KR100752208B1 - Liquid crystal display and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판상에 산포되어 있는 스페이서의 밀도를 균일하게 유지하는 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제 1 기판 상에 교차 배치되는 복수의 게이트 라인 및 데이터 라인과, 각 게이트 라인의 교차부위에 형성된 박막트랜지스터와, 제 2 기판 상에 형성된 칼라필터층 및 블랙매트릭스 패턴과, 상기 블랙매트릭스 패턴상에 포토레지스트로 형성되어 스페이서의 이동을 제한하는 스페이서 이동방지 패턴과, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 그 제조방법은 TFT 기판과 칼라필터 기판 그리고 그 사이에 액정이 봉입된 액정표시장치의 제조에 있어서, 절연기판 상에 블랙매트릭스 패턴을 형성하는 단계와, 블랙매트릭스 패턴상에 포토레지스트로 형성되어 스페이서의 이동을 제한하는 스페이서 이동방지 패턴을 형성하는 단계와, 블랙매트릭스 패턴 사이의 공간에 칼라필터층을 형성하여 칼라필터 기판을 형성하는 단계와, 칼라필터 기판과 대향하는 TFT 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the liquid crystal display to maintain a uniform density of the spacers scattered on the substrate, the liquid crystal display device according to the present invention is a plurality of gate lines intersected on the first substrate And a spacer movement formed by photoresist on the black matrix pattern and a thin film transistor formed at the intersection of the data line, each gate line, a color filter layer and a black matrix pattern formed on the second substrate, and a spacer to limit the movement of the spacer. And a liquid crystal layer formed between the prevention pattern and the first substrate and the second substrate, and the method of manufacturing the liquid crystal display device includes a TFT substrate, a color filter substrate, and a liquid crystal encapsulated therebetween. Forming a black matrix pattern on the insulating substrate, and using a photoresist on the black matrix pattern. Forming a spacer movement preventing pattern to limit the movement of the spacer; forming a color filter layer in a space between the black matrix patterns; forming a color filter substrate; and a liquid crystal between the TFT substrate facing the color filter substrate. It characterized by comprising a step of forming a layer.
스페이서, 포토레지스트Spacer, photoresist
Description
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 구조 단면도.1 is a cross-sectional view of a structure of a liquid crystal display device according to the prior art.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 구조 단면도.2 is a cross-sectional view of a structure of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도.3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 구조 단면도.4 is a cross-sectional view of a structure of a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention;
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도.5A through 5C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings
201a : 절연 기판 201b : 제 2 절연기판201a:
202 : 블랙매트릭스 패턴 203 : 스페이서 이동방지 패턴202: black matrix pattern 203: spacer movement prevention pattern
204 : 칼라필터층 205 : 투명전극204: color filter layer 205: transparent electrode
206 : 게이트 절연막 207 : 데이터라인206: gate insulating film 207: data line
208 : 보호막 209 : 화소전극208: protective film 209: pixel electrode
본 발명은 디스플레이 장치에 관한 것으로 특히, 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display device, and more particularly, to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.
액정표시장치의 제조공정은 크게 TFT공정, 칼라필터공정, LCD 공정, 모듈공정으로 나누어진다. TFT 공정은 반도체 제작공정과 유사하며, 증착(deposition) 및 사진식각(photolithography), 식각(etching)공정을 반복하여 절연기판위에 박막트랜지스터 배열을 제작하는 공정이며, 칼라필터공정은 블랙매트릭스가 형성된 절연기판 위에 염료나 안료를 사용하여 적, 녹, 청색의 칼라필터층을 제작한 후 공통전극용 ITO를 형성하는 공정이다. LCD 공정은 TFT 공정이 완료된 절연기판과 칼라필터 공정이 완료된 절연기판을 두 기판 사이에 일정한 틈이 유지되도록 합착한 후 그 틈 사이로 액정을 주입하여 LCD 셀을 만드는 공정이다. 모듈공정은 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 TFT-LCD 패널과 신호처리 회로부를 실장기술을 통해 서로 연결한 후 기구물을 부착하여 모듈을 제작하는 공정이다.The manufacturing process of the liquid crystal display device is largely divided into TFT process, color filter process, LCD process and module process. The TFT process is similar to the semiconductor fabrication process, and the thin film transistor array is fabricated on the insulating substrate by repeating deposition, photolithography, and etching processes. After forming a red, green, and blue color filter layer using a dye or a pigment on a substrate, it is a step of forming the ITO for the common electrode. In the LCD process, an insulating substrate on which a TFT process is completed and an insulating substrate on which a color filter process is completed are bonded together so that a predetermined gap is maintained between the two substrates, and then a liquid crystal is injected into the gap to make an LCD cell. The module process is a process of manufacturing a module by attaching a fixture after manufacturing a circuit part for signal processing, connecting the TFT-LCD panel and the signal processing circuit part to each other through mounting technology.
상기 액정표시장치의 제조공정 중에서 본 발명과 관련있는 LCD 공정기술을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. When describing the LCD process technology related to the present invention in the manufacturing process of the liquid crystal display device in more detail as follows.
LCD 공정은 다음과 같은 단위공정으로 이루어져 있다. 첫째, 배향막 형성 공정으로서, 액정분자의 균일한 배향을 형성하여 정상적인 액정구동이 가능하게 하고 균일한 디스플레이 특성을 갖게 한다. 둘째, 러빙(Rubbing)공정으로서, 천을 이용하여 배향막에 일정한 방향으로 문질러 줌으로써 액정분자들이 러빙방향으로 정렬한다. 셋째, 셀 갭(Cell gap)형성 공정으로서, TFT기판과 칼라필터기판을 일정한 간격으로 유지시키는 공정으로서 실(seal)재에 스페이서(spacer)를 산포시킨다. 넷째, 조립공정으로서, TFT기판과 칼라필터기판을 합착시키는 공정으로서 수 마이크로미터의 정밀도가 요구되며 공정진행시 테이블의 평탄도, 가압시 상하면의 평행도, 공간적인 압력 및 온도의 균일도가 요구된다. 다섯째, 셀 커팅공정으로서, seal 패턴 경화공정이후에 기판에서 각각의 셀로 절단하여 분리하는 공정으로 유리보다 경도가 높은 다이아몬드 재질의 펜으로 유리표면에 커팅라인을 형성하는 스크라이브(scribe)공정과 힘을 가하여 절단하는 절단공정으로 이루어진다. 여섯째로서, 액정주입공정, 일반적으로 셀 내외의 압력차를 이용하여 액정을 주입하는 진공주입법이 널리 이용되며 액정 주입이 완료된 셀의 주입구에 액정이 흘러나오지 않게 막아주는 공정이 부가된다. 일곱째, 편광필름부착공정으로서, 액정이 주입된 셀은 광학적 및 전기적 신호를 가해 검사한 후 셀의 양면에 편광판을 부착하는 것으로 액정 분자의 복굴절에 의한 빛의 편광특성을 이용하는 TN-LCD에서 편광판 부착은 필수적인 공정이다. The LCD process consists of the following unit processes. First, as an alignment layer forming process, a uniform alignment of liquid crystal molecules is formed to enable normal liquid crystal driving and to have uniform display characteristics. Second, as a rubbing process, the liquid crystal molecules are aligned in the rubbing direction by rubbing the alignment film in a predetermined direction using a cloth. Third, as a cell gap forming process, as a process of maintaining the TFT substrate and the color filter substrate at regular intervals, a spacer is dispersed in the seal material. Fourth, as an assembly process, a process of joining a TFT substrate and a color filter substrate requires a precision of several micrometers, and the flatness of the table during the process, the parallelism of the upper and lower surfaces when pressing, and the uniformity of spatial pressure and temperature are required. Fifth, the cell cutting process is a process of cutting and separating each cell from the substrate after the seal pattern curing process, and using a scribe process and a force to form a cutting line on the glass surface with a diamond pen having a hardness higher than that of glass. It consists of a cutting process of cutting by adding. Sixthly, a liquid crystal injection process, generally a vacuum injection method for injecting a liquid crystal using a pressure difference between the inside and outside of the cell is widely used, and a process of preventing the liquid crystal from flowing out into the injection hole of the cell where the liquid crystal injection is completed is added. Seventh, as a polarizing film attaching process, the cell injected with liquid crystal is attached by attaching a polarizing plate to both sides of the cell after applying the optical and electrical signals to be inspected, and attaching the polarizing plate in the TN-LCD using the polarization characteristic of light due to the birefringence of the liquid crystal molecules. Is an essential process.
이하에서 종래기술에 따른 액정표시장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 종래기술에 따른 액정표시장치의 구조단면도이다.1 is a structural cross-sectional view of a liquid crystal display device according to the prior art.
도 1에 도시된 바와 같이, 두 장의 절연기판(101, 101a)을 대향시켜 그 사이에 액정(111)을 봉입한 것으로, 상판에는 색상을 표현하기 위한 적, 청, 녹색의 칼라필터층(102)이 형성되고, 하판에 형성된 화소전극을 제외한 부분으로 빛의 투과를 차단하기 위한 블랙매트릭스(103)가 매트릭스 형태로 형성된다.
As shown in FIG. 1, the two
그리고, 칼라필터층(102)과 블랙매트릭스(103)에 걸쳐 공통전극(105)이 형성되며, 상기 공통전극 형성 전에 보호막(Over coat)(104)을 형성하는 것도 가능하다.The
하판에는 게이트라인으로부터 연장되는 게이트전극(106)과, 상기 게이트라인과 교차 배치되는 데이터라인으로부터 연장되는 소스전극(107)과 드레인전극(108)으로 구성되는 박막트랜지스터가 일정한 간격을 갖고 형성된다. 그리고, 드레인전극(108)과 비아홀을 통해 연결되는 화소전극이 형성되며 하판의 배면에는 백라이트(112)가 구비된다.In the lower plate, a thin film transistor including a
또, 칼라필터기판과 박막트랜지스터기판 사이에는 셀 갭(Cell gap)을 유지하도록 스페이서(Spacer)(109)가 산포되어 있다.In addition, a
그러나 상기와 같은 종래 액정표시장치 및 그 제조방법은 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional liquid crystal display device and its manufacturing method have the following problems.
셀갭(Cell gap)을 유지하기 위한 목적으로 기판상에 고르게 산포되어 있는 스페이서(Spacer)가 액정 주입시에, 액정의 주입 속도 및 기판 내의 위치에 따른 셀갭의 미세 차이에 의해 액정주입구 부분에 있어서, 스페이서가 게이트 또는 데이터배선 주위로 몰리는 현상이 발생하게 된다. In the liquid crystal inlet portion, the spacers evenly distributed on the substrate for the purpose of maintaining the cell gap, due to the fine difference in the cell gap depending on the injection speed of the liquid crystal and the position in the substrate during liquid crystal injection, The spacers are driven around the gate or data wiring.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 스페이서의 이동성을 줄여 안정적인 셀갭을 유지하는 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same to reduce the mobility of the spacer to maintain a stable cell gap.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치는 제 1 기판 상에 교차 배치되는 복수의 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인의 교차부위에 형성된 박막트랜지스터와, 제 2 기판 상에 형성된 칼라필터층 및 블랙매트릭스 패턴과, 상기 블랙매트릭스 패턴 상에 포토레지스트로 형성되어 스페이서의 이동을 제한하는 스페이서 이동방지 패턴과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 그 제조방법은 TFT 기판과 칼라필터 기판 그리고 그 사이에 액정이 봉입된 액정표시장치의 제조에 있어서, 절연기판 상에 블랙매트릭스 패턴을 형성하는 단계와, 상기 블랙매트릭스 패턴 상에 포토레지스트로 형성되어 스페이서의 이동을 제한하는 스페이서 이동방지 패턴을 형성하는 단계와, 상기 블랙매트릭스 패턴 사이의 공간에 칼라필터층을 형성하여 칼라필터 기판을 형성하는 단계와, 상기 칼라필터 기판과 대향하는 상기 TFT 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.A liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention for achieving the above object is a plurality of gate lines and data lines intersected on the first substrate, a thin film transistor formed at the intersection of each gate line, A color filter layer and a black matrix pattern formed on the second substrate, a spacer movement preventing pattern formed of photoresist on the black matrix pattern to limit the movement of the spacer, and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate In the manufacturing of the liquid crystal display device in which the liquid crystal is enclosed between the TFT substrate, the color filter substrate and the liquid crystal display device therebetween, forming a black matrix pattern on the insulating substrate; It is formed of photoresist on the black matrix pattern to form a spacer movement prevention pattern that restricts the movement of the spacer. And forming a color filter substrate by forming a color filter layer in a space between the black matrix patterns, and forming a liquid crystal layer between the TFT substrate facing the color filter substrate. It is done.
상기 스페이서 이동방지 패턴은 포토레지스트(Photo Resist)와 같은 감광성 물질을 사용하며, 상기 블랙매트릭스를 패터닝하는 포토리소그래피 공정 후, 패터닝된 블랙매트릭스 패턴상에 남아있는 포토레지스트는 종래의 경우 식각, 박리공정을 이용하여 제거하였으나 본 발명에 있어서는 그대로 남겨둔다. 또한, 상기 남아있는 포토레지스트의 두께는 액정표시장치의 상하판의 셀갭의 1/2를 유지한다.The spacer movement prevention pattern uses a photosensitive material such as a photoresist, and after the photolithography process of patterning the black matrix, the photoresist remaining on the patterned black matrix pattern is etched or peeled off in the related art. It was removed using but is left as it is in the present invention. In addition, the remaining thickness of the photoresist maintains 1/2 of the cell gap of the upper and lower plates of the liquid crystal display.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치 및 그 제조방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a liquid crystal display and a manufacturing method thereof according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 구조단면도이다.2 is a structural cross-sectional view of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 기판 및 제 2기판 그리고 그 사이에 액정이 봉입되어 있으며, 상기 제 1 기판에는 절연기판(201a) 상에 제 2 기판에 형성되어 있는 데이터 라인(207), 게이트 라인 및 박막트랜지스터(도시하지 않음)로의 빛의 투과를 막기 위해 일정한 간격을 두고 블랙매트릭스층(202)이 형성되어 있고, 상기 블랙매트릭스층(202) 상에 스페이서(Spacer)의 이동을 제한하는 목적으로 포토레지스트 재질의 스페이서 이동방지 패턴(203)이 형성되어 있으며, 상기 블랙매트릭스층(202) 사이의 공간에 색표현을 구현하기 위한 R, G, B 의 칼라필터층(204)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 칼라필터층(204)을 포함한 기판 전면에 공통전극(205)이 형성되며, 상기 공통전극(205) 형성 전에 평탄화막(Over coat)을 형성하는 것도 가능하다.As shown in FIG. 2, a liquid crystal is encapsulated between a first substrate and a second substrate, and a
제 2 기판에는 절연기판(201b) 상에 게이트 절연막(206)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(206) 상에 데이터라인(207)들이 패터닝되어 있다. 또 상기 데이터라인(207)을 포함한 기판 전면위로 실리콘 질화물 재질의 보호막(208)이 적층되어 있고, 상기 보호막(208) 상에 일정 간격으로 ITO 재질의 화소전극(209)이 형성되어 있다.The
여기서, 상기 포토레지스트는 별도의 공정을 이용하여 형성시키는 것이 아니고, 블랙매트릭스 패터닝을 위해 형성된 것으로 패터닝 후 제거하지 않고 남겨둔 것이다. Here, the photoresist is not formed using a separate process, but is formed for black matrix patterning and is left without being removed after patterning.
도 3a 내지 3c는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도이다.3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.
한편, 본 발명에 따른 액정표시장치의 특징은 칼라필터층이 형성되는 상판에 있으므로 하판에 대한 상세한 설명은 생략한다.On the other hand, the characteristic of the liquid crystal display device according to the present invention is on the upper plate is formed color filter layer, detailed description of the lower plate will be omitted.
도 3a에 도시된 바와 같이, 절연 기판(201a)상에 블랙매트릭스 물질(202a)을 적층한 다음 포토레지스트와 같은 감광성 물질(203)을 증착한다.As shown in FIG. 3A, a
상기 블랙매트릭스 물질(202a)은 크롬(Cr), 크롬 산화물(CrOx)과 같은 금속 재질의 물질 또는 블랙레진(Black Resin)과 같은 카본(Carbon) 계통의 유기물질이다.The
이어, 도 3b에 도시된 바와 같이, 포토레지스트를 포토리소그래피공정을 이용하여 선택적으로 패터닝한 다음, 패터닝된 포토레지스트를 마스크로 블랙매트릭스 물질층(202a)을 패터닝하여 블랙매트릭스 패턴(202)을 형성시킨다.3B, the photoresist is selectively patterned using a photolithography process, and then the black
상기 블랙매트릭스 패턴 형성 후, 상기 블랙매트릭스 패턴 상에 남아있는 포토레지스트(203)는 제거하지 않는다. 상기 포토레지스트의 형성 두께는 셀갭(Cell gap)의 1/2 정도이며, 이후 기판에 산포될 스페이서의 이동을 제한하는 역할을 한다.After the black matrix pattern is formed, the
도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 블랙매트릭스층 사이의 공간에 색표현을 구현하기 위한 R, G, B의 칼라필터층(204)을 형성하고, 상기 칼라필터층 상에 ITO 재질의 투명도전막을 증착하여 공통전극(205)을 형성한다.
As shown in FIG. 3C, a
이후, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 칼라필터층이 형성된 기판에 셀갭(Cell gap)을 유지하기 위한 스페이서의 산포 후, 그에 대향되는 기판을 합착한 다음 액정을 봉입하면 본 발명에 따른 제조공정은 완료된다.Subsequently, although not shown in the drawing, after the dispersion of spacers for maintaining a cell gap on the substrate on which the color filter layer is formed, the substrates opposed thereto are bonded to each other, and then the liquid crystal is encapsulated to complete the manufacturing process according to the present invention. .
본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치는 제 1 기판 상에 교차 배치되는 복수의 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인의 교차부위에 형성된 박막트랜지스터와, 제 2 기판 상에 형성된 칼라필터층 및 블랙매트릭스 패턴과, 상기 블랙매트릭스 패턴을 포함한 기판 전면상에 형성된 공통전극과, 상기 블랙매트릭스 패턴이 형성된 부위에 상응하는 상기 공통전극 상에 형성된 스페이서 이동방지 패턴과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 그 제조방법은 TFT기판과 칼라필터 기판 그리고 그 사이에 액정이 봉입된 액정표시장치의 제조에 있어서, 절연기판 상에 블랙매트릭스 패턴을 형성하는 단계와, 상기 블랙매트릭스 패턴 사이의 공간에 칼라필터층을 형성하는 단계와, 상기 블랙매트릭스 패턴을 포함한 기판 전면상에 공통전극을 형성하는 단계와, 상기 블랙매트릭스 패턴이 형성된 부위에 상응하는 공통전극 상에 형성된 스페이서 이동방지 패턴을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of gate lines and data lines intersecting on a first substrate, a thin film transistor formed at an intersection of the gate lines, and a color formed on a second substrate. A filter layer and a black matrix pattern, a common electrode formed on an entire surface of the substrate including the black matrix pattern, a spacer movement preventing pattern formed on the common electrode corresponding to a portion where the black matrix pattern is formed, and the first substrate and the first substrate. It characterized in that it comprises a liquid crystal layer formed between the two substrates, the manufacturing method is a black matrix pattern on the insulating substrate in the manufacturing of the TFT substrate and the color filter substrate and the liquid crystal is enclosed between the liquid crystal display device Forming a color filter layer in a space between the black matrix patterns, and Including forming a common electrode on the front substrate including a matrix pattern, comprising: forming a spacer preventing movement pattern formed on the common electrode corresponding to the region above the black matrix pattern is formed is characterized in that formed.
제 1 실시예와 마찬가지로 상기 스페이서 이동방지 패턴은 포토레지스트와 같은 감광성 물질을 사용하며, 그 두께는 셀 갭의 1/2 정도를 유지한다.As in the first embodiment, the spacer movement prevention pattern uses a photosensitive material such as photoresist, and the thickness thereof is maintained at about 1/2 of the cell gap.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치 및 그 제조방법을 상세히 설명한다. Hereinafter, a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention and a manufacturing method thereof will be described in detail.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 구조단면도이다.4 is a structural cross-sectional view of a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 기판 및 제 2기판 그리고 그 사이에 액정이 봉입되어 있으며, 상기 제 1 기판에는 절연기판(401a) 상에 제 2 기판에 형성되어 있는 데이터 라인(407), 게이트 라인 및 박막트랜지스터(도시하지 않음)로의 빛의 투과를 막기 위해 일정한 간격을 두고 블랙매트릭스층(402)이 형성되어 있고, 상기 블랙매트릭스층(402) 사이의 공간에는 색표현을 구현하기 위한 R, G, B 의 칼라필터층(403)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 칼라필터층(403)을 포함한 기판 전면에 공통전극(404)이 형성되며, 상기 공통전극(404) 형성 전에 평탄화막(Over coat)을 형성하는 것도 가능하다. 상기 공통전극(404) 상에는 스페이서(Spacer)의 이동을 제한하는 목적으로 포토레지스트 재질의 스페이서 이동방지 패턴(405)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 4, a liquid crystal is encapsulated between a first substrate and a second substrate, and a
제 2 기판에는 절연기판(401b) 상에 게이트 절연막(406)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(406) 상에 데이터라인(407)들이 패터닝되어 있다. 또 상기 데이터라인(407)을 포함한 기판 전면위로 실리콘 질화물 재질의 보호막(408)이 적층되어 있고, 상기 보호막(408) 상에 일정 간격으로 ITO 재질의 화소전극(409)이 형성되어 있다.A
도 5a 내지 5c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도이다.5A through 5C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
도 5a에 도시된 바와 같이, 절연기판(401a) 상에 화소전극을 제외한 영역으로의 빛의 투과를 막기 위한 포토리소그래피 공정을 이용하여 블랙매트릭스층(402) 을 형성한다. 상기 블랙매트릭스의 재료는 크롬(Cr), 크롬 산화물(CrOx)과 같은 금속 재질의 물질 또는 블렉레진과 같은 카본(Carbon) 계통의 유기물질이다.As shown in FIG. 5A, the
이어, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 블랙매트릭스층(402) 사이의 공간에 색표현을 구현하기 위한 R, G, B의 칼라필터층(403)을 형성하고, 상기 칼라필터층(403) 상에 ITO 재질의 투명도전막을 스퍼터링(Sputtring)법을 이용하여 증착시켜 공통전극(404)을 형성시킨다.Subsequently, as shown in FIG. 5B, a
도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 공통전극(404)상에 포토레지스트와 같은 감광성 물질을 도포하여, 상기 블랙매트릭스 패턴(402)이 형성된 부위에 상응하는 공통전극상에 형성되도록 패터닝하여 스페이서 이동방지 패턴(405)을 형성시킨다. 이때, 상기 스페이서 이동방지 패턴(405)의 두께는 셀 갭(Cell gap)의 1/2 정도이다.As shown in FIG. 5C, a photosensitive material such as a photoresist is coated on the
이상 상술한 바와 같이, 본 발명의 액정표시장치 및 그 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.As described above, the liquid crystal display of the present invention and its manufacturing method have the following effects.
블랙매트릭스 패턴 상에 또는 투명전극 상에 스페이서의 이동을 제한하는 패턴을 형성시켜 액정 주입 후에도 기판 전체에 있어서 일정 밀도의 스페이서 분포를 가능하게 하는 장점이 있다.By forming a pattern restricting the movement of the spacer on the black matrix pattern or on the transparent electrode, there is an advantage of enabling the spacer distribution of a certain density throughout the substrate even after the liquid crystal injection.
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