KR100790841B1 - 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 상변화 메모리 시편에 고해상도 이미지 센서를 통해 임의의 지점을 지정하고 시료의 조건에 적합한 기록조건을 설정하여 기록하고, 기록 후 기록위치에서 상변화된 상변화 메모리의 반사율 차이에 따른 이미지를 직접 관찰할 수 있도록 하기 위한 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법에 관한 것으로, 상변화 메모리 레코더의 운용방법에 있어서, 상기 상변화 메모리의 두 전극 사이에 양 끝단이 연결되어 있는 상변화 물질 패턴의 기록위치에 대해 기록빔이 주사되도록 하고, 광픽업장치로부터 출력되는 포커싱 에러신호를 이용하여 포커스 조정이 이루어질 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
상변화 메모리, 전자현미경, 광픽업장치, 얼라인장치

Description

상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법{Phase-change Random Access Memory recorder and operation method thereof}
도 1은 본 발명의 상변화 메모리 레코더의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 얼라인 장치의 정면도를 나타낸 도면.
도 3 및 도 4는 본 발명의 작동상태를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 상변화 메모리 레코더의 사용상태를 나타낸 도면.
도 6은 상변화 메모리에서의 전극구조와 기록빔의 궤적의 일 실시예를 도시한 도면.
도 7은 기록마크와 상변화 기록층에서의 문턱온도를 도시한 도면.
도 8은 기록펄스 파형도.
도 9는 본 발명에 따른 상변화 메모리 레코더의 운용방법을 설명하기 위한 동작흐름도.
도 10은 본 발명이 적용된 사용자 인터페이스 창을 도시한 도면.
??도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.
10 : 전자현미경 12 : 이미지센서
14 : 상변화 메모리 16 : 모니터
18 : 상변화 메모리 레코딩 제어장치
20 : 조절수단 22 : 연결부
13: 조명부 21: 고정봉
삭제
23: 조절레버 30: 광픽업장치
삭제
41: 테이블 42: 수직이동부
43: 수평이동부 44, 45: 가동부재
46: 작동부 47: 이동플레이트
48: 스프링 50: 메인베이스
본 발명은 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법에 관한 것으로, 특히 상변화 메모리 시편에 고해상도 이미지 센서를 통해 임의의 지점을 지정하고 시료의 조건에 적합한 기록조건을 설정하여 기록하고, 기록 후 기록위치에서 상변화된 상변화 메모리의 반사율 차이에 따른 이미지를 직접 관찰할 수 있도록 하며, 기록면의 반사율 차이를 통해 상변화된 기록 위치와 형상을 확인할 수 있도록 하기 위한 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법에 관한 것이다.
상변화 메모리(PRAM: Phase-change Random Access Memory)는 온도 변화에 의 한 상전이에 따라서 저항값이 변화되는 상변화 물질(Ge-Sb-Te: 이하 GST라 한다)을 이용하여 데이터를 저장하는 비휘발성 메모리 소자이다.
상변화 메모리(PRAM) 셀(Cell)의 상변화 물질(GST)에 전류를 흐르게 하여 상변화 물질(GST)을 용융점(Melting Temperature) 이상으로 가열한 뒤 급속히 냉각시키면 상변화 물질(GST)이 비결정화(Amorphous) 형태로 변환되어 정보 "1"을 저장한다. 이러한 상태를 리셋(Reset) 상태라고 한다.
한편, 상변화 메모리(GST)를 결정화온도(Crystallization Temperatuer)이상으로 가열하여 일정 시간 동안 유지한 뒤 서서히 냉각을 시키면 상변화 물질(GST)이 결정화(Crystalline) 형태로 변환되고, 정보 "0"을 저장한다. 이를 셋(Set) 상태라고 한다.
따라서, 상변화 메모리(PRAM) 상에서 독출 동작은 비트라인과 위드라인을 선택하여 특정 메모리 셀을 선택한 후, 외부에서 전류를 흘려 상변화 물질(GST)의 저항 상태에 따른 전압 변화의 차이로서 "1"과 "0"을 구분한다.
그리고, 상변화 메모리(PRAM) 상에서 상변화 물질(GST)에 데이터를 기입하는 동작은 주울 열(Joule heating)에 의해 발생되는데, 주울 열은 상변화 물질(GST)과 하부 콘택트(Bottom Contact)의 접촉면적에 비례하여 증가하거나 또는 감소한다.
그런데 현재 이러한 상변화 메모리를 개발하기 위해서는 메모리 셀의 집적도향상, 노이즈 저감과, 전극의 구조, 메모리 회로설계, 상변화 재료의 특성향상 등을 위한 실험, 평가에 사용할 장비가 매우 필요한 실정이다.
그러나 종래의 상변화 물질(GST)에 데이터를 입력하기 위해서는 고가의 장비 를 이용하여야 하고 상기 장비의 고장이나 문제 발생시에도 고가의 비용이 들어 경제적인 부담이 발생하는 문제점이 있었다. 즉, 상변화 물질(GST) 상에서 정확한 기록위치를 선정하기 위해 초정밀 이송계와 트랙킹 및 포커싱 장치가 필요하며, 또한 원하는 기록위치의 확인과 기록전후에 상변화된 고해상도 이미지를 확인하기 위한 고해상도 광학계 등의 구성에 고가의 비용이 소모되는 문제점이 있다. 상변화 물질(GST)의 정확한 포커싱을 위해서는 대략 0.1~0.2 마이크론 대역의 포커싱 정밀도와 0.5~1um이내의 트래킹 정밀도를 필요로 하며, 이를 위한 초정밀 구동장치는 매우 고가의 제작비용이 소모된다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 종래와 같이 상변화 물질(GST) 상에서 정확한 기록위치를 선정하기 위해 초정밀 이송계와 트랙킹 및 포커싱 장치를 사용하는 대신에, 일차적으로 X-Y-Z축 방향으로 상변화 메모리를 정렬시킬 수 있는 얼라인 장치를 이용하여 대략적인 기록위치를 선정한 후 렌즈만 구동되는 광학계로 이차적인 초정밀 조정을 실시할 수 있는 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법을 제공하는데 있다.
즉, 본 발명의 목적은 모니터를 통해 웨이퍼의 임의의 전극위치를 확인하고, 전자현미경 및 얼라인 장치를 이용하여 기록할 위치를 성긴 조정(Coarse adjustment)을 통해 선정한 후 렌즈만 구동되는 픽업장치를 사용하여 전극의 양단을 잇는 브릿지(상변화 물질)를 가로지르면서 기록빔이 조사되어 기록 동작이 이루 어지도록 하는 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 사용자가 원하는 전극상의 한 점 및 라인에 대해 여러 가지 기록조건을 변화시켜가면서 입력할 수 있도록 하는 상변화 메모리 레코더 및 그 운용방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예는 상변화 메모리 레코더의 운용방법에 있어서, 상기 상변화 메모리의 두 전극 사이에 양 끝단이 연결되어 있는 상변화 물질 패턴의 기록위치에 대해 기록빔이 주사되도록 하고, 광픽업장치로부터 출력되는 포커싱 에러신호를 이용하여 포커스 조정이 이루어질 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는, 상변화 메모리 레코더의 운용방법에 있어서, (1) 이미지 센서를 통해 출력되는 상변화 메모리의 영상이 화면상에 출력되고 상기 화면상에 출력된 영상을 이용하여 기록위치를 선정하는 단계; (2) 상기 상변화 메모리가 얼라인 장치에 의해 정렬되는 단계; (3) 상기 얼라인 장치에 의해 정렬된 상기 상변화 메모리상의 기록위치가 확인될 수 있도록 화면상에 출력되는 단계; (4) 상기 상변화 메모리상에 기록조건이 설정 및 입력되는 단계; (5) 상기 상변화 메모리상의 기록조건에 따라 광픽업장치의 헤드가 기록위치로 이동되고 포커스가 조정되는 단계; 및 (6) 상기 광픽업장치를 제어하여 선정된 기록위치에 대해 기록이 이루어질 수 있도록 기록빔을 조사하는 단계; 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 또다른 실시예는 상변화 메모리 레코더에 있어서, 이미지를 센싱하는 이미지 센서가 구비되고, 포커스 조정이 이루어지는 전자현미경과, 상기 이미지 센서로부터 상변화 메모리의 영상을 입력받아 기록위치를 선정할 수 있도록 기록면의 상변화 이미지를 화면상에 출력하여 기록하되 레이저 출력과 파형을 조정하여 출력하는 상변화 메모리 레코딩 제어장치와, 상기 상변화 메모리가 장착되고, 조작에 의해 상기 장착된 상변화 메모리를 X-Y-Z축 방향으로 정렬시키는 얼라인 장치와, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치의 제어에 따라 상기 정렬된 상변화 메모리의 기록위치로 기록빔이 조사되도록 하는 광픽업장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 상변화 메모리 레코더의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명인 상변화 메모리 레코더(1)는 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이 이미지 센서(12)가 구비되고, 수동에 따라 포커스 조정이 이루어지는 전자현미경(10)과, 수동에 의해 기록위치를 선정할 수 있도록 상기 이미지 센서(12)로부터 상변화 메모리(14)의 영상을 입력받아 화면상에 출력하고, 기록 후 기록면의 상변화 이미지를 화면상에 출력하는 한편, 수동에 의한 설정 조건에 따라 상기 선정된 위치에 대해 기록이 이루어질 수 있도록 제어하는 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)와, 상기 상변화 메모리(14)가 장착되고, 상기 장착된 상변화 메모리(14)를 X-Y-Z축 방향으로 정렬시키는 얼라인 장치(40)와, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)의 제어에 따라 상기 정렬된 상변화 메모리(14)의 기록위치로 기록빔이 조사되도록 하는 광픽업장치(30)로 구성된다.
상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 포커스 게이지(focus gauge, 24)를 더 포함하고 있으며, 상기 포커스 게이지(24)는 전자현미경(10)이 수직방향으로 이동되면서 포커스가 조정될 때 조정되는 현재 포커스 상태를 수신받아 표시 바늘을 눈금 사이로 이동시켜 표시하게 된다. 이에 수동 조작시 포커스 게이지(24)의 눈금이 최대가 될 때까지 포커스를 조정하면 된다.
상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 상기 광픽업장치(30)로부터 피드백되는 포커싱 에러신호를 이용하여 상기 광픽업장치(30)의 포커싱 제어신호를 생성하여 상기 광픽업장치(30)로 출력한다.
상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 상기 광픽업장치(30)의 헤드가 기록위치로 이동된 후 포커스 조정이 이루어지도록 한다.
상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 상기 이미지 센서(12)를 통해 입력되는 상변화 메모리 영상을 동영상 또는 정지영상으로 저장하는 한편 고해상 LCD인 모니터(16)를 통해 표출되도록 한다.
한편, 상기 전자 현미경(10)은 메인베이스(50)에 장착되어 있고, 조절수단(20)에 의해 높낮이가 조절된다.
상기 메인베이스(50)는 직사각형 형상으로 소정의 두께를 가지고 형성되며 형상은 필요에 따라 다르게 형성될 수 있다.
또한, 상기 전자현미경(10)의 하단으로는 조명부(13)가 형성되되 상기 조명부(13)는 일반 전구, 형광 등을 이용하여 구현할 수도 있지만, 여기서는 효율이 좋은 LED 라이트에 한정해서 설명하기로 한다.
그리고 상기 전자현미경(10)의 일측 외주면과 결합되어 상기 전자현미경(10)의 높낮이를 조절하는 조절수단(20)은 상기 메인베이스(50)와 일측이 결합되는 고정봉(21)과, 상기 고정봉(21)의 타측에 형성되며 상기 전자현미경(10)의 일측 외주면에 결합되는 연결부(22)와, 상기 연결부(22)와 고정봉(21)의 높낮이 조절시 고정하기 위한 조절레버(23)가 형성된다.
상기 전자현미경(10)을 통해서 상변화 메모리(14)의 위치를 X-Y-Z축으로 정렬하는 얼라인 장치(40)는 도 2에 도시된 도면을 참조로 설명하면 상기 상변화 메모리(14)가 상부에 안착되는 테이블(41)이 상부에 형성되되 상기 상변화 메모리(14)가 안착 되는 상부에는 소정의 홈이 형성되어 X-Y-Z축의 정렬시 상변화 메모리(14)가 이동되는 것을 방지할 수 있다.
상기 테이블(41)의 저면에는 상기 테이블(41)을 Z축 방향으로 조절하기 위한 수직이동부(42)가 형성되고 그 수직이동부(42)는 상기 테이블(41)의 저면과 결합되는 플레이트(42a)와, 후설 할 수평이동부(43)와 결합되는 플레이트(42b)로 형성되며 상기 수평이동부(43)와 결합되는 플레이트(42b)의 일측으로는 상기 플레이트(42a)를 상승시키기 위한 가동부재(44)가 형성되되 이 가동부재(44)는 레버를 손으로 조작하는 조절하는 수단과, 모터에 의해서 조절하는 수단으로 형성될 수 있으며 여기서는 모터에 의해서 조작되는 수단으로 설명하기로 한다.
상기 수직이동부(42)의 플레이트(42b)와 일측이 결합되는 수평이동부(43)는 수평한 판으로 일측으로는 수평이동부(42)의 이동을 위한 가동부재(45)가 형성되고 이 가동부재(45)는 레버를 손으로 조작하는 조절하는 수단과, 모터에 의해서 조절하는 수단으로 형성될 수 있으며 여기서는 모터에 의해서 조작되는 수단으로 설명하기로 한다.
상기 수직이동부(42)와 수평이동부(43)의 양측면에 각각 수직 형성되는 작동부(46)는 소정의 높이를 가지고 형성되며 상부에는 이동레일(46a)이 " ㄷ" 형상으로 소정구간 형성된다.
상기 이동레일(46a)과 결합되는 가이드(47a)가 내측면 소정 구간 형성되는 이동플레이트(47)는 "
Figure 112007055953312-pat00001
"의 형상으로 중앙의 일면으로는 상기 광픽업장치(30)가 안착 된다.
또한, 상기 테이블(41)과 수평이동부(43) 사이에는 스프링(48)이 형성되어서 상기 수직이동부(42)와 수평이동부(43) 평형상태가 유지되도록 한다.
상기 테이블(41)에 안착되는 상변화 메모리(2)에 기록을 입력하는 광픽업장치(30)는 상기 이동플레이트(47)에 형성되는 공간에 결합되는 구조로 형성되고 도면의 내부 구조는 생략하며 간단하게 작동설명을 하면 다음과 같다.
설정된 파장을 갖는 레이저광이 발생되는 레이저 다이오드와, 이 레이저 다이오드의 상측에 형성되어 입사되는 광을 회전현상을 이용해 0차 회절광과 ±1차 회절광, 즉 쓰리빔으로 분리시키는 회전 격자와 이 회절격자의 일측에서 소정의 기울기를 갖고 형성되어 입사광을 투과시켜 반사광을 반사시키는 빔스플리터와, 상기 빔스플리터의 상측에 형성되어 굴절된 광이 직선성을 갖도록 하는 콜리메이터렌즈와, 이 콜리메이터렌즈의 상측에 형성되며 직선상을 가진 광을 집광하여 상변화 메모리상에 정보를 기록하는 대물렌즈와 상기 기록된 정보를 수반한 레이저광에서 포커스 에러의 검출을 위해 비점수차를 발생시키는 비점수차 발생렌즈와, 이 비점수차 발생렌즈를 통과한 광정보를 검출하여 전류신호로 변환시키는 광검출기로 구성된다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 작동상태를 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 상변화 메모리 레코더의 사용상태를 나타낸 도면이다.
먼저, 메인베이스(50)의 중심으로는 X-Y-Z축을 조절할 수 있는 수평이동부(43)가 형성되고 그 수평이동부(43)의 일측으로는 가동부재(45)인 모터가 형성되며 또한, 상기 수평이동부(43)의 상부로는 테이블(41)과 결합된 수직이동부(42)가 형성되되 그 수직이동부(42)의 일측으로는 가동부재(44)인 모터가 형성된다.
그리고 상기 수직이동부(42)와 수평이동부(43)의 측면으로는 상부에 이동레일(46a)이 형성되는 작동부(46)가 형성되되 이때 상기 작동부(46)의 간격은 상기 이동플레이트(47)에 형성되는 가이드(47a)가 상기 작동부(46)에 형성되는 이동레일(46a)과 결합되는 간격을 고려하여 형성된다.
상기 작동부(46)와 이동플레이트(47)가 결합된 상부로는 상기 조절수단(20)의 연결부(22)와 결합된 전자현미경(10)이 형성되는데 이때 상기 전자현미경(10)의 상부에는 이미지센서(12)가 하부에는 조명부(13)가 형성된다.
또한 상기 연결부(22)는 상기 고정봉(21)에 결합된 조절레버(23)를 통해서 높이가 맞춰진 후 고정되게 된다.
상기와 같이 준비된 상태에서 첨부 도면 도 9에 도시된 동작흐름도를 통해 알 수 있는 바와 같이 상기 테이블(41)에 상변화 메모리(14)를 안착시키고, 상기 전자현미경(10)에 구비된 이미지 센서(12)가 상변화 메모리(14)의 영상을 촬영하여 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)로 출력하여 모니터(16) 상에 출력되도록 한다(S100). 이때, 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)를 통해 제공되는 운용프로그램을 이용하여 모니터(16)의 화면상에 출력되는 상변화 메모리(14) 영상의 크기 및/또는 해상도를 조절하거나 동영상이나 정지영상으로 저장할 수 있다. 여기서 운용프로그램은 첨부 도면 도 10과 같은 사용자 인터페이스 창(100)을 제공한다. 상기 사용자 인터페이스 창(100)은 파일 미리 보기기능을 제공하며, 미디어 파일 재생 기능을 제공하며, 상기 사용자 인터페이스 창(100)을 통해 재생할 수 있는 파일은 이미지, 오디오, 비디오 파일을 포함한다.
상기 사용자 인터페이스 창(100)의 상단에는 Current Resolution 및 레코딩 인덱스(Recording index) 정보가 표시되고, 그 하단에는 기본메뉴항목(110)이 표시된다.
상기 기본메뉴항목(110)에는 모니터(16) 상으로 제공되는 이미지 창을 중단 또는 시작할 수 있는 "view"버튼과, 동영상을 촬영하거나 중지시킬 수 있는 동영상 촬영/중지버튼(Rec/Stop)과, 현재 모니터(16)를 통해 출력되고 있는 영상을 정지영상(그림파일)으로 저장할 수 있도록 하는 스냅사진 촬영버튼(Shot)과, 이미지 센서(12)를 통해 입력되는 영상을 위/아래로 뒤집을 수 있도록 하는 뒤집기버튼(Flip)과, 화면의 크기를 조절할 수 있는 화면 크기 조절버튼(Size)과, 화면의 해상도를 조절할 수 있도록 하는 해상도 전환 버튼(Res.)이 포함되어 있다.
상기 기본메뉴항목(110) 하단에는 백그라운드 선택항목(120)이 위치하며, 상기 백그라운드 선택항목(120)은 화면에 눈금을 출력하여 정밀한 제품의 측정시 유용하게 사용할 수 있도록 하는 기능이다.
상기 백그라운드 선택항목(120)과 동일한 라인상에 작업폴더(130)가 구비되어 있으며, 상기 작업폴더(130)에는 미디어 재생창을 열기 위한 미디어 재생항목, 녹화창에서 출력파일을 지정할 때 보여지는 폴더인 비디오 폴더항목, 촬영된 이미지가 저장되는 폴더인 이미지 폴더 항목과 미리 보기 탐색창에서 선택된 이미지를 삭제할 수 있는 삭제항목 등이 포함되어 있다.
그리고 수동 조작으로 상기 사용자 인터페이스 창(100)을 통해 실물화상기 영상의 품질과 속도 및 출력해상도를 원하는 조건으로 설정할 수 있으며, 또한 화면의 대비, 선명도, 채도, 자동/수동 노출 등을 조절할 수 있도록 한다. 그리고, 상기 사용자 인터페이스 창(100)을 통해 동영상 촬영시 음성 녹음과 카메라 드라이버를 설정할 수 있으며, 카메라를 통해 얻은 이미지 파일을 편집하거나 간단한 메모 등을 입력할 수 있다.
그리고, 상기와 같이 전자현미경(10)의 위치를 조정한 후 얼라인 장치(40)를 통해 상변화 메모리(14)의 위치가 조정되어 전자현미경(10)과의 포커스 조정이 이루어진다(S110). 즉, 얼라인 장치(40)의 수평이동부(42)는 외부(모터)로부터 수평으로 가해지는 힘에 의해 상기 상변화 메모리(14)를 X-Y축으로 이동시켜 정렬시키고, 수직구동부(43)는 외부(모터)로부터 수직으로 가해지는 힘에 의해 상하(Z축)로 이동시켜 정렬시키므로써, 상기 상변화 메모리(14)의 기록위치를 선정할 수 있도록 한다. 이때, 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 포커스 게이지(24)가 더 구비되어 있어, 상기 전자현미경(10)의 포커스를 수동으로 조정할 때 현재의 포커스 신호를 수신받아 눈금으로 표시되도록 한다. 이에 따라, 상기 포커스 게이지(24)의 눈금이 최대가 될 때까지 전자현미경(10)의 포커스를 수동으로 조정하면 된다.
상기와 같이 상변화 메모리(14)에 대해 X-Y-Z축의 정렬의 끝나면 얼라인 장치(40)의 상부에 형성되는 전자현미경(10)이 치워지면 상기 이동플레이트(47)에 형성된 광픽업장치(30)가 상기 작동부(46)에 형성되는 이동레일(46a)을 따라서 상기 상변화 메모리(14)의 상부로 이동된다.
즉, 상기 광픽업장치(30)는 상기와 같이 준비된 상태에서 수동 조작에 의해 미리 선정된 기록위치 이전부터 기록빔을 조사시킬 수 있도록 상변화 메모리(14)의 상부로 이동된다. 이때, 전자현미경(10)에 구비된 이미지 센서(12)는 상기 정렬된 상변화 메모리(14)를 촬영하여 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)로 전송하고, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 수신된 상변화 메모리(14)의 영상을 모니터(16)의 화면상에 출력시켜 수동으로 기록위치를 확인할 수 있도록 한다(S120).
상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 수동에 의해 입력되는 기록조건에 따라 상기 상변화 메모리상의 기록조건을 설정(S130)하고, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 설정조건에 따라 상기 광픽업장치(30)의 헤드를 기록위치로 이동시키고 포커스 조정이 이루어지도록 한다(S140). 이때, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치(18)는 광픽업장치(30)의 헤드가 기록위치로 이동된 후 광픽업장치(30)로부터 피드백되는 포커싱 에러신호를 이용하여 상기 광픽업장치(30)의 포커스 제어신호를 생성하고, 생성된 포커스 제어신호를 상기 광픽업장치(30)로 출력하여 포커스 조정이 이루어지도록 한다.
그리고, 상기 광픽업장치(30)는 첨부 도면 도 6에 도시된 바와 같이 두 전극 사이를 연결하는 브릿지 형태의 상변화 물질(GST) 패턴에 대해 높은 파워의 짧은 펄스폭을 갖는 기록빔이 조사되도록 하고 조사되는 기록빔 중 하나가 상변화 물질(GST) 패턴 상부로 조사되어 기록이 가능해지도록 한다(S150). 즉, 첨부 도면 도 7에 도시된 바와 같이 상변화 물질(GST)이 존재하지 않는 기판 상부에는 기록마크(written mark)만이 존재할 뿐 어떤 상변화도 일어나지 않는 반면에, 첨부 도면 도 8에 도시된 바와 같이 상변화 물질(GST)이 존재하는 위치에서 기록빔의 온도가 문턱온도(threshold temp.) 이상인 경우 기록막이 용융되어 액체상태로 바뀌고, 이 액체 상태를 급냉시키면 기록막이 비결정(Amorphous) 상태로 바뀌어 기록상태("1")가 된다. 한편, 상기 상변화 물질(GST) 상부에 낮은 파워의 긴 펄스폭의 기록빔을 조사하면 상기 상변화 물질(GST)은 다시 액체상태로 바뀌고, 상기 액체 상태의 기록막을 서서히 냉각시키면 결정(Crystalline)상태로 바뀌어 소거상태("0")가 된다.
이때, 상기 상변화 물질(GST)이 비정질(Amorphous) 상태일 경우에는 반사율이 높고, 결정(Crystalline)상태일 경우에는 반사율이 낮다는 특징을 이용하여 전자현미경(10)을 이용하여 육안으로 확인할 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 상변화 메모리 레코더에 의하면 기록빔을 통해서 기록파형, 기록시간, 기록파워 등과 같은 기록조건을 입력할 수 있을 뿐만 아니라 간단한 장비 구성을 통해서 저렴한 비용으로도 상변화 물질에 데이터를 입력할 수 있는 효과가 있다.
즉, 본 발명은 실제로 기록빔이 조사되어야 하는 상변화 물질 패턴 영역 앞뒤로 미리 일정 거리만큼 떨어진 위치에서부터 기록빔이 조사하여 원하는 기록위치를 지나가게 함으로서 원하는 기록지점이 어느 순간에 반드시 기록을 하므로써, 정밀한 트래킹 조정시 필요로 했던 고가의 광픽업장치 대신에 저가의 광픽업장치를 구현할 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 광픽업장치에서 출력되는 포커싱 에러신호를 이용하여 포커스 조정신호를 생성해 내기 때문에 전술한 바와 같이 정밀한 포커싱 조정시 필요로 했던 고가의 광픽업장치 대신에 저가의 광픽업장치를 구현할 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 상변화 합금을 레이저의 열에 의해서 결정상태에서 비결정상태로 만들어 그 반사율차로 기록 및 재생 특성을 얻음으로써 약 1000회까지 재기록이 가능하도록 하는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 삭제
  2. 상변화 메모리 레코더의 운용방법에 있어서,
    (1) 이미지 센서를 통해 출력되는 상변화 메모리의 영상이 화면상에 출력되고 상기 화면상에 출력된 영상을 이용하여 기록위치를 선정하는 단계;
    (2) 상기 상변화 메모리가 얼라인 장치에 의해 정렬되는 단계;
    (3) 상기 얼라인 장치에 의해 정렬된 상기 상변화 메모리상의 기록위치가 확인될 수 있도록 화면상에 출력되는 단계;
    (4) 상기 상변화 메모리상에 기록조건이 설정 및 입력되는 단계;
    (5) 상기 상변화 메모리상의 기록조건에 따라 광픽업장치의 헤드가 기록위치로 이동되고 포커스가 조정되는 단계; 및
    (6) 상기 광픽업장치를 제어하여 선정된 기록위치에 대해 기록이 이루어질 수 있도록 기록빔을 조사하는 단계;
    를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더의 운용방법.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 (1) 단계는,
    전자현미경의 포커스 조정시 조정되는 현재 포커스 상태를 포커스 게이지를 통해 표시되도록 하는 단계를 더 포함하는 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더의 운용방법.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 (5) 단계는,
    상기 광픽업장치로부터 피드백되는 포커싱 에러신호를 이용하여 상기 광픽업장치의 포커스 제어신호를 생성하여 상기 광픽업장치로 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더의 운용방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 (5) 단계는,
    상기 광픽업장치의 헤드가 기록위치로 이동된 후 포커스 조정이 이루어지도 록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더의 운용방법.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 (1) 단계는,
    상기 이미지 센서를 통해 입력되는 상변화 메모리 영상을 동영상 또는 정지영상으로 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더의 운용방법.
  7. 상변화 메모리 레코더에 있어서,
    이미지를 센싱하는 이미지 센서가 구비되고, 포커스 조정이 이루어지는 전자현미경과,
    상기 이미지 센서로부터 상변화 메모리의 영상을 입력받아 기록위치를 선정할 수 있도록 기록면의 상변화 이미지를 화면상에 출력하여 기록하되 레이저 출력과 파형을 조정하여 출력하는 상변화 메모리 레코딩 제어장치와,
    상기 상변화 메모리가 장착되고, 이를 X-Y-Z축 방향으로 정렬시키는 얼라인 장치와,
    상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치의 제어에 따라 상기 정렬된 상변화 메모리의 기록위치로 기록빔이 조사되도록 하는 광픽업장치
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치는,
    상기 광픽업장치로부터 피드백되는 포커싱 에러신호에 의해 상기 광픽업장치에서 포커스 제어신호가 생성되고 상기 광픽업장치로 출력하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치는,
    포커스 게이지를 더 포함하고 있으며,
    상기 포커스 게이지는, 상기 전자현미경이 수직방향으로 이동되면서 포커스가 조정될 때 조정되는 현재 포커스 상태를 수신받아 표시하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치는,
    상기 광픽업장치의 헤드가 기록위치로 이동된 후 포커스 조정이 이루어지도 록 하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 상변화 메모리 레코딩 제어장치는,
    상기 이미지 센서를 통해 입력되는 상변화 메모리 영상을 동영상 또는 정지영상으로 저장하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 레코더.
  12. 제 7항에 있어서, 상기 얼라인 장치는,
    상기 상변화 메모리가 상부에 안착되는 테이블과;
    상기 테이블의 저면에 형성되어 상기 테이블을 Z축 방향으로 이동하기 위한 수직이동부와;
    상기 수직이동부와 연결되어 상기 테이블을 X-Y축 방향으로 이동하기 위한 수평이동부와;
    상기 수직이동부와 수평이동부의 측면에 형성되고 상부에는 이동레일이 형성되는 하부 작동부와;
    상기 이동레일과 결합되는 가이드가 내측면에 형성되고 일측으로는 상기 광픽업장치가 수용되는 공간이 형성되는 이동플레이트
    를 포함하여 이루어진 것을 특징을 하는 상변화 메모리 레코더.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100250576B1 (ko) 1997-03-31 2000-04-01 전주범 디지탈 비디오 디스크 레코더의 데이타 기록 제어장치

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