KR100808553B1 - Jet knife for spraying liquid - Google Patents

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    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/044—Slits, i.e. narrow openings defined by two straight and parallel lips; Elongated outlets for producing very wide discharges, e.g. fluid curtains

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Abstract

A jet knife for spraying liquid is provided to improve production efficiency and reliability by jetting the liquid over the whole range at uniform pressure and uniform flow. In a jet knife(100) for spraying liquid on an object, an inclined structure of the predetermined length gradually tapered toward the lower side is formed at the lower part of a pair of bodies(110) divided and combined with each other. A supply pipe(120) having discharge holes(121) supplying liquid to the inside of the body is inserted into a pipe mounting hole. A flow path(140) is formed around the pipe mounting hole. A diffusing and distributing space(150) extended to the lower side of the flow path and a line spraying port(160) jetting the diffused and distributed liquid communicate with each other.

Description

액체 분사용 제트나이프{JET KNIFE FOR SPRAYING LIQUID}Jet Knife for Liquid Injection {JET KNIFE FOR SPRAYING LIQUID}

본 발명은 액 분사를 위한 분사노즐의 기술에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 직선의 라인분사방식으로 설계하여 하나의 장비로 액 분사를 폭넓게 수행할 수 있도록 함은 물론 전체적으로 균일한 압력 및 유량으로 액 분사를 처리할 수 있도록 한 액체 분사용 제트나이프에 관한 것이다.The present invention relates to a technique of a spray nozzle for liquid injection, and more particularly, it is designed in a straight line injection method to enable a wide range of liquid injection with a single equipment, as well as liquid at a uniform pressure and flow rate as a whole The present invention relates to a jet knife for dispensing liquid, which can handle injection.

종래 일반적으로 사용되는 액체 분사용 노즐은 피대상물에 화학약품이나 기타 액체를 분사하는 경우 일부 국소적인 분사구조를 수행하도록 구성되는 것이 대부분이며, 피대상물이 폭넓은 면을 형성하는 경우에는 다수개의 노즐을 일정간격으로 배치하여 사용하여야 하는 문제점이 있었다.Conventionally used liquid jet nozzles are generally configured to perform some local jet structure when chemicals or other liquids are sprayed onto the object, and a plurality of nozzles when the object forms a broad surface. There was a problem that should be used to arrange at regular intervals.

또한, 종래의 액체 분사용 노즐은 피대상물에 액체를 분사하는 경우 중앙부분에서 분사되는 액체의 압력 및 유량이 강하고 좌우 옆부분은 중앙에 비해 상대적으로 압력 및 유량이 약하게 분사되는 문제점이 있어 전체적으로 일정한 압력 및 유량의 분사가 요구되는 곳에 적용이 어렵고, 설령 적용이 이루어진다 하더라도 분사의 압력 및 유량의 편차에 의해 생산되는 제품의 불량을 발생시키는 요인이 되고 있으며, 반도체 등 정밀분야에는 적용이 더욱 난해하게 되므로 생산 효율성 및 제품 신뢰성을 추구할 수 없어 응용범위를 넓힐 수 없는 문제점이 있었다.In addition, the conventional liquid injection nozzle has a problem in that the pressure and flow rate of the liquid injected from the central portion is strong when the liquid is injected to the object, and the pressure and flow rate are weakly injected relative to the center portion, so the overall constant It is difficult to apply where the injection of pressure and flow rate is required, and even if the application is made, it is a factor that causes the defect of the product produced by the variation of the pressure and flow rate of injection. Therefore, the production efficiency and product reliability could not be pursued, there was a problem in that the application range could not be widened.

나아가, 종래의 액체 분사용 노즐은 청소를 수행하기가 용이하지 못한 문제점이 있었다.Furthermore, the conventional liquid jet nozzle has a problem that it is not easy to perform the cleaning.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것이며, 직선의 라인분사방식으로 설계하여 하나의 장비로 액 분사를 폭넓게 수행할 수 있도록 함은 물론 전체적으로 균일한 압력 및 유량으로 액 분사를 처리할 수 있도록 한 액체 분사용 제트나이프를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and designed in a straight line injection method to enable a wide range of liquid injection with a single equipment, as well as to process the liquid injection at a uniform pressure and flow rate as a whole It is an object of the present invention to provide a jet knife for dispensing liquid.

또한, 본 발명은 결합 및 분리가 가능한 구성으로 하여 유지관리 및 청소의 용이함을 갖도록 하는 액체 분사용 제트나이프를 제공하는데 있다.In addition, the present invention is to provide a liquid jet jet knives to have a configuration that can be combined and separated to facilitate the maintenance and cleaning.

본 발명은 액체를 피대상물에 분사하기 위한 장치를 구성함에 있어서,The present invention provides a device for injecting a liquid onto an object,

이분되어 결합되는 한쌍의 몸체로 일정한 길이를 갖되 결합된 몸체의 하부로는 하측방향으로 갈수록 테이퍼지는 경사구조를 가지며, 상기 몸체의 내부에 분사용 액체를 공급하기 위하여 구비되는 배출공을 갖는 공급파이프가 삽입되도록 파이 프장착홀이 형성되고 상기 파이프장착홀의 둘레에 흐름경로가 형성되며 상기 흐름경로의 하측으로 이어지는 확산분배공간과 확산 분배된 액체의 분출을 위한 라인분사구가 연통 형성되는 구성을 특징으로 한다.A pair of body is divided into two pairs having a constant length, but the lower portion of the coupled body has a tapered tapered toward the lower direction, the supply pipe having a discharge hole provided for supplying a liquid for injection into the body A pipe mounting hole is formed so that the pipe is inserted therein, and a flow path is formed around the pipe mounting hole, and a diffusion pipe space for communicating with the lower side of the flow path and a line injection port for ejecting the dispersed liquid are formed. do.

이때, 상기 공급파이프에 형성되는 다수의 배출공은 공급파이프의 도입부분에서 끝부분으로 갈수록 배치간격을 점진적으로 넓게 형성시켜 균일한 유량의 배출이 이루어지도록 구성되게 한다.At this time, the plurality of discharge holes formed in the supply pipe is formed so that the discharge interval of the uniform flow rate is formed by gradually forming a wider interval from the introduction portion of the supply pipe toward the end.

본 발명은 직선의 라인분사를 수행하도록 한 구성으로 하나의 장비로 길이방향에 대한 액 분사를 폭넓게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 전 구간에 걸쳐 전체적으로 균일한 압력 및 유량으로 액 분사를 처리할 수 있어 생산 효율성 및 신뢰성 향상을 추구할 수 있게 하며, 응용범위를 넓힐 수 있고 결합 및 분리가 가능한 구성으로 유지관리는 물론 청소를 용이하게 실시할 수 있다.The present invention is not only capable of performing a wide range of liquid injection in the longitudinal direction with a single equipment in a configuration to perform a straight line injection, it can produce a liquid injection at a uniform pressure and flow rate throughout the entire section In addition to improving efficiency and reliability, it is possible to expand the scope of application and to easily combine the maintenance and the cleaning with the configuration that can be combined and detached.

본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에서와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 액체 분사용 제트나이프(100)는 이분되어 결합되는 한쌍의 몸체(110)로 일정한 길이를 갖되 결합된 몸체(110)의 하부로는 하측방향으로 갈수록 테이퍼지는 경사구조를 가지며, 상기 몸체(110)의 내부에 분사용 액체를 공급하기 위하여 구비되는 배출공(121)을 갖는 공 급파이프(120)가 삽입되도록 파이프장착홀(130)이 형성되고 상기 파이프장착홀(130)의 둘레에 흐름경로(140)가 형성되며 상기 흐름경로(140)의 하측으로 이어지는 확산분배공간(150)과 상기 확산분배공간(150)에 의해 확산 분배되어지는 액체의 분출을 위한 라인분사구(160)가 연통 형성되는 구성으로 이루어진다.As shown in Figure 1 and 2, the liquid jet jet knife 100 according to an embodiment of the present invention is a pair of body 110 is divided into two to have a constant length but the lower portion of the combined body 110 The pipe mounting hole 130 has an inclined structure tapered toward the lower direction, and the supply pipe 120 having a discharge hole 121 is provided to supply the liquid for injection into the body 110. Is formed and the flow path 140 is formed around the pipe mounting hole 130 and is diffused and distributed by the diffusion distribution space 150 and the diffusion distribution space 150 leading to the lower side of the flow path 140 The line injection port 160 for ejecting the losing liquid is formed in communication.

상기 공급파이프(120)에 형성된 다수의 배출공(121)은 공급파이프의 도입부분에서 끝부분으로 갈수록 배치간격을 점진적으로 넓게 형성시키는 구성으로 함이 바람직하며, 이는 공급파이프(120)가 일정길이를 갖는 몸체(110)에 맞게 대응하는 길이로 형성되므로 시작부분에 비해 끝부분에서 배출압력이 가장 높게 형성되는데 이러한 배출압력을 공급파이프(120)의 전체 구간에 걸쳐 고르게 형성시킬 수 있도록 함으로써 배출공(121)을 통하여 균일한 유량을 배출하여 공급될 수 있도록 하기 위함이다.The plurality of discharge holes 121 formed in the supply pipe 120 is preferably configured to form a gradually wider spacing from the introduction portion of the supply pipe toward the end, which is a constant length of the supply pipe 120 Since the discharge pressure is formed to be the highest in the end portion compared to the start portion is formed in a corresponding length to fit the body 110 having a discharge hole by allowing this discharge pressure to be formed evenly over the entire section of the supply pipe 120 This is to allow a uniform flow rate to be supplied through 121.

상기 이분구조를 갖는 한쌍의 몸체(110)는 상하측으로 볼트(미 도시됨)를 체결함에 의해 상호 결합되며, 상기 몸체(110)의 내부 하측에 형성시킨 확산분배공간(150)은 몸체(110)에 체결력을 제공하는 볼트로 인하여 흐름경로(140)를 통하여 하향 이송되는 액체의 진행방향이 방해될 수 있음을 고려하여 분사되기 직전에 액체를 확산시키고 분배하는 확산영역을 제공하기 위한 것으로서 동일직선상에 하나의 분사라인으로 형성시킨 라인분사구(160)의 전체 구간으로 액체를 고르게 분포시키는 기능을 하게 함과 아울러 협소해진 분사출구(160)를 통해 일정한 압력 및 유량으로 액체를 분사시킬 수 있도록 구성한 것이다.The pair of bodies 110 having the dichotomy structure are mutually coupled by fastening bolts (not shown) to the upper and lower sides, and the diffusion distribution space 150 formed in the lower side of the body 110 is the body 110. In order to provide a diffusion region for diffusing and dispensing the liquid just before being injected in consideration of the fact that the bolt providing the fastening force to the flow path may impede the direction of the liquid conveyed downward through the flow path 140. It is configured to distribute the liquid evenly to the entire section of the line injection port 160 formed as a single injection line in the injection to the liquid through a narrow injection outlet 160 at a constant pressure and flow rate .

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 직선 라인분사를 위한 나이프타입의 액 체 분사용 제트나이프(100)의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the knife-type liquid jet jet knife 100 for straight line injection of the present invention having such a configuration as follows.

공급파이프(120)로부터 피대상물에 분사 처리하기 위한 분사용 액체가 공급되어지면, 공급되는 액체는 공급파이프(120)의 상부에 위치되고 점진적인 간격 배치를 갖도록 한 다수의 배출공(121)을 통해 길이방향에 걸쳐 균일한 유량으로 배출되면서 흐름경로(140)를 타고 자연스럽게 하측으로 이동하게 되며, 흐름경로(140)를 통과한 공급 액체는 하측에 구비된 확산분배공간(150)에 유입되면서 확산됨과 동시에 분배되어 길이방향으로 직선의 분사라인을 갖는 라인분사구(160)의 전체 구간으로 고른 분포가 이루어지게 되며, 최종적으로 라인분사구(160)의 협소해진 공간을 통해 일정한 압력 및 유량으로 길이방향에 대하여 직선의 라인분사가 수행됨으로써 피대상물에 분사되어진다.When the injection liquid for injection treatment is supplied from the supply pipe 120 to the object, the supplied liquid is positioned above the supply pipe 120 and through a plurality of discharge holes 121 having a gradual spacing arrangement. While being discharged at a uniform flow rate in the longitudinal direction, the flow path 140 naturally moves downward, and the supply liquid passing through the flow path 140 diffuses while entering the diffusion distribution space 150 provided at the lower side. It is distributed at the same time and evenly distributed to the entire section of the line injection port 160 having a straight injection line in the longitudinal direction, and finally with respect to the longitudinal direction at a constant pressure and flow rate through the narrow space of the line injection port 160 Straight line injection is performed to spray the object.

부연하면, 본 발명의 제트나이프(100)는 도 3에서 보여주는 특성그래프에서와 같이, 균일한 압력 및 유량으로 분사 처리하는 특성을 발휘하게 되며, 피대상물의 전체 면에 동일한 타격력으로 직선의 라인분사를 수행하게 되는 구성으로 중앙부분과 옆부분의 분사 편차를 갖는 기존의 분사노즐에 비해 보다 정밀한 분사를 가능하게 하고 하나의 장비로 액체의 균일한 분사는 물론 길이방향에 대한 폭넓은 분사를 가능하게 한다.In other words, the jet knife 100 of the present invention exhibits the property of spraying at a uniform pressure and flow rate, as shown in the characteristic graph shown in FIG. 3, and is a straight line injection with the same impact force on the entire surface of the object. In this configuration, it is possible to perform more precise spraying than the conventional spray nozzles with the spray deviation of the center and side parts. do.

또한, 본 발명의 제트나이프(100)는 결합 및 분리가 가능한 이분구조를 갖는 한쌍의 몸체(110)로 구성함에 의해 유지관리는 물론 청소의 용이함을 제공할 수 있다.In addition, the jet knife 100 of the present invention can provide easy maintenance and cleaning by being composed of a pair of body 110 having a bipartite structure that can be combined and separated.

따라서, 본 발명의 제트나이프는 반도체의 정밀분야는 물론 기타 산업분야에 폭넓게 활용할 수 있으며, 특히 생산 효율성과 신뢰성을 향상시킬 수 있고 균일한 품질의 생산을 원하는 곳에 두루 적용하여 사용할 수 있다 할 것이다.Therefore, the jet knife of the present invention can be widely used in the precision field of semiconductors as well as other industrial fields, and in particular, it is possible to improve production efficiency and reliability, and to apply it to a desired place for production of uniform quality.

도 1은 본 발명에 의한 제트나이프의 구성을 보인 분해 사시도.1 is an exploded perspective view showing the configuration of a jet knife according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 도 1의 결합상태 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view of the coupled state of Figure 1 according to the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 제트나이프의 분사특성을 나타낸 도면.3 is a view showing the injection characteristics of the jet knife according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 제트나이프 110: 몸체100: jet knife 110: body

120: 공급파이프 121: 배출공120: supply pipe 121: discharge hole

130: 파이프장착홀 140: 흐름경로130: pipe mounting hole 140: flow path

150: 확산분배공간 160: 라인분사구150: diffusion distribution space 160: line injection port

Claims (2)

액체를 피대상물에 분사하기 위한 장치를 구성함에 있어서,In constructing an apparatus for spraying a liquid onto an object, 이분되어 결합되는 한쌍의 몸체(110)로 일정한 길이를 갖되 결합된 몸체(110)의 하부로는 하측방향으로 갈수록 테이퍼지는 경사구조를 가지며, 상기 몸체(110)의 내부에 분사용 액체를 공급하기 위하여 구비되는 배출공(121)을 갖는 공급파이프(120)가 삽입되도록 파이프장착홀(130)이 형성되고 상기 파이프장착홀(130)의 둘레에 흐름경로(140)가 형성되며 상기 흐름경로(140)의 하측으로 이어지는 확산분배공간(150)과 확산 분배된 액체의 분출을 위한 라인분사구(160)가 연통 형성되는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 분사용 제트나이프.It is divided into two pairs of body 110 has a constant length but the lower portion of the coupled body 110 has a tapered inclined structure toward the lower side, to supply the liquid for injection into the body 110 A pipe mounting hole 130 is formed to insert a supply pipe 120 having a discharge hole 121 provided therein, and a flow path 140 is formed around the pipe mounting hole 130 and the flow path 140. The jet knife for liquid injection, characterized in that consisting of a diffusion distribution space 150 leading to the lower side and the line injection port 160 for the ejection of the diffusion liquid is formed in communication. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공급파이프(120)에 형성된 다수의 배출공(121)은 공급파이프의 도입부분에서 끝부분으로 갈수록 배치간격을 점진적으로 넓게 형성시키는 것을 특징으로 하는 액체 분사용 제트나이프.The plurality of discharge holes 121 formed in the supply pipe 120 is a jet knife for liquid injection, characterized in that to form a gradually wider interval from the introduction portion of the supply pipe toward the end.
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