KR100758696B1 - Electrode structure of planar pump - Google Patents

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KR100758696B1
KR100758696B1 KR1020070015571A KR20070015571A KR100758696B1 KR 100758696 B1 KR100758696 B1 KR 100758696B1 KR 1020070015571 A KR1020070015571 A KR 1020070015571A KR 20070015571 A KR20070015571 A KR 20070015571A KR 100758696 B1 KR100758696 B1 KR 100758696B1
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high voltage
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pump
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KR1020070015571A
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함영복
서우석
박중호
윤소남
최병오
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한국기계연구원
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    • H05K7/2039Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body

Abstract

An electrode structure for a planar pump is provided to increase a discharge flow rate/pressure with increased electric field density between electrodes in the planar pump used for cooling a CPU by forming non-uniform electric field between the electrodes through diversifying the structure of a high voltage electrode and a ground electrode. A plurality of corrugated projected parts are formed to an opposite side of the high voltage electrode(21). The plurality of arc-typed grooves are formed to one side of the ground electrode(22). The plurality of grooves are formed to one side of the high voltage electrode. The plurality of corrugated projected parts are formed to the other side of the ground electrode.

Description

평면형 펌프의 전극구조{Electrode structure of planar pump}Electrode structure of planar pump

도 1은 본 발명에 따른 평면형 펌프를 나타낸 분리 사시도.1 is an exploded perspective view showing a flat pump according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극을 나타낸 도면.2 shows an electrode of a planar pump according to the invention.

도 3은 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극의 다른 일예를 나타낸 도면. 3 is a view showing another example of the electrode of the planar pump according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극의 또 다른 일예를 나타낸 도면.4 is a view showing another example of the electrode of the planar pump according to the present invention.

도 5는 도 1,2 및 도 3의 전극의 구조에 따른 토출 유량 실험 결과를 나타낸 그래프.5 is a graph showing the discharge flow rate experiment results according to the structure of the electrode of FIGS. 1,2 and 3;

도 6은 도 3 및 도 4의 전극의 구조에 따른 토출 유량 실험 결과를 나타낸 그래프.Figure 6 is a graph showing the discharge flow rate experiment results according to the structure of the electrode of Figures 3 and 4.

도 7은 종래의 평면형 펌프의 전극 기판을 나타낸 도면.7 is a view showing an electrode substrate of a conventional planar pump.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

1 : 유체 수용부1: fluid receiving part

2 : 전극2: electrode

21 : 고전압전극    21: high voltage electrode

211 : 돌출부, 212 : 홈부         211: protrusions, 212: grooves

22 : 접지전극    22: ground electrode

221 : 홈부, 222 : 돌출부         221: groove portion, 222: protrusion portion

3 : 베이스3: base

4 : 파이프4: pipe

5 : 커버5: cover

6 : 오링6: O-ring

본 발명은 평면형 펌프의 전극구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전극의 다양한 구조에 의해 전계밀도를 보다 향상시켜 토출 유량 및 토출 압력을 증가시킬 수 있는 평면형 펌프의 전극구조에 관한 것이다.The present invention relates to an electrode structure of a flat pump, and more particularly to an electrode structure of a flat pump that can increase the discharge flow rate and the discharge pressure by further improving the electric field density by the various structures of the electrode.

일반적으로 평면형 펌프라 함은, 인가전계에 의해 전극 사이에 활발한 유동이 발생하는 전계반응성유체를 작동유체로 하는 것으로 개인용 컴퓨터의 메인 프로세서(CPU) 등의 냉각장치로 사용된다.In general, a planar pump is used as a cooling device, such as a main processor (CPU) of a personal computer, using a field-reactive fluid in which active flow is generated between electrodes by an applied electric field as a working fluid.

개인용 컴퓨터는 나날이 고속화 되고 있고 메인 프로세서는 고속 구동형이 발표되고 있다. 전자기기 및 전자 칩의 고집적화 및 고성능화가 급속히 진전되고 있지만, 메인 프로세서의 고속 구동에 수반하여 메인 프로세서의 발열량은 증대되고 있다.Personal computers are speeding up day by day, and main processors are being announced at high speeds. High integration and high performance of electronic devices and electronic chips are rapidly progressing, but heat generation of the main processor is increasing with high-speed driving of the main processor.

지금까지 전자기기 및 전자 칩의 발열문제에 대한 대책으로 공랭식, 히트파이프, 수냉식 등이 꾸준히 개발되고 있지만, 설치공간이 제한된 노트북 컴퓨터에서 100W 이상의 발열량을 가지는 메인 프로세서의 냉각에는 적용하기가 곤란하다.Until now, air cooling, heat pipe, water cooling, and the like have been steadily developed as a countermeasure for heat generation of electronic devices and electronic chips, but it is difficult to apply to cooling a main processor having a heat generation amount of 100W or more in a notebook computer with limited installation space.

특히 노트북 컴퓨터와 같이 제한된 설치공간을 가지는 시스템에 있어서 메인 프로세서 성능의 한계는 냉각 시스템에 의해 결정되며, 차세대 고발열 노트북 컴퓨터와 같은 전자기기의 냉각을 위해서는 기존의 냉각방식의 한계를 극복하는 새로운 냉각시스템의 개발을 요구하고 있다.Especially in systems with limited installation space, such as notebook computers, the limit of main processor performance is determined by the cooling system, and a new cooling system that overcomes the limitations of existing cooling methods for cooling electronic devices such as next generation high heat notebook computers. Is calling for the development of

이러한 문제점을 해결하기 위해 액체 중에 삽입된 전극에 직류전압을 인가하면 전극 간에 활발한 유동이 발생되는 전계반응성유체를 작동유체로 한 기계적 가동부가 없는 얇은 평면형 펌프가 액체 냉각시스템의 유체 구동원으로 적용되고 있다.In order to solve this problem, when a direct current voltage is applied to an electrode inserted into a liquid, a thin flat pump without a mechanical moving part using a field-reactive fluid as a working fluid that generates active flow between the electrodes is applied as a fluid driving source of a liquid cooling system. .

도 7에 도시된 바와 같이, 평면형 펌프에서 종래의 전극은 고전압전극(101)과 접지전극(102)을 포함한 한 쌍의 전극(100)으로 이루어지며 복수개로 배열되는 직사각형의 형상인 것이다.As shown in FIG. 7, in the planar pump, the conventional electrode is formed of a pair of electrodes 100 including the high voltage electrode 101 and the ground electrode 102, and has a rectangular shape arranged in plurality.

즉 전계반응성유체를 작동유체로 이용한 평면형 펌프에서의 펌핑작용은 전극에 인가된 전계에 의해 고전압전극으로부터 접지전극 방향으로 발생되는 유동에 의해 형성되며, 전극 간에 발생되는 유동은 불균일한 전계에 의해 전계밀도가 상승함에 따라 증가하게 된다.That is, the pumping action in the planar pump using the field reactive fluid as the working fluid is formed by the flow generated from the high voltage electrode to the ground electrode by the electric field applied to the electrode, and the flow between the electrodes is caused by the non-uniform electric field. It increases as the density increases.

그러나, 종래의 전극은 고전압전극과 접지전극이 직사각형일 경우에는 인가전계에 따라 전극 간에 균일한 전계가 형성되며, 이에 따라 전극 간의 전계밀도를 증가시키기 어려운 구조로 인하여 전계반응성유체의 유동에 따른 평면형 펌프의 출력을 증가시키기 어려운 문제점이 있었다.However, in the conventional electrode, when the high voltage electrode and the ground electrode have a rectangular shape, a uniform electric field is formed between the electrodes according to the applied electric field, and accordingly, due to a structure in which it is difficult to increase the electric field density between the electrodes, a planar type due to the flow of the field reactive fluid There was a problem that is difficult to increase the output of the pump.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로, 고전압전극과 접지전극의 구조를 다양화하여 전극 간에 불균일한 전계를 형성하고 이에 따라 전극 간의 전계밀도를 증가시키는 것으로 토출 유량 및 토출 압력을 향상시킬 수 있는 평면형 펌프의 전극구조를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been invented to solve the above problems, by varying the structure of the high voltage electrode and the ground electrode to form a non-uniform electric field between the electrodes and thereby increasing the electric field density between the discharge flow rate and discharge pressure It is to provide an electrode structure of a planar pump that can improve the.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 전계반응성유체를 밀봉하여 수용하도록 구비된 유체 수용부와, 상기 유체 수용부의 일측에 다수개로 배열되며 직사각형의 고전압전극과 접지전극으로 이루어져 전압에 의해 전계반응성유체의 유동이 발생하는 한 쌍의 전극을 포함하는 평면형 펌프에 있어서, 상기 고전압전극의 타측에는 톱니형상의 돌출부가 다수개로 더 형성됨을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, the fluid receiving portion provided to seal and accommodate the field-reactive fluid, and arranged in a plurality on one side of the fluid receiving portion consisting of a rectangular high voltage electrode and a ground electrode by the electric field In the planar pump including a pair of electrodes in which the flow of the reactive fluid occurs, the other side of the high-voltage electrode is characterized in that a plurality of serrated protrusions are further formed.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 평면형 펌프를 나타낸 분리 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극을 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극의 다른 일예를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극의 또 다른 일예를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 1,2 및 도 3의 전극의 구조에 따른 토출 유량 실험 결과를 나타낸 그래프이고, 도 6은 도 3 및 도 4의 전극의 구조에 따른 토출 유량 실험 결과를 나타낸 그래프이다.1 is an exploded perspective view showing a flat pump according to the present invention, Figure 2 is a view showing the electrode of the flat pump according to the present invention, Figure 3 is a view showing another example of the electrode of the flat pump according to the present invention, Figure 4 is a view showing another example of the electrode of the planar pump according to the present invention, Figure 5 is a graph showing the discharge flow rate experiment results according to the structure of the electrode of Figures 1,2 and 3, Figure 6 is Figure 3 And it is a graph showing the discharge flow rate experiment results according to the structure of the electrode of FIG.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극구조는 전계반응성유체를 밀봉하여 수용하도록 구비된 유체 수용부(1)와, 상기 유체 수 용부(1)의 일측에 다수개로 배열되며 직사각형의 고전압전극(21)과 접지전극(22)으로 이루어져 전압에 의해 전계반응성유체의 유동이 발생하는 한 쌍의 전극(2)을 포함하는 평면형 펌프에 있어서, 상기 고전압전극(21)의 타측에는 톱니형상의 돌출부(211)가 다수개로 더 형성된다.1 and 2, the electrode structure of the planar pump according to the present invention has a fluid receiving portion (1) and a plurality of one side of the fluid receiving portion provided to seal the electric field reactive fluid In the planar pump comprising a pair of electrodes (2) arranged in the form of a rectangular high voltage electrode 21 and the ground electrode 22, the flow of the field-reactive fluid by the voltage, the high voltage electrode 21 On the other side of the sawtooth-like protrusion 211 is further formed a plurality.

특히 본 발명에 따른 평면형 펌프는, 베이스(3)와, 상기 베이스(3)의 양측에 구비되는 파이프(4)와, 상기 베이스(3)의 상부에 구비된 유체 수용부(1)에 구비되는 전극(2)과, 상기 베이스(3)의 상부에 올려지는 커버(5)로 이루어진다.In particular, the planar pump according to the present invention includes a base 3, a pipe 4 provided on both sides of the base 3, and a fluid receiving part 1 provided on an upper portion of the base 3. It consists of an electrode 2 and a cover 5 which is placed on top of the base 3.

그리고 전극(2)이 올려지는 전극 기판은 유리 에폭시 기판을 사용하며, 펌프실로부터 작동유체인 전계반응성유체의 누출을 방지하기 위해 오링(6)을 사용한다.The electrode substrate on which the electrode 2 is mounted uses a glass epoxy substrate, and an O-ring 6 is used to prevent leakage of the electroreactive fluid, which is a working fluid, from the pump chamber.

또한 상기 베이스(3)는 폴리에테르이미드 소재를 사용하며, 커버(5)는 폴리카보네이트 소재를 사용하는 것이 바람직하다.In addition, the base 3 uses a polyetherimide material, and the cover 5 preferably uses a polycarbonate material.

이들의 결합에 의해 전계반응성유체를 밀봉하여 수용하는 얇은 형상의 유체 수용부(1)가 형성되는 것이다.The combination of these forms a thin fluid receiving portion 1 that seals and accommodates the field reactive fluid.

도 2의 경우, 고전압전극(21)의 돌출부(211)와 직사각형의 접지전극(22) 사이의 거리(L1)는 돌출부(211)의 끝단에서부터 수평으로 만나는 것이 가장 가까우므로 전계 또한 가장 크게 형성된다. 따라서 돌출부(211)의 끝단에서 수평방향으로 유동이 주로 발생하게 되고, 대각선 방향으로는 유동이 발생하기 어렵다.2, the distance L1 between the protrusion 211 of the high voltage electrode 21 and the rectangular ground electrode 22 is closest to meet horizontally from the end of the protrusion 211, so that an electric field is also formed the largest. . Therefore, the flow is mainly generated in the horizontal direction at the end of the protrusion 211, it is difficult to occur in the diagonal direction.

이하, 본 발명에 따른 평면형 펌프의 작동관계를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the planar pump according to the present invention will be described.

전극 기판을 삽입한 펌프실 내부에 작동유체인 전계반응성유체를 주입한다. An electric field reactive fluid, which is a working fluid, is injected into the pump chamber into which the electrode substrate is inserted.

펌프실 내부의 전극(2)에 직류 전압을 인가하면, 전극(2) 주변의 전계에 의 해 고전압전극(21)으로부터 접지전극(22)으로 유동이 발생하는 것이다.When a direct current voltage is applied to the electrode 2 in the pump chamber, flow is generated from the high voltage electrode 21 to the ground electrode 22 by the electric field around the electrode 2.

인가 전계에 의해 발생되는 전계반응성유체의 유동의 운동량은 정지 상태인 전극(2) 상부의 유체에 전달된다.The momentum of the flow of the field-reactive fluid generated by the applied electric field is transmitted to the fluid on top of the electrode 2 in a stationary state.

그리고 전극(2) 주변의 유체가 이동하는 국소유동이 발생하고, 이 국소유동이 발전함에 따라 유로 내부의 유동이 순차적으로 형성되는 것이다.Then, a local flow in which the fluid around the electrode 2 moves occurs, and as the local flow develops, the flow in the flow path is sequentially formed.

따라서 기계적 가동부가 없기 때문에 무소음 및 무진동의 펌프를 구현할 수 있고 소형, 경량의 얇은 펌프가 실현 가능함으로서 노트북 컴퓨터의 강제 액체 냉각 시스템의 구동원으로 적합한 것이다.Thus, the absence of mechanical moving parts makes it possible to realize noiseless and vibration-free pumps, and to realize a compact, lightweight and thin pump, which is suitable as a driving source for the forced liquid cooling system of notebook computers.

한편 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전극은 다양한 구조의 실시예를 통해 인가전압과 토출 유량의 관계를 이해할 수 있다.3 and 4, the electrode according to the present invention can understand the relationship between the applied voltage and the discharge flow rate through the embodiment of the various structures.

즉 도 3에 도시된 바와 같이, 접지전극(22)의 일측에는 다수개의 원호형 홈부(221)가 더 형성된다.That is, as shown in Figure 3, a plurality of arc-shaped groove portion 221 is further formed on one side of the ground electrode 22.

따라서 상기 원호형 홈부(221)로 인해 돌출부(211)로부터 원호형 홈부(221)까지의 거리가 일정하여 돌출부(211)의 끝단에서 원호형 홈부(221)까지의 전계를 일정하게 유지함은 물론 돌출부(211)에서 원호형 홈부(221)의 전 범위에 걸쳐 유동이 발생한다.Therefore, the distance from the protrusion 211 to the arc-shaped groove 221 is constant due to the arc-shaped groove 221, so that the electric field from the end of the protrusion 211 to the arc-shaped groove 221 is kept constant, as well as the protrusion. At 211, flow occurs over the entire range of the arcuate groove 221.

그리고 도 4에 도시된 바와 같이, 고전압전극(21)의 일측에는 다수개의 홈부(212)가 더 형성되고, 상기 접지전극(22)의 타측에는 다수개의 톱니 형상의 돌출부(222)가 더 형성된다.As shown in FIG. 4, a plurality of grooves 212 are further formed at one side of the high voltage electrode 21, and a plurality of serrated protrusions 222 are further formed at the other side of the ground electrode 22. .

이하, 본 발명에 따른 전극의 구조에 따른 유량 실험 결과를 설명하면 다음 과 같다. Hereinafter, the flow rate experiment results according to the structure of the electrode according to the present invention will be described.

도 5 및 도 6에서와 같이 인가전압에 의해 형성되는 전계반응성유체의 유동은 전계에 비례해서 발생되는 것으로서, 인가전압을 상승시키는 것에 의해 토출 유량은 증가하는 것을 알 수 있다.As shown in FIGS. 5 and 6, the flow of the field reactive fluid formed by the applied voltage is generated in proportion to the electric field, and the discharge flow rate increases by increasing the applied voltage.

먼저, 도 5에서는, 편의상 도 1,2에 도시된 전극을 no.1으로 표시하고, 도 3에 도시된 전극을 no.2로 표시한다.First, in FIG. 5, the electrodes shown in FIGS. 1 and 2 are represented by no. 1 and the electrodes shown in FIG. 3 are represented by no. 2 for convenience.

도 5에 도시된 바와 같이 no.1과 no.2의 그래프 곡선을 보면 no.2가 no.1보다 전압의 상승에 따라 토출 유량이 증가하는 것을 알 수 있다.As shown in FIG. 5, the graph curves of no. 1 and no. 2 show that the discharge flow rate increases as the voltage increases from no. 1 to no. 1.

이에, 도 2와 도 3에 나타낸 전극 구조를 비교 설명하면 다음과 같다.Accordingly, the electrode structures shown in FIG. 2 and FIG. 3 will be described as follows.

여기서, 두 전극에 표시된 거리(B,S1,S2,L1,L2)들 중에서 L1을 제외한 나머지 길이는 동일함을 전제로 한다.Herein, the lengths of the distances B, S1, S2, L1, and L2 displayed on the two electrodes except for L1 are the same.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 동일한 인가전압에 대해 전극 간의 전계밀도는 고전압전극(21)과 접지전극(22) 간의 거리(L1)에 따라 달라진다. As shown in FIGS. 2 and 3, the electric field density between electrodes for the same applied voltage varies depending on the distance L1 between the high voltage electrode 21 and the ground electrode 22.

도 2에서는, 고전압전극(21)에서 직사각형의 접지전극(22)에 전압을 인가하였을 때, 고전압전극(21)의 돌출부(211) 끝단과 접지전극(22) 간의 거리(L1)가 수평일 경우 전계는 가장 높게 형성되며, 고전압전극(21)의 돌출부(211) 끝단에서 접지전극(22)의 상,하부로 이동할수록 거리(L1)가 멀어지게 되므로 전계가 낮아진다. 그러므로 전극 간의 유동이 감소하게 되어 토출 유량이 저하되는 것이다.In FIG. 2, when the voltage is applied from the high voltage electrode 21 to the rectangular ground electrode 22, the distance L1 between the end of the protruding portion 211 of the high voltage electrode 21 and the ground electrode 22 is horizontal. The electric field is formed the highest, the electric field is lowered as the distance (L1) moves away from the end of the protrusion 211 of the high voltage electrode 21 up and down the ground electrode 22. Therefore, the flow between the electrodes is reduced and the discharge flow rate is lowered.

한편, 도 3에서는 고전압전극(21)의 돌출부(211) 끝단에서 원호형 홈부(221)가 형성된 접지전극(22)에 전압을 인가하였을때, 고전압전극(21)의 돌출부(211) 끝 단에서 홈부(221)까지의 거리(L1)는 수평 상태에서 접지전극(22)의 상,하부로 이동하더라도 일정한 거리를 유지하게 된다.Meanwhile, in FIG. 3, when a voltage is applied to the ground electrode 22 having the arc-shaped groove 221 formed at the end of the protrusion 211 of the high voltage electrode 21, at the end of the protrusion 211 of the high voltage electrode 21. The distance L1 to the groove portion 221 is maintained at a constant distance even when moving to the upper and lower portions of the ground electrode 22 in a horizontal state.

따라서 접지전극(22)이 직사각형 일 때보다 원호형 홈부(221)가 더 형성되어 있는 도 3에 도시된 전극(2)이 전계밀도가 더 증가되고, 결과적으로 토출 유량이 증가된다는 것을 이해할 수 있는 것이다.Accordingly, it can be understood that the electrode 2 shown in FIG. 3 in which the arc-shaped groove portion 221 is formed more than the case where the ground electrode 22 is rectangular has an increased electric field density and consequently an increased discharge flow rate. will be.

한편, 도 6에서는, 편의상 도 3에 도시된 전극을 no.2로 표시하고, 도 4에 도시된 전극을 no.3로 표시한다.In FIG. 6, for convenience, the electrode illustrated in FIG. 3 is represented by no. 2, and the electrode illustrated in FIG. 4 is represented by no. 3.

도 6의 no.2와 no.3의 그래프 곡선을 보면 no.3가 no.2보다 전압의 상승에 따라 토출 유량도 증가하는 것을 알 수 있다.Looking at the graph curves of No. 2 and No. 3 in Fig. 6, it can be seen that the discharge flow rate also increases with the increase in voltage than no.

이에, 도 3과 도 4를 비교 설명하면, 먼저 도 3의 전극은 고전압전극(21)의 돌출부(211) 끝단에서 원호형 홈부(221)가 형성된 접지전극(22)에 전압이 인가되는 구조이며, 도 4의 전극은 홈부(221)가 형성된 접지전극(22)의 타측에 돌출부(222)가 더 형성된 구조로서 한 쌍의 전극 간 거리(L2)가 없이 일정한 간격으로 위치한다.3 and 4, the electrode of FIG. 3 is a structure in which voltage is applied to the ground electrode 22 having the arc-shaped groove 221 formed at the end of the protruding portion 211 of the high voltage electrode 21. 4 is a structure in which the protrusion 222 is further formed on the other side of the ground electrode 22 having the groove 221, and is positioned at regular intervals without a pair of distance L2 between the electrodes.

따라서 도 4의 전극(2)은, 고전압전극(21)의 돌출부(211) 끝단에서 접지전극(22)의 홈부(221)에 전압이 인가되는 현상이 다른 쌍의 전극(2)에 계속적으로 이루어지는 것을 알 수 있다. 그러므로 도 3의 전극(2)보다는 전극 간에 전계반응성유체의 유동이 발생하는 전극의 돌출부(211)의 개수가 증가하게 됨으로써 평면형 펌프의 토출 유량을 증가시킬 수 있다. Therefore, in the electrode 2 of FIG. 4, a phenomenon in which a voltage is applied to the groove 221 of the ground electrode 22 at the end of the protruding portion 211 of the high voltage electrode 21 is continuously performed on the other pair of electrodes 2. It can be seen that. Therefore, the discharge flow rate of the planar pump may be increased by increasing the number of protrusions 211 of the electrode in which the flow of the field reactive fluid occurs between the electrodes rather than the electrode 2 of FIG. 3.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 평면형 펌프의 전극구조는, 톱니형상의 돌출부와 원호형 홈부가 다수개로 형성됨으로써 직사각형의 전극 쌍과 비교하여 동일한 인가전압에서 전계밀도를 증가시킬 수 있고 이에 따라 평면형 펌프의 출력을 향상시키는 효과가 있다.As described above, the electrode structure of the planar pump according to the present invention can increase the electric field density at the same applied voltage as compared with the rectangular electrode pair by forming a plurality of tooth-shaped protrusions and arc-shaped grooves. Has the effect of improving the output.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the invention from this description. Therefore, the scope of the invention should be construed by the claims described to include examples of many such variations.

Claims (3)

전계반응성유체를 밀봉하여 수용하도록 구비된 유체 수용부(1)와, 상기 유체 수용부(1)의 일측에 다수개로 배열되며 직사각형의 고전압전극(21)과 접지전극(22)으로 이루어져 전압에 의해 전계반응성유체의 유동이 발생하는 한 쌍의 전극(2)을 포함하는 평면형 펌프에 있어서,A fluid receiving portion (1) provided to seal and receive an electric field reactive fluid, and a plurality of rectangular high voltage electrodes (21) and ground electrodes (22) arranged on one side of the fluid receiving portion (1) by a voltage In a planar pump comprising a pair of electrodes (2) in which flow of an electric field reactive fluid occurs, 상기 고전압전극(21)의 타측에는 톱니형상의 돌출부(211)가 다수개로 더 형성되되,On the other side of the high voltage electrode 21, a plurality of tooth-shaped protrusions 211 are further formed, 상기 접지전극(22)의 일측에는 다수개의 원호형 홈부(221)가 더 형성됨을 특징으로 하는 평면형 펌프의 전극구조.Electrode structure of a flat pump, characterized in that a plurality of arc-shaped groove portion 221 is further formed on one side of the ground electrode (22). 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 고전압전극(21)의 일측에는, 다수개의 홈부(212)가 더 형성되고,According to claim 1, A plurality of grooves 212 is further formed on one side of the high voltage electrode 21, 상기 접지전극(22)의 타측에는, 다수개의 톱니 형상의 돌출부(222)가 더 형성됨을 특징으로 하는 평면형 펌프의 전극구조.The other side of the ground electrode 22, the electrode structure of the flat pump, characterized in that a plurality of serrated protrusions 222 is further formed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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