KR100795732B1

KR100795732B1 - Method for inputting index data

Info

Publication number: KR100795732B1
Application number: KR1020060107432A
Authority: KR
Inventors: 이해동; 김형태; 김성철; 백승엽
Original assignee: 에이엠테크놀로지 주식회사
Priority date: 2006-11-01
Filing date: 2006-11-01
Publication date: 2008-01-21

Abstract

An index data input method is provided to prevent malfunction due to input error by temporarily stopping a blade at a position designated by a user, prior to actual index operation. When each virtual specimen is assigned with an eigenvalue, a labeling unit is input with desired data for displacement of actual specimens from a user(S200). If a virtual index line is selected by a user input member, except for a virtual index line which is not machined, the selected virtual index line is output in a different shape so as to distinguish it from a virtual index line which is not selected(S210). Lines of the specimens are automatically aligned by using a mechanical position of two points(S220). An error correction unit receives position correction data for collecting a difference between a position of a blade and a position of the index line of the specimen(S230).

Description

Method for inputting index data}

도 1은 인덱스 작업의 예시도,1 is an illustration of an index operation,

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인덱스 데이터 입력방법의 흐름도,2 is a flowchart of an index data input method according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인덱스 데이터 입력장치의 블록도,3 is a block diagram of an index data input apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 라벨링단계에서 소정의 화면표시수단으로 출력되는 사용자 인터페이스화면,4 is a user interface screen output to a predetermined screen display means in the labeling step according to an embodiment of the present invention,

도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라 정지데이터를 입력받는 단계에서 소정의 화면표시수단으로 출력되는 사용자 인터페이스화면,5 is a user interface screen output to a predetermined screen display means in the step of receiving the stop data according to an embodiment of the present invention,

도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 정렬단계에서 소정의 화면표시수단으로 출력되는 사용자 인터페이스화면,6 is a user interface screen output to a predetermined screen display means in the alignment step according to an embodiment of the present invention,

도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오차교정단계에서 소정의 화면표시수단으로 출력되는 사용자 인터페이스화면이다.7 is a user interface screen output to a predetermined screen display means in the error correction step according to an embodiment of the present invention.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

310 : 라벨링부 320 : 메모리310: labeling unit 320: memory

330 : 가상인덱스설정부 340 : 정렬부330: virtual index setting unit 340: alignment unit

350 : 오차교정부 360 : 화면표시수단350: error correction unit 360: screen display means

본 발명은 웨이퍼나 PCB 등의 시편에 인덱스작업을 하기 위한 인덱스 데이터를 입력하는 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 사용자의 편의와 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 인덱스 데이터 입력방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for inputting index data for indexing a specimen such as a wafer or a PCB, and more particularly, to an index data input method for improving user convenience and work efficiency.

인덱스 작업이란, 웨이퍼나 PCB 등의 시편 표면에 하나 이상의 방향으로 규칙성 있는 간격을 갖도록 절단하는 작업으로, 도 1에는 이와 같은 인덱스 작업을 예시하는 예시도가 도시되어 있다.The indexing operation is an operation of cutting a surface of a specimen such as a wafer or a PCB at regular intervals in one or more directions, and an exemplary view illustrating such an indexing operation is illustrated in FIG. 1.

시편 표면에 하나 이상의 방향으로 규칙성 있는 간격을 갖도록 가공하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이, 회전하는 블레이드(104)가 구비된 스핀들(103)이 X축 방향의 이동축(105)을 통해 이동하면서 시편(101)의 표면에 형성된 분리선인 인덱스라인(102)에 따라 시편(101)을 절단하며, Y축 방향의 이동축(106)과 Z축 방향의 이동축(107)을 통해 다음 인덱스라인측으로 이동한 후 다시 X축 방향의 이동축(105)을 통해 이동하면서 시편을 절단하게 된다.To machine the specimen surface at regular intervals in one or more directions, as shown in FIG. 1, the spindle 103 with the rotating blade 104 is moved through the axis of movement 105 in the X-axis direction. While cutting the specimen 101 according to the index line 102, which is a separate line formed on the surface of the specimen 101, the next index line through the moving axis 106 in the Y-axis direction and the moving axis 107 in the Z-axis direction After moving to the side again while cutting through the moving axis 105 in the X-axis direction to cut the specimen.

따라서 이와 같은 인덱스작업은 생산성을 높이기 위해 사용자로부터 정확한 인덱스 데이터를 입력받을 수 있어야하며, 인덱스 작업의 대상이 되는 시편 또한 인덱스 데이터에 정확하게 대응되도록 정렬되어야 한다.Therefore, such indexing should be able to receive accurate index data from the user in order to increase productivity, and the specimens to be indexed should also be aligned to correspond exactly to the index data.

한편, 대한민국 공개 특허공보 공고번호 90-002508에는 이미지 프로세싱을 위한 웨이퍼 자동정렬방법이 기술되어 있다. 위 발명은 웨이퍼의 이미지를 미분 연산을 통해 이미지의 방향성을 검출하여 신뢰성 있는 정렬오차 측정을 이룸으로써 정확한 인덱스 작업을 수행할 수 있도록 하고 있다.On the other hand, Korean Patent Publication No. 90-002508 discloses a wafer automatic alignment method for image processing. The above invention makes it possible to perform an accurate indexing operation by measuring the orientation of the image through differential calculation of the wafer image to make a reliable alignment error measurement.

그러나, 위 발명은 웨이퍼의 정렬에 대한 개념을 설명하고 있을 뿐 실질적으로 사용자에게서 웨이퍼 정렬에 대한 데이터를 입력받아 처리하는 방법에 대해서는 언급하고 있지 않다.However, the present invention only illustrates the concept of wafer alignment, and does not substantially mention a method of receiving and processing data about wafer alignment from a user.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 사용자가 웨이퍼 또는 PCB의 시편에 대한 인덱스 데이터를 편리하게 입력하는 것이 가능하며 또한 입력된 데이터를 손쉽게 수정하여 변경할 수 있도록 함으로써 궁극적으로 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 인덱스 데이터 입력방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve the above problems, and it is possible for a user to conveniently input index data on a specimen of a wafer or a PCB, and also to easily modify and change the input data, thereby ultimately improving work efficiency. The purpose is to provide an index data input method that can improve the performance.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.Other objects and advantages of the invention will be described below and will be appreciated by the embodiments of the invention. In addition, the objects and advantages of the present invention can be realized by means and combinations indicated in the claims.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 사용자로부터 인덱스 작업이 대상이 될 시편의 개수를 입력받아, 소정의 화면표시수단에 상기 입력받은 시편의 개수에 따라 가상시편을 출력하고, 상기 소정의 화면표시수단에 출력된 하나 이상의 가상시편에 작업순서의 기준이 되며, 각 시편을 구분하기 위한 고유값을 부여한 후, 사용자로부터 각 시편의 배치에 대한 소정의 데이터를 입력받는 라벨링단계; 상기 고유값에 의한 작업순서에 따라 사용자로부터 각 가상시편에 대응하는 시편에 대한 인덱스 작업데이터를 입력받은 후 상기 각 가상시편 상에 상기 인덱스 작업데이터에 따른 가상 인덱스라인을 표시하고, 사용자로부터 상기 가상 인덱스라인 중 실제 인덱스 작업의 대상이 될 가상 인덱스라인을 선택받는 가상인덱스설정단계; 사용자로부터 선택받은 상기 가상인덱스라인 상에서 인덱스 작업 중 블레이드가 일시정지할 위치에 대한 데이터인 정지데이터를 입력받는 정지데이터입력단계; 및 상기 고유값에 의한 작업순서에 따라 하나 이상의 카메라 중 사용자로부터 선택된 카메라를 통해 인식된 작업대상 시편의 이미지와 기저장된 패턴 중 사용자로부터 선택받은 해당 패턴을 이용하여 상기 작업대상 시편을 자동 정렬하는 정렬단계를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention receives a number of specimens to be indexed from a user, outputs virtual specimens according to the number of the received specimens to a predetermined screen display means, and the predetermined A labeling step which becomes a reference of a work order to one or more virtual specimens outputted on the screen display means, assigns a unique value for distinguishing each specimen, and receives predetermined data about the arrangement of each specimen from a user; After receiving the index working data for the specimen corresponding to each virtual specimen from the user according to the work order based on the eigenvalues, the virtual index line according to the index working data is displayed on each virtual specimen, and the virtual from the user A virtual index setting step of selecting a virtual index line to be a target of an actual indexing operation among the index lines; A stop data input step of receiving stop data which is data on a position at which a blade is to be paused during an index operation on the virtual index line selected by a user; And an alignment for automatically arranging the target object specimen using an image of the target object specimen recognized by the user selected from among the one or more cameras and a corresponding pattern selected from the user among pre-stored patterns according to the work order based on the eigenvalues. Steps.

나아가, 블레이드에 의한 인덱스 작업 중 상기 정지데이터에 따라 상기 블레이드가 일시정지하면, 상기 정지데이터에 해당하는 블레이드의 위치와 인덱스 작업의 대상인 시편의 인덱스라인이 일치하지 않을 경우, 상기 정지데이터에 해당하는 블레이드의 위치와 인덱스 작업의 대상인 시편의 인덱스라인의 차이를 보상할 수 있는 위치교정데이터를 입력받아 상기 위치교정데이터에 따라 상기 인덱스 작업의 대상인 시편을 재정렬하는 오차교정단계를 더 포함할 수 있다.Further, when the blade is paused according to the stop data during the indexing operation by the blade, if the position of the blade corresponding to the stop data and the index line of the specimen to be indexed do not match, The method may further include an error correcting step of receiving the position correction data for compensating the difference between the position of the blade and the index line of the specimen, which is the object of the indexing operation, and rearranging the specimen, which is the object of the indexing operation, according to the position correction data.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구 범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가 장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as being limited to the common or dictionary meanings, and the inventors should properly introduce the concept of terms to explain their own invention in the best way possible. It should be interpreted as meanings and concepts in accordance with the technical spirit of the present invention based on the principle that it can be defined.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 인덱스 데이터 입력방법을 설명한다. 설명에 있어서 도 1과 동일한 도면부호는 동일한 기능을 수행하는 동일한 부재를 지칭한다.Hereinafter, an index data input method according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3. In the description, the same reference numerals as in FIG. 1 refer to the same members performing the same functions.

본 발명에 따르면, 먼저, 라벨링부(310)가 작업대상이 될 시편에 대응하는 가상시편을 소정의 화면표시수단(360)에 출력하기 위하여 인터페이스화면(400)의 시편수입력영역(401)을 통해 사용자로부터 인터페이스화면(400)에 출력될 가상시편의 행수 및 열수를 입력받은 후, 상기 행수 및 열수에 따른 가상시편을 가상시편출력영역(402)에 출력한다.According to the present invention, first, the number of test pieces input area 401 of the interface screen 400 is output in order for the labeling unit 310 to output a virtual test piece corresponding to the test target object to the predetermined screen display means 360. After receiving the number of rows and columns of the virtual specimen to be output on the interface screen 400 through the user, and outputs the virtual specimen according to the number of rows and columns to the virtual specimen output area 402.

이때, 라벨링부(310)는 도 4에 도시된 것과 같이 각 가상시편을 구분하고, 작업순서의 기준이 되는 고유값을 부여하여 각 가상시편과 함께 출력되도록 하는 것이 바람직하다.In this case, as shown in FIG. 4, the labeling unit 310 classifies each virtual specimen, and assigns a unique value that is a standard of the work order to be output together with each virtual specimen.

여기서, 각 시편에 부여되는 상기 고유값은 사용자가 지정한 임의의 숫자 혹은 문자의 형태일 수 있다.Here, the eigenvalues given to the specimens may be in the form of arbitrary numbers or letters designated by the user.

또한, 소정의 화면표시수단(360)은 사용자로부터 인덱스 작업에 관한 데이터를 입력받는 인터페이스화면이 출력되기 위한 것으로 각종 이미지와 문자열 등을 사용자가 인식 가능하도록 출력할 수 있는 것이 바람직하다.In addition, the predetermined screen display means 360 is for outputting the interface screen for receiving data on the index operation from the user, it is preferable that the user can output a variety of images and character strings.

각 가상시편에 고유값의 부여가 완료되면, 라벨링부(310)는 다시 사용자로부터 상기 각 가상시편에 대응하는 인덱스 작업의 대상인 실제 시편들의 배치에 관한 소정의 데이터를 입력받는다(S200).When assigning a unique value to each virtual specimen is completed, the labeling unit 310 receives predetermined data regarding the arrangement of the actual specimens which are the targets of the indexing operation corresponding to each of the virtual specimens (S200).

여기서, 상기 소정의 데이터는, 블레이드가 웨이퍼를 절단하기 위하여 블레이드가 웨이퍼와 처음 맞닿는 기구적 위치인 초기위치, 웨이퍼를 자동정렬하는 단계에서 패턴을 관측하는 카메라의 기구적인 위치인 관측위치, 고배율 또는 저배율과 같이 다수의 카메라를 사용할 경우 각각의 카메라를 구분 짓기 위해 필요한 관측카메라이름, 다수의 인덱스 중 자동정렬의 대상이 될 인덱스에 관한 라인별 정렬실행여부, 카메라와 실제 시편의 위치편차를 보상해 줄 수 있는 보상값, 카메라와 블레이드의 위치편차를 보정해 줄 수 있는 교정값 등이 포함될 수 있다.Here, the predetermined data may include an initial position which is a mechanical position where the blade first contacts the wafer to cut the wafer, an observation position which is a mechanical position of the camera observing a pattern in the step of automatically aligning the wafer, a high magnification or In case of using multiple cameras such as low magnification, it is necessary to compensate the observation camera name necessary to distinguish each camera, whether to perform line-by-line alignment on the index to be the target of automatic sorting among the multiple indexes, and the positional deviation between the camera and the actual specimen. It may include a compensation value that can be given, and a correction value that can correct the positional deviation of the camera and the blade.

그 후, 사용자가 인터페이스화면(400)의 완료영역(403)을 마우스와 같은 입력도구를 통해 활성화하면, 라벨링부(310)는 사용자로부터 입력된 데이터들을 메모리(320)에 저장하며, 소정의 화면표시수단(360)으로 출력되는 화면이 도 5에 도시된 것과 같은 가상인덱스라인을 설정하기 위한 인터페이스화면(500)으로 전환된다.Thereafter, when the user activates the completion area 403 of the interface screen 400 through an input tool such as a mouse, the labeling unit 310 stores the data input from the user in the memory 320 and the predetermined screen. The screen output to the display means 360 is switched to the interface screen 500 for setting the virtual index line as shown in FIG. 5.

이 과정에서는 가상인덱스설정부(330)가 인터페이스화면(500)의 가상시편출력영역(502)에 상기 'S200'단계에서 각 시편에 부여된 고유값의 순서에 따른 가상시편이 순차적으로 출력한다.In this process, the virtual index setting unit 330 sequentially outputs the virtual specimens according to the order of the eigenvalues assigned to each specimen in step S200 in the virtual specimen output area 502 of the interface screen 500.

이때, 사용자에 의해 인터페이스화면(500)의 작업시편변경영역(501)이 활성화될 경우 가상인덱스설정부(330)는 현재 가상시편출력영역(502)에 출력하고 있는 가상시편을 언제든지 변경할 수 있다.In this case, when the work specimen changing region 501 of the interface screen 500 is activated by the user, the virtual index setting unit 330 may change the virtual specimen currently output to the virtual specimen output region 502 at any time.

또한, 가상인덱스설정부(330)는 사용자로부터 각 가상시편에 대응하는 실제 인덱스 작업 대상인 시편에 대한 인덱스 작업데이터, 즉, 시편을 가공하기 위한 시편의 형상정보, 인덱스 거리정보, 인덱스 반복횟수, 인덱스 그룹간 거리, 그룹 반복 횟수와 같은 데이터를 입력받은 후, 가상시편출력영역(502)에 표시되는 가상시편 상에 상기 인덱스 작업데이터에 따른 가상인덱스라인(503)을 표시한다.In addition, the virtual index setting unit 330 is the index work data for the specimen which is the actual index work target corresponding to each virtual specimen from the user, that is, the shape information, index distance information, index repetition number, index repetition index, index of the specimen for processing the specimen After receiving data such as the distance between groups and the number of group repetitions, the virtual index line 503 corresponding to the index work data is displayed on the virtual specimen displayed in the virtual specimen output area 502.

한편, 메모리(320)에 저장되는 데이터들은 기존과 동일한 시편을 작업하거나, 오류 교정과 같은 이유로 재작업을 실시해야 하는 경우에 활용될 수 있다.On the other hand, the data stored in the memory 320 may be used when working with the same specimen as before, or when reworking for reasons such as error correction.

그리고 나서, 상기 가상인덱스라인 중 시편의 패턴이나 회로와 겹치는 등의 이유로 블레이드에 의해 가공되지 못하는 가상인덱스라인을 제외한 가상인덱스라인(504)이 마우스커서와 같은 사용자입력수단(505)을 통해 선택되면, 사용자가 인식하기 용이하도록 선택되지 않은 가상인덱스라인(503)과 구별이 가능하도록 상이한 형상으로 출력한다(S210).Then, when the virtual index line 504 excluding the virtual index line that cannot be processed by the blade due to overlapping with the pattern or circuit of the specimen among the virtual index lines is selected through the user input means 505 such as a mouse cursor. In order to be distinguished from the virtual index line 503 which is not selected to be easily recognized by the user, the output is performed in a different shape (S210).

또한, 가상인덱스설정부(330)는 사용자로부터 선택받은 가상인덱스라인(504) 상에서 인덱스 작업 중 블레이드(104)가 일시정지할 위치에 대한 데이터인 정지데이터를 입력받는다.In addition, the virtual index setting unit 330 receives the stop data which is data on the position where the blade 104 is to be paused during the indexing operation on the virtual index line 504 selected by the user.

이러한 정지데이터는 사용자에 의한 데이터 입력상에서 오류가 발생할 경우 이를 보완하기 위한 것으로서, 자세한 내용은 하기의 오차교정단계에서 설명하기로 한다.The stop data is to compensate for an error occurring in data input by the user, and details thereof will be described in the following error correction step.

그 후, 사용자가 인터페이스화면(500)의 화면의 완료영역(506)을 마우스커서와 같은 사용자입력수단을 통해 활성화하면, 가상인덱스설정부(330)는 상기 가상인덱스라인에 관한 데이터를 메모리(320)에 저장하며 소정의 화면표시수단(360)으로 출력되는 화면이 도 6에 도시된 것과 같은 시편을 정렬하기 위한 인터페이스화면(600)으로 전환된다.Thereafter, when the user activates the completion area 506 of the screen of the interface screen 500 through a user input means such as a mouse cursor, the virtual index setting unit 330 stores data related to the virtual index line in the memory 320. ) And the screen output to the predetermined screen display means 360 is switched to the interface screen 600 for aligning the specimen as shown in FIG.

이 과정에서 정렬부(340)는 가상인덱스설정부(330)와 마찬가지로 인터페이스화면(600)의 가상시편출력영역(603)에 상기 'S200'단계에서 각 시편에 부여된 고유값의 순서에 따른 가상시편을 순차적으로 출력하며, 촬영시편출력영역(602)에는 가상시편출력영역(603)에 현재 출력되고 있는 가상시편에 대응하는 실제 시편을 카메라로 촬영한 이미지를 출력한다.In this process, the sorting unit 340 is similar to the virtual index setting unit 330 in the virtual sample output area 603 of the interface screen 600 according to the order of the eigenvalues assigned to each specimen in step 'S200'. The specimens are sequentially output, and the photographed specimen output region 602 outputs an image obtained by photographing an actual specimen corresponding to the virtual specimen currently being output to the virtual specimen output region 603.

이때, 촬영시편출력영역(602)에 출력되는 시편의 이미지는 구비된 하나 이상의 카메라 중 카메라선택영역(609)를 통해 사용자로부터 사용자입력수단(612)을 통해 선택된 해당 카메라에 의해 촬영되는 이미지인 것이 바람직하다.In this case, the image of the specimen output to the photographing specimen output area 602 is an image captured by the corresponding camera selected through the user input means 612 from the user through the camera selection area 609 of one or more cameras provided. desirable.

또한, 정렬부(340)는 인덱스 작업의 대상인 실제 시편의 정렬에 이용되기 위하여 기저장된 다수의 패턴 중 현재 촬영시편출력영역(602)으로 출력되고 있는 해당 시편의 패턴과 동일한 패턴을 사용자로부터 사용자입력수단(612)을 통해 선택받는다.In addition, the alignment unit 340 inputs the same pattern from the user as the pattern of the corresponding specimen being output to the current specimen output region 602 among a plurality of pre-stored patterns for use in the alignment of the actual specimen to be indexed. Selected via means 612.

이렇게 패턴선택영역(607)을 통해 선택받은 패턴은 패턴예시영역(608)을 통해 사용자가 인식가능하도록 출력되는 것이 바람직하다.The pattern selected through the pattern selection area 607 is preferably output so that the user can recognize it through the pattern example area 608.

한편, 시편을 자동정렬하기 위해서는, 먼저 사용자로부터 사용자입력수단(612)을 통해가상시편출력영역(603)에 출력되는 가상시편 상에서 자동정렬을 수행할 라인(604)을 선택받는다.On the other hand, in order to automatically align the specimen, the user first receives a line 604 to perform the automatic alignment on the virtual specimen output to the virtual specimen output region 603 through the user input means 612.

여기서, 상기 선택된 라인(604)은 선택되지 못한 다른 라인들과 구별이 가능하도록 출력되는 것이 바람직하다.Here, the selected line 604 is preferably output so as to be distinguished from other lines not selected.

그 후, 촬영시편출력영역(602)에 출력되는 패턴의 중심점을 촬영시편출력영역(602) 중심점과 일치되도록 화면을 이동하고, 사용자가 상기 선택된 가상시편 상에서 자동정렬을 수행할 라인(604)의 한 점(605)을 지정하면, 메모리(320)에 상기 지정된 점(605)에 해당하는 기계적 위치를 저장한다.Thereafter, the screen is moved so that the center point of the pattern output to the photographing specimen output area 602 coincides with the center point of the photographing specimen output area 602, and the user performs an automatic alignment on the selected virtual specimen. If one point 605 is specified, the mechanical position corresponding to the designated point 605 is stored in the memory 320.

그리고 나서, 다시 촬영시편출력영역(602)에 출력되는 다른 패턴의 중심점을 촬영시편출력영역(602) 중심점과 일치되도록 화면을 이동하고, 사용자가 상기 선택된 가상시편 상에서 자동정렬을 수행할 라인(604)의 다른 점(606)을 지정하면, 메모리(320)에 상기 지정된 점(606)에 해당하는 기계적 위치를 저장한다.Then, the screen is moved again so that the center point of the other pattern output to the photographing specimen output area 602 is coincident with the center point of the photographing specimen output area 602, and the user performs automatic alignment on the selected virtual specimen 604. If a different point 606 is specified, the memory 320 stores the mechanical position corresponding to the designated point 606.

본 발명에서는 이렇게 저장된 두 점(605, 606)의 기계적 위치를 이용하여 시편의 라인을 자동으로 정렬하게 된다(S220).In the present invention, the lines of the specimen are automatically aligned using the mechanical positions of the two points 605 and 606 thus stored (S220).

덧붙여, 정렬부(340)는 회전선택영역(610)을 통해 촬영시편출력영역(602)과 가상시편출력영역(603)에 출력되고 있는 이미지가 90°회전되도록 함으로써, 사용자가 시편을 마름모형상으로 가공하는 다이싱 작업을 용이하게 수행할 수 있도록 한다.In addition, the alignment unit 340 rotates the image being output to the photographing specimen output region 602 and the virtual specimen output region 603 through the rotation selection region 610 by 90 °, thereby allowing the user to rotate the specimen. Make it easy to perform the dicing operation to process.

또한, 'S210'단계와 마찬가지로 사용자에 의해 인터페이스화면(600)의 작업 시편변경영역(601)이 활성화될 경우 현재 촬영시편출력영역(602)과 가상시편출력영역(603)에 출력되고 있는 해당 시편 및 가상시편을 언제든지 변경할 수 있다.In addition, as in the step 'S210', when the working specimen changing area 601 of the interface screen 600 is activated by the user, the corresponding specimen being output to the current photographing specimen output area 602 and the virtual specimen output area 603. And virtual specimens can be changed at any time.

또한, 사용자가 인터페이스화면(600)의 화면의 완료영역(611)을 사용자입력도구(612)를 통해 활성화하면, 정렬부(340)는 상기 'S220'단계에서 입력된 데이터들을 메모리(320)에 저장하며 정렬작업이 완료된다.In addition, when the user activates the completion area 611 of the screen of the interface screen 600 through the user input tool 612, the alignment unit 340 stores the data input in step S220 in the memory 320. Save and sorting is done.

한편, 이상에서와 같은 방법을 통해 정렬된 인덱스 작업의 대상인 실제 시편은 'S210'단계에서 선택된 가상인덱스라인(505)에 해당하는 인덱스 작업데이터에 따라 이동하는 블레이드(104)에 의해 하나 이상의 방향으로 규칙성 있는 간격을 갖도록 가공되는데, 이때 상기 'S210'단계에서 입력된 정지데이터에 해당하는 위치에서 블레이드(104)가 일시정지하게 된다.On the other hand, the actual specimen that is the target of the indexed work sorted by the above method in one or more directions by the blade 104 moving according to the index work data corresponding to the virtual index line 505 selected in step 'S210'. Processed to have a regular interval, the blade 104 is paused at a position corresponding to the stop data input in the step 'S210'.

이렇게, 블레이드(104)를 일시정지하는 이유는, 시편의 중요부위에서 인덱스데이터 입력상의 오류로 인한 오절단을 방지하기 위해서이며, 일시 정지된 후 사용자로부터 일시정지된 블레이드(104)의 위치와 인덱스 라인간의 오차를 교정하는 위치교정데이터를 입력받을 수 있다.Thus, the reason for pausing the blade 104 is to prevent miscution due to an error in the index data input at the critical part of the specimen, and the position and index of the blade 104 paused from the user after being paused. Position correction data for correcting errors between lines may be input.

즉, 상기 정지데이터에 해당하는 블레이드의 위치와 인덱스 작업의 대상인 시편의 인덱스라인이 일치하지 않을 경우, 사용자는 이러한 불일치를 확인할 수 있고, 오차교정부(350)는 도 7과 같은 인터페이스화면(700)을 통해, 보다 정확한 인덱스 작업을 위해 상기 정지데이터에 해당하는 블레이드의 위치와 인덱스 작업의 대상인 시편의 인덱스라인의 차이를 보상할 수 있는 위치교정데이터를 입력받아 상기 위치교정데이터에 따라 상기 인덱스 작업의 대상인 시편을 재정렬한다(S230).That is, when the position of the blade corresponding to the static data and the index line of the specimen that is the target of the indexing operation do not match, the user may check such a mismatch, and the error correction unit 350 may display the interface screen 700 as shown in FIG. 7. By receiving the position correction data for compensating the difference between the position of the blade corresponding to the static data and the index line of the specimen that is the target of the indexing operation for more accurate indexing) Rearrange the specimens that are the target (S230).

도 7은 위에서 설명한 위치교정데이터를 입력받기 위한 인터페이스화면(700)이다. 7 is an interface screen 700 for receiving the position correction data described above.

고유값출력영역(701)은 각 시편에 부여된 고유값이 출력되는 영역이며, 이 영역(701)을 통해 출력되는 하나 이상의 고유값 중 하나가 활성화되면 해당 고유값에 대응하는 시편에서의 오차를 보상할 수 있는 데이터, 즉, Y축 0°보상값, Y축 90°보상값, R(회전축) 보상값이 교정데이터입력영역(703, 704, 705)을 통해 입력된다.The eigenvalue output area 701 is an area in which the eigenvalues assigned to each specimen are output. When one of the one or more eigenvalues output through this area 701 is activated, an error in the specimen corresponding to the eigenvalue is activated. Compensable data, that is, Y-axis 0 ° compensation value, Y-axis 90 ° compensation value, and R (rotation axis) compensation value are input through the calibration data input areas 703, 704, 705.

모든 위치교정데이터의 입력이 완료된 후 사용자가 사용자입력수단(702)을 통해 완료영역(706)을 활성화하면 오차교정부(350)는 상기 위치교정데이터에 따라 시편이 재정렬하며, 그 후 다시 인덱스 작업에 들어가게 된다.If the user activates the completion area 706 through the user input means 702 after the input of all the position correction data, the error correction unit 350 rearranges the specimens according to the position correction data, and then indexes again. Will enter.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As mentioned above, although this invention was demonstrated by the limited embodiment and drawing, this invention is not limited by this, The person of ordinary skill in the art to which this invention belongs, Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

본 발명에 따르면, 사용자가 마우스 클릭과 같은 간단한 방법을 통해 시편의 인덱스 작업을 수행하기 위한 데이터를 입력하는 것이 가능하며, 실제 인덱스 작업에 앞서, 사용자가 지정한 위치에서 블레이드를 일시정지시킴으로써 입력상 오류에 의한 오동작을 미연에 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible for a user to input data for indexing a specimen through a simple method such as a mouse click, and before inputting an actual indexing operation, by temporarily stopping a blade at a user-specified position, an error in input Malfunctions caused by this can be prevented in advance.

또한, 다수의 시편에 고유값을 부여하여 동시에 다수 시편에 대한 데이터를 입력할 수 있으므로 많은 종류의 시편을 가공하는 경우에도 반복되는 작업을 생략할 수 있으므로 시편의 생산효율을 높일 수 있는 장점이 있다.In addition, since it is possible to input data for a plurality of specimens at the same time by assigning a unique value to a plurality of specimens, it is possible to omit repeated operations even when processing many kinds of specimens, thereby increasing the production efficiency of the specimens. .

Claims

Receives the number of specimens to be indexed from the user, outputs the virtual specimens according to the number of the input specimens to a predetermined screen display means, the operation on one or more virtual specimens output to the predetermined screen display means A labeling step of providing a unique value for distinguishing each of the specimens as a reference of the order, and receiving predetermined data about the arrangement of each specimen from the user;

After receiving the index working data for the specimen corresponding to each virtual specimen from the user according to the work order based on the eigenvalues, the virtual index line according to the index working data is displayed on each virtual specimen, and the virtual from the user A virtual index setting step of selecting a virtual index line to be a target of an actual indexing operation among the index lines;

A stop data input step of receiving stop data which is data on a position at which a blade is to be paused during an index operation on the virtual index line selected by a user; And

An alignment step of automatically arranging the target specimen using an image of the target specimen recognized by the user selected from among the one or more cameras and a corresponding pattern selected from the user among pre-stored patterns according to the work order based on the eigenvalues Index data input method comprising a.

The method of claim 1,

When the blade is paused according to the stop data during the indexing operation by the blade, if the position of the blade corresponding to the stop data and the index line of the specimen to be indexed do not match, the blade corresponding to the stop data And an error correction step of receiving the position correction data for compensating the difference between the position and the index line of the specimen as the target of the indexing operation, and realigning the specimen as the target of the indexing operation according to the position correction data.