KR100787467B1 - 디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법 - Google Patents

디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법 Download PDF

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손승현
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이광식
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Abstract

디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법을 개시한다. 본 발명은 가시광이 투과가능한 제 1 기판;과, 제 1 기판과 대향되게 배치된 제 2 기판;과, 제 1 기판상에 배치된 애노우드;와, 제 2 기판상에 배치된 캐소우드;와, 애노우드 및 캐소우드중 어느 한 전극상에 배치된 전자 에미터;와, 결합된 기판내에 형성된 발광층;과, 제 2 기판쪽에 배치된 광반사층;과, 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 충진된 자외선 방출 가스;를 포함하는 것으로서, 투과형 디스플레이 장치 또는 반사형 디스플레이 장치의 밀폐된 내부 공간에 광반사층을 형성하는 것에 의하여 가시광의 반사율을 높일 수가 있으며, 휘도 및 발광 효율을 향상시킬 수가 있다.

Description

디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법{Display apparatus and the fabrication method thereof}
도 1은 종래의 디스플레이 장치를 도시한 단면도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 디스플레이 장치를 도시한 단면도,
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 디스플레이 장치를 도시한 단면도,
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 디스플레이 장치를 도시한 단면도,
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 도시한 것으로서,
도 5a는 기판상에 전극이 패턴화된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 5b는 도 5a의 기판상에 마스크를 정렬한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 5c는 도 5b의 기판상에 광반사층의 원소재를 코팅시키는 상태를 도시한 단면도,
도 5d는 도 5c의 기판상에 광반사층이 완성된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 도시한 것으로서,
도 6a는 기판상에 전극이 패턴화된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 6b는 도 6a의 기판상에 포토 레지스터층을 도포한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 6c는 도 6b의 기판상에 포토 레지스터층이 패턴화된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 6d는 도 6c의 기판상에 광반사층의 원소재가 코팅된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 6e는 도 6의 기판상에 광반사층이 완성된 이후의 상태를 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>
200...디스플레이 장치 201...제 1 기판
202...제 2 기판 203...애노우드
204...캐소우드 205...발광층
206...전자 에미터 207...그리드 전극
208...격벽 209...광반사층
본 발명은 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가시광을 반사하는 층이 형성되어서 휘도 및 발광 효율을 향상시킨 디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 디스플레이 장치는 크게 발광형과, 수광형으로 분류한다. 발광형으로는 평판 음극선관(flat cathode ray tube), 플라즈마 디스플레이 패 널(plasma display panel), 전자 발광 소자(electro luminescent display), 형광 표시 장치(vacuum fluorescent display), 발광 다이오드(light emitting diode)가 있다. 수광형으로는 액정 디스플레이(liquid crystal display)가 있다.
이중에서, 플라즈마 디스플레이 패널은 복수의 기판내에 방전 가스를 주입하여 밀폐한 다음에, 복수의 방전 전극에 인가되는 직류 또는 교류 전압에 의하여 가스 방전이 일어나게 되면, 방전 과정에서 발생되는 자외선에 의하여 형광체층이 여기되어서 가시광을 방출하여 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 표시하는 디스플레이 장치를 말한다.
플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가되는 구동 전압의 형식, 예컨대, 방전 형식에 따라 직류형과, 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라서 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수가 있다.
직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않는 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽 전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaining voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.
대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 픽셀마다 어드레스 전극과, 주사 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 픽셀마다 어드레스 전극과 이에 해당되는 유지 방전 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.
도 1을 참조하면, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 제 1 기판(101)과, 이와 대향되게 배치된 제 2 기판(102)과, 상기 제 1 기판(101)의 내면에 형성된 X 전극(103)과, Y 전극(104)을 구비한 유지 방전 전극쌍(105)과, 상기 유지 방전 전극쌍(105)을 매립하는 제 1 유전체층(106)과, 상기 제 1 유전체층(106)의 표면에 형성된 보호막층(107)과, 상기 제 2 기판(102)의 내면에 형성되며, 상기 Y 전극(104)과 교차하는 방향으로 배치된 어드레스 전극(108)과, 상기 어드레스 전극(108)을 매립하는 제 2 유전체층(109)과, 상기 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102) 사이에 설치된 격벽(110)과, 방전 셀내에 형성된 적,녹,청색의 형광체층(111)을 포함하고 있다. 한편, 상기 제 1 기판(101)과, 제 2 기판(102)의 결합된 내부 공간에는 방전 가스를 주입하여서 방전 영역을 형성하고 있다.
상기와 같은 구조를 가지는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 인쇄 공정과 같은 후막 형성 기술을 사용하기 때문에 패널을 쉽게 제조할 수 있지만, 공정의 제한으로 인하여 고화질 및 고해상도의 화면을 구현하기가 용이하지 않다.
또한, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 방전을 통하여 전자를 지속적으로 공급하여 가속하고, 가속된 전자가 중성 입자와 충돌하여 생긴 여기 입자가 방출하는 자외선에 의하여 형광체층(111)을 여기시켜서 가시광을 얻게 된다.
그러나, 이 과정에서, 발광에 도움이 되지 않는 이온을 생성하고, 이를 가속하는데 소비되는 에너지가 절반이 훨씬 넘어서, 불필요한 에너지 손실로 인한 효율 이 매우 낮은 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전자를 방출하는 디스플레이 장치에서 가시광을 반사하는 층이 형성되어서 휘도 및 발광 효율을 향상시킨 디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 디스플레이 장치는,
가시광이 투과가능한 제 1 기판;
상기 제 1 기판과 대향되게 배치된 제 2 기판;
상기 제 1 기판상에 배치된 애노우드;
상기 제 2 기판상에 배치된 캐소우드;
상기 애노우드 및 캐소우드중 어느 한 전극상에 배치된 전자 에미터;
상기 결합된 기판내에 형성된 발광층;
상기 제 2 기판쪽에 배치된 광반사층; 및
상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 충진된 자외선 방출 가스;를 포함한다.
또한, 상기 전자 에미터는 상기 애노우드상에 배치된 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 전자 에미터는 상기 캐소우드상에 배치된 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 전자 에미터 상에는 그리드 전극이 더 배치된 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 광반사층은 상기 전자 에미터로부터 전자가 투과되는 이외의 영역에 형성된 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 광반사층은 백색 유전체층 또는 박막의 금속층중 하나 이상의 층으로 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은,
기판상에 전극을 패턴화시키는 단계;
상기 기판상에 전극이 배치된 부분과, 전극이 배치되지 않은 부분을 식별하여 패턴화된 섀도우마스크를 정렬하는 단계; 및
상기 섀도우마스크에 의하여 차폐된 전극 상부를 제외하고, 기판상에 선택적으로 광반사층이 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은,
기판상에 전극을 패턴화시키는 단계;
상기 기판상에 전극을 매립하도록 포토 레지스터층을 도포하는 단계;
상기 기판을 노광 및 현상하여 기판상의 전극과 대응되는 위치에 포토 레지스터층을 패턴화시키는 단계;
상기 기판상에 광반사층을 형성하는 단계; 및
잔류하는 포토 레스터층을 제거하는 단계;를 포함한다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디 스플레이 장치를 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투과형 디스플레이 장치(200)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 디스플레이 장치(200)는 제 1 기판(201)과, 상기 제 1 기판(201)과 평행하게 배치된 제 2 기판(202)을 포함한다. 상기 제 1 기판(201)과, 제 2 기판(202)은 대향되는 내면의 가장자리를 따라서 프릿트 글래스(frit glass, 미도시)가 도포되어서, 밀폐된 내부 공간을 형성하고 있다.
상기 제 1 기판(201)의 내면에는 애노우드(203)가 배치되어 있다. 상기 애노우드(203)의 표면에는 발광층(205)이 형성되어 있다. 상기 제 2 기판(202)의 내면에는 캐소우드(204)가 배치되어 있다. 상기 캐소우드(204)의 표면에는 전자 에미터(electron emitter, 206)가 형성되어 있다. 상기 전자 에미터(206)의 표면에는 그리드 전극(207)이 형성되어 있다.
한편, 상기 제 1 기판(201)과, 제 2 기판(202) 사이에는 격벽(208)이 배치되어 있다. 상기 제 1 기판(201)과, 제 2 기판(202)과, 격벽(208)의 결합으로 밀폐된 내부 공간에는 기체가 주입되어 있는데, 기체는 네온(Ne) 가스나, 헬륨(He) 가스 또는 아르곤(Ar) 가스중의 어느 하나 또는 둘 이상의 가스에 크세논(Xe) 가스를 혼합한 혼합 기체로 이루어지는 것이 바람직하다.
이때, 밀폐된 내부 공간내에 주입된 기체는 방출된 전자가 여기된 기체를 이용하여 진공 자외선(UV)을 발생시킬 수 있다면 어느 것이나 적용가능하다. 즉, Xe 를 포함하는 기체 외에도 N2, 중소수, 이산화탄소, 수소 기체, 일산화탄소 및 크립톤(Kr) 등의 다양한 기체나, 대기압의 공기를 사용할 수 있다.
여기서, 상기 디스플레이 장치(200)에는 광반사층(209)이 형성되고, 전자 에미터(209)로부터 방출된 전자의 이동 방향과, 가시광의 투과 방향이 동일하다.
보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
상기 제 1 기판(201)과, 제 2 기판(202)은 소다 라임 글래스(soda lime glass)와 같은 투명한 기판이나, 반투과성 기판이나, 반사성 기판이나, 착색된 기판등을 사용할 수가 있다. 이때, 상기 제 1 기판(201)은 가시광이 투과되는 기판에 해당되므로, 투과율이 높은 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 애노우드(203)와, 캐소우드(204)와, 그리드 전극(207)은 ITO막과 같은 투명 도전막이나, Al이나, Ag와 같은 도전성이 우수한 금속막으로 이루어질 수가 있다.
상기 발광층(205)은 상기 애노우드(203)를 매립하도록 형성되어 있으며, 상기 전자 에미터(206)로부터 방출된 전자에 의하여 여기된 기체를 이용하여 발생된 자외선이 흡수됨으로써 여기되는 전자가 다시 안정 상태로 될 때 가시광을 방출할 수 있는 빛발광 매커니즘(photoluminescence mechanism)에 의한 PL 형광체층(photo luminescence phosphor layer)으로 이루어져 있다.
즉, 상기 발광층(205)용 소재로는 Xe 가스에서 발생되는 147 나노미터의 진공 자외선에 의하여 여기될 수 있도록, 147 나노미터에서 발광 효율이 좋은 소재를 사용하게 된다. 상기 발광층(205)은 디스플레이 장치(200)가 컬러 화상을 구현할 수 있도록 적색 발광층과, 녹색 발광층과, 청색 발광층이 각 밀폐된 내부 공간마다 형성되어서, 각각의 서브 픽셀(sub-pixel)을 이루고 있다.
이때, 적색 발광층은 (Y,Gd)BO3;Eu+3으로 이루어지고, 녹색 발광층은 Zn2SiO4:Mn2+으로 이루어지고, 청색 발광층은 BaMgAl10O17:Eu2+으로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 청색 발광층은 CaMgSi2O8:Eu2+나, BaMgAl10O17:Eu2+와 CaMgSi2O8:Eu2+의 혼합물을 사용할 수 있는등 어느 하나에 한정되는 것은 아니다.
대안으로는, 상기 발광층(205)으로 상기 PL 형광체층 뿐만 아니라, 자외선 영역의 에너지를 받아서 들뜬 원자가 안정화되면서 가시광을 발생시키는 CL 형광체층(cathode luminescence phosphor layer)이나, QD 형광체층(quantum dot phosphor layer)을 사용할 수가 있다.
CL 형광체층으로는 황화물계 형광체를 사용할 수 있으며, QD 형광체층은 원자들간의 간섭이 없기 때문에 외부에서 에너지를 받으면 원자 에너지 레벨에서 들뜬 원자가 안정화되면서 광을 발광하게 된다. 따라서, 낮은 전압으로도 여기가 가능하기 때문에 효율을 향상시킬 수 있으며, 인쇄 공정이 가능하여서 대형화에도 유리하다고 할 수 있다.
이처럼, 상기 발광층(205)으로는 PL 형광체층이나, CL 형광체층이나, QD 형광체층을 이용할 수 있으며, 이중 적어도 2 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
상기 전자 에미터(206)는 상기 캐소우드(204)를 매립하고 있다. 상기 전자 에미터(206)는 전자를 가속시켜서 전자빔을 발생시키는 소재라면 어느 것이라도 적용가능하며, 바람직하게는 산화된 다공성 실리콘(oxidized porous silicon, OPS)이나, 산화된 다공성 비정질 실리콘(oxidized porous amorphous silicon, OPAS)을 사용할 수가 있다.
대안으로는, 질화붕소 뱀부슈트(boron nitride bamboo shoot, BNBS)를 이용할 수 있다. 질화붕소 뱀부슈트는 가시광 영역인 대략 380 내지 780 나노미터 정도의 파장 영역에서 투명한 성질을 가질뿐만 아니라, 음(-)의 전자 친화도를 가지고 있기 때문에, 전자 방출 특성도 매우 우수한 것으로 알려져 있는 소재이다.
상기 전자 에미터(206)의 표면에는 그리드 전극(207)이 형성되어 있다. 상기 그리드 전극(207)은 투과형 구조의 디스플레이 장치(200)에 적용시에는 전자 방출 효율을 개선하기 위하여 0보다 크고, 10 나노미터 이하의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.
이렇게, 상기 그리드 전극(207)의 두께가 얇아져서 밀폐된 내부 공간에서 발생된 가시광이 제 1 기판(201)을 통과할 수 있는 반사층 역할을 할 수 없으므로, 전자가 투과되는 영역 이외의 그리드 전극(207)의 표면에는 100 나노미터 이상의 두께를 가지는 광반사층(209)이 형성되어 있다.
또한, 상기 광반사층(209)은 다음과 같은 이유로도 형성시키게 된다.
투과형 구조의 디스플레이 장치(200)는 가시광이 투과되는 제 1 기판(201)의 내면에 발광층(205)이 형성되어 있으므로, 반사형 구조에 비하여 발광층(205)의 도 포 면적이 작아서, 캐소우드(204)로부터 애노우드(203)로 드리프트되는 전자가 발광층(205)에 축적될 수 있으므로, 상기 발광층(205)의 두께는 얇게 형성시켜야만 한다.
이에 따라, 상기 발광층(205)이 도포되는 면적을 감소시키게 되면, 디스플레이 장치(200)의 휘도가 낮아지게 되는데, 저감된 휘도를 향상시키기 위하여 밀폐된 내부 공간내에 존재하는 가시광을 제 1 기판(201) 쪽으로 반사시킬 수 있는 광반사층(209)을 형성시키게 된다.
상기 광반사층(209)은 반사 효율을 향상시킬 수 있도록 Al2O3와 같은 백색의 유전체층으로 형성되어 있다. 대안으로는, 상기 광반사층(209)은 박막의 Al과 같은 반사성이 우수한 금속층을 이용할 수 있다.
상기와 같은 구조를 가지는 디스플레이 장치(200)의 작용을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 외부로부터 수신한 영상 신호가 도시되지 않은 영상 처리부와, 논리 제어부를 거쳐서 소망하는 영상을 출력하기 위한 신호로 변화되어서 애노우드(203)와, 캐소우드(204)와, 그리드(207)에 인가된다.
상기 전자 에미터(206) 사이에 전압이 인가되면, 상기 캐소우드(204)로부터 나온 전자가 전자 에미터(206)로 주입되고, 전자 에미터(206)내의 나노결정 실리콘과, 나노결정 실리콘 계면은 얇은 산화막으로 덮여 있어서 인가 전압의 대부분이 나노결정 실리콘 표면의 얇은 산화막에 걸려 강전계 영역을 형성하게 된다.
이 산화막은 매우 얇기 때문에 전자는 터널링 효과에 의하여 용이하게 통과하고, 강전계 영역을 통과할때마다 전자가 가속되고, 이것이 표면 전극 방향을 향해 반복적으로 일어나기 때문에 표면 전극도 터널링 효과에 의하여 통과하게 되어 밀폐된 내부 공간 내부로 전자 빔이 방출된다.
방출된 전자빔은 가스를 여기시키고, 여기된 가스는 안정화되면서 진공 자외선을 발생시킨다. 발생된 진공 자외선은 발광층(205)을 여기시켜 가시광을 발생시키고, 발생된 가시광은 제 1 기판(201) 쪽으로 출사되어 화상을 형성하게 된다.
이처럼, 캐소우드(204)로부터 애노우드(203) 방향으로 전자가 방출 및 가속되어 진행되는데, 방출된 전자에 의하여 여기된 기체를 이용하여 진공 자외선이 발생하게 되고, 이것이 발광층(205)을 여기시켜서 가시광을 방출하게 된다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사형 디스플레이 장치(300)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 디스플레이 장치(300)는 제 1 기판(301)과, 상기 제 1 기판(301)과 대향되게 배치된 제 2 기판(302)을 포함한다. 상기 제 1 기판(301)은 소다 라임 글래스와 같은 투과율이 높은 기판으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 제 1 기판(301)의 내표면에는 캐소우드(304)가 형성되어 있으며, 상기 제 2 기판(302)의 내표면에는 애노우드(303)가 형성되어 있다. 상기 캐소우드(304)가 형성된 제 1 기판(301)은 가시광이 투과되는 기판이다. 상기 캐소우드(304) 상에는 전자 에미터(306)를 사이에 두고 그리드 전극(307)이 배치되어 있다.
상기 애노우드(303) 상에는 발광층(305)이 형성되어 있다. 상기 발광층(305) 는 격벽(308)으로 구획된 밀폐된 공간내에 형성되어 있다. 상기 발광층(305)은 전자 에미터(306)로부터 방출된 전자에 의하여 여기된 기체를 이용하여 발생된 진공 자외선에 의하여 가시광을 방출할 수 있는 적,녹,청색의 PL 형광체층으로 이루어져 있다. 대안으로는, 상기 발광층(305)은 CL 형광체층이나, QD 형광체층을 사용할 수가 있다.
상기 발광층(305)과 접하게는 광반사층(309)이 형성되어 있다. 즉, 상기 광반사층(309)은 상기 발광층(305)과 제 2 기판(302) 사이에 형성되어 있다. 이때, 상기 광반사층(309)이 상기 애노우드(303)를 전체적으로 매립할 경우, 전자가 발광층(305))의 표면에 축적되어서 축적된 전자에 의하여 기체가 주입 공간에 인가되는 전압이 변하게 되므로, 상기 애노우드(303)가 형성된 영역은 발광층(305)과 접하고, 상기 광반사층(309)은 상기 애노우드(303)가 형성된 영역이외의 제 2 기판(302) 상에 형성되어 있다.
또한, 상기 광반사층(309)은 상기 발광층(305)과 격벽(308) 사이에도 개재될 수 있으며, 상기 제 2 기판(302)의 내표면에 형성된 부분과 일체로 형성되어 있다. 이에 따라, 상기 광반사층(309)은 상기 발광층(305)과 격벽(308) 사이와, 발광층(305)과 제 2 기판(302) 사이에 동시에 형성되나,반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 광반사층(309)은 다음과 같은 이유로 형성시키게 된다.
상기 발광층(305)으로부터 발생된 가시광이 제 1 기판(301)의 전자 에미터(306)를 통과하여 외부로 방출되므로, 가시광은 전자 에미터(306)와 그리드 전 극(307)에 의하여 가시광이 차단될 수가 있다. 따라서, 상기 광반사층(309)은 밀폐된 내부 공간에서의 가시광을 제 1 기판(301)으로 반사시키기 위해서 형성되는 것이다. 상기 광반사층(309)은 Al2O3와 같은 반사성이 높은 백색 유전체층이나, 박막의 Al와 같은 금속층으로 형성될 수 있다.
한편, 상기 캐소우드(304)의 표면에는 전자 에미터(306)가 형성되어 있다. 상기 전자 에미터(306)는 전자를 가속시켜서 전자빔을 발생시키는 소재라면 어느 것이라도 적용가능하며, 산화된 다공성 실리콘(OPS)나, 산화된 다공성 비정질 실리콘(OPAS)를 사용할 수가 있다. 대안으로는 상기 전자 에미터(306)는 질화붕소 뱀부슈트를 사용할 수 있다.
상기 전자 에미터(306)의 표면에는 그리드 전극(307)이 형성되어 있다. 이때, 상기 그리드 전극(307)은 가시광이 차단되는 현상을 방지하기 위하여 전자가 투과되는 영역의 일부와 상응하는 전자 에미터(306)의 표면에는 형성되어 있지 않다.
상기와 같은 구조를 가지는 디스플레이 장치(300)는 제 1 기판(301)의 내표면에 형성된 캐소우드(304)로부터 전자가 방출되면, 전자 에미터(306)와, 그리드 전극(307)를 통과하면서 가속되어서, 제 2 기판(302)의 내표면에 형성된 애노우드(303)를 향하여 진행하게 된다. 이때, 방출된 전자에 의하여 밀폐된 내부 공간에 주입된 기체를 여기하여 진공 자외선을 발생시키고, 발생된 가시광은 제 1 기판(301) 쪽으로 출사되어 화상을 형성하게 된다. 이처럼, 발광층(305)으로부터 발 생한 가시광이 전자 에미터(306)를 통과하여 외부로 방출하게 된다.
이때, 전자 에미터(306)와 그리드 전극(307)에 의하여 차단된 전자는 발광층(305)과 접하게 형성된 광반사층(309)에 의하여 반사되어서 제 1 기판(301) 족으로 출사하게 된다.
도 4는 도 3의 변형예를 도시한 반사형 디스플레이 장치(400)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 디스플레이 장치(400)는 제 1 기판(401)과, 이와 대향되게 배치된 제 2 기판(402)을 포함한다. 가시광이 투과되는 제 1 기판(401)의 내표면에는 캐소우드(404)가 배치되고, 제 2 기판(402)의 내표면에는 애노우드(403)가 배치되어 있다. 상기 제 1 기판(401)과, 제 2 기판(402) 사이에는 격벽(408)이 설치되어서, 밀폐된 내부 공간을 형성하고 있다.
상기 애노우드(403) 상에는 광반사층(409)이 형성되어 있으며, 상기 광반사층(409) 상에는 발광층(405)이 형성되어 있다. 이때, 도 3에 도시된 실시예와는 달리, 상기 애노우드(403)는 광반사층(409)에 의하여 매립되어 있으며, 상기 광반사층(409)의 표면에는 발광층(405)이 형성되어 있다. 상기 광반사층(409)은 발광층(405)과 제 2 기판(402) 사이와, 발광층(405)과 격벽(408) 사이에 동시에 형성되나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
이처럼, 상기 광반사층(409)이 애노우드(403)를 전체적으로 매립하는 것은 박막의 Al와 같은 광반사층(409)을 이용하여 반사율을 높이고, 발광층(405)의 표면에 전자가 축적되는 것을 해결하기 위해서이다.
상술한 광반사층은 열 증착법이나, CVD법이나, 인쇄법, 스퍼터링법이나, 스핀 코팅법등과 같은 통상적인 방법에 의하여 제조될 수 있지만, 상기 공정을 통하여 광반사층을 형성시킬 경우에는 기판상에 광반사층이 전면 형성되므로, 특정한 형상으로 패턴화시키기가 어렵다.
이하, 본 발명의 광반사층을 제조하기 위한 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광반사층을 제조하기 위한 방법을 도시한 것이다.
먼저, 기판(501) 상에는 전극(502)을 패턴화시키게 된다.(도 5a)
상기 전극(502)을 패턴화시키고 나면, 상기 기판(501) 상에는 섀도우마스크(503)를 정렬하게 된다. 이때, 상기 섀도우마스크(503)는 추후 형성될 광반사층과 대응되는 특정한 패턴을 유지하고 있다. 상기 섀도우마스크(503)를 이용하여, 광반사층이 형성될 부분과, 광반사층이 형성되지 않는 부분을 구분하여 기판(501)과 정렬하게 된다.(도 5b)
다음으로, 코팅 장치(505)을 이용하여 CVD 방식이나, PECVD 방식이나, 스퍼터링 방식이나, MBE 방식이나, MOCVD 방식중에서 선택된 어느 하나의 방식에 의하여 상기 제 1 기판(501)을 향하여 광반사층용 원소재를 분사하게 된다.
이에 따라, 상기 제 1 기판(501) 상에는 광반사층용 원소재가 코팅된다. 이때, 상기 제 1 기판(501) 상에 섀도우마스크(503)가 설치되어 있으므로, 광반사층용 원소재는 섀도우마스크(503)의 외표면에 형성되는 부분(504a)과, 상기 섀도우마스크(503)에 의하여 차단되지 않은 기판(501)상에 형성되는 부분(504b)을 포함하게 된다.(도 5c)
이와 같은 과정을 통하여, 상기 기판(501) 상에는 전극(502)이 형성되고, 전극(502)이 형성되지 않은 영역에는 광반사층(504)이 형성하게 된다. 이처럼, 광반사층(504)은 섀도우마스크(503)의 특정한 패턴에 따라서 다양한 설계가 가능하다. 또한, 섀도우마스크(503)를 차폐막으로 이용하여서, CVD 방식이나, PECVD 방식이나, 스퍼터링 방식이나, MBE 방식이나, MOCVD 방식중에서 선택된 어느 하나의 방식을 이용하게 되므로, 특정 패턴의 광반사층(504)의 형성이 가능하다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광반사층을 제조하기 위한 방법을 도시한 것이다.
먼저, 기판(601) 상에는 전극(602)을 패턴화시키게 된다.(도 6a)
상기 전극(602)을 패턴화시키고 나면, 상기 기판(601) 상에는 포토 레지스터(603)를 전면 도포하게 된다.(도 6b)
상기 포토 레지스터(603)가 기판(601) 상에 도포된 다음에는 노광 및 현상 공정을 거쳐서 상기 전극(602) 상에만 포토 레지스터(603)가 패턴화되고, 그 나머지 부분의 포토 레지스터를 제거하게 된다.(도 6c)
다음으로, 제 1 실시예에서 언급한 바와 같이 CVD 방식이나, PECVD 방식이나, 스퍼터링 방식이나, MBE 방식이나, MOCVD 방식중에서 선택된 어느 하나의 방식을 이용하여 광반사층용 원소재를 분사시켜서, 광반사층용 원소재는 포토 레지스터(603)의 외표면에 형성되는 부분(604a)과, 포토 레지스터(603)가 제거된 기판(601) 상에 형성되는 부분(604b)을 포함하게 된다.(도 6d)
이와 같은 과정을 통하여, 상기 기판(601) 상에는 전극(602)이 형성되고, 전극(602)이 형성되지 않은 영역에는 광반사층(602)이 형성된다. 또한, 상기 전극(602) 상에 형성된 포토 레지스터((603)을 제거하게 된다. 이처럼, 상기 광반사층(604)은 리프트 오프(lift-off)의 공법에 의하여 소망하는 패턴으로 형성시킬 수가 있다.
이상의 설명에서와 같이, 본 발명의 디스플레이 장치와, 이를 제조하기 위한 방법은 투과형 디스플레이 장치 또는 반사형 디스플레이 장치의 밀폐된 내부 공간에 광반사층을 형성하는 것에 의하여 가시광의 반사율을 높일 수가 있다. 이에 따라, 휘도 및 발광 효율을 향상시킬 수가 있다.
또한, 섀도우마스크나 리프트 오프 공법에 의하여 광반사층을 형성할 수 있으므로, 고해상도, 고정세의 형상을 용이하게 형성시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제조 원가를 절감하고, 생산성을 향상시킬 수가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (9)

  1. 가시광이 투과가능한 제 1 기판;
    상기 제 1 기판과 대향되게 배치된 제 2 기판;
    상기 제 1 기판상에 배치된 애노우드;
    상기 제 2 기판상에 배치된 캐소우드;
    상기 애노우드 및 캐소우드중 어느 한 전극상에 배치된 전자 에미터;
    상기 결합된 기판내에 형성된 발광층;
    상기 제 2 기판쪽에 배치된 광반사층; 및
    상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 충진된 자외선 방출 가스;를 포함하는 디스플레이 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 에미터는 상기 애노우드상에 배치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 에미터는 상기 캐소우드상에 배치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 에미터 상에는 그리드 전극이 더 배치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 광반사층은 상기 전자 에미터로부터 전자가 투과되는 이외의 영역에 형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광반사층은 백색 유전체층 또는 박막의 금속층중 하나 이상의 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
  7. 기판상에 전극을 패턴화시키는 단계;
    상기 기판상에 전극이 배치된 부분과, 전극이 배치되지 않은 부분을 식별하여 패턴화된 섀도우마스크를 정렬하는 단계; 및
    상기 섀도우마스크에 의하여 차폐된 전극 상부를 제외하고, 기판상에 선택적으로 광반사층이 형성하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 광반사층을 형성하는 단계에서는,
    광반사층의 원소재를 CVD법이나, PECVD법이나, 스퍼터링법이나, MBE법이나, MOCVD법중에서 선택된 어느 하나의 방법에 의하여 기판상에 코팅하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치의 제조 방법.
  9. 기판상에 전극을 패턴화시키는 단계;
    상기 기판상에 전극을 매립하도록 포토 레지스터층을 도포하는 단계;
    상기 기판을 노광 및 현상하여 기판상의 전극과 대응되는 위치에 포토 레지스터층을 패턴화시키는 단계;
    상기 기판상에 광반사층을 형성하는 단계; 및
    잔류하는 포토 레스터층을 제거하는 단계;를 포함하는 디스플레이 장치의 제조 방법.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010090231A (ja) * 2008-10-07 2010-04-22 Canon Inc 画像表示装置
CN107708744B (zh) * 2015-07-08 2021-09-07 卡丽·马特兹 用于对复杂装置进行储存和消毒的系统
CN115768213A (zh) * 2022-11-29 2023-03-07 京东方科技集团股份有限公司 显示面板及其制备方法、显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07312166A (ja) * 1994-05-16 1995-11-28 Okaya Electric Ind Co Ltd 表示放電管用冷陰極の製造方法
JPH0831328A (ja) * 1994-07-14 1996-02-02 Sumitomo Kinzoku Ceramics:Kk プラズマディスプレイパネルとその製造方法
JP2000011885A (ja) 1998-06-19 2000-01-14 Hitachi Ltd ガス放電型表示装置
KR20060105143A (ko) * 2005-04-01 2006-10-11 삼성에스디아이 주식회사 평판 디스플레이 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07312166A (ja) * 1994-05-16 1995-11-28 Okaya Electric Ind Co Ltd 表示放電管用冷陰極の製造方法
JPH0831328A (ja) * 1994-07-14 1996-02-02 Sumitomo Kinzoku Ceramics:Kk プラズマディスプレイパネルとその製造方法
JP2000011885A (ja) 1998-06-19 2000-01-14 Hitachi Ltd ガス放電型表示装置
KR20060105143A (ko) * 2005-04-01 2006-10-11 삼성에스디아이 주식회사 평판 디스플레이 장치

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