KR100736294B1 - Photosensitive resin composition, cured products thereof and spacer made from these cured products for display panel - Google Patents

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Abstract

실온 보관 조건에서도 감광성 수지 조성물의 점도 증가나 겔화가 발생하지 않고, 충분한 보존 안정성을 가지며, 영구막으로서 필요한 내열성, 내약품성을 겸비하고, 또한 압축 강도가 우수한 표시 패널용 스페이서를 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물, 및 그의 경화물, 및 그의 경화물에 의해서 형성된 표시 패널용 스페이서를 제공한다. The photosensitivity which can form the display panel spacer which does not increase the viscosity of a photosensitive resin composition or gelatinizes even at room temperature, has sufficient storage stability, has the heat resistance and chemical-resistance required as a permanent film, and is excellent in compressive strength. Provided are a resin composition, a cured product thereof, and a spacer for a display panel formed by the cured product thereof.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 (A) 1 분자 중에 카르복실기와 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 겸비하는 카르복실기 함유 감광성 수지, (B) 1 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물, (C) 광 중합 개시제, 및 (D) 1 분자 중에 2개 이상의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물을 함유하는 조성물이며, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A)가 하기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 공중합 성분으로서 함유하는 카르복실기 함유 감광성 수지이다. The photosensitive resin composition of this invention is (A) carboxyl group-containing photosensitive resin which has a carboxyl group and 2 or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, (B) polymeric compound which has 1 or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, ( C) A photopolymerization initiator and a composition containing (D) an oxetane compound having two or more oxetanyl groups in one molecule, wherein the carboxyl group-containing photosensitive resin (A) has an unsaturated double bond represented by the following general formula (1): It is carboxyl group-containing photosensitive resin which contains a compound as a copolymerization component.

감광성 수지 조성물, 카르복실기 함유 감광성 수지, 광 중합 개시제, 옥세탄 화합물, 에틸렌성 불포화 결합, 중합성 화합물 Photosensitive resin composition, carboxyl group-containing photosensitive resin, photoinitiator, oxetane compound, ethylenically unsaturated bond, polymeric compound

Description

감광성 수지 조성물, 및 그의 경화물 및 상기 경화물로 이루어지는 표시 패널용 스페이서 {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED PRODUCTS THEREOF AND SPACER MADE FROM THESE CURED PRODUCTS FOR DISPLAY PANEL}Photosensitive resin composition and its hardened | cured material, and the spacer for display panels which consist of said hardened | cured material {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED PRODUCTS THEREOF AND SPACER MADE FROM THESE CURED PRODUCTS FOR DISPLAY PANEL}

<특허 문헌 1> 일본 특허 공개 (평)11-133600호 공보(특허 청구의 범위)<Patent Document 1> Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-133600 (claims)

<특허 문헌 2> 일본 특허 공개 2001-324809호 공보(특허 청구의 범위) <Patent Document 2> Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-324809 (claims)

본 발명은 감광성 수지 조성물, 및 그의 경화물 및 상기 경화물로 이루어지는 표시 패널용 스페이서에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 액정 패널이나 터치 패널 등의 표시 패널용 스페이서를 형성하기 위한 재료로서 바람직한 보존 안정성, 압축 강도가 우수한 감광성 수지 조성물, 및 그의 경화물 및 상기 경화물로 이루어지는 표시 패널용 스페이서에 관한 것이다. This invention relates to the photosensitive resin composition, its hardened | cured material, and the display panel spacer which consists of the said hardened | cured material. More specifically, it relates to the photosensitive resin composition which is excellent in storage stability, compressive strength which is preferable as a material for forming spacers for display panels, such as a liquid crystal panel and a touch panel, its hardened | cured material, and the display panel spacer which consists of said hardened | cured material. will be.

종래 액정 패널에는 2매의 기판 간격을 일정하게 유지하기 위해서 소정의 입경을 갖는 유리 비드, 플라스틱 비드 등의 스페이서 입자가 사용되었다. 그러나, 이들 스페이서 입자는 유리 기판 상에 랜덤하게 산포되기 때문에, 유효 화소부 내에 상기 스페이서가 존재하면, 스페이서가 비치거나, 입사광이 산란을 받아 액정 패널의 콘트라스트가 저하된다는 문제가 있었다. 이들 문제를 해결하기 위해서, 감광성 수지 조성물을 사용하여 스페이서를 포토리소그래피에 의해 형성하는 방법이 사용되고 있다. In the conventional liquid crystal panel, spacer particles such as glass beads and plastic beads having a predetermined particle diameter have been used in order to keep the two substrate gaps constant. However, since these spacer particles are randomly scattered on the glass substrate, when the spacer is present in the effective pixel portion, there is a problem that the spacer is reflected or the incident light is scattered and the contrast of the liquid crystal panel is lowered. In order to solve these problems, the method of forming a spacer by photolithography using the photosensitive resin composition is used.

이러한 스페이서는 액정 패널 접착시의 압축 하중을 견디는 성질이 요구된다. 그러나, 감광성 수지, 다관능 단량체 및 광 중합 개시제로 구성되는 종래의 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성된 스페이서는, 경도가 부족하여, 컬러 필터와 TFT 어레이 기판과의 조립(셀 압착)시의 고온 고압하에서의 소성 변형량이 커서, 스페이서로서의 기능에 지장을 준다는 문제가 있고, 여전히 개량의 여지가 남아 있었다. Such a spacer is required to withstand the compressive load when the liquid crystal panel is bonded. However, spacers formed using a conventional photosensitive resin composition composed of a photosensitive resin, a polyfunctional monomer and a photopolymerization initiator have insufficient hardness, and thus have a high temperature and high pressure at the time of assembly (cell compression) of a color filter and a TFT array substrate. There was a problem that the plastic deformation amount was large, which hindered the function as a spacer, and there was still room for improvement.

또한, 스페이서는 액정 패널 중에서 영구막으로서 사용되기 때문에 내열성이나 내약품성도 요구된다. 따라서, 이 용도에 사용되는 감광성 수지 조성물에는 영구막으로서의 특성을 얻기 위해서 동일 분자 내에 카르복실기와 에폭시기를 겸비하는 열경화성 수지(특허 문헌 1 참조)를 사용하거나, 결합제 수지와 반응할 수 있는 에폭시 수지와 같은 가교제를 첨가(특허 문헌 2 참조)하는 경우도 있다. 그러나, 에폭시계 가교제를 사용하는 감광성 수지 조성물의 경우, 가교 반응을 일으키는 에폭시기의 반응성이 높기 때문에, 보존 안정성이 문제가 되어 작업성을 저하시키는 등의 결점이 존재하므로, 경화물의 특성과 작업성을 양립시키는 것이 곤란하였다. Moreover, since a spacer is used as a permanent film in a liquid crystal panel, heat resistance and chemical-resistance are also calculated | required. Therefore, in order to obtain the characteristic as a permanent film, the photosensitive resin composition used for this use uses the thermosetting resin which combines a carboxyl group and an epoxy group in the same molecule (refer patent document 1), or the epoxy resin which can react with binder resin, such as In some cases, a crosslinking agent is added (see Patent Document 2). However, in the case of the photosensitive resin composition which uses an epoxy crosslinking agent, since the reactivity of the epoxy group which produces a crosslinking reaction is high, there exists a fault, such as storage stability and a problem of reducing workability, and therefore the characteristic and workability of hardened | cured material It was difficult to make it compatible.

본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것이며, 그의 목적은 실온 보관 조건에서도 감광성 수지 조성물의 점도 증가나 겔화가 발생하지 않고, 충분한 보존 안정성을 가지며, 영구막으로서 필요한 내열성, 내약품성을 겸비하고, 또한 압축 강도가 우수한 표시 패널용 스페이서를 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은, 상기 감광성 수지 조성물을 활성 에너지선을 조사하고, 가열 경화하여 얻어지는 경화물, 및 그의 경화물에 의해서 형성된 표시 패널용 스페이서를 제공하는 것이다. The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and its object is not to increase viscosity or gelation of the photosensitive resin composition even at room temperature storage conditions, to have sufficient storage stability, and to have heat resistance and chemical resistance required as a permanent film. Moreover, it is providing the photosensitive resin composition which can form the spacer for display panels which is excellent in compressive strength. Another object of this invention is to provide the hardened | cured material obtained by irradiating an active energy ray and heat-hardening the said photosensitive resin composition, and the spacer for display panels formed with the hardened | cured material.

발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해서 예의 연구한 결과, 그의 기본적인 양태는, (A) 1 분자 중에 카르복실기와 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 겸비하는 카르복실기 함유 감광성 수지, (B) 1 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물, (C) 광 중합 개시제, 및 (D) 1 분자 중에 2개 이상의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물을 함유하는 조성물이며, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A)가 하기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 공중합 성분으로서 함유하는 카르복실기 함유 감광성 수지인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물이 보존 안정성이 우수하고, 상기 감광성 수지 조성물을 경화하여 얻은 경화물이, 경도, 내열성, 내약품성, 압축 강도가 우수한 것을 발견하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다. As a result of earnestly researching the inventors in order to achieve the above object, the basic aspect thereof is (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin having a carboxyl group and two or more ethylenically unsaturated bonds in one molecule, and (B) one or more molecules in one molecule. A composition containing a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) a photopolymerization initiator, and (D) an oxetane compound having two or more oxetanyl groups in one molecule, wherein the carboxyl group-containing photosensitive resin (A) The photosensitive resin composition which is a carboxyl group-containing photosensitive resin containing the compound which has an unsaturated double bond represented by following formula (1) as a copolymerization component is excellent in storage stability, and the hardened | cured material obtained by hardening the said photosensitive resin composition is hardness The present invention has been found to be excellent in heat resistance, chemical resistance, and compressive strength.

Figure 112006008860899-pat00001
Figure 112006008860899-pat00001

(식 중, x는 0 내지 2의 정수를 나타내고, R1은 수소 또는 메틸기를 나타내고, R2는 탄소수 10 내지 20의 디시클로펜타디엔 유도체 또는 탄소수 10 내지 20의 트리시클로데칸 유도체를 나타냄) (Wherein x represents an integer of 0 to 2, R 1 represents hydrogen or a methyl group, R 2 represents a dicyclopentadiene derivative having 10 to 20 carbon atoms or a tricyclodecane derivative having 10 to 20 carbon atoms)

또한, 본 발명에 따르면, 상기 감광성 수지 조성물을 도포ㆍ건조하는 도막 형성 공정, 상기 도막 형성 공정을 거쳐 얻어진 도막에 선택적으로 활성 에너지선을 조사하는 광 경화 처리 공정, 광 경화 처리 공정의 후에 알칼리 현상액을 사용하여 미조사 부분을 제거하여 패턴을 얻는 알칼리 현상 공정, 및 알칼리 현상 공정에서 얻어진 패턴을 가열ㆍ경화하는 공정을 거쳐 얻어지는 경화물이 제공된다. Moreover, according to this invention, an alkali developing solution after the photocuring process of apply | coating and drying the said photosensitive resin composition, the photocuring process of selectively irradiating an active energy ray to the coating film obtained through the said coating film formation process, and the photocuring process. The hardened | cured material obtained through the alkali image development process which removes an unirradiated part and obtains a pattern using the process, and the process of heating and hardening the pattern obtained at the alkali image development process is provided.

또한, 본 발명에 있어서 「활성 에너지선」이란, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 포함하는 것을 의미한다. In addition, in this invention, an "active energy ray" means containing visible ray, an ultraviolet-ray, far ultraviolet ray, an electron beam, X-rays, etc.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 감광성 수지 조성물을 사용하여 얻어지는 내열성, 내약품성이 우수하고, 또한 압축 강도가 우수한 경화물로 이루어지는 표시 패널용 스페이서가 제공된다. Moreover, according to this invention, the spacer for display panels which consists of hardened | cured material excellent in the heat resistance and chemical-resistance obtained using the said photosensitive resin composition, and excellent in compressive strength is provided.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention

본 발명의 감광성 조성물에 가교 성분으로서 첨가되는 옥세탄 화합물은 4원환의 옥세타닐기를 가지고, 이는 열경화시에 알칼리 가용성 감광성 수지의 카르복실기와 반응하여, 주로 1급 수산기가 발생하기 때문에, 주로 2급 수산기가 발생하는 에폭시 수지를 사용한 경우에 비해 밀착성이 우수한 경화물이 얻어진다. 또한, 옥세탄 화합물은 에폭시 수지에 비해 저온에서의 반응이 느리기 때문에, 이것을 함 유하는 감광성 조성물은 셀프ㆍ라이프(보존 수명)가 길기 때문에, 작업성이나 경제성의 점에서 유리하다. The oxetane compound added as a crosslinking component to the photosensitive composition of the present invention has a four-membered ring oxetanyl group, which reacts with the carboxyl group of the alkali-soluble photosensitive resin at the time of thermosetting, and mainly produces a primary hydroxyl group. Hardened | cured material which is excellent in adhesiveness is obtained compared with the case where the epoxy resin which a grade hydroxyl group generate | occur | produces is used. Moreover, since an oxetane compound has a slow reaction at low temperature compared with an epoxy resin, since the photosensitive composition containing this has a long self-life (preservation life), it is advantageous at the point of workability and economy.

이하, 본 발명의 감광성 조성물의 각 구성 성분에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, each component of the photosensitive composition of this invention is demonstrated in detail.

본 발명의 분자 중에 카르복실기와 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 겸비하는 카르복실기 함유 감광성 수지(A)는 하기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 공중합 성분으로서 함유하는 카르복실기 함유 감광성 수지이다. The carboxyl group-containing photosensitive resin (A) having a carboxyl group and two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule of the present invention is a carboxyl group-containing photosensitive resin containing a compound having an unsaturated double bond represented by the following formula (1) as a copolymerization component.

<화학식 1><Formula 1>

Figure 112006008860899-pat00002
Figure 112006008860899-pat00002

(식 중, x는 0 내지 2의 정수를 나타내고, R1은 수소 또는 메틸기를 나타내고, R2는 탄소수 10 내지 20의 디시클로펜타디엔 유도체 또는 탄소수 10 내지 20의 트리시클로데칸 유도체를 나타냄) (Wherein x represents an integer of 0 to 2, R 1 represents hydrogen or a methyl group, R 2 represents a dicyclopentadiene derivative having 10 to 20 carbon atoms or a tricyclodecane derivative having 10 to 20 carbon atoms)

이러한 카르복실기 함유 감광성 수지(A)는 상기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 구성 성분으로서 함유하는 것이며, 유리 전이 온도가 향상될 수 있고, 투명성이 높으므로, 이것을 사용한 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 경화물의 경도, 압축 강도, 내열성, 내약품성이 현저히 향상되는 것이 가능해진다. Such carboxyl group-containing photosensitive resin (A) contains the compound which has an unsaturated double bond represented by the said Formula (1) as a component, and since glass transition temperature can be improved and transparency is high, it is obtained from the photosensitive resin composition using this. It becomes possible to remarkably improve the hardness, compressive strength, heat resistance, and chemical resistance of the cured product.

이러한 카르복실기 함유 감광성 수지(A)는 특정한 것으로 한정되지 않지만, 특히 이하에 열거하는 것과 같은 불포화 단량체의 공중합에 의해 합성되는 감광성 수지를 바람직하게 사용할 수 있다. Although such a carboxyl group-containing photosensitive resin (A) is not limited to a specific thing, Photosensitive resin synthesize | combined by copolymerization of an unsaturated monomer especially listed below can be used preferably.

(1) (a) 불포화 카르복실산과 (b) 상기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물 (및)또는 (c) 다른 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 포함하는 공중합체에, 에틸렌성 불포화기를 팬던트로서 부가시킴으로써 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지, In the copolymer containing (1) (a) unsaturated carboxylic acid and (b) a compound having an unsaturated double bond represented by the formula (1) (and) or (c) a compound having another unsaturated double bond, an ethylenically unsaturated group Carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding as a pendant,

(2) (d) 에폭시기와 불포화 이중 결합을 갖는 화합물과 (b) 상기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물 및(또는) (c) 다른 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 포함하는 공중합체에, (a) 불포화 카르복실산을 반응시키고, 생성된 2급 수산기에 (e) 포화 또는 불포화 다염기 산 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지,(2) a copolymer comprising (d) a compound having an epoxy group with an unsaturated double bond, (b) a compound having an unsaturated double bond represented by the formula (1), and / or (c) a compound having another unsaturated double bond carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting (a) unsaturated carboxylic acid and reacting the produced secondary hydroxyl group with (e) saturated or unsaturated polybasic acid anhydride,

(3) (f) 불포화 이중 결합을 갖는 산 무수물과 (b) 상기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물 및(또는) (c) 다른 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 포함하는 공중합체에, (g) 수산기와 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지 등을 들 수 있다. (3) a copolymer comprising (f) an acid anhydride having an unsaturated double bond, (b) a compound having an unsaturated double bond represented by the formula (1), and / or (c) a compound having another unsaturated double bond, (g) Carboxyl group containing photosensitive resin etc. which are obtained by making a compound which has a hydroxyl group and unsaturated double bond react are mentioned.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(1) 및 (2)의 합성에 사용되는 불포화 카르복실산(a)로서는, 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, β-카르복실에틸아크릴레이트, β-카르복실에틸메타크릴레이트나, 히드록실기 함유의 (메트)아크릴레이트에 다염기 산 무수물을 부가한 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서 감광 성, 반응성, 보존 안정성의 면에서 아크릴산 또는 메타크릴산이 특히 바람직하다. 이들 불포화 모노카르복실산(a)는 단독 또는 2종류 이상을 혼합하여 사용할 수도 있다. As unsaturated carboxylic acid (a) used for the synthesis | combination of the said carboxyl group-containing photosensitive resin (1) and (2), for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, (beta) -carboxyl ethyl acrylate, (beta) -carboxyl The compound etc. which added polybasic acid anhydride to ethyl methacrylate and the (meth) acrylate containing a hydroxyl group are mentioned. Among them, acrylic acid or methacrylic acid is particularly preferable in view of photosensitivity, reactivity, and storage stability. These unsaturated monocarboxylic acids (a) can also be used individually or in mixture of 2 or more types.

또한, 본 명세서 중에서 (메트)아크릴레이트란, 아크릴레이트와 메타아크릴레이트를 총칭하는 용어이고, 다른 유사한 표현에 대해서도 동일하다. In addition, in this specification, a (meth) acrylate is a term which generically mentions acrylate and methacrylate, and is the same also about another similar expression.

본 발명의 카르복실기 함유 감광성 수지의 특징인 상기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물(b)의 구체적인 예로서는, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 그의 시판품으로서는, 예를 들면 히타치 가세이 고교사 제조의 판크릴 FA-511A, FA-512A, FA-513A, FA-512M, FA-513M 등을 들 수 있다. As a specific example of the compound (b) which has an unsaturated double bond represented by the said Formula (1) which is the characteristic of the carboxyl group-containing photosensitive resin of this invention, dicyclopentenyl (meth) acrylate and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate And dicyclopentanyl (meth) acrylate. Examples of the commercially available products include Pankrill FA-511A, FA-512A, FA-513A, FA-512M, FA-513M and the like manufactured by Hitachi Kasei Kogyo Co., Ltd., for example.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(1), (2) 및 (3)의 합성에 사용되는 다른 불포화 이중 결합을 갖는 화합물(c)로서는, 공지 관용의 단관능 단량체를 사용할 수 있다. 예를 들면, 스티렌, 클로로스티렌, α-메틸스티렌; 치환기로서 메틸, 에틸, 프로필, 이소프로필, n-부틸, 이소부틸, t-부틸, 아밀, 2-에틸헥실, 옥틸, 카프릴, 노닐, 도데실, 헥사데실, 옥타데실, 시클로헥실, 이소보로닐, 메톡시에틸, 부톡시에틸, 2-히드록시에틸, 2-히드록시프로필, 3-클로로-2-히드록시프로필 등의 치환기를 갖는 아크릴레이트, 메타크릴레이트 또는 푸마레이트; 폴리에틸렌글리콜의 모노아크릴레이트 또는 모노메타크릴레이트, 또는 폴리프로필렌글리콜의 모노아크릴레이트, 모노메타크릴레이트; 아세트산비닐, 부티르산비닐 또는 벤조산비닐; 에틸렌, 프로필렌 등의 올레핀류; 아크릴로니트릴 등을 들 수 있다. As a compound (c) which has another unsaturated double bond used for the synthesis | combination of the said carboxyl group-containing photosensitive resin (1), (2), and (3), a well-known conventional monofunctional monomer can be used. For example, styrene, chlorostyrene, α-methylstyrene; As substituents methyl, ethyl, propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, t-butyl, amyl, 2-ethylhexyl, octyl, capryl, nonyl, dodecyl, hexadecyl, octadecyl, cyclohexyl, isobo Acrylate, methacrylate or fumarate having substituents such as ronyl, methoxyethyl, butoxyethyl, 2-hydroxyethyl, 2-hydroxypropyl, 3-chloro-2-hydroxypropyl and the like; Monoacrylate or monomethacrylate of polyethylene glycol, or monoacrylate or monomethacrylate of polypropylene glycol; Vinyl acetate, vinyl butyrate or vinyl benzoate; Olefins such as ethylene and propylene; Acrylonitrile etc. are mentioned.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(2)의 합성에 사용되는 에폭시기와 불포화 이중 결합을 갖는 화합물(d)로서는, 글리시딜(메트)아크릴레이트, β-메틸글리시딜 (메트)아크릴레이트, β-에틸글리시딜(메트)아크릴레이트, N-[4-(2,3-에폭시프로폭시)-3,5-디메틸벤질]아크릴아미드, N-[4-(2,3-에폭시프로폭시)-3,5-디메틸벤질]메타아크릴아미드, 크로톤산글리시딜이나, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 글리시딜(메트)아크릴레이트가 반응성의 면에서 바람직하다. As a compound (d) which has an epoxy group and unsaturated double bond used for the synthesis | combination of the said carboxyl group-containing photosensitive resin (2), glycidyl (meth) acrylate, (beta) -methyl glycidyl (meth) acrylate, and (beta) -ethyl Glycidyl (meth) acrylate, N- [4- (2,3-epoxypropoxy) -3,5-dimethylbenzyl] acrylamide, N- [4- (2,3-epoxypropoxy) -3 , 5-dimethyl benzyl] methacrylamide, crotonic acid glycidyl, 3, 4- epoxycyclohexyl methyl (meth) acrylate, etc. are mentioned. Among these, glycidyl (meth) acrylate is preferable at the point of reactivity.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(2)의 합성에 사용되는 상기 포화 또는 불포화 다염기 산 무수물(e)로서는, 메틸테트라히드로무수프탈산, 테트라히드로무수프탈산, 헥사히드로무수프탈산, 메틸헥사히드로무수프탈산, 무수 나딘산, 3,6-엔도메틸렌테트라히드로무수프탈산, 메틸엔도메틸렌테트라히드로무수프탈산, 테트라브로모무수프탈산 등의 지환식 이염기산 무수물; 무수 숙신산, 무수 말레산, 무수 이타콘산, 옥테닐 무수 숙신산, 펜타도데세닐 무수 숙신산, 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산 등의 지방족 또는 방향족 다염기 산 무수물 등을 들 수 있고, 이들 중에서 1종 또는 2종 이상을 사용할 수 있다. 이들 중에서도 지환식 이염기산 무수물이 현상성의 면에서 특히 바람직하다. Examples of the saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (e) used in the synthesis of the carboxyl group-containing photosensitive resin (2) include methyltetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride and nadine anhydride. Alicyclic dibasic acid anhydrides such as acid, 3,6-endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride and tetrabromophthalic anhydride; Aliphatic or aromatic polybasic acid anhydrides such as succinic anhydride, maleic anhydride, itaconic anhydride, octenyl succinic anhydride, pentadodecenyl succinic anhydride, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, and the like, and the like. More than one species can be used. Among these, alicyclic dibasic acid anhydride is especially preferable at the point of developability.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(3)의 합성에 사용되는 불포화 이중 결합을 갖는 산 무수물(f)로서는, 무수 말레산, 무수 이타콘산, 또한 무수 피로멜리트산과 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트 등 의 히드록시알킬(메트)아크릴레이트류 등의 수산기를 갖는 불포화 화합물과의 부분 반응 생성물 등을 들 수 있고, 이들을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 중합체를 안정적으로 합성할 수 있는 무수 말레산이 바람직하다. Examples of the acid anhydride (f) having an unsaturated double bond used in the synthesis of the carboxyl group-containing photosensitive resin (3) include maleic anhydride, itaconic anhydride, pyromellitic anhydride, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, Partial reaction products with unsaturated compounds having hydroxyl groups, such as hydroxyalkyl (meth) acrylates, such as 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types. Can be. Among these, maleic anhydride which can synthesize | combine a polymer stably is preferable.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(3)의 합성에 사용되는 수산기와 불포화 이중 결합을 갖는 화합물(g)로서는, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트 등의 히드록시알킬(메트)아크릴레이트류; 디에틸렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트, 디프로필렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 디(메트)아크릴레이트, 글리세린 디(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 또한, 상기 화합물의 수산기에 ε-카프로락톤 등의 환상 에스테르를 부가한 화합물도 사용할 수 있다. 이들을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. As a compound (g) which has a hydroxyl group and unsaturated double bond used for the synthesis | combination of the said carboxyl group-containing photosensitive resin (3), 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4- Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxybutyl (meth) acrylate; Diethylene glycol mono (meth) acrylate, dipropylene glycol mono (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipenta Erythritol penta (meth) acrylate etc. are mentioned. Moreover, the compound which added cyclic ester, such as (epsilon) -caprolactone, to the hydroxyl group of the said compound can also be used. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

이러한 카르복실기 함유 감광성 수지(A)는 단독으로 또는 혼합하여 사용할 수도 있지만, 어느 경우에도 이들은 합계로 조성물 전량의 5 내지 80 질량%, 바람직하게는 10 내지 60 질량%의 비율로 배합하는 것이 바람직하다. 또한, 필요에 따라서, 상기 이외의 카르복실기 함유 감광성 수지, 예를 들면 에폭시아크릴레이트에 다염기 산 무수물을 부가한 것과 같은 수지를 소량 첨가할 수도 있다. Although these carboxyl group-containing photosensitive resin (A) may be used individually or in mixture, in either case, it is preferable to mix | blend them in the ratio of 5-80 mass% of the whole composition whole quantity, Preferably it is 10-60 mass%. If necessary, a small amount of a resin such as a polybasic acid anhydride added to a carboxyl group-containing photosensitive resin other than the above, for example, epoxy acrylate, may be added.

상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A)의 산가는 30 내지 250 mg KOH/g, 바람직하게는 50 내지 150 mg KOH/g이다. 상기 카르복실기 함유 감광성 수지의 산가가 30 mg KOH/g 미만인 경우, 상기 옥세탄 화합물(D)와의 충분한 경화 반응이 진행되기 어려워지고, 또한 알칼리 수용액에 대한 용해성이 불충분하여 현상 불량을 일으키기 쉽다. 한편, 250 mg KOH/g을 초과한 경우, 현상시에 피막의 밀착성 열화나 광 경화부(노광부)의 용해가 생기기 때문에 바람직하지 않다. The acid value of the said carboxyl group-containing photosensitive resin (A) is 30-250 mg KOH / g, Preferably it is 50-150 mg KOH / g. When the acid value of the said carboxyl group-containing photosensitive resin is less than 30 mg KOH / g, sufficient hardening reaction with the said oxetane compound (D) becomes difficult to advance, and its solubility with respect to aqueous alkali solution is inadequate, and it is easy to produce development defect. On the other hand, when it exceeds 250 mg KOH / g, it is unpreferable since adhesive deterioration of a film and dissolution of a photo hardening part (exposure part) arise at the time of image development.

또한, 카르복실기 함유 감광성 수지(A)의 이중 결합 당량은 350 내지 2,000, 바람직하게는 400 내지 1,500인 것을 바람직하게 사용할 수 있다. 카르복실기 함유 감광성 수지(A)의 이중 결합 당량이 350 미만인 경우, 보존 안정성이 저하되거나, 경화물의 강도가 약해지기 때문에 바람직하지 않다. 한편, 이중 결합 당량이 2,000을 초과한 경우, 현상시의 작업 여유도가 좁고, 또한 광 경화시에 고노광량을 필요로 하기 때문에 바람직하지 않다. In addition, the double bond equivalent of carboxyl group-containing photosensitive resin (A) can use preferably 350-2,000, Preferably it is 400-1,500. When the double bond equivalent of carboxyl group-containing photosensitive resin (A) is less than 350, since storage stability falls or the strength of hardened | cured material becomes weak, it is unpreferable. On the other hand, when the double bond equivalent exceeds 2,000, since the work margin at the time of image development is narrow and high exposure amount is required at the time of photocuring, it is unpreferable.

본 발명에서 사용되는 1 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물(B)로서는, 단관능, 2관능 또는 3관능 이상의 (메트)아크릴레이트가, 중합성이 양호하고, 얻어지는 스페이서의 강도, 내열성이 향상되는 점에서 바람직하게 사용된다. As a polymeric compound (B) which has one or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule used by this invention, a monofunctional, bifunctional, or trifunctional or more than (meth) acrylate has good polymerizability, and It is used preferably at the point which improves strength and heat resistance.

상기 단관능 (메트)아크릴레이트로서는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 카르비톨(메트)아크릴레이트, 이소보로닐(메트)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메트)아크릴레이트, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸-2-히드록시프로필프탈레이트 등을 들 수 있다. 그의 시판품으로서는, 예를 들면 알로닉스 M-101, 동 M-111, 동 M-114(이상, 도아 고세이(주) 제조), KAYARAD TC-110S, 동 TC-120S(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조), 비스코트 158, 동 2311(이상, 오사카 유끼 가가꾸 고교(주) 제 조)를 들 수 있다. As said monofunctional (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, carbitol (meth) acrylate, isoboroyl (meth) acrylate, 3-methoxybutyl (meth), for example Acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxypropyl phthalate, etc. are mentioned. As its commercial item, for example, an Alonics M-101, copper M-111, copper M-114 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD TC-110S, copper TC-120S (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.) ), Biscot 158, East 2311 (above, manufactured by Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.).

상기 2관능 (메트)아크릴레이트로서는, 예를 들면 에틸렌글리콜 디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메트)아크릴레이트, 1,9-노난디올 디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메트)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메트)아크릴레이트, 비스페녹시에탄올 플루오렌디아크릴레이트 등을 들 수 있다. 그의 시판품으로서는, 예를 들면 알로닉스 M-210, 동 M-240, 동 M-6200(이상, 도아 고세이(주) 제조), KAYARAD HDDA, 동 HX-220, 동 R-604(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조), 비스코트 260, 동 312, 동 335 HP(이상, 오사카 유끼 가가꾸 고교(주) 제조) 등을 들 수 있다. As said bifunctional (meth) acrylate, for example, ethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, polypropylene Glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, bisphenoxyethanol fluorene diacrylate, and the like. As its commercial item, for example, Alonics M-210, copper M-240, copper M-6200 (above, Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD HDDA, copper HX-220, copper R-604 (more, Nippon Kaya) Cub Co., Ltd., Biscot 260, 312, 335 HP (above, Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.), etc. are mentioned.

상기 3관능 이상의 (메트)아크릴레이트로서는, 예를 들면 트리메틸올프로판 트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메트)아크릴레이트, 트리(메트)아크릴로일옥시에틸)포스페이트, 펜타에리트리톨 테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 그의 시판품으로서는, 예를 들면 알로닉스 M-309, 동 M-400, 동 M-402, 동 M-405, 동 M-450, 동 M-7100, 동 M-8030, 동 M-8060, 동 M-1310, 동 M-1600, 동 M-1960,. 동 M-8100, 동 M-8530, 동 M-8560, 동 M-9050, 동 TO-1450(이상, 도아 고세이(주) 제조), KAYARAD TMPTA, 동 DPHA, 동 DPCA-20, 동 DPCA-30, 동 DPCA-60, 동 DPCA-120(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조), 비스코트 295, 동 300, 동 360, 동 GPT, 동 3PA, 동 400(이상, 오사카 유끼 가가꾸 고교(주) 제조) 등을 들 수 있다. 이들 단관능, 2관능 또는 3관능 이상의 (메트)아크릴레이트는 단독으로 또는 조합하여 사용된다. As said trifunctional or more than (meth) acrylate, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tri (meth) acryloyloxyethyl) phosphate, pentaerythritol tetra (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc. are mentioned. As its commercially available product, for example, Alonics M-309, M-400, M-402, M-405, M-450, M-7100, M-8030, M-8060, M -1310, M-1600, M-1960, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050, TO-1450 (above, manufactured by Toa Kosei Co., Ltd.), KAYARAD TMPTA, East DPHA, East DPCA-20, East DPCA-30 , East DPCA-60, East DPCA-120 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.), Biscot 295, East 300, East 360, East GPT, East 3PA, East 400 (above, Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd. ) Production). These monofunctional, difunctional or trifunctional or more (meth) acrylates are used alone or in combination.

이들 중합성 화합물(B)의 배합량으로서는, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부가 바람직하고, 특히 바람직하게는 5 내지 50 질량부이다. (B) 성분이 5 질량부 미만인 경우, 충분한 경화성이 얻어지지 않게 된다. 한편, 100 부 이상이 된 경우, 지촉 건조성이 나빠지거나, 경화물이 약해지기 때문에 바람직하지 않다. As a compounding quantity of these polymeric compounds (B), 5-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing photosensitive resin (A), Especially preferably, it is 5-50 mass parts. When (B) component is less than 5 mass parts, sufficient sclerosis | hardenability will not be obtained. On the other hand, when it becomes 100 parts or more, since touch-drying property worsens or hardened | cured material becomes weak, it is not preferable.

상기 광 중합 개시제(C)로서는, 활성 에너지선의 조사에 의해 라디칼을 발생하는 공지된 화합물을 사용할 수 있고, 예를 들면 아세토페논, 2, 2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1, N,N-디메틸아미노아세트페논 등의 아세토페논류; 벤조페논, 메틸벤조페논, 2-클로로벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 4,4'-비스디메틸아미노벤조페논, 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논, 미힐러 케톤, 4-벤조일-4'-메틸디페닐술피드 등의 벤조페논류; 벤질, 벤조인, 벤조인 메틸에테르, 벤조인 에틸에테르, 벤조인 이소프로필에테르, 벤조인 이소부틸에테르 등의 벤조인 에테르류; 아세토페논 디메틸케탈, 벤질 디메틸케탈 등의 케탈류; 티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤 등의 티오크산톤류; 2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-tert-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논, 2-아미노안트라퀴논, 2,3-디페 닐안트라퀴논 등의 안트라퀴논류; 벤조일퍼옥시드, 쿠멘퍼옥시드 등의 유기 과산화물; 2,4,5-트리아릴이미다졸 이량체, 리보플라빈 테트라부틸레이트, 2-머캅토벤조이미다졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2-머캅토벤조티아졸 등의 티올 화합물; 2,4,6-트리스-s-트리아진, 2,2,2-트리브로모에탄올, 트리브로모메틸페닐술폰 등의 유기 할로겐 화합물; 2,4,6-트리메틸벤조일 디페닐포스핀옥시드 등을 들 수 있다. 또한, 그 밖의 예로서, 아크리딘 화합물류, 옥심에스테르류 등을 들 수 있다. 이들 화합물은 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. As said photoinitiator (C), the well-known compound which generate | occur | produces a radical by irradiation of an active energy ray can be used, For example, acetophenone, 2, 2- dimethoxy- 2-phenylacetophenone, 2, 2- Diethoxy-2-phenylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1 -[4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, N, Acetophenones, such as N-dimethylamino acetphenone; Benzophenone, methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, Michler's ketone, 4 Benzophenones such as -benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide; Benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin isobutyl ether; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Thioxanthones, such as thioxanthone, 2-chloro thioxanthone, 2, 4- dimethyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, and 2, 4- diisopropyl thioxanthone; Anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-aminoanthraquinone and 2,3-diphenyl anthraquinone; Organic peroxides such as benzoyl peroxide and cumene peroxide; Thiol compounds such as 2,4,5-triarylimidazole dimer, riboflavin tetrabutylate, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, and 2-mercaptobenzothiazole; Organic halogen compounds such as 2,4,6-tris-s-triazine, 2,2,2-tribromoethanol and tribromomethylphenyl sulfone; 2,4,6-trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide etc. are mentioned. Moreover, an acridine compound, oxime ester, etc. are mentioned as another example. These compounds may be used alone or in combination of two or more thereof.

또한, 상기와 같은 광 중합 개시제(C)는 N,N-디메틸아미노벤조산에틸에스테르, N,N-디메틸아미노벤조산이소아밀에스테르, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 트리에틸아민, 트리에탄올아민 등의 3급 아민류; β-티오디글리콜 등의 티오에테르류; (케토)쿠마린, 티오크산텐 등의 증감 색소류; 시아닌, 로다민, 사프라닌, 말라카이트 그린, 메틸렌 블루 등의 알킬 붕산염 등과 같은 광증감제 또는 촉진제의 1종 또는 2종 이상과 조합하여 사용할 수 있다. In addition, the photoinitiator (C) as described above is N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, triethylamine, triethanolamine, or the like. Tertiary amines; thioethers such as β-thiodiglycol; Sensitizing dyes such as (keto) coumarin and thioxanthene; It can be used in combination with one kind or two or more kinds of photosensitizers or accelerators such as alkyl borate salts such as cyanine, rhodamine, safranin, malachite green, methylene blue and the like.

상기 광 중합 개시제(C)의 바람직한 조합은 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-프로판-1-온(예를 들면 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조, 이루가큐어 907)과, 2-클로로티오크산톤(예를 들면 닛본 가야꾸(주) 제조 가야큐어 CTX)이나 2,4-디에틸티오크산톤(예를 들면 닛본 가야꾸(주) 제조 가야큐어 DETX), 2-이소프로필티오크산톤, 4-벤조일-4'-메틸디페닐술피드 등과의 조합이다. 또한, 상기와 같은 광 중합 개시제(C) 사용량의 바람직한 범위는, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 0.01 내지 30 질량부, 바람직하게는 0.1 내지 15 질 량부가 되는 비율이다. 광 중합 개시제의 배합 비율이 0.01 질량부 미만인 경우에는 광 경화성이 나빠지고, 한편 30 질량부보다 많은 경우에는 경화 도막의 특성이 나빠지며, 보존 안정성이 나빠지기 때문에 바람직하지 않다. Preferred combinations of the photopolymerization initiator (C) are 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one (for example, from Ciba Specialty Chemicals, Irugacure 907 and 2-chloro-thioxanthone (for example, Kayak CTX manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and 2,4-diethyl thioxanthone (for example, Nippon Kayakaku Co., Ltd.) Cure DETX), 2-isopropyl thioxanthone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide and the like. Moreover, the preferable range of the photoinitiator (C) usage-amount as mentioned above is a ratio which becomes 0.01-30 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing photosensitive resin (A), Preferably it becomes 0.1-15 mass parts. When the compounding ratio of a photoinitiator is less than 0.01 mass part, photocurability worsens, On the other hand, when it is more than 30 mass parts, the characteristic of a cured coating film worsens and storage stability worsens, and it is unpreferable.

상기 옥세탄 화합물(D)로서는, 1 분자 중에 2개 이상의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물이라면 어떠한 물질도 사용 가능하고, 특정 화합물로 한정되는 것은 아니지만, 경화물의 투명성의 점에서 후술하는 유기 용매(E)에 가용성인 것이 바람직하게 사용된다. As the oxetane compound (D), any substance may be used as long as it is an oxetane compound having two or more oxetanyl groups in one molecule, and the organic solvent (described later) in terms of transparency of the cured product ( Soluble in E) is preferably used.

2관능 옥세탄 화합물로서는, 하기 화학식 2로 표시되는 비스옥세탄류를 들 수 있다. Examples of the bifunctional oxetane compound include bisoxetanes represented by the following general formula (2).

Figure 112006008860899-pat00003
Figure 112006008860899-pat00003

(상기 화학식 2에 있어서, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타내고, R4는 산소 원자, 황 원자, 및 탄소수 1 내지 12의 선상 또는 분지상 포화 탄화수소류, 탄소수 1 내지 12의 선상 또는 분지상 불포화 탄화수소류, 하기 화학식 (I), (II), (III), (IV) 및 (V)로 표시되는 방향족 탄화수소류, 하기 화학식 (VI) 및 (VII)로 표시되는 카르보닐기를 포함하는 직쇄상 또는 환상의 알킬렌류, 하기 화학식 (VIII) 및 (IX)로 표시되는 카르보닐기를 포함하는 방향족 탄화수소류 로부터 선택되는 2개의 원자가를 갖는 기임) 그 밖의 2관능 옥세탄 화합물로서는, 카르도형, 나프탈렌형 등을 들 수 있다. (In Formula 2, R 3 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 4 represents an oxygen atom, a sulfur atom, and linear or branched saturated hydrocarbons having 1 to 12 carbon atoms, 1 to 12 carbon atoms. Linear or branched unsaturated hydrocarbons, aromatic hydrocarbons represented by the following formulas (I), (II), (III), (IV) and (V), and carbonyl groups represented by the following formulas (VI) and (VII) A linear or cyclic alkylene to be included, a group having two valences selected from aromatic hydrocarbons containing a carbonyl group represented by the following formulas (VIII) and (IX)), and other bifunctional oxetane compounds And naphthalene type.

Figure 112006008860899-pat00004
Figure 112006008860899-pat00004

(식 중, R5는 수소 원자, 탄소수 1 내지 12의 알킬기, 아릴기 또는 아랄킬기를 나타내고, R6은 -O-, -S-, -CH2-, -NH-, -SO2-, -CH(CH3)-, -C(CH3)2- 또는 -C (CF3)2-를 나타내고, R7은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타냄) (Wherein R 5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group or an aralkyl group, and R 6 represents —O—, —S—, —CH 2 —, —NH—, —SO 2 —, -CH (CH 3 )-, -C (CH 3 ) 2 -or -C (CF 3 ) 2- , and R 7 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)

Figure 112006008860899-pat00005
Figure 112006008860899-pat00005

(식 중, n은 1 내지 12의 정수를 나타냄)(Wherein n represents an integer of 1 to 12)

Figure 112006008860899-pat00006
Figure 112006008860899-pat00006

다관능 옥세탄 화합물로서는, 하기 화학식 3으로 표시되는 것과 같은 화합물 이외에, 옥세탄 알코올과 노볼락 수지, 폴리(히드록시스티렌), 칼릭스 아렌류 또는 실세스퀴옥산 등의 실리콘 수지류 등의 수산기를 갖는 수지와의 에테르화물 등을 들 수 있다. 그 밖에, 옥세탄환을 갖는 불포화 단량체와 알킬(메트)아크릴레이트와의 공중합체 등도 들 수 있다. As a polyfunctional oxetane compound, hydroxyl groups, such as oxetane alcohol, novolak resin, poly (hydroxy styrene), the calix arene, and silicone resins, such as a silsesquioxane, in addition to the compound represented by following formula (3) And etherified resins with resins. In addition, the copolymer etc. of the unsaturated monomer which has an oxetane ring, and an alkyl (meth) acrylate are mentioned.

Figure 112006008860899-pat00007
Figure 112006008860899-pat00007

(상기 화학식 3에 있어서, R3은 상기와 동일한 의미이고, R8은 상기 에테르 화물의 수산기 함유 잔기, 하기 화학식 (X), (XI) 및 (XII)로 표시되는 것과 같은 탄소수 1 내지 12의 분지상 알킬렌기, 화학식 (XIII), (XIV) 및 (XV)로 표시되는 방향족 탄화수소류이다. 또한, m은 잔기 R8이 결합하고 있는 관능기 개수를 나타내고, 3 이상의 정수, 바람직하게는 3 내지 100의 정수임)(In the above formula (3), R 3 is the same meaning as above, and R 8 is a carbon number of 1 to 12 as represented by the hydroxyl group-containing residue of the ether, the following formula (X), (XI) and (XII)) Branched alkylene groups, aromatic hydrocarbons represented by the formulas (XIII), (XIV) and (XV), and m represents the number of functional groups to which the residue R 8 is bonded, and an integer of 3 or more, preferably 3 to Is an integer of 100)

Figure 112006008860899-pat00008
Figure 112006008860899-pat00008

Figure 112006008860899-pat00009
Figure 112006008860899-pat00009

(식 중 R9는 수소 원자, 탄소수 1 내지 6의 알킬기, 치환기를 갖는 아릴기를 나타냄) (Wherein R 9 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having a substituent)

옥세탄 화합물(D)의 작용으로서는, 카르복실기 함유 감광성 수지 중의 카르복실기와 반응하여 가교 구조를 형성하는 것이며, 내약품성, 내열성이 향상된 견고한 경화물을 형성하는 것이다. 옥세탄 화합물(D)의 배합량은, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부의 비율이 적당하고, 바람직하게는 15 내지 60 질량부이다. The action of the oxetane compound (D) is to form a crosslinked structure by reacting with a carboxyl group in the carboxyl group-containing photosensitive resin to form a solid cured product having improved chemical resistance and heat resistance. As for the compounding quantity of an oxetane compound (D), the ratio of 5-100 mass parts is suitable with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing photosensitive resin (A), Preferably it is 15-60 mass parts.

옥세탄 화합물(D)와 카르복실기 함유 감광성 수지(A) 중의 카르복실기와의 반응을 촉진시키기 위해서, 이하에 나타내는 반응 촉진제를 첨가할 수도 있다. In order to accelerate reaction of the oxetane compound (D) and the carboxyl group in carboxyl group-containing photosensitive resin (A), you may add the reaction promoter shown below.

반응 촉진제로서는, 3급 아민류, 이미다졸류, 4급 오늄염류, 3급 포스핀류, 포스포늄일리드류, 아세틸아세톤 금속 착체류, 또는 크라운 에테르 착체 중에서 임의로 선택하는 것이 가능하고, 이들을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. As the reaction accelerator, it is possible to arbitrarily select among tertiary amines, imidazoles, quaternary onium salts, tertiary phosphines, phosphoniumlides, acetylacetone metal complexes, or crown ether complexes, and these alone or in combination. You may use combining a species or more.

3급 아민으로서는, 트리에틸아민, 트리부틸아민, DBU(1,8-디아자비시클로[5.4.0]운데카-7-엔), DBN(1,5-디아자비시클로[4.3.0]노나-5-엔), DABCO(1,4-디아자비시클로[2.2.2]옥탄), 피리딘, N,N-디메틸-4-아미노피리딘 등을 들 수 있다. Examples of tertiary amines include triethylamine, tributylamine, DBU (1,8-diazabicyclo [5.4.0] undeca-7-ene), DBN (1,5-diazabicyclo [4.3.0] nona -5-ene), DABCO (1,4-diazabicyclo [2.2.2] octane), pyridine, N, N-dimethyl-4-aminopyridine, etc. are mentioned.

이미다졸류로서는, 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-운데실이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 2-페닐이미다졸ㆍ이소시아누르산 부가물 등을 들 수 있다. As imidazole, imidazole, 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2 -Phenyl imidazole, 2-phenyl imidazole, isocyanuric acid adduct, etc. are mentioned.

4급 오늄염으로서는, 암모늄염, 포스포늄염, 아르소늄염, 스티보늄염, 옥소늄염, 술포늄염, 셀레노늄염, 스탄노늄염, 요오도늄염 등을 들 수 있다. 특히 바람직한 것은 암모늄염 및 포스포늄염이다. 암모늄염의 구체예로서는, 테트라 n-부틸암모늄 클로라이드(TBAC), 테트라 n-부틸암모늄 브로마이드(TBAB), 테트라 n-부틸암모늄 요오다이드(TBAI) 등의 테트라 n-부틸암모늄 할라이드나, 테트라 n-부틸암모늄 아세테이트(TBAAc) 등을 들 수 있다. 포스포늄염의 구체예로서는, 테트라 n-부틸포스포늄 클로라이드(TBPC), 테트라 n-부틸포스포늄 브로마이드(TBPB), 테트라 n-부틸포스포늄 요오다이드(TBBI) 등의 테트라 n-부틸포스포늄 할라이드, 테트라페닐포스포늄 클로라이드(TPPC), 테트라페닐포스포늄 브로마이드(TPPB), 테트라페닐포스포늄 요오다이드(TPPI) 등의 테트라페닐포스포늄 할라이드나, 에틸트리페닐포스포늄 브로마이드(ETPPB), 에틸트리페닐포스포늄 아세테이트(ETPPAc) 등을 들 수 있다. Examples of the quaternary onium salts include ammonium salts, phosphonium salts, arsonium salts, stibonium salts, oxonium salts, sulfonium salts, selenium salts, stannonium salts, and iodonium salts. Especially preferred are ammonium salts and phosphonium salts. Specific examples of the ammonium salt include tetra n-butylammonium halides such as tetra n-butylammonium chloride (TBAC), tetra n-butylammonium bromide (TBAB), tetra n-butylammonium iodide (TBAI), and tetra n-butyl Ammonium acetate (TBAAc) and the like. Specific examples of the phosphonium salt include tetra n-butylphosphonium halides such as tetra n-butylphosphonium chloride (TBPC), tetra n-butylphosphonium bromide (TBPB), tetra n-butylphosphonium iodide (TBBI), Tetraphenylphosphonium halides such as tetraphenylphosphonium chloride (TPPC), tetraphenylphosphonium bromide (TPPB), tetraphenylphosphonium iodide (TPPI), ethyltriphenylphosphonium bromide (ETPPB), ethyltriphenyl Phosphonium acetate (ETPPAc) and the like.

3급 포스핀으로서는, 탄소수 1 내지 12의 알킬기, 또는 아릴기를 갖는 3가의 유기 인 화합물을 들 수 있다. 구체예로서는 트리에틸포스핀, 트리부틸포스핀, 트리페닐포스핀 등을 들 수 있다. As tertiary phosphine, the trivalent organophosphorus compound which has a C1-C12 alkyl group or an aryl group is mentioned. Specific examples include triethyl phosphine, tributyl phosphine, triphenyl phosphine and the like.

또한, 3급 아민 또는 3급 포스핀과, 카르복실산 또는 산성이 강한 페놀과의 부가 반응에 의해 형성되는 4급 오늄염도 반응 촉진제로서 사용 가능하다. 이들은 반응계에 첨가하기 전에 4급염을 형성하거나, 또는 각각을 별도로 첨가하여 반응계 중에서 4급염을 형성시키는 어떤 방법일 수도 있다. 구체적으로는 트리부틸아민과 아세트산으로부터 얻어지는 트리부틸아민아세트산염, 트리페닐포스핀과 아세트산으 로부터 형성되는 트리페닐포스핀아세트산염 등을 들 수 있다. In addition, quaternary onium salts formed by addition reactions of tertiary amines or tertiary phosphines with carboxylic acids or highly acidic phenols can also be used as reaction accelerators. These may be any method of forming a quaternary salt prior to addition to the reaction system, or adding each separately to form a quaternary salt in the reaction system. Specifically, the tributylamine acetate obtained from tributylamine and acetic acid, the triphenyl phosphine acetate formed from triphenylphosphine and acetic acid, etc. are mentioned.

포스포늄일리드로서는, 포스포늄염과 염기와의 반응에 의해 얻어지는 화합물이라면 공지된 물질을 사용할 수 있지만, 취급 용이성 때문에 안정성이 높은 물질이 바람직하다. 구체적인 예로서는, (포르밀메틸렌)트리페닐포스핀, (아세틸메틸렌)트리페닐포스핀, (피발로일메틸렌)트리페닐포스핀, (벤조일메틸렌)트리페닐포스핀, (p-메톡시벤조일메틸렌)트리페닐포스핀, (p-메틸벤조일메틸렌)트리페닐포스핀, (p-니트로벤조일메틸렌)트리페닐포스핀, (나프토일)트리페닐포스핀, (메톡시카르보닐)트리페닐포스핀, (디아세틸메틸렌)트리페닐포스핀, (아세틸시아노)트리페닐포스핀, (디시아노메틸렌)트리페닐포스핀 등을 들 수 있다. As the phosphonium illide, any known substance can be used as long as it is a compound obtained by the reaction of a phosphonium salt with a base. However, a substance having high stability is preferable because of its ease of handling. Specific examples include (formylmethylene) triphenylphosphine, (acetylmethylene) triphenylphosphine, (pivaloylmethylene) triphenylphosphine, (benzoylmethylene) triphenylphosphine, (p-methoxybenzoylmethylene) Triphenylphosphine, (p-methylbenzoylmethylene) triphenylphosphine, (p-nitrobenzoylmethylene) triphenylphosphine, (naphthoyl) triphenylphosphine, (methoxycarbonyl) triphenylphosphine, ( Diacetyl methylene) triphenyl phosphine, (acetyl cyano) triphenyl phosphine, (dicyano methylene) triphenyl phosphine, etc. are mentioned.

아세틸아세톤 금속 착체류로서는, 아세틸아세톤 바나듐 착체, 아세틸아세톤 크롬 착체, 아세틸아세톤 망간 착체, 아세틸아세톤 철 착체, 아세틸아세톤 코발트 착체, 아세틸아세톤 니켈 착체, 아세틸아세톤 알루미늄 착체 등을 들 수 있다. Examples of the acetylacetone metal complexes include acetylacetone vanadium complexes, acetylacetone chromium complexes, acetylacetone manganese complexes, acetylacetone iron complexes, acetylacetone cobalt complexes, acetylacetone nickel complexes, and acetylacetone aluminum complexes.

이들 반응 촉진제의 사용량은 옥세타닐기 1 몰에 대하여 0.1 내지 25 몰%의 비율인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.5 내지 20 몰%의 비율이며, 보다 바람직하게는 1 내지 15 몰%의 비율이다. 반응 촉진제의 사용량이 옥세타닐기에 대하여 0.1 몰%보다 적은 비율인 경우, 실용적인 속도로 반응이 진행되기 어렵고, 한편 25 몰%를 초과하여 다량으로 존재하더라도 현저한 반응 촉진 효과는 보이지 않기 때문에, 경제성의 점에서 바람직하지 않다. It is preferable that the usage-amount of these reaction promoters is 0.1-25 mol% with respect to 1 mol of oxetanyl groups, More preferably, it is 0.5-20 mol%, More preferably, it is 1-15 mol%. . When the amount of the reaction accelerator is less than 0.1 mol% relative to the oxetanyl group, the reaction is less likely to proceed at a practical rate, and even when present in a large amount exceeding 25 mol%, no significant reaction promoting effect is observed. It is not preferable at this point.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 필요에 따라서 상기 감광성 수지 조성물을 균일하게 용해시키거나, 점도를 조정하기 위해서 (E) 유기 용매를 사용할 수 있다. 특히, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A), 1 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물(B), 광 중합 개시제(C) 및 옥세탄 화합물(D)의 각 성분을 균일하게 용해시키고, 각 성분과 반응하지 않는 것이 바람직하다. 상기 유기 용매(E)에 대한 각 성분의 용해성이 낮으면, 균일하게 용해시키는 것이 곤란해져 스페이서에 요구되는 투명성을 확보하는 것이 곤란해지기 때문에 바람직하지 않다. The photosensitive resin composition of this invention can use the (E) organic solvent in order to melt | dissolve the said photosensitive resin composition uniformly as needed, or to adjust a viscosity. In particular, each component of the said carboxyl group-containing photosensitive resin (A), the polymeric compound (B) which has at least 1 ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, a photoinitiator (C), and an oxetane compound (D) is melt | dissolved uniformly. It is preferable to make it do not react with each component. When the solubility of each component with respect to the said organic solvent (E) is low, since it becomes difficult to melt | dissolve uniformly and it becomes difficult to ensure transparency required for a spacer, it is unpreferable.

이들 유기 용매(E)의 구체예로서, 예를 들면 메탄올, 에탄올 등의 알코올류; 테트라히드로푸란 등의 에테르류; 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류; 메틸셀로솔브 아세테이트, 에틸셀로솔브 아세테이트 등의 에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르 등의 디에틸렌글리콜류; 프로필렌글리콜 메틸에테르, 프로필렌글리콜 에틸에테르, 프로필렌글리콜 프로필에테르, 프로필렌글리콜 부틸에테르 등의 프로필렌글리콜 모노알킬에테르류; 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 프로필에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 부틸에테르 아세테이트 등의 프로필렌글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 프로필렌글리콜 메틸에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 프로필에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 부틸에테르 프로피오네이트 등의 프로필렌글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; 메틸에틸케톤, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논 등의 케톤류; 및 아세트산메틸, 아세트산에 틸, 아세트산프로필, 아세트산부틸, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 히드록시아세트산메틸, 히드록시아세트산에틸, 히드록시아세트산부틸, 락트산메틸, 락트산에틸, 락트산프로필, 락트산부틸, 3-히드록시프로피온산메틸, 3-히드록시프로피온산에틸, 3-히드록시프로피온산프로필, 3-히드록시프로피온산메틸, 3-부톡시프로피온산에틸, 3-부톡시프로피온산프로필, 3-부톡시프로피온산부틸 등의 에스테르류를 들 수 있다. As a specific example of these organic solvents (E), For example, Alcohol, such as methanol and ethanol; Ethers such as tetrahydrofuran; Glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether; Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate; Diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol methyl ether, propylene glycol ethyl ether, propylene glycol propyl ether and propylene glycol butyl ether; Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate and propylene glycol butyl ether acetate; Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate and propylene glycol butyl ether propionate; Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; Ketones such as methyl ethyl ketone and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; And methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl hydroxyacetate, hydroxy Ethyl acetate, butyl hydroxyacetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, methyl 3-hydroxypropionate, 3- Esters such as ethyl butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate and butyl 3-butoxypropionate.

이들 유기 용매(E) 중에서 용해성, 각 성분과의 반응성 및 도막의 형성 용이성 때문에 글리콜에테르류, 에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트류, 에스테르류 및 디에틸렌글리콜류가 바람직하게 사용된다. 이들 유기 용매(E)는 단독으로 또는 2종류 이상 혼합하여 사용할 수 있고, 그의 사용량은 특별히 한정되지 않지만 통상 본 발명의 감광성 수지 조성물 중에 30 내지 90 질량%, 바람직하게는 40 내지 85 질량%가 되는 범위이다. Among these organic solvents (E), glycol ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, esters and diethylene glycols are preferably used because of their solubility, reactivity with each component, and ease of formation of a coating film. These organic solvents (E) can be used individually or in mixture of 2 or more types, Although the usage-amount is not specifically limited, Usually, it is 30-90 mass% in the photosensitive resin composition of this invention, Preferably it becomes 40-85 mass%. Range.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 본 발명의 목적을 손상시키지 않는 범위에서, 필요에 따라서 상기 이외에 다른 성분을 함유할 수도 있다. The photosensitive resin composition of this invention may contain other components other than the above as needed in the range which does not impair the objective of this invention.

예를 들면, 도포성을 향상시키기 위한 계면활성제를 들 수 있다. 계면활성제로서는, 불소계 계면활성제 및 실리콘계 계면활성제를 바람직하게 사용할 수 있다. 불소계 계면활성제로서는, 말단, 주쇄 및 측쇄 중 어느 하나 이상의 부위에 플루오로알킬 또는 플루오로알킬렌기를 갖는 화합물을 바람직하게 사용할 수 있고, 그의 구체예로서는, 1,1,2,2-테트라플루오로옥틸(1,1,2,2-테트라플루오로프로필)에테르, 1,1,2,2-테트라플루오로옥틸헥실에테르, 옥타에틸렌글리콜 디(1,1,2,2-테트 라플루오로부틸)에테르, 헥사에틸렌글리콜(1,1,2,2,3,3-헥사플루오로펜틸)에테르, 옥타프로필렌글리콜 디(1,1,2,2-테트라플루오로부틸)에테르, 헥사프로필렌글리콜 디(1,1,2,2,3,3-헥사플루오로펜틸)에테르, 퍼플루오로도데실술폰산나트륨, 1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-데카플루오로도데칸, 1,1,2,2,3,3-헥사플루오로데칸, 플루오로알킬벤젠술폰산나트륨, 플루오로알킬포스폰산나트륨, 플루오로알킬카르복실산나트륨, 플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르, 디글리세린테트라키스(플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르), 플루오로알킬암모늄요오다이드, 플루오로알킬베타인, 플루오로알킬폴리옥시에틸렌에테르, 퍼플루오로알킬폴리옥시에탄올, 퍼플루오로알킬알콕실레이트, 불소계 알킬에스테르 등을 들 수 있다. For example, surfactant for improving applicability | paintability is mentioned. As surfactant, a fluorochemical surfactant and silicone type surfactant can be used preferably. As the fluorine-based surfactant, a compound having a fluoroalkyl or a fluoroalkylene group at any one or more of the terminal, main chain and side chain can be preferably used, and specific examples thereof include 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether, octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) Ether, hexaethylene glycol (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di ( 1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecylsulfonate, 1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-decafluorodo Decane, 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane, sodium fluoroalkylbenzenesulfonate, sodium fluoroalkylphosphonate, sodium fluoroalkylcarboxylic acid, fluoroalkylpolyoxyethylene ether, Glycerin tetrakis (fluoroalkylpolyoxyethylene ether), fluoroalkyl ammonium iodide, fluoroalkyl betaine, fluoroalkyl polyoxyethylene ether, perfluoroalkyl polyoxyethanol, perfluoroalkyl alkoxylate And fluorine-based alkyl esters.

또한, 이들 시판품으로서는, 예를 들면 BM-1000, BM-1100(이상, BM CHEMIE 사 제조), 메가팩 F142D, 동 F172, 동 F173, 동 F183, 동 F178, 동 F191, 동 F 471(이상, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조), 플로라이드 FC170C, FC-171, FC-430, FC-431(이상, 스미또모 쓰리엠(주) 제조), 사프론 S-112, 동 S-113, 동 S-131, 동 S-l41, 동 S-145, 동 S-382, 동 SC-101, 동 SC-102, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC-106(이상, 아사히 글라스(주) 제조), 에프톱 EF301, 동 303, 동 352(이상, 신아끼다 가세이(주) 제조), 프타젠트 FT-100, 동 FT-110, 동 FT-140A, 동 FT-150, 동 FT-250, 동 FT-251, 동 FTX-251, 동 FTX-218, 동 FT-300, 동 FT-310, 동 FT-400S(이상, (주)네오스 제조) 등을 들 수 있다. 또한, 실리콘계 계면활성제로서는, 예를 들면 도레이 실리콘 DC3PA, 동 DC7PA, 동 SH11PA, 동 SH21PA, 동 SH28PA, 동 SH29PA, 동 SH30PA, 동 SH-190, 동 SH-193, 동 SZ-6032, 동 SF-8428, 동 DC-57, 동 DC-190(이상, 도레이 실리콘(주) 제조), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4452(이상, 도시바 실리콘(주) 제조), BYK-300, BYK-302, BYK-306, BYK-307, BYK-310, BYK-315, BYK-320, BYK-322, BYK-323, BYK-325, BYK-330, BYK-331, BYK-332, BYK-333, BYK-337, BYK-344, BYK-370, BYK-375(이상, 빅케미 제조) 등의 상품명으로 시판되고 있는 것을 들 수 있다. Moreover, as these commercial items, for example, BM-1000, BM-1100 (above, manufactured by BM CHEMIE Co., Ltd.), Megapack F142D, East F172, East F173, East F183, East F178, East F191, East F 471 (above, Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.), Floroid FC170C, FC-171, FC-430, FC-431 (above, Sumitomo 3M Co., Ltd.), Saffron S-112, Copper S-113, S-131, S-l41, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-106 ( Asahi Glass Co., Ltd., F-Top EF301, copper 303, copper 352 (above, Shinsegae Kasei Co., Ltd.), pgentant FT-100, copper FT-110, copper FT-140A, copper FT- 150, FT-250, FT-251, FTX-251, FTX-218, FT-300, FT-310, FT-400S (above, manufactured by Neos), and the like. . Moreover, as silicone type surfactant, Toray silicon DC3PA, copper DC7PA, copper SH11PA, copper SH21PA, copper SH28PA, copper SH29PA, copper SH30PA, copper SH-190, copper SH-193, copper SZ-6032, copper SF- 8428, copper DC-57, copper DC-190 (above, manufactured by Toray Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4452 (above, Toshiba Silicon Co., Ltd.), BYK-300, BYK-302, BYK-306, BYK-307, BYK-310, BYK-315, BYK-320, BYK-322, BYK-323, BYK-325, BYK-330, What is marketed by brand names, such as BYK-331, BYK-332, BYK-333, BYK-337, BYK-344, BYK-370, BYK-375 (made by Big Chemie), etc. are mentioned.

그 외에도, 폴리옥시에틸렌 라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌 스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌 올레일에테르 등의 폴리옥시에틸렌 알킬에테르류; 폴리옥시에틸렌 옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 노닐페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌 아릴에테르류; 폴리옥시에틸렌 디라우레이트, 폴리옥시에틸렌 디스테아레이트 등의 폴리옥시에틸렌 디알킬에스테르류 등의 비이온계 계면활성제; 오르가노실록산 중합체 KP341 (신에츠 가가꾸 고교(주) 제조), (메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No. 57, 95 (교에샤 유시 가가꾸 고교(주) 제조), BYK-352, BYK-354, BYK-355, BYK-356, BYK-357, BYK-358, BYK-359, BYK-361, BYK-390 , BYK-392(이상, 빅케미 제조) 등을 들 수 있다. 이들 계면활성제는 카르복실기 함유 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 질량부 이하, 바람직하게는 2 질량부 이하로 사용된다. 계면활성제의 양이 5 질량부를 초과한 경우에는, 도포시에 막 거칠음이 생기기 쉬워진다. In addition, polyoxyethylene alkyl ether, such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; Polyoxyethylene aryl ethers such as polyoxyethylene octylphenyl ether and polyoxyethylene nonylphenyl ether; Nonionic surfactants such as polyoxyethylene dialkyl esters such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate; Organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid-based copolymer polyflow No. 57, 95 (manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo Co., Ltd.), BYK-352, BYK-354, BYK-355, BYK-356, BYK-357, BYK-358, BYK-359, BYK-361, BYK -390, BYK-392 (above, made by Big Chemie), etc. are mentioned. These surfactant is used 5 mass parts or less, Preferably it is 2 mass parts or less with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing photosensitive resin (A). When the amount of the surfactant exceeds 5 parts by mass, film roughness tends to occur at the time of coating.

또한, 기판과의 접착성을 향상시키기 위해서 접착 조제를 사용할 수도 있다. 이러한 접착 조제로서는, 관능성 실란 커플링제가 바람직하게 사용되고, 예를 들면 카르복실기, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 등의 반응성 치환기를 갖는 실란 커플링제를 들 수 있고, 구체적으로는 트리메톡시실릴벤조산, γ-메타크 릴옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있다. 이러한 접착 조제는 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 20 질량부 이하, 바람직하게는 10 질량부 이하의 양으로 사용된다. 접착 조제의 양이 20 질량부를 초과하는 경우에는, 현상 잔여물이 생기기 쉬워진다. Moreover, in order to improve adhesiveness with a board | substrate, an adhesion | attachment adjuvant can also be used. As this adhesion | attachment adjuvant, a functional silane coupling agent is used preferably, For example, the silane coupling agent which has reactive substituents, such as a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group, an epoxy group, is mentioned, Specifically, trimethoxysilyl is mentioned. Benzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatepropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, β- (3 And 4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. Such adhesion aid is used in an amount of 20 parts by mass or less, preferably 10 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin (A). When the amount of the adhesion assistant exceeds 20 parts by mass, development residues tend to occur.

이와 같이 제조된 감광성 수지 조성물 용액은 공경 0.5 ㎛ 정도의 밀리포어 필터 등을 사용하여 여과한 후, 사용할 수도 있다. The photosensitive resin composition solution thus prepared may be used after being filtered using a Millipore filter having a pore size of about 0.5 μm or the like.

본 발명의 감광성 수지 조성물을 사용하여 패턴을 형성하는 방법으로서는, 구체적으로는, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 기판 또는 기판 상에 이전에 형성된 고체의 착색 감광성 수지 조성물층(이하, 이것을 기판 등이라 하는 경우가 있음) 위에 도포하고, 도포된 감광성 수지 조성물층으로부터 용제 등 휘발 성분을 제거하며, 포토마스크를 통해 휘발 성분이 제거된 층을 노광한 후, 현상하는 방법을 들 수 있다. As a method of forming a pattern using the photosensitive resin composition of this invention, the coloring photosensitive resin composition layer of solid which previously formed the photosensitive resin composition of this invention on a board | substrate or a board | substrate (henceforth this is called a board | substrate etc.) And a volatile component such as a solvent is removed from the applied photosensitive resin composition layer, and a layer is removed after exposing the layer from which the volatile component is removed through a photomask.

기판으로서는, 예를 들면 유리 기판, 실리콘 기판, 폴리카르보네이트 기판, 폴리에스테르 기판, 방향족 폴리아미드 기판, 폴리아미드이미드 기판, 폴리이미드 기판, Al 기판, GaAs 기판 등의 표면이 평탄한 기판을 들 수 있다. 이들 기판은 실란 커플링제 등의 약품에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 도금 처리, 스퍼터링 처리, 기상 반응 처리, 진공 증착 처리 등의 전처리가 실시되어 있을 수도 있다. 기판으로서 실리콘 기판 등을 사용하는 경우, 상기 실리콘 기판 등의 표면에 는 전하 결합 소자 (CCD), 박막 트랜지스터 (TFT) 등이 형성되어 있을 수도 있다. As a board | substrate, the board | substrate with flat surfaces, such as a glass substrate, a silicon substrate, a polycarbonate board | substrate, a polyester board | substrate, an aromatic polyamide board | substrate, a polyamideimide board | substrate, a polyimide board | substrate, Al substrate, GaAs board | substrate, is mentioned, for example. have. These substrates may be subjected to pretreatment such as chemical treatment with a chemical such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating treatment, sputtering treatment, vapor phase reaction treatment, vacuum deposition treatment, or the like. When a silicon substrate or the like is used as the substrate, a charge coupling element (CCD), a thin film transistor (TFT), or the like may be formed on the surface of the silicon substrate or the like.

상기 기판 위에 감광성 수지 조성물을 도포하기 위해서는, 예를 들면 본 발명의 감광성 수지 조성물을 회전 도포법(스핀 코팅법), 유연 도포법, 롤 도포법, 슬릿 & 스핀 코팅법, 스핀리스 코터 등의 액 절약 코터를 사용하여 도포하는 등의 공지된 도포 방법으로 기판 등의 위에 도포하고, 이어서 용제 등의 휘발 성분을 가열에 의해 휘발시킬 수 있다. 이와 같이 하여, 기판 등의 위에 감광성 수지 조성물의 고형분으로 이루어지는 층이 형성된다. 이어서, 감광성 수지 조성물의 고형분으로 이루어지는 층(이하, 이것을 감광성 수지 조성물층이라고 하는 경우가 있음)을 노광한다. 노광하는데, 예를 들면 포토마스크를 통해 선택적으로 활성 에너지선을 조사할 수 있다. 노광 광원으로서는 통상 저압 수은등, 중압 수은등, 고압 수은등, 초고압 수은등, 크세논 램프, 금속 할로겐 램프 등이 적당하다. 또한, 레이저 광선 등도 노광용 활성 에너지선으로서 사용할 수 있다. 그 밖에, 전자선, α선, β선, γ선, X선, 중성자선 등도 사용 가능하다. 활성 에너지선은 포토마스크를 통해 조사되며, 여기서 포토마스크는, 예를 들면 유리판 표면에 활성 에너지선을 차폐하는 차광층이 설치된 것이다. 유리판 중의 차광층이 설치되지 않은 부분은 활성 에너지선이 투과하는 투광부이며, 이 투광부의 패턴에 따른 패턴으로 감광성 수지 조성물층이 노광되어, 활성 에너지선이 조사되지 않은 미조사 영역과, 활성 에너지선이 조사된 조사 영역이 생긴다. 조사 영역에서의 활성 에너지선의 조사량은, 결합제 중합체의 중량 평균 분자량, 단량체비, 함유량, 광 중합성 화합물의 종류나 함유량, 광 중합 개시제의 종류나 함유량, 광중합 개시 조제의 종류나 함유량 등에 의해서 적절하게 선택된다. In order to apply the photosensitive resin composition on the substrate, for example, the photosensitive resin composition of the present invention may be a liquid such as a rotary coating method (spin coating method), a flexible coating method, a roll coating method, a slit & spin coating method, a spinless coater, or the like. It can apply | coat on board | substrates etc. by a well-known coating method, such as apply | coating using a saving coater, and can then volatilize volatile components, such as a solvent, by heating. In this way, the layer which consists of solid content of the photosensitive resin composition is formed on substrates etc. Next, the layer (henceforth this may be called photosensitive resin composition layer) which consists of solid content of the photosensitive resin composition is exposed. For example, the active energy ray can be selectively irradiated through a photomask. As an exposure light source, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultra high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp etc. are suitable normally. Moreover, a laser beam etc. can also be used as an active energy ray for exposure. In addition, electron beams, alpha rays, beta rays, gamma rays, X rays, neutron rays and the like can also be used. The active energy ray is irradiated through the photomask, wherein the photomask is provided with a light shielding layer for shielding the active energy ray, for example, on the surface of the glass plate. The part in which the light shielding layer is not provided in a glass plate is a light transmission part which an active energy ray permeate | transmits, The photosensitive resin composition layer is exposed by the pattern according to the pattern of this light transmission part, and the unirradiated area | region to which an active energy ray was not irradiated, and active energy There is an irradiation area where the line is irradiated. The irradiation amount of the active energy ray in the irradiation region is appropriately determined by the weight average molecular weight, monomer ratio, content of the binder polymer, the kind and content of the photopolymerizable compound, the kind and content of the photopolymerization initiator, the kind and content of the photopolymerization initiation aid, and the like. Is selected.

상기와 같이 노광을 행한 기판은 묽은 알칼리 수용액에 의해 현상한다. 현상하는 데에는, 예를 들면 노광 후의 감광성 수지 조성물층을 묽은 알칼리 수용액과 접촉시킬 수 있고, 구체적으로는 그 표면 상에 감광성 수지 조성물층이 형성된 상태의 기판을 묽은 알칼리 수용액에 침지하거나, 묽은 알칼리 수용액을 샤워 형태로 내뿜을 수 있다. 묽은 알칼리 수용액으로서는, 예를 들면 탄산나트륨, 탄산칼륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 테트라메틸암모늄히드록시드, 유기 아민 등의 알칼리성 화합물의 수용액 등을 들 수 있다. 현상에 의해서, 감광성 수지 조성물층 중의 활성 에너지선이 조사되지 않은 미조사 영역은 제거된다. 한편, 활성 에너지선 조사 영역은 그대로 남아 패턴을 구성한다. The substrate exposed as mentioned above is developed by the diluted alkali aqueous solution. To develop, for example, the photosensitive resin composition layer after exposure can be contacted with a diluted alkali aqueous solution, specifically, the board | substrate of the state in which the photosensitive resin composition layer was formed on the surface was immersed in the diluted alkali aqueous solution, or the diluted alkaline aqueous solution, for example. In the form of a shower. As dilute aqueous alkali solution, aqueous solution of alkaline compounds, such as sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, an organic amine, etc. are mentioned, for example. By development, the unirradiated area | region to which the active energy ray in the photosensitive resin composition layer was not irradiated is removed. On the other hand, the active energy ray irradiation area remains as it is and forms a pattern.

이와 같이 현상을 행한 기판은 통상적으로 수세하여 건조시킴으로써 목적하는 패턴을 얻을 수 있다. 건조 후 가열할 수도 있다. 패턴을 가열함으로써 경화시켜 그의 기계적 강도를 보다 향상시킬 수 있다. 가열 온도는 통상 180 ℃ 이상, 바람직하게는 200 ℃ 이상이고, 통상 250 ℃ 이하이다. 가열 온도가 180 내지 250 ℃이면, 도막의 기계 강도가 향상되고, 내용제성, 내액정성이 향상되어 바람직하다. 가열 시간은 통상 5 분 내지 120 분, 바람직하게는 10 분 내지 90 분, 더욱 바람직하게는 15 분 내지 60 분이다. 가열 시간이 5 분 내지 120 분이면, 도막의 기계 강도가 향상되어 바람직하다. 이와 같이 하여, 감광성 수지 조성물로 이루어지는 스페이서가 형성된다. The substrate which has been developed in this manner can be washed with water and dried, thereby obtaining a desired pattern. It may be heated after drying. The pattern can be cured by heating to further improve its mechanical strength. Heating temperature is 180 degreeC or more normally, Preferably it is 200 degreeC or more, and is 250 degrees C or less normally. If heating temperature is 180-250 degreeC, the mechanical strength of a coating film will improve, solvent resistance and liquid crystal resistance will improve, and it is preferable. The heating time is usually 5 minutes to 120 minutes, preferably 10 minutes to 90 minutes, more preferably 15 minutes to 60 minutes. If heating time is 5 minutes-120 minutes, the mechanical strength of a coating film will improve and it is preferable. In this way, a spacer made of the photosensitive resin composition is formed.

<실시예><Example>

이하, 본 발명을 실시예에 의해 구체적으로 설명하지만 본 발명은 이들 실시예로 한정되지 않는다. 또한, 이하에 있어서 특별히 언급이 없는 한, 「부」는 질량부를 의미하는 것이다. Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited to these Examples. In addition, "part" means a mass part unless there is particular notice below.

카르복실기 함유 감광성 수지 용액의 제조Preparation of carboxyl group-containing photosensitive resin solution

(합성예 1) Synthesis Example 1

교반기, 환류 냉각기, 온도계를 구비한 분리형 플라스크에 아조비스이소부티로니트릴 4.1 부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 286 g을 넣고, 탕욕(湯浴)에서 가열하여 내부 온도를 70 ℃로 하였다. 이것에 화학식 1로 표시되는 디시클로펜타닐메타크릴레이트 124.5 부, 스티렌 10.4 부, 글리시딜메타크릴레이트 58.9 부의 혼합물을 3 시간에 걸쳐 적하하여 중합 반응을 행하였다. 또한, 70 ℃에서 3 시간 교반하여 GPC로 미반응 단량체가 존재하지 않는 것을 확인하였다. 이 중합물에 아크릴산 31.2 부 및 트리페닐포스핀 1 부를 첨가하여 80 내지 90 ℃에서 24 시간 동안 반응시켰다. IR 스펙트럼으로 에폭시기의 소실을 확인한 후, 테트라히드로무수프탈산 60.9 부를 첨가하고, 80 ℃에서 12 시간 동안 더 반응시킴으로써 카르복실기 함유 감광성 수지(A-1) 바니스를 얻었다. 또한, 이 본 발명의 카르복실기 함유 감광성 수지(A-1)의 고형분 산가는 79 mg KOH/g이고, GPC에서의 분자량(Mw)은 18000이었다. 이 카르복실기 함유 감광성 수지(A-1) 바니스의 고형분 농도는 50 질량%였다. 4.1 parts of azobisisobutyronitrile and 286 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were put into the detachable flask provided with the stirrer, the reflux condenser, and the thermometer, and it heated in the water bath, and made internal temperature 70 degreeC. A mixture of 124.5 parts of dicyclopentanyl methacrylate, 10.4 parts of styrene, and 58.9 parts of glycidyl methacrylate represented by the formula (1) was added dropwise thereto over 3 hours to conduct a polymerization reaction. Furthermore, it stirred for 3 hours at 70 degreeC, and confirmed that there was no unreacted monomer by GPC. 31.2 parts of acrylic acid and 1 part of triphenylphosphine were added to the polymer and reacted at 80 to 90 ° C. for 24 hours. After confirming the disappearance of the epoxy group in the IR spectrum, 60.9 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added and further reacted at 80 ° C. for 12 hours to obtain a carboxyl group-containing photosensitive resin (A-1) varnish. In addition, the solid acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-1) of this invention was 79 mg KOH / g, and the molecular weight (Mw) in GPC was 18000. Solid content concentration of this carboxyl group-containing photosensitive resin (A-1) varnish was 50 mass%.

(비교 합성예 1)Comparative Synthesis Example 1

교반기, 환류 냉각기, 온도계를 구비한 분리형 플라스크에 아조비스이소부티 로니트릴 4.1 부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 125 g을 넣고, 탕욕에서 가열하여 내부 온도를 70 ℃로 하였다. 이것에 메틸메타크릴레이트 55 부, 스티렌 20.8 부, 글리시딜메타크릴레이트 42.7 부의 혼합물을 3 시간에 걸쳐 적하하여 중합 반응을 행하였다. 또한, 70 ℃에서 3 시간 동안 교반하여 GPC에서 미반응 단량체가 존재하지 않는 것을 확인하였다. 이 중합물에 아크릴산 23.4 부 및 트리페닐포스핀 0.8 부를 첨가하여 80 내지 90 ℃에서 16 시간 동안 반응시켰다. IR 스펙트럼으로 에폭시기의 소실을 확인한 후, 테트라히드로무수프탈산 45.7 부를 첨가하고, 80 ℃에서 8 시간 동안 더 반응시킴으로써, 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하지 않는 카르복실기 함유 감광성 수지(R-1) 바니스를 얻었다. 또한, 카르복실기 함유 감광성 수지(R-1)의 산가는 90 mg KOH/g이고, GPC에 의한 분자량(Mw)은 15000이었다. 이 카르복실기 함유 감광성 수지(R-1) 바니스의 고형분 농도는 60 질량%였다. 4.1 parts of azobisisobutyronitrile and 125 g of propylene glycol monomethyl ether acetates were put into the detachable flask provided with the stirrer, the reflux condenser, and the thermometer, and it heated in the water bath to make internal temperature 70 degreeC. A mixture of 55 parts of methyl methacrylate, 20.8 parts of styrene, and 42.7 parts of glycidyl methacrylate was added dropwise thereto to carry out a polymerization reaction. In addition, by stirring for 3 hours at 70 ℃ it was confirmed that there is no unreacted monomer in GPC. 23.4 parts of acrylic acid and 0.8 parts of triphenylphosphine were added to the polymerized product and reacted at 80 to 90 ° C. for 16 hours. After confirming the disappearance of the epoxy group in the IR spectrum, 45.7 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added, and further reacted at 80 ° C. for 8 hours, whereby a carboxyl group-containing photosensitive resin (R-1) varnish containing no compound represented by Formula 1 was prepared. Got it. In addition, the acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin (R-1) was 90 mg KOH / g, and the molecular weight (Mw) by GPC was 15000. Solid content concentration of this carboxyl group-containing photosensitive resin (R-1) varnish was 60 mass%.

하기에, 실시예 및 비교예에서 사용한 원재료를 표 1에 나타내었다. Below, the raw material used by the Example and the comparative example is shown in Table 1.

성분ingredient 화학명 또는 상품명Chemical name or trade name 카르복실기 함유 감광성 수지 Carboxyl group-containing photosensitive resin 합성예 1에서 얻어진 (A-1) 바니스Varnish (A-1) obtained in Synthesis Example 1 비교 합성예 1에서 얻어진 (R-1) 바니스Varnish (R-1) obtained in Comparative Synthesis Example 1 중합성 화합물Polymerizable compound 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트Dipentaerythritol hexaacrylate 광중합 개시제Photopolymerization initiator 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one 옥세탄 화합물 Oxetane compound ①크실릴렌형 디옥세탄1 ) ①xylylene-type dioxetane 1 ) ②비페닐형 디옥세탄2 ) ② biphenyl type dioxetane 2 ) ③페닐 노볼락형 옥세탄(핵체수=5)3 ) ③Phenyl novolak type oxetane (the number of nucleus bodies = 5) 3 ) 에폭시 수지 Epoxy resin ①에피코트 8284) ① Epicoat 828 4) ②EPPN-2015) ②EPPN-201 5) 유기 용매Organic solvent 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate

비고: Remarks:

1) 도아 고세이사 제조의 2관능 옥세탄 화합물(상품명: OXT-121) 1) Bifunctional oxetane compound made by Toagosei Co., Ltd. (brand name: OXT-121)

2) 우베 고산 제조의 2관능 옥세탄 화합물(상품명: Eternacoll 0XBP) 2) Bifunctional oxetane compound manufactured by Ube Koyama (brand name: Eternacoll 0XBP)

3) 도아 고세이사 제조의 다관능 옥세탄 화합물(상품명: PNOX-1009) 3) Polyfunctional oxetane compound manufactured by Toagosei Co., Ltd. (brand name: PNOX-1009)

4) 재팬 에폭시 레진사 제조의 2관능 에폭시 수지4) Bifunctional epoxy resin manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.

5) 닛본 가야꾸사 제조의 다관능 에폭시 수지5) Nippon Kayaku Co., Ltd. polyfunctional epoxy resin

(실시예 1 내지 3, 및 비교예 1 내지 4) (Examples 1 to 3, and Comparative Examples 1 to 4)

감광성 수지 조성물의 제조Preparation of Photosensitive Resin Composition

표 2에 나타낸 배합 비율로 각 성분을 배합하고 실온에서 1 시간 동안 교반하여 각 성분을 용해시킨 후, 공경 0.45 ㎛의 밀리포어 필터로 여과하여 감광성 수지 조성물(1액형 조성물)을 얻었다. Each component was mix | blended in the mixing | blending ratio shown in Table 2, and it stirred for 1 hour at room temperature, melt | dissolved each component, and filtered with the Millipore filter of 0.45 micrometer of pore diameters, and obtained the photosensitive resin composition (one-component composition).

Figure 112006008860899-pat00010
Figure 112006008860899-pat00010

(1) 해상성의 평가(1) evaluation of resolution

유리 기판 상에 스핀 코터를 사용하여 회전수 1000 rpm에서 20 초 동안, 상기 감광성 수지 조성물 용액을 도포한 후, 90 ℃에서 3 분간 핫 플레이트 상에서 예비베이킹하여 건조 도막을 형성하였다. 상기에서 얻어진 도막에 Φ10 ㎛의 도트 패턴의 마스크를 통해 365 nm에서의 강도가 12 mW/cm2인 자외선을 적산 광량으로 100 mJ/cm2 조사하였다. 이 때의 자외선 조사는 산소 분위기하(공기 중)에서 행하고, 노광 갭은 100 ㎛였다. 이어서, 테트라메틸암모늄히드록시드 0.4 질량% 수용액을 사용하여 25 ℃에서 120 초간 현상한 후, 순수한 물로 30 초간 유수 세정하였다. 상기에서 형성된 스페이서 패턴을 오븐 중, 230 ℃에서 60 분간 가열하여 경화시켰다. The photosensitive resin composition solution was applied on the glass substrate at a rotational speed of 1000 rpm for 20 seconds using a spin coater, and then prebaked at 90 ° C. for 3 minutes on a hot plate to form a dry coating film. The coating film obtained above was irradiated with 100 mJ / cm <2> of ultraviolet-rays with the intensity of 12 mW / cm <2> in 365 nm through the mask of the dot pattern of (phi) 10micrometer by accumulated light quantity. The ultraviolet irradiation at this time was performed in oxygen atmosphere (in air), and the exposure gap was 100 micrometers. Subsequently, it developed for 120 second at 25 degreeC using the tetramethylammonium hydroxide 0.4 mass% aqueous solution, and wash | cleaned with flowing water for 30 second with pure water. The spacer pattern formed above was cured by heating at 230 ° C. for 60 minutes in an oven.

상기에서 얻어진 스페이서 패턴으로써 도트 직경 10 ㎛의 패턴이 해상되어 있는 경우를 ○, 해상되어 있지 않은 경우를 ×라 하였다. 결과를 표 3에 나타내었다. (Circle) and the case where it was not resolved were made into the case where the pattern of 10 micrometers of dot diameters are resolved as the spacer pattern obtained above. The results are shown in Table 3.

(2) 내NMP성의 평가(2) Evaluation of NMP Resistance

유리 기판 상에 스핀 코터를 사용하여 회전수 1000 rpm에서 20 초 동안, 상기 감광성 수지 조성물 용액을 도포한 후, 90 ℃에서 3 분간 핫 플레이트 상에서 예비베이킹하여 건조 도막을 형성하였다. 상기에서 얻어진 도막의 전체 면에 365 nm에서의 강도가 12 nW/cm2인 자외선을 적산 광량으로 100 mJ/cm2 조사하였다. 이 때의 자외선 조사는 산소 분위기하(공기 중)에서 행하고, 노광 갭은 100 ㎛였다. 그 후 오븐 중, 230 ℃에서 60 분간 가열하여 경화시켰다. The photosensitive resin composition solution was applied on the glass substrate at a rotational speed of 1000 rpm for 20 seconds using a spin coater, and then prebaked at 90 ° C. for 3 minutes on a hot plate to form a dry coating film. The whole surface of the coating film obtained above was irradiated with 100 mJ / cm <2> of ultraviolet-rays with an intensity of 12 nW / cm <2> in 365 nm in accumulated light quantity. The ultraviolet irradiation at this time was performed in oxygen atmosphere (in air), and the exposure gap was 100 micrometers. Then, it hardened | cured by heating for 60 minutes at 230 degreeC in oven.

상기 경화 도막을 N-메틸-2-피롤리돈(NMP)을 침투시킨 천 조각으로 문질러 표면 상태를 관찰하였다. 전혀 변화가 없는 경우를 ○, 표면이 용해 또는 연화되어 흠집이 난 경우를 ×라 하였다. The cured coating film was rubbed with a piece of cloth infiltrated with N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) to observe the surface state. (Circle) and the case where the surface melt | dissolved or softened and the case where there was no change were made into x.

(3) 내γ-부티로락톤성(3) γ-butyrolactone resistance

상기 (2)와 동일하게 제조한 경화 도막을, γ-부티로락톤을 침투시킨 천 조각으로 문질러 표면 상태를 관찰하였다. 전혀 변화가 없는 경우를 ○, 표면이 용해 또는 연화되어 흠집이 난 경우를 ×라 하였다. The surface condition was observed by rubbing the cured coating film manufactured similarly to said (2) with the piece of cloth which permeated (gamma) -butyrolactone. (Circle) and the case where the surface melt | dissolved or softened and the case where there was no change were made into x.

(4) 투명성의 평가(4) evaluation of transparency

상기 (2)와 동일하게 제조한 경화 도막을 육안으로 관찰하여 투명성 평가를 행하였다. 완전히 투명한 경우를 ○, 약간이라도 도막에 흐림이 있어 불투명한 경우를 ×라 하였다. The cured coating film manufactured similarly to said (2) was observed visually, and transparency evaluation was performed. (Circle) and the case where the coating film had a blur and were opaque even if it was completely transparent were made into x.

(5) 압축 강도 (5) compressive strength

막 두께 5 ㎛, 도트 직경 30 ㎛의 패턴을 형성하고, 230 ℃에서 60 분 동안 열 경화시킨 스페이서 패턴을 미소 경도계를 사용하여 평가하였다. 직경 50 ㎛의 평면 압자에 의해 50 mN의 하중을 가하였을 때의 변형량을 측정하였다. 이 수치가 0.6 이하인 경우를 ○, 0.6보다 큰 경우를 ×라 하였다. A pattern having a film thickness of 5 mu m and a dot diameter of 30 mu m was formed, and the spacer pattern thermally cured at 230 deg. C for 60 minutes was evaluated using a microhardness meter. The amount of deformation when a 50 mN load was applied by a plane indenter having a diameter of 50 µm was measured. (Circle) and the case larger than 0.6 were made into the case where this value is 0.6 or less.

(6) 보존 안정성(6) storage stability

상기 감광성 수지 조성물을 40 ℃의 오븐 중에서 14 일간 보존하여, 겔화 내지 현저한 점도 상승을 보인 경우를 ×, 점도 상승이 근소하며 겔화되지 않은 것을 ○이라 하였다. The case where the said photosensitive resin composition was preserve | saved for 14 days in 40 degreeC oven, and showed gelation-the remarkable viscosity rise was made into x and the viscosity rise was small and it was not gelatinized.

상기 시험 결과를 표 3에 통합하여 나타내었다. The test results are shown in Table 3.

Figure 112006008860899-pat00011
Figure 112006008860899-pat00011

표 3에 표시되는 결과로부터 명백한 바와 같이, 본 발명의 감광성 수지 조성물인 실시예 1 내지 3은 우수한 보존 안정성을 나타냄과 동시에, 그의 경화물은 우수한 내약품성 및 압축 강도를 나타내고, 투명성을 갖는 것이 밝혀졌다. As is apparent from the results shown in Table 3, Examples 1 to 3, which are the photosensitive resin compositions of the present invention, exhibited excellent storage stability, and their cured products exhibited excellent chemical resistance and compressive strength, and were found to have transparency. lost.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 가교 성분으로서 옥세탄 화합물을 포함하는 경화계이기 때문에 보존 안정성이 우수하고, 얻어지는 경화물은 충분한 내열성, 내약품성을 갖는다. 즉, 본 발명의 감광성 수지 조성물은, 종래의 가교 성분으로서 에폭시 수지를 사용하는 경우보다 보존 안정성이 뒤떨어진다는 문제가 없고, 내열성, 내약품성 등의 다양한 특성이 우수한 경화물을 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은, 투명성이 우수한 경화물을 제공하기 때문에 스페이서나 평탄화 막 등의 용도에 효과적이다. 또한, 보존 안정성이 우수하기 때문에 작업성이 우수하고, 또한 수명이 다된 감광성 수지 조성물의 폐기를 감소시킬 수 있 는 등, 경제성의 점에서도 매우 유용하다. 즉, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 따르면, 보존 안정성이 우수하기 때문에 사용 직전의 2액 혼합의 수고가 생략되어 작업성이 우수한 1액형 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다. Since the photosensitive resin composition of this invention is a hardening system containing an oxetane compound as a crosslinking component, it is excellent in storage stability, and the hardened | cured material obtained has sufficient heat resistance and chemical resistance. That is, the photosensitive resin composition of this invention does not have a problem that storage stability is inferior to the case of using an epoxy resin as a conventional crosslinking component, and can form hardened | cured material excellent in various characteristics, such as heat resistance and chemical-resistance. Moreover, since the photosensitive resin composition of this invention provides the hardened | cured material excellent in transparency, it is effective for uses, such as a spacer and a planarization film. Moreover, since it is excellent in storage stability, it is very useful also from an economic point, such as being excellent in workability and reducing the disposal of the photosensitive resin composition which reached end of life. That is, according to the photosensitive resin composition of this invention, since the trouble of the two-liquid mixing immediately before use is skipped because it is excellent in storage stability, the one-component photosensitive resin composition excellent in workability can be provided.

Claims (6)

(A) 1 분자 중에 카르복실기와 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 겸비하는 카르복실기 함유 감광성 수지, (B) 1 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물, (C) 광 중합 개시제, 및 (D) 1 분자 중에 2개 이상의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물을 함유하는 조성물이며, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A)가 하기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 공중합 성분으로서 함유하는 카르복실기 함유 감광성 수지인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. (A) carboxyl group-containing photosensitive resin which has a carboxyl group and 2 or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, (B) polymeric compound which has 1 or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, (C) photoinitiator, and (D) A composition containing an oxetane compound having two or more oxetanyl groups in one molecule, wherein the carboxyl group-containing photosensitive resin (A) contains a compound having an unsaturated double bond represented by the following formula (1) as a copolymerization component: It is a carboxyl group-containing photosensitive resin, The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned. <화학식 1><Formula 1>
Figure 112007023426312-pat00013
Figure 112007023426312-pat00013
(식 중, x는 0 내지 2의 정수를 나타내고, R1은 수소 또는 메틸기를 나타내고, R2는 디시클로펜타디엔 또는 트리시클로데칸을 나타냄) (Wherein x represents an integer of 0 to 2, R 1 represents hydrogen or a methyl group, and R 2 represents dicyclopentadiene or tricyclodecane)
(A) 1 분자 중에 카르복실기와 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 겸비하는 카르복실기 함유 감광성 수지, (B) 1 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물, (C) 광 중합 개시제, 및 (D) 1 분자 중에 2개 이상의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물을 함유하는 조성물이며, 상기 카르복실기 함유 감광성 수지(A)가 하기 화학식 1로 표시되는 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 공중합 성분으로서 함유하는 카르복실기 함유 감광성 수지인 것을 특징으로 하는 표시 패널용 감광성 수지 조성물. (A) carboxyl group-containing photosensitive resin which has a carboxyl group and 2 or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, (B) polymeric compound which has 1 or more ethylenically unsaturated bond in 1 molecule, (C) photoinitiator, and (D) A composition containing an oxetane compound having two or more oxetanyl groups in one molecule, wherein the carboxyl group-containing photosensitive resin (A) contains a compound having an unsaturated double bond represented by the following formula (1) as a copolymerization component: It is carboxyl group-containing photosensitive resin, The photosensitive resin composition for display panels characterized by the above-mentioned. <화학식 1><Formula 1>
Figure 112007023426312-pat00014
Figure 112007023426312-pat00014
(식 중, x는 0 내지 2의 정수를 나타내고, R1은 수소 또는 메틸기를 나타내고, R2는 디시클로펜타디엔 또는 트리시클로데칸을 나타냄) (Wherein x represents an integer of 0 to 2, R 1 represents hydrogen or a methyl group, and R 2 represents dicyclopentadiene or tricyclodecane)
제1항에 있어서, 상기 중합성 화합물(B)의 배합량이 상기 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부, 상기 광 중합 개시제(C)의 배합량이 상기 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 0.01 내지 30 질량부, 상기 옥세탄 화합물(D)의 배합량이 상기 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. The compounding quantity of the said polymeric compound (B) is 5-100 mass parts with respect to 100 mass parts of said photosensitive resin (A), and the compounding quantity of the said photoinitiator (C) is 100 said photosensitive resin (A) 100 0.01-30 mass parts with respect to mass part, and the compounding quantity of the said oxetane compound (D) is 5-100 mass parts with respect to 100 mass parts of said photosensitive resin (A), The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned. 제2항에 있어서, 상기 중합성 화합물(B)의 배합량이 상기 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부, 상기 광 중합 개시제(C)의 배합량이 상기 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 0.01 내지 30 질량부, 상기 옥세탄 화합물(D)의 배합량이 상기 감광성 수지(A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. The compounding quantity of the said polymeric compound (B) is 5-100 mass parts with respect to 100 mass parts of said photosensitive resin (A), and the compounding quantity of the said photoinitiator (C) is 100 said photosensitive resin (A) 100 0.01-30 mass parts with respect to mass part, and the compounding quantity of the said oxetane compound (D) is 5-100 mass parts with respect to 100 mass parts of said photosensitive resin (A), The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 도포ㆍ건조하는 도막 형성 공정, 상기 도막 형성 공정을 거쳐 얻어진 도막에 선택적으로 활성 에너지선을 조사하는 광 경화 처리 공정, 광 경화 처리 공정 후에 알칼리 현상액을 사용하여 미조사 부분을 제거하여 패턴을 얻는 알칼리 현상 공정, 및 상기 알칼리 현상 공정에서 얻어진 패턴을 가열ㆍ경화하는 공정을 거쳐 얻어지는 경화물. The photocuring process of apply | coating and drying the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4, the photocuring process of selectively irradiating an active energy ray to the coating film obtained through the said coating film formation process, and photocuring process The hardened | cured material obtained through the alkali developing process of removing the unirradiated part using an alkali developing solution after a process, and obtaining a pattern, and the process of heating and hardening the pattern obtained by the said alkali developing process. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 사용하여 얻어지는 표시 패널용 스페이서.The spacer for display panels obtained using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4.
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