KR100751041B1 - Portable dry cleaning device - Google Patents

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KR100751041B1
KR100751041B1 KR1020060086583A KR20060086583A KR100751041B1 KR 100751041 B1 KR100751041 B1 KR 100751041B1 KR 1020060086583 A KR1020060086583 A KR 1020060086583A KR 20060086583 A KR20060086583 A KR 20060086583A KR 100751041 B1 KR100751041 B1 KR 100751041B1
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tube
carrier gas
carbon dioxide
dry cleaning
inlet
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KR1020060086583A
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박종수
윤철남
김세호
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

A portable dry cleaning apparatus is provided to prevent electrostatic phenomenon being generated from carrier gas by using ionizer formed on a pipe line in which the carrier gas introduced. An inflow unit(100) receives carbon dioxide gas and carrier gas through different paths. A piping unit(200) includes a first flexible tube receiving the carrier gas from the inflow unit and a second flexible tube that receives the carbon dioxide gas from the inflow unit to transform a phase of the carbon dioxide gas from gas to a sublimation solid particle. An injection unit(300) mixes the sublimation solid particle with the carrier gas to inject the mixture onto an object to be cleaned. The inflow further includes an ionizer(160) on the pipe line in which the carried gas is introduced.

Description

휴대용 건식세정장치{Portable dry cleaning device}Portable dry cleaning device

도 1은 본 발명에 따른 휴대용 건식세정장치의 일실시 사시도이다.1 is a perspective view of one embodiment of a portable dry cleaning device according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 휴대용 건식세정장치의 개략적인 일실시 구성도이다.2 is a schematic configuration diagram of a portable dry cleaning device according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 유입부 110 : 캐리어가스 공급라인100: inlet 110: carrier gas supply line

120 : 이산화탄소가스 공급라인 140 : 제1제어기재120: carbon dioxide gas supply line 140: the first control equipment

141 : 밸브 142 : 회전버튼141: valve 142: rotary button

150 : 제2제어기재 151 : 밸브150: second control substrate 151: valve

152 : 회전버튼 160 : 이오나이저152: rotation button 160: ionizer

200 : 배관부 210 : 제1튜브200: piping 210: first tube

220 : 제2튜브 230 : 결속기재220: second tube 230: binding substrate

231 : 소통공 300 : 분사부231: communicator 300: injection unit

301 : 혼합부 302 : 유체통로301: mixing section 302: fluid passage

310, 320 : 단속기재310, 320: Intermittent Equipment

본 발명은 휴대용 건식세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 세정대상물의 세정요구 부위에 용이하게 접근하여 건식세정을 수행하는 휴대용 건식세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a portable dry cleaning device, and more particularly, to a portable dry cleaning device that performs dry cleaning by easily accessing a cleaning request portion of a cleaning object.

일반적으로 반도체 디바이스나 평판디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정 중에는 공정 중 발생되는 파티클 등의 이물질제거를 위하여 습식세정공정이나 건식세정공정 등이 수행된다.Generally, during the manufacturing process of a semiconductor device or flat panel display (FPD), a wet cleaning process or a dry cleaning process is performed to remove foreign substances such as particles generated during the process.

상기 건식세정공정의 일례로는 이산화탄소가스(CO2 gas)의 상변화에 의해 생겨난 승화성 고체입자(또는 드라이아이스 스노우)를 세정대상물의 표면에 고속 충돌시켜 발생하는 충돌에너지에 의해 이물질 또는 파티클을 제거하는 드라이아이스 세정방식이 제안된 바 있다.As an example of the dry cleaning process, foreign substances or particles are formed by collision energy generated by high-speed collision of a sublimable solid particle (or dry ice snow) generated by a phase change of carbon dioxide gas (CO 2 gas) to the surface of a cleaning object. Dry ice cleaning method has been proposed to remove.

상기 드라이아이스 세정방식은 승화성 고체입자가 세정대상물의 표면에 손상을 입히지 않고도 세정대상물의 표면으로 부터 세정대상물의 오염물을 제거하고 승화되어 잔여물을 남기지 않으므로 친환경적인 세정방식이고, 더욱이 습식세정방식에 비해 미세세정이 가능하여 오염입자를 제거하기 어려운 부분도 세정할 수 있다는 다양한 장점이 있다.The dry ice cleaning method is an environmentally friendly cleaning method because the sublimable solid particles remove contaminants of the cleaning object from the surface of the cleaning object without leaving any residue after being sublimated without damaging the surface of the cleaning object. Compared to the above, there is a variety of advantages in that fine cleaning is possible, so that it is possible to clean the difficult part to remove contaminated particles.

일례로 드라이아이스 세정방식을 수행하는 건식세정장치는 이산화탄소가스를 공급받아 오리피스에 통과시켜 승화성 고체입자를 생성하고, 생성된 고체입자를 질소가스(N2 gas)나 정화된 공기(CDA; Clean Dry Air)와 같은 캐리어가스(또는 불활성가스)와 혼합 및 가속하여 충격 에너지를 증대시키는 것으로 세정대상물에 표면에 건식세정을 수행한다.For example, a dry cleaning apparatus that performs a dry ice cleaning method receives carbon dioxide gas and passes through an orifice to generate sublimable solid particles, and the generated solid particles are nitrogen gas (N 2 gas) or purified air (CDA; Clean). Dry cleaning is performed on the surface to be cleaned by mixing and accelerating with a carrier gas (or inert gas) such as dry air to increase impact energy.

그러나 종래 건식세정장치는 비교적 대형의 고정식 장비이므로 세정대상물의 다양한 세정요구부위에 능동적으로 접근하여 세정을 수행하는 것이 용이하지 않다는 불편함이 있었다.However, since the conventional dry cleaning apparatus is a relatively large fixed equipment, it is inconvenient that it is not easy to perform the cleaning by actively approaching various cleaning demands of the cleaning object.

또한 종래 건식세정장치는 온도, 습도, 세정대상물의 오염정도 등의 주변조건에 원할하게 대처하여 이산화탄소가스의 유량, 캐리어가스의 유량 등의 작업공정변수를 신속 적절하게 조절하여 건식세정을 수행하는 것이 불리하였다.In addition, the conventional dry cleaning apparatus performs dry cleaning by quickly and appropriately adjusting work process variables such as the flow rate of carbon dioxide gas and the flow rate of carrier gas by coping with ambient conditions such as temperature, humidity, and the degree of contamination of cleaning objects. It was disadvantageous.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 세정대상물에 능동적으로 접근하여 자유롭게 건식세정을 수행할 수 있는 휴대용 건식세정장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention in view of the above problems, an object of the present invention is to provide a portable dry cleaning apparatus that can perform a dry cleaning freely by actively approaching the cleaning object.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 이산화탄소가스와 캐리어가스를 서로 다른 경로로 각각 유입받는 유입부와, 상기 유입부에서 캐리어가스를 공급받는 플렉서블한 제1튜브와 상기 유입부에서 이산화탄소가스를 공급받아 승화성 고체입자로 상변화시키는 플렉서블한 제2튜브를 포함하는 배관부와, 상기 배관부에서 공급되는 승화성 고체입자와 캐리어가스를 혼합하여 세정대상물에 가속분사하는 파지가능한 분사부를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the carbon dioxide gas in the inlet and the inlet receiving the carbon dioxide gas and the carrier gas in different paths, respectively, the flexible first tube and the inlet receiving the carrier gas from the inlet And a pipe part including a flexible second tube that is supplied with a phase change into a sublimable solid particle, and a grippable injection part that accelerates and sprays the cleaning object by mixing the sublimable solid particles and the carrier gas supplied from the pipe part. do.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시 예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It is not. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 휴대용 건식세정장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 휴대용 건식세정장치의 개략적인 구성도이다.1 is a perspective view of a portable dry cleaning device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic configuration diagram of a portable dry cleaning device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 휴대용 건식세정장치는 이산화탄소가스와 캐리어가스를 서로 다른 경로로 각각 유입받는 유입부(100)와, 상기 유입부(100)에서 캐리어가스를 공급받는 플렉서블(flexible)한 제1튜브(210)와 상기 유입부(100)에서 이산화탄소가스를 공급받아 승화성 고체입자로 상변화시키는 플렉서블한 제2튜브(220)를 포함하는 배관부(200)와, 상기 배관부(200)에서 공급되는 승화성 고체입자와 캐리어가스를 혼합하여 세정대상물에 가속분사하는 파지가능한 분사부(300)를 포함한다.1 and 2, the portable dry cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention is the inlet 100 and the inlet 100, respectively, which receives the carbon dioxide gas and the carrier gas in different paths, A pipe part including a flexible first tube 210 which receives a carrier gas and a flexible second tube 220 which receives carbon dioxide gas from the inlet part 100 and changes phase into sublimable solid particles. 200, and a grippable injection unit 300 that mixes the sublimable solid particles and the carrier gas supplied from the pipe unit 200 and accelerates the cleaning object to the cleaning object.

상기 유입부(100)는 예컨데 박스형상으로 형성되어 캐리어가스 공급라인(110)으로 부터 캐리어가스를 공급받고, 이산화탄소가스 공급라인(120)으로 부터 액상의 이산화탄소를 공급받는다.The inlet portion 100 is formed in a box shape, for example, receives a carrier gas from the carrier gas supply line 110, and receives liquid carbon dioxide from the carbon dioxide gas supply line 120.

상기 배관부(200)는 그 외관을 형성하는 제1튜브(210)와, 상기 제1튜브(210)의 내측에 삽입되는 제2튜브(220)를 포함하며, 예컨데 이중 배관구조로 형성된다.The pipe part 200 includes a first tube 210 forming an exterior thereof, and a second tube 220 inserted into the first tube 210. For example, the pipe part 200 has a double pipe structure.

상기 제1튜브(210)는 캐리어가스 공급라인(110)과 연결되어 캐리어가스를 공 급받아 분사부(300)로 이송한다.The first tube 210 is connected to the carrier gas supply line 110 receives the carrier gas and transfers it to the injection unit 300.

상기 제2튜브(220)는 이산화탄소가스 공급라인(120)과 연결되어 이산화탄소가스를 공급받되, 이산화탄소가스에 상변화를 유발시켜 생성된 승화성 고체입자를 분사부(300)로 이송한다.The second tube 220 is connected to the carbon dioxide gas supply line 120 receives the carbon dioxide gas, and transfers the sublimable solid particles generated by causing a phase change to the carbon dioxide gas to the injection unit 300.

이처럼 배관부(200)는 이산화탄소가스를 통과시키는 제2튜브(220)의 외측을 건조한 캐리어가스를 통과시키는 제1튜브(210)가 감싸는 방식의 이중 배관구조를 구현함으로써 관로상에서 수분응결현상을 방지하는 장점이 있다.As such, the pipe part 200 prevents water condensation on the pipeline by implementing a double pipe structure in which the first tube 210 through which the dry carrier gas passes through the outside of the second tube 220 through which carbon dioxide gas passes is wrapped. There is an advantage.

일례로 제2튜브(220)는 25㎛에서 1000㎛ 이내의 미세홀이 기가공된 통상의 마이크로 튜브(Micro tube)가 채용될 수 있고, 세정대상물의 종류 및 미세 세정의 정도에 따라 적정한 직경의 미세홀이 기가공된 마이크로 튜브가 채용될 수 있다.For example, the second tube 220 may be a conventional micro tube in which micro holes within 25 μm to 1000 μm are machined, and may have an appropriate diameter depending on the type of the object to be cleaned and the degree of fine cleaning. Micro holes with micro holes can be employed.

이러한 마이크로 튜브는 미세홀의 가공공차가 극히 양호하여 일반 산업계에서 미세 및 정밀 유량제어가 필요로 하는 분야에 널리 사용되고 있으며, 눈막힘 현상을 효과적으로 방지하는 것으로 알려져 있다.Such microtubes are widely used in fields requiring fine and precise flow rate control in general industries due to extremely good processing tolerances of micro holes, and are known to effectively prevent clogging.

따라서 액상의 이산화탄소가스는 제2튜브(220)를 통과하며 단열팽창되어 미세한 플레이크(flake)상의 승화성 고체입자로 상변화된다.Therefore, the liquid carbon dioxide gas passes through the second tube 220 and is adiabaticly expanded to change into phase flakes as sublimable solid particles.

이처럼 제2튜브(220)를 통과하여 생성된 승화성 고체입자 예컨데 드라이아이스 스노우는 분사부(300)를 통하여 토출된다.As such, the sublimable solid particles generated by passing through the second tube 220 are discharged through the spray unit 300.

그리고 배관부(200)는 제1튜브(210)와 제2튜브(220)가 모두 플렉서블(flexible)한 재질로 형성되므로 자유로이 밴딩(bending)될 수 있다.In addition, the pipe part 200 may be freely bent (bending) because both the first tube 210 and the second tube 220 are made of a flexible material.

따라서 분사부(300)는 자유롭게 밴딩될 수 있는 배관부(200)에 의해 세정대 상물의 다양한 세정요구부위에 능동적으로 용이하게 접근하여 자유롭게 건식세정을 수행할 수 있다는 장점이 있다.Therefore, the injection unit 300 has an advantage that the dry cleaning can be performed freely by actively and easily approaching various cleaning demands on the cleaning object by the pipe unit 200 that can be freely bent.

상기의 구성에서, 배관부(200)는 제1튜브(210)와 제2튜브(220)의 간격을 유지시키도록 제1튜브(210)와 제2튜브(220)의 사이에 설치되는 결속기재(230)를 더 포함하는 것이 바람직하다.In the above configuration, the piping unit 200 is a binding substrate installed between the first tube 210 and the second tube 220 to maintain the distance between the first tube 210 and the second tube 220. It is preferable to further include 230.

상기 결속기재(230)는 예컨데 소정 두께의 디스크(disk)형상으로 형성되어 배관부(200)의 길이에 따라 적정 갯수가 설치될 수 있으며, 중심부로 제2튜브(220)가 삽입관통하여 결합되고, 외연부가 제1튜브(210)의 내벽면에 맞닿는다.For example, the binding base 230 may be formed in a disk shape having a predetermined thickness so that an appropriate number may be installed according to the length of the pipe part 200, and the second tube 220 may be inserted into and coupled to the center thereof. The outer edge portion contacts the inner wall surface of the first tube 210.

따라서, 결속기재(230)는 제2튜브(220)가 제1튜브(210) 내에서 진동하지 않고 견고하게 고정설치될 수 있도록 할 뿐만 아니라 제1튜브(210) 내에서 캐리어가스의 이동경로를 확보한다. 즉, 결속기재(230)는 원주방향을 따라 적어도 하나의 소통공(231)이 형성되어 상기 소통공(231)을 통하여 제1튜브(210)로 유입된 캐리어가스를 통과시킨다.Accordingly, the binding substrate 230 not only enables the second tube 220 to be firmly fixed without vibrating in the first tube 210 but also to move the carrier gas in the first tube 210. Secure. That is, the binding base 230 has at least one communication hole 231 is formed in the circumferential direction to pass the carrier gas introduced into the first tube 210 through the communication hole 231.

상기 분사부(300)는 파지가 용이하도록 예컨데 도시된 바와 같이 건타입(Gun type)으로 형성될 수 있고, 배관부(200)의 단부에 결합되어 배관부(200)에서 공급되는 고체입자와 캐리어가스를 혼합하여 세정대상물에 가속분사한다.The injection unit 300 may be formed as a gun type (Gun type), for example, to facilitate gripping, and is coupled to the end of the pipe unit 200 and the solid particles and the carrier supplied from the pipe unit 200 The gases are mixed and accelerated to the cleaning object.

이러한 분사부(300)는 배관부(200)와 결속되는 초입부에 고체입자 및 캐리어가스가 유입되어 혼합되는 혼합부(301)가 형성될 수 있고, 상기 혼합부(301)에서 혼합된 고체입자 및 캐리어가스가 유체통로(302)를 통과하며 성장이송과정과 경도증가과정과 가속과정을 거쳐 세정대상물에 분사될 수 있다.The injection unit 300 may include a mixing unit 301 in which solid particles and a carrier gas are introduced into and mixed with the inlet unit connected to the pipe unit 200, and the solid particles mixed in the mixing unit 301. And the carrier gas may pass through the fluid passage 302 may be injected to the cleaning object through a growth transfer process, hardness increase process and acceleration process.

상기의 구성에서, 유입부(100)는 제1튜브(210)로의 캐리어가스 유입량을 조절하는 제1제어기재(140)와, 제2튜브(220)로의 이산화탄소가스 유입량을 조절하는 제2제어기재(150)를 더 포함하는 것이 바람직하다.In the above configuration, the inlet 100 is a first control base 140 for adjusting the amount of carrier gas flow into the first tube 210, and a second control base for adjusting the inflow amount of carbon dioxide gas into the second tube 220. It is preferable to further include 150.

상기 제1제어기재(140)는 캐리어가스 공급라인(110)상에 설치되는 밸브(141)와, 상기 밸브(141)의 개폐정도를 외부에서 조절하여 캐리어가스의 유입량을 조절하는 회전버튼(142)을 포함한다.The first control base 140 is a valve 141 installed on the carrier gas supply line 110 and a rotary button 142 for adjusting the inflow amount of the carrier gas by adjusting the opening and closing degree of the valve 141 from the outside. ).

상기 제2제어기재(150)는 이산화탄소가스 공급라인(120)상에 설치되는 밸브(151)와, 상기 밸브(151)의 개폐정도를 외부에서 조절하여 캐리어가스의 유입량을 조절하는 회전버튼(152)을 포함한다.The second control substrate 150 is a valve 151 installed on the carbon dioxide gas supply line 120 and a rotary button 152 for controlling the inflow amount of the carrier gas by adjusting the opening and closing degree of the valve 151 from the outside. ).

이처럼 유입부(100)는 배관부(200)로 공급되는 이산화탄소가스의 유량과, 캐리어가스의 유량을 외부에서 조절가능하여 최종 분사부(300)에서 분사되는 고체입자의 양을 조절할 수 있다.In this way, the inlet 100 may adjust the flow rate of the carbon dioxide gas supplied to the pipe 200 and the flow rate of the carrier gas from the outside to adjust the amount of solid particles injected from the final injection unit 300.

따라서 본 일실시예에 따른 휴대용 건식세정장치는 세정환경의 주변조건에 따른 각종 작업공정변수를 신속 적절하게 조절하여 세정대상물에 분사되는 승화성 고체입자의 유량 및 가속정도 등을 최적 세정조전에 알맞도록 구현함으로써 세정효율을 극대화시키는 장점이 있다.Therefore, the portable dry cleaning apparatus according to the present embodiment is suitable for adjusting the flow rate and acceleration degree of the sublimable solid particles sprayed on the cleaning object by controlling various work process variables according to the ambient conditions of the cleaning environment. By implementing so that there is an advantage to maximize the cleaning efficiency.

상기의 구성에서, 유입부(100)는 캐리어가스가 유입되는 관로상에 이오나이저(160; ionizer)를 더 포함하는 것이 바람직하다.In the above configuration, it is preferable that the inlet 100 further includes an ionizer 160 on the conduit through which the carrier gas is introduced.

즉, 배관부(200)를 통과하는 캐리어가스는 관로에서의 마찰에 의해 정전기가 유발될 수 있고, 이와 같이 정전기가 유발된 캐리어가스가 기판 등의 세정대상물에 분사되면 집적회로 등에 손상을 줄 수 있다.That is, the carrier gas passing through the pipe part 200 may cause static electricity due to friction in the pipeline, and when the carrier gas in which the static electricity is induced is sprayed onto a cleaning object such as a substrate, it may damage an integrated circuit. have.

따라서 본 일실시예에 따른 휴대용 건식세정장치는 이오나이저(160)에 의해 캐리어가스에서 발생될 수 있는 정전기 현상을 사전방지하여 세정대상물의 손상을 방지하는 장점이 있다.Therefore, the portable dry cleaning apparatus according to the present embodiment has an advantage of preventing damage to a cleaning object by preventing static electricity that may be generated in the carrier gas by the ionizer 160.

상기의 구성에서, 이산화탄소가스와 캐리어가스가 유입부(100)로 유입되는 것을 단속하는 단속기재(310 또는 320)를 더 포함하는 것이 바람직하다.In the above configuration, it is preferable to further include an intermittent substrate 310 or 320 to control the carbon dioxide gas and the carrier gas flowing into the inlet 100.

일례로 상기 제1단속기재(310)는 건타입 분사부(300)에 대응하여 트리거(trigger) 형상으로 형성될 수 있고, 예컨데 사용자에 의해 당김조작되면 전기적 신호가 발생 또는 단절되도록 구성하여 캐리어가스 공급라인(110) 및 이산화탄소가스 공급라인(120)을 개방 또는 차단시킨다. 이처럼, 캐리어가스 공급라인(110) 및 이산화탄소가스 공급라인(120)이 개방되면, 캐리어가스와 이산화탄소가스가 유입부(100)로 유입되어 상기한 바와 같은 승화성 고체입자 생성과정을 거쳐 분사부(300)를 통하여 분사될 수 있다.For example, the first intermittent substrate 310 may be formed in a trigger shape in response to the gun type injection unit 300. For example, when a pull operation is performed by a user, an electrical signal is generated or disconnected to form a carrier gas. The supply line 110 and the carbon dioxide gas supply line 120 are opened or blocked. As such, when the carrier gas supply line 110 and the carbon dioxide gas supply line 120 are opened, the carrier gas and the carbon dioxide gas are introduced into the inlet 100 and the injection unit through the process of generating sublimable solid particles as described above. 300 may be injected through.

일례로 상기 제2단속기재(320)는 거치형 유입부(100)에 대응하여 스텝조작 가능한 방식으로 설치될 수 있고, 예컨데 사용자에 의해 가압 스텝조작되면 캐리어가스 공급라인(110) 및 이산화탄소가스 공급라인(120)이 개방 또는 차단시킨다. 이에, 캐리어가스 공급라인(110) 및 이산화탄소가스 공급라인(120)이 개방되면, 캐리어가스와 이산화탄소가스가 유입부(100)로 유입되어 상기한 바와 같은 승화성 고체입자 생성과정을 거쳐 분사부(300)를 통하여 분사될 수 있다.For example, the second intermittent substrate 320 may be installed in a step-operable manner corresponding to the stationary inlet part 100. For example, when the pressurized step is operated by the user, the carrier gas supply line 110 and the carbon dioxide gas supply line may be installed. 120 opens or shuts off. Accordingly, when the carrier gas supply line 110 and the carbon dioxide gas supply line 120 are opened, the carrier gas and the carbon dioxide gas are introduced into the inlet 100 and the injection unit through the process of generating sublimable solid particles as described above. 300 may be injected through.

이러한 단속기재(310 또는 320)에 의해 사용자는 즉각적으로 신속하게 세정 대상물에 대한 승화성 고체입자 분사여부를 결정할 수 있고, 세정대상물에 대한 승화성 고체입자의 분사시간 및 분사량을 원하는 만큼 조절할 수 있다는 장점이 있다.The intermittent substrate 310 or 320 allows the user to immediately determine whether to spray the sublimable solid particles on the cleaning object and to adjust the injection time and the injection amount of the sublimable solid particles on the cleaning object as desired. There is an advantage.

한편, 상기에서는 제1단속기재(310)가 전기적 신호를 발생시켜 캐리어가스 공급라인(110) 및 이산화탄소가스 공급라인(120)을 개방 또는 차단하는 것을 예시하였으나, 제1단속기재(310)가 당김조작되면 물리적으로 분사부(300) 내부의 유체통로(302)가 개방 또는 폐쇄되도록 구성하여 분사부(300)에서의 승화성 고체입자와 캐리어가스의 분사여부를 결정하도록 구성되는 것도 고려할 수 있다.On the other hand, in the above, the first interruption substrate 310 generates an electrical signal to illustrate that the carrier gas supply line 110 and the carbon dioxide gas supply line 120 to open or cut off, the first interruption substrate 310 is pulled When manipulated, the fluid passage 302 inside the injection unit 300 may be configured to be opened or closed to determine whether to inject the sublimable solid particles and the carrier gas from the injection unit 300.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.Although the present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the concept of the present invention. Various changes and modifications are possible by the user.

상기한 바와 같이 본 발명은, 기기가 소형화되고 작업자에 의해 세정대상물의 다양한 세정요구부위에 능동적으로 용이하게 접근하여 자유롭게 건식세정을 수행하므로 기기의 휴대성 및 작업성을 대폭 향상시키는 효과가 있다.As described above, the present invention has an effect of greatly improving the portability and workability of the device since the device is downsized and the worker can easily and easily access various cleaning demands of the object to be cleaned by dry cleaning.

또한 본 발명은, 세정환경의 주변조건에 따른 각종 작업공정변수를 신속 적절하게 조절가능하므로 최적 세정조건을 구현함으로써 세정효율을 극대화시키는 효과가 있다.In addition, the present invention, it is possible to quickly and appropriately adjust various work process variables according to the ambient conditions of the cleaning environment has the effect of maximizing the cleaning efficiency by implementing the optimum cleaning conditions.

또한 본 발명은, 마이크로튜브를 이용한 이중 배관구조를 구현함으로써 정밀한 유량제어가 가능한 것은 물론 수분응결현상을 방지하는 효과가 있다.In addition, the present invention, by implementing a double pipe structure using a microtube, it is possible to precise flow control as well as to prevent moisture condensation phenomenon.

또한 본 발명은, 이오나이저에 의해 캐리어가스에서 발생될 수 있는 정전기 현상을 사전방지하여 세정대상물의 손상을 방지하는 효과가 있다.In addition, the present invention, there is an effect of preventing the damage of the cleaning object by preventing the electrostatic phenomenon that may be generated in the carrier gas by the ionizer.

Claims (6)

이산화탄소가스와 캐리어가스를 서로 다른 경로로 각각 유입받는 유입부;An inlet receiving carbon dioxide gas and carrier gas in different paths; 상기 유입부에서 캐리어가스를 공급받는 플렉서블한 제1튜브와, 상기 유입부에서 이산화탄소가스를 공급받아 승화성 고체입자로 상변화시키는 플렉서블한 제2튜브를 포함하는 배관부; 및A pipe part including a flexible first tube receiving a carrier gas from the inlet, and a flexible second tube receiving carbon dioxide gas from the inlet to change into phase-sublimable solid particles; And 상기 배관부에서 공급되는 승화성 고체입자와 캐리어가스를 혼합하여 세정대상물에 가속분사하는 파지가능한 분사부를 포함하는 휴대용 건식세정장치.Portable dry cleaning device including a gripping injection unit for mixing the sublimable solid particles and the carrier gas supplied from the pipe to accelerate the injection to the cleaning object. 제1항에 있어서, 상기 2튜브는,The method of claim 1, wherein the two tubes, 상기 제1튜브 내부에 삽입설치된 것을 특징으로 하는 휴대용 건식세정장치.Portable dry cleaning device, characterized in that inserted into the first tube. 제2항에 있어서, 상기 배관부는, The method of claim 2, wherein the pipe portion, 상기 제1튜브와 상기 제2튜브의 사이에 설치되어 상기 제1튜브와 상기 제2튜브의 간격을 유지시키고, 상기 제1튜브의 캐리어가스가 소통되는 결속기재를 더 포함하는 휴대용 건식세정장치.A portable dry cleaning device installed between the first tube and the second tube to maintain a distance between the first tube and the second tube, the carrier substrate of the first gas communication. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 유입부는,The method of claim 1, wherein the inlet is 상기 제1튜브로의 캐리어가스 유입량을 조절하는 제1제어기재; 및A first control base material for adjusting a flow rate of carrier gas into the first tube; And 상기 제2튜브로의 이산화탄소가스 유입량을 조절하는 제2제어기재를 더 포함 하는 휴대용 건식세정장치.Portable dry cleaning device further comprises a second control substrate for adjusting the inflow amount of carbon dioxide gas into the second tube. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 유입부는,The method of claim 1, wherein the inlet is 캐리어가스가 유입되는 관로상에 이오나이저를 더 포함하는 휴대용 건식세정장치.Portable dry cleaning device further comprises an ionizer on the pipeline in which carrier gas flows. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 이산화탄소가스와 캐리어가스가 상기 유입부로 유입되는 것을 단속하는 단속기재를 더 포함하는 휴대용 건식세정장치.Portable dry cleaning device further comprises an intermittent substrate for regulating the introduction of carbon dioxide gas and carrier gas to the inlet.
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