KR100806566B1 - 어레이 테스트 장비 - Google Patents

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KR100806566B1
KR100806566B1 KR1020070091721A KR20070091721A KR100806566B1 KR 100806566 B1 KR100806566 B1 KR 100806566B1 KR 1020070091721 A KR1020070091721 A KR 1020070091721A KR 20070091721 A KR20070091721 A KR 20070091721A KR 100806566 B1 KR100806566 B1 KR 100806566B1
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방규용
김희근
김정욱
홍상현
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 발명은 어레이 테스트 장비를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비는 테스트용 패널에 구비된 전극들의 결함 여부를 검출하는 것으로서, 테스트용 패널의 일측에 위치한 광원과; 상기 광원과 테스트 패널의 사이에 배치되며, 상기 광원 쪽으로부터 순서대로, 상기 패널 전극들과 이격 배치되어 상기 패널 전극들과 전기장을 형성할 수 있는 모듈레이터 전극부와, 상기 모듈레이터 전극부와 패널 전극 사이에 배치된 것으로 상기 모듈레이터 전극부와 패널 전극 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 광의 통과량이 변경되는 전광 물질부를 구비하는 모듈레이터와; 상기 테스트용 패널을 사이에 두고 상기 광원부의 반대측에 배치되어, 상기 패널로 입사된 광을 다시 패널로 반사하는 반사 부재와; 상기 반사 부재에 반사되어 모듈레이터를 관통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 결함 검출부;를 구비한다.

Description

어레이 테스트 장비{An array tester}
본 발명은 어레이 테스트 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전광 기기용 모듈레이터를 구비하여 패널 전극의 결함 여부를 테스트하는 어레이 테스트 장비에 관한 것이다.
어레이 테스트 장비는, 전광 장치를 이루는 패널의 전극에 전기적 결함이 있는지 여부를 검사하는 장비이다. 이 경우 전광 장치를 이루는 패널이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes)등의 평판 디스플레이 패널 등의 전기적 신호를 인가받아서 광을 방사할 수 있는 장치를 이루는 패널을 의미한다.
미국특허 6,151,153호에 기재된 종래의 어레이 테스트 장비(10)가 도 1에 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 어레이 테스트 장비(10)가 광원(20)과, 모듈레이터(30)와, 카메라(40)를 구비한다.
상기 광원(20), 모듈레이터(30) 및 카메라(40)는 테스트할 패널의 일측(도면에서는 상측)에 위치하고 있다. 이 경우 모듈레이터(30)는 패널(2)의 전극(4)으로부터 순차적으로 반사층(32), 전광 물질부(34), 전극부(36) 및 투명 기저부(38)가 형성된다. 상기 반사층(32), 전광 물질부(34), 전극부(36) 및 투명 기저부(38)는 외곽부(39)에 의하여 보호될 수 있다.
이러한 구조의 테스트 어레이 장비에서의 전극 결함을 검출하는 과정을 살펴보면, 먼저 광원(20)으로부터의 빛이 미러(22), 빔 스플리터(beam splitter)(23), 및 반사방지 코팅(ARS) 부재(24)를 통과하여 모듈레이터(30)로 입사된다. 상기 모듈레이터(30)로 입사된 빛은 전광 물질부(34)를 거쳐 반사층(32)에 도달하게 되고, 상기 반사층(32)에 도달한 빛은 반사되어 다시 전광 물질부(34)를 향하게 된다.
이 때, 상기 패널(2)의 전극(4)과 모듈레이터(30)의 전극부(36) 사이에는 전압이 인가되어 있으며, 이에 따라서 패널(2)의 전극(4)에 결함이 없는 경우 패널 전극(4)과 모듈레이터 전극부(36) 사이에 전기장이 형성되어 상기 전광 물질부(34)를 이루는 분자들이 분극화되고, 상기 패널 전극(4)의 결함이 있는 경우에는 패널 전극(4)과 모듈레이터의 전극부(36) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 전기장이 약하게 형성되어서 전광 물질부(34)를 이루는 분자들이 분극화되지 않거나 분극화되어도 그 정도가 작게 된다.
이에 따라서 전광 물질부(34)로 반사된 빛이 전광 물질부를 이루는 분자들의 분극 정도에 따라서 상기 전광 물질부를 통과 또는 미통과하게 된다. 이를 카메라(40) 및 PC(50)로 파악하여 전극의 결함 여부를 검출하게 된다.
그런데, 종래에는 반사층(32)이 모듈레이터(30)의 하면에 형성되어 있다. 다시 말하여 모듈레이터의 전광 물질부(34)와 패널 전극(4) 사이에 반사층이 형성 되어 있다. 이에 따라서 모듈레이터의 전극부(36)와 패널 전극(4) 사이에 발생하는 전기장이 반사층(32)에 의하여 왜곡되고, 전광 물질부(34)가 상기 왜곡된 전기장에 따라서 분극화된다는 문제점이 있다.
상기 문제점으로 인하여, 상기 반사층(32)으로부터 모듈레이터 전극부(36)로 출사되는 빛이 왜곡된 전기장을 가진 전광 물질부(34)를 통과하면서 편광 현상이 일어나게 되어서, 그 정확도가 떨어진다. 이로 인하여 패널 전극의 에러 유무에 따른 영상 차이가 작아지게 되고, 카메라로 상기 영상을 촬영하는 경우, 상기 패널 전극의 에러 여부를 정확하게 파악하기가 쉽지 않다.
한편, 상기 반사층(32)은, 이와 패널 전극(4) 사이에 인가되는 구동 전압이 작도록 상기 반사층(32)이 패널 전극(4)에 접하도록 배치되도록 하는 것이 필요한데, 상기 반사층의 두께로 인하여 패널 전극(4)과 모듈레이터 전극부(36) 사이에 발생하는 구동 전압이 커지게 된다. 또한, 상기 반사층(32)이 반사 필름 등의 쉽게 파손되기 쉬운 소재로 이루어져서, 패널 전극에 접하는 경우 쉽게 파손된다는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은, 반사층에 의하여 패널 전극의 에러 여부가 보다 정확하게 파악될 수 있는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은, 모듈레이터가 파손되지 않는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다.
따라서 본 발명은, 테스트용 패널에 구비된 전극들의 결함 여부를 검출하는 것으로서, 테스트용 패널의 일측에 위치한 광원과; 상기 광원과 테스트 패널의 사이에 배치되며, 상기 광원 쪽으로부터 순서대로, 상기 패널 전극들과 이격 배치되어 상기 패널 전극들과 전기장을 형성할 수 있는 모듈레이터 전극부와, 상기 모듈레이터 전극부와 패널 전극 사이에 배치된 것으로 상기 모듈레이터 전극부와 패널 전극 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 광의 통과량이 변경되는 전광 물질부를 구비하는 모듈레이터와; 상기 테스트용 패널을 사이에 두고 상기 광원부의 반대측에 배치되어, 상기 패널로 입사된 광을 다시 패널로 반사하는 반사 부재와; 상기 반사 부재에 반사되어 모듈레이터를 관통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 결함 검출부;를 구비하는 어레이 테스트 장비를 제공한다.
본 발명에 의하면, 반사 부재가 패널을 기준으로 모듈레이터 반대편에 위치 한다. 이에 따라서 패널 전극 방향에서 모듈레이터의 전광 물질부로 입사되는 빛이 산란되지 않게 된다. 이는 결과적으로 모듈레이터의 전광 물질부의 분자 배열에 따른 빛의 편광 현상이 정확하게 일어나게 되어서, 패널 전극의 전기적 결함여부를 보다 정확하게 알 수 있다.
또한, 반사 부재가 모듈레이터의 전극부와 패널 전극 사이에 배치되지 않음으로써, 상기 패널 전극과 모듈레이터 전극부 사이에 발생하는 구동 전압이 작아지게 되며, 모듈레이터가 패널 전극에 접하는 경우 쉽게 파손되지 않는다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비의 구성도이고, 도 3은 도 2에서 모듈레이터 및 반사 부재 부분을 확대 도시한 도면이다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 광원(110)과, 모듈레이터(120)와, 반사 부재(130)와, 결함 검출부(140)를 구비한다.
광원(110)은 테스트용 패널의 일측에 위치하여 빛을 방출한다. 상기 광원(110)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프, 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다. 이 경우 테스트용 패널은 전광 기기에 사용되는 패널(2)로서, 그 전면 또는 후면에 패널 전극(4)들이 배치되어 있다. 이 경우 상기 패널(2)이 평판 디스플레이용 패널일 수 있으며, 그 일예로서 상기 패널(2)이 그 전면에 TFT(Thin Film Transistor)가 형성된 TFT 패널일 수가 있다.
모듈레이터(120)는 패널(2)의 일측(도 2에서는 상측)에 배치된다. 모듈레이 터는, 특히 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 패널에서 근접한 순서대로 전광 물질부(126)와, 모듈레이터 전극부(124)를 구비한다. 상기 모듈레이터 전극부(124)의 일측면(도 2에서는 상면)에는 투명 기저부(122)가 더 형성되어 있을 수 있다.
투명 기저부(122)는 투광 재질, 통상 유리로 이루어진 것으로, 광원(110)으로부터의 광이 투광 기저부(122)로 입사(入射)되고, 전광 물질부(126)로부터 광이 투광 기저부(122)를 거쳐서 모듈레이터(120) 외부로 출사된다. 이 경우 광원(110)으로부터의 광은 빔 스플리터(115)에 의하여 모듈레이터(120)로 입사될 수 있다.
모듈레이터 전극부(124)는 상기 투명 기저부(122)의 타측면(도면에서는 하면, 이하 '하면'이라 함)에 배치된다. 상기 모듈레이터 전극부(124)는 패널 전극(4)들과 평행하게 배치되며 상기 패널 전극(4)들과 전기장을 형성한다. 더욱 상세히 설명하면, 상기 모듈레이터 전극부(124)는 외부로부터 일정한 전압을 인가받는 공통전극의 기능을 한다. 따라서 상기 모듈레이터 전극부(124)가 패널(2)의 패널 전극(4)과 일정 간격 이하의 간격을 가지도록 배치하고, 상기 패널 전극(4) 및 모듈레이터 전극부(124)에 각각 소정의 전압이 인가된다면, 이들 사이에 전기장이 형성된다.
전광 물질부(126)는 상기 모듈레이터 전극부(124)와 패널 전극(4) 사이에 배치된다. 상기 모듈레이터 전극부(124)와 패널 전극(4) 사이에 형성된 전기장의 크기에 따라서, 상기 전광 물질부(126)로 입사되는 빛의 통과 량이 변경된다. 이 경우 상기 전광 물질부(126)는 전기장의 세기에 따라서 입사되는 빛을 편광 시키는 소재를 구비할 수 있다. 전광 물질부(126)를 이루는 물질의 하나의 예로 PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)를 들 수 있다. 상기 PDLC의 특성은 구동 전압 30V이하, 콘트라스트 40:1, 라이징 타임(Rising time) 1.7ms, 폴링타임(Falling time) 3ms, 최소 보유시간(minimum retention time) 30ms인 것이 바람직하다. 상기 PDLC는, 투명 기저부(122) 상에 폴리머 및 액정을 포함하는 액정 배합액을 도포한 후에 이를 경화시킴으로써 이루어질 수도 있고, 시트(sheet) 소재로 상기 투명 기저부(122)에 접착될 수도 있다.
반사 부재(130)는 상기 테스트용 패널(2)을 기준으로 상기 광원(110)의 반대측에 배치된다. 상기 반사 부재(130)는 상기 테스트용 패널(2)로 입사된 광을 다시 테스트용 패널(2)로 반사하여서, 모듈레이터(120)로 향하게 한다. 다시 말해서, 광원(110)으로부터의 빛은 모듈레이터(120) 및 테스트용 패널(2)을 통하여 반사 부재(130)에 도달하게 되고, 상기 반사 부재(130)에 도달한 빛은 반사되어서 다시 테스트용 패널(2)로 입사하게 된다.
본 발명에 따르면, 패널 전극(4)과 모듈레이터 전극부(124) 사이에 별도의 구성요소가 존재하지 않게 된다. 이로 인하여, 상기 패널 전극(4)과 모듈레이터 전극부(124) 사이에 발생하는 전기장이 다른 구성요소에 의하여 왜곡되는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라서, 전광 물질부(126)를 이루는 분자들의 배열이 정확하여져서, 전광 물질부를 통과한 빛의 편광 현상이 정확하게 발생하게 되고, 패널 전극(4)이 불량인 영역과 패널 전극이 양호한 영역 간에 편광 차이가 확연하게 나타나게 된다.
이와 더불어 상기 반사 부재(130)가, 모듈레이터의 전극부(124)와 패널 전극(4) 사이에 배치되지 않음으로써, 상기 패널 전극(4)과 모듈레이터 전극부(124) 사이에 발생하는 구동 전압이 작아지게 되며, 모듈레이터가 패널 전극에 접하는 경우 쉽게 파손되는 문제점이 발생하지 않게 된다.
상기 테스트용 패널(4)은 패널 안착 부재(150)에 안착된 상태에서 어레이 테스트 받을 수 있다. 상기 패널 안착 부재(150)는 테스트용 패널(2) 전체를 안착시킬 수 있고, 이 경우 상기 테스트용 패널은 상기 패널 안착 부재(150)에 안착한 상태로 고정되고, 상기 모듈레이터(120)가 이동되면서 테스트용 패널(2)의 전극 결함 여부를 파악할 수 있다.
이와 달리 상기 패널 안착 부재(150)는 상기 테스트용 패널(2) 일부만을 지지할 수도 있다. 이 경우에는 테스트용 패널(2)이 이송되면서 패널 안착 부재(150)에 지지되고, 상기 패널 안착 부재(150) 상에 위치한 모듈레이터를 통하여 상기 패널 안착 부재(150) 상에 배치된 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하도록 할 수도 있다. 이 경우에 어레이 테스트 장비는, 도시되지는 않으나 상기 패널 안착 부재(150) 전방에 위치한 로딩 플레이트와, 패널 안착 부재(150) 후방에 위치한 언로딩 플레이트를 더 구비할 수 있다.
이에 따라서 상기 테스트용 패널(2)이 외부로부터 이송되어 로딩 플레이트에 안착되면, 이송 장치를 통하여 상기 테스트용 패널이 로딩 플레이트로부터 테스트 안착 부재(150)로 이송하게 된다. 또한 테스트용 패널의 테스트 안착 부재 상에 위치한 패널 전극이 테스트 완료되면 다음 패널 전극의 결함 여부 검출을 위하여 테스트용 패널이 이송 장치에 의하여 언로딩 플레이트로 이송된다.
상기 반사 부재(130)는 상기 패널 안착 부재(150)에 결합되어 있을 수 있다. 상기 반사 부재(130)는 상기 패널 안착 부재(150) 상면에 결합될 수 있다. 이 경우 상기 반사 부재(130)는 증착이나, 스프레이 등을 이용하여 상기 패널 안착 부재(150) 상에 형성될 수도 있고, 이와 달리 패널 안착 부재(150)와 양면테이프 등의 접착부재로 접착될 수도 있으며, 이와 다른 여러 방법으로 상기 패널 안착 부재(150)에 결합될 수 있다.
상기 반사 부재(130)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 패널 안착 부재(150)의 상면에 배치될 수 있다. 이 경우 상기 반사 부재(130)는 테스트용 패널 바로 하측에 위치하게 되어서, 패널을 통과한 빛이 바로 반사 부재(130)에 의하여 반사된다.
이와 달리 상기 반사 부재(130)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 패널 안착 부재(150)의 하면에 배치될 수도 있다. 이 경우에는 상기 패널 안착 부재(150)가 빛을 통과시키는 투명 재질로 이루어지며, 상기 패널(2) 및 패널 안착 부재(150)를 통과한 빛이 반사 부재(130)에 반사되어서 다시 패널 안착 부재(150)로 향하게 된다.
한편, 상기 반사 부재(130)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 테스트용 패널이 안착되는 패널 안착 부재(150)의 기능을 겸할 수 있다. 다시 말하여 패널 안착 부재(150)가 빛을 반사하는 소재로 이루어져서, 패널을 안착하는 기능을 함과 동시에 광원으로부터 패널로 입사된 빛을 반사시키는 기능을 겸할 수 있다.
결함 검출부(140)는 상기 모듈레이터(120)의 상면을 통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극(4)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 이 경우 상기 결함 검출부(140)는 비전(vision) 장치(142) 및 상기 비전 장비와 연결된 모니터(144)를 구비할 수 있으며, 이로써 육안으로 상기 패널 전극(4)의 결함을 검출할 수 있다. 이 경우 상기 모니터(144)는 컴퓨터에 구비되어 있을 수 있다.
한편, 상기 전광 물질부(126)의 상기 테스트용 패널(2)과 인접한 면에는, 상기 패널(2)의 전극과 접하거나 인접하도록 배치된 투명 보호층(128)을 더 구비할 수 있다. 상기 투명 보호층(128)은 상기 전광 물질부(126)가 패널 전극(4) 또는 외부 물질에 의하여 흠집 등이 발생하지 않도록 보호한다.
이 경우 상기 투명 보호층(128)이 내식성, 내수성, 및 내화학성이 우수한 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 따라서 상기 투명 보호층(128)은 페럴린 코팅층일 수 있다. 상기 페럴린 코팅층은 상온의 진공 상태에서 가스 상의 형태로 증착되어 이루어진 층이다. 상기 페럴린 코팅층을 이루는 폴리머는 자연 상태에서 다결정적이고 선형적이며, 우수한 보호 특성 및 극심한 화학반응을 일으키지 않는다. 상기 페럴린 코팅은 밀봉성이 우수하여 높은 방수성을 가지고, 산, 알칼리 또는 솔벤트 등의 대부분의 화학 약품에 거의 영향을 받지 않아서 우수한 내식성 및 내화학성을 가지며, -200℃ 내지 150℃ 사이의 범위에서 열적, 기계적 변형이나 특성 변화가 발생하지 않아서 우수한 열 안정성을 가진다. 이와 더불어 페럴린 코팅은 침투력이 뛰어나서 균일한 코팅층의 형성 및 두께 조절이 가능하게 된다.
이 경우, 상기 페럴린 코팅층은 화학기상성장법(chemical vapor deposition) 에 의하여 이루어질 수 있다. 이를 위하여, 먼저 페럴린 코팅 원자재인 다이머(dimer)를 증발기에 분말 형태로 장입(裝入)시켜서 가스상으로 승화되도록 한다. 그 후에 기체로 변화된 다이머를 열분해기에 통과시켜서 단량체로 쪼개지도록 한다. 그 후에 단량체로 쪼개진 다이머를 진공챔버 내 처리물 표면에서 중합체로 재구성되어 코팅하도록 한다.
이하에서는 도 2를 참조하여 상기와 같은 구조를 가진 어레이 테스트 장비에 적용될 수 있는 패널 전극 테스트 방법을 설명한다.
본 발명의 어레이 테스트 장비에서 적용되는 패널 전극 테스트 방법은, 광원(110)으로부터의 빛을 모듈레이터(120)로 유입시키는 단계와, 상기 모듈레이터(120)를 통과한 빛이 테스트용 패널(2)을 통과하는 단계와, 상기 테스트용 패널(2)을 통과한 빛을 반사 부재(130)로 다시 테스트용 패널(2)로 반사하는 단계와, 상기 테스트용 패널(2)을 통과한 빛이 모듈레이터(120)의 하면으로 입사되는 단계와, 특정 방향으로 배열된 전광 물질부에 의하여 빛이 편광되어 모듈레이터 상면으로 출사되는 단계와, 상기 빛의 모듈레이터(120)를 통과하는 양에 따라서 패널 전극(4)의 결함 여부를 판단하는 단계를 포함한다.
즉, 테스트용 패널(2)의 일측 방향에 광원(110)과, 모듈레이터(120)와, 결함 검출부(140)가 배치된 반사형 어레이 테스트 장비인 경우, 모듈레이터(120)로부터 입사된 빛을 다시 상기 모듈레이터(120)로 반사하는 반사 부재(130)가 필요하다. 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비에 구비된 반사 부재(130)는 모듈레이터(120)와 패널 전극(4) 사이에 배치되지 않는다. 따라서 반사 부재(130)가 빛의 왜곡 현상을 일으키지 않게 되어서 더욱 선명하게 패널 전극 결함 여부를 판단할 수 있게 된다.
종래의 어레이 테스트 장비에 구비된 비전 장치로 패널을 촬영한 사진이 도 6a에 도시되어 있고, 본 발명에 실시예에 따른 어레이 테스트 장비에 구비된 비전 장치로 패널을 촬영한 사진이 도 6b에 도시되어 있다.
상기 비전 장치(142)는 일반적으로 어레이 테스트 장비에 적용중인 CCD 카메라를 이용하였다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래의 어레이 테스트 장비(10)의 경우, 전광 물질부(34)와 패널 전극 사이에 반사 부재(32)가 배치되어 있다. 이에 따르면, 도 6a에 도시된 바와 같이, 패널을 이루는 각 셀(6) 사이의 경계를 이루는 스페이서 등의 격벽 부재(8)에 의하여 이웃하는 셀 사이가 뚜렷이 구별되지 않는다.
이와 달리 도 6b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 경우에는 패널의 각 셀(6)들 사이가 격벽 부재(8)에 의하여 뚜렷이 경계가 지어져 있음을 알 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 종래의 어레이 테스트 장비의 패널 전극 테스트 방법을 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비를 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2의 모듈레이터와, 패널과, 반사 부재를 확대 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 변형예를 도시한 도면이다.
도 5는 도 3의 다른 변형예를 도시한 도면이다.
도 6a는 종래의 어레이 테스트 장비에서 테스트용 패널을 촬영한 사진이다.
도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비에서 테스트용 패널을 촬영한 사진이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
2: 테스트용 패널 4: 패널 전극
110: 광원 120: 모듈레이터
124: 모듈레이터 전극부 126: 전광 물질부
128: 보호층 130: 반사 부재
140: 결함 검출부 150: 패널 안착 부재

Claims (7)

  1. 테스트용 패널에 구비된 전극들의 결함 여부를 검출하는 것으로서,
    상기 테스트용 패널의 일측에 위치한 광원;
    상기 광원과 테스트 패널의 사이에 배치되며, 상기 광원 쪽으로부터 순서대로, 상기 패널 전극들과 이격 배치되어 상기 패널 전극들과 전기장을 형성할 수 있는 모듈레이터 전극부와, 상기 모듈레이터 전극부와 패널 전극 사이에 배치된 것으로 상기 모듈레이터 전극부와 패널 전극 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 광의 통과량이 변경되는 전광 물질부를 구비하는 모듈레이터;
    상기 테스트용 패널을 사이에 두고 상기 광원의 반대측에 배치되어, 상기 패널로 입사된 광을 다시 패널로 반사하는 반사 부재; 및
    상기 반사 부재에 반사되어 모듈레이터를 관통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 결함 검출부;
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 테스트 패널을 기준으로 상기 모듈레이터의 반대편에 배치되며, 상기 테스트용 패널이 안착되는 패널 안착 부재를 더 구비하고,
    상기 반사 부재는 상기 패널 안착 부재에 결합되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반사 부재는 상기 패널 안착 부재의 상면에 결합되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 패널 안착 부재는 투광 재질로 이루어지고,
    상기 반사 부재는 상기 패널 안착 부재의 상면 및 하면 중 적어도 하나에 결합되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 반사 부재는, 상기 테스트용 패널이 안착되는 패널 안착 부재의 기능을 겸하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 모듈레이터는, 상기 전광 물질부의 타측면에 결합된 투명 보호층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 투명 보호층은 페러린 코팅층인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장 비.
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