KR100794332B1 - 대상물 고정감지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대상물 고정감지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대상물을 가이드에 안치시키고, 안치된 대상물의 상태를 감지수단을 통해 감지하여 검사하고 오류를 검출하는 대상물 고정감지장치에 관한 것이다.

본 발명인 대상물 고정감지장치는,

빛 혹은 초음파를 발광하는 발광부와 빛 혹은 초음파를 수광하는 수광부로 이루어진 감지수단(100)과;

상기 감지수단이 부착되는 디스펜서암(110)과;

상기 디스펜서암을 제어수단과 연결하는 전송암(120)과;

전원으로 구동되며, 동력을 발생하는 모터(130)와;

상기 모터의 동력에 의해 회전하는 구동축(140)과;

대상물의 테두리를 고정하는 가이드(150)와;

대상물이 위치되는 대상물안치부(160)와;

상기 구동축과 상기 가이드와 대상물안치부를 연결하는 가이드연결부(170)와;

상기 각 구성요소를 제어하는 제어수단(180);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명을 통해 대상물이 위치되는 대상물안치부 및 대상물의 테두리를 고정하는 가이드를 구성하여 대상물을 압박할 필요없이 고정이 가능함으로써, 대상물에 이물질이 부착되는 것을 방지함, 대상물의 기울임, 휨, 대상물의 표면에 발생하는 치핑 및 크랙을 감지할 수 있으므로 불량을 사전에 제거 및 감지할 수 있으며, 대상물을 안치할 경우에 대상물을 검사하여 대상물의 기울어짐, 대상물의 휨, 치핑, 크랙등의 이상을 검출할 수 있으므로 대상물에 이상이 있는 경우에 경고 알람 혹은 일시 정지를 할 수 있으므로 사전 검사가 가능하게 된다.

감지, 센서, 웨이퍼, 디스펜서암, 마스크.

Description

대상물 고정감지장치{Fixing -Sensor Device of an Object}

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 고정감지장치의 단면도이다.

도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 고정감지장치의 가이드와 대상물안치부를 나타낸 평면도이다.

도 3 은 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 고정감지장치의 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 감지수단 110 : 디스펜서암

120 : 전송암 130 : 모터

140 : 구동축 150 : 가이드

160 : 대상물안치부 170 : 가이드연결부

180 : 제어수단

본 발명은 대상물 고정감지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대상물을 가이드에 안치시키고, 안치된 대상물의 상태를 감지수단을 통해 감지하여 검사하고 오류를 검출하는 대상물 고정감지장치에 관한 것이다.

대상물(웨이퍼, 마스크) 제조 공정 중 예를 들어 웨이퍼 고정 장치를 사용할 시 웨이퍼 고정에 사용되는 장치로 진공흡입식 혹은 클램프식이 있으며, 클램프식의 경우에는 클램프가 부착되어 웨이퍼의 표면을 압박하여 웨이퍼를 고정하는 것이 사용되어 왔다. 하지만 전자의 경우 웨이퍼 표면이 손상될 수 있다는 단점이 있고, 후자의 경우 웨이퍼 후면에 파티클이 발생되는 단점이 있었으며, 웨이퍼 고정 장치의 경우에는 웨이퍼의 상부 표면을 눌러 고정시키게 되는데, 이럴 경우에 클램프 각각의 스프링 힘이 다를 수 있어 각 클램프가 웨이퍼를 고정하는 힘이 달라질 수 있었다. 따라서, 웨이퍼 상부 표면에 치핑을 유발하거나 클램프에 의한 긁힘 발생 및 웨이퍼가 기울어지게 되어 불량이 발생하는 단점이 있었다.

한편, 진공흡입식의 경우에는 웨이퍼를 고정시키기 위해 압력을 이용하게 되므로 접촉으로 인한 뒷면(백면)에 이물질이 유발되며, 웨이퍼의 휨 현상 및 변형이 발생하는 단점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로,

본 발명의 목적은 대상물이 위치되는 대상물안치부 및 대상물의 테두리를 고정하는 가이드를 구성하여 대상물을 압박할 필요없이 고정이 가능하도록 하는데 있 다.

본 발명의 다른 목적은 대상물을 안치할 경우에 대상물을 검사하여 대상물의 기울어짐, 대상물의 휨, 치핑, 크랙등의 이상을 검출할 수 있도록 하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 대상물 고정감지장치는,

빛 혹은 초음파를 발광하는 발광부와 빛 혹은 초음파를 수광하는 수광부로 이루어진 감지수단(100)과;

상기 감지수단이 부착되는 디스펜서암(110)과;

상기 디스펜서암을 제어수단과 연결하는 전송암(120)과;

전원으로 구동되며, 동력을 발생하는 모터(130)와;

상기 모터의 동력에 의해 회전하는 구동축(140)과;

대상물의 테두리를 고정하는 가이드(150)와;

대상물이 위치되는 대상물안치부(160)와;

상기 구동축과 상기 가이드와 대상물안치부를 연결하는 가이드연결부(170)와;

상기 각 구성요소를 제어하는 제어수단(180);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제어수단(180)은,

감지수단을 통해 대상물의 유무를 확인한 결과데이터를 판단하는 수치분석부 와,

대상물에 이상이 있는 경우, 경고 알람 혹은 일시 정지를 하도록 하는 이상처리부와,

대상물에 이상이 없는 경우, 정상 처리하는 정상처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 감지수단(100)은,

빛 대신에 초음파를 사용할 수 있으며, 발광부는 초음파를 투사하며 수광부는 초음파를 수신하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 대상물 고정감지장치의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 고정감지장치의 단면도이다.

도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 고정감지장치의 가이드와 대상물안치부를 나타낸 평면도이다.

도 3 은 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 고정감지장치의 사시도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명인 대상물 고정감지장치는,

빛 혹은 초음파를 발광하는 발광부와 빛 혹은 초음파를 수광하는 수광부로 이루어진 감지수단(100)과;

상기 감지수단이 부착되는 디스펜서암(110)과;

상기 디스펜서암을 제어수단과 연결하는 전송암(120)과;

전원으로 구동되며, 동력을 발생하는 모터(130)와;

상기 모터의 동력에 의해 회전하는 구동축(140)과;

대상물의 테두리를 고정하는 가이드(150)와;

대상물이 위치되는 대상물안치부(160)와;

상기 구동축과 상기 가이드와 대상물안치부를 연결하는 가이드연결부(170)와;

상기 각 구성요소를 제어하는 제어수단(180);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제어수단(180)은,

감지수단을 통해 대상물의 유무를 확인한 결과데이터를 판단하는 수치분석부와,

대상물에 이상이 있는 경우, 경고 알람 혹은 일시 정지를 하도록 하는 이상처리부와,

대상물에 이상이 없는 경우, 정상 처리하는 정상처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 감지수단(100)은,

빛 대신에 초음파를 사용할 수 있으며, 발광부는 초음파를 투사하며 수광부는 초음파를 수신하는 것을 특징으로 한다.

좀 더 상세히 설명하자면, 상기 제어수단(180)이 디스펜서암과 전송암을 움직여서 대상물의 유무를 감지하기 위해서 감지가능구역에 위치를 고정하여 대상물(웨이퍼 혹은 매스크)에 상기 감지수단의 발광부를 통하여 적외선(혹은 초음파)으 로 대상물에 투사하게 된다.

이때 상기 감지수단의 수광부를 통하여 대상물에 반사된 빛이 수광된다. 상기 과정을 통하여 대상물의 감지값이 상기 감지수단에 입력된다. 이때, 입력된 값은 제어수단의 수치분석부로 전송되게 된다.

상기 수치분석부에서는 대상물의 유무를 감지하여 대상물이 있을 경우 그 거리를 수치로 입력받아 판단한다.

만약, 대상물이 없을 경우의 거리는 있을 경우보다 거리가 길게 측정된다.

또한, 대상물이 있을 경우 수차례에 걸쳐 회전하면서 측정한 거리가 일정치 아니하면 대상물이 기울여져 놓여 있거나, 대상물의 일부가 휘어져 있는 경우이므로 상기 이상처리부에서 처리를 하게 된다.

상기 이상처리부는 경고 알람 혹은 처리를 일시정지할 수 있다. 대상물이 기울여져 놓여 있지 아니하면 정상처리부에서 정상처리를 하게 된다. 정상처리란 예를 들어 가공처리를 마친 후 이송을 하게 되는 것을 의미할 수도 있다.

상기 수차례에 걸쳐 감지하는 방법으로는 다음과 같다.

감지수단이 동작하는 것은 상기한 바와 같이 동일하며, 구동축을 통하여 대상물이 360도 이하로 회전하게 된다. 예를 들어, 90도, 120도, 180등을 설정할 수 있다.

즉, 원하는 각도를 설정할 수 있는 바, 세밀한 설정에서는 대상물의 표면에 크랙, 치핑(Chipping) 정도의 감지가 가능하게 된다.

상기 디스펜서암(110) 혹은 전송암(120)의 움직임으로 인하여 감지수단이 대 상물의 원주에서 중심점을 향하여 대상물이 1회전시 일정간격(예컨대, 1mm씩) 이동하면서 감지수단을 투사하게 된다.

회전은 모터가 구동축을 구동함에 따라 가이드연결부가 동일하게 회전하며 가이드 및 대상물안치부도 움직이게 되며 아울러 대상물도 회전하게 된다.

회전함에 따라 상기 감지수단의 빛 혹은 초음파가 대상물을 1차 조사한 부분과 다른 부분을 조사하여 감지하게 된다.

상기와 같이, 대상물에 이물질이 부착되는 것을 방지함, 대상물의 기울임 정도, 대상물의 휨 정도, 대상물의 크랙, 치핑등의 이상을 감지하여 대상물의 불량율을 최소화시킬 수 있는 장점을 가지게 된다.

이상에서와 같은 내용의 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시된 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구 범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 대상물 고정감지장치는,

대상물이 위치되는 대상물안치부 및 대상물의 테두리를 고정하는 가이드를 구성하여 대상물을 압박할 필요없이 고정이 가능함으로써, 대상물에 이물질이 부착되는 것을 방지함, 대상물의 기울임, 휨, 대상물의 표면에 발생하는 치핑 및 크랙을 감지할 수 있으므로 불량을 사전에 제거 및 감지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 대상물을 안치할 경우에 대상물을 검사하여 대상물의 기울어짐, 대상물의 휨, 치핑, 크랙등의 이상을 검출할 수 있으므로 대상물에 이상이 있는 경우에 경고 알람 혹은 일시 정지를 할 수 있으므로 사전 검사가 가능한 효과가 있다.

Claims (3)

1. 삭제
2. 빛 혹은 초음파를 발광하는 발광부와 빛 혹은 초음파를 수광하는 수광부로 이루어진 감지수단(100)과;

   상기 감지수단이 부착되는 디스펜서암(110)과;

   상기 디스펜서암을 제어수단과 연결하는 전송암(120)과;

   전원으로 구동되며, 동력을 발생하는 모터(130)와;

   상기 모터의 동력에 의해 회전하는 구동축(140)과;

   대상물의 테두리를 고정하는 가이드(150)와;

   대상물이 위치되는 대상물안치부(160)와;

   상기 구동축과 상기 가이드와 대상물안치부를 연결하는 가이드연결부(170)와;

   상기 각 구성요소를 제어하는 제어수단(180);을 포함하여 구성되되,

   상기 제어수단(180)은,

   감지수단을 통해 대상물의 유무를 확인한 결과데이터를 판단하는 수치분석부와,

   대상물에 이상이 있는 경우, 경고 알람 혹은 일시 정지를 하도록 하는 이상처리부와,

   대상물에 이상이 없는 경우, 정상 처리하는 정상처리부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대상물 고정감지장치.
3. 삭제

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