a circuit diagram showing a repair fuse circuit according to the prior art.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 리페어 퓨즈 회로를 나타내는 회로도.2 is a circuit diagram illustrating a repair fuse circuit according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가할수록 노멀 모드와 테스트 모드에서 나타나는 퓨즈 디코딩 신호 NRDB의 파형도.3 is a waveform diagram of a fuse decoding signal NRDB appearing in a normal mode and a test mode as the resistances of the fuses F0 to F17 of FIG. 2 increase.

본 발명은 반도체 메모리 장치에서 불량 셀을 리페어하기 위해 리페어 워드 라인을 선택하는 리페어 퓨즈 회로와 리페어 퓨즈를 테스트하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a repair fuse circuit and a method of testing a repair fuse that selects a repair word line for repairing a defective cell in a semiconductor memory device.

일반적으로, 반도체 메모리 장치를 구성하고 있는 수많은 메모리 셀 중에서 어느 하나라도 결함이 발생하면, 그 메모리는 제 기능을 수행할 수 없게 된다. 따라서, 메모리 셀에 불량이 발생했을 때 미리 메모리 내에 설치해 둔 예비 메모리 셀을 이용하여 불량 셀을 대체시킴으로써 수율(yield)을 높이는 리던던시(redundancy) 방식이 널리 사용되고 있다.In general, when any one of a large number of memory cells constituting a semiconductor memory device fails, the memory cannot perform its function. Therefore, when a failure occurs in a memory cell, a redundancy method of increasing yield by replacing a defective cell by using a preliminary memory cell installed in the memory in advance is widely used.

이러한 리던던시 방식에서, 워드 라인 인에이블 경로의 메모리 셀 결함 구제를 위한 리페어는 통상적으로, 도 1과 같은 다이나믹(dynamic) 방식의 리페어 퓨즈(repair fuse) 회로를 사용한다.In such a redundancy method, a repair for memory cell defect repair of a word line enable path typically uses a repair fuse circuit of a dynamic method as shown in FIG. 1.

즉, 일반적인 다이나믹 방식의 리페어 퓨즈 회로는, 도 1에 도시된 바와 같이, 전원 전압(VDD) 노드와 공통 노드(COMM) 사이에 연결되며 프리차지 신호 WLCB를 게이트로 입력받는 PMOS 트랜지스터(P0), 공통 노드(COMM)와 각 NMOS 트랜지스터(N0~N17) 사이에 연결되는 다수의 퓨즈(F0~F17), 각 퓨즈(F0~F17)와 접지 전압(VSS) 노드 사이에 연결되며 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>를 각 게이트로 입력받는 다수의 NMOS 트랜지스터(N0~N17), 공통 노드(COMM)의 신호를 반전하여 퓨즈 디코딩 신호 NRDB로 출력하는 인버터(IV0), 및 전원 전압 (VDD) 노드와 공통 노드(COMM) 사이에 연결되며 퓨즈 디코딩 신호 NRDB를 게이트로 입력받는 PMOS 트랜지스터(P1)로 구성될 수 있다. 이때, 프리차지 신호 WLCB는 워드 라인이 비활성화될 때 인에이블되고, 워드 라인이 활성화될 때 디스에이블되는 신호이다.That is, the general dynamic repair fuse circuit includes a PMOS transistor P0 connected between a power supply voltage VDD node and a common node COMM and receiving a precharge signal WLCB as a gate, as shown in FIG. 1, A plurality of fuses F0 through F17 connected between the common node COMM and each of the NMOS transistors N0 through N17, and between the fuses F0 through F17 and the ground voltage VSS node, decoded a row address. A number of signals BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, BAX78 <0: 3>, and BAX9 <0: 1> are input to each gate NMOS transistors N0 to N17, an inverter IV0 that inverts the signal of the common node COMM and outputs it to the fuse decoding signal NRDB, and is connected between the power supply voltage VDD node and the common node COMM and is a fuse decoding signal. The PMOS transistor P1 may receive an NRDB as a gate. In this case, the precharge signal WLCB is a signal that is enabled when the word line is inactivated and is disabled when the word line is activated.

이러한 구성을 갖는 리페어 퓨즈 회로는 메모리 칩을 액세스(access)하기 위한 커맨드(command)가 들어오기 전까지 프리차지 신호 WLCB가 인에이블 상태로 됨에 따라 공통 노드(COMM)를 하이 레벨 상태로 프리차지시킨다. 따라서, 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 로우 레벨로 되어 노멀 패스(normal path)가 차단되고 리페어 패스(repair path)가 열린 상태로 된다.The repair fuse circuit having such a configuration precharges the common node COMM to a high level state as the precharge signal WLCB becomes enabled until a command for accessing the memory chip is received. Therefore, the fuse decoding signal NRDB goes low, the normal path is blocked, and the repair path is opened.

반면에, 뱅크가 활성화되면, 프리차지 신호 WLCB가 디스에이블되고 로우 어 드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1> 중 어느 하나가 인에이블되어 공통 노드(COMM)가 로우 레벨로 하강한다. 따라서, 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 하이 레벨로 되어 리페어 패스가 차단되고 노멀 패스가 열린다.On the other hand, when the bank is active, the precharge signal WLCB is disabled and the signals decoded the lower dress BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3> , BAX78 <0: 3>, or BAX9 <0: 1> is enabled and the common node COMM descends to the low level. Therefore, the fuse decoding signal NRDB goes to a high level so that the repair pass is blocked and the normal pass is opened.

즉, 도 1의 리페어 퓨즈 회로는 워드 라인이 활성화되기 전까지 리페어라고 판단하고, 뱅크가 활성화되고 워드 라인 활성화를 위한 디코딩 과정에서 노멀 동작이라고 판단한다.That is, the repair fuse circuit of FIG. 1 determines that the repair fuse is a repair until the word line is activated, and determines that the bank is activated and is a normal operation in the decoding process for the word line activation.

하지만, 특정 상황에서 다수의 퓨즈(F0~F17)의 저항이 증가하여 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 지연이 되면, 노멀 패스 대신 리페어 패스를 잘못 선택하여 리페어 워드 라인이 인에이블되는 경우가 발생할 수 있다.However, when the resistance of the plurality of fuses F0 to F17 increases in a specific situation and the fuse decoding signal NRDB is delayed, a repair word line may be enabled by incorrectly selecting a repair pass instead of the normal pass.

그리고, 이러한 오류가 퓨즈 이상에서 생기는 것인지는 번인(burn-in)을 통해서 다수의 퓨즈(F0~F17)의 저항이 커진 상태가 될 때만 발견된다. 즉, 웨이퍼 초기 테스트시 이러한 오류가 발견되지 않아 제조 시간 및 비용이 늘어난다는 문제점이 있다.In addition, whether such an error occurs in a fuse error is found only when the resistance of the plurality of fuses F0 to F17 is increased through burn-in. That is, such an error is not found in the initial test of the wafer, which increases the manufacturing time and cost.

따라서, 본 발명의 목적은 불량이 발생한 경우 초기 테스트시 래치 동작을 중지시켜 퓨즈에 의한 불량인지 미리 확인하고자 함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to check in advance whether the fuse is a failure by stopping the latch operation during the initial test when a failure occurs.

또한, 본 발명의 다른 목적은 공통 노드에 연결된 래치 동작을 수행하는 트랜지스터의 게이트 길이를 줄여 래치 트랜지스터의 저항을 줄임으로써 퓨즈에 연결된 트랜지스터에 의한 동작에 불량이 생길 수 있는 가능성을 미리 검출하고자 함에 있다.In addition, another object of the present invention is to reduce the gate length of a transistor performing a latch operation connected to a common node to reduce the resistance of the latch transistor to detect in advance the possibility that the operation of the transistor connected to the fuse may be defective. .

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 리페어 퓨즈 회로는, 워드 라인이 비활성화 상태일 때 다수의 퓨즈가 공통으로 연결된 노드를 프리차지시키는 프리차지부; 상기 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 상기 공통 노드로 제공하는 퓨즈 디코딩부; 상기 공통 노드를 통해 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호를 출력하고, 이를 래치하는 래치부; 및 테스트 모드시 상기 다수의 퓨즈에 의한 불량을 구제하기 위해 상기 래치부의 래치 동작을 디스에이블시키는 테스트부;를 포함함을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a repair fuse circuit includes: a precharge unit configured to precharge a node to which a plurality of fuses are commonly connected when a word line is in an inactive state; A fuse decoding unit configured to fuse-decode the plurality of decoded row addresses to the common node when the word line is in an active state; A latch unit configured to output a fuse decoding signal for determining one of a repair pass and a normal pass through the common node and to latch the same; And a test unit for disabling the latch operation of the latch unit in order to remedy defects caused by the plurality of fuses in the test mode.

여기서, 상기 래치부는, 상기 공통 노드의 신호를 반전하여 상기 퓨즈 디코딩 신호로 출력하는 반전 수단; 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업 시키는 제 1 풀 업 수단; 및 상기 테스트부의 출력 신호에 의해 상기 제 1 풀 업 수단과 상기 공통 노드 사이를 연결하는 스위칭 수단;을 포함함이 바람직하다.The latch unit may include inverting means for inverting a signal of the common node and outputting the inverted signal as the fuse decoding signal; First pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by the fuse decoding signal; And switching means for connecting between the first pull-up means and the common node by an output signal of the test unit.

상기 래치부에서, 상기 제 1 풀 업 수단은 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 턴 온되어 상기 전원 전압을 상기 스위칭 수단으로 공급하는 제 1 PMOS 트랜지스터를 포함함이 바람직하며, 상기 스위칭 수단은 상기 테스트부의 출력 신호에 의해 턴 온되어 상기 제 1 풀 업 수단과 상기 공통 노드 사이를 연결하는 제 2 PMOS 트랜지스터를 포함함이 바람직하다.In the latch unit, the first pull-up means preferably includes a first PMOS transistor which is turned on by the fuse decoding signal and supplies the power supply voltage to the switching means, wherein the switching means is an output of the test unit. And a second PMOS transistor which is turned on by a signal and connects between the first pull-up means and the common node.

그리고, 상기 테스트부는 상기 테스트 모드시 인에이블되는 테스트 신호와 상기 워드 라인이 비활성화될 때 인에이블되는 프리차지 신호를 입력받으며, 상기 테스트 신호와 상기 프리차지 신호가 모두 인에이블 상태일 때 상기 래치부를 디스에이블시키는 제 1 논리 레벨의 신호를 출력하고, 상기 테스트 신호와 상기 프리차지 신호 중 최소한 하나가 디스에이블 상태일 때 상기 래치부를 인에이블시키는 제 2 논리 레벨의 신호를 출력함이 바람직하다.The test unit receives a test signal enabled in the test mode and a precharge signal enabled when the word line is inactivated, and the latch unit when both the test signal and the precharge signal are enabled. It is preferable to output a signal of the first logic level to disable, and to output a signal of the second logic level to enable the latch unit when at least one of the test signal and the precharge signal is in a disabled state.

이러한 상기 테스트부는, 상기 프리차지 신호를 반전하는 제 1 인버터; 상기 테스트 신호를 반전하는 제 2 인버터; 및 상기 제 1 인버터의 출력 신호와 상기 제 2 인버터의 출력 신호를 노아 조합하는 노아 게이트;를 포함함이 바람직하다.The test unit includes a first inverter for inverting the precharge signal; A second inverter for inverting the test signal; And a noah gate for quinoa combining the output signal of the first inverter and the output signal of the second inverter.

또한, 상기 프리차지부는, 상기 워드 라인이 활성화될 때 인에이블되는 프리차지 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 2 풀 업 수단을 포함함이 바람직하다.In addition, the precharge unit may include second pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by a precharge signal enabled when the word line is activated.

상기 프리차지부에서, 상기 제 2 풀 업 수단은 상기 프리차지 신호에 의해 턴 온되어 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 3 PMOS 트랜지스터를 포함함이 바람직하다.In the precharge unit, the second pull-up means preferably includes a third PMOS transistor turned on by the precharge signal to pull up the common node to a power supply voltage level.

아울러, 상기 퓨즈 디코딩부는, 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 제어되며, 상기 공통 노드와 접지 전압 노드 사이에 병렬로 연결되는 다수의 풀 다운 수단; 및 상기 공통 노드와 상기 각 풀 다운 수단 사이에 연결되는 상기 다수의 퓨즈;를 포함함이 바람직하다.The fuse decoding unit may further include: a plurality of pull-down means controlled by the decoded row address signals and connected in parallel between the common node and a ground voltage node; And the plurality of fuses connected between the common node and each pull-down means.

상기 퓨즈 디코딩부에서, 상기 각 풀 다운 수단은 상기 각 디코딩된 로우 어 드레스 신호에 의해 턴 온되어 상기 각 퓨즈로 상기 접지 전압을 공급하는 NMOS 트랜지스터를 포함함이 바람직하다.In the fuse decoding unit, each pull-down means may include an NMOS transistor turned on by each decoded low address signal and supplying the ground voltage to each fuse.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일면에 따른 리페어 퓨즈 회로는, 워드 라인이 비활성화 상태일 때 다수의 퓨즈가 공통으로 연결된 노드를 프리차지시키는 프리차지부; 상기 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 상기 공통 노드로 제공하는 퓨즈 디코딩부; 상기 공통 노드를 통해 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호를 출력하고, 이를 래치하는 래치부; 및 테스트 모드시 상기 공통 노드에 구동 능력 조절 전압을 공급하여 상기 퓨즈 디코딩 신호의 상태를 제어하는 테스트부;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.According to another aspect of the present invention, a repair fuse circuit includes: a precharge unit configured to precharge a node to which a plurality of fuses are commonly connected when a word line is in an inactive state; A fuse decoding unit configured to fuse-decode the plurality of decoded row addresses to the common node when the word line is in an active state; A latch unit configured to output a fuse decoding signal for determining one of a repair pass and a normal pass through the common node and to latch the same; And a test unit controlling a state of the fuse decoding signal by supplying a driving capability adjustment voltage to the common node in a test mode.

여기서, 상기 래치부는, 상기 공통 노드의 신호를 반전하여 상기 퓨즈 디코딩 신호로 출력하는 반전 수단; 및 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업 시키는 제 1 풀 업 수단;을 포함함이 바람직하다.The latch unit may include inverting means for inverting a signal of the common node and outputting the inverted signal as the fuse decoding signal; And first pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by the fuse decoding signal.

상기 래치부에서, 상기 제 1 풀 업 수단은 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 턴 온되어 상기 전원 전압을 상기 공통 노드로 공급하는 제 1 PMOS 트랜지스터를 포함함이 바람직하다.In the latch unit, the first pull-up means preferably includes a first PMOS transistor that is turned on by the fuse decoding signal and supplies the power supply voltage to the common node.

그리고, 상기 테스트부는 상기 테스트 모드시 상기 공통 노드에 상기 구동 능력 조절 전압을 공급하여 상기 퓨즈 디코딩 신호가 리페어 패스를 선택하도록 제어함이 바람직하다.The test unit may control the fuse decoding signal to select a repair pass by supplying the driving capability adjustment voltage to the common node in the test mode.

이러한 상기 테스트부는 테스트 모드시 인에이블되는 테스트 신호에 의해 상기 공통 노드를 상기 구동 능력 조절 전압인 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 2 풀 업 수단을 포함함이 바람직하다.The test unit preferably includes second pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level, which is the driving capability adjustment voltage, by a test signal enabled in a test mode.

상기 테스트부에서, 상기 제 2 풀 업 수단은 상기 테스트 신호에 의해 턴 온되어 상기 공통 노드를 상기 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 2 PMOS 트랜지스터를 포함함이 바람직하다.In the test unit, the second pull-up means preferably includes a second PMOS transistor turned on by the test signal to pull up the common node to the power supply voltage level.

또한, 상기 프리차지부는, 상기 워드 라인이 활성화될 때 인에이블되는 프리차지 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 3 풀 업 수단을 포함함이 바람직하다.In addition, the precharge unit may include third pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by a precharge signal enabled when the word line is activated.

상기 프리차지부에서, 상기 제 3 풀 업 수단은 상기 프리차지 신호에 의해 턴 온되어 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 3 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And wherein, in the precharge unit, the third pull-up means includes a third PMOS transistor turned on by the precharge signal to pull up the common node to a power supply voltage level.

아울러, 상기 퓨즈 디코딩부는, 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 제어되며, 상기 공통 노드와 접지 전압 노드 사이에 병렬로 연결되는 다수의 풀 다운 수단; 및 상기 공통 노드와 상기 각 풀 다운 수단 사이에 연결되는 상기 다수의 퓨즈;를 포함함이 바람직하다.The fuse decoding unit may further include: a plurality of pull-down means controlled by the decoded row address signals and connected in parallel between the common node and a ground voltage node; And the plurality of fuses connected between the common node and each pull-down means.

상기 퓨즈 디코딩부에서, 상기 각 풀 다운 수단은 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 턴 온되어 상기 각 퓨즈로 상기 접지 전압을 공급하는 NMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.Wherein in the fuse decoding unit, each pull-down means comprises an NMOS transistor turned on by each decoded row address signal to supply the ground voltage to each fuse.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 리페어 퓨즈 테스트 방법은, 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호로 출력하고, 상기 워드 라인이 비활성화 상태일 때 상기 퓨즈 디코딩 신호를 프리차지시키는 제 1 단계; 상기 퓨즈 디코딩 신호를 래치시키는 제 2 단계; 테스트 모드로 진입하여 상기 래치 동작을 중지시키는 제 3 단계; 및 상기 제 2 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호와 상기 제 3 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호를 비교하여 상기 다수의 퓨즈의 불량 여부를 검출하는 제 4 단계;를 포함함을 특징으로 한다.In the repair fuse test method according to an aspect of the present invention for achieving the above object, a fuse for decoding one of a plurality of decoded row addresses when the word line is active to determine any one of a repair pass and a normal pass Outputting a decoded signal and precharging the fuse decoded signal when the word line is in an inactive state; Latching the fuse decoded signal; Entering a test mode to stop the latch operation; And a fourth step of detecting whether the plurality of fuses are defective by comparing the fuse decode signal output in the second step with the fuse decode signal output in the third step.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일면에 따른 리페어 퓨즈 테스트 방법은, 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호로 출력하고, 상기 워드 라인이 비활성화 상태일 때 상기 퓨즈 디코딩 신호를 프리차지시키는 제 1 단계; 상기 퓨즈 디코딩 신호를 래치시키는 제 2 단계; 테스트 모드로 진입하여 상기 퓨즈 디코딩 신호에 구동 능력 조절 전압을 공급함으로써, 상기 퓨즈 디코딩 신호가 리페어 패스를 선택하도록 상기 퓨즈 디코딩 신호의 상태를 제어하는 제 3 단계; 및 상기 제 2 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호와 상기 제 3 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호를 비교하여 상기 다수의 퓨즈의 불량 여부를 검출하는 제 4 단계;를 포함함을 특징으로 한다.The repair fuse test method according to another aspect of the present invention for achieving the above object is to fuse-decode the plurality of decoded row addresses when the word line is active to determine any one of a repair pass and a normal pass. Outputting a fuse decoding signal and precharging the fuse decoding signal when the word line is in an inactive state; Latching the fuse decoded signal; Entering a test mode to supply a driving capability adjustment voltage to the fuse decoded signal, thereby controlling a state of the fuse decoded signal so that the fuse decoded signal selects a repair pass; And a fourth step of detecting whether the plurality of fuses are defective by comparing the fuse decode signal output in the second step with the fuse decode signal output in the third step.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시 예로서 도 2의 구조가 개시되며, 본 발명의 실시 예는 테스트 모드로 진입하여 퓨즈 디코딩 신호 NRDB를 래치하지 않거나, 공통 노드(COMM)에 소정 전압을 추가로 공급하여 각 퓨즈(F0~F17)에 연결된 NMOS 트랜지스터들(N0~N17)의 풀 다운 능력을 체크함으로써, 퓨즈(F0~F17)에 의한 불량을 조기에 검출할 수 있는 수단(tool)을 제공할 수 있다.As an exemplary embodiment of the present invention, the structure of FIG. 2 is disclosed, and the exemplary embodiment of the present invention does not latch the fuse decoding signal NRDB by entering the test mode or by supplying a predetermined voltage to the common node COMM so that each fuse ( By checking the pull-down capability of the NMOS transistors N0 to N17 connected to F0 to F17, a tool for early detection of a failure by the fuses F0 to F17 can be provided.

구체적으로, 도 2의 실시 예는 프리차지부(10), 퓨즈 디코더부(20), 래치부(30), 및 두 테스트부(40,50)를 포함한다.In detail, the embodiment of FIG. 2 includes a precharge unit 10, a fuse decoder unit 20, a latch unit 30, and two test units 40 and 50.

프리차지부(10)는 워드 라인이 비활성화 상태일 때 프리차지 신호 WLCB로써 공통 노드(COMM)를 프리차지시킨다. 이러한 프리차지부(10)는 전원 전압(VDD) 노드와 공통 노드(COMM) 사이에 연결되며 프리차지 신호 WLCB를 게이트로 입력받는 PMOS 트랜지스터(P0)로 구성될 수 있다.The precharge unit 10 precharges the common node COMM with the precharge signal WLCB when the word line is in an inactive state. The precharge unit 10 may be configured as a PMOS transistor P0 connected between a power supply voltage VDD node and a common node COMM and receiving a precharge signal WLCB as a gate.

퓨즈 디코더부(20)는 워드 라인이 활성화 상태일 때 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>로써 다수의 퓨즈(F0~F17) 상태 정보를 디코딩하여 공통 노드(COMM)로 전달한다. 이러한 퓨즈 디코더부(20)는 공통 노드(COMM)와 각 NMOS 트랜지스터(N0~N17) 사이에 연결되는 다수의 퓨즈(F0~F17)와, 각 퓨즈(F0~F17)와 접지 전압(VSS) 노드 사이에 연결되며 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>를 각 게이트로 입력받는 다수의 NMOS 트랜지스터(N0~N17)로 구성될 수 있다.The fuse decoder unit 20 decodes the row address signals BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, and BAX78 <when the word line is in an active state. 0: 3> and BAX9 <0: 1> decode the state information of the plurality of fuses F0 to F17 and transfer them to the common node COMM. The fuse decoder 20 includes a plurality of fuses F0 to F17 connected between the common node COMM and each of the NMOS transistors N0 to N17, and each of the fuses F0 to F17 and the ground voltage VSS node. BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, BAX78 <0: 3>, BAX9 <0: 1 It may be composed of a plurality of NMOS transistors (N0 ~ N17) that receives the> to each gate.

래치부(30)는 공통 노드(COMM)로 전달된 신호를 래치하여 퓨즈 디코딩 신호 NRDB로 출력한다. 이러한 래치부(30)는 공통 노드(COMM)의 신호를 반전하여 퓨즈 디코딩 신호 NRDB로 출력하는 인버터(IV0)와, 전원 전압 (VDD) 노드와 공통 노드(COMM) 사이에 직렬로 연결되는 두 PMOS 트랜지스터(P2,P3)로 구성될 수 있다. 이때, PMOS 트랜지스터(P2)의 게이트는 퓨즈 디코딩 신호 NRDB를 입력받고, PMOS 트랜지스터(P3)의 게이트는 노아 게이트(NR)에서 출력되는 신호를 입력받는다.The latch unit 30 latches a signal transmitted to the common node COMM and outputs the signal to the fuse decoding signal NRDB. The latch unit 30 includes an inverter IV0 for inverting the signal of the common node COMM and outputting the signal to the fuse decoding signal NRDB, and two PMOS connected in series between the power supply voltage VDD node and the common node COMM. It may be composed of transistors P2 and P3. At this time, the gate of the PMOS transistor P2 receives the fuse decoding signal NRDB, and the gate of the PMOS transistor P3 receives the signal output from the NOR gate NR.

테스트부(40)는 제 1 테스트 모드시 래치부(30)의 래치 동작을 디스에이블시킨다. 이러한 테스트부(40)는 프리차지 신호 WLCB를 반전하는 인버터(IV1), 제 1 테스트 모드 진입시 인에이블되는 테스트 신호 TEST_MODE0를 반전하는 인버터(IV2), 및 인버터(IV1)에서 출력되는 신호와 인버터(IV2)에서 출력되는 신호를 노아 조합하는 노아 게이트(NR)로 구성될 수 있다.The test unit 40 disables the latch operation of the latch unit 30 in the first test mode. The test unit 40 includes an inverter IV1 that inverts the precharge signal WLCB, an inverter IV2 that inverts the test signal TEST_MODE0 that is enabled when the first test mode is entered, and a signal and an inverter output from the inverter IV1. And a NOR gate NR combining the signals output from IV2).

테스트부(50)는 제 2 테스트 모드시 공통 노드(COMM)에 하이 레벨의 전압을 제공한다. 이러한 테스트부(50)는 제 2 테스트 모드 진입시 인에이블되는 테스트 신호 TEST_MODE1를 반전하는 인버터(IV3)와, 전원 전압(VDD) 노드와 두 PMOS 트랜지스터(P2,P3) 사이를 연결하는 노드 사이에 연결되며 인버터(IV3)에서 출력되는 신호를 게이트로 입력받는 PMOS 트랜지스터(P4)로 구성될 수 있다.The test unit 50 provides a high level voltage to the common node COMM in the second test mode. The test unit 50 is connected between an inverter IV3 inverting the test signal TEST_MODE1 enabled when the second test mode is entered, and a node connecting a power supply voltage VDD node and two PMOS transistors P2 and P3. And a PMOS transistor P4 that receives a signal output from the inverter IV3 as a gate.

이하, 도 2와 같은 구성을 갖는 본 발명의 실시 예의 동작을 도 3을 참조하 여 상세히 살펴보면 아래와 같다.Hereinafter, an operation of an embodiment of the present invention having the configuration as shown in FIG. 2 will be described in detail with reference to FIG. 3.

첫째로, 두 테스트 신호 TEST_MODE0, TEST_MODE1가 모두 디스에이블 상태인 경우, 즉, 노멀 모드인 경우, 본 발명의 실시 예는 종래와 동일하게 프리 테스트(pre-test) 이후 결함이 있는 워드 라인의 어드레스에 맞게 퓨즈(F0~F17)를 커팅(cutting)하도록 동작한다.First, when both test signals TEST_MODE0 and TEST_MODE1 are in a disabled state, that is, in a normal mode, the embodiment of the present invention is in the address of the defective word line after the pre-test as in the prior art. In operation, the fuses F0 to F17 are cut.

이를 상세히 살펴보면, 워드 라인이 활성화되지 않은 상태일 때 프리차지 신호 WLCB가 디스에이블 상태이므로, PMOS 트랜지스터(P0)가 턴 온되어 공통 노드(COMM)가 하이 레벨로 프리차지되고, 인버터(IV0)와 두 PMOS 트랜지스터(P2,P3)에 의해 공통 노드(COMM)가 하이 레벨로 래치된다.In detail, since the precharge signal WLCB is disabled when the word line is not activated, the PMOS transistor P0 is turned on so that the common node COMM is precharged to a high level, and the inverter IV0 is connected to the inverter IV0. The common node COMM is latched to the high level by the two PMOS transistors P2 and P3.

그 후, 워드 라인이 활성화되면, 프리차지 신호 WLCB가 인에이블되어 PMOS 트랜지스터(P0)가 턴 오프된다.Thereafter, when the word line is activated, the precharge signal WLCB is enabled to turn off the PMOS transistor P0.

그리고, 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>가 결함이 있는 워드 라인과 동일한 어드레스이면, 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 로우 레벨로 되어 노멀 패스가 차단되고 리페어 패스가 열린 상태로 된다.Then, the signals BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, BAX78 <0: 3>, and BAX9 <0: 1> that decode the row address are If the address is the same as that of the defective word line, the fuse decoding signal NRDB goes low and the normal path is blocked and the repair path is opened.

반면에, 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>가 결함이 있는 워드 라인과 다른 어드레스이면, 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 하이 레벨로 되어 리페어 패스가 차단되고 노멀 패스가 열린 상태로 된다.On the other hand, the signals BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, BAX78 <0: 3>, and BAX9 <0: 1>, which decode the row address If is a different address from the defective word line, the fuse decode signal NRDB goes high and the repair pass is blocked and the normal path is left open.

둘째로, 두 테스트 신호 TEST_MODE0, TEST_MODE1 중 테스트 신호 TEST_MODE0 가 인에이블되는 경우, 즉, 제 1 테스트 모드인 경우, 본 발명의 실시 예는 래치부(30)의 래치 동작을 턴 오프시켜 퓨즈(F0~F17)들에 의한 불량 여부를 체크할 수 있다.Secondly, when the test signal TEST_MODE0 of the two test signals TEST_MODE0 and TEST_MODE1 is enabled, that is, in the first test mode, the embodiment of the present invention turns off the latch operation of the latch unit 30 to fuse F0 to F17) can be checked for defects.

이를 상세히 살펴보면, 워드 라인이 활성화되지 않은 상태에서 공통 노드(COMM)는 하이 레벨을 유지하며, 워드 라인이 활성화되면, PMOS 트랜지스터(P0)가 턴 오프되고 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>가 각 NMOS 트랜지스터(N0~N17)로 입력된다.In detail, when the word line is not activated, the common node COMM maintains a high level. When the word line is activated, the signal BAX1 <0: 1 in which the PMOS transistor P0 is turned off and the row address is decoded >, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, BAX78 <0: 3>, and BAX9 <0: 1> are input to each of the NMOS transistors N0 to N17.

이때, 테스트 신호 TEST_MODE0가 인에이블 상태이므로, 래치부(30)의 PMOS 트랜지스터(P3)가 턴 오프되어 NMOS 트랜지스터(N0~N17)에 의한 공통 노드(COMM)의 상태 변화가 더 빨리 진행될 수 있다.At this time, since the test signal TEST_MODE0 is enabled, the PMOS transistor P3 of the latch unit 30 may be turned off, so that the state change of the common node COMM by the NMOS transistors N0 to N17 may proceed faster.

즉, 어떤 상황에 의해 이전보다 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가하더라도 래치 동작이 없어서 공통 노드(COMM)가 로우 레벨로 빨리 하강할 수 있으므로, 퓨즈들(F0~F17)의 저항 증가 요소가 있더라도 이에 영향을 덜 받게 된다.That is, even if the resistances of the fuses F0 to F17 increase in some cases, the common node COMM may descend to the low level quickly because there is no latch operation, and thus the resistance increase factor of the fuses F0 to F17 may increase. Will be less affected.

따라서, 본 발명의 실시 예는 퓨즈 저항이 증가하여 불량이 발생하더라도 테스트 신호 TEST_MODE0를 인에이블시켜 불량을 구제할 수 있으며, 이렇게 불량을 구제함으로써 이러한 불량이 퓨즈들(F0~F17)에 의한 불량인지를 조기에 판별할 수 있다.Therefore, in the embodiment of the present invention, even if a failure occurs due to an increase in the fuse resistance, the test signal TEST_MODE0 can be enabled to remedy the failure. By relieving the failure, the failure is caused by the fuses F0 to F17. Can be determined early.

셋째로, 두 테스트 신호 TEST_MODE0, TEST_MODE1 중 테스트 신호 TEST_MODE1가 인에이블되는 경우, 즉, 제 2 테스트 모드인 경우, 본 발명의 실시 예는 두 PMOS 트랜지스터(P2,P4)의 구동 능력에 따라 NMOS 트랜지스터들(N0~N17)의 구동 능력 마진을 결정하고, 이러한 MOS 트랜지스터들(N0~N17)의 구동 능력 마진을 체크하여 퓨즈(F0~F17)들에 의한 불량 여부를 체크할 수 있다.Third, when the test signal TEST_MODE1 of the two test signals TEST_MODE0 and TEST_MODE1 is enabled, that is, in the second test mode, the embodiment of the present invention provides the NMOS transistors according to the driving capability of the two PMOS transistors P2 and P4. The driving capability margins of the N0 to N17 may be determined, and the driving capability margins of the MOS transistors N0 to N17 may be checked to determine whether the fuses are defective due to the fuses F0 to F17.

이를 상세히 살펴보면, 워드 라인이 활성화되고 로우 어드레스를 디코딩한 신호 BAX1<0:1>, BAX2<0:1>, BAX34<0:3>, BAX56<0:3>, BAX78<0:3>, BAX9<0:1>에 의해 NMOS 트랜지스터들(N0~N17)이 턴 온되면, 공통 노드(COMM)는 로우 레벨로 하강한다.Looking at this in detail, the signals BAX1 <0: 1>, BAX2 <0: 1>, BAX34 <0: 3>, BAX56 <0: 3>, BAX78 <0: 3>, When the NMOS transistors N0 to N17 are turned on by BAX9 <0: 1>, the common node COMM falls to a low level.

이와 동시에, 테스트 신호 TEST_MODE1가 인에이블되면 PMOS 트랜지스터(P4)는 턴 온되고, 두 PMOS 트랜지스터(P2,P3)도 턴 온 상태이므로, 공통 노드(COMM)가 하이 레벨로 상승한다.At the same time, when the test signal TEST_MODE1 is enabled, the PMOS transistor P4 is turned on and both PMOS transistors P2 and P3 are turned on, so the common node COMM rises to a high level.

이 경우, 두 PMOS 트랜지스터(P2,P4)의 구동 능력에 따라 공통 노드(COMM)의 레벨이 결정되므로, 두 PMOS 트랜지스터(P2,P4)의 구동 능력을 적절히 조절하여 설계하면, NMOS 트랜지스터들(N0~N17)의 구동 능력 마진을 체크할 수 있다.In this case, since the level of the common node COMM is determined according to the driving capabilities of the two PMOS transistors P2 and P4, the NMOS transistors N0 are designed by properly adjusting the driving capability of the two PMOS transistors P2 and P4. The driving capability margin of ˜N17) can be checked.

따라서, 본 발명의 실시 예는 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 어떤 불량 요소에 의해 증가하여 불량이 발생하면, 테스트 신호 TEST_MODE1를 인에이블시켜 조기에 퓨즈들(F0~F17)에 의한 불량 여부를 체크할 수 있다.Therefore, according to an exemplary embodiment of the present invention, when the resistance of the fuses F0 to F17 is increased due to a certain defective element and a failure occurs, the test signal TEST_MODE1 is enabled to determine whether the fuses are early due to the fuses F0 to F17. You can check

도 3은 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가할 때, 본 발명의 노멀 모드 및 테스트 모드에 따른 퓨즈 디코딩 신호 NRDB의 상태를 나타내는 파형도로서, 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 NRDB_CASE1에서 NRDB_CASE21로 갈수록 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가함을 나타낸다.FIG. 3 is a waveform diagram illustrating a state of the fuse decoding signal NRDB according to the normal mode and the test mode of the present invention when the resistances of the fuses F0 to F17 are increased. FIG. It indicates that the resistance of the fields F0 to F17 increases.

도 3에서 알 수 있듯이, 노멀 모드, 즉, 구간<A>에서는 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가함에 따라 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 NRDB_CASE13 정도에서 불량이 발생한다.As can be seen in FIG. 3, in the normal mode, that is, the period <A>, as the resistance of the fuses F0 to F17 increases, a failure occurs in the fuse decoding signal NRDB at about NRDB_CASE13.

제 1 테스트 모드, 즉, 구간<B>에서는 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가해도 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 거의 정상적으로 인에이블되며, 이를 구간<A>과 비교해 보면 퓨즈들(F0~F17)에 의한 불량임을 쉽게 판단할 수 있다.In the first test mode, that is, the interval <B>, the fuse decoding signal NRDB is almost normally enabled even when the resistances of the fuses F0 to F17 increase, and the fuses F0 to F17 are compared with the interval <A>. It can be easily determined that the defect by.

또한, 제 2 테스트 모드, 즉, 구간<C>에서는 퓨즈들(F0~F17)의 저항이 증가함에 따라 퓨즈 디코딩 신호 NRDB가 NRDB_CASE3 정도에서 불량이 발생하며, 이를 구간<A>와 비교해 보면 퓨즈들(F0~F17)에 의한 불량임을 쉽게 판단할 수 있다.In addition, in the second test mode, that is, the interval <C>, as the resistance of the fuses F0 to F17 increases, a failure occurs in the fuse decoding signal NRDB at about NRDB_CASE3, which is compared with the interval <A>. It can be easily determined that the failure by (F0 ~ F17).

이와 같이, 본 발명은 불량이 발생시 테스트 모드로 진입하여 퓨즈 디코딩 신호가 출력되는 공통 노드의 래치를 중지시켜 불량을 구제함으로써, 초기 테스트시 퓨즈 저항에 의한 불량인지 확인할 수 있는 효과가 있다.As described above, when the failure occurs, the present invention enters the test mode and stops the latch of the common node to which the fuse decoding signal is output, thereby relieving the failure, thereby checking whether the failure is caused by the fuse resistance during the initial test.

또한, 본 발명은 불량이 발생시 테스트 모드로 진입하여 퓨즈에 연결된 트랜지스터들의 구동 능력 마진을 체크함으로써, 퓨즈에 연결된 트랜지스터들에 의한 동작에 불량이 발생하는지 미리 검출할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect of detecting in advance whether a failure occurs in the operation by the transistors connected to the fuse by checking the driving capability margin of the transistors connected to the fuse when the failure enters the test mode.

아울러, 본 발명은 상기와 같이 퓨즈 저항에 의한 불량을 미리 검출함으로써, 제품의 개발 기간을 단축할 수 있고, 제품을 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can shorten the development period of the product by detecting a failure due to the fuse resistance in advance as described above, there is an effect that can improve the reliability of the product.

본 발명을 특정 실시 예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명이 그에 한정되는 것은 아니며, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변형될 수 있다는 것을 당업자는 용이하게 알 수 있다.While the invention has been shown and described with reference to specific embodiments, the invention is not limited thereto, and the invention is not limited to the scope of the invention as defined by the following claims. Those skilled in the art will readily appreciate that modifications and variations can be made.

Claims (24)

워드 라인이 비활성화 상태일 때 다수의 퓨즈가 공통으로 연결된 노드를 프리차지시키는 프리차지부;A precharge unit configured to precharge a node to which a plurality of fuses are commonly connected when the word line is in an inactive state; 상기 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 상기 공통 노드로 제공하는 퓨즈 디코딩부;A fuse decoding unit configured to fuse-decode the plurality of decoded row addresses to the common node when the word line is in an active state; 상기 공통 노드를 통해 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호를 출력하고, 이를 래치하는 래치부; 및A latch unit configured to output a fuse decoding signal for determining one of a repair pass and a normal pass through the common node and to latch the same; And 테스트 모드시 상기 다수의 퓨즈에 의한 불량을 구제하기 위해 상기 래치부의 래치 동작을 디스에이블시키는 테스트부;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a test unit for disabling the latch operation of the latch unit in order to remedy failure caused by the plurality of fuses in a test mode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 래치부는,The latch unit, 상기 공통 노드의 신호를 반전하여 상기 퓨즈 디코딩 신호로 출력하는 반전 수단;Inverting means for inverting the signal of the common node and outputting the signal as the fuse decoding signal; 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업 시키는 제 1 풀 업 수단; 및First pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by the fuse decoding signal; And 상기 테스트부의 출력 신호에 의해 상기 제 1 풀 업 수단과 상기 공통 노드 사이를 연결하는 스위칭 수단;을 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a switching means for connecting between the first pull-up means and the common node by an output signal of the test unit. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1 풀 업 수단은 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 턴 온되어 상기 전원 전압을 상기 스위칭 수단으로 공급하는 제 1 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And said first pull-up means comprises a first PMOS transistor which is turned on by said fuse decoding signal and supplies said power supply voltage to said switching means. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 스위칭 수단은 상기 테스트부의 출력 신호에 의해 턴 온되어 상기 제 1 풀 업 수단과 상기 공통 노드 사이를 연결하는 제 2 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And said switching means comprises a second PMOS transistor which is turned on by an output signal of said test part and connects between said first pull-up means and said common node. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 테스트부는 상기 테스트 모드시 인에이블되는 테스트 신호와 상기 워드 라인이 비활성화될 때 인에이블되는 프리차지 신호를 입력받으며, 상기 테스트 신호와 상기 프리차지 신호가 모두 인에이블 상태일 때 상기 래치부를 디스에이블시키는 제 1 논리 레벨의 신호를 출력하고, 상기 테스트 신호와 상기 프리차지 신호 중 최소한 하나가 디스에이블 상태일 때 상기 래치부를 인에이블시키는 제 2 논리 레벨의 신호를 출력함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.The test unit receives a test signal enabled in the test mode and a precharge signal enabled when the word line is inactivated, and disables the latch unit when both the test signal and the precharge signal are enabled. And a second logic level signal for enabling the latch unit when at least one of the test signal and the precharge signal is in a disabled state. . 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 테스트부는,The test unit, 상기 프리차지 신호를 반전하는 제 1 인버터;A first inverter for inverting the precharge signal; 상기 테스트 신호를 반전하는 제 2 인버터; 및A second inverter for inverting the test signal; And 상기 제 1 인버터의 출력 신호와 상기 제 2 인버터의 출력 신호를 노아 조합하는 노아 게이트;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.The repair fuse circuit of claim 1, further comprising a NOR gate configured to NOR-combine the output signal of the first inverter and the output signal of the second inverter. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프리차지부는,The precharge unit, 상기 워드 라인이 활성화될 때 인에이블되는 프리차지 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 2 풀 업 수단을 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And second pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by a precharge signal enabled when the word line is activated. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 2 풀 업 수단은 상기 프리차지 신호에 의해 턴 온되어 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 3 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And the second pull-up means comprises a third PMOS transistor turned on by the precharge signal to pull up the common node to a power supply voltage level. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 퓨즈 디코딩부는,The fuse decoding unit, 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 제어되며, 상기 공통 노드와 접지 전압 노드 사이에 병렬로 연결되는 다수의 풀 다운 수단; 및A plurality of pull-down means controlled by each decoded row address signal and connected in parallel between the common node and a ground voltage node; And 상기 공통 노드와 상기 각 풀 다운 수단 사이에 연결되는 상기 다수의 퓨즈;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a plurality of fuses connected between the common node and the respective pull-down means. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 각 풀 다운 수단은 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 턴 온되어 상기 각 퓨즈로 상기 접지 전압을 공급하는 NMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.Wherein each pull down means comprises an NMOS transistor turned on by each decoded row address signal to supply the ground voltage to each fuse. 워드 라인이 비활성화 상태일 때 다수의 퓨즈가 공통으로 연결된 노드를 프리차지시키는 프리차지부;A precharge unit configured to precharge a node to which a plurality of fuses are commonly connected when the word line is in an inactive state; 상기 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 상기 공통 노드로 제공하는 퓨즈 디코딩부;A fuse decoding unit configured to fuse-decode the plurality of decoded row addresses to the common node when the word line is in an active state; 상기 공통 노드를 통해 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호를 출력하고, 이를 래치하는 래치부; 및A latch unit configured to output a fuse decoding signal for determining one of a repair pass and a normal pass through the common node and to latch the same; And 테스트 모드시 상기 공통 노드에 구동 능력 조절 전압을 공급하여 상기 퓨즈 디코딩 신호의 상태를 제어하는 테스트부;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a test unit controlling a state of the fuse decoding signal by supplying a driving capability adjustment voltage to the common node in a test mode. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 래치부는,The latch unit, 상기 공통 노드의 신호를 반전하여 상기 퓨즈 디코딩 신호로 출력하는 반전 수단; 및Inverting means for inverting the signal of the common node and outputting the signal as the fuse decoding signal; And 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업 시키는 제 1 풀 업 수단;을 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a first pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by the fuse decoding signal. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제 1 풀 업 수단은 상기 퓨즈 디코딩 신호에 의해 턴 온되어 상기 전원 전압을 상기 공통 노드로 공급하는 제 1 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And the first pull-up means includes a first PMOS transistor turned on by the fuse decoding signal to supply the power supply voltage to the common node. 삭제delete 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 테스트부는 상기 테스트 모드시 상기 공통 노드에 상기 구동 능력 조절 전압을 공급하여 상기 퓨즈 디코딩 신호가 리페어 패스를 선택하도록 제어함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And the test unit controls the fuse decoding signal to select a repair pass by supplying the driving capability adjustment voltage to the common node in the test mode. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 테스트부는 테스트 모드시 인에이블되는 테스트 신호에 의해 상기 공통 노드를 상기 구동 능력 조절 전압인 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 2 풀 업 수단을 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And the test unit includes second pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level which is the driving capability adjustment voltage by a test signal enabled in a test mode. 제 16 항에 있어서,The method of claim 16, 상기 제 2 풀 업 수단은 상기 테스트 신호에 의해 턴 온되어 상기 공통 노드를 상기 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 2 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And the second pull-up means includes a second PMOS transistor turned on by the test signal to pull up the common node to the power supply voltage level. 삭제delete 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 프리차지부는,The precharge unit, 상기 워드 라인이 활성화될 때 인에이블되는 프리차지 신호에 의해 상기 공 통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 3 풀 업 수단을 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a third pull-up means for pulling up the common node to a power supply voltage level by a precharge signal enabled when the word line is activated. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 제 3 풀 업 수단은 상기 프리차지 신호에 의해 턴 온되어 상기 공통 노드를 전원 전압 레벨로 풀 업시키는 제 3 PMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And the third pull-up means includes a third PMOS transistor turned on by the precharge signal to pull up the common node to a power supply voltage level. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 퓨즈 디코딩부는,The fuse decoding unit, 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 제어되며, 상기 공통 노드와 접지 전압 노드 사이에 병렬로 연결되는 다수의 풀 다운 수단; 및A plurality of pull-down means controlled by each decoded row address signal and connected in parallel between the common node and a ground voltage node; And 상기 공통 노드와 상기 각 풀 다운 수단 사이에 연결되는 상기 다수의 퓨즈;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.And a plurality of fuses connected between the common node and the respective pull-down means. 제 21 항에 있어서,The method of claim 21, 상기 각 풀 다운 수단은 상기 각 디코딩된 로우 어드레스 신호에 의해 턴 온되어 상기 각 퓨즈로 상기 접지 전압을 공급하는 NMOS 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 회로.Wherein each pull down means comprises an NMOS transistor turned on by each decoded row address signal to supply the ground voltage to each fuse. 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호로 출력하고, 상기 워드 라인이 비활성화 상태일 때 상기 퓨즈 디코딩 신호를 프리차지시키는 제 1 단계;When the word line is in an active state, fuse decoding is performed using a plurality of decoded row addresses to output a fuse decoding signal that determines either a repair pass or a normal pass, and precharges the fuse decode signal when the word line is in an inactive state. Making a first step; 상기 퓨즈 디코딩 신호를 래치시키는 제 2 단계;Latching the fuse decoded signal; 테스트 모드로 진입하여 상기 래치 동작을 중지시키는 제 3 단계; 및Entering a test mode to stop the latch operation; And 상기 제 2 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호와 상기 제 3 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호를 비교하여 상기 다수의 퓨즈의 불량 여부를 검출하는 제 4 단계;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 테스트 방법.And a fourth step of detecting whether the plurality of fuses are defective by comparing the fuse decoded signal output in the second step with the fuse decoded signal output in the third step. Way. 워드 라인이 활성화 상태일 때 다수의 디코딩된 로우 어드레스로써 퓨즈 디코딩하여 리페어 패스와 노멀 패스 중 어느 하나를 결정하는 퓨즈 디코딩 신호로 출력하고, 상기 워드 라인이 비활성화 상태일 때 상기 퓨즈 디코딩 신호를 프리차지시키는 제 1 단계;When the word line is in an active state, fuse decoding is performed using a plurality of decoded row addresses to output a fuse decoding signal that determines either a repair pass or a normal pass, and precharges the fuse decode signal when the word line is in an inactive state. Making a first step; 상기 퓨즈 디코딩 신호를 래치시키는 제 2 단계;Latching the fuse decoded signal; 테스트 모드로 진입하여 상기 퓨즈 디코딩 신호에 구동 능력 조절 전압을 공급함으로써, 상기 퓨즈 디코딩 신호가 리페어 패스를 선택하도록 상기 퓨즈 디코딩 신호의 상태를 제어하는 제 3 단계; 및Entering a test mode to supply a driving capability adjustment voltage to the fuse decoded signal, thereby controlling a state of the fuse decoded signal so that the fuse decoded signal selects a repair pass; And 상기 제 2 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호와 상기 제 3 단계에서 출력되는 상기 퓨즈 디코딩 신호를 비교하여 상기 다수의 퓨즈의 불량 여부를 검출하는 제 4 단계;를 포함함을 특징으로 하는 리페어 퓨즈 테스트 방법.And a fourth step of detecting whether the plurality of fuses are defective by comparing the fuse decoded signal output in the second step with the fuse decoded signal output in the third step. Way.
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