KR100766092B1 - 유기 발광 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents

유기 발광 소자 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

투광성 기판 상에 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상의 테두리에 형성되는 보조 전극; 상기 하부 전극과 상기 보조 전극 상에서 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 형성되는 외부 절연막; 상기 하부 전극 상에 형성되어 발광하는 유기 박막층; 및 상기 유기 박막층 상에 형성되며, 상기 유기 박막층과 대향되는 면이 상기 고정 패턴 발광부를 형성하고, 상기 유기 박막층이 발광하도록 상기 하부 전극간에 전압을 인가하는 상부 전극을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자가 제시된다. 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 세그먼트 형태와 같은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 휘도 불균일 개선에 따른 수명 향상과 전력 소모량을 줄일 수 있는 효과가 있다.
유기 발광 소자, 휘도, 불균일, 세그먼트.

Description

유기 발광 소자 및 그 제조 방법{Organic Light-Emitting Device and Manufacturing method thereof}
도 1은 종래 기술에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 단면도.
도 2는 종래 기술에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 단면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도.
도 5a는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 보조 전극을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도.
도 5b는 도 5a의 층별 구분도.
도 6은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 보조 전극을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 단면도.
도 7a는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 보조 전극과 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도.
도 7b는 도 7a의 층별 구분도.
도 8a은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 보조 전극과 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 단면도.
도 8b는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 보조 전극과 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 층별 구분도.
도 9a는 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도.
도 9b는 도 9a의 층별 구분도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 단면도.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복수의 고정 패턴을 가지는 유기 발광 소자의 평면도.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 제조 방법을 도시한 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
310 : 투광성 기판 315 : 투명 전극
318 : 보조 전극 320 : 내부 절연막
323 : 외부 절연막 325 내지 340 : 유기 박막층
345 : 음전극 350 : 보호 덮개(encapsulation)
355 : 흡습제
본 발명은 유기 발광 소자에 관한 것으로, 특히 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 소자(OLED : Organic Light-Emitting Device)는 액정 디스플레이를 대체하는 차세대 영상 표시 장치로 주목을 받는다. 이러한 유기 발광 소자는 OLED는 무기 발광 다이오드와 마찬가지로 애노드와 캐소드의 2극 구조로 이루어져 있으며 0.2㎛ 이하의 극히 얇은 유기 박막을 포함하고 있다. 이러한 유기 박막에 전류를 흘리면 그 전자 수송층(Electron Transport Layer)과 정공 수송층(Hole Transport Layer)의 계면 근처에서 전자ㅇ정공이 재결합하여 발광하게 되는데, 이 발광은 수백 ㎲ 이하의 극히 빠른 응답 시간을 갖고 있다.
도 1을 참조하면, 투광성 기판(110) 상에 증착한 양전극인 ITO(Indi㎛-tin-oxide)와 같은 투명 전극(115), 절연막(120), 유기 박막층(125 내지 140), 음전극(145), 캡슐(150) 및 흡습제(155)가 차례로 형성된 유기 발광 소자가 개시되어 있다. 여기서, 유기 박막층(125 내지 140)은 정공 주입층(HIL)(125), 정공 수송층(HTL)(130), 발광층(EML)(135) 및 전자 수송층(ETL)(140) 등으로 구성되어 있다. 이러한 유기 발광 소자는 투명 전극(115)과 음전극(145) 사이에 수 내지 수십 볼트의 전압을 인가하여 유기 박막층(125 내지 140)이 발광하고, 그 발광을 기판(110)을 통하여 외부로 조사한다.
도 2를 참조하면, 복수의 배선부(210(1), 210(2), 210(3), 210(4), 210(5), 210(6), 210(7)) 및 복수의 세그먼트부(220(1), 220(2), 220(3), 220(4), 220(5), 220(6), 220(7))가 도시된다. 여기서, 고정 패턴 발광부는 세그먼트 형태를 가질 수 있다. 이하에서는 세그먼트 형태를 일반적으로 고정 패턴 발광부라고 칭한다. 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 디스플레이 소자 제작시 발광부 하부 전극으로 투명 전극을 사용하게 되는데, 이 때 발광부의 하부 전극 저항은 금속에 비해 비교적 크다. 유기 발광 세그먼트 형태의 소자 구동 시 단위 발광부의 면적이 세그먼트 형이 아닌 디스플레이 소자, 예를 들면, 일반적인 스캔 방식의 PM 디스플레이 소자에 비해 매우 넓기 때문에 전극의 저항에 의한 전압 강하에 의해 휘도 불균일이 심해진다. 이는 디스플레이의 품질을 떨어뜨리며 휘도 불균일에 따른 배선부(210(1), 210(2), 210(3), 210(4), 210(5), 210(6), 210(7))에 인접한 부분의 국부적인 열화 집중 현상을 가지는 영역(H)이 발생하여 유기 발광 세그먼트 소자의 수명을 저하시키는 원인이 되는 문제점이 있다.
즉, ITO 면적이 증가하면 ITO 저항값이 증가하여 발광부 전원 입력단에서 가까운 부분에 전류밀도가 높아 휘도가 높고, 먼쪽은 전압 강하로 전류 밀도가 낮아 휘도가 낮은 현상을 일으키게 된다. 이때 전원 입력단에 가까운 부분에는 전류밀도가 높아 소자가 장시간 구동 시 열화 현상에 의하여 소자 수명이 감소하는 결과를 초래하였다. 또한, ITO 면적이 증가함에 따라 ITO 위의 결함들 (예, 파티클, 크롬등)이 표면에 존재하여 소자구동 시 leakage current(발광에 기여하지 않고 흐르는 전류)가 많이 흐르는 문제점이 있다.
본 발명은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 휘도 불균일 개선에 따른 수명 향상과 전력 소모량을 줄일 수 있는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 국부적으로 전류 밀도가 높은 현상을 해소함으로써 소자의 장기간 구동시 열화 현상에 의한 소자 수명이 감소되는 문제점을 해결할 수 있는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 전극부에서 보조 전극을 발광부 주변으로 넓게 형성하여 유기 발광 소자에서 국부적으로 전류 밀도가 높은 현상을 해소할 수 있는 절연막의 종류에 상응해서 적용될 수 있는 다양한 유기 발광 소자 제조 방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 국부적으로 전류 밀도가 높은 현상을 해소할 수 있는 절연막의 패턴을 다양하게 제공함으로써 소자의 휘도와 수명을 제어할 수 있는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공한다.
본 발명이 제시하는 이외의 기술적 과제들은 하기의 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 투광성 기판 상에 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상의 테두리에 형성되는 보조 전극; 상기 하부 전극과 상기 보조 전극 상에서 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 형성되는 외부 절연막; 상기 하부 전극 상에 형성되어 발광하는 유기 박막층; 및 상기 유기 박막층 상에 형성되며, 상기 유기 박막층과 대향되는 면이 상기 고정 패턴 발광부를 형성하고, 상기 유기 박막층이 발광하도록 상기 하부 전극간에 전압을 인가하는 상부 전극을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자를 제공한다.
여기서, 상기 보조 전극의 저항은 상기 하부 전극의 저항보다 작을 수 있다.
여기서, 상기 보조 전극은 Cr, Cu, Mo, Ni, Al, Ag 및 Au 중 어느 하나 또는 이들의 조합일 수 있다.
여기서, 상기 보조 전극은 상기 하부 전극과 상기 유기 박막층이 대향하는 면 이외의 면에 형성될 수 있다.
여기서, 상기 외부 절연막은 상기 하부 전극과 보조 전극이 상기 상부 전극과 전기적으로 절연될 수 있도록 형성될 수 있다.
또한 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자는 상기 하부 전극 상에 소정의 패턴에 따라 형성된 내부 절연막을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막 중 어느 하나 이상은 포토 레지스트일 수 있다.
여기서, 상기 포토 레지스트는 폴리이미드(PI) 또는 고분자 레진(resin)일 수 있다.
여기서, 상기 외부 절연막 및 내부 절연막 중 어느 하나 이상은 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나일 수 있다.
여기서, 상기 내부 절연막의 패턴에 따라 형성된 복수의 홀의 형상은 다각형 또는 원형일 수 있다.
여기서, 상기 하부 전극에 결합하여 소정의 전압을 인가하기 위한 배선부를 더 포함하되, 상기 내부 절연막의 패턴에 따라 형성된 복수의 홀은 상기 배선부에 가까울수록 폭이 작을 수 있다.
여기서, 상기 고정 패턴 발광부는 세븐 세그먼트 형태일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, (a) 투광성 기판 상에 하부 전극을 증착하는 단계; (b) 상기 하부 전극 상에서 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 보조 전극을 형성하는 단계; (c) 상기 하부 전극을 상기 고정 패턴 발광부에 상응하여 패터닝하는 단계; (d) 미리 설정된 패터닝 방법에 의해 상기 하부 전극 상에 내부 절연막 및 상기 하부 전극과 상기 보조 전극 상에서 상기 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 외부 절연막을 형성하는 단계; (e) 상기 하부 전극 상에 발광할 수 있는 유 기 박막층을 형성하는 단계; 및 (f) 상기 유기 박막층 상에 상기 유기 박막층과 대향되는 면이 상기 고정 패턴 발광부 형태를 가지며, 상기 유기 박막층이 발광하도록 상기 하부 전극간에 전압을 인가하는 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 제조 방법을 제공할 수 있다.
여기서, 상기 보조 전극의 저항은 상기 하부 전극의 저항보다 작을 수 있다.
또한, 상기 외부 절연막 및 내부 절연막이 포토 레지스트인 경우 상기 단계 (c)는 (g) 상기 하부 전극 상에 상기 포토 레지스트를 도포하는 단계; 및 (h) 상기 포토 레지스트 상에 소정의 패턴에 상응하는 노광 마스크를 합치하고 노광한 후 현상하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막이 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나인 경우 상기 단계 (c)는 (i) 상기 하부 전극 상에 상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막을 증착하는 단계; (j) 상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막 상에 포토 레지스트를 도포하는 단계; 및 (k) 상기 포토 레지스트 상에 소정의 패턴에 상응하는 노광 마스크를 합치하고 노광한 후 현상하는 단계를 더 포함할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 부분에 대한 개괄적인 단면도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 세븐 세그먼트 형상의 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도이다.
본 발명에 따르면, 세그먼트 형태 유기 발광 소자의 특성상 발광부 주변에 비발광부가 상당히 넓게 분포하고 있기 때문에 비발광부에 저항이 작은 금속 보조 전극을 추가한 설계를 통하여 휘도 불균일 개선에 따른 수명 향상과 전력 소모량을 개선하고자 한다. 또한, 고정 패턴 발광부를 갖은 디스플레이 소자의 발광부 대비 비발광부 비율이 20% 이상이거나, 발광부 테두리의 보조 전극에서 발광영역이 수백㎛이상 있을 경우 발광부 영역에 PR 또는 절연막을 패턴닝 하여 국부적인 열화 집중을 제거/개선할 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자는 유리(소다라임 또는 무알카리 글라스), 가요성 필름과 같은 투광성 기판(310) 상에 스퍼터 방식으로 증착한 양전극인 ITO(Indi㎛-tin-oxide)와 같은 투명 전극(하부 전극)(315), 투명 전극(315)의 테두리 상에 형성된 보조 전극(318), 투명 전극(315)의 중심부에 미리 설정된 패턴에 상응하여 형성된 내부 절연막(320), 고정 패턴 발광부를 구분하기 위한 외부 절연막(323), 유기 박막층(325 내지 340), 진공 열증착된 알루미늄(Al) 등과 같은 금속인 음전극(상부 전극)(345), 보호 덮개(encapsulation)(350)를 포함하며, 흡습제(355) 및 Na 차단막(313)이 추가적으로 포함될 수 있다. 여기서, 내부 절연막(320)과 외부 절연막(323)은 동일한 물질로, 같은 공정에서 형성될 수 있다. 여기서, Na 차단막(313)은 소다라임 글라스에서 Na이온이 투명 전극(하부 전극)(315)으로 확산되지 않도록 SiO2나 SixNy가 스퍼터링 방법으로 형성된 박막이다. 여기서, 내부 절연막(320)의 높이는 특정한 제한이 없으나, 바람직하게는 유기 박막층(325 내지 340)의 높이와 같거나 그 보다 조금 더 클 수 있다. 예를 들면, 내부 절연막(320)의 높이는 1㎛가 될 수 있다.
유기 발광 소자는 일반적으로 수분에 취약하여 금속과 유리를 보호막으로 사용한 보호 덮개(메탈캡) 혹은 글라스 봉지 기술을 이용한다. 이 경우 흡습제를 부착하기 위한 메탈 및 유리 가공 기술이 필요하다. 이러한 유기 발광 소자는 투명 전극(315)과 음전극(345) 사이에 수 내지 수십 볼트의 전원을 접속하여 전류를 공급함으로써 유기 박막층(325 내지 340)이 발광하며, 발광된 광은 투광성 기판(310)을 통해 외부로 조사된다. 여기서, 발광되어 형성한 전체적인 세그먼트의 형태는 일반적으로 투명 전극(315)과 음전극(345)의 패턴에 의해 정해진다.
여기서, 투명 전극(315)의 상면에서 테두리에 형성된 보조 전극(318)은 투명 전극(315)의 저항보다 작은 저항값을 가진 금속이다. 여기서, 투명 전극(315)의 상면에서 테두리는 절연막에 의해 투명 전극(하부 전극)(315), 유기 박막층 및 음전극(상부 전극)(345)이 서로 겹쳐 형성되는 발광부 이외의 면이며, 따라서, 보조 전극(318)은 고정된 패턴의 세그먼트 형태에 영향을 미치지 않는다. 이러한 방법에 따라서 투명 전극(315)에 전압을 제공하는 배선부에 인접한 부분에만 전압이 크게 인가되는 문제점이 해결될 수 있다. 여기서, 보조 전극(318)은 저항값이 작은 금속 이며, 예를 들면, Cr, Cu, Mo, Ni, Al, Ag, Au이 될 수 있다. 투명 전극(315)이 이외의 다른 종류의 금속으로 형성될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자에게 자명하다.
투명 전극(315)의 중심부에 미리 설정된 패턴에 상응하여 형성된 내부 절연막(320)은 고정된 패턴의 세그먼트 형태의 투명 전극(315)과 음전극(상부 전극)(345)이 서로 겹치는 부분에서 균일한 휘도의 광이 발생할 수 있도록 한다. 즉, 투명 전극(315)에 내부 절연막(320) 없이 고정 패턴형 세그먼트 유기 발광 소자를 제작하면 상술한 도 2와 같이 휘도 불균일이 발생한다. 여기서, 유기 발광 소자의 면광원에서 상대적으로 어느 한쪽이 심하게 휘도가 불균일 일어나면 발광부에 전류 집중으로 인한 열로 인해 소자 열화에 의해 수명이 단축된다. 이러한 문제점을 해결하기 위해서 내부 절연막(320)이 소정의 패턴에 따라 발광영역의 투명 전극(315)에 형성함으로써 유기 발광 소자 전체적으로 균일한 휘도의 광을 발광할 수 있도록 한다. 여기서, 외부 절연막(323)은 투명 전극(하부 전극)(315) 또는 보조 전극(318)이 음전극(상부 전극)(345)과 전기적으로 절연될 수 있도록 그 사이에 게재하여 형성되며, 유기 발광 소자를 미리 설정된 세그먼트 별로 인접한 세그먼트와 구분(즉, 고정 발광 패턴을 구분)하기 위해 형성한다.
도 3과 도 4를 참조하면, 유기 발광 소자의 세그먼트 형태가 세븐 세그먼트인 경우, 복수의 투명 전극(315(1), 315(2), 315(3), 315(4), 315(5), 315(6), 315(7)) 상의 보조 전극(318), 외부 절연막(323) 및 고정 패턴 발광부(345(1), 345(2), 345(3), 345(4), 345(5), 345(6), 345(7))가 도시된다. 여기서, 고정 패턴 발광부(345(1), 345(2), 345(3), 345(4), 345(5), 345(6), 345(7))는 복수의 투명 전극(315(1), 315(2), 315(3), 315(4), 315(5), 315(6), 315(7)), 유기 박막층(325 내지 340) 및 음전극(345)이 겹쳐서 발광하는 영역이며, 이외의 영역에는 외부 절연막(323)이 형성된다. 여기서, 투명 전극(315(1), 315(2), 315(3), 315(4), 315(5), 315(6), 315(7))의 면적이 각각 고정 패턴 발광부(345(1), 345(2), 345(3), 345(4), 345(5), 345(6), 345(7))의 면적보다 커서 서로 겹치는 부분에 상술한 내부 절연막(320)이 형성되고, 서로 겹치지 않는 부분에 상술한 외부 절연막(323) 및 보조 전극(318)이 형성된다. 여기서, 투명 전극(315(1), 315(2), 315(3), 315(4), 315(5), 315(6), 315(7))의 면적이 각각 음전극(345)의 면적 보다 큰 경우에 대해서 설명하지만 그 역도 본 발명에 적용될 수 있음은 자명하다.
이하에서는, 본 발명에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 대해서 설명한다. 투광성 기판(310)이 소다라임 글라스인 경우 소다라임 글라스에서 Na이온이 투명 전도막으로 확산되지 않도록 SiO2나 SixNy를 스퍼터링 방법으로 형성한다. 이 위에 투명 전극(하부 전극)(315)을 스퍼터링 또는 이온빔 스퍼터링, E-beam 법으로 증착한다. 여기서, 투명 전극(하부 전극)(315)은 예를 들면, ITO, IZO, ZnO/Ga2O3 등이 될 수 있으며, 이외의 다른 물질로 형성될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 사항이다. 이후 투명 전극(315) 상에 보조 전극(318)을 증착한다. 여기서, 보조 전극(318)은 투명 전극(315)에 비해 저항이 작은 금속이며, 전압을 인가하는 배선부에 연결되어 투명 전극(315)의 비저항값 을 일정한 값 이하로 낮출 수 있는 역할을 한다. 보조 전극(318)은 예를 들면, Cr, Mo, Ni, Al, Ag, Au 등이 될 수 있으며, 이외의 다른 물질로 형성될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 사항이다. 이 후 노광 공정을 수행하는데 이때 포토 레지스트(PR)를 스핀코팅, 스크린 프린팅, 슬릿 코팅(slit coating) 등의 방법을 이용하여 패턴 형성한 후 메탈 에천트를 이용하여 세그먼트의 발광부 외곽으로 투명 전극(315)의 전압 강하를 방지하기 위하여 넓게 보조 전극 패턴을 형성시킨 후 노광 공정을 수행하여 투명 전극(315) 패턴을 형성한다. 이후 투명 전극(315)의 일정 부분(고정 패턴 발광부(345(1), 345(2), 345(3), 345(4), 345(5), 345(6), 345(7)))에 휘도를 균일하게 제어할 수 있는 내부 절연막(320)을 형성할 수 있으며, 이러한 내부 절연막(320)을 형성하는 방법은 사용되는 물질에 따라 다음과 같이 구분될 수 있다.
내부 절연막(320) 및/또는 외부 절연막(323)을 절연성이 우수하고 감광성 (photosensitive)있고 점성이 있는 포토 레지스트로 형성하는 경우, 투명 전극(315) 상면에 스핀 코팅, 스크린 프린팅 방법, 슬릿 코팅(slit coating) 방법을 이용하여 포토 레지스트를 균일하게 도포한 후 노광 마스크를 이용하여 일정 시간 노광을 한다. 여기서, 포토 레지스트는 감광성이며 폴리이미드(PI) 또는 고분자 레진(resin)가 될 수 있다. 그 후에 일정 시간 동안 현상하면 노광 마스크에 형성된 패턴에 상응하는 일정한 모양의 절연막 패턴이 있는 기판을 제작할 수 있다. 여기서, 내부 절연막(320)의 패턴에 따라 형성된 복수의 홀의 형상은 다각형 또는 곡률을 가진 형상(예를 들면, 원형)이 될 수 있으며, 그 홀의 대각선 또는 한 변의 길이는 10~500㎛의 크기를 가질 수 있다. 여기서, 외부 절연막(323)은 상부 전극(345) 증착 시 하부전극(투명 전극)(315) 또는 보조 전극(318)과의 전기적인 숏트(short) 방지 및 고정 패턴 발광부를 형성시키는 역할을 한다. 또한, 외부 절연막(323)도 내부 절연막(320)과 같은 방식에 따른 공정(예를 들면, 하나의 공정 또는 순차적으로 진행되는 다른 공정)에 의해 형성될 수 있다.
따라서, 전극 입력부에서 휘도 불균일이 많이 발생하게 되는데 이를 해결할 수 있도록 내부 절연막(320) 패턴과 보조 전극(318)으로 발광부보다 넓게 패턴한 후 절연막를 이용하여 발광영역부분만 남기고 마스킹 처리하여 전극 입력부를 넓혀 주어 전압강하에 의한 휘도 불균일 및 소자 열화 현상을 방지 할 수 있다.
또한, 내부 절연막(320) 및/또는 외부 절연막(323)을 절연성이 우수한 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나로 형성하는 경우 진공열증착 방법이나 스퍼터링, CVD, E-beam방법을 이용하여 일정한 모양으로 패턴된 투명 전극(315) 상면에 균일하게 증착한다. 여기서, x, y, z는 일정한 자연수일 수 있다. 이 후 포토 레지스트(PR)를 사용하여 일정하게 패턴을 형성한 후에 BOE(Bufferd Oxide Etch) 등과 같은 에천트를 사용하여 웨트 에칭(wet-etching)을 하거나 플라즈마를 이용하여 드라이 에칭(dry etching)을 하면 일정한 모양의 절연막 패턴이 투명 전극(315) 위에 형성 할 수 있다.
이후 일정한 내부 절연막(320)이 패턴닝된 투명 전극(하부 전극)(315) 위에 정공 주입층(HIL)(325), 정공 수송층(HTL)(330), 발광층(EML)(335) 및 전자 수송층(ETL)(340)(전자 주입층(EIL) 포함), 음전극(상부 전극)(345) 등을 차례로 진공 열 증착하여 고정 패턴형 세그먼트 유기 발광 디스플레이 소자를 제작한다. 발광부 테두리에 보조 전극과 절연막 없이 고정 패턴형 세그먼트 유기 발광 소자를 제작하면 유기 발광 소자의 면광원에서 상대적으로 어느 한쪽이 심하게 휘도의 불균일이 발생하므로, 발광부에 전류 집중으로 인한 열로 인해 소자 열화에 의해 수명이 단축된다. 또한, 전압(전류)를 계속 인가할 경우 특정부위만 밝게 빛나기 때문에 고휘도를 얻을 수 없다. 그러나 휘도가 상대적으로 균일할 경우 전압(전류)를 계속 인가할 경우 전압(전류)에 따른 전체적인 휘도 균일도를 낼 수 있으며 또한 상대적으로 수명이 증가한다.
이상에서 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 일반적으로 도시한 단면도와 평면도를 설명하였으며, 이하에서는 첨부 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 구체적인 실시예를 기준으로 설명하기로 한다. 본 발명에 따른 실시예는 크게 세가지로 구분되는데, 이하에서 차례대로 설명한다.
도 5a는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 투명 전극(515)의 테두리 상에 보조 전극을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도이며, 도 5b는 도 5a의 층별 구분도이고, 도 6은 도 5a의 점선 (k)-(k')의 단면도(a), 도 5a의 점선 (g)-(g')의 단면도(b)이다. 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 복수의 투명 전극(515(1), 515(2), 515(3), 515(4), 515(5), 515(6), 515(7)), 복수의 보조 전극 (518(1), 518(2), 518(3), 518(4), 518(5), 518(6), 518(7)), 고정 패턴 발광부(545(1), 545(2), 545(3), 545(4), 545(5), 545(6), 545(7)) 및 외부 절연막(523)이 도시된다. 도 5b에서는 투명 전극(515) 패턴(a), 보조 전극(518) 패턴(b) 및 외부 절연막(523) 패턴(c)이 도시된다. 이하에서는, 투명 전극(515(1), 515(7)) 및 보조 전극(518(1), 518(7))을 중심으로 설명한다.
도 5a, 도 5b 및 도 6을 참조하면, 투광성 기판(510) 상에 투명 전극(515(1), 515(7)) 및 보조 전극(518(1), 518(7))을 순서대로 형성한다. 이후 노광 공정을 수행하여 투명 전극(515(1), 515(7)), 유기 박막층(620) 및 음전극(545)이 서로 공통적으로 겹치는 영역인 발광 영역의 테두리에 넓게 보조 전극(518(1), 518(7))을 형성할 수 있도록 보조 전극(518(1), 518(7))에 패턴을 형성한다. 보조 전극(518(1), 518(7))이 패터닝된 글라스를 외부 절연막(523)(예를 들면, 포토 레지스트(PR))를 이용하여 상술한 발광 영역을 제외한 영역에 노광 공정을 수행하여 외부 절연막(523)으로 발광 영역 이외 영역에 마스킹 패턴닝한다. 이후 유기 박막층(620) 및 음전극(545)을 증착하여 고정 패턴 세그먼트 유기 발광 디스플레이 소자를 제작한다. 유기 박막층(620)에서 발생한 광은 화살표 방향으로 투광성 기판(510)을 경유하여 진행한다.
도 6을 참조하면, 투명 전극(515(1), 515(7))에 의해 정해지는 각각의 세그먼트는 외부 절연막(523)에 의해 구분되며(a), 상술한 발광 영역은 보조 전극(518(7))과 외부 절연막(523)에 의해 구분된다(b). 따라서 발광 영역의 테두리에 보조 전극(518(1), 518(7))을 패턴닝하여 투명 전극(515(1), 515(7))의 비저항값을 1/10이하로 낮추어서 전압 강하에 의한 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 디스플레이 소자의 휘도 불균일 및 수명을 향상시킬 수 있다.
도 7a은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 보조 전극과 투명 전극(715)의 중심부에 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도이며, 도 7b는 도 7a의 층별 구분도이고, 도 8a는 도 7a의 점선 (k)-(k')의 단면도이고, 도 8b는 도 7a의 점선 (k)-(k')의 단면을 층별로 구분하여 도시한 도면이다. 도 7a 및 도 7b를 참조하면, 복수의 투명 전극(715(1), 715(2), 715(3), 715(4), 715(5), 715(6), 715(7)), 복수의 보조 전극(718(1), 718(2), 718(3), 718(4), 718(5), 718(6), 718(7)), 복수의 내부 절연막(720(1), 720(2), 720(3), 720(4), 720(5), 720(6), 720(7)), 고정 패턴 발광부(745(1), 745(2), 745(3), 745(4), 745(5), 745(6), 745(7)) 및 외부 절연막(723)이 도시된다. 도 7b에서는 투명 전극(715) 패턴(a), 보조 전극(718) 패턴(b), 내부 절연막(720) 및 외부 절연막(723) 패턴(c)이 도시된다. 이하에서는, 투명 전극(715(7)) 및 보조 전극(718(7))을 중심으로 상술한 제1 실시예와의 차이점을 위주로 설명한다.
도 7a, 도 7b, 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 투광성 기판(710) 상에 투명 전극(715(7)) 및 보조 전극(718(7))을 순서대로 형성한다. 이후 노광 공정을 수행하여 투명 전극(715(7)), 유기 박막층(820) 및 음전극(745)이 서로 공통적으로 겹치는 영역인 발광 영역의 테두리에 넓게 보조 전극(718(7))을 형성할 수 있도록 보조 전극(718(7))에 패턴을 형성한다. 내부 절연막(720) 및 외부 절연막(723)(예를 들 면, 포토 레지스터(PR)나 절연막(SiOx나 SixNy))를 이용하여 상술한 발광 영역을 제외한 영역의 전면에 마스킹 패턴닝하고, 발광 영역에는 미세(다각형, 곡률을 갖는 모양) 패턴닝을 형성한다. 이후 유기 박막층(820) 및 음전극(745)을 증착하여 고정 패턴 세그먼트 유기 발광 디스플레이 소자를 제작한다. 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 내부 절연막(720)은 유기 박막층(820)의 높이보다 높게 형성되어 음전극(745)까지 확장된다. 여기서, 음전극(745) 내부의 내부 절연막(720)은 유기 박막층(820) 내부의 내부 절연막(720)과 같은 공정에 의해 형성되며, 편의상 층별로 구분되어 도시한다.
따라서, 발광 영역의 테두리에 보조 전극(718(7))을 형성하고, 투명 전극(715(7)) 자체의 전압강하에 의한 비저항값을 낮추며, 보조 전극(718(7)) 근처에서 발생하는 휘도 불균일을 발광 영역에 미세 패턴닝을 형성하여 전류 밀도를 낮추어 휘도불균일 및 수명을 향상할 수 있다. 여기서, 내부 절연막(720)의 패턴에 따라 형성된 복수의 홀은 투명 전극(715(7))에 결합하여 전압을 인가하기 위한 배선부에 가까울수록 폭이 작을 수 있다. 즉, 상기 배선부에 가까운 영역에 전류 밀도가 높기 때문에 균일한 휘도의 광을 발광하기 위해 배선부 근처에는 수 내지 수십 ㎛의 폭으로 패턴닝하고 상대적으로 먼 영역에서는 수 내지 수백 ㎛의 패턴을 형성한다. 여기서, 상기 홀이 다각형인 경우 홀의 폭은 다각형의 대각선, 곡률이 있는 원형인 경우 지름 등이 될 수 있다. 또한, 투명 전극(715(7))의 면적이 증가할수록 투명 전극(715(7)) 면 위에 파티클이 있을 확률이 커서 음전극(745) 간에 누설 전류(leakage current)가 발생할 확률이 높다. 따라서 본 발명에 따르면, 절연체인 내 부 절연막(720)의 패턴이 투명 전극(715(7))에 형성되므로, 투명 전극(715(7)) 면 위에 파티클이 있을 확률을 감소시켜 유기 발광 소자의 불량률을 감소 시킬 수 있다.
도 9a는 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 투명 전극(915)의 중심부의 내부 절연막을 포함하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 평면도이며, 도 9b는 도 9a의 층별 구분도이고, 도 10은 도 9a의 점선 (k)-(k')의 단면도이다. 도 9a 및 도 9b를 참조하면, 복수의 투명 전극(915(1), 915(2), 915(3), 915(4), 915(5), 915(6), 915(7)), 복수의 내부 절연막(920(1), 920(2), 920(3), 920(4), 920(5), 920(6), 920(7)) 및 고정 패턴 발광부(945(1), 945(2), 945(3), 945(4), 945(5), 945(6), 945(7))이 도시된다. 도 9b에서는 투명 전극(915) 패턴(a), 내부 절연막(920) 및 외부 절연막(923) 패턴(b)이 도시된다. 이하에서는, 투명 전극(915(7)) 및 내부 절연막(920)을 중심으로 상술한 제2 실시예와의 차이점을 위주로 설명한다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 투광성 기판(910) 상에 노광 공정을 수행하여 투명 전극(915(7)) 패턴을 형성한다. 이후 내부 절연막(920) 및 외부 절연막(923)(예를 들면, 포토 레지스터(PR)나 절연체막(SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나))를 이용하여 상술한 발광 영역을 제외한 영역의 전면에 마스킹 패턴닝하고, 발광 영역에는 미세(다각형, 곡률을 갖는 모양) 패턴닝을 형성한다. 이후 유기 박막층(1020) 및 음전극(945)을 증착하여 고정 패턴 세그먼트 유기 발광 디스플레이 소자를 제작 한다.
여기서, 상술한 발광 영역의 테두리에 보조 전극을 형성하지 않고, 발광 영역에 내부 절연막(920)을 형성하여 전류 밀도는 낮추어 휘도불균일 및 수명을 향상할 수 있다. 또한, 투명 전극(915(7)) 면 위에 파티클이 있을 확률을 감소시켜 유기 발광 소자의 불량률을 감소 시킬 수 있다.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 세븐 세그먼트 형태의 유기 발광 소자가 복수로 배열된 디스플레이 소자의 평면도이다. 도 11을 참조하면, 복수의 배선부 및 세그먼트화된 세븐 세그먼트 형태의 유기 발광 소자가 도시된다(a, b, c). 세그먼트의 형태, 크기 및 배치는 미리 설정될 수 있다. 예를 들면, 숫자를 표현하기 위한 하나의 큰 세븐 세그먼트와 세개의 작은 세븐 세그먼트로 구성된 묶음이 세개(a, b, c) 도시된다.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자의 제조 방법을 도시한 흐름도이다.
스퍼터링이나 이온 스퍼터링(Ion-sputtering)법에 의해 투명 전극과 보조 전극(하부 전극)을 투광성 기판 상에 증착한다. 이후 단계 S1210에서, 감광성 포토 레지스트(PR)를 도포한 후 노광 공정을 수행하여 포토 레지스트(PR)를 패턴닝한다. 이렇게 형성된 패터닝된 포토 레지스트(PR)를 에천트(etchant)를 이용하여 식각함으로써 보조 전극 패턴을 형성하고 포토 레지스트(PR)를 제거하여 보조 전극의 패턴닝을 완료한다.
단계 S1220에서, 투명 전극(하부 전극) 및 패턴닝된 보조 전극 상에 감광성 포토 레지스트(PR)를 도포하고, 노광 공정을 수행하여 포토 레지스트(PR)를 패터닝 한 후 투명 전극(하부 전극)에 패턴닝을 수행하고, 포토 레지스트(PR)를 제거하여 투명 전극의 패턴닝 공정을 완료한다.
여기서는 투명 전극(하부 전극)과 보조 전극을 투광성 기판 상에 증착하고, 보조 전극 패턴을 형성한 후 투명 전극(하부 전극)을 패터닝하는 방법을 설명하였으나, 투명 전극(하부 전극)을 투광성 기판 상에 증착한 후 패터닝한 후 보조 전극을 투명 전극 상에 증착한 후 패터닝하는 방법도 본 발명에 적용될 수 있음은 물론이다.
단계 S1230에서, 내부 절연막 및/또는 외부 절연막이 포토 레지스트인 경우 투명 전극과 보조 전극 상에 절연막을 도포한 후 노광 공정을 수행하여 일정한 패턴을 갖는 절연막을 형성한다.
또한, 내부 절연막 및/또는 외부 절연막이 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나인 경우 투명 전극 상에 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나(내부 절연막 및/또는 외부 절연막)를 형성한 후 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나(내부 절연막 및/또는 외부 절연막) 상에 포토 레지스트를 도포한다. 이후 포토 레지스트 상에 내부 절연막의 패턴에 상응하는 노광 마스크를 합치하고 노광한 후 현상함으로써 미리 설정된 패턴을 형성할 수 있다.
단계 S1240에서, 내부 절연막 및 외부 절연막을 형성한 후 내부 절연막 및 내부 절연막 간에 노출된 투명 전극 상에 발광하는 유기 박막층을 증착하여 형성한 다.
단계 S1250에서, 유기 박막층 상에 투명 전극과 대향되는 면이 미리 설정된 세그먼트 형태를 가지며, 유기 박막층이 발광하도록 하는 발광 전압을 인가하기 위해 투명 전극간에 전압이 인가되는 상부 전극을 형성한다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 세그먼트 형태와 같은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 휘도 불균일 개선에 따른 수명 향상과 전력 소모량을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 세그먼트 형태와 같은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 국부적으로 전류 밀도가 높은 현상을 해소함으로써 소자의 장기간 구동시 열화 현상에 의한 소자 수명이 감소되는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 세그먼트 형태와 같은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 국부적으로 전류 밀도가 높은 현상을 해소할 수 있는 절연막의 종류에 상응해서 적용될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 세그먼트 형태와 같은 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자에서 국부적으로 전류 밀도가 높은 현상을 해소할 수 있는 절연막의 패턴을 다양하게 제공함으로써 소자의 휘도와 수명을 제어할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 세그먼트 형태 유기 발광 소자의 특성상 발광부 주변에 비발광부가 상당히 넓게 분포하고 있기 때문에 비발광부에 저항이 작은 금속 보조 전극을 추가한 설계를 통하여 휘도 불균일 개선에 따른 수명 향상과 전력 소모량을 개선하는 효과가 있다. 여기서, 고정 패턴 발광부를 갖은 디스플레이 소자의 발광부 대비 비발광부 비율이 20% 이상이거나, 발광부 테두리의 보조 전극에서 발광영역이 수백 ㎛ 이상 있을 경우 발광부 영역에 PR 또는 절연막을 패턴닝 하여 국부적인 열화 집중을 제거/개선할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 및 그 제조 방법은 절연체인 내부 절연막의 패턴이 투명 전극에 형성되므로, 투명 전극 면 위에 파티클이 있을 확률을 감소시켜 유기 발광 소자의 불량률을 감소 시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명 및 그 균등물의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 투광성 기판 상에 형성된 하부 전극;
    상기 하부 전극 상의 테두리에 형성되며, 상기 하부 전극의 저항보다 작은 저항을 가지는 보조 전극;
    상기 하부 전극과 상기 보조 전극 상에서 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 형성되는 외부 절연막;
    상기 하부 전극 상에 형성되어 발광할 수 있는 유기 박막층;
    상기 유기 박막층과 대향하는 상기 하부 전극 상에 형성되며, 다각형 또는 원형의 홀을 포함하는 패턴을 가지는 내부 절연막; 및
    상기 유기 박막층 상에 형성되며, 상기 유기 박막층이 발광하도록 상기 하부 전극간에 전압을 인가하는 상부 전극을 포함하되,
    상기 발광하는 유기 박막층은 세븐 세그먼트 형상인 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 보조 전극은 Cr, Cu, Mo, Ni, Al, Ag 및 Au 중 어느 하나 또는 이들의 조합인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 보조 전극은 상기 하부 전극과 상기 유기 박막층이 대향하는 면 이외의 면에 형성되는 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 외부 절연막은 상기 하부 전극과 보조 전극이 상기 상부 전극과 전기적으로 절연될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 외부 절연막은 포토 레지스트인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 외부 절연막은 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 내부 절연막은 포토 레지스트인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  10. 제6항 또는 제9항에 있어서,
    상기 포토 레지스트는 폴리이미드(PI) 또는 고분자 레진(resin)인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 내부 절연막은 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 내부 절연막의 패턴에 따라 형성된 복수의 홀의 형상은 다각형 또는 원형인 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 하부 전극에 결합하여 소정의 전압을 인가하기 위한 배선부를 더 포함하되,
    상기 내부 절연막의 패턴에 따라 형성된 복수의 홀은 상기 배선부에 가까울수록 폭이 작은 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자.
  14. 삭제
  15. (a) 투광성 기판 상에 하부 전극을 증착하는 단계;
    (b) 상기 하부 전극 상에서 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 상기 하부 전극의 저항보다 작은 저항을 가지는 보조 전극을 형성하는 단계;
    (c) 상기 하부 전극을 상기 고정 패턴 발광부에 상응하여 패터닝하는 단계;
    (d) 유기 박막층과 대향하는 상기 하부 전극 상에 다각형 또는 원형의 홀을 포함하는 패턴을 가지는 내부 절연막 및 상기 하부 전극과 상기 보조 전극 상에서 상기 고정 패턴 발광부 이외의 영역에 외부 절연막을 형성하는 단계;
    (e) 상기 하부 전극 상에 발광할 수 있는 유기 박막층을 형성하는 단계; 및
    (f) 상기 유기 박막층 상에 상기 유기 박막층이 발광하도록 상기 하부 전극간에 전압을 인가하는 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하되,
    상기 발광하는 유기 박막층은 세븐 세그먼트 형상인 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 제조 방법.
  16. 삭제
  17. 제15항에 있어서,
    상기 외부 절연막 및 내부 절연막이 포토 레지스트인 경우 상기 단계 (c)는
    (g) 상기 하부 전극 상에 상기 포토 레지스트를 도포하는 단계; 및
    (h) 상기 포토 레지스트 상에 소정의 패턴에 상응하는 노광 마스크를 합치하고 노광한 후 현상하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 제조 방법.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막이 SiOx, SixNy 및 SixOyNz 중 어느 하나인 경우 상기 단계 (c)는
    (i) 상기 하부 전극 상에 상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막을 증착하는 단계;
    (j) 상기 외부 절연막 및 상기 내부 절연막 상에 포토 레지스트를 도포하는 단계; 및
    (k) 상기 포토 레지스트 상에 소정의 패턴에 상응하는 노광 마스크를 합치하고 노광한 후 현상하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고정 패턴 발광부를 갖는 유기 발광 소자 제조 방법.
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