KR100809130B1 - 광음파 측정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 측정 장치는 측정 셀 및 기준 셀(9, 10)과, 이 셀들에게 할당된 마이크로폰(11, 12)을 각각 가진다. 상기 마이크로폰에는 전자 평가 회로(7, 8)가 연결되고, 이 평가 회로에서는 마이크로폰(11, 12) 신호의 감산이 이루어지며, 상기 광음파 측정 장치는 변조 신호를 측정 셀(9)에 공급하기 위한 방사원(5)을 또한 가진다. 여기서 방사원(5, 16)의 변조 주파수가 측정 셀(9)의 공진 주파수와 일치하며, 측정 셀과 기준 셀(9, 10)이 감지될 기체와 에어로졸의 한 단부나 두 단부 모두에서 개방된다.
측정 장치는 연기 경보 장치, 기체 경보 장치, 화재 위험 경보 장치, 또는 조합형의 연기 및 기체 경보 장치로 사용되며, 이때 감지될 관련 물질이 흡수성이고 그 결과 광음파적 효과가 나타나는 그러한 파장의 방사에 각각의 측정 셀(9)이 노출된다.

Description

광음파 측정 장치{OPTOACOUSTIC MEASURING ARRANGEMENT AND USE THEREOF}
본 발명은 기체 및 에어로졸 감지용 광음파적 측정 장치에 관한 것으로서, 이 장치에는 각각 측정 셀과 기준 셀이 내장되고, 이들 셀에 마이크로폰이 할당되어 있으며, 이 마이크로폰에 전자 평가 회로가 연결되고, 이 평가 회로에서 마이크로폰의 신호 추출이 발생하며, 측정 셀에 변조 신호를 공급하기 위한 방사원이 상기 장치에 내장되며, 이때 방사원의 변조 주파수가 측정 셀의 공진 주파수와 일치하는, 상술한 특징을 가지는 광음파적 측정 장치에 관한 것이다.
광음파적, 또는 광자음파적 효과로, 관련 기체의 농도에 직접 비례하는 크기를 가지는 음압파가, 감지될 기체의 변조광에 의한 방사에 의해 생성된다. 음압파는 기체가 광방사를 흡수하고 그 결과로 가열되기 때문에 생성된다. 이로 인해 광방사의 변조에 따라 열팽창 및 주기적 압력 변화가 생긴다. 두 셀은 통상적으로 측정 셀과 기준 셀로 불리며, 두 셀이 서로로부터 분리되고 상기 방사가 두 셀을 통과하도록 측정 장치가 구성된다(1977년 미국, 뉴욕 소재 Academic Press 사에서 출판하고 Y.H.Pao가 편집한, C.F.Dewey, Jr.의 "Opto-acoustic Spectroscopy and Detection" 47-77). 또는 셀이 상호연결되고 방사는 측정 셀만을 통과한다(Applied Optics, Vol 18, No. 23, 3959쪽에 실린 G.Busse와 D.Herboeck의 논문 "Differential Helmholz resonator as an opto-acoustic detector").
에어로졸의 감지로 그 행동은 유사하다. 왜냐하면 이들이 변조 방사를 흡수하기 때문이며, 이에 의해 변조된 열과 이 변조 압력으로부터 그 결과 에어로졸이 생성되기 때문이다. 이전에 언급한 에어로졸 측정용 광-음파적 센서는 대부분 한개의 측정 셀만을 가진 모노-센서이다. 에어로졸 측정의 경우에, 한개의 측정 셀과 한개의 기준 셀을 가지는 듀얼 센서라 불리는 두 셀을 갖춘 센서가 제시될 경우, 기준 셀이 에어로졸에 대해 차단되도록 이 센서들이 구성된다. 기준 셀에 도달하기 전에 공기를 여과시킴으로서 기준 셀의 여과가 가능하다. 공진 주파수의 엄격한 온도-의존도도 참고하여야 한다. 이는 신호 크기의 교정을 필요로한다.
이중 원리가 사용될 경우, 기체나 에어로졸에 대한 광음파적 센서의 감도가 광학적 연기 경보장치의 감도 영역에 있다. 광음파적 신호가 흡수에 의해 생성되지 방사에 의해 생성되는 것이 아니기 때문에, 큰 에어로졸은 물론 최소의 에어로졸까지도 광음파적 원리를 가지는, 미크론 범위 아래에서도 감지될 수 있었으며, 밝고 어두운 형태의 연기도 어느정도 동일한 수준으로 측정될 수 있었다. 그럼에도 불구하고, 광음파적 원리는 지금까지 연기 감지를 위해 사용되고 있지 않으며, 이는 공기 여과 및 신호 크기의 교정에 의해 요구되는 추가적 지출에 주로 기인한다.
처음에 설명한 종류의 광음파적 측정 장치는 산란광 감지기의 비용에 맞먹는 것으로, 발명에 의해 이제부터 구체화될 것이다.
이 문제는 감지될 기체나 에어로졸의 한개 이상의 단부에서 측정 셀과 기준 셀이 개방되어 있다는 점에서 발명에 따라 해결된다.
발명에 따른 광음파적 측정 장치에서, 두 셀이 감지될 기체나 에어로졸에 개방되어 있기 때문에, 연구대상인 기체나 에어로졸의 여과가 필요하지 않다. 통상적으로 센서 신호가 0이며, 방사원에 의해 방출되는 방사를 흡수하는 에어로졸이나 연소기체가 존재할 때에만, 상대적으로 간단한 전자 회로만을 필요로하는 신호가 측정 셀에 생성된다.
발명에 따른 측정 장치의 첫 번째 선호되는 실시예는, 전자 평가 회로가 차동 증폭기와 위상 감지 정류기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
발명에 따른 측정 장치의 두 번째 선호되는 실시예는, 방사원에 의해 방출되는 방사가 감지될 기체에 의해 흡수되도록 그 파장이 선택된다는 것을 특징으로 한다.
발명에 따른 장치의 세 번째 선호되는 실시예는 측정 셀에 추가하여, 제 2 포토셀이 배치되어, 에어로졸 존재 시에 이 에어로졸에 의해 유발되는 방사원의 산란 방사에 노출되는 것을 특징으로 한다.
이 방식으로 구축되는 측정 장치는 연기같은 에어로졸과 기체를 탐지할 수 있고, 따라서 연기와 기체에 대한 이중 기준 경보 장치로 사용하기에 특히 적합하다. 실제로, 특정 에어로졸이 특정 파장 범위에서 흡수되는 방식으로 상기 측정 장치가 동작하며, 에어로졸의 종류는 연소 물질에 따라 좌우된다. 그러나, 화재로 인한 연기는 목재같은 유기질 혼합물을 항상 함유하기 때문에, 그리고 유기질 물질은 전체 적외선 범위에서 흡수성이 크고 가시광선 범위에서도 흡수가 잘되기 때문에, 최적 에어로졸 감지를 위한 파장 선택이 중요하지 않다.
연기만이 감지될 경우, 이 경우에 어떤 연소 기체도 흡수성이 아닌 파장이 선택될 수 있기 때문에 제 2 포토셀이 필요하지 않다. 연기 및 기체의 감지시, 흡수 범위가 에어로졸의 흡수범위인 기체가 감지될 때 측방 포토셀이 항상 필요하다.
발명에 따른 측정 장치의 네 번째 선호되는 실시예에서는, 서로 다른 주파수에서 동작하는 두 방사원에 의해 측정 셀에 방사가 유입된다. 이 장치는 연기와 두 기체의 감지에 적합하다.
발명에 따른 측정 장치의 또다른 선호되는 실시예에서는, 두쌍의 측정 셀과 기준 셀이 양 단부가 개방된 상태로 제공되며, 그 각각의 셀은 서로 다른 길이를 가지고 따라서 서로 다른 공진 주파수를 가진다. 이때 마이크로폰이 각각의 기준 셀 쌍과 각각의 측정 셀 쌍에 제공되며, 각각의 측정 셀은 방사원에 노출된다.
두쌍의 측정 셀과 기준 셀을 가지는 측정 장치는 연기와 두 기체의 감지에 적합하다. 측정 셀과 기준 셀에 또다른 쌍을 더함으로서, 측정 장치의 감지 범위가 제 3의 기체까지 확장될 수 있다.
발명은 연기 경보장치로 상기 측정 장치를 적용하는 것에 또한 관련된다. 이 적용에서는, 감지될 에어로졸이 흡수성이고 광음파적 효과가 그 결과 생성되는, 이러한 파장의 방사에 노출되는 측정 셀을 측정 장치가 가지는 것이 특징이다.
발명은 화재 위험 경보 장치로 상기 측정 장치를 적용하는 것에 또한 관련된다. 이 적용에서는, 감지될 연소나 폭발물질이 흡수성이고 그 결과 광음파적 효과 가 생성되는, 그러한 파장이 방사에 노출되는 측정 셀을 상기 측정 장치가 가지는 것이 특징이다.
발명은 조합된 연기 및 기체 경보 장치로 상기 측정 장치를 적용하는 것에 또한 관련된다. 이 적용에서는, 감지될 연소/폭발 물질이 흡수성이고 그 결과 광음파적 효과가 생성되는, 그러한 파장의 방사에 노출되는 측정 셀이 측정 장치에 내장되는 것이 특징이며, 측정 셀에 추가하여, 에어로졸에 의해 유발되는 방사의 산란광에 노출되도록 포토셀이 배치되는 것이 또하나의 특징이다.
발명은 조합된 화재 경보 및 화재 위험 경보로 상기 측정 장치를 적용하는 것에 또한 관련된다. 이 적용에서는, 측정 장치가 두개의 측정 셀을 가지며, 그 중 한 셀은 감지될 에어로졸이나 연소 기체가 흡수성인 파장이 방사에 노출되고 다른 한 셀은 감지될 연소/폭발성 물질이 흡수성이고 그 결과 광음파적 효과가 생성되는 그러한 파장의 방사에 노출되는 것을 특징으로 한다.
도 1은 한 단부가 열린, 연기 및 기체용 공진식 광음파적 듀얼 센서의 도면.
도 2는 양쪽 단부가 모두 열린, 연기 및 기체의 공진식 광음파적 듀얼 센서의 도면.
도 3은 도 2의 듀얼 센서의 발전된 형태의 도면.
도 1에 도시되는 광음파적 측정 장치는 관식 측정 셀(1)과 관식 기준 셀(2)이 설치된, 한단부가 열린 공진식 듀얼 센서로서, 각 셀에는 마이크로폰(3, 4)이 각각 할당된다. 더우기, 방사원(5), 예를 들자면 LED가 제공되어, 특정 파장의 방사로 측정 셀(1)의 내부 공간을 노출시킨다. 방사원(5)에 추가하여, 방사원(5)에 의해 방출되는 방사의 강도를 감시하기 위해 제 1 포토셀(6)이 배치된다. 두 마이크로폰(3, 4)의 출력은 차동 증폭기(7)에 공급되고, 이때 마이크로폰 신호는 서로로부터 빼진다. 차동 증폭기(7)의 출력 신호는 위상 감지 정류기(락-인)(8)에 공급된다.
한 단부가 열린 길이 l의 관들은 공진 주파수 vk를 가지며, 이는 다음과 같이 주어진다.
vk = c(2k+1)/(4l)
(k = 0, 1, 2, 3,...; c = 대기에서 음파의 속도)
길이 l이 2cm일 때, 공진 주파수 v0는 4.1kHz가 된다. 관의 양 단부가 열린 경우 이 공진 주파수는 두배가 된다. 따라서 관에 정상파가 발생하고, 한 단부가 열린 관의 경우 압력 마디(= 모션 노드)가 닫힌 단부에서 발생하고, 압력 노드(= 모션 마디)가 열린 단부에서 발생한다. 양 단부가 열린 관의 경우, 압력 마디가 관의 중심에 위치하고, 모션 마디가 각각의 열린 단부에 위치한다.
방사원(5)은 변조된 방사를 측정 셀(1)에 방사하며, 방사원(5)의 변조 주파수는 측정 셀의 공진 주파수와 일치한다. 측정 셀(1)이 에어로졸을 함유하고 있으면, 이는 변조 방사를 흡수하여 변조 열을 생성한다. 변조 열은, 측정 셀 내 공기 열(air column)이 진동으로 여기되는 결과로, 변조 압력을 생성하고, 따라서 측정 셀(1)의 공진 주파수의 음(즉, 소리)을 생성한다. 그 결과, 측정 셀의 공기 열(air column)이 발진 상태로 여기된다. 측정 셀(1) 내에 기체가 존재하는 경우에도 마찬가지로 적용된다. 정상파의 압력 마디 위치에 놓이는 마이크로폰(3)은 관의 진동(=음)을 측정한다. 마이크로폰(3)이 측정 셀(1)의 공진 주파수와 일치하는 음을 측정하자마자, 측정 셀(1) 내에 에어로졸이나 기체가 존재함을 파악할 수 있다.
산란광 연기 경보 장치에 비해, 설명되는 측정 장치는 어두운 에어로졸과 밝은 에어로졸에 동등하게 반응한다. 어두운 에어로졸의 경우 방사원(5)의 방사가 입자와 충돌할 때 더 많이 흡수되기 때문에, 어두운 에어로졸은 큰 신호를 생성한다. 그리고 밝은 에어로졸은 마찬가지로 큰 신호를 생성한다. 왜냐하면, 밝은 입자에서 방사가 여러번 반사되며 전체적으로 큰 정도로 흡수되기 때문이다. 더욱이, 광음파 센서는 대형 에어로졸과 미크론 범위 미만의 매우 작은 에어로졸에 반응한다. 왜냐하면 광음파 신호가 흡수에 의해 발생되지 산란에 의해 발생되는 것이 아니기 때문이다.
마이크로폰(3)은 측정 셀(1)의 공진 진동만을 측정하는 것이 아니라, 간섭을 유발할 수 있는 방안의 모든 잡음까지도 측정한다. 이 간섭은 기준 셀(2)과 마이크로폰(4)에 의해 제거된다. 기준 셀(2)이 방사원의 방사에 노출되지 않기 때문에, 마이크로폰(4)은 방사원에 의해 생성되는 어떤 진동도 측정할 수 없으나, 방안의 잡음을 독점적으로 측정한다. 기준 마이크로폰(4)의 신호들은 차동 증폭기(8)에서 측정 마이크로폰(3)의 신호로부터 빼진다. 따라서, 방안의 잡음이 제거된다. 두 마이크로폰에 대해 동일한 효과를 가지는 진동들이 마찬가지로 제거된다. 두 셀, 즉, 측정 셀과 기준 셀이 양 단부에서 모두 열릴 수도 있다.
양 단부가 모두 열린 측정 셀(9), 양 단부가 모두 열린 기준 셀(10), 측정 마이크로폰(11), 그리고 기준 마이크로폰(12)을 포함하는 이러한 장치가 도 2에 도시된다. 방사원(5)과 측정 셀(9) 사이의 영역에 놓이는 제 2 포토셀(13)이 도 2에 또한 도시된다. 제 2 포토셀(13)의 위치는 다음과 같이 선택된다. 즉, 방사원(5)과 측정 셀(9)간 영역에 입자가 존재할 때, 이 입자들에 의해 생성되는 방사원(5) 방사의 산란광 일부가 포토셀(13)에 들어오도록 상기 제 2 포토셀(13)의 위치가 선택된다. 제 2 포토셀(13)에 의해, 에어로졸과 기체간에 구분이 이루어진다. 측정 셀(9)과 제 2 포토셀(13) 둘 모두가 한 신호를 운반할 경우, 에어로졸이 존재한다. 측정 셀(9)만이 신호를 운반할 경우, 기체나 매우 작은 에어로졸, 따라서 비-산란 에어로졸이 존재한다.
방안의 잡음과 진동의 억제를 없앨 수 있다면, 원칙적으로, 기준 셀(10)과 기준 셀(10)에 할당된 마이크로폰(12)이 없는 측정 장치가 적절할 수 있다. 이러한 장치에서 방사원(5)의 파장이 CO2 라인 상에 놓일 경우, 측정 장치는 한편으로 연소 기체 CO2의 농도를 , 다른 한편으로 에어로졸의 농도를 매우 민감하게 측정할 것이다.
도 1과 2에 도시되는 측정 장치는 기체 경보 장치, 연기(에어로졸) 경보 장치, 조합형 기체 및 연기 경보 장치로 설계될 수 있고, 화재 경보 장치나 화재 우험 경보 장치와 같은 여러 가지 형태로 사용될 수 있다. 화재 경보 장치는 연기나 연소물질, 또는 화재를 특징으로 하는 물질을 감지한다. 화재 위험 경보 장치는 한편으로 에어로졸을 감지함으로서, 또는 화재에서 발생하는 물질을 감지함으로서, 기존 화재를 감지한다. 다른 한편으로, 화재 위험 경보 장치는 화재에서 발생하는 독성 물질을 감지하며, 공기속에 연소 물질의 존재를 감지함으로서 가능한 화재나 가능한 폭발의 위험을 인지한다.
화재를 특징으로 하는 물질들에는 CO2, CO, NO, NO2, SO2, NH3, HCl, HF, HCN, 아민 및 아미드, 탄화수소를 함유한 화합물, C, O, H, 에어로졸이 있다. 연소 물질은 일반적으로 탄화수소이다. 특히 CH4, C2H6, C4H10 , C2H2, C2H4가 있고, 일반적 용매, 즉, 알콜, 에테르, 케톤, 알데히드, 아민 및 아미드, 그리고 특히 메탄올, 에탄올, n-프로파놀, 디에틸에테르, 아세톤 등이 있다. 화재 위험 경보 장치가 감지해야할 다른 연소 물질로는 C, O, H를 내장한 혼합물과 카르볼식산이 있다. 독성 물질은 CO2, CO, NO, NO2, SO2, NH3, HCl, HF, HCN, H2 S, 니트릴(nitriles), 포스포릭 에스테르, 메르캅탄 그리고 할로겐 화합물이 있다.
대기중에서 음파의 속도는 온도에 따라 변하며 섭씨 -20도에서 섭씨 70도까지 화재 경보의 온도범위에서 30%까지 변화할 수 있다. 물증기가 음파의 속도에 영향을 미치며, 공진 주파수에 영향을 미친다. 이 영향들을 제거하기 위해, 공진 주파수의 대강의 범위와 대기 중 수증기 함량을 변화시킴으로서 주파수 범위의 추가적 확장은 본 범위에서 변화하는 방사원의 변조 주파수와 온도 측정으로 연산될 수 있다.
또다른 추가적인 교란은 공진 주파수와 일치하는 상온에서의 주파수로 구성된다. 이러한 주파수는 두 셀을 진동으로 여기시키지만, 차동 회로에 의해 0으로 빼질 수는 없다. 왜냐하면, 측정 셀(1, 9)의 중심으로부터 기준 셀(2, 10) 중심까지의 거리로 인해, 시간 편이를 가지는 셀들과 충돌하고 이 셀들을 작은 위상 편이를 가지는 진동으로 여기시키기 때문이다. 이 위상 편이는 가장 낮은 공진 주파수에 의해 최소화될 수 있다. 왜냐하면, 간섭하는 음향 주파수가 큰 음향 파장을 가지며, 위상 편이가 작아지기 때문이다. 또는, 기준 셀(2, 10)의 신호가 별도로 측정될 수 있고, 외부로부터에서만 발생할 수 있는 신호가 기준 셀에 충돌할 때 측정 장치의 경보 한도가 증가될 수 있다.
추가적인 잠재적 교란 변수는 셀의 서로 다른 길이에 있다. 이 교란 변수는 두 셀 중 하나의 공진 주파수를 측정함으로서, 그리고 이에 따라 나머지 셀의 길이르 기계적으로 변화시킴으로서 제거될 수 있다. 기준 셀의 공진 주파수도 역시 측정될 수 있고 방사원(5)은 다음과 같이 위치할 수 있다. 즉, 그 위치가 측정 셀의 공진 주파수에 영향을 미치고 기준 셀과 일치하는 위치에 놓이도록 방사원(5)이 위치할 수 있다.
또다른 확인 사항으로, 모든 환경 조건 하에서 발생하는, 측정 셀(1, 9)의 벽 내 방사원에 의해 생성되는 0 신호를 이용하여 마이크로폰 감도를 감시하는 것이 추천된다.
연기와 한가지 기체의 측정/감지를 위해 도 1과 2에서 설명되는 장치는 추가적인 기체의 측정/감지를 위한 한쌍의 셀에 의해 확장될 수 있다. 도 3에 따라, 추가적 측정 셀(14), 추가적 기준 셀(15), 그리고 추가적 방사원(16)이 제공되며, 이때 측정 셀(9)은 에어로졸과 제 1 기체를 측정하고 측정 셀(14)은 제 2 기체를 측정한다. 두 측정 셀(9, 14)과 두 기준 셀(10, 15)은 서로 다른 길이를 가지며 따라 서 서로 다른 공진 주파수를 가진다. 그리고 두 측정 셀은 서로 다른 파장의 방사원(5, 16)으로부터의 방사에 노출된다. 두개의 서로 다른 공진 주파수는 단 한개의 측정 마이크로폰(11)으로 측정될 수 있다. 마찬가지로, 방사원(5, 16)의 방사를 감시하기 위해서 오직 한개의 기준 마이크로폰(12)과 오직 한개의 단일 포토셀(6)만이 필요하다.
측정 셀과 기준 셀들은 다음의 크기를 가진다. 예를 들자면, 측정 셀(9)과 기준 셀(10)은 각각 길이 2cm, 공진 주파수 8.2kHz. 측정 셀(14)과 기준 셀(15)은 각각 길이 2.2cm, 공진 주파수 7.6kHz.
따라서, 방사원(5)의 변조 주파수는 8.2kHz이고 방사원(16)의 변조 주파수는 7.6kHz이다. LED가 방사원으로 사용된다.
제 2 기체의 탐지를 위한 추가적 비용은 제 2 방사원을 위한 제 2 셀 쌍의 비용뿐이다. 제 3 기체의 감지를 위한 확장은 오직 한개의 추가적 셀 쌍과 추가적 방사원만을 필요로한다.
두 방사원(5, 16)에 의해 동시에 방사되는 서로 다른 길이의 측정 셀 및 기준 셀(9, 10;, 14, 15) 두 쌍 대신에, 또한가지 실시예에서는 두개의 방사원(5, 16)이 도 2의 한개의 셀 쌍의 측정 셀(9)에 방사될 수 있고, 이 방사원(5, 16)들은 서로 다른 주파수에서 동작할 수 있다. 예를 들어, 방사원(5)은 기본 주파수에서, 방사원(16)은 제 1 고조파 주파수에 놓일 수 있다. 결과적으로 도 3의 배열에 비해, 반수의 셀과 마이크로폰만이 필요하고 그만큼 비용이 절감된다.
한단부나 두 단부 모두가 개방된 공진 광음파 듀얼 센서와는 달리, 닫혀진 형태의 비공진식 듀얼 센서(EP-A-0 855 592)가 역시 공지되어 있다.이는 에어로졸과 기체들의 탐지가 이 장치로 가능하도록 만들어질 수 있다. EP-A-0 855 592 호에 도시되는 바와 같이, 이 광음파 듀얼 센서는 측정 셀과 기준 셀을 내장하며, 각각의 셀은 방사원과, 격막에 의한 환경에 대해 밀폐된다. 기체는 격막을 지나 셀을 투과할 수 있다. 측정 마이크로폰과 기준 마이크로폰이 제공되며, 기준 마이크로폰은 감지될 기체/에어로졸의 고아음파 신호에 대해 차단된다. 에어로졸 입자가 셀을 투과할 수 있도록, 격막의 구멍 크기가 이에 따라 증가한다.
그러나 그 결과, 500Hz 미만의 주파수용 격막이 소리면에서 부드럽고, 셀에 구축된 압력이 더 이상 가능하지 않으며, 감도는 크게 감소한다. 변조 주파수를 몇 킬로헤르쯔까지 증가시킴으로서, 격막들은 소리면에서 딱딱해지고 감도가 더 이상 감소하지 않는다. 기준 신호를 별도로 측정함으로서 격막의 어떠한 전파방해도 감시될 수 있고, 이는 베이스 잡음 레벨을 제공하고 그 감도는 이 베이스 수주의 도움으로 교정될 수 있다. 방사원의 파장이 CO2 라인에 위치하면, 측정 장치는 CO2 연소 기체의 농도를 매우 민감하게 측정할 것이다. 그러나 다른 한편으로, 셀룰로스와 탄소화 셀룰로스 입자가 전체 적외선 범위에서 흡수성이 강하기 때문에 에어로졸의 농도가 매우 민감하게 측정된다. 셀당 부피는 대략 2x2x2cm3이다.

Claims (15)

  1. 측정 셀 및 기준 셀(1, 9, 14 및 2, 10, 15)과, 이 셀들에게 할당된 마이크로폰(3, 11 및 4, 12)을 각각 가지는, 기체와 에어로졸의 감지를 위한 광음파 측정 장치로서,
    상기 마이크로폰에는 전자 평가 회로(7, 8)가 연결되고, 이 평가 회로에서는 마이크로폰(3, 11 및 4, 12) 신호의 감산이 이루어지며,
    상기 광음파 측정 장치는 변조 신호를 측정 셀(1, 9, 14)에 공급하기 위한 방사원(5, 16)을 또한 가지며, 여기서 방사원(5, 16)의 변조 주파수가 측정 셀(1, 9, 14)의 공진 주파수와 일치하며,
    측정 셀과 기준 셀(1, 9, 14 및 2, 10, 15)이 감지될 기체와 에어로졸에 대한 한 단부나 두 단부 모두에서 개방되며,
    방사원(5, 16)에 의해 방출되는 방사의 파장은 감지될 기체에 의해 흡수되도록 선택되고,
    측정 셀(9, 14)에 추가하여, 에어로졸이 존재하는 경우에, 이 에어로졸에 의해 유발되는 방사원(5, 16)의 산란 방사에 노출되는 제 2 포토셀(13)이 배치되는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 전자 평가 회로는 차동 증폭기(7)와 위상 감지 정류기(8)를 포함하는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 방사원(5, 16)에 의해 방출되는 방사 강도를 감시하기 위한 제 1 포토셀(6)이 방사원(5, 16) 영역 내에 놓이는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서, 측정 셀(9)은 서로 다른 주파수에서 동작하는 두 방사원(5, 16)에 노출되는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 방사원(5) 중 하나가 기본 주파수에서 동작하고 다른 하나는 제 1 고조파 주파수에서 동작하는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
  8. 제 4 항에 있어서, 두 단부에서 모두 개방된 두 쌍의 측정 셀과 기준 셀(9, 14; 10, 15)이 제공되고, 각각의 셀은 서로 다른 길이를 가지고 따라서 서로 다른 공진 주파수를 가지며, 각각의 기준 셀과 각각의 측정 셀 쌍(9, 14; 10, 15)에 마이크로폰(11, 12)이 할당되고, 각각의 측정 셀(9, 14)은 방사원(5, 16)에 노출되는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 주변 온도를 측정하기 위한 센서가 제공되고, 측정된 주변 온도에 대응하는 주파수 범위로 방사원(5, 16)의 변조 주파수를 조절하고 이 주파수 범위 내에서 변조 주파수의 시간-편이가 발생하는 것을 특징으로 하는 광음파 측정 장치.
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