KR100763347B1 - Method of aligning a panel - Google Patents

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KR100763347B1
KR100763347B1 KR1020060055099A KR20060055099A KR100763347B1 KR 100763347 B1 KR100763347 B1 KR 100763347B1 KR 1020060055099 A KR1020060055099 A KR 1020060055099A KR 20060055099 A KR20060055099 A KR 20060055099A KR 100763347 B1 KR100763347 B1 KR 100763347B1
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panel
alignment
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유선중
김광석
정수연
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삼성전기주식회사
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    • H01L2223/54426—Marks applied to semiconductor devices or parts for alignment

Abstract

A method for aligning a panel is provided to minimize an align error of a mask and a panel by calculating aligned positions of the mask and/or panel through an analytical equation. A panel with a first align mark and a mask with a second align mark corresponding to the first align mark are loaded(S1). A first coordinate data corresponding to a position of the first align mark and a second coordinate data corresponding to a position of the second align mark are generated(S2). A correction data is generated so that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is below a predetermined reference value(S3). A panel and/or the mask is moved in response to the correction data(S4).

Description

패널정렬방법{Method of aligning a panel}Method of aligning a panel}

도 1은 종래기술에 따른 패널정렬방법을 나타내는 순서도.1 is a flow chart showing a panel alignment method according to the prior art.

도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 패널정렬장치를 나타내는 구성도. 2 is a block diagram showing a panel alignment device according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 패널정렬방법을 나타내는 순서도.3 is a flowchart showing a panel alignment method according to a second preferred embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 CCD 작동을 나타내는 사시도.Fig. 4 is a perspective view showing the CCD operation according to the first preferred embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 실시예에 있어, CCD에 나타난 이미지.FIG. 5 is an image shown in a CCD in the embodiment of FIG. 4; FIG.

도 6은 정렬 전 패널 및 마스크를 나타내는 평면도.6 is a plan view showing a panel and a mask before alignment.

도 7은 도 3의 실시예에 따른 패널정렬방법을 수행한 후 패널 및 마스크를 나타내는 평면도.7 is a plan view showing a panel and a mask after performing the panel alignment method according to the embodiment of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

10: 패널 15: 제1 정렬마크10: panel 15: first alignment mark

20: 마스크 25: 제2 정렬마크20: mask 25: second alignment mark

30: CCD 40: 연산부30: CCD 40: calculator

50: 제어부 60: 이동수단50: control unit 60: moving means

본 발명은 패널정렬방법에 관한 것이다.The present invention relates to a panel alignment method.

기판, LCD 등의 제조 공정은 일반적으로 대형 패널을 사용하여 진행된다. 각 제품의 제조 공정에서 노광 공정 (photolithography)이 핵심적은 역할을 하고 있다. 노광 공정에서는 전사될 회로가 형성되어 있는 마스크를 이용하여 광화학적인 방법으로 미세 회로를 패널 상에 복사하는 방법이 사용된다.The manufacturing process of a board | substrate, LCD, etc. generally uses a large panel. Photolithography plays a key role in the manufacturing process of each product. In the exposure process, a method of copying a fine circuit onto a panel by a photochemical method using a mask on which a circuit to be transferred is formed is used.

노광 공정은 패널 로딩 → 정렬 → 노광 → 패널 언로딩과 같은 순서로 진행된다. 여기서 정렬 과정은 마스크와 패널의 평면상 위치를 일치 시키는 과정으로서 회로의 정밀도에 따라 보통 미크론 또는 서브 미크론 수준의 정밀도를 요구하는 작업이다. 마스크와 패널의 평면상의 위치를 일치 시키기 위해서는, 마스크 및 패널 상의 특정 지점에 위치한 다수의 마크를 CCD 등의 화상 인식 장치로 인식하여, 마스크 마크 및 패널 마크의 위치 오차로부터 마스크 또는 패널의 수평 위치를 물리적으로 이동 시키는 방법을 사용한다. 이때 CCD 가 인식한 마스크 간 위치 오차로부터 마스크 또는 패널의 이동 데이터를 구하는 방법을 정렬 알고리즘 (Alignment Algorithm) 이라 칭한다.The exposure process proceeds in the order of panel loading → alignment → exposure → panel unloading. In this case, the alignment process is a process of matching the mask and the panel position on the plane, and it is a task that usually requires micron or sub-micron precision depending on the precision of the circuit. In order to match the position of the mask and the panel on the plane, a plurality of marks located at a specific point on the mask and the panel are recognized by an image recognition device such as a CCD, and the horizontal position of the mask or the panel is determined from the position error of the mask mark and the panel mark. Use a physical movement method. At this time, the method of obtaining the movement data of the mask or the panel from the positional error between the masks recognized by the CCD is called an alignment algorithm.

종래의 정렬 방법은 다음과 같다. CCD를 이용하여 마스크 및 패널의 마크 위치를 인식한 후 이를 이용하여 마스크와 패널의 가상 중심점(Virtual Center)을 계 산한다. 마스크와 패널의 가상 중심점 간의 위치 오차(x-y-θ)를 계산한 후 이를 이용하여 마스크 또는 패널의 물리적 위치를 이동시켜 정렬 한다(이하에서 이런 정렬 알고리즘을 가상 중심 방법이라 칭한다). 이러한 패널정렬방법을 나타내는 순서도가 도 1의 (a)에 나타나 있다. 그러나, 가상 중심 방법의 경우 가상 중심을 계산하는 과정이 필수적이므로 패널 또는 마스크 각각의 마크 개수가 각각 4개로 한정된다. 그러나 실재의 경우 노광 공정 전에 여러 가지 이유로 일부 마크가 소실 되기도 하는데 이 경우 정렬이 불가능하다. 마크의 개수를 4개 이상을 사용함으로써 정렬 오차를 높일 수도 있는데 이 경우 역시 가상 중심 방법으로는 정렬이 불가능 하다. 또한, 마스크와 패널의 가상 중심을 기준으로 정렬하므로 패널의 중심은 정렬 오차가 최소화 되나 패널의 외곽 경우 위치 오차가 커지는 문제점을 가지고 있다.The conventional alignment method is as follows. After recognizing the mark position of the mask and the panel using a CCD, the virtual center of the mask and the panel is calculated using the CCD. After calculating the position error (x-y-θ) between the mask and the virtual center point of the panel, it is used to move the physical position of the mask or panel to align it (hereinafter, such an alignment algorithm is called a virtual center method). A flowchart showing such a panel sorting method is shown in Fig. 1A. However, in the virtual center method, since the process of calculating the virtual center is essential, the number of marks of each panel or mask is limited to four. In reality, however, some marks are lost before the exposure process for various reasons, in which case the alignment is impossible. The alignment error can be increased by using four or more marks. In this case, the virtual centering method is also impossible. In addition, since the alignment of the center of the panel is minimized since the alignment is based on the virtual center of the mask and the panel, the positional error of the panel is increased.

또 다른 정렬 방법은 다음과 같다. 가상 중심을 구하는 대신 각각의 CCD로 인식한 각 마크간의 거리 오차의 합이 최소가 되도록 패널 또는 마스크를 물리적으로 이동시키는 방법이다(이하에서 이런 정렬 알고리즘을 최소 오차 방법이라 칭한다). 이러한 패널정렬방법을 나타내는 순서도가 도 1의 (b)에 나타나 있다. 최소 오차 방법은 가상 중심 방법에 비하여 정렬 후 패널의 중심 및 외곽의 위치 오차를 평균적으로 최소화 할 수 있는 장점이 있다. 또한 사용할 수 있는 마크의 개수도 2개 이상 임의의 개수까지 증가 시켜 사용할 수 있으므로 정렬 오차를 높일 수 있는 이점이 있다. 그러나, 수학적으로 최소 오차 방법을 사용하기 위해서는 컴퓨터를 사용하여 반복 계산 (iteration method) 을 수행하여야 한다. 이는 현재까지 최소 오차 방법의 해적인 계산 방법 (explicit method)이 알려져 있지 않기 때문이다. 실재에 있어서는 계산 시간의 제약이 있으므로 일정 회수를 반복 계산하여 그 중에서 각 마크간 거리 오차의 합이 최소가 되는 경우를 선택하게 된다. 이 경우 정렬 오차가 실재로는 최소가 되기 어려우며 최악의 경우 가상 중심 방법에 비해 정렬 오차가 커질 가능성도 있다.Another sorting method is as follows. Instead of finding the virtual center, the panel or mask is physically moved so that the sum of the distance errors between each mark recognized by each CCD is minimized (hereinafter, such an alignment algorithm is referred to as a minimum error method). A flowchart showing such a panel sorting method is shown in FIG. The minimum error method has the advantage of minimizing the positional error of the center and the edge of the panel after the alignment, compared to the virtual center method. In addition, since the number of marks that can be used can also be increased to two or more arbitrary numbers, there is an advantage that the alignment error can be increased. However, in order to mathematically use the minimum error method, an iteration method must be performed using a computer. This is because, to date, no explicit method of calculating the minimum error method is known. In reality, since there is a limitation of the calculation time, a predetermined number of times is repeatedly calculated to select a case where the sum of the distance errors between the marks becomes the minimum. In this case, the alignment error is hardly minimized in reality, and in the worst case, the alignment error may be larger than the virtual center method.

본 발명은 패널 또는 마스크 마크 위치를 인식하는 즉시 해석적인 수식에 의하여 마스크 또는 패널의 정렬 위치를 계산함으로써 마스크와 패널의 정렬오차를 최소화 할 수 있는 패널정렬방법을 제공하는 것이다.The present invention provides a panel alignment method capable of minimizing the alignment error between the mask and the panel by calculating the alignment position of the mask or the panel by analytical equations upon recognition of the panel or mask mark position.

본 발명의 일 측면에 따르면, (a) 제1 정렬마크가 형성된 패널과, 제1 정렬마크에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크를 각각 로딩하는 단계, (b) 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 생성하는 단계, (c) 제1 좌표 데이터와 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 하는 보정 데이터를 생성하는 단계 및 (d) 보정 데이터에 상응하여 패널 또는 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시키는 단계를 포함하는 패널정렬방법을 제시할 수 있다.According to an aspect of the present invention, (a) loading the panel on which the first alignment mark is formed and the mask on which the second alignment mark is formed corresponding to the first alignment mark, respectively, (b) at the position of the first alignment mark Generating second coordinate data corresponding to the position of the corresponding first coordinate data and the second alignment mark, and (c) correcting data such that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is equal to or less than a predetermined reference value. A panel alignment method may be provided that includes generating and moving (d) any one or more of a panel or a mask in accordance with the correction data.

제1 정렬마크는 복수로 형성될 수 있고, 좌표 데이터는 정렬마크의 위치를 x 좌표와 y 좌표로 나타낸 평면직교좌표(x-y) 데이터를 포함하고, 보정 데이터는 아래의 수학식을 만족하는 회전 보정 데이터(dθ), 수평 보정 데이터(dx) 및 수직 보정 데이터(dy)일 수 있다.The first alignment mark may be formed in plural, and the coordinate data includes plane rectangular coordinates (xy) data indicating the position of the alignment mark in x and y coordinates, and the correction data includes rotation correction that satisfies the following equation. Data d θ , horizontal correction data d x , and vertical correction data d y .

Figure 112006042880800-pat00001
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Figure 112006042880800-pat00002
,
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Figure 112006042880800-pat00003
.
Figure 112006042880800-pat00003
.

- 여기서,- here,

N은 제1 정렬마크의 개수, nix는 i(1≤i≤N)번째 제1 정렬마크의 x 좌표,N is the number of first alignment marks, n ix is the x coordinate of the i (1≤i≤N) th first alignment mark,

mix는 i번째 제2 정렬마크의 x 좌표, niy는 i번째 제1 정렬마크의 y 좌표,m ix is the x coordinate of the i th second alignment mark, n iy is the y coordinate of the i th first alignment mark,

miy는 i번째 제2 정렬마크의 y 좌표이고,m iy is the y coordinate of the i th second alignment mark,

Figure 112006042880800-pat00004
,
Figure 112006042880800-pat00005
,
Figure 112006042880800-pat00004
,
Figure 112006042880800-pat00005
,

Figure 112006042880800-pat00006
,
Figure 112006042880800-pat00007
이다.
Figure 112006042880800-pat00006
,
Figure 112006042880800-pat00007
to be.

또한 단계 b는 제1 정렬마크와 제2 정렬마크를 촬영하여 획득된 이미지 데이터를 소정의 기준 좌표와 비교함으로써 수행될 수 있다.In addition, step b may be performed by comparing the image data obtained by photographing the first alignment mark and the second alignment mark with predetermined reference coordinates.

한편, 패널은 다각형의 형상을 가지며, 제1 정렬마크는 패널의 각 꼭지점에 상응하는 모서리부에 형성될 수 있다.Meanwhile, the panel has a polygonal shape, and the first alignment mark may be formed at an edge portion corresponding to each vertex of the panel.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1 정렬마크가 형성된 패널과, 제1 정렬마크에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크를 각각 로딩하는 로딩수단, 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 생성하는 계측부, 제1 좌표 데이터와 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 보정 데이터를 생성하는 연산부 및 보정 데이터에 상응하여 패널 또는 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시키는 이동수단을 포함하는 패널정렬장치를 제시할 수 있다.In addition, according to another aspect of the invention, the loading means for loading the panel on which the first alignment mark is formed, the mask on which the second alignment mark is formed corresponding to the first alignment mark, respectively, the first means corresponding to the position of the alignment mark A measurement unit for generating second coordinate data corresponding to the position of the first coordinate data and the second alignment mark, and an operation unit for generating the correction data and correction data such that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is equal to or less than a predetermined reference value. Correspondingly, a panel alignment device comprising a moving means for moving any one or more of the panel or mask can be presented.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 정렬마크가 형성된 패널과, 제1 정렬마크에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시켜 패널과 마스크의 위치를 정렬시키는 정렬장치에서 실행될 수 있는 명령어들의 프로그램이 유형적으로 구현되어 있으며, 정렬장치에 의해 판독될 수 있는 기록 매체로서,According to another aspect of the present invention, in the alignment device for aligning the position of the panel and the mask by moving any one or more of the panel on which the first alignment mark is formed and the mask on which the second alignment mark corresponding to the first alignment mark is formed. A program of instructions that can be executed is tangibly embodied and can be read by an alignment device.

(a) 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 입력 받는 단계, (b) 제1 좌표 데이터와 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 하는 보정 데이터를 생성하여 출력하는 단계 및 (c) 보정 데이터에 상응하여 패널 또는 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시키는 제어신호를 출력하는 단계를 순차적으로 실행하는 프로그램을 기록한 기록매체를 제시할 수 있다.(a) receiving first coordinate data corresponding to the position of the first alignment mark and second coordinate data corresponding to the position of the second alignment mark, (b) an error between the first coordinate data and the second coordinate data A recording medium on which a program is sequentially executed for generating and outputting correction data to be equal to or less than a predetermined reference value, and (c) outputting a control signal for moving at least one of the panel and the mask in accordance with the correction data Can be presented.

단계 a 이전에, 제1 정렬마크와 제2 정렬마크를 촬영하여 이미지 데이터를 획득하고, 이미지 데이터를 소정의 기준 좌표와 비교하는 단계를 더 수행할 수도 있다.Before step a, the first alignment mark and the second alignment mark may be photographed to obtain image data, and the image data may be further compared with predetermined reference coordinates.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위을 포함한 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than the foregoing will be apparent from the following detailed description of the invention including the drawings and the claims.

이하, 본 발명에 따른 패널정렬방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the panel alignment method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and duplicated thereto The description will be omitted.

도 3은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 패널정렬방법을 나타내는 순서도, 도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 CCD(30)의 작동을 나타내는 사시도, 도 5는 도 4의 실시예에 있어, CCD(30)에 나타난 이미지, 도 6은 정렬 전 패널 및 마스크를 나타내는 평면도, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널정렬방법을 수행한 후 패널 및 마스크를 나타내는 평면도이다. 도 2 내지 도 7을 참조하면, 패널(10), 제1 정렬마크(15), 마스크(20), 제2 정렬마크(25), CCD(30), 연산부(40), 제어부(50) 및 이동수단(60)이 도시되어 있다.3 is a flowchart showing a panel alignment method according to a second preferred embodiment of the present invention, FIG. 4 is a perspective view showing the operation of the CCD 30 according to the first preferred embodiment of the present invention, and FIG. In the example, the image shown in the CCD 30, FIG. 6 is a plan view showing a panel and a mask before alignment, and FIG. 7 is a plan view showing a panel and a mask after performing a panel alignment method according to an embodiment of the present invention. 2 to 7, the panel 10, the first alignment mark 15, the mask 20, the second alignment mark 25, the CCD 30, the operation unit 40, the control unit 50, and the like. The vehicle 60 is shown.

제1 정렬마크(15)가 형성된 패널과, 제1 정렬마크(15)에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크를 각각 로딩하는 단계(S1)는 정렬마크가 각각 형성된 패 널(10) 및 마스크(20)를 로딩하여 정렬을 준비하는 단계이다. 비록 패널의 정렬을 준비하는 단계이기는 하나, 이후 패널(10) 또는 마스크(20)의 이동을 통하여 정렬을 수행하는 과정에 있어, 그 이동량을 줄이기 위하여 패널(10) 및 마스크(20)를 로딩함에 있어서도, 정렬 오차를 최소화할 수 있도록 대략적으로 정렬하여 로딩하는 것이 바람직하다.In step S1 of loading the panel on which the first alignment mark 15 is formed and the mask on which the second alignment mark corresponding to the first alignment mark 15 is formed (S1), the panel 10 and the mask on which the alignment marks are formed, respectively. Step 20 is to prepare the alignment by loading. Although the step of preparing the alignment of the panel, in the process of performing the alignment through the movement of the panel 10 or mask 20, loading the panel 10 and the mask 20 in order to reduce the amount of movement Even in this case, it is preferable to roughly align and load in order to minimize the alignment error.

한편, 정렬의 정확도를 높이기 위해, 제1 정렬마크(15)는 복수로 형성될 수 있으며, 패널(10)의 정렬 면이 다각형 형상인 경우, 정렬 면의 꼭지점의 수에 상응하도록 제1 정렬마크(15)를 형성할 수도 있다. 예를 들면, 패널(10)의 정렬 면이 사각형 형상인 경우, 제1 정렬마크는 4개가 형성될 수 있는 것이다.On the other hand, in order to increase the accuracy of the alignment, a plurality of first alignment marks 15 may be formed, when the alignment surface of the panel 10 is a polygonal shape, the first alignment mark to correspond to the number of vertices of the alignment surface (15) can also be formed. For example, when the alignment surface of the panel 10 has a rectangular shape, four first alignment marks may be formed.

추후 설명하게 될 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 패널정렬장치는 제2 정렬마크(25)와 제1 정렬마크(정렬마크로 통칭)의 비교를 통해 패널(10)과 마스크(20)를 정렬하게 되므로, 제2 정렬마크(25)는 제1 정렬마크(15)에 상응하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 정렬마크(15)가 4개 형성된 경우, 제2 정렬마크(25) 역시 4개 형성될 수 있다.As will be described later, the panel alignment device according to an aspect of the present invention aligns the panel 10 and the mask 20 by comparing the second alignment mark 25 with the first alignment mark (collectively referred to as an alignment mark). Since the second alignment mark 25 may be formed corresponding to the first alignment mark 15. For example, when four first alignment marks 15 are formed, four second alignment marks 25 may also be formed.

제1 정렬마크(15)의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 생성하는 단계(S2)는 로딩된 패널(10)과 마스크(20) 상에 형성되어 있는 제1 정렬마크(15) 및 제2 정렬마크(25)의 위치를 파악하고, 각각의 좌표 데이터를 생성하는 단계이다.Generating first coordinate data corresponding to the position of the first alignment mark 15 and second coordinate data corresponding to the position of the second alignment mark (S2) is performed on the loaded panel 10 and the mask 20. In this step, the positions of the first alignment mark 15 and the second alignment mark 25 are formed, and the respective coordinate data are generated.

도 3을 참조하면, 단계 S2는 CCD(30)에 의해 수행될 수 있다. 대략적으로 정렬된 마스크(20)와 패널(10)의 일면으로부터 소정거리 이격하여 CCD(30)를 위치시 키고, CCD(30)를 통하여 마스크(20) 및 패널(10)에 형성된 제2 정렬마크(25) 및 제1 정렬마크(15)의 위치를 파악할 수 있다. 제2 정렬마크(25) 및 제1 정렬마크(15)의 위치는 CCD(30)를 통해 픽셀 데이터로 파악될 수 있으며, 이를 통해 제2 정렬마크(25) 및 제1 정렬마크(15)의 위치는 평면직교좌표(x-y) 데이터로 생성될 수 있게 된다.Referring to FIG. 3, step S2 may be performed by the CCD 30. Position the CCD 30 at a predetermined distance from one surface of the mask 20 and the panel 10 which are approximately aligned, and a second alignment mark formed on the mask 20 and the panel 10 through the CCD 30. (25) and the position of the first alignment mark 15 can be grasped. The position of the second alignment mark 25 and the first alignment mark 15 may be understood as pixel data through the CCD 30, and thus, the position of the second alignment mark 25 and the first alignment mark 15 may be determined. The position can be generated from planar rectangular coordinates (xy) data.

제1 좌표 데이터와 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 하는 보정 데이터를 생성하는 단계(S3)는 패널(10)의 최적 배열을 위한 패널(10) 또는 마스크의 보정 데이터를 생성하는 단계이다. 단계 S3을 설명함에 있어서, 도 6 및 도 7을 추가로 참조하여 설명하도록 한다.Generating correction data such that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is equal to or less than a predetermined reference value may include generating correction data of the panel 10 or a mask for an optimal arrangement of the panel 10. Step. In the step S3, the description will be made with reference to FIGS. 6 and 7.

도 6은 정렬 전 패널 및 마스크를 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 3의 실시예에 따른 패널정렬방법을 수행한 후 패널(10) 및 마스크(20)를 나타내는 평면도이다. 6 is a plan view illustrating a panel and a mask before alignment, and FIG. 7 is a plan view illustrating the panel 10 and the mask 20 after performing the panel alignment method according to the embodiment of FIG. 3.

도 6 및 도 7을 참조하면, 패널(10), 제1 정렬마크(15), 마스크(20), 제2 정렬마크(25)가 도시되어 있다. 도 6 및 도 7을 통해 설명하게 되는 실시예에서는 설명의 편의를 위해 마스크(20)는 이상적인 크기와 모양을 가진 것으로 표현하고, 패널(10)은 변형된 모습으로 표현 하였다. 그리고, 마스크(20)를 고정한 상태에서 패널(10)을 이동하여 정렬을 수행하는 경우를 가정한다.6 and 7, the panel 10, the first alignment mark 15, the mask 20, and the second alignment mark 25 are illustrated. In the embodiment described with reference to FIGS. 6 and 7, the mask 20 is expressed as having an ideal size and shape for convenience of description, and the panel 10 is expressed in a deformed form. In addition, it is assumed that the alignment is performed by moving the panel 10 while the mask 20 is fixed.

그러나, 설계상의 필요에 따라 패널을 고정한 상태에서 마스크를 이동하여 정렬을 수행할 수도 있고, 이러한 경우에는 이하의 수식들을 통해 얻어지게 될 보정 데이터에 있어서, 패널과 마스크에 각각 상응하는 좌표 데이터를 서로 치환함으 로써 해당 보정 데이터를 얻을 수 있음은 당연하다.However, alignment may be performed by moving the mask while the panel is fixed according to the design needs. In this case, in the correction data to be obtained through the following equations, coordinate data corresponding to the panel and the mask may be mutually matched. Naturally, the corresponding correction data can be obtained by replacing.

도 6 및 도 7에서 심볼은 다음과 같이 정의될 수 있으며, 모든 좌표계는 CCD 좌표계(절대 좌표계에서 표현된 값)이다. 또한, 이하 수식에서 굵은 글씨체는 벡터 또는 행렬을 표시한다.6 and 7, the symbol may be defined as follows, and all coordinate systems are CCD coordinate systems (values expressed in absolute coordinate systems). In the following formula, bold text indicates a vector or a matrix.

N은 제1 정렬마크의 개수.N is the number of first alignment marks.

n i는 정렬 전 i번째 제1 정렬마크의 좌표 데이터, n i is the coordinate data of the i th first alignment mark before alignment,

nix는 정렬 전 i번째 제1 정렬마크의 x축 데이터,n ix is the x-axis data of the i-th first alignment mark before alignment,

niy는 정렬 전 i번째 제1 정렬마크의 y축 데이터,n iy is the y-axis data of the i th first alignment mark before alignment,

n i'는 정렬 후 i번째 제1 정렬마크의 좌표 데이터 n i 'is the coordinate data of the i th first alignment mark after alignment

m i는 i번째 제2 정렬마크의 좌표 데이터, m i is the coordinate data of the i th second alignment mark,

mix는 i번째 제2 정렬마크의 x축 데이터,m ix is the x-axis data of the i-th second alignment mark,

miy는 i번째 제2 정렬마크의 y축 데이터,m iy is the y-axis data of the i-th second alignment mark,

p는 마스크의 가상중심 좌표 데이터, p is the virtual center coordinate data of the mask,

q는 정렬 전 패널의 가상중심 좌표 데이터, q is the virtual center coordinate data of the panel before alignment,

q'는 정렬 후 패널의 가상중심 좌표 데이터, q ' is the virtual center coordinate data of the panel after alignment,

dθ는 패널의 회전보정 데이터,d θ is the rotation compensation data of the panel,

dx는 패널의 수평보정 데이터,d x is the horizontal calibration data of the panel,

dy는 패널의 수직보정 데이터이다.d y is the vertical calibration data of the panel.

N은 제1 정렬마크의 개수를 의미하고, N은 2 이상 임의의 수일 수 있다. 정렬마크는 마스크(20) 또는 패널(10) 상의 임의의 위치에 형성될 수 있다. 정렬 전 CCD(30) 에서 파악한 정렬마크 좌표 m i, n i로부터 다음과 같은 방법으로 가상 중심 p, q 를 계산할 수 있다.N means the number of first alignment marks, and N may be any number two or more. The alignment mark may be formed at any position on the mask 20 or panel 10. The virtual centers p and q can be calculated from the alignment mark coordinates m i and n i obtained by the CCD 30 before alignment in the following manner.

<수학식 1> ,

Figure 112006042880800-pat00008
<Equation 1>,
Figure 112006042880800-pat00008

정렬 후 제1 정렬마크(15)의 좌표 ni' 는 다음과 같이 계산할 수 있다.After alignment, the coordinate ni 'of the first alignment mark 15 may be calculated as follows.

<수학식 2>

Figure 112006042880800-pat00009
<Equation 2>
Figure 112006042880800-pat00009

여기서 A, d 는 패널의 회전 및 직선 이동량으로 다음과 같이 표현될 수 있다.Here, A and d may be expressed as the rotation and linear movement of the panel as follows.

<수학식 3>

Figure 112006042880800-pat00010
<Equation 3>
Figure 112006042880800-pat00010

또한, 제2 정렬마크와 제1 정렬마크(15)간의 오차의 합을 다음의 수식으로 표현 할 수 있다.In addition, the sum of the errors between the second alignment mark and the first alignment mark 15 may be expressed by the following equation.

<수학식 4>

Figure 112006042880800-pat00011
<Equation 4>
Figure 112006042880800-pat00011

이제, 마스크와 패널 간 오차를 최소로 하는 것은 다음과 같은 수학적 문제 를 푸는 것으로 표현될 수 있다. 즉, m i, n i가 주어진 경우 <수식 4>의 Error를 최소로 하는 dθ, dx, dy를 해석함으로써 오차를 최소로 하도록 할 수 있게 된다.Now, minimizing the error between the mask and the panel can be expressed as solving the following mathematical problem. That is, when m i and n i are given, the error can be minimized by analyzing d θ , d x , and d y which minimize the error of Equation 4.

본 실시예에서는 위의 문제를 해결하기 위하여 최소오차자승법(Least Square Method)를 이용할 수 있다. 이 경우, 문제 정의의 해는 하기의 <수학식 5>를 만족하는 dθ, dx, dy를 구하는 것이다.In this embodiment, the least square method may be used to solve the above problem. In this case, the solution of the problem definition is to find d θ , d x , and d y that satisfy Equation 5 below.

<수학식 5>

Figure 112006042880800-pat00012
<Equation 5>
Figure 112006042880800-pat00012

<수학식 5>를 풀기 위해서 dx에 대해서 다음과 같이 전개한다.To solve <Equation 5>, expand dx as follows.

<수학식 6>

Figure 112006042880800-pat00013
<Equation 6>
Figure 112006042880800-pat00013

여기서, <수학식 2>의 정의에 의하여 다음과 같이 계산된다.Here, it is calculated as follows by the definition of <Equation 2>.

<수학식 7>

Figure 112006042880800-pat00014
<Equation 7>
Figure 112006042880800-pat00014

따라서, <수학식 6>은 <수학식 1>의 정의를 이용하여 다음과 같이 전개될 수 있다.Accordingly, Equation 6 may be developed as follows by using the definition of Equation 1.

<수학식 8>

Figure 112006042880800-pat00015
<Equation 8>
Figure 112006042880800-pat00015

<수학식 8>의 전개에서 다음의 수식을 사용하였다.In the development of Equation 8, the following equation was used.

<수학식 9>

Figure 112006042880800-pat00016
<Equation 9>
Figure 112006042880800-pat00016

따라서, <수학식 8>은 최종적으로 다음과 같이 정리될 수 있다.Therefore, Equation 8 can be finally summarized as follows.

<수학식 10>

Figure 112006042880800-pat00017
<Equation 10>
Figure 112006042880800-pat00017

동일한 방법으로 <수학식 5>의 dy 에 대한 수식도 <수학식 6> 내지 <수학식 9>를 거쳐 다음과 같은 수식으로 정리될 수 있다.In the same manner, the equation for d y in Equation 5 may also be summarized as the following equation through Equation 6 to Equation 9.

<수학식 11>

Figure 112006042880800-pat00018
<Equation 11>
Figure 112006042880800-pat00018

<수학식 5>의 dq 에 대한 전개는 다음과 같다.The development of d q in Equation 5 is as follows.

<수학식 12>

Figure 112006042880800-pat00019
<Equation 12>
Figure 112006042880800-pat00019

여기서, <수학식 2>에 의하여 다음같이 계산된다.Here, it is calculated by the following formula (2).

<수학식 13>

Figure 112006042880800-pat00020
<Equation 13>
Figure 112006042880800-pat00020

따라서, <수학식 12>는 다음과 같이 전개될 수 있다.Therefore, Equation 12 may be developed as follows.

<수학식 14><Equation 14>

Figure 112006042880800-pat00021
Figure 112006042880800-pat00021

<수학식 14>에서 각 항의 전개는 다음의 수식을 이용하였다.In Equation 14, each term was developed using the following equation.

<수학식 15>

Figure 112006042880800-pat00022
<Equation 15>
Figure 112006042880800-pat00022

<수학식 16><Equation 16>

Figure 112006042880800-pat00023
Figure 112006042880800-pat00023

<수학식 17><Equation 17>

Figure 112006042880800-pat00024
Figure 112006042880800-pat00024

<수학식 18><Equation 18>

Figure 112006042880800-pat00025
Figure 112006042880800-pat00025

위의 식에서 α,β,χ,δ는 다음과 같이 정의되었다.In the above equation, α, β, χ, δ are defined as

<수학식 19>

Figure 112006042880800-pat00026
<Equation 19>
Figure 112006042880800-pat00026

<수학식 20>

Figure 112006042880800-pat00027
<Equation 20>
Figure 112006042880800-pat00027

<수학식 20>에서 α,β,χ,δ는 m i, n i 즉, 마스크(20) 및 패널(10)의 정렬 전 정렬마크의 좌표 데이터로부터 계산할 수 있는 상수 임을 알 수 있다.<Equation 20> α, β, χ, δ are in can be seen that m i, n i That is, the mask 20 and panel 10, a constant which can be calculated from the coordinate data of the previous alignment of the alignment marks.

이제, <수학식 14>는 최종적으로 다음으로 정리될 수 있다.Now, Equation 14 can finally be summarized as follows.

<수학식 21>

Figure 112006042880800-pat00028
<Equation 21>
Figure 112006042880800-pat00028

dθ, dx, dy를 구하기 위해서 이제 <수학식 10>, <수학식 11>, <수학식 21>을 연립하여 풀면 된다.In order to calculate d θ , d x , and d y , Equation 10, Equation 11, and Equation 21 can be solved.

<수학식 22>

Figure 112006042880800-pat00029
<Equation 22>
Figure 112006042880800-pat00029

<수학식 23>

Figure 112006042880800-pat00030
<Equation 23>
Figure 112006042880800-pat00030

<수학식 24>

Figure 112006042880800-pat00031
<Equation 24>
Figure 112006042880800-pat00031

<수학식 22> 내지 <수학식 24>는 정의된 문제의 해석적 해이다. 이상의 식을 이용함으로써 mi, ni 즉, 마스크(20) 및 패널(10)의 정렬 전 정렬마크 좌표 데이터로부터 패널(10)의 정렬 시 필요한 이동량 dθ, dx, dy를 해석적으로 구할 수 있다. 그리고, 이와 같이 구해진 dθ, dx, dy는 패널(10)과 마스크(20) 각각의 마크간 오차의 제곱의 총합을 최소로 하는 패널(10)의 이동량이 된다.Equations 22 through 24 are interpretive solutions to the problems defined. By using the above equation, mi, ni, i.e., the amount of movement dθ, dx, dy required for the alignment of the panel 10 can be analytically determined from the alignment mark coordinate data before the alignment of the mask 20 and the panel 10. And d (theta), dx, dy calculated in this way becomes the movement amount of the panel 10 which minimizes the sum total of the square of the error between the marks of each of the panel 10 and the mask 20. As shown in FIG.

보정 데이터에 상응하여 패널(10) 또는 마스크(20) 중 어느 하나 이상을 이동시키는 단계(S5)는 단계 S3에 의해 생성된 보정 데이터만큼 패널(10) 또는 마스크(20)를 이동하여 패널정렬을 마무리하는 단계이다.Moving one or more of the panel 10 or the mask 20 in correspondence with the correction data (S5) moves the panel 10 or the mask 20 by the correction data generated by step S3 to adjust the panel alignment. This is the final stage.

본 발명의 일 실시예에 따른 패널정렬방법은 패널(10) 또는 마스크(20)를 이동하기에 앞서 상술한 단계 S3을 수행함으로써 최적의 배열 위치를 해석할 수 있으므로, 단시간 내에 마스크(20)와 패널의 정렬오차를 최소화 할 수 있는 장점이 있다.Panel alignment method according to an embodiment of the present invention can analyze the optimal arrangement position by performing the above-described step S3 before moving the panel 10 or mask 20, so that the mask 20 and the There is an advantage to minimize the alignment error of the panel.

한편, 본 실시예를 통해 제시한 패널정렬방법의 일반적이고 구체적인 측면이, 추후 설명할 패널정렬장치에서 실행될 수 있는 명령어들의 프로그램으로서 유형적으로 구현되어, 패널정렬장치에 의해 판독될 수 있는 기록매체로 존재할 수 있다.On the other hand, the general and specific aspects of the panel sorting method presented through the present embodiment is implemented as a program of instructions that can be executed in the panel sorting apparatus, which will be described later, into a recording medium that can be read by the panel sorting apparatus. May exist.

즉, (a) 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 입력 받는 단계와 (b) 제1 좌표 데이터와 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 하는 보정 데이터를 생성하 여 출력하는 단계 및 (c) 보정 데이터에 상응하여 패널(10) 또는 마스크(20) 중 어느 하나 이상을 이동시키는 제어신호를 출력하는 단계를 순차적으로 실행하는 프로그램이 유형적으로 구현되어, 패널정렬장치에 의해 판독될 수 있는 기록매체로 존재할 수 있는 것이다.That is, (a) receiving first coordinate data corresponding to the position of the first alignment mark and second coordinate data corresponding to the position of the second alignment mark, and (b) between the first coordinate data and the second coordinate data. Generating and outputting correction data such that an error is equal to or less than a predetermined reference value; and (c) outputting a control signal for moving one or more of the panel 10 or the mask 20 in accordance with the correction data. A program that executes sequentially may be implemented as a type, and may exist as a recording medium that can be read by the panel alignment device.

각 단계에서 수행되는 내용은 앞서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 구체적인 설명은 생략한다.The content performed in each step is the same as or similar to that described above, so a detailed description thereof will be omitted.

다음으로, 본 발명의 다른 측면에 따른 패널정렬장치에 대해 설명하도록 한다.Next, a panel alignment apparatus according to another aspect of the present invention will be described.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패널정렬장치를 나타내는 구성도이다. 도 2를 참조하면, 패널, 제1 정렬마크(15), 마스크(20), 제2 정렬마크(25), CCD(30), 연산부(40), 제어부(50), 이동수단(60)이 도시되어 있다.2 is a block diagram showing a panel alignment device according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, a panel, a first alignment mark 15, a mask 20, a second alignment mark 25, a CCD 30, an operation unit 40, a control unit 50, and a moving unit 60 are provided. Is shown.

로딩수단은 패널(10) 또는 마스크(20)를 로딩하는 수단이고, 이동수단(60)은 제어부(50)에 의해 작동되어 패널(10) 또는 마스크(20)를 이동시켜 정렬을 완성시키는 수단이다. 이동수단(60)의 경우, 정밀한 이동을 위해 로봇이 사용될 수 있다. 로딩수단과 이동수단(60)은 동일한 것일 수도 있으며, 이를 통해 장치의 부피를 줄이고, 비용을 절감할 수 있는 효과를 나타낼 수도 있게 된다.The loading means is a means for loading the panel 10 or mask 20, and the moving means 60 is a means for actuating by the controller 50 to move the panel 10 or mask 20 to complete the alignment. . In the case of the moving means 60, a robot may be used for precise movement. Loading means and the moving means 60 may be the same, thereby reducing the volume of the device, it is possible to exhibit the effect of reducing the cost.

계측부는 제1 정렬마크(15) 또는 제2 정렬마크(25)의 위치를 파악하고, 각각의 좌표 데이터를 생성하는 수단이다. 계측부는 CCD(30)를 포함하여 이루어질 수 있으며, 패널(10) 또는 마스크(20)의 일면에 형성된 정렬마크의 위치를 파악해야 하므로, 패널(10) 또는 마스크(20)의 일면으로부터 소정거리 이격될 수 있도록 형성될 수 있다.The measurement unit is means for grasping the position of the first alignment mark 15 or the second alignment mark 25 and generating respective coordinate data. The measurement unit may include a CCD 30, and since the measurement unit needs to grasp the position of the alignment mark formed on one surface of the panel 10 or the mask 20, a predetermined distance is spaced from one surface of the panel 10 or the mask 20. It can be formed to be.

연산부(40)는 계측부에 의해 생성된 좌표 데이터를 입력 받아, 최적의 정렬을 위한 패널(10) 또는 마스크(20)의 보정 데이터를 생성하여 출력할 수 있다. 최적의 정렬을 위해 제1 좌표 데이터와 제2 좌표 데이터 간의 허용오차를 설정하고, 오차가 허용오차 이하가 되도록 보정 데이터를 생성하여 출력할 수 있다.The calculation unit 40 may receive coordinate data generated by the measurement unit and generate and output correction data of the panel 10 or the mask 20 for optimal alignment. A tolerance between the first coordinate data and the second coordinate data may be set for optimal alignment, and correction data may be generated and output so that an error is less than or equal to the tolerance.

한편, 연산부(40)는 앞서 패널정렬방법을 설명함에 있어 제시한 것과 같은 보정 데이터 생성 알고리즘을 기록한 기록매체 및 컴퓨터로 이루어질 수 있다.On the other hand, the calculation unit 40 may be made of a recording medium and a computer that records the correction data generation algorithm as described in the foregoing panel alignment method.

제어부(50)는 연산부(40)에 의해 생성되어 출력된 보정 데이터를 입력 받고, 그에 따라 패널(10) 또는 마스크(20)를 이동시키기 위해 이동수단(60)의 작동을 제어하는 제어신호를 출력할 수 있다.The controller 50 receives the correction data generated and output by the calculator 40, and accordingly outputs a control signal for controlling the operation of the moving means 60 to move the panel 10 or the mask 20. can do.

이동수단(60)은 제어부(50)에 의해 출력된 제어신호를 입력 받고, 그에 따라 작동되어, 패널(10) 또는 마스크(20)를 이동시킬 수 있으며, 이를 통해 패널(10)과 마스크(20)의 정렬은 마무리될 수 있다.The moving unit 60 receives a control signal output by the control unit 50 and is operated accordingly to move the panel 10 or the mask 20, through which the panel 10 and the mask 20 can be moved. ) Can be finished.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 청구범위 내에 존재한다.Many embodiments other than those described above are within the scope of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 패널정렬방법은 패널 또는 마스크 마크 위치를 인식하는 즉시 해석적인 수식에 의하여 마스크 또는 패널 의 정렬 위치를 계산함으로써 마스크와 패널의 정렬오차를 최소화 할 수 있다. As described above, the panel alignment method according to the preferred embodiment of the present invention can minimize the alignment error between the mask and the panel by calculating the alignment position of the mask or the panel by an analytical equation immediately upon recognizing the position of the panel or the mask mark. .

Claims (10)

(a) 제1 정렬마크가 형성된 패널과, 상기 제1 정렬마크에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크를 각각 로딩하는 단계;(a) loading a panel on which a first alignment mark is formed and a mask on which a second alignment mark is formed corresponding to the first alignment mark; (b) 상기 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 상기 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 생성하는 단계;(b) generating first coordinate data corresponding to the position of the first alignment mark and second coordinate data corresponding to the position of the second alignment mark; (c) 상기 제1 좌표 데이터와 상기 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 하는 보정 데이터를 생성하는 단계; 및(c) generating correction data such that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is equal to or less than a predetermined reference value; And (d) 상기 보정 데이터에 상응하여 상기 패널 또는 상기 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시키는 단계를 포함하되,(d) moving at least one of the panel or the mask in accordance with the correction data, 상기 좌표 데이터는 상기 정렬마크의 위치를 x 좌표와 y 좌표로 나타낸 평면직교좌표(x-y) 데이터를 포함하고,The coordinate data includes plane rectangular coordinate (x-y) data indicating the position of the alignment mark in x and y coordinates; 상기 보정 데이터는 하기의 수학식을 만족하는 회전 보정 데이터(dθ), 수평 보정 데이터(dx) 및 수직 보정 데이터(dy)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널정렬방법.And the correction data includes rotation correction data (d θ ), horizontal correction data (d x ), and vertical correction data (d y ) that satisfy the following equation.
Figure 112007063075169-pat00060
,
Figure 112007063075169-pat00060
,
Figure 112007063075169-pat00061
,
Figure 112007063075169-pat00061
,
Figure 112007063075169-pat00062
.
Figure 112007063075169-pat00062
. - 여기서,- here, N은 제1 정렬마크의 개수.N is the number of first alignment marks. nix는 i(1≤i≤N)번째 제1 정렬마크의 x 좌표,n ix is the x coordinate of the i (1≤i≤N) th alignment mark, mix는 i번째 제2 정렬마크의 x 좌표,m ix is the x coordinate of the i th second alignment mark, niy는 i번째 제1 정렬마크의 y 좌표,n iy is the y coordinate of the i th first alignment mark, miy는 i번째 제2 정렬마크의 y 좌표,m iy is the y coordinate of the i th second alignment mark,
Figure 112007063075169-pat00063
,
Figure 112007063075169-pat00063
,
Figure 112007063075169-pat00064
,
Figure 112007063075169-pat00064
,
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. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 정렬마크는 복수인 것을 특징으로 하는 패널정렬방법.And the first alignment mark is plural. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 단계 (b)는 상기 제1 정렬마크와 상기 제2 정렬마크를 촬영하여 획득된 이미지 데이터를 소정의 기준 좌표와 비교함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 패널정렬방법.Step (b) is performed by comparing the image data obtained by photographing the first alignment mark and the second alignment mark with a predetermined reference coordinate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패널은 다각형의 형상을 가지며, 상기 제1 정렬마크는 상기 패널의 각 꼭지점에 상응하는 모서리부에 형성되는 것을 특징으로 하는 패널정렬방법.The panel has a polygonal shape, wherein the first alignment mark is formed in the corner portion corresponding to each vertex of the panel. 제1 정렬마크가 형성된 패널과, 상기 제1 정렬마크에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크를 각각 로딩하는 로딩수단;Loading means for respectively loading a panel on which a first alignment mark is formed and a mask on which a second alignment mark corresponding to the first alignment mark is formed; 상기 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 상기 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 생성하는 계측부;A measurement unit generating first coordinate data corresponding to the position of the first alignment mark and second coordinate data corresponding to the position of the second alignment mark; 상기 제1 좌표 데이터와 상기 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 보정 데이터를 생성하는 연산부;A calculator configured to generate correction data such that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is equal to or less than a predetermined reference value; 상기 보정 데이터에 상응하여 상기 패널 또는 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시키는 이동수단을 포함하되,Includes a moving means for moving any one or more of the panel or mask in accordance with the correction data, 상기 좌표 데이터는 상기 정렬마크의 위치를 x 좌표와 y 좌표로 나타낸 평면직교좌표(x-y) 데이터를 포함하고,The coordinate data includes plane rectangular coordinate (x-y) data indicating the position of the alignment mark in x and y coordinates; 상기 보정 데이터는 하기의 수학식을 만족하는 회전 보정 데이터(dθ), 수평 보정 데이터(dx) 및 수직 보정 데이터(dy)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널정렬장치.And the correction data includes rotation correction data (d θ ), horizontal correction data (d x ), and vertical correction data (d y ) that satisfy the following equation.
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, - 여기서,- here, N은 제1 정렬마크의 개수.N is the number of first alignment marks. nix는 i(1≤i≤N)번째 제1 정렬마크의 x 좌표,n ix is the x coordinate of the i (1≤i≤N) th alignment mark, mix는 i번째 제2 정렬마크의 x 좌표,m ix is the x coordinate of the i th second alignment mark, niy는 i번째 제1 정렬마크의 y 좌표,n iy is the y coordinate of the i th first alignment mark, miy는 i번째 제2 정렬마크의 y 좌표,m iy is the y coordinate of the i th second alignment mark,
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 삭제delete 제1 정렬마크가 형성된 패널과, 상기 제1 정렬마크에 상응하는 제2 정렬마크가 형성된 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시켜 상기 패널과 상기 마스크의 위치를 정렬시키는 정렬장치에서 실행될 수 있는 명령어들의 프로그램이 유형적으로 구현되어 있으며, 상기 정렬장치에 의해 판독될 수 있는 기록 매체로서,A program of instructions that can be executed in the alignment device for aligning the panel and the position of the mask by moving at least one of a panel on which a first alignment mark is formed and a mask on which a second alignment mark corresponding to the first alignment mark is formed. As a recording medium embodied in this type and readable by the alignment device, (a) 상기 제1 정렬마크의 위치에 상응하는 제1 좌표 데이터와 상기 제2 정렬마크의 위치에 상응하는 제2 좌표 데이터를 입력 받는 단계;(a) receiving first coordinate data corresponding to the position of the first alignment mark and second coordinate data corresponding to the position of the second alignment mark; (b) 상기 제1 좌표 데이터와 상기 제2 좌표 데이터 간의 오차가 소정의 기준치 이하가 되도록 하는 보정 데이터를 생성하여 출력하는 단계; 및generating and outputting correction data such that an error between the first coordinate data and the second coordinate data is equal to or less than a predetermined reference value; And (c) 상기 보정 데이터에 상응하여 상기 패널 또는 상기 마스크 중 어느 하나 이상을 이동시키는 제어신호를 출력하는 단계를 순차적으로 실행하되,(c) sequentially outputting a control signal for moving at least one of the panel and the mask in correspondence with the correction data; 상기 좌표 데이터는 상기 정렬마크의 위치를 x 좌표와 y 좌표로 나타낸 평면직교좌표(x-y) 데이터를 포함하고,The coordinate data includes plane rectangular coordinate (x-y) data indicating the position of the alignment mark in x and y coordinates; 상기 보정 데이터는 하기의 수학식을 만족하는 회전 보정 데이터(dθ), 수평 보정 데이터(dx) 및 수직 보정 데이터(dy)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로그램을 기록한 기록매체.And the correction data includes rotation correction data (d θ ), horizontal correction data (d x ), and vertical correction data (d y ) that satisfy the following equation.
Figure 112007063075169-pat00074
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. - 여기서,- here, N은 제1 정렬마크의 개수.N is the number of first alignment marks. nix는 i(1≤i≤N)번째 제1 정렬마크의 x 좌표,n ix is the x coordinate of the i (1≤i≤N) th alignment mark, mix는 i번째 제2 정렬마크의 x 좌표,m ix is the x coordinate of the i th second alignment mark, niy는 i번째 제1 정렬마크의 y 좌표,n iy is the y coordinate of the i th first alignment mark, miy는 i번째 제2 정렬마크의 y 좌표,m iy is the y coordinate of the i th second alignment mark,
Figure 112007063075169-pat00077
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. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 단계 (a) 이전에, 상기 제1 정렬마크와 상기 제2 정렬마크를 촬영하여 이미지 데이터를 획득하고, 상기 이미지 데이터를 소정의 기준 좌표와 비교하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기록매체.Before the step (a), further comprising the step of capturing the first alignment mark and the second alignment mark to obtain image data, and comparing the image data with predetermined reference coordinates . 삭제delete
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