KR100815461B1

KR100815461B1 - Contactor and Electrical Connector

Info

Publication number: KR100815461B1
Application number: KR1020067021819A
Authority: KR
Inventors: 에이치 오사또; 요시히토 고토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2006-10-20
Filing date: 2004-06-03
Publication date: 2008-03-20
Also published as: KR20070018055A

Abstract

본 발명에 따른 접촉자 및 전기적 접속장치는, 전기적 접속장치의 접촉자와 단자 간의 켈빈 접속을 확실히 하기 위한 것이다.The contactor and the electrical connection device according to the present invention are for ensuring the Kelvin connection between the contactor and the terminal of the electrical connection device.

접촉자는 도전성을 갖는 제1 및 제2 접촉자편과 적어도 하나의 폴리이미드와 같은 시트형의 전기절연체를 포함한다. 각각의 접촉자편은 베이스부와 베이스부로부터 연장된 연장부와 베이스부에 형성된 도전성 접촉부를 갖는 판형의 본체부와, 연장부에 형성된 단자 접촉부를 갖는다. 양 베이스부는 전기절연체를 삽입하고 그것의 두께방향으로 서로 마주보고 있으며, 한 쪽의 단자 접촉부는 다른 쪽의 접촉자편에 전기적으로 접촉하지 않고 다른 쪽의 베이스부를 향해 연장하고 있으며, 다른 쪽의 단자 접촉부는 한 쪽의 접촉자편에 전기적으로 접촉하지 않고 한 쪽의 베이스부를 향해 연장하고 있다.The contact includes conductive first and second contact pieces and a sheet-like electrical insulator such as at least one polyimide. Each contact piece has a base portion, a plate-shaped body portion having an extension portion extending from the base portion and a conductive contact portion formed on the base portion, and a terminal contact portion formed on the extension portion. Both base portions insert electrical insulators and face each other in the thickness direction thereof, and one terminal contact portion extends toward the other base portion without being in electrical contact with the other contact piece, and the other terminal contact portion. Extends toward one base portion without being in electrical contact with one contact piece.

Description

Contact and Electrical Connector

기술분야Field of technology

본 발명은 집적회로와 같은 반도체 장치의 통전시험에 이용하는 접촉자 및 전기적 접속장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to contacts and electrical connection devices for use in conduction testing of semiconductor devices such as integrated circuits.

배경기술Background

패키징(packaging) 또는 몰딩(molding)된 반도체 장치, 특히 집적회로(IC)의 전기적 특성에 대한 검사, 즉 시험은 일반적으로 반도체 장치를 탈착 가능하게 장착하는 검사 소켓(socket), 즉 시험 소켓과 같은 전기적 접속장치를 검사용 보조 장치로서 이용함으로써 행해진다.Testing, or testing, of the electrical properties of a packaged or molded semiconductor device, in particular an integrated circuit (IC), generally involves a test socket, i.e. a test socket, which detachably mounts the semiconductor device. This is done by using an electrical connection device as an auxiliary device for inspection.

이러한 종류의 전기적 접속장치의 하나로서, 대략 J자형으로 구부러진 다수의 프로브, 즉 접촉자를 이용하는 방법이 있다(일본특허공개공보 제2003-123874호).As one of the electrical connection devices of this kind, there is a method using a plurality of probes, that is, contacts, bent in a substantially J-shape (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-123874).

이 종래기술에 있어서, 각각의 접촉자는 대략 J자형으로 구부러진 베이스부와 베이스부에 형성된 도전성 접촉부와 도전성 접촉부에 형성된 단자 접촉부를 갖는 판형의 한 쌍의 접촉자편(片)과, 양 접촉자편의 사이에 배치된 시트형의 전기절연체를 포함한다. 따라서 접촉자는 한 쪽 접촉자편, 전기절연체, 및 다른 쪽 접촉 자편으로 된 3층 구조를 갖는다.In this prior art, each contactor has a plate-shaped pair of contact pieces each having a base portion bent in a substantially J shape, a conductive contact portion formed in the base portion, and a terminal contact portion formed in the conductive contact portion, and between the contactor pieces. It includes a sheet-like electrical insulator disposed. Thus, the contact has a three-layer structure consisting of one contact piece, an electrical insulator, and the other contact piece.

접촉자는 반도체 장치의 판형 단자의 폭 치수와 거의 같게 설정되거나, 그보다 약간 큰 두께치수를 갖는다. The contact is set almost equal to the width dimension of the plate-shaped terminal of the semiconductor device, or has a thickness dimension slightly larger than that.

양 도전성 접촉부의 한 쪽은 기판에 형성된 한 쪽의 도전성부에 가압되고, 양 도전성 접촉부의 다른 쪽은 기판에 형성된 다른 쪽의 도전성부에 가압된다. 양 단자 접촉부는 반도체 장치의 단자에 가압된다.One of the two conductive contact portions is pressed to one conductive portion formed in the substrate, and the other of the two conductive contact portions is pressed to the other conductive portion formed in the substrate. Both terminal contact portions are pressed against the terminals of the semiconductor device.

접촉자는 그것의 두께방향이 전기적 접속장치의 수평방향을 향하도록 세워져서 전기적 접속장치에 설치된다. 이 때, 한 쪽의 접촉자편과 전기절연체와의 경계 및 전기절연체와 다른 쪽 접촉자편과의 경계는 단자의 연장방향으로 연장된다.The contact is erected on the electrical connector, with its thickness direction erected toward the horizontal direction of the electrical connector. At this time, the boundary between the one contactor piece and the electrical insulator and the boundary between the electrical insulator and the other contact piece extend in the extending direction of the terminal.

반도체 장치를 검사할 때, 반도체 장치의 단자는 이것의 연장방향과 접촉자의 연장방향이 일치하도록 접촉자의 단자 접촉부에 가압된다.When inspecting the semiconductor device, the terminal of the semiconductor device is pressed to the terminal contact portion of the contact so that its extending direction and the contacting direction of the contact coincide.

이 때, 단자는 한 쪽의 접촉자편과 다른 쪽의 접촉자편 사이에 위치하고 있으며, 또한 한 쪽의 접촉자편과 전기절연체와의 경계 및 전기절연체와 다른 쪽 접촉자편과의 경계는 단자의 연장방향으로 연장되기 때문에, 한 쪽 및 다른 쪽의 단자 접촉부는 단자의 판형의 아랫면의 좌우에 전기적으로 접촉한다.At this time, the terminal is located between the contactor piece on one side and the contactor piece on the other side, and the boundary between one contactor piece and the electrical insulator and the boundary between the electrical insulator and the other contactor piece in the direction of extension of the terminal. As it extends, the one and the other terminal contact portions are in electrical contact with the left and right sides of the bottom surface of the plate shape of the terminal.

이에 따라, 하나의 단자에 한 쪽 및 다른 쪽의 접촉자편이 전기적으로 접속되기 때문에, 전기적 접속장치와 반도체 장치와는 켈빈 접속(Kelvin connection)을 구성할 수 있다.Thereby, since the contactor piece of one side and the other is electrically connected to one terminal, a Kelvin connection can be comprised with an electrical connection device and a semiconductor device.

그러나, 단자의 접촉위치가 접촉자의 두께방향으로 배치되면, 한 쪽의 접촉자편에 전기적으로 접촉할 수 있으나, 다른 쪽의 접촉자편에는 전기적으로 접촉할 수 없는 경우가 있다.However, if the contact position of the terminal is arranged in the thickness direction of the contactor, it may be in electrical contact with one contactor piece, but may not be in electrical contact with the other contactor piece.

그러한 경우에 단자는 한 쪽 접촉자편에 전기적으로 접속되지만 다른 쪽 접촉자편에 전기적으로 접속되지 않는다. 따라서, 전기적 접속장치와 반도체 장치는 켈빈 접속을 구성할 수 없으므로, 전기적 접속장치는 반도체 장치를 켈빈 검사 할 수 없다.In such a case, the terminal is electrically connected to one contact piece, but not electrically connected to the other contact piece. Therefore, since the electrical connection device and the semiconductor device cannot form a Kelvin connection, the electrical connection device cannot check the Kelvin for the semiconductor device.

상기 반도체 장치는 전기적 특성이 양호한 경우라도, 불량품이라는 판정을 받게 된다. 따라서 반도체 장치 및 단자는 높은 치수의 공차(tolerance)가 요구된다.The semiconductor device is judged to be defective even when the electrical characteristics are good. Therefore, semiconductor devices and terminals require a high dimension of tolerance.

발명의 개시Disclosure of the Invention

발명이 해결하려고 하는 과제Challenges the invention seeks to solve

본 발명의 목적은 전기적 접속장치의 접촉자와 단자 간의 켈빈 접속을 확실하게 하는데 있다. It is an object of the present invention to ensure the Kelvin connection between the contact and terminal of the electrical connection device.

과제를 해결하기 위한 수단Means to solve the problem

본 발명에 따른 접촉자는 제1 베이스부와 상기 제1 베이스부로부터 연장된 제1 연장부와 상기 제1 베이스부에 형성된 제1 도전성 접촉부로서 기판에 형성된 한 쪽의 도전성부에 가압되는 제1 도전성 접촉부를 갖는 판형의 제1 본체부와, 상기 제1 연장부에 형성된 제1 단자 접촉부로서 반도체 장치의 단자에 가압되는 제1 단자 접촉부를 갖는 제1 접촉자편과, 제2 베이스부와 상기 제2 베이스부로부터 연 장된 제2 연장부와 상기 제2 베이스부에 형성된 제2 도전성 접촉부로서 상기 기판에 형성된 다른 쪽 도전성부에 가압되는 제2 도전성 접촉부를 갖는 판형의 제2 본체부와, 상기 제2 연장부에 형성된 제2 단자 접촉부로서 상기 단자에 가압되는 제2 단자 접촉부를 갖는 제2 접촉자편, 및 상기 제1 베이스부와 상기 제2 베이스부 사이에 배치된 적어도 하나의 시트형 전기절연체를 포함한다. 상기 제1 및 제2 베이스부는 상기 전기절연체를 삽입하고 그것의 두께방향으로 서로 마주보고 있다. 상기 제1 단자 접촉부는 상기 제2 접촉자편에 전기적으로 접촉하지 않고 상기 제2 베이스부를 향해 연장한다. 상기 제2 단자 접촉부는 상기 제1 접촉자편에 전기적으로 접촉됨 없이 상기 제1 베이스부를 향해 연장한다.The contact according to the present invention is a first conductive portion pressed against one conductive portion formed on the substrate as a first base portion, a first extension portion extending from the first base portion, and a first conductive contact portion formed on the first base portion. A first contact member having a plate-shaped first body portion having a contact portion, a first terminal contact portion pressed against a terminal of the semiconductor device as a first terminal contact portion formed on the first extension portion, a second base portion and the second A plate-shaped second body portion having a second extension portion extending from the base portion and a second conductive contact portion formed on the substrate as a second conductive contact portion formed on the second base portion, and the second conductive portion being pressed against the other conductive portion formed on the substrate; A second contact piece having a second terminal contact portion pressed against the terminal as a second terminal contact portion formed in the extension portion, and at least one seam disposed between the first base portion and the second base portion; And a type electrical insulator. The first and second base portions insert the electrical insulator and face each other in the thickness direction thereof. The first terminal contact portion extends toward the second base portion without being in electrical contact with the second contact piece. The second terminal contact portion extends toward the first base portion without being in electrical contact with the first contact piece.

상기 전기절연체는 상기 제1 단자 접촉부와 상기 제2 베이스부와의 전기적 접촉 및 상기 제2 단자 접촉부와 상기 제1 베이스부와의 전기적 접촉을 방지하는 제1 접촉 방지부를 더 갖는 것이 바람직하다.Preferably, the electrical insulator further has a first contact preventing portion that prevents electrical contact between the first terminal contact portion and the second base portion and electrical contact between the second terminal contact portion and the first base portion.

상기 전기절연체는 상기 제1 단자 접촉부와 상기 제2 단자 접촉부 사이에 형성된 틈으로 돌출되어 있는 제2 접촉 방지부로서, 상기 제1 단자 접촉부와 상기 제2 단자 접촉부의 전기적 접촉을 방지하기 위한 제2 접촉 방지부를 더 갖는 것이 바람직하다.The electrical insulator is a second contact preventing portion protruding into a gap formed between the first terminal contact portion and the second terminal contact portion, and a second for preventing electrical contact between the first terminal contact portion and the second terminal contact portion. It is preferable to further have a contact prevention part.

상기 제2 접촉 방지부는 상기 제1 접촉 방지부에 형성되어도 좋다.The second contact preventing portion may be formed in the first contact preventing portion.

상기 제1 단자 접촉부는 상기 두께방향에 있어서, 상기 제2 본체부의 두께치수와 상기 전기절연체의 두께치수와의 합계보다 크고, 상기 제1 본체부의 두께치수, 상기 전기절연체의 두께치수, 및 상기 제2 본체부의 두께치수의 합계 이하인 두께치수를 갖는다. 상기 제2 단자 접촉부는 상기 두께방향에 있어서, 상기 제1 본체부의 두께치수와 상기 전기절연체의 두께치수의 합계보다 크고, 상기 제1 본체부의 두께치수, 상기 전기절연체의 두께치수, 및 상기 제2 본체부의 두께치수의 합계 이하인 두께치수를 가져도 된다.The first terminal contact portion is larger than the sum of the thickness dimension of the second main body portion and the thickness dimension of the electrical insulator in the thickness direction, and the thickness dimension of the first main body portion, the thickness dimension of the electrical insulator, and the first portion. 2 It has thickness dimension less than the sum total of thickness dimension of main body part. The second terminal contact portion is larger than the sum of the thickness dimension of the first body portion and the thickness dimension of the electrical insulator in the thickness direction, and the thickness dimension of the first body portion, the thickness dimension of the electrical insulator, and the second portion. You may have thickness dimension less than the sum total of the thickness dimension of a main-body part.

상기 제1 도전성 접촉부와 상기 제2 도전성 접촉부 사이에는 공간이 형성되어 있는 것도 바람직하다.It is also preferable that a space is formed between the first conductive contact portion and the second conductive contact portion.

상기 전기절연체는 서로 마주보는 한 쌍의 전기절연시트를 포함하며, 상기 한 쌍의 전기절연시트 사이에 접착제가 배치되어 있는 것도 바람직하다.The electrical insulator includes a pair of electrical insulating sheets facing each other, and it is preferable that an adhesive is disposed between the pair of electrical insulating sheets.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는 반도체 장치의 다수의 단자와 상기 기판의 한쪽 면에 형성된 도전성부를 전기적으로 접속하기 위한 장치로서 이용된다. 상기 장치는 다수의 상기 접촉자와, 상기 접촉자를 상기 기판에 병렬로 설치하는 설치장치를 포함한다. 상기 설치장치는 상기 기판에 설치되는 판형몸체로서 상기 접촉자의 배열방향으로 간격을 두고 상기 접촉자의 배열방향과 교차하는 방향으로 연장된 다수의 슬릿을 갖는 판형몸체와, 상기 접촉자의 배열방향으로 연장된 상태로 상기 판형몸체에 배치되어 상기 접촉자를 상기 판형몸체에 설치하는 적어도 하나의 탄성체를 구비한다. 각각의 접촉자의 상기 제1 및 제2 단자 접촉부는 상기 슬릿을 관통한다.The electrical connection device according to the present invention is used as a device for electrically connecting a plurality of terminals of a semiconductor device and a conductive portion formed on one surface of the substrate. The apparatus includes a plurality of the contacts and an installation apparatus for installing the contacts in parallel to the substrate. The installation apparatus is a plate-shaped body installed on the substrate and a plate-like body having a plurality of slits extending in a direction intersecting the arrangement direction of the contact at intervals in the arrangement direction of the contact, and extending in the arrangement direction of the contact It is provided with the at least one elastic body disposed in the plate-shaped body to install the contactor in the plate-shaped body. The first and second terminal contacts of each contact penetrate the slit.

상기 제1 본체부는 상기 제1 단자 접촉부로부터 제1 도전성 접촉부에 걸쳐서 대략 J자형으로 구부러져 있으며, 상기 제2 본체부는 상기 제2 단자 접촉부로부터 제2 도전성 접촉부에 걸쳐서 대략 J자형으로 구부러져 있고, 상기 탄성체는 상기 접촉자의 대략 J자형의 만곡부에 접촉하는 것이 바람직하다.The first main body portion is bent in a substantially J shape from the first terminal contact portion to the first conductive contact portion, and the second main body portion is bent in an approximately J shape from the second terminal contact portion to the second conductive contact portion, and the elastic body is Is preferably in contact with the approximately J-shaped curved portion of the contactor.

상기 제1 및 제2 본체부는 각각 제1 아치형부와 제2 아치형부를 갖는 대략 S자형의 형상을 가지며, 상기 제1 및 제2 단자 접촉부는 각각 상기 제1 아치형부의 바깥쪽에 위치하고, 상기 제1 및 제2 도전성 접촉부는 각각 상기 제2 아치형부의 바깥쪽에 위치하며, 상기 설치장치는 적어도 2개의 탄성체를 가지며, 한 쪽의 상기 탄성체는 상기 제1 아치형부의 안쪽에 접촉되어 있고, 다른 쪽 상기 탄성체는 상기 제2 아치형부의 안쪽에 접촉되어 있어도 된다.The first and second body portions each have an approximately S-shape having a first arcuate portion and a second arcuate portion, wherein the first and second terminal contacts are respectively located outside the first arcuate portion. Each of the second conductive contacts is located outside the second arcuate portion, the installation device having at least two elastic bodies, one of the elastic bodies being in contact with the inside of the first arcuate portion, and the other of the elastic bodies is It may be in contact with the inside of the second arcuate portion.

제1 및 제2 본체부는 서로 평행한 두개의 직선부와 양 직선부 사이에 형성되며 양 직선부를 결합하는 곡선부를 갖는 대략 U자형의 형상을 가지며, 상기 제1 및 제2 연장부의 각각은 상기 직선부의 한 쪽에 형성되며, 상기 제1 및 제2 도전성 접촉부의 각각은 상기 직선부의 다른 쪽에 형성되어있어도 된다.The first and second body portions have a substantially U-shape having two straight portions parallel to each other and a curved portion formed between the two straight portions and having curved portions joining the two straight portions, wherein each of the first and second extensions is the straight line. It is formed in one side of a part, and each of the said 1st and 2nd electroconductive contact part may be formed in the other side of the said linear part.

발명의 효과Effects of the Invention

본 발명에 의하면, 제1 및 제2 베이스부는 전기절연체를 사이에 삽입하고 그것의 두께방향으로 서로 마주보게 되어 있다. 제1 단자 접촉부는 제2 접촉자편에 전기적으로 접촉하지 않고 제2 베이스부를 향해 연장하며, 제2 단자 접촉부는 제1 접촉자편에 전기적으로 접촉하지 않고 제1 베이스부를 향해 연장한다. 게다가, 제1 및 제2 단자 접촉부는 제1 및 제2 베이스부의 두께방향, 즉 반도체 장치의 단자의 연장방향과 직교하는 방향으로 연장한다.According to the present invention, the first and second base portions are inserted between the electrical insulators and face each other in the thickness direction thereof. The first terminal contact portion extends toward the second base portion without being in electrical contact with the second contact piece, and the second terminal contact portion extends toward the first base portion without making electrical contact with the first contact piece. In addition, the first and second terminal contact portions extend in the thickness direction of the first and second base portions, that is, the direction orthogonal to the extending direction of the terminals of the semiconductor device.

이에 따라, 제1 및 제2 단자 접촉부는 광범위에 걸쳐서 반도체 장치의 단자 에 전기적으로 접촉할 수 있기 때문에, 접촉자와 단자 간의 켈빈 접속을 확실하게 할 수 있다.As a result, since the first and second terminal contact portions can electrically contact the terminals of the semiconductor device over a wide range, the Kelvin connection between the contactor and the terminal can be ensured.

또한, 접촉자의 전기절연체에, 제1 단자 접촉부와 제2 베이스부와의 전기적 접촉 및 제2 단자 접촉부와 제1 베이스부와의 전기적 접촉을 방지하기 위한 제1 접촉 방지부와, 제1 단자 접촉부와 제2 단자 접촉부 사이에 형성된 틈으로 돌출되어 제1 단자 접촉부와 제2 단자 접촉부의 전기적 접촉을 방지하는 제2 접촉 방지부를 형성함으로써, 제1 및 제2 접촉 방지부는 제1 접촉자편과 제2 접촉자편의 전기적 접촉을 확실하게 방지할 수 있다.In addition, a first contact preventing portion for preventing electrical contact between the first terminal contact portion and the second base portion and electrical contact between the second terminal contact portion and the first base portion on the electrical insulator of the contactor, and the first terminal contact portion. And the second contact preventing portion protruding into a gap formed between the second terminal contact portion and preventing electrical contact of the first terminal contact portion and the second terminal contact portion, whereby the first and second contact preventing portions are formed on the first contact piece and the second contact portion. Electrical contact of the contactor piece can be prevented reliably.

또한, 제1 및 제2 단자 접촉부는 각각 두께 방향에 있어서, 제1 및 제2 본체부의 두께치수와 전기절연체의 두께치수의 합계보다 크고, 제1 본체부의 두께치수, 전기절연체의 두께치수, 및 제2 본체부의 두께치수의 합계 이하인 두께치수를 갖도록 하면, 단자는 제1 및 제2 단자 접촉부에 전기적으로 접속할 수 있다.Further, the first and second terminal contact portions are larger than the sum of the thickness dimensions of the first and second body portions and the thickness dimensions of the electrical insulator in the thickness direction, respectively, and the thickness dimensions of the first body portion, the thickness dimensions of the electrical insulator, and The terminal can be electrically connected to the first and second terminal contact portions by having a thickness dimension equal to or less than the sum of the thickness dimensions of the second body portion.

또한, 제1 도전성 접촉부와 제2 도전성 접촉부 사이에 공간을 형성함으로써, 전기절연체와 한 쪽 및 다른 쪽의 도전성부 사이에 공간이 형성된다. 이에 따라, 제1 도전성 접촉부와 한 쪽 도전성부의 사이 및 제2 도전성 접촉부와 다른 쪽의 도전성부의 사이에 전기절연체가 삽입되기 어려워지므로, 접촉자와 단자 간의 켈빈 접속을 확실하게 할 수 있다.Further, by forming a space between the first conductive contact portion and the second conductive contact portion, a space is formed between the electrical insulator and one and the other conductive portion. This makes it difficult to insert an electrical insulator between the first conductive contact portion and one conductive portion and between the second conductive contact portion and the other conductive portion, thereby ensuring the Kelvin connection between the contact and the terminal.

전기절연체는 서로 마주보는 한 쌍의 전기절연시트를 포함하며, 한 쌍의 전기절연시트 사이에 접착제를 배치함으로써, 양 전기절연시트는 상대적으로 평행하게 이동하는 것이 가능하다. 이 때문에, 접촉자가 단자 및 한 쌍의 도전성부로 기 울어진 상태에서 접촉자가 단자 및 한 쌍의 도전성부에 가압되면, 양 접촉자편이 접착제의 접착력에 반하여 상대적으로 이동한다. 이에 따라, 제1 및 제2 도전성 접촉부가 각각 단자 및 도전성부에 확실하게 접촉한다.The electrical insulator includes a pair of electrical insulating sheets facing each other, and by disposing an adhesive between the pair of electrical insulating sheets, both electrical insulating sheets can be moved relatively parallel. For this reason, when a contactor is pressed by the terminal and a pair of electroconductive part in the state which contacted the terminal and a pair of electroconductive part, both contactor pieces will move relatively against the adhesive force of an adhesive agent. Thus, the first and second conductive contact portions reliably contact the terminals and the conductive portions, respectively.

도면의 간단한 설명Brief description of the drawings

도1은 본 발명에 따른 접촉자의 제1 실시 예를 나타낸 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of a contact according to the present invention.

도2는 도1에 나타낸 접촉자의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view of the contact shown in FIG.

도3(A)는 도2에 나타낸 접촉자를 위에서 본 평면도이다. 도3(B)는 도2에 나타낸 접촉자를 왼쪽에서 본 측면도이다. 도3(C)는 도2에 나타낸 접촉자를 정면에서 본 정면도이다.Fig. 3A is a plan view of the contact shown in Fig. 2 from above. Fig. 3B is a side view of the contact shown in Fig. 2 seen from the left side. Fig. 3C is a front view of the contact shown in Fig. 2 viewed from the front.

도4는 도3(C)에 나타낸 접촉자의 일부를 생략한 정면도이다.Fig. 4 is a front view with a part of the contact shown in Fig. 3C omitted.

도5는 도2에 나타낸 접촉자를 이용한 본 발명에 따른 전기적 접속장치를 위에서 본 평면도이다.Fig. 5 is a plan view from above of the electrical connection device of the present invention using the contactor shown in Fig. 2;

도6은 도5에 나타낸 전기적 접속장치를 아래에서 본 저면도이다.FIG. 6 is a bottom view of the electrical connection device shown in FIG. 5 from below. FIG.

도7은 도5의 7-7선에 따른 단면도이다.7 is a cross-sectional view taken along line 7-7 of FIG.

도8은 도7에 나타낸 전기적 접속장치의 접촉자의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the operation of a contactor of the electrical connection device shown in FIG.

도9(A)는 본 발명에 따른 접촉자의 제2 실시 예를 나타낸 정면도이다. 도9(B)는 (A)에 나타낸 접촉자의 왼쪽에서 본 측면도이다.Fig. 9A is a front view showing the second embodiment of the contact according to the present invention. Fig. 9B is a side view seen from the left side of the contactor shown in (A).

도10은 도5에 나타낸 전기적 접속장치의 다른 실시 예에 이용하는 접촉자의 사시도이다.10 is a perspective view of a contactor used in another embodiment of the electrical connection device shown in FIG.

도11은 도10에 나타낸 접촉자를 이용한 전기적 접속장치의 단면도이다.FIG. 11 is a sectional view of the electrical connection device using the contactor shown in FIG.

도12는 도10에 나타낸 전기적 접속장치의 또 다른 실시 예에 이용하는 접촉자의 정면도이다.12 is a front view of a contactor used in still another embodiment of the electrical connection device shown in FIG.

도13은 도12에 나타낸 접촉자의 사시도이다.FIG. 13 is a perspective view of the contact shown in FIG.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

10, 10a, 84, 110: 접촉자10, 10a, 84, 110: contactor

12: 반도체 장치12: semiconductor device

14, 82: 전기적 접속장치14, 82: electrical connection device

16a, 16b, 86a, 86b, 112a, 112b: 제1 및 제2 접촉자편16a, 16b, 86a, 86b, 112a, 112b: first and second contact pieces

18, 88, 130: 전기절연체18, 88, 130: electrical insulator

20a, 20b, 90a, 90b, 116a, 116b: 제1 및 제2 베이스부20a, 20b, 90a, 90b, 116a, 116b: first and second base portions

22a, 22b, 92a, 92b, 118a, 118b: 제1 및 제2 연장부22a, 22b, 92a, 92b, 118a, 118b: first and second extensions

24a, 24b, 94a, 94b, 120a, 120b: 제1 및 제2 도전성 접촉부24a, 24b, 94a, 94b, 120a, 120b: first and second conductive contacts

26a, 26b, 96a, 96b, 122a, 122b: 제1 및 제2 본체부26a, 26b, 96a, 96b, 122a, 122b: first and second body parts

28a, 28b, 98a, 98b, 124a, 124b: 제1 및 제2 단자 접촉부28a, 28b, 98a, 98b, 124a, 124b: first and second terminal contacts

30a, 30b: 제1 및 제2 후단(後端)30a, 30b: first and second rear ends

32: 제1 접촉 방지부32: first contact preventing portion

34: 제2 접촉 방지부34: second contact preventing portion

88b, 130b: 접촉 방지부88b, 130b: contact protection part

36: 기판36: substrate

38a, 38b: 제1 및 제2 도전성부38a, 38b: first and second conductive portions

40: 반도체 장치의 단자 40: terminal of the semiconductor device

44: 탄성체44: elastomer

발명을 실시하기 위한 최선의 형태Best Mode for Carrying Out the Invention

[접촉자][Contactor]

도1 내지 도4를 참조하면, 접촉자(10)는 집적회로와 같은 반도체 장치(12)(도7 참조)의 검사, 즉 시험에 있어서 전기적 접속장치(14)(도7 참조)의 프로브로서 이용된다.1 to 4, the contactor 10 is used as a probe of the electrical connection device 14 (see FIG. 7) in the inspection, or testing, of the semiconductor device 12 (see FIG. 7) such as an integrated circuit. do.

접촉자(10)는 도전성을 갖는 제1 및 제2 접촉자편(16a 및 16b)과 적어도 하나의 폴리이미드(polyimide)와 같은 시트형의 전기절연체(18)를 포함한다.The contactor 10 includes conductive first and second contact pieces 16a and 16b and a sheet-shaped electrical insulator 18 such as at least one polyimide.

제1 접촉자편(16a)은 제1 베이스부(20a)와 제1 베이스부(20a)로부터 연장된 제1 연장부(22a)와 제1 베이스부(20a)에 형성된 제1 도전성 접촉부(24a)를 갖는 판형의 제1 본체부(26a)와 제1 연장부(22a)에 형성된 제1 단자 접촉부(28a)를 갖는다.The first contact piece 16a has a first conductive portion 24a formed in the first base portion 20a and the first extension portion 22a extending from the first base portion 20a and the first base portion 20a. It has a plate-shaped 1st main body part 26a and the 1st terminal contact part 28a formed in the 1st extension part 22a.

제2 접촉자편(16b)은 제2 베이스부(20b)와 제2 베이스부(20b)로부터 연장된 제2 연장부(22b)와 제2 베이스부(20b)에 형성된 제2 도전성 접촉부(24b)를 갖는 판형의 제2 본체부(26b)와 제2 연장부(22b)에 형성된 제2 단자 접촉부(28b)를 갖는 다.The second contact piece 16b has a second conductive portion 24b formed on the second base portion 20b and the second extension portion 22b extending from the second base portion 20b and the second base portion 20b. It has a plate-shaped second main body portion 26b and a second terminal contact portion 28b formed on the second extension portion 22b.

제1 베이스부(20a)는 Z방향으로 평행하게 연장된 후단(後端)(30a)을 갖는다. 제2 베이스부(20b)는 Z방향으로 평행하게 연장된 후단(30b)을 갖는다.The first base portion 20a has a rear end 30a extending in parallel in the Z direction. The second base portion 20b has a rear end 30b extending in parallel in the Z direction.

제1 도전성 접촉부(24a)는 제1 본체부(26a)의 X방향으로 평행하게 연장된 단부(端部)이다. 제2 도전성 접촉부(24b)는 제2 본체부(26b)의 X방향으로 평행하게 연장된 단부이다.The 1st conductive contact part 24a is the edge part extended in parallel to the X direction of the 1st main body part 26a. The second conductive contact portion 24b is an end extending in parallel in the X direction of the second body portion 26b.

제1 및 제2 베이스부(20a 및 20b)는, 대략 J자형의 형상을 갖는다. 또한, 제1 베이스부(20a)와 제2 베이스부(20b)의 형상 및 치수는 거의 동일해진다.The first and second base portions 20a and 20b have a substantially J-shaped shape. In addition, the shape and dimension of the 1st base part 20a and the 2nd base part 20b become substantially the same.

제1 연장부(22a)는 제1 베이스부(20a)의 선단(先端)에 형성되어 있으며, 도4에 있어서는 오른쪽에 형성되어 있다. 제2 연장부(22b)는 제2 베이스부(20b)의 선단에 형성되어 있으며, 도4에 있어서는 왼쪽에 형성되어 있다.The 1st extension part 22a is formed in the front-end | tip of the 1st base part 20a, and is formed in the right side in FIG. The 2nd extension part 22b is formed in the front-end | tip of the 2nd base part 20b, and is formed in the left side in FIG.

제1 베이스부(20a) 및 제2 베이스부(20b)는 전기절연체(18)를 사이에 삽입하고 그것의 두께방향(Y방향)으로 서로 마주보고 있다. 전기절연체(18)는 제1 베이스부(20a)와 제2 베이스부(20b) 사이에 배치되어 있다.The first base portion 20a and the second base portion 20b are inserted with the electric insulator 18 therebetween and face each other in the thickness direction (Y direction) thereof. The electrical insulator 18 is disposed between the first base portion 20a and the second base portion 20b.

형성된 접촉자(10)의 제1 도전성 접촉부(24a)는 기판(36)에 형성된 한 쪽의 도전성부(38a)에 가압된다. 제2 도전성 접촉부(24b)는 기판(36)에 형성된 다른 쪽 도전성부(38b)에 가압된다.The first conductive contact portion 24a of the formed contactor 10 is pressed against one conductive portion 38a formed on the substrate 36. The second conductive contact portion 24b is pressed against the other conductive portion 38b formed on the substrate 36.

제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)는 단자(40)를 수용하도록 X방향으로 나란히 배치된다. 나란히 배치되어 있는 제1 및 제2 접촉자편(16a 및 16b)의 사이에는 틈(A)이 형성되어 있다(도3(C) 참조).The first and second terminal contacts 28a and 28b are arranged side by side in the X direction to accommodate the terminal 40. The gap A is formed between the 1st and 2nd contact piece 16a and 16b arrange | positioned side by side (refer FIG. 3 (C)).

제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)는 반도체 장치(12)의 검사 시에 공통의 단자(40)에 가압된다. 이 때, 제1 단자 접촉부(28a)는 제2 접촉자편(16b)에 전기적으로 접촉하지 않고 제2 베이스부(20b)를 향해 연장한다. 또한, 제2 단자 접촉부(28b)는 제1 접촉자편(16a)에 전기적으로 접촉하지 않고 제1 베이스부(20a)를 향해 연장한다.The first and second terminal contact portions 28a and 28b are pressed against the common terminal 40 during the inspection of the semiconductor device 12. At this time, the first terminal contact portion 28a extends toward the second base portion 20b without being in electrical contact with the second contact piece 16b. In addition, the second terminal contact portion 28b extends toward the first base portion 20a without being in electrical contact with the first contact piece 16a.

도3(A)에 나타낸 바와 같이, 제1 단자 접촉부(28a)는 제1 본체부(26a)의 두께치수 t1, 제2 본체부(26b)의 두께치수 t2, 및 전기절연체(18)의 두께치수 t3의 합계인 두께치수를 갖는다. 그러나, 제1 단자 접촉부(28a)의 두께치수는 두께치수 t2와 두께치수 t3의 합계보다 크고, 두께치수 t1, 두께치수 t2, 및 두께치수 t3의 합계 이하인 범위 내에 있는 것이 바람직하다.As shown in Fig. 3A, the first terminal contact portion 28a has a thickness t1 of the first body portion 26a, a thickness t2 of the second body portion 26b, and a thickness of the electrical insulator 18. It has a thickness dimension that is the sum of the dimensions t3. However, the thickness dimension of the first terminal contact portion 28a is preferably larger than the sum of the thickness t2 and the thickness t3, and is within the range of not more than the sum of the thickness t1, the thickness t2, and the thickness t3.

제2 단자 접촉부(28b)는 제1 본체부(26a)의 두께치수 t1, 제2 본체부(26b)의 두께치수 t2, 및 전기절연체(18)의 두께치수 t3의 합계인 두께치수를 갖는다. 그러나, 제2 단자 접촉부(28b)의 두께치수는 두께치수 t1과 두께치수 t3의 합계보다 크고, 두께치수 t1, 두께치수 t2, 및 두께치수 t3의 합계 이하인 범위 내에 있는 것이 바람직하다.The second terminal contact portion 28b has a thickness dimension that is the sum of the thickness t1 of the first body portion 26a, the thickness t2 of the second body portion 26b, and the thickness dimension t3 of the electrical insulator 18. However, it is preferable that the thickness dimension of the second terminal contact portion 28b is larger than the sum of the thickness dimension t1 and the thickness dimension t3, and is within the range of not more than the sum of the thickness dimension t1, the thickness dimension t2, and the thickness dimension t3.

전기절연체(18)는 본체부(18a)와, 제1 단자 접촉부(28a)와 제2 베이스부(20b)의 전기적 접촉 및 제2 단자 접촉부(28a)와 제1 베이스부(20a)의 전기적 접촉을 방지하는 제1 접촉 방지부(32)를 갖는다. 제1 접촉 방지부(32)는 본체부(18a)에 형성된다.The electrical insulator 18 has electrical contact between the main body portion 18a, the first terminal contact portion 28a and the second base portion 20b, and the electrical contact between the second terminal contact portion 28a and the first base portion 20a. It has a first contact preventing portion 32 to prevent the. The first contact preventing portion 32 is formed in the main body portion 18a.

전기절연체(18)에서 제1 접촉 방지부(32)와 제2 접촉 방지부(34)를 제외한 본체부(18a)와 제1 베이스부(20a)의 형상 및 치수는 거의 동일해진다.The shape and dimensions of the main body portion 18a and the first base portion 20a except for the first contact preventing portion 32 and the second contact preventing portion 34 in the electrical insulator 18 are substantially the same.

전기절연체(18)는 제1 단자 접촉부(28a)와 제2 단자 접촉부(28b)의 전기적 접촉을 방지하는 제2 접촉 방지부(34)를 갖는다. 또한, 제2 접촉 방지부(34)는 제1 단자 접촉부(28a)와 제2 단자 접촉부(28b) 사이에 형성된 틈으로 돌출되어 있다. 제2 접촉 방지부(34)는 제1 접촉 방지부(32)에 형성된다.The electrical insulator 18 has a second contact preventing portion 34 which prevents electrical contact between the first terminal contact portion 28a and the second terminal contact portion 28b. In addition, the second contact preventing portion 34 protrudes into a gap formed between the first terminal contact portion 28a and the second terminal contact portion 28b. The second contact preventing portion 34 is formed in the first contact preventing portion 32.

상기 제1 및 제2 베이스부(20a, 20b)는 전기절연체(18)를 양 베이스부(20a, 20b)의 사이에 삽입한 상태로, 두께방향(Y방향)으로 겹쳐진다. 양 접촉자편(16a, 16b)은 전기절연체(18)에 도포한 접착제에 의해 접착된다. The first and second base parts 20a and 20b are overlapped in the thickness direction (Y direction) while the electrical insulator 18 is inserted between the two base parts 20a and 20b. Both contact pieces 16a and 16b are bonded by an adhesive applied to the electrical insulator 18.

전기절연체(18)는 서로 마주보는 한 쌍의 전기절연시트를 포함한다. 이 한 쌍의 전기절연시트는 전기절연시트에 도포한 접착제에 의해 접착된다. The electrical insulator 18 includes a pair of electrical insulating sheets facing each other. The pair of electrical insulating sheets are bonded by an adhesive applied to the electrical insulating sheet.

도3(A) 및 (C)에 나타낸 바와 같이, 제2 접촉 방지부(34)는 제1 단자 접촉부(28a)와 제2 단자 접촉부(28b) 사이에 형성된 틈으로 돌출되어 있으며, 제1 단자 접촉부(28a)와 제2 단자 접촉부(28b)의 전기적 접촉을 방지하기 때문에, 제1 접촉자편(16a)과 제2 접촉자편(16b)의 전기적 접촉을 확실하게 방지할 수 있다.As shown in Figs. 3A and 3C, the second contact preventing portion 34 protrudes into a gap formed between the first terminal contact portion 28a and the second terminal contact portion 28b, and the first terminal. Since the electrical contact between the contact portion 28a and the second terminal contact portion 28b is prevented, the electrical contact between the first contact piece 16a and the second contact piece 16b can be reliably prevented.

도3(B) 및 (C)에 나타낸 바와 같이, 제1 접촉 방지부(32)는 제1 베이스부(20a)의 윗면의 위치보다 Z방향으로 위쪽에 위치하고 있으며, 제2 단자 접촉부(28b)의 아랫면의 위치보다 아래쪽에 위치하고 있다. 이에 따라, 제2 단자 접촉부(28b)와 제1 접촉자편(16a)과의 전기적 접촉을 확실하게 방지한다.As shown in Figs. 3B and 3C, the first contact preventing portion 32 is located above the position of the upper surface of the first base portion 20a in the Z direction, and the second terminal contact portion 28b is disposed. It is located below the bottom of. Thus, the electrical contact between the second terminal contact portion 28b and the first contact piece 16a is reliably prevented.

도4에 나타낸 바와 같이, 제1 접촉 방지부(32)는 제2 베이스부(20b)의 윗면의 위치보다 Z방향으로 위쪽에 위치하며, 제1 단자 접촉부(28a)의 아랫면의 위치보 다 아래쪽에 위치하고 있다. 이에 따라, 제1 단자 접촉부(28a)와 제2 접촉자편(16b)의 전기적 접촉을 확실하게 방지한다.As shown in Fig. 4, the first contact preventing portion 32 is located upward in the Z direction than the position of the upper surface of the second base portion 20b, and is lower than the position of the lower surface of the first terminal contact portion 28a. Located in Thus, the electrical contact between the first terminal contact portion 28a and the second contact piece 16b is reliably prevented.

[전기적 접속장치] [Electrical Connection Device]

도5 내지 도7을 참조하면, 전기적 접속장치(14)는 기판(36)과 단자(40)에 각각 대응된 다수의 접촉자(10)와, 접촉자(10)를 기판(36)에 설치하는 평판형의 커버, 즉 판형몸체(plate-like body)(42)와, 접촉자(10)를 판형몸체(42)에 설치하는 봉(rod)형의 다수의 탄성체(44)를 포함한다. 판형몸체(42)는 설치장치로서 작용한다.5 to 7, the electrical connection device 14 includes a plurality of contacts 10 corresponding to the substrate 36 and the terminal 40, respectively, and a flat plate on which the contacts 10 are installed on the substrate 36. A cover, i.e., a plate-like body 42, and a plurality of rod-shaped elastic bodies 44 for attaching the contactor 10 to the plate-shaped body 42 are included. The plate body 42 acts as an installation device.

반도체 장치(12)는 직사각형의 평면 형상에 패키징 또는 몰딩이 행해진 본체부(46)와, 직사각형의 각 변의 아랫면으로부터 아래쪽으로 돌출된 다수의 단자(40)를 갖는다(도7 참조). 단자(40)는 이른바 PAD단자이다. 단자(40)는 직사각형의 상기 변의 아랫면에 대응되는 다수의 단자 군(群)으로 나누어진다. 또한 상기 단자(40)는 단자 군 마다 병렬로 배치된다.The semiconductor device 12 has a main body portion 46 packaged or molded in a rectangular planar shape, and a plurality of terminals 40 protruding downward from the bottom of each side of the rectangle (see Fig. 7). The terminal 40 is a so-called PAD terminal. The terminal 40 is divided into a plurality of terminal groups corresponding to the lower surface of the side of the rectangle. In addition, the terminals 40 are arranged in parallel for each terminal group.

기판(36)은 배선 패턴을 전기절연재료의 한쪽 면에 인쇄 배선 기술로 형성한 배선 기판이다. 기판(36)은 각각이 접촉자(10)에 대응되는 띠형의 다수의 인쇄 배선부(38)를 한쪽 면에 갖는다. 각각의 인쇄 배선부(38)는 배선패턴의 일부이다.The board | substrate 36 is a wiring board which formed the wiring pattern on the one side of the electrically insulating material by the printed wiring technique. The board | substrate 36 has many strip | belt-shaped printed wiring parts 38 each corresponding to the contactor 10 on one side. Each printed wiring portion 38 is part of a wiring pattern.

제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)는 반도체 장치(12)의 본체부(46)의 직사각형의 변의 아랫면에 대응되는 다수의 배선부 군으로 나누어진다. 또한 인쇄 배선부(38)는 배선부 군 마다 병렬로 배치된다.The first and second conductive portions 38a and 38b are divided into a plurality of wiring portion groups corresponding to the lower surface of the rectangular side of the main body portion 46 of the semiconductor device 12. In addition, the printed wiring units 38 are arranged in parallel for each of the wiring unit groups.

제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)는 반도체 장치(12)의 단자(40) 나아가서는 접촉자(10)에 대응된다. 각각의 인쇄 배선부(38)는 제1 도전성부(38a)와 제2 도전성부(38b)로 분할된다.The first and second conductive portions 38a and 38b correspond to the terminal 40 and the contactor 10 of the semiconductor device 12. Each printed wiring portion 38 is divided into a first conductive portion 38a and a second conductive portion 38b.

판형몸체(42)는 다수의 나사부재(48)에 의해 서로 겹쳐진 상태로 기판(36)에 설치된다. 판형몸체(42)는 판형몸체(42)를 연통하는 다수의 슬릿(52)과, 원형의 단면 형상을 갖는 탄성체(44)가 배치된 홈부(54)를 단자 군 마다 구비한다.The plate body 42 is installed on the substrate 36 in a state where they are overlapped with each other by a plurality of screw members 48. The plate body 42 includes a plurality of slits 52 communicating with the plate body 42, and a groove portion 54 in which the elastic body 44 having a circular cross-sectional shape is disposed for each terminal group.

슬릿(52)은 인쇄 배선부(38)의 길이방향으로 연장함과 동시에, 판형몸체(42)를 두께방향으로 관통하고 있으며, 게다가 홈부(54)로 통해있다. The slit 52 extends in the longitudinal direction of the printed wiring portion 38, passes through the plate-shaped body 42 in the thickness direction, and is further through the groove portion 54.

홈부(54)는 다수의 접촉자(10)의 배열방향으로 연속적으로 연장된다. 또한, 홈부(54)는 기판(36) 쪽으로 개방되어 있다. 서로 인접하는 슬릿(52)은 파티션(partition)(56)에 의해 구획된다.The groove portion 54 extends continuously in the arrangement direction of the plurality of contacts 10. In addition, the groove portion 54 is open toward the substrate 36. Adjacent slits 52 are partitioned by partitions 56.

각 접촉자(10)의 X방향이 인쇄 배선부(38)의 길이방향이 되도록, 각 접촉자(10)는 대응하는 슬릿(52)에 끼워진다. Each contactor 10 is fitted in the corresponding slit 52 so that the X direction of each contactor 10 becomes the longitudinal direction of the printed wiring section 38.

각 접촉자(10)의 제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)는 대응하는 슬릿(52)을 관통한다.The first and second terminal contacts 28a and 28b of each contact 10 penetrate through corresponding slits 52.

슬릿(52)을 관통한 제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)의 상단은 판형몸체(42)의 개구부(42a)의 기저면(42b)보다 위쪽으로 돌출되어 있다. 접촉자(10)의 후단(30a 및 30b)은 홈부(54)에 수용되어 후단(30a 및 30b)을 홈부(54)의 배면(58)에 접촉시킨 상태로 판형몸체(42)에 배치된다.Upper ends of the first and second terminal contact portions 28a and 28b penetrating the slit 52 protrude upwardly from the base surface 42b of the opening 42a of the plate-shaped body 42. The rear ends 30a and 30b of the contactor 10 are accommodated in the groove portion 54 and disposed on the plate-shaped body 42 with the rear ends 30a and 30b in contact with the rear surface 58 of the groove portion 54.

탄성체(44)는 도시한 예에서는 실리콘 고무와 같은 탄성재료를 이용하여 봉(rod)형으로 형성되어 있다. 탄성체(44)는 홈부(54) 안을 접촉자(10)의 두께방향으로 연장하고 있다.In the illustrated example, the elastic body 44 is formed in a rod shape using an elastic material such as silicone rubber. The elastic body 44 extends in the groove portion 54 in the thickness direction of the contactor 10.

탄성체(44)는 전기적 접속장치(14)에 형성된 상태에서, 접촉자(10)와 판형몸체(42) 사이에 위치된다. 또한, 탄성체(44)는 제1 접촉자편(16a)의 제1 도전성 접촉부(24a)가 한 쪽 도전성부(38a)에 접촉하도록, 그리고 제2 접촉자편(16b)의 제2 도전성 접촉부(24b)가 다른 쪽 도전성부(38b)에 접촉하도록 접촉자(10)의 만곡부가 맞물려지도록 하고 있다.The elastic body 44 is located between the contactor 10 and the plate-shaped body 42 in the state formed in the electrical connecting device 14. In addition, the elastic body 44 is such that the first conductive contact portion 24a of the first contact piece 16a contacts the one conductive portion 38a and the second conductive contact portion 24b of the second contact piece 16b. The curved portion of the contactor 10 is engaged so that the contact portion contacts the other conductive portion 38b.

전기적 접속장치(14)는 그 상태에서 판형몸체(42)를 기판(36)에 설치함으로써, 형성할 수 있다. 따라서 접촉자(10)를 판형몸체(42)에 용이하고 바르게 병렬로 배치하는 것이 가능하다. The electrical connection device 14 can be formed by providing the plate body 42 on the substrate 36 in the state. Therefore, it is possible to arrange the contactor 10 on the plate-shaped body 42 easily and correctly in parallel.

형성된 상태에서, 접촉자(10)는 슬릿(52) 및 탄성체(44)에 의해 안정적인 상태로 유지된다. 또한, 서로 인접하는 접촉자(10)는 파티션(56)에 의해 전기접촉에 의한 단락(短絡)이 방지된다.In the formed state, the contactor 10 is held in a stable state by the slit 52 and the elastic body 44. In addition, the contacts 10 adjacent to each other are prevented from shorting due to electrical contact by the partition 56.

[반도체 장치의 검사 시][Inspecting Semiconductor Device]

도8에 나타낸 바와 같이, 검사 시에, 반도체 장치(12)의 단자(40)가 접촉자(10)의 제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)에 가압되면, 각 접촉자(10)의 접촉자편(16a 및 16b)은 단자(40)에 공통으로 가압됨과 동시에 도전성부(38a 및 38b)에 각각 가압된다.As shown in FIG. 8, when the terminal 40 of the semiconductor device 12 is pressed against the first and second terminal contact portions 28a and 28b of the contactor 10 at the time of inspection, the contactor of each contactor 10. The pieces 16a and 16b are pressed in common to the terminal 40 and pressed to the conductive portions 38a and 38b, respectively.

이에 따라, 단자(40)가 X방향 또는 Y방향으로 배치되어 접촉자(10)에 가압되 더라도, 제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)는 광범위에 걸쳐서 반도체 장치(12)의 단자(40)의 아랫면에 전기적으로 접촉할 수 있다. 따라서 제1 및 제2 단자 접촉부(28a 및 28b)는 접촉자(10)와 단자(40) 간의 켈빈 접속을 확실하게 할 수 있다.Accordingly, even if the terminal 40 is disposed in the X direction or the Y direction to be pressed against the contactor 10, the first and second terminal contact portions 28a and 28b extend the terminal 40 of the semiconductor device 12 over a wide range. Electrical contact to the bottom of the Thus, the first and second terminal contact portions 28a and 28b can ensure the Kelvin connection between the contactor 10 and the terminal 40.

이 때, 양 접촉자편(16a, 16b)이 전기절연체(18)를 삽입하여 두께방향으로 겹쳐져 있기 때문에, 양 접촉자편(16a, 16b)은 일체가 되어 변위한다. 따라서 단자(40) 및 도전성부(38a, 38b)에 대한 양 접촉자편(16a, 16b)의 가압상태 나아가 전기적 접촉상태는 같아지며, 켈빈 접속임에도 불구하고 접촉자(10)와 단자(40) 간 및 접촉자편(16a, 16b)과 도전성부(38a, 38b) 간의 전기적 접속 상태가 안정화된다.At this time, since the contactor pieces 16a and 16b overlap the thickness direction by inserting the electrical insulator 18, the contactor pieces 16a and 16b are integrally displaced. Therefore, the pressed state and the electrical contact state of both contact pieces 16a and 16b against the terminal 40 and the conductive portions 38a and 38b are the same, and the contact between the contactor 10 and the terminal 40 and The electrical connection state between the contact pieces 16a and 16b and the conductive portions 38a and 38b is stabilized.

또한, 단자(40)가 접촉자(10)에 가압되면, 탄성체(44)가 접촉자(10)에 의해 가압되어 부분적으로 오목하게 들어간다. 이것 덕분에, 그리고 접촉자가 슬릿(52)을 관통하고 있는 것 때문에 접촉자(10)가 무너지는 것이 방지된다.In addition, when the terminal 40 is pressed against the contactor 10, the elastic body 44 is pressed by the contactor 10 and partially recessed. Thanks to this, the contact 10 is prevented from collapsing because the contact is penetrating the slit 52.

게다가, 단자(40)가 접촉자(10)에 가압되면, 접촉자(10)는 탄성체(44)를 부분적으로 오목하게 하여 후단을 배면(58)에 접촉시키기 때문에, 후퇴함이 없이, 도전성부(38a, 38b)에의 접촉 부분이 선단 쪽으로 변화하도록, 접촉자편(16a, 16b)이 도8에 있어서의 반시계방향으로 일체가 되어 변위한다. In addition, when the terminal 40 is pressed against the contactor 10, the contactor 10 partially concaves the elastic body 44 to contact the rear end 58 with the rear end, so that the conductive portion 38a is not retracted. , 38b), the contactor pieces 16a, 16b are integrally displaced in the counterclockwise direction in Fig. 8 so as to change toward the tip end.

이 때, 접촉자(10)는 후단(30a, 30b)이 탄성체(44)의 복원력에 의해 홈부(54)의 배면(58)에 가압되기 때문에, 단자(40) 및 도전성부(38a, 38b)에 대해 약간 미끄러진다. 이 미끄러짐에 의해, 단자(40) 및 도전성부(38a, 38b)의 표면의 산화막이 깎여져 나가는, 이른바 스크랩핑 작용(scraping action)이 발생한다.At this time, the contacts 10 are pressed against the back surface 58 of the groove portion 54 by the restoring force of the elastic body 44, so that the contacts 10 are pressed against the terminal 40 and the conductive portions 38a and 38b. Slightly slipped against This slippage causes a so-called scraping action in which the oxide films on the surfaces of the terminals 40 and the conductive portions 38a and 38b are scraped off.

또한, 전기절연체(18)의 전기절연시트가 접착제에 의해 서로 겹쳐지기 때문에, 양 전기절연시트가 상대적으로 평행하게 이동하는 것이 가능하다.In addition, since the electrical insulating sheets of the electrical insulator 18 are overlapped with each other by the adhesive, it is possible to move both the electrical insulating sheets relatively parallel.

따라서, 접촉자(10)가 단자(40) 및 도전성부(38a, 38b)로 기울어져 있는 상태에서, 접촉자(10)가 단자(40) 및 도전성부(38a, 38b)에 가압되면, 양 접촉자편(16a, 16b)이 접착제의 접착력에 반하여 상대적으로 이동한다.Therefore, when the contactor 10 is pressed against the terminal 40 and the conductive parts 38a and 38b while the contactor 10 is inclined to the terminal 40 and the conductive parts 38a and 38b, both contact pieces 16a and 16b move relative to the adhesive force of the adhesive.

이에 따라, 제1 접촉자편(16a)은 단자(40) 및 제1 도전성부(38a)에 확실하게 접촉한다. 제2 접촉자편(16b)은 단자(40) 및 제2 도전성부(38b)에 확실하게 접촉한다.Thereby, the 1st contact piece 16a reliably contacts the terminal 40 and the 1st electroconductive part 38a. The second contact piece 16b reliably contacts the terminal 40 and the second conductive portion 38b.

[접촉자의 변형 예][Modification example of contactor]

접촉자(10)의 제1 베이스부(20a)와 전기절연체(18)의 본체부(18a)의 형상 및 치수는 거의 동일해진다고 했으나, 도9에 나타낸 바와 같이, 접촉자(10a)는 전기절연체(18)가 존재하지 않는 공간 B를 제1 접촉자편(16a)의 하단부와 제2 접촉자편(16b)의 하단부 사이에 형성해도 된다. 그렇게 하면, 단자(40)와 제1 및 제2 도전성부(38a, 38b)에 다소 굴곡이 있더라도, 제1 접촉자편(16a)은 단자(40) 및 제1 도전성부(38a)에 확실하게 접촉하고, 제2 접촉자편(16b)은 단자(40) 및 제2 도전성부(38b)에 확실하게 접촉한다.Although the shape and dimensions of the first base portion 20a of the contactor 10 and the main body portion 18a of the electrical insulator 18 are substantially the same, as shown in FIG. 9, the contactor 10a is formed of an electrical insulator ( The space B in which 18) does not exist may be formed between the lower end of the first contactor piece 16a and the lower end of the second contactor piece 16b. By doing so, even if the terminal 40 and the first and second conductive portions 38a and 38b are somewhat curved, the first contact piece 16a reliably contacts the terminal 40 and the first conductive portion 38a. The second contact piece 16b reliably contacts the terminal 40 and the second conductive portion 38b.

본 발명은 상기와 같은 J자형의 접촉자뿐만 아니라 다른 형상을 갖는 접촉자에도 적용할 수 있다.The present invention can be applied not only to the J-shaped contacts as described above but also to contacts having other shapes.

도10 및 도11을 참조하면, 전기적 접속장치(82)는 S(또는 Z)자형 접촉자(84) 를 이용한다. 각 접촉자(84)는 도전성을 갖는 제1 및 제2 접촉자편(86a 및 86b)과 적어도 하나의 폴리이미드와 같은 시트형의 전기절연체(88)를 포함한다.10 and 11, the electrical connection device 82 uses an S (or Z) shaped contactor 84. Each contact 84 includes conductive first and second contact pieces 86a and 86b and a sheet-shaped electrical insulator 88 such as at least one polyimide.

접촉자(84)는 전기절연체(88)를 제1 및 제2 접촉자편(86a, 86b) 사이에 삽입한 상태로, 두께방향으로 겹쳐진다. 제1 및 제2 접촉자편(86a, 86b)은 전기절연체(88)에 도포한 접착제에 의해 접착된다.The contactor 84 is overlapped in the thickness direction with the electric insulator 88 inserted between the first and second contact pieces 86a and 86b. The first and second contact pieces 86a and 86b are adhered by an adhesive applied to the electrical insulator 88.

제1 접촉자편(86a)은 제1 베이스부(90a)와 제1 베이스부(90a)로부터 연장된 제1 연장부(92a)와 제1 베이스부(90a)에 형성된 제1 도전성 접촉부(94a)를 갖는 판형의 제1 본체부(96a)와, 제1 연장부(92a)에 형성된 제1 단자접촉부(98a)를 갖는다.The first contact piece 86a includes a first base portion 90a and a first extension portion 92a extending from the first base portion 90a and a first conductive contact portion 94a formed on the first base portion 90a. And a plate-shaped first body portion 96a and a first terminal contact portion 98a formed on the first extension portion 92a.

제2 접촉자편(86b)은 제2 베이스부(90b)와 제2 베이스부(90b)로부터 연장된 제2 연장부(92b)와 제2 베이스부(90b)에 형성된 제2 도전성 접촉부(94b)를 갖는 판형의 제2 본체부(96b)와, 제2 연장부(92b)에 형성된 제2 단자 접촉부(98b)를 갖는다.The second contact piece 86b has a second conductive portion 94b formed on the second base portion 90b and the second extension portion 92b extending from the second base portion 90b and the second base portion 90b. A plate-shaped second main body portion 96b and a second terminal contact portion 98b formed on the second extension portion 92b.

전기절연체(88)는 본체부(88a)와, 제1 단자 접촉부(98a)와 제2 단자 접촉부(98b)와의 전기적 접촉을 방지하는 접촉 방지부(88b)를 갖는다. 접촉 방지부(88b)는 본체부(88a)에 형성된다. 본체부(88a)와 베이스부(90a)의 형상 및 치수는 거의 동일해진다.The electrical insulator 88 has a main body portion 88a and a contact preventing portion 88b that prevents electrical contact between the first terminal contact portion 98a and the second terminal contact portion 98b. The contact prevention part 88b is formed in the main body part 88a. The shapes and the dimensions of the main body 88a and the base 90a become almost the same.

제1 및 제2 본체부(96a 및 96b)는 각각 제1 아치형부와 제2 아치형부를 갖는 대략 S자형의 형상을 갖는다. 또한, 제1 및 제2 단자 접촉부(98a 및 98b)는 각각 제1 아치형부의 바깥쪽에 위치하고 있다. 제1 및 제2 도전성 접촉부(94a 및 94b)는 각각 제2 아치형부의 바깥쪽에 위치하고 있다.The first and second body portions 96a and 96b have an approximately S-shape having a first arcuate portion and a second arcuate portion, respectively. Further, the first and second terminal contact portions 98a and 98b are located outside the first arcuate portion, respectively. The first and second conductive contacts 94a and 94b are located outside the second arcuate portion, respectively.

제1 및 제2의 도전성 접촉부(94a 및 94b)는 제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)에 각각 전기적으로 접촉한다. 제1 및 제2 단자 접촉부(98a 및 98b)는 접촉자(84)에 대응하는 단자(40)에 전기적으로 접촉한다.The first and second conductive contacts 94a and 94b are in electrical contact with the first and second conductive portions 38a and 38b, respectively. The first and second terminal contacts 98a and 98b are in electrical contact with the terminal 40 corresponding to the contactor 84.

전기적 접속장치(82)에 이용되고 있는 판형몸체(102)는 접촉자(84)를 수용하는 다수의 슬릿(104)을 구비한다. 각각의 슬릿(104)은 판형몸체(102)의 두께방향으로 관통하고 있으며, 또한 제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)의 길이방향으로 연장한다. 서로 인접하는 슬릿(104)은 파티션(106)에 의해 구획된다.The plate-shaped body 102 used in the electrical connection device 82 has a plurality of slits 104 for receiving the contacts 84. Each slit 104 penetrates in the thickness direction of the plate-shaped body 102 and extends in the longitudinal direction of the first and second conductive portions 38a and 38b. Adjacent slits 104 are partitioned by partition 106.

전기적 접속장치(82)는 접촉자군 마다 두개의 탄성체(44)를 이용하고 있다. 각 탄성체(44)는 파티션(106)을 관통하여 연장한다. 한 쪽의 탄성체(44)는 제1 아치형부의 안쪽에 접촉되어 있다. 다른 쪽 탄성체(44)는 제2 아치형부의 안쪽에 접촉된다.The electrical connection device 82 uses two elastic bodies 44 for each contact group. Each elastic body 44 extends through the partition 106. One elastic body 44 is in contact with the inside of the first arcuate portion. The other elastic body 44 is in contact with the inside of the second arcuate portion.

전기적 접속장치(82)는 두개의 탄성체(44)를 판형몸체(102)에 장착함과 동시에, 접촉자(84)를 양 탄성체(44)에 맞물리도록 한 상태이며, 판형몸체(102)를 기판(36)에 설치함으로써 형성할 수 있다.The electrical connection device 82 is a state in which two elastic bodies 44 are mounted on the plate body 102 and the contactor 84 is engaged with both elastic bodies 44, and the plate body 102 is attached to the substrate ( It can form by providing in 36).

형성된 상태에 있어서, 각각의 접촉자(84)는 슬릿(104)을 기울어지게 관통하여 제1 및 제2 도전성 접촉부(94a 및 94b)를 제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)에 접촉시킨다. 게다가, 각각의 접촉자(84)는 단자 접촉부(98a 및 98b)를 판형몸체(102)로부터 돌출시킨다.In the formed state, each contact 84 penetrates the slits 104 obliquely to contact the first and second conductive contacts 94a and 94b to the first and second conductive portions 38a and 38b. In addition, each contact 84 projects the terminal contacts 98a and 98b from the plate body 102.

상기 상태에서, 단자(40)가 접촉자(84)에 가압되면, 접촉자(84)는 단자(40) 와 제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)에 가압되어, 도11에 있어서 시계 방향으로 약간의 각을 이루어 회전한다. 이에 따라, 단자(40)와 제1 및 제2 도전성부(38a 및 38b)에 스크랩핑 작용을 가한다.In this state, when the terminal 40 is pressed against the contactor 84, the contactor 84 is pressed against the terminal 40 and the first and second conductive portions 38a and 38b, and clockwise in FIG. Rotate at a slight angle. Accordingly, a scraping action is applied to the terminal 40 and the first and second conductive portions 38a and 38b.

도12 및 도13을 참조하면, 접촉자(110)는 도전성을 갖는 제1 및 제2 접촉자편(112a 및 112b)과 적어도 하나의 폴리이미드와 같은 시트형의 전기절연체(130)를 포함한다.12 and 13, the contactor 110 includes conductive first and second contact pieces 112a and 112b and a sheet-shaped electrical insulator 130 such as at least one polyimide.

접촉자(110)는 전기절연체(130)를 제1 및 제2 접촉자편(112a, 112b) 사이에 삽입한 상태로 두께방향으로 겹쳐져 있다. 제1 및 제2 접촉자편(112a, 112b)은 전기절연체(130)에 도포한 접착제에 의해 접착된다.The contactor 110 is overlapped in the thickness direction with the electrical insulator 130 inserted between the first and second contact pieces 112a and 112b. The first and second contact pieces 112a and 112b are bonded by an adhesive applied to the electrical insulator 130.

제1 접촉자편(112a)은 제1 베이스부(116a)와 제1 베이스부(116a)로부터 연장된 제1 연장부(118a)와 제1 베이스부(116a)에 형성된 제1 도전성 접촉부(120a)를 갖는 판형의 제1 본체부(122a)와, 제1 연장부(118a)에 형성된 제1 단자 접촉부(124a)를 갖는다.The first contact piece 112a includes a first base portion 116a and a first extension portion 118a extending from the first base portion 116a and a first conductive contact portion 120a formed in the first base portion 116a. It has a plate-shaped 1st main-body part 122a which has the form, and the 1st terminal contact part 124a formed in the 1st extension part 118a.

제2 접촉자편(112b)은 제2 베이스부(116b)와 제2 베이스부(116b)로부터 연장된 제2 연장부(118b)와 제2 베이스부(116b)에 형성된 제2 도전성 접촉부(120b)를 갖는 판형의 제2 본체부(122b)와, 제2 연장부(118b)에 형성된 제2 단자 접촉부(124b)를 갖는다.The second contact piece 112b has a second conductive portion 120b formed on the second base portion 116b and the second extension portion 118b extending from the second base portion 116b and the second base portion 116b. It has a plate-shaped 2nd main-body part 122b and the 2nd terminal contact part 124b formed in the 2nd extension part 118b.

제1 및 제2 본체부(122a 및 122b)는 서로 평행한 2개의 직선부 L1, L2와, 양 직선부 L1, L2 사이에 형성되고 양 직선부 L1, L2를 결합하는 곡선부 L3를 갖는 대략 U자형의 형상을 갖는다.The first and second body portions 122a and 122b are approximately having two straight portions L1 and L2 parallel to each other, and a curved portion L3 formed between the two straight portions L1 and L2 and joining the two straight portions L1 and L2. It has a U-shaped shape.

제1 및 제2 연장부(118a 및 118b)는 직선부 L1의 선단부에 형성된다. 제1 및 제2 도전성 접촉부(120a 및 120b)는 직선부 L2에 형성된다. 제1 도전성 접촉부(120a)와 제2 도전성 접촉부(120b)는, 도12에 있어서, 거리를 두고 아래쪽으로 평행하게 연장하고 있다.The first and second extension portions 118a and 118b are formed at the tip of the straight portion L1. The first and second conductive contact portions 120a and 120b are formed in the straight portion L2. In FIG. 12, the first conductive contact portion 120a and the second conductive contact portion 120b extend in parallel downwards at a distance.

전기절연체(130)는 본체부(130a)와, 제1 단자 접촉부(124a) 및 제2 단자 접촉부(124b)와의 전기적 접촉을 방지하는 접촉 방지부(130b)를 갖는다. 접촉 방지부(130b)는 본체부(130a)에 형성된다. 본체부(130a)와 제1 베이스부(116a)의 형상 및 치수는 거의 동일해진다.The electrical insulator 130 has a main body portion 130a and a contact preventing portion 130b which prevents electrical contact with the first terminal contact portion 124a and the second terminal contact portion 124b. The contact prevention part 130b is formed in the main body part 130a. The shape and the dimensions of the main body 130a and the first base 116a become almost the same.

접촉자(110)의 제1 및 제2 본체부(122a 및 122b)는 대략 U자형의 형상을 가지므로, 도12에 있어서의 상하방향으로 크게 변위될 수 있다. 따라서 반도체 장치(12)가 약간 기울어진 상태에서, 단자(40)를 접촉자(110)에 가압하더라도, 반도체 장치(12)의 경사에 의해 발생하는 각 단자(40)의 스트로크(stroke)를 흡수할 수 있다.Since the first and second main body portions 122a and 122b of the contactor 110 have a substantially U-shape, they can be greatly displaced in the vertical direction in FIG. Therefore, even when the terminal 40 is pressed against the contactor 110 while the semiconductor device 12 is slightly inclined, the stroke of each terminal 40 generated by the inclination of the semiconductor device 12 can be absorbed. Can be.

본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 않는다. 예컨대, 접촉자는 아치형, コ자형, L자형, V자형, W자형 등 단순한 형상으로 형성하는 것이 가능하다. 또한, 위· 아래쪽을 상기 실시 예와 반대로 형성한 상태로 이용할 수도 있다. 그 때문에, 본 발명은 그 취지를 벗어나지 않는 한 각종 변형이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the contactor can be formed in a simple shape such as an arcuate, U-shape, L-shape, V-shape, or W-shape. In addition, it can also be used in a state in which the top and bottom are formed in the opposite manner to the above embodiment. For this reason, the present invention can be modified in various ways without departing from the spirit thereof.

Claims

A plate-shaped article having a first base portion, a first extension portion extending from the first base portion, and a first conductive contact portion pressed against one conductive portion formed on the substrate as a first conductive contact portion formed on the first base portion; 1 main body; And a first contact piece having a first terminal contact portion pressed against a terminal of the semiconductor device as a first terminal contact portion formed on the first extension portion.

A plate-shaped article having a second base portion, a second extension portion extending from the second base portion, and a second conductive contact portion formed on the substrate as a second conductive contact portion formed on the second base portion; 2 main body; And a second contact piece having a second terminal contact portion pressed against the terminal as a second terminal contact portion formed on the second extension portion. And

At least one sheet type electrical insulator disposed between the first base portion and the second base portion;

Wherein the first and second base portions insert the electrical insulator and face each other in the thickness direction thereof, and the first terminal contact portion is not electrically in contact with the second contact piece, and the second base portion is not. And the second terminal contact portion extends toward the first base portion without being in electrical contact with the first contact piece.

The method of claim 1, wherein the electrical insulator has a first contact preventing portion for preventing electrical contact between the first terminal contact portion and the second base portion and electrical contact between the second terminal contact portion and the first base portion. Contact.

3. The electrical contact of claim 2, wherein the electrical insulator is a second contact preventing part protruding into a gap formed between the first terminal contact part and the second terminal contact part, and wherein the electrical contact between the first terminal contact part and the second terminal contact part is performed. And a second contact preventing portion for preventing the contact.

4. The contactor according to claim 3, wherein the second contact preventing portion is formed in the first contact preventing portion.

The method of claim 1,

The first terminal contact portion is larger than a sum of the thickness dimension of the second main body portion and the thickness dimension of the electrical insulator in the thickness direction, and the thickness dimension of the first main body portion, the thickness dimension of the electrical insulator, and the second Has a thickness dimension equal to or less than the sum of the thickness dimensions of the main body;

The second terminal contact portion is larger than the sum of the thickness dimension of the first body portion and the thickness dimension of the electrical insulator in the thickness direction, and the thickness dimension of the first body portion, the thickness dimension of the electrical insulator, and the second portion. A contactor having a thickness dimension equal to or less than the sum of the thickness dimensions of the main body portion.

The contactor as claimed in claim 1, wherein a space is formed between the first conductive contact portion and the second conductive contact portion.

7. The contact as claimed in any one of claims 1 to 6, wherein the electrical insulator includes a pair of electrical insulating sheets facing each other, and an adhesive is disposed between the pair of electrical insulating sheets.

A device for electrically connecting a plurality of terminals of a semiconductor device and a conductive portion formed on one surface of a substrate, each of which comprises a plurality of contacts as described in any one of claims 1 to 6 and the contacts in parallel to the substrate. It includes an installation device to

The mounting apparatus is a plate-like body installed on the substrate and a plate-like body having a plurality of slits extending in a direction intersecting with the arrangement direction of the contact at intervals in the arrangement direction of the contact, and extending in the arrangement direction of the contactor At least one elastic body disposed on the plate-shaped body in a state to install the contactor on the plate-shaped body,

And the first and second terminal contacts of each contact penetrate the slit.

The method of claim 8,

The first body portion is bent in a J shape from the first terminal contact portion to the first conductive contact portion,

The second main body portion is bent in a J shape from the second terminal contact portion to the second conductive contact portion,

And the elastic body is in contact with the J-shaped bent portion of the contactor.

The method of claim 8,

The first and second body portions have an S-shape having a first arcuate portion and a second arcuate portion, respectively,

The first and second terminal contacts are respectively located outside the first arcuate portion,

The first and second conductive contacts are respectively located outside the second arcuate portion,

And the mounting apparatus has at least two elastic bodies, one of which is in contact with the inside of the first arcuate portion, and the other of which is in contact with the inside of the second arcuate portion.

The method of claim 8,

The first and second body portions have a U-shaped shape having two straight portions parallel to each other and a curved portion formed between both straight portions and joining both straight portions,

The first and second extension portions are each formed on one side of the straight portion,

And the first and second conductive contact portions are formed on the other side of the straight portion, respectively.