KR100771906B1 - Tester of liquid crystal display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시패널의 검사 장비에 관한 것으로, 본 발명의 액정 표시패널의 MPS(Mass Production System) 검사 장비는 검사하고자 하는 박막트랜지스터 어레이 기판이 놓이게 되는 스테이지와, 가상의 액정 패널을 형성하여 박막트랜지스터가 실질적으로 패널로 완성되어 있을 때의 구동 여부를 판단하기 위한 모듈레이터와, 상기 모듈레이터로 체크된 전기신호를 광신호로 변환 시켜주는 VIOS(voltage image optics system)과, 상기 VIOS로부터 나오는 광신호를 육안으로 확인할 수 있는 CCD로 구성되며, 상기 스테이지에는 기판에 형성된 테스트 신호 인가용 패드(pad)에 신호를 인가할 수 있도록 스테이지의 외곽에 형성된 다수개의 프로부와, 상기 프로부에 연결되어 기판에 형성된 테스트 패드에 알맞은 신호를 인가해주는 먹스보드(MUX BOARD)와 액정 패널의 모델에 따라 테스트 신호를 전환 할 수 있는 스위치로 이루어진 프로부 프레임으로 구성된다. The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal display panel, and an MPS (Mass Production System) inspection apparatus for a liquid crystal display panel according to the present invention includes a stage on which a thin film transistor array substrate to be inspected is placed, and a virtual liquid crystal panel is formed to form a thin film. A modulator for determining whether the transistor is substantially completed as a panel, a VIOS (voltage image optics system) for converting the electric signal checked by the modulator into an optical signal, and an optical signal from the VIOS. It is composed of a CCD that can be seen with the naked eye, the stage includes a plurality of pro portion formed on the outside of the stage to apply a signal to the test signal applying pad (pad) formed on the substrate, and connected to the pro portion to the substrate On models of MUX BOARD and LCD panel that apply the proper signal to the formed test pad It consists of the frame made of the profile parts la test signal to a switch that can be switched.

Description

액정 표시패널의 검사 장비{TESTER OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}Test equipment for liquid crystal display panel {TESTER OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

도 1은 종래의 MPS 검사장비의 개략적인 구조를 도시한 개략도.1 is a schematic diagram showing a schematic structure of a conventional MPS inspection equipment.

도 2는 680×880 유기 기판에서 18.1"용 패널에 해당하는 테스트 패드 위치도시한 도면.FIG. 2 shows test pad positions corresponding to a 18.1 "panel on a 680x880 organic substrate. FIG.

도 3은 680×880 유기 기판에서 20.1"용 패널에 해당하는 테스트 패드 위치도시한 도면.3 shows test pad positions corresponding to a 20.1 "panel on a 680 x 880 organic substrate.

도 4는 본 발명의 MPS 검사장비의 개략적인 구조를 도시한 개략도.Figure 4 is a schematic diagram showing a schematic structure of the MPS inspection equipment of the present invention.

도5는 도 4에 도시된 프로부 프레임을 확대하여 도시한 확대도면.FIG. 5 is an enlarged view showing an enlarged pro part frame shown in FIG. 4; FIG.

도6은 도 5에 도시한 스위치의 동작을 설명하기 위한 도면.FIG. 6 is a view for explaining the operation of the switch shown in FIG. 5; FIG.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

11: 스테이지 12: 모듈레이터11: stage 12: modulator

13: VIOS 15: CCD 13: VIOS 15: CCD

17: 프로부 20: 단위 패널17: Pro part 20: unit panel

23: 박막트랜지스터 어레이 기판 31: 게이트 라인23: thin film transistor array substrate 31: gate line

32: 데이터 라인 33: 게이트 패드32: data line 33: gate pad

41: 먹스 보드 42: 스위치41: mux board 42: switch

43: 테스트 패드 43: test pad

본 발명은 액정 표시패널의 검사 장비에 관한 것으로, 특히 박막트랜지스터의 구동 불량을 테스트하는 검사단계에서 사용되는 MPS 검사장치에 신호 전환 스위치를 둠으로써 서로 다른 액정표시소자의 모델에 대해서도 동일한 MPS 검사장비를 사용할 수 있도록 한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 데이터신호를 개별적으로 공급하여, 그 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써, 데이터신호에 해당하는 화상이 표시되는 표시장치이다.
The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal display panel. In particular, the same MPS inspection apparatus is applied to models of different liquid crystal display devices by providing a signal change switch to an MPS inspection apparatus used in an inspection stage for testing a driving failure of a thin film transistor. It is to be used.
In general, a liquid crystal display device is a display device in which an image corresponding to a data signal is displayed by individually supplying data signals to liquid crystal cells arranged in a matrix and adjusting light transmittance of the liquid crystal cells.

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따라서, 액정 표시장치는 화소 단위를 이루는 액정 셀들이 액티브 매트릭스 형태로 배열되는 액정 패널과; 상기 액정 셀들을 구동하기 위한 드라이버 집적회로(integrated circuit : IC)가 구비된다. Accordingly, a liquid crystal display device includes: a liquid crystal panel in which liquid crystal cells forming a pixel unit are arranged in an active matrix form; A driver integrated circuit (IC) for driving the liquid crystal cells is provided.

이때, 액정 패널은 상부 및 하부기판이 마주보는 각 내측의 한쪽 면에는 공통전극이 형성되고, 다른쪽 면에는 화소전극이 형성되어 서로 대향하도록 배열되며, 그 공통전극과 화소전극을 통해 상부 및 하부기판의 이격 간격에 주입 형성된 액정층에 전계를 인가한다. 이와 같은 화소전극은 하부기판 상에 액정 셀 별로 형성되는 반면에 공통전극은 상부기판의 전면에 일체화되어 형성된다.
또한, 상기 액정 패널의 하부기판 상에는 데이터 드라이버 집적회로로부터 공급되는 데이터 신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 다수의 데이터 라인들과, 상기 데이터 라인들과 직교하는 방향으로 형성되고 게이트 드라이버 집적회로로부터 공급되는 주사신호를 액정 셀들에 전송하기 위한 다수의 게이트 라인들이 형성된다. 또한, 상기 데이터 라인들과 게이트 라인들의 일단부에는 상기 데이터 드라이버 집적회로 및 게이트 드라이버 집적회로로부터 공급되는 데이터 신호 및 주사신호가 각각 인가되는 입력패드가 구비되며, 그 데이터 라인들과 게이트 라인들의 교차부마다 액정 셀들이 정의된다. 데이터라인들과 게이트라인들의 교차부마다 액정 셀들이 정의된다.
At this time, the liquid crystal panel is arranged so that the common electrode is formed on one side of each inner side of the upper and lower substrates facing each other, and the pixel electrode is formed on the other side of the liquid crystal panel so as to face each other. An electric field is applied to the liquid crystal layer which is formed at the separation interval of the substrate. The pixel electrode is formed for each liquid crystal cell on the lower substrate, while the common electrode is integrally formed on the entire surface of the upper substrate.
In addition, a plurality of data lines for transmitting a data signal supplied from a data driver integrated circuit to the liquid crystal cells on the lower substrate of the liquid crystal panel, and are formed in a direction orthogonal to the data lines and supplied from a gate driver integrated circuit. A plurality of gate lines are formed to transmit the scan signal to the liquid crystal cells. In addition, one end of the data lines and the gate lines is provided with an input pad to which a data signal and a scanning signal supplied from the data driver integrated circuit and the gate driver integrated circuit are respectively applied, and the data lines and the gate lines intersect each other. Each unit defines liquid crystal cells. Liquid crystal cells are defined at each intersection of the data lines and the gate lines.

삭제delete

이때, 상기 게이트 드라이버 집적회로는 다수의 게이트라인에 순차적으로 주사신호를 공급함으로써, 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들이 1개 라인씩 순차적으로 선택되도록 하고, 그 선택된 1개 라인의 액정 셀들에는 데이터 드라이버 집적회로로부터 데이터 신호가 공급된다.In this case, the gate driver integrated circuit sequentially supplies scan signals to a plurality of gate lines, so that the liquid crystal cells arranged in a matrix form are sequentially selected one by one, and a data driver is provided in the selected one line of liquid crystal cells. The data signal is supplied from the integrated circuit.

또한, 각각의 액정 셀에는 스위칭 소자로 사용되는 박막 트랜지스터가 형성되며, 상기의 게이트 라인을 통하여 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 주사신호가 공급된 액정 셀들에서는 그 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극 사이에 도전채널이 형성되는데, 이때 상기 데이터 라인을 통해 박막 트랜지스터의 소스 전극에 공급된 데이터신호가 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 경유하여 화소전극에 공급됨에 따라 해당 액정 셀의 광투과율이 조절된다.Each liquid crystal cell is formed with a thin film transistor used as a switching element, and in liquid crystal cells in which a scan signal is supplied to a gate electrode of the thin film transistor through the gate line, a conductive channel is formed between the source and drain electrodes of the thin film transistor. In this case, as the data signal supplied to the source electrode of the thin film transistor through the data line is supplied to the pixel electrode via the drain electrode of the thin film transistor, the light transmittance of the corresponding liquid crystal cell is adjusted.

여기서, 액정 패널을 구성하는 상부 및 하부 기판은 대형의 유리 모 기판에 다수개의 단위 패널이 형성되며, 통상 4개 또는 6개를 동시에 형성한 다음 각각의 단위 패널로 절단하여 수율 향상을 도모하고 있다.Here, in the upper and lower substrates constituting the liquid crystal panel, a plurality of unit panels are formed on a large glass mother substrate, and in general, four or six are simultaneously formed and then cut into individual unit panels to improve yield. .

상기와 같은 액정표시소자에 있어서, 박막트랜지스터 어레이가 형성된 하부기판의 제작이 완료되면 칼라필터가 형성된 상부기판과 합착하기 전 박막트랜지스터의 어레이 기판의 검사단계를 거치게된다In the liquid crystal display device as described above, when fabrication of the lower substrate on which the thin film transistor array is formed is completed, the array substrate of the thin film transistor is inspected before bonding to the upper substrate on which the color filter is formed.

박막트랜지스터 어레이의 검사 단계는 패턴 검사 단계와, 리뷰 단계와, MPS 검사단계와, 리페어 단계를 순서대로 진행하게 된다.In the inspection step of the thin film transistor array, a pattern inspection step, a review step, an MPS inspection step, and a repair step are performed in order.

먼저, 패턴 검사 단계에서는 제논 램프(xenon-lamp)를 TFT 어레이에 조사하여 TFT의 픽셀에 의해 반사된 광의 밝기 차이로 정상부분과 결함부분을 구분하게 된다. 결함이 있는 부분은 결함의 좌표를 설정하여 다음 단계에 이 결함 좌표에 대한 정보를 전달하게 된다.First, in the pattern inspection step, the xenon-lamp is irradiated to the TFT array to distinguish the normal part from the defective part by the difference in brightness of the light reflected by the pixel of the TFT. The defective part sets the coordinates of the defect and conveys information about this defect coordinate in the next step.

패턴 검사 단계 후에는 리뷰 스테이션(review station)으로 이동하게 된다. 리뷰 스테이션에서는 패턴 검사기에서 검출된 결함의 좌표를 토대로 하여 결함의 종류나, 결함의 정도가 리페어의 가능성이 있는지 없는지의 여부를 작업자들이 직접 판단하고, 리뷰 스테이션의 뒷면에 투과광이 설치되어 TFT 어레이의 내부에 생긴 결함까지도 체크하게 된다.After the pattern checking step, the mobile station moves to a review station. At the review station, the workers directly judge the type of the defect or whether the degree of the defect is likely to be repaired based on the coordinates of the defect detected by the pattern inspector. It even checks for defects that have occurred inside.

다음은, MPS(Mass Production System) 검사단계로서 MPS 검사기를 통하여 각각의 패널에 전압을 인가하여 실제로 박막트랜지스터의 구동시 불량이 되는 어레이를 식별함으로써, 패널의 전기적인 불량을 체크를 하게 된다. Next, as a mass production system (MPS) inspection step, an electrical failure of a panel is checked by applying an voltage to each panel through an MPS inspector to identify an array that is actually a failure when driving the thin film transistor.

마지막으로, 리뷰 단계와 MPS 검사기를 거쳐서 체크된 박막트랜지스터 어레이의 결함 중에서 리페어가 가능한 결함을 반사 광원으로 체크하여 리페어 공정 단계에서 리페어가 이루어지게 된다. MPS에서 사용되는 반사 광원은 헬로겐 램프이다.Lastly, the repair is performed in the repair process step by checking a defect that can be repaired among the defects of the thin film transistor array checked through the review step and the MPS inspector with a reflective light source. The reflective light source used in the MPS is a halogen lamp.

상기 MPS 검사단계에서 사용되는 MPS 검사 장비에 대하여 좀더 상세히 설명하면, 도 1의 구조를 갖는 MPS 장비는 테스트하고자 하는 박막트랜지스터 어레이 기판(미도시)이 올려지게 되는 스테이지(11)와, 가상의 액정 패널을 형성하여 박막트랜지스터가 실질적으로 패널로 완성되었을 때의 구동 여부를 판단하기 위한 모듈레이터(12)와, 상기 모듈레이터(12)로 체크된 전기신호를 광신호로 변화하는 VIOS(voltage image optics system)(13)과, 상기 VIOS(13)로부터 나오는 광신호를 육안으로 확인해볼 수 있는 CCD(15)로 구성되어 있다.The MPS inspection apparatus used in the MPS inspection step will be described in more detail. The MPS apparatus having the structure of FIG. 1 includes a stage 11 on which a thin film transistor array substrate (not shown) to be tested is mounted, and a virtual liquid crystal. A modulator 12 for determining whether the thin film transistor is driven when the thin film transistor is substantially completed by forming a panel, and a VIOS (voltage image optics system) for converting an electrical signal checked by the modulator 12 into an optical signal. (13) and a CCD (15) capable of visually checking the optical signal from the VIOS (13).

또한, 상기 스테이지(11)에는 기판에 형성된 테스트 신호 인가용 패드(pad)에 신호를 인가할 수 있도록 스테이지(11)의 외곽에 형성된 다수개의 프로부(17)와, 상기 프로부(17)에 연결되어 각각의 프로부에 알맞은 신호를 인가해주는 프로부 프레임(19)을 포함하고 있다.In addition, the stage 11 includes a plurality of pro units 17 formed outside the stage 11 and a plurality of pro units 17 so as to apply a signal to a test signal applying pad formed on a substrate. A pro part frame 19 is connected to apply a signal suitable for each pro part.

상기와 같이 구성된 MPS 장비를 통하여 검사가 이루어지는 기판에 형성된 신호 인가용 패드는 액정표시소자의 모델에 따라 그 위치가 다르게 설정되어 있다.The signal applying pads formed on the substrate to be inspected through the MPS device configured as described above are set differently according to the model of the liquid crystal display.

도 2에 도시한 것은 680×880 유기 기판에서 18.1"용 패널에 해당하는 테스트 패드 위치를 설명한 것이다2 illustrates the test pad locations corresponding to a 18.1 "panel on a 680 × 880 organic substrate.

도면에 도시한 바와 같이, 기판(23) 상에 4개의 TFT 박막 어레이 패널(20)이 형성되어 있으며, 각각의 패널에는 게이트 라인(31)과 데이터 라인(32)이 매트릭스 상으로 형성되고, 상기 게이트 라인(31)과 데이터 라인(32)의 교차점 부근에는 스위칭 소자로 기능하는 TFT가 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 라인의 한 단부 쪽에는 게이트 라인(31)에 신호를 인가할 수 있도록 게이트 패드(33)가 형성되고, 데이터 라인(32)의 한 단부 쪽에는 데이터 패드(34)가 형성된다. As shown in the figure, four TFT thin-film array panels 20 are formed on the substrate 23, and the gate lines 31 and the data lines 32 are formed in a matrix on each panel. Near the intersection of the gate line 31 and the data line 32, a TFT serving as a switching element is formed. In addition, a gate pad 33 is formed at one end of the gate line to apply a signal to the gate line 31, and a data pad 34 is formed at one end of the data line 32.                         

각각의 데이터 패드(34)는 홀수 라인과 짝수 라인으로 구분된다. 또한, 각각의 데이터 패드(34)는 상기 홀수 라인은 홀수 라인끼리 그리고 짝수 라인은 짝수 라인끼리 연결하는 짝수 라인 테스트 패드(DE) 및, 홀수 라인 테스트 패드(DO)가 형성되어 있으며, 이외에도 공통전극 테스트 패트(VCOM), 접지 패드(VGND), 더미 패드(DUMMY), 그리고 게이트 테스트 패드(GATE)가 일렬로 형성되어 있다.Each data pad 34 is divided into an odd line and an even line. In addition, each of the data pads 34 includes an even line test pad DE and an odd line test pad DO that connect odd lines to odd lines and even lines to even lines. The test pad VCOM, the ground pad VGND, the dummy pad DUMMY, and the gate test pad GATE are formed in a line.

또한, 20.1" 액정패널 제조용 기판에 형성된 테스트 패드는 도 3에 도시한 바와 같이, 유리 기판) 상에 형성된 4 개의 박막트랜지스터 어레이 패널(20)에 있어서, 각각의 패널에는 게이트 라인(31)과 데이터 라인(32)이 매트릭스 상으로 형성되고, 상기 게이트 라인과 데이터 라인(32)의 교차점 부근에는 스위칭 소자로 기능하는 박막트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 라인(31)의 한 단부 쪽에는 게이트 라인에 신호를 인가할 수 있도록 게이트 패드(33)가 형성되고, 데이터 라인(32)의 한 단부 쪽에는 데이터 패드(34)가 형성된다.In addition, the test pads formed on the 20.1 "liquid crystal panel manufacturing substrate are four thin film transistor array panels 20 formed on the glass substrate as shown in FIG. 3, and each panel includes a gate line 31 and data. A line 32 is formed in a matrix, and a thin film transistor (TFT) serving as a switching element is formed near the intersection point of the gate line and the data line 32. Further, one end of the gate line 31 is formed. The gate pad 33 is formed at the side to apply a signal to the gate line, and the data pad 34 is formed at one end of the data line 32.

각각의 데이터 패드(34)는 홀수 라인과 짝수 라인으로 구분하여 홀수 라인은 홀수 라인끼리 그리고 짝수 라인은 짝수 라인끼리 연결하는 짝수 라인 테스트 패드(DE)와, 홀수 라인 테스트 패드(DO)가 형성되어 있으며, 그 하부에 더미 패드(DUMMY)와 접지 패드(VGND)가 배치된다. 또한 상기 접지 패드(VGND) 하부에는 게이트 패드와 같은 방법으로, 홀수 라인과 짝수 라인으로 구분하여 짝수 라인 테스트 패드(GE)와 홀수 라인 테스트 패드(GO)가 형성되어 있다.Each data pad 34 is divided into an odd line and an even line, and an even line test pad DE and an odd line test pad DO are formed to connect odd lines to odd lines and even lines to even lines. The dummy pad DUMMY and the ground pad VGND are disposed below. In addition, an even line test pad GE and an odd line test pad GO may be formed under the ground pad VGND in the same manner as the gate pad, by dividing the odd lines and the even lines.

그러나, 도 2내지 도 3에 도시한 바와 같이 680×880 유기 기판에서 18.1"용 액정 패널(도2)과 20.1"용 액정 패널(도 3)의 테스트 패드의 위치가 서로 다르게 형성되어 있기 때문에 테스트 신호가 각각의 액정패널의 모델에 맞게 배열된 별개의 프로부 프래임을 사용하여야 한다. 이렇게 되면 프로부 프레임이 추가되며, 상기 프로부 프레임 추가에 따른 생산비 추가와 함께 액정패널의 모델변경에 따른 프로부 프레임 교체작업이 이루어져야하기 때문에 장비 가동률저하 및 생산량 감소의 문제점이 발생하게 된다. However, as shown in Figs. 2 to 3, the test pads of the 18.1 "liquid crystal panel (FIG. 2) and the 20.1" liquid crystal panel (FIG. 3) are formed differently on a 680x880 organic substrate, You must use separate pro-frames, with the signals arranged for the model of each liquid crystal panel. In this case, the pro part frame is added, and the production part needs to be replaced in accordance with the model change of the liquid crystal panel along with the production cost of the additional part of the pro part frame.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 프로부 프레임에 모델별 전환 스위치를 두어 모델 변경에 따른 별도의 프로부 프레임 없이도 하나의 프로부 프레임만으로 여러 모델의 액정표시패널을 검사할 수 있도록 함으로써, 생산력 향상을 꾀할 수 있는 액정 표시패널의 MPS 검사 장비를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a single pro part frame without a separate pro part frame according to a model change by placing a switch for each model in the pro part frame. The present invention provides an MPS inspection device for a liquid crystal display panel that can improve productivity by allowing inspection of various models of liquid crystal display panels.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 액정패널을 구성하는 완성된 박막트랜지스터 어레이 기판의 구동 불량을 테스트하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비에 있어서, 본 발명은 상부에 상기 박막트랜지스터 어레이 기판이 놓여지는 스테이지와; 상기 스테이지에 부착되며, 상기 박막 트랜지스터 기판에 형성된 테스트 패드에 테스트 신호를 인가하기 위한 먹스보드(MUX BOARD)와 상기 액정패널의 모델이 변경되었을 때 상기 테스트 신호를 전환하기 위한 스위치(switch)를 갖는 프로부 프레임과; 상기 박막트랜지스터 어레이 기판의 구동 여부를 판단하기 위한 모듈레이터와; 상기 모듈레이터로 체크된 전기신호를 광신호로 변환 시켜주는 VIOS(voltage image optics system)과; 상기 VIOS로부터 나오는 광신호를 육안으로 확인할 수 있는 CCD로 이루어진다.
상기 스테이지 외부에 형성되며, 상기 먹스보드와 연결되는 패턴 제너레이터를 포함한다.
상기 스테이지 외곽에는 기판에 형성된 테스트 패드에 대응하는 위치에 프로부 프레임과 연결되는 프로부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 상기 프로부는 하나의 테스트 패드당 2개씩 분배되되, 하나의 프로부는 상기 테스트 패트 신호를 인가하고, 다른 하나의 프로부는 상기 테스트 패드에 신호가 제대로 인가되고 있는지를 감지하는 것이 바람직하다.
상기 먹스 보드는 상기 패턴 제너레이터로부터 공급되는 신호를 상기 박막트랜지스터 어레이기판에 형성된 각각의 테스트 패턴에 맞는 신호로 분배하는 것이 바람직하다.
In order to achieve the above object, in the MPS inspection equipment of the liquid crystal display device for testing the driving failure of the completed thin film transistor array substrate constituting the liquid crystal panel, the present invention is to place the thin film transistor array substrate on the A stage; A mux board for applying a test signal to a test pad formed on the thin film transistor substrate and a switch for switching the test signal when a model of the liquid crystal panel is changed. Pro part frame; A modulator for determining whether to drive the thin film transistor array substrate; A voltage image optics system (VIOS) for converting the electrical signal checked by the modulator into an optical signal; It consists of a CCD which can visually confirm the optical signal from the said VIOS.
It is formed on the outside of the stage, and includes a pattern generator connected to the mux board.
It is preferable that the pro part connected to the pro part frame is formed at a position corresponding to the test pad formed on the substrate outside the stage. Preferably, the pro part is divided into two per test pad, one pro part applies the test pad signal, and the other pro part detects whether a signal is properly applied to the test pad.
The mux board preferably distributes a signal supplied from the pattern generator into a signal corresponding to each test pattern formed on the thin film transistor array substrate.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 상기와 같이 구성된 본 발명의 액정표시소자의 MPS 검사 장비에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the MPS inspection equipment of the liquid crystal display device of the present invention configured as described above.

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도 4에 도시한 것은 본 발명에 따른 액정표시소자의 MPS 검사 장비이다.4 is a MPS inspection equipment of the liquid crystal display device according to the present invention.

도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 MPS 검사 장비는 크게 검사가 이루어질 박막트랜지스터 어레이 기판(40)이 놓이게 되는 스테이지(11)와, 모듈레이터(12) 그리고 VIOS(13) 및 CCD(15)로 나눌 수 있다.As shown in the figure, the MPS inspection apparatus of the present invention is divided into a stage 11, a modulator 12, a VIOS 13, and a CCD 15 on which a thin film transistor array substrate 40 to be largely inspected is placed. Can be.

상기 모듈레이터(12)의 내부에는 액정과 칼라필터 기판이 형성되어 박막트랜지스터 어레이 기판을 지날때 임의 액정 패널을 형성하여, 박막트랜지스터 어레이 의 구동불량을 체크하게된다.A liquid crystal and a color filter substrate are formed inside the modulator 12 to form an arbitrary liquid crystal panel when passing through the thin film transistor array substrate, thereby checking a driving failure of the thin film transistor array.

상기 VIOS(voltage image optics system)(13)는 상기 모듈레이터(12)로부터 체크된 전기신호를 광신호로 변환하여 관찰자가 CCD(15)를 통하여 육안으로 확인할 수 있도록 한다. The VIOS (voltage image optics system) 13 converts the electrical signal checked from the modulator 12 into an optical signal so that the viewer can visually check through the CCD 15.

상기 기판(40)에는 여러 개의 패널이 형성되어 상기 패널을 모의 구동을 시키기 위한 테스트 패턴(43)들이 형성되어 있으며, 각각의 패널(13)에는 게이트 라인(31)과 데이터 라인(32)이 매트릭스 상으로 형성되고, 상기 게이트 라인(31)과 데이터 라인(32)의 교차점 부근에는 스위칭 소자로 기능하는 박막트랜지스터가 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 라인의 한 단부 쪽에는 게이트 라인에 신호를 인가할 수 있도록 게이트 패드(33)가 형성되고, 데이터 라인(32)의 한 단부 쪽에는 데이터 패드(34)가 형성된다. A plurality of panels are formed on the substrate 40 to form test patterns 43 for driving the panels. Each panel 13 includes a matrix of gate lines 31 and data lines 32. A thin film transistor, which is formed in a phase and functions as a switching element, is formed near the intersection point of the gate line 31 and the data line 32. In addition, a gate pad 33 is formed at one end of the gate line to apply a signal to the gate line, and a data pad 34 is formed at one end of the data line 32.

또한 기판에 형성된 테스트 패드(43)의 위치는 액정패널의 모델에 따라 그 위치가 다르게 배열되어 있으며, 각각의 테스트 패드에 인가되는 신호도 서로 다르다.In addition, the positions of the test pads 43 formed on the substrate are arranged differently according to the model of the liquid crystal panel, and the signals applied to the test pads are also different from each other.

상기 스테이지(11)에는 검사가 이루어질 기판(23)에 놓이게 되며, 상기 기판(23)에 형성된 테스트 패드(43)를 따라 스테이지의 측면에는 형성된 다수개의 프로부(17) 배치되어 있다. 상기 프로부(17)는 테스트 패드의 위치에 대응하여 형성되어 있으며 하나의 테스트 패드당 2개씩 분배되어, 이중 하나는 테스트 패드에 신호를 인가해주는 역할을 하며 다른 하나는 테스트 패드에 신호가 제대로 인가되고 있는지는 감지하는 감지기(detecter) 역할을 한다. The stage 11 is placed on the substrate 23 to be inspected, and a plurality of pro portions 17 formed on the side of the stage are disposed along the test pad 43 formed on the substrate 23. The pro part 17 is formed corresponding to the position of the test pad and is distributed two per test pad, one of which serves to apply a signal to the test pad and the other to properly apply the signal to the test pad. It acts as a detector to detect if it is.                     

또한, 상기 스테이지부(11)의 한쪽 측면에는 여러 개의 채널로 이루어진 먹스 보드(41)와 액정패널의 모델에 따라 상기 채널을 스위칭할 수 있는 스위치(42)로 구성된 프로부 프레임(19)이 설치되어 있다.In addition, a pro part frame 19 including a mux board 41 having a plurality of channels and a switch 42 capable of switching the channels according to a model of a liquid crystal panel is installed at one side of the stage part 11. It is.

도 5는 도4에 도시한 프로부 프레임(19)을 확대한 도면이다.FIG. 5 is an enlarged view of the pro part frame 19 shown in FIG. 4.

도면에 도시한 바와 같이, 프로부 프레임(19)은 먹스보드(41)와 스위치(42)로 구성되고, 상기 먹스보드(41)에는 기판에 형성된 테스트 패드와 1:1 대응을 이루도록 여러 개의 채널(CH1∼CH5)이 형성되어 있으며, 먹스보드(41)에 의해서 각각의 테스트 패드에 적합한 신호가 인가될 수 있도록 채널 별로 분배된다. 이때, 상기 먹스보드(41)에서 채널별로 분배되는 신호는 스테이지부(11) 외부에 설치된 패턴 제너레이터부(미도시)로부터 공급된다. 상기 스위치(42)는 상기 채널을 바꾸어 테스트 패드에 인가되는 신호의 위치를 바꾸어준다.As shown in the figure, the pro part frame 19 includes a mux board 41 and a switch 42, and the mux board 41 has a plurality of channels in a 1: 1 correspondence with a test pad formed on a substrate. (CH1 to CH5) are formed, and are distributed for each channel so that a signal suitable for each test pad can be applied by the mux board 41. In this case, a signal distributed for each channel in the mux board 41 is supplied from a pattern generator (not shown) installed outside the stage unit 11. The switch 42 changes the position of the signal applied to the test pad by changing the channel.

도 6에 도시한 것은 상기 프로부 프레임(19)에 설치된 신호 전환 스위치(42)가 액정 패널의 모델에 따라서 어떻게 동작하는지를 설명해주는 도면이다.6 is a view for explaining how the signal switching switch 42 installed in the pro part frame 19 operates according to the model of the liquid crystal panel.

도면에 도시한 바와 같이, 종래에는 DE, DO, VCOM, VGND, DUMMY, GATE 테스트 패드가 일렬로 형성된 18.1"용 액정 패널의 모델에 대하여 DE에는 채널1(CH1), DO에는 채널2(CH2), VCOM에는 채널3(CH3), VGND에는 채널5(CH5), GATE에는 채널4(CH4)로부터 나오는 신호가 입력되도록 구성된 18.1"용 먹스 보드(19a)와, DE, DO, DUMMY, VGND, GE, GO 테스트 패드가 일렬로 형성된 20.1"용 액정 패널의 모델에 대하여 DE에는 채널1(CH1), DO에는 채널2(CH2), VGND에는 채널5(CH5), GE에는 채널3(CH3), GO에는 채널4(CH4)로부터 나오는 신호가 입력되도록 구성된 20.1" 용 먹스 보드(19b)가 별개로 이루어져 있었으나, 18.1"용 VCOM 패드에 입력되는 신호는 20.1"용 GE 패드에 입력되는 신호와 동일하고, 18.1"용 GATE 패드에 들어가는 신호는 GO 패드에 입력되는 신호와 동일하기 때문에 액정패널의 모델이 변경되더라도 채널3 과 채널4를 서로 바꾸어주기만 하면 된다. As shown in the figure, conventionally, a 18.1 "liquid crystal panel model in which DE, DO, VCOM, VGND, DUMMY, and GATE test pads are arranged in a line is referred to as channel 1 (CH1) for DE and channel 2 (CH2) for DO. , 18.1 "mux board 19a configured to input signal from channel 3 (CH3) to VCOM, channel 5 (CH5) to VGND, and channel 4 (CH4) to GATE, DE, DO, DUMMY, VGND, GE , 20.1 "liquid crystal panel model with GO test pads arranged in a row, DE for channel 1 (CH1), DO for channel 2 (CH2), VGND for channel 5 (CH5), GE for channel 3 (CH3), GO There is a separate 20.1 "mux board 19b configured to input a signal from channel 4 (CH4), but the signal input to the 18.1" VCOM pad is the same as the signal input to the 20.1 "GE pad, The signal input to the 18.1 "GATE pad is the same as the signal input to the GO pad, so even if the model of the LCD panel is changed, 4 is when the interchangeable jugiman.

예를들어, 20.1"에서 18.1"로 액정패널 모델이 변경될 경우에는 프로부 프레임에 설치된 스위치를 통하여 채널3(VCOM)과 채널4(GATE)의 위치를 바꿔주면 채널3(VCOM)로부터 나오는 신호는 GE 패드에 입력되도록 하고 채널4(GATE)로부터 나오는 신호는 GO 패드에 입력된다. 반대로 18.1"에서 20.1"로 액정패널의 모델이 변경될 경우, 채널3(GE)과 채널4(GO)의 위치를 바꿔 채널3(GE)으로부터 나오는 신호는 VCOM 패드에 입력되도록하고 채널4(GO)로부터 나오는 신호는 GATE 패드에 입력되도록 하여 신호의 위치를 바꾸어준다.For example, if the LCD panel model is changed from 20.1 "to 18.1", the signal from channel 3 (VCOM) can be changed by changing the position of channel 3 (VCOM) and channel 4 (GATE) through a switch installed in the pro part frame. Is input to the GE pad, and the signal from channel 4 (GATE) is input to the GO pad. On the contrary, when the model of the liquid crystal panel is changed from 18.1 "to 20.1", the positions of the channel 3 (GE) and the channel 4 (GO) are changed so that the signal from the channel 3 (GE) is input to the VCOM pad and the channel 4 (GO) is changed. The signal from) is input to the GATE pad to change the position of the signal.

상기한 바와 같이, 본 발명은 프로부 프레임에 스위치를 별도로 구성하여 액정패널의 모델이 변경되더라도 스위치를 통하여 신호를 전환함으로써 상기와 같이 액정패널 모델에 따라 각각의 모델에 적합한 프로부 프레임을 교체해야하는 번거로움을 막을 수 있다.As described above, the present invention is to configure the switch separately in the pro part frame to switch the signal through the switch even if the model of the liquid crystal panel to change the appropriate pro part frame according to each model according to the liquid crystal panel model as described above You can prevent the hassle.

상술한 바와 같이 본 발명은 프로부 프레임에 테스트 패드에 인가되는 신호의 위치를 바꿔 줄 수 있는 스위치를 설치함으로써, 모델변경에 따른 프로부 프레임의 교체없이 검사를 진행할 수 있으므로 프로부 프레임 교체에 따른 시간을 절약 할 수 있으며, 액정 패널 모델에 따른 프로부 프레임의 추가비용을 절감할 수 있어 서 생산성 향상의 효과를 갖는다. As described above, the present invention provides a switch for changing the position of the signal applied to the test pad in the probu frame, so that the inspection can be performed without replacing the probu frame according to the model change. Time can be saved, and the additional cost of the pro part frame according to the liquid crystal panel model can be reduced, thereby improving productivity.

Claims (6)

액정패널을 구성하는 완성된 박막트랜지스터 어레이 기판의 구동 불량을 테스트하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비에 있어서,In the MPS inspection equipment of the liquid crystal display device for testing the driving failure of the completed thin film transistor array substrate constituting the liquid crystal panel, 상부에 상기 박막트랜지스터 어레이 기판이 놓여지는 스테이지와;A stage on which the thin film transistor array substrate is placed; 상기 스테이지에 부착되며, 상기 박막 트랜지스터 기판에 형성된 테스트 패드에 테스트 신호를 인가하기 위한 먹스보드(MUX BOARD)와 상기 액정패널의 모델이 변경되었을 때 상기 테스트 신호를 전환하기 위한 스위치(switch)를 갖는 프로부 프레임과;A mux board for applying a test signal to a test pad formed on the thin film transistor substrate and a switch for switching the test signal when a model of the liquid crystal panel is changed. Pro part frame; 상기 박막트랜지스터 어레이 기판의 구동 여부를 판단하기 위한 모듈레이터와; A modulator for determining whether to drive the thin film transistor array substrate; 상기 모듈레이터로 체크된 전기신호를 광신호로 변환 시켜주는 VIOS(voltage image optics system)과; A voltage image optics system (VIOS) for converting the electrical signal checked by the modulator into an optical signal; 상기 VIOS로부터 나오는 광신호를 육안으로 확인할 수 있는 CCD로 이루어진 액정표시소자의 MPS 검사 장비.MPS inspection equipment of the liquid crystal display device consisting of a CCD that can visually check the optical signal from the VIOS. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지 외부에 형성되며, 상기 먹스보드와 연결되는 패턴 제너레이터를 포함하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비.The MPS inspection apparatus of claim 1, further comprising a pattern generator formed outside the stage and connected to the mux board. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 The method of claim 1, wherein the substrate 게이트 라인과 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차점 부근에는 스위칭 소자로 기능하는 박막트랜지스터와, 상기 게이트 라인의 한 단부 쪽에는 게이트 라인에 신호를 인가할 수 있도록 하는 게이트 패드 및, 데이터 라인의 한 단부 쪽에는 형성된 데이터 패드를 포함하는 패널과, A thin film transistor functioning as a switching element near the intersection of the gate line and the data line, the gate line and the data line, a gate pad for applying a signal to the gate line at one end of the gate line, and a data line At one end of the panel including a formed data pad, 상기 패널을 모의 구동시키기 위한 테스트 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비.MPS inspection equipment of the liquid crystal display device, characterized in that the test pattern for driving the panel is formed. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 스테이지 외곽에는 기판에 형성된 테스트 패드에 대응하는 위치에 프로부 프레임과 연결되는 프로부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비.4. The MPS inspection apparatus of claim 1, wherein a pro unit connected to the pro unit frame is formed at a position corresponding to the test pad formed on the substrate. 5. 제 4 항에 있어서, 상기 프로부는 하나의 테스트 패드당 2개씩 분배되되, 하나의 프로부는 상기 테스트 패트 신호를 인가하고, 다른 하나의 프로부는 상기 테스트 패드에 신호가 제대로 인가되고 있는지를 감지하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비.5. The method of claim 4, wherein the pro part is divided into two per test pad, one pro part applies the test pad signal, and the other pro part detects whether the signal is properly applied to the test pad. MPS inspection equipment of the liquid crystal display device. 제 2 항에 있어서, 상기 먹스 보드는 상기 패턴 제너레이터로부터 공급되는 신호를 상기 박막트랜지스터 어레이기판에 형성된 각각의 테스트 패턴에 맞는 신호로 분배하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 MPS 검사 장비.The MPS inspection apparatus of claim 2, wherein the mux board distributes a signal supplied from the pattern generator into signals corresponding to respective test patterns formed on the thin film transistor array substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7355418B2 (en) * 2004-02-12 2008-04-08 Applied Materials, Inc. Configurable prober for TFT LCD array test
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TWI273248B (en) * 2006-01-26 2007-02-11 Au Optronics Corp Universal probing apparatus for TFT array test
KR102054849B1 (en) 2013-06-03 2019-12-12 삼성디스플레이 주식회사 Organic Light Emitting Display Panel

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000021924A (en) * 1998-09-30 2000-04-25 구본준;론 위라하디락사 Method for testing tft array substrate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000021924A (en) * 1998-09-30 2000-04-25 구본준;론 위라하디락사 Method for testing tft array substrate

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