KR100734285B1 - 하드 디스크 드라이브의 마이크로-액츄에이터 조립체와이를 구비한 헤드 짐발 조립체 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 하드 디스크 드라이브의 마이크로-액츄에이터 조립체를 제공한다. 개시된 마이크로-액츄에이터 조립체는, 제1 마이크로-액츄에이터를 포함한다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터는, 제1 스테이터에 결합된 제1 피벗 스프링 쌍과, 제2 스테이터에 결합된 제2 피벗 스프링 쌍과, 중심 가동부에 결합된 제1 플렉셔 스프링 쌍 및 제2 플렉셔 스프링 쌍과, 중심 가동부에 결합된 피치 스프링 쌍을 포함한다. 상기 중심 가동부는 읽기-차동 신호 쌍 경로와 쓰기-차동 신호 쌍 경로를 포함하고, 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로는 슬라이더에 읽기 차동 신호 쌍을 제공하며, 쓰기-차동 신호 쌍 경로는 상기 슬라이더에 쓰기 차동 신호 쌍을 제공한다. 마이크로-액츄에이터 조립체는, 상기 중심 가동부와 전기적으로 상호 작용하는 제3 스테이터와 제4 스테이터를 포함하는 제2 마이크로-액츄에이터를 더 구비할 수 있다. 상기 제2 마이크로-액츄에이터 조립체는 슬라이더의 비행고를 검출하는 센서로서 작용할 수 있다.
Description
도 1a는 하드 디스크 드라이브 내에서 슬라이더와 결합하는 본 발명에 따른 마이크로-액츄에이터 조립체를 보여주며;
도 1b는 제1 마이크로-액츄에이터를 포함하는 도 1a의 마이크로-액츄에이터 조립체를 보여주며;
도 2는 횡방향 콤브 액츄에이터로서 작용하는 도 1b의 제1 마이크로-액츄에이터를 보여주며;
도 3은 측방향 콤브 액츄에이터로서 작용하는 도 1b의 제1 마이크로-액츄에이터를 보여주며;
도 4는 수직 콤브 드라이브를 형성하는 제3 스테이터, 중심 가동부 및 제4 스테이터를 포함하는 도 1a, 도 2 및 도 3의 제2 마이크로-액츄에이터를 보여주며;
도 5는 읽기-차동 신호 쌍 경로와 쓰기-차동 신호 쌍 경로를 포함하는 도 1b, 도 2, 도 3 및 도 4의 중심 가동부를 보여주며;
도 6은 제1 핑거 어레이와 제2 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 피치 스프링 쌍을 보여주며;
도 7과 도 8은 읽기-차동 신호 쌍 경로와 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합된 피치 스프링 쌍과, 제1 플렉셔 스프링 쌍 및 제2 플렉셔 스프링 쌍의 조합들을 보여주며;
도 9는 제1 핑거 어레이와 제2 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 제1 플렉셔 상부 스프링과 제2 플렉셔 하부 스프링을 보여주며;
도 10은 제3 핑거 어레이와 제4 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 피치 스프링 쌍 중 적어도 하나를 보여주며;
도 11은 제3 핑거 어레이와 제4 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 제1 플렉셔 상부 스프링과 제2 플렉셔 하부 스프링을 보여주며;
도 12a는 슬라이더, 플렉셔 및 로드 빔을 결합하고 읽기-쓰기 헤드로의 전기적 결합을 제공하는 본 발명에 따른 마이크로-액츄에이터 조립체를 포함하는 헤드 짐발 조립체를 보여주며;
도 12b는 보이스 코일 액츄에이터에 포함되고 액츄에이터 아암과 결합된 도 12a의 헤드 짐발 조립체를 포함하는 부분적으로 조립된 하드 디스크 드라이브를 보여주며;
도 13은 도 12a의 헤드 짐발 조립체를 가진 액츄에이터 조립체를 포함하는 도 12b의 보이스 코일 액츄에이터를 구비한 하드 디스크 드라이브를 보여주며;
도 14는 보이스 코일 액츄에이터를 포함하는 도 12a 및 도 13의 하드 디스크 드라이브의 주요 구성 요소의 분해 사시도이며;
도 15a는 제2 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 피치 상부 스프링과 제1 핑 거 어레이에 전기적으로 결합된 피치 하부 스프링을 보여주며;
도 15b는 제1 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 제1 플렉셔 상부 스프링과 제2 핑거 어레이에 전기적으로 결합된 제2 플렉셔 하부 스프링을 보여주며;
도 16은 도 12b에 도시된 바와 같이 회전하는 디스크의 표면 위로 읽기-쓰기 헤드를 포지셔닝하고 억세스 하는 데에 있어서, 내장된 인쇄 회로 기판, 보이스 코일 액츄에이터의 구성 요소 및 마이크로-액츄에이터 조립체 사이의 전기적 상호 작용의 예를 보여준다.
본 발명은 하드 디스크 드라이브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회전하는 디스크 표면 위에 슬라이더를 포지셔닝하기 위한 마이크로-액츄에이터 조립체와 이를 구비한 헤드 짐발 조립체에 관한 것이다.
현재의 디스크 드라이브는 읽기-쓰기 헤드를 회전하는 디스크의 표면상의 트랙 가까이에 포지셔닝하기 위해 보이스 코일 액츄에이터를 구동하는 서보 제어기를 포함한다. 상기 읽기-쓰기 헤드는 서보 제어기와 통신하며 피드백을 제공하는데, 이 피드백은 읽기-쓰기 헤드의 트랙 가까이로의 포지셔닝을 제어하는데 사용된다. 상기 읽기-쓰기 헤드는 슬라이더에 탑재되며, 이 슬라이더는 회전하는 디스크 표면 위에 매우 짧은 간격을 가진 얇은 공기 베어링 상에서 부유한다.
보이스 코일 액츄에이터는 전통적으로 슬라이더와 그 읽기-쓰기 헤드를 회전 하는 디스크 표면 위로 포지셔닝 하는 작용을 한다. 상기 보이스 코일 액츄에이터는 전형적으로 서보-제어기에 응답하여 적어도 하나의 액츄에이터 아암을 선회시키는 보이스 코일을 포함한다. 각 액츄에이터 아암은 전형적으로 슬라이더에 내장된 읽기-쓰기 헤드를 포함하는 적어도 하나의 헤드 짐발 조립체를 가진다. 상기 보이스 코일 액츄에이터에 있어서 상기 헤드 짐발 조립체는 액츄에이터 아암에 결합된다.
하드 디스크 드라이브는 하나 또는 그 이상의 디스크를 가질 수 있다. 각 디스크는 사용되는 두 개까지의 디스크 표면을 가질 수 있다. 사용되는 각 디스크 표면은 필요한 액츄에이터 아암과 함께 관련된 슬라이더를 가진다. 상기 하드 디스크 드라이브는 전형적으로 단 하나의 보이스 코일 액츄에이터를 가진다.
오늘날, 서보 제어기 피드백 루프의 대역폭(bandwidth), 또는 서보 대역폭은 전형적으로 1.1 KHz의 범위 내에 있다. 보다 큰 대역폭은 서보-제어기의 감도(sensitivity)를 증가시켜서 트랙 포지셔닝이 보다 미세하도록 보이스 코일 액츄에이터를 구동한다. 부가하여, 보다 큰 대역폭은 보이스 코일 액츄에이터가 트랙 위치를 변화시키기 위한 시간을 감소시킨다. 그러나, 서보 대역폭을 증가시키는 것은 어려워서, 최근에는 현저하게 향상되고 있지 않다. 면적 밀도가 증가함에 따라, 트랙 포지셔닝을 향상시킬 필요가 증가하고 있다.
이러한 필요에 대한 하나의 해법은 각 헤드 짐발 조립체 내에 마이크로-액츄에이터를 통합시키는 것에 관련된다. 이러한 마이크로-액츄에이터들은 종종 납, 지르코늄 및 텅스텐을 포함하는 전형적인 압전 합성 물질로 이루어진 소자들이다. 압 전 효과는 전력의 인가를 통해 기계적 동작을 발생시킨다. 슬라이더와 액츄에이터 아암 사이의 레버를 통해 작용하는 마이크로-액츄에이터의 압전 효과는, 회전하는 디스크 표면의 트랙 위에서 읽기-쓰기 헤드를 이동시킨다.
상기 마이크로-액츄에이터는 전형적으로 하나 또는 두 개의 와이어를 통해 서보-제어기에 의해 제어된다. 상기 와이어들을 통해 마이크로-액츄에이터를 전기적으로 자극하는 것은 압전 효과에 기인하여 기계적 동작을 유발한다. 상기 마이크로-액츄에이터는 보이스 코일 액츄에이터에 미세한 포지셔닝 능력을 부가하며, 이는 서보 대역폭을 효과적으로 확장한다.
현재, 마이크로-액츄에이터는 산업계의 유년기에 있다. 하드 디스크 드라이브 내에 사용하기 위한 마이크로-액츄에이터를 형성하기 위해 슬라이더를 압전 소자에 결합하는 실용 가능하고, 신뢰성 있으며 원가가 저렴한 메커니즘이 필요하다. 압전 소자들을 마이크로-액츄에이터로 사용하는 데에는, 그들이 얼마나 작아질 수 있느냐에 한계가 있다는 문제점이 있다. 점차 미세한 작동이 요구되는데 비해, 압전 효과로는 이러한 요구에 맞추어 슬라이더를 효과적으로 이동시킬 수 없다.
따라서, 하드 디스크 드라이브 내에서 정전 메커니즘을 이용하여 슬라이더를 이동시킬 수 있는 나노 크기(nanoscale)의 작동이 가능한 마이크로-액츄에이터가 필요하게 되었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 특히 슬라이더의 미세한 제어가 가능한 마이크로-액츄에이터 조립체와 이를 구 비한 헤드 짐발 조립체를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 마이크로-액츄에이터 조립체는,
하드 디스크 드라이브의 슬라이더에 결합되는 마이크로-액츄에이터 조립체에 있어서,
제1 스테이터에 결합된 제1 피벗 스프링 쌍과, 제2 스테이터에 결합된 제2 피벗 스프링 쌍과, 중심 가동부에 결합된 제1 플렉셔 스프링 쌍 및 제2 플렉셔 스프링 쌍과, 상기 중심 가동부에 결합된 피치 스프링 쌍을 포함하는 제1 마이크로-액츄에이터를 구비하며;
상기 중심 가동부는 읽기-차동 신호 쌍 경로와 쓰기-차동 신호 쌍 경로를 포함하고, 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로는 상기 슬라이더에 읽기 차동 신호 쌍을 제공하며, 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로는 상기 슬라이더에 쓰기 차동 신호 쌍을 제공하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍과 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로에 결합되고, 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍은 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 결합될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍과 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍 과 상기 피벗 스프링 쌍은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 피치 상부 스프링과, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍과, 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍 중 제2 플렉셔 상부 스프링은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합될 수 있다. 한편, 상기 피치 상부 스프링과, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍 중 제1 플렉셔 하부 스프링과, 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍 중 제2 플렉셔 상부 스프링은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합될 수도 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 스테이터와 상기 중심 가동부에 마련된 제1 핑거 어레이 사이에 제공된 정전력에 의해, 상기 중심 가동부가 상기 제1 스테이터에 대해 이동하며, 상기 제2 스테이터와 상기 중심 가동부에 마련된 제2 핑거 어레이 사이에 제공된 정전력에 의해, 상기 중심 가동부가 상기 제2 스테이터에 대해 이동하도록 된 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 마이크로-액츄에이터는 측방향 콤브 드라이브 또는 횡방향 콤브 드라이브로서 작용할 수 있다.
본 발명에 따른 마이크로-액츄에이터 조립체는, 상기 중심 가동부와 전기적으로 상호 작용하는 제3 스테이터와 제4 스테이터를 포함하는 제2 마이크로-액츄에이터를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제2 마이크로-액츄에이터는 수직 콤브 드라이브 또는 비틀림 드라이브로서 작용할 수 있다. 또한, 상기 제2 마이크로-액츄에이터는 상기 슬라이더의 비행고를 검출하는 센서로서 작용할 수 있다.
그리고, 상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체는,
읽기-쓰기 헤드를 탑재한 슬라이더;
상기 슬라이더를 지지하는 플렉셔; 및
상기 슬라이더와 플렉셔 사이에 배치되어 상기 슬라이더를 상기 플렉셔에 결합하는 것으로, 상기한 마이크로-액츄에이터 조립체;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.
도 1a를 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로-액츄에이터 조립체(200)는 슬라이더(100)를 로드 빔(90) 상의 플렉셔(80)와 결합하기 위한 것이다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)는, 도 1b에 도시된 바와 같이, 제1 마이크로-액츄에이터(220)를 포함한다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)는, 제1 스테이터(230)에 결합된 제1 피벗 스프링 쌍(402, 408)과, 제2 스테이터(250)에 결합된 제2 피벗 스프링 쌍(400, 406)과, 중심 가동부(central movable section, 300)에 결합된 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416) 및 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418)과, 상기 중심 가동부(300)에 결합된 피치 스프링 쌍(420, 422)을 포함한다. 상기 중심 가동부(300)는, 도 16에 도시된 바와 같이, 슬라이더(100)에 탑재된 읽기-쓰기 헤드(10)의 읽기 차동 신호 쌍(R+-)과 쓰기 차동 신호 쌍(W+-)에 결합되는 신호 쌍 경로들을 포 함한다.
상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)는 측방향 모션(lateral motion)을 제공할 수 있으며, 이는 회전하는 디스크(도 12b의 180 참조) 표면상의 적은 수의 트랙들 위에 상기 읽기-쓰기 헤드(10)를 포지셔닝 하기 위해 미세하게 제어될 수 있다. 상기 측방향 모션은 상기 중심 가동부(300)와 정전기적으로 상호 작용하는 제1 스테이터(230)와 제2 스테이터(250)로부터 유발되는 제1 기계적 자유도(degree of freedom)를 가진다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 측방향 콤브 드라이브로서 작용하거나, 또는 도 4에 도시된 바와 같이 횡방향 콤브 드라이브로서 작용한다.
상기 중심 가동부(300)는 상기 읽기-쓰기 헤드(10)를 포지셔닝 할 뿐만 아니라, 도 5, 도 7, 도 8 및 도 16에 도시된 바와 같이, 읽기-쓰기 헤드 신호들을 위한 통로로서의 역할을 한다. 상기 중심 가동부(300)의 이러한 성질은 마이크로-액츄에이터 조립체(200)가 더 작고 더 가벼워질 수 있도록 한다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)의 전기적 자극은 그 몇몇의 스프링들을 통해 제공된다.
상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)는 제3 스테이터(500)와 제4 스테이터(550)를 포함하는 제2 마이크로-액츄에이터(520)를 더 포함할 수 있다. 상기 제3 스테이터(500)와 제4 스테이터(550) 모두는 상기 중심 가동부(300)와 정전기적으로 상호 작용한다. 이러한 상호 작용은 상기 슬라이더(100)가 제2 기계적 자유도로 움직일 수 있도록 하며, 이는 슬라이더(100)의 비행고를 제어할 수 있도록 한다. 상기 제2 마이크로-액츄에이터(520)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 수직 콤브 드라이 브로 작용할 수 있으며, 또는 비틀림 드라이브로 작용할 수도 있다. 상기 제2 마이크로-액츄에이터(520)는 모션 검출(motion sensing)을 제공할 수도 있으며, 이는 억세스된 회전하는 디스크(180) 표면과의 충돌을 나타낼 수 있다.
상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)는 마이크로 전기 기계적 시스템(MEMS; MicroElectroMechanical System) 기술을 사용하여 제조될 수 있으며, 하드 디스크 드라이브(도 12b의 1000 참조) 내에서 움직임과, 전기 신호의 전송과, 가능한 모션 검출을 제공하는 MEMS 장치로 간주될 수 있다. 본 발명은 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)의 다양한 실시예들을 포함하는 헤드 짐발 조립체(도 12a 60 참조), 액츄에이터 아암(도 13의 50 참조), 액츄에이터 조립체(도 13의 158 참조), 보이스 코일 액츄에이터(도 13의 118 참조) 및 하드 디스크 드라이브(1000)를 포함한다.
도 1b는 제1 마이크로-액츄에이터(220)를 포함하는 도 1a의 마이크로-액츄에이터 조립체(200)를 보여준다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)는 제1 스테이터(230)에 결합된 제1 피벗 스프링 쌍(402, 408)을 포함한다. 상기 제1 피벗 스프링 쌍(402, 408)은 제1 피벗 상부 스프링(408)과 제1 피벗 하부 스프링(402)을 포함한다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)는 제2 스테이터(250)에 결합된 제2 피벗 스프링 쌍(400, 406)을 포함한다. 상기 제2 피벗 스프링 쌍(400, 406)은 제2 피벗 상부 스프링(406)과 제2 피벗 하부 스프링(400)을 포함한다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터(220)는 중심 가동부(300)에 결합된 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416)과 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418)을 포함한다. 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416) 은 제1 플렉셔 상부 스프링(416)과 제1 플렉셔 하부 스프링(410)을 포함한다. 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418)은 제2 플렉셔 상부 스프링(418)과 제2 플렉셔 하부 스프링(412)을 포함한다. 상기 중심 가동부(300)에 결합된 피치 스프링 쌍(420, 422)은 피치 상부 스프링(422)과 피치 하부 스프링(420)을 포함한다.
도 2는 횡방향 콤브 액츄에이터로서 작용하는 도 1b의 제1 마이크로-액츄에이터를 보여주며, 도 3은 측방향 콤브 액츄에이터로서 작용하는 도 1b의 제1 마이크로-액츄에이터를 보여준다. 도 1b, 도 2 및 도 3에 있어서, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)는 제3 스테이터(500)와 제4 스테이터(550)를 더 포함할 수 있으며, 이들은 중심 가동부(300)와 정전기적으로 상호 작용하여 제2 마이크로-액츄에이터(520)를 형성한다.
도 4는 수직 콤브 드라이브를 형성하는 제3 스테이터(500), 중심 가동부(300) 및 제4 스테이터(550)를 포함하는 도 1b, 도 2 및 도 3의 제2 마이크로-액츄에이터(520)를 보여준다.
본 기술 분야의 기술자들은 제3 스테이터(500), 중심 가동부(300) 및 제4 스테이터(550)를 포함하는 도 1b, 2 및 3의 제2 마이크로-액츄에이터(520)는 수직 비틀림 드라이브를 형성할 수 있다는 것을 이해할 것이다.
도 5는 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)와 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)를 포함하는 도 1b, 도 2, 도 3 및 도 4의 중심 가동부(300)를 보여준다. 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)는 제1 읽기-차동 신호(430)와 제2 읽기-차동 신호(432)를 포함한다. 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)는, 도 16에 도시된 바와 같이, 슬라이더(100)에 결합하는 읽기 차동 신호 쌍(R+-)을 제공하기 위해 사용된다. 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)는 제1 쓰기-차동 신호(436)와 제2 쓰기-차동 신호(438)를 포함한다. 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)는 슬라이더(100)에 결합하는 쓰기 차동 신호 쌍(W+-)을 제공하기 위해 사용된다.
상기 중심 가동부(300)는, 도 1b 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416), 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418) 및 피치 스프링 쌍(420, 422)에 의해, 도 1a에 도시된 바와 같이, 플렉셔(80) 및/또는 로드빔(90)에 결합된다. 이러한 스프링들은 바람직하게는 도전성의 탄성 재료로 제조된다. 이 탄성 재료로서 바람직하게는 스테인레스 강이 사용될 수 있다. ㅂ이 스프링들의 적어도 몇몇은 바람직하게는 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)와 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)를 상기 플렉셔(80)에 제공하기 위해 사용된다.
도 1a 내지 도 3, 도 5, 도 7 및 도 8의 본딩 블록(210)을 통해 도 1a의 읽기-쓰기 헤드(10)와 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432) 및 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)가 전기적으로 결합될 수 있다. 상기 본딩 블록(210)은 상기 중심 가동부(300)를 읽기-쓰기 헤드(10)가 내장된 슬라이더(100)에 기계적으로 결합한다. 상기 읽기-쓰기 헤드(10)는 슬라이더(100)에 포함된 공기 베어링 면(도 1a의 20 참조) 상에 또는 가까이에 내장된다.
상기 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416)과 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)와 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)에 집합적으로 결합된다. 한편, 도 5의 다른 예로서, 상기 제1 플렉 셔 스프링 쌍(410, 416)은 읽기-차동 신호 쌍(430, 432)에 결합되고, 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 428)은 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 있어서, 상기한 경로들과 스프링들은 어떠한 조합으로도 결합될 수 있다.
도 6은 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)에 전기적으로 결합된 피치 스프링 쌍(420, 422)을 보여준다. 상기 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)는 각각 상기 중심 가동부(300)의 양측 가장자리를 따라 배열된다. 그리고, 상기 제1 스테이터(230)와 제2 스테이터(250) 각각에는 상기 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)에 대응하는 제1 스테이터 핑거 어레이(212-1 ~ 212-7)와 제2 스테이터 핑거 어레이(252-1 ~ 252-7)가 마련된다. 도 6에 도시된 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)는 각각 6개의 핑거들을 포함하지만, 이는 예시적인 것으로서 6개 보다 적거나 많은 핑거들을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 도 1b 내지 도 3에 도시된 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-12)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-12)는 각각 12개의 핑거들을 포함할 수 있다. 그리고, 도 1b 내지 도 3에 도시된 제1 스테이터 핑거 어레이(212-1 ~ 212-11)와 제2 스테이터 핑거 어레이(252-1 ~ 252-11)는 각각 11개의 핑거들을 포함할 수 있다.
도 7과 도 8은 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)와 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)에 집합적으로 결합된 피치 스프링 쌍(420, 422)과 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416) 및 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418)의 조합들을 보여준다. 본 발명에 있어서, 상기 중심 가동부(300)에 결합되는 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432) 및 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)와 6개의 스프링들은 어떠한 조합으로도 서로 결합될 수 있다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432) 중 제1 읽기-차동 신호(430)는 제1 플렉셔 하부 스프링(410)에 결합되고, 제2 읽기-차동 신호(432)는 피치 상부 스프링(422)에 결합될 수 있다. 그리고, 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438) 중 제1 쓰기-차동 신호(436)는 제1 플렉셔 상부 스프링(416)에 결합되고, 제2 쓰기-차동 신호(438)는 제2 플렉셔 상부 스프링(418)에 결합될 수 있다. 다른 예로서, 도 8을 참조하면, 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432) 중 제1 읽기-차동 신호(430)는 제1 플렉셔 하부 스프링(410)에 결합되고, 제2 읽기-차동 신호(432)는 피치 상부 스프링(422)에 결합될 수 있다. 그리고, 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438) 중 제1 쓰기-차동 신호(436)는 피치 하부 스프링(420)에 결합되고, 제2 쓰기-차동 신호(438)는 제2 플렉셔 상부 스프링(418)에 결합될 수 있다.
도 9는 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)에 전기적으로 결합된 제1 플렉셔 상부 스프링(416)과 제2 플렉셔 하부 스프링(412)을 보여준다. 한편, 도시되지는 않았지만, 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)와 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)는 제1 플렉셔 하부 스프링(410)과 제2 플렉셔 상부 스프링(418)에 전기적으로 결합될 수도 있다.
도 10은 제3 핑거 어레이(312-1 ~ 312-6)와 제4 핑거 어레이(314-1 ~ 314-6)에 전기적으로 결합된 피치 스프링 쌍(420, 422) 중 적어도 하나, 예컨대 피치 상 부 스프링(422)을 보여준다. 한편, 본 발명에 있어서, 피치 상부 스프링(422)과 피치 하부 스프링(420) 모두가 제3 핑거 어레이(312-1 ~ 312-6)와 제4 핑거 어레이(314-1 ~ 314-6)에 전기적으로 결합될 수도 있다. 상기 제3 핑거 어레이(312-1 ~ 312-6)와 제4 핑거 어레이(314-1 ~ 314-6)는 각각 상기 중심 가동부(300)의 양측 가장자리를 따라 배열된다. 그리고, 상기 제3 스테이터(500)와 제4 스테이터(550) 각각에는 상기 제3 핑거 어레이(312-1 ~ 312-6)와 제4 핑거 어레이(314-1 ~ 314-6)에 대응하는 제3 스테이터 핑거 어레이(512-1 ~ 512-7)와 제4 스테이터 핑거 어레이(552-1 ~ 552-7)가 마련된다.
도 11은 제3 핑거 어레이(312-1 ~ 312-6)와 제4 핑거 어레이(314-1 ~ 314-6)에 전기적으로 결합된 제1 플렉셔 상부 스프링(416)과 제2 플렉셔 하부 스프링(412)을 보여준다. 한편, 본 발명에 있어서, 제1 플렉셔 하부 스프링(410)과 제2 플렉셔 상부 스프링(418)이 제3 핑거 어레이(312-1 ~ 312-6)와 제4 핑거 어레이(314-1 ~ 314-6)에 전기적으로 결합될 수도 있다.
도 12a는 슬라이더(100), 플렉셔(80) 및 로드 빔(90)을 결합하고 읽기-쓰기 헤드(10)로의 전기적 결합을 제공하는 본 발명에 따른 마이크로-액츄에이터 조립체(200)를 포함하는 헤드 짐발 조립체(60)를 보여준다. 상기 슬라이더(100)는 공기 베어링 면(20) 상에 탑재된 읽기-쓰기 헤드(10)를 포함한다.
도 12b는 보이스 코일 액츄에이터(118)에 포함되고 액츄에이터 아암(50)과 결합된 도 12a의 헤드 짐발 조립체(60)를 포함하는 부분적으로 조립된 하드 디스크 드라이브(1000)를 보여준다.
도 13은 도 12a의 헤드 짐발 조립체(60)를 가진 액츄에이터 조립체(158)를 포함하는 도 12b의 보이스 코일 액츄에이터(118)를 구비한 하드 디스크 드라이브(1000)를 보여준다. 상기 보이스 코일 액츄에이터(118)는 하나 또는 그 이상의 플렉셔 케이블을 통해 하나 또는 그 이상의 헤드 짐발 조립체(60, 62, 64, 66)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 가요성 회로(2200)는 제2 플렉셔를 통해 제2 헤드 짐발 조립체(62)에 결합될 수 있으며, 제3 플렉셔를 통해 제3 헤드 짐발 조립체(64)에 결합될 수 있고, 또한 제4 플렉셔를 통해 제4 헤드 짐발 조립체(66)에 결합될 수 있다.
도 13에 있어서, 액츄에이터 조립체(158)에는 다수의 액츄에이터 아암(50, 52, 54, 56)을 포함할 수 있으며, 다수의 액츄에이터 아암(50, 52, 54, 56)은 다수의 헤드 짐발 조립체(60, 62, 64, 66)을 가질 수 있다. 한편, 예를 들어 제2 액츄에이터 아암(52)에는 제2 헤드 짐발 조립체(62)와 제3 헤드 짐발 조립체(64)가 결합될 수 있다. 이러한 제2 액츄에이터 아암(52)은 제조 비용을 최소화하는데 바람직하다. 또한, 상기 제2 액츄에이터 아암(52)은 바람직하게는 회전하는 디스크(180)의 양 표면들(미도시)에 억세스할 수 있으며, 이에 따라 하드 디스크 드라이브(1000)의 전체 신뢰성을 더 향상시킬 수 있다.
도 12b와 도 13에 있어서, 상기 하드 디스크 드라이브(1000)는 보이스 코일 액츄에이터(118)를 구비한다. 상기 보이스 코일 액츄에이터(118)는 적어도 하나의 액츄에이터 아암(50)을 포함하며, 전술한 바와 같이, 부가적인 액츄에이터 아암들(52, 54, 56)을 포함할 수 있다. 상기 디스크(180)는 스핀들(170)의 둘레를 회전한 다.
도 12b에 있어서, 상기 액츄에이터 조립체(158)는 액츄에이터 피벗(116) 둘레를 선회한다. 상기 액츄에이터 조립체(158)는 보이스 코일(114)에 결합된 액츄에이터 아암(50)을 포함한다. 상기 보이스 코일(114)이 시변화 전기적 신호에 의해 전기적으로 자극되면, 보이스 코일 요크(120)에 부착된 고정된 자석과 유도적으로 상호 작용하여 액츄에이터 아암(50)이 액츄에이터 피벗(116)을 통해 레버 동작으로 선회하도록 한다. 전형적으로, 상기 고정된 자석은 두 개의 부분으로 구성되며, 하나는 상부 보이스 코일 요크(120)에 부착되고 다른 하나는 하부 보이스 코일 요크(122)에 부착된다. 상기 액츄에이터 아암(50)이 선회함에 따라, 상기 헤드 짐발 조립체(60)는 회전하는 디스크(180)의 표면을 가로질러 이동된다. 이는 상기 슬라이더(100)의 포지셔닝을 제공하고, 결과적으로 읽기-쓰기 헤드(10)를 특정 트랙 위로 포지셔닝 하게 된다.
도 14는 보이스 코일 액츄에이터(118)를 포함하는 도 12a 및 도 13의 하드 디스크 드라이브(1000)의 주요 구성 요소의 분해 사시도이다. 상기 하드 디스크 드라이브(1000)는, 도 12b에 도시된 바와 같이, 바람직하게는 상기 보이스 코일 액츄에이터(118)가 장착되는 디스크 베이스(112)를 더 포함한다. 스핀들 모터(160)는 바람직하게는 스핀들(170)을 통해 디스크(180)를 회전 구동한다. 상기 하드 디스크 드라이브(1000)는 도 13에 도시된 제2 액츄에이터 아암(52)이 제2 헤드 짐발 조립체(52)를 포지셔닝 하는 제2의 디스크(182)를 더 포함할 수 있다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)에 의한 읽기-쓰기 헤드(10)의 포지셔닝뿐만 아니라 보이스 코일(114) 및 액츄에이터 아암(50)과의 상호 작용을 통한 포지셔닝을 제어하기 위해 내장된 인쇄 회로 기판(2000)이 사용된다. 상기 디스크 베이스(112)에는 디스크(180, 182) 및 스핀들 모터(160) 등을 덮는 커버(2210)가 결합된다.
도 15a는 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)에 전기적으로 결합된 피치 상부 스프링(422)과 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)에 전기적으로 결합된 피치 하부 스프링(420)을 보여준다. 한편, 본 발명에 있어서, 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)는 피치 하부 스프링(420)에 전기적으로 결합되고, 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)가 피치 상부 스프링(422)에 전기적으로 결합될 수 있다.
도 15b는 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)에 전기적으로 결합된 제1 플렉셔 상부 스프링(416)과 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)에 전기적으로 결합된 제2 플렉셔 하부 스프링(412)을 보여준다. 한편, 본 발명에 있어서, 제1 핑거 어레이(302-1 ~ 302-6)는 제1 플렉셔 하부 스프링(410)에 전기적으로 결합되고, 제2 핑거 어레이(304-1 ~ 304-6)는 제2 플렉셔 상부 스프링(418)에 전기적으로 결합될 수 있다.
도 15a와 도 15b에 도시된 실시예들은 제2 마이크로-액츄에이터(520)를 포함하지 않는 마이크로-액츄에이터 조립체(200)에 특히 유용하다.
도 16은 하드 디스크 드라이브(1000) 내에서의 전기적 상호 작용의 예를 보여준다. 구체적으로, 도 12b에 도시된 바와 같이 회전하는 디스크(180)의 표면 위로 읽기-쓰기 헤드(10)를 포지셔닝하고 억세스 하는 데에 있어서, 하드 디스크 드라이브(1000) 내에서의 도 14의 내장된 인쇄 회로 기판(2000), 보이스 코일 액츄에 이터(118)의 구성 요소 및 마이크로-액츄에이터 조립체(200) 사이의 전기적 상호 작용을 보여준다. 상기 내장된 인쇄 회로 기판(2000)은 바람직하게는 적어도 하나의 컴퓨터(2100), 적어도 하나의 채널 인터페이스(2140), 적어도 하나의 마이크로-액츄에이터 인터페이스(2010), 서보-제어기(2030) 및 보이스 코일 드라이버(2250)를 포함한다. 상기 하드 디스크 드라이브(1000)의 전체 작동은 전형적으로 프로그램 시스템(2128)에 의해 지시된다. 상기 프로그램 시스템(2128)은 메모리(2120) 내에 저장된 프로그램 단계들을 포함한다. 상기 메모리(2120)는 상기 컴퓨터(2100)에 억세스 가능하게 결합된다.
도 16에 있어서, 상기 컴퓨터(2100)는 상기 채널 인터페이스(2140)와 상호 통신한다. 상기 컴퓨터(2100)는 서보-제어기(2030)와도 상호 통신한다. 전형적으로, 상기 채널 인터페이스(2140)는 상기 서보-제어기(2030)에 위치 피드백 신호(2034)를 제공한다. 상기 위치 피드백 신호(2034)는 바람직하게는 위치 에러 신호(PES)를 포함할 수 있다. 상기 위치 피드백 신호(2034)는 바람직하게는 슬라이더(100)를 이동시키기 위해 컴퓨터(2100), 서보-제어기(2030), 보이스 코일 액츄에이터(118) 및 마이크로-액츄에이터 조립체(200)에 의해 형성된 동적 제어 시스템 내에서 사용된다.
보다 상세하게는, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)에 의해 제공된 미세한 모션 제어는 바람직하게는 상기 슬라이더(100)를 특정 트랙 가까이의 적은 수의 이웃 트랙들 위로 포지셔닝 한다. 예를 들어, 이웃 트랙들의 수는 20 보다 작을 수 있으며, 바람직하게는 10 보다 작을 수도 있고, 더욱 바람직하게는 대략 5일 수 있다.
도 16에 있어서, 상기 플렉셔(80) 내의 마이크로-액츄에이터 제어 신호 번들(2310) 내에는 제1 도전성 트레이스가 있을 수 있다. 상기 마이크로-액츄에이터 제어 신호 번들(2310)은 제2 도전성 트레이스를 더 포함할 수 있다. 상기 가요성 회로(2200)는 바람직하게는 읽기 차동 신호 쌍(R+-) 및 쓰기 차동 신호 쌍(R+-)과 결합하는 읽기-쓰기 전치증폭기(2222)를 포함한다. 상기 읽기 및 쓰기 차동 신호 쌍들은 슬라이더(10) 내의 읽기-쓰기 헤드(10)와 결합한다. 가요성 컨넥터(2226)는 바람직하게는 인쇄 회로 기판 컨넥터(2230)에 결합될 수 있다. 상기 컨넥터들(2230, 2226)은 읽기-쓰기 전치증폭기(2222)와 채널 인터페이스(2140) 사이에 마이크로-액츄에이터 제어 및 전치증폭기 신호의 상호 통신을 제공한다. 상기 마이크로-액츄에이터 인터페이스(2010)는 인쇄 회로 기판 컨넥터(2230)에 마이크로-액츄에이터 구동 신호 번들(2014)을 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 하나 이상의 플렉셔가 있을 수 있으며, 상기 마이크로-액츄에이터 제어 신호 번들은 각각 공유된 신호 번들을 통해 전도될 수 있다.
도 16에 있어서, 상기 컴퓨터(2100)는 바람직하게는 채널 인터페이스(2140)와 서보-제어기(2030)에 명령을 하달한다. 상기 서보-제어기(2030)는 커플링(2032)을 사용하여 컴퓨터(2100)와 상호 통신한다. 상기 서보-제어기(2030)는 바람직하게는 서보-컴퓨터를 포함할 수 있다. 여기에 사용된 컴퓨터는 명령 프로세서를 포함할 것이지만, 여기에 한정되지는 않는다. 상기 명령 프로세서는 적어도 하나의 명 령 프로세싱 요소와 적어도 하나의 데이터 프로세싱 요소를 가지며, 각 데이터 프로세싱 요소는 적어도 하나의 명령 프로세싱 요소에 의해 제어된다. 컴퓨터는 또한 적어도 하나의 유한 상태 기계, 적어도 하나의 추론 엔진 및/또는 적어도 하나의 뉴럴 네트워크를 가질 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다.
상기 마이크로-액츄에이터 조립체(200)는 아래의 방법으로 헤드 짐발 조립체(60)에 결합된다. 상기 중심 가동부(300)는 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416)과 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418)에 의해 플렉셔(80)에 결합된다. 상기 중심 가동부(300)는 플렉셔(80) 및/또는 로드 빔(90)에 의해 피치 스프링 쌍(420, 422)을 통해 헤드 짐발 조립체(60)에 결합된다. 상기 제1 스테이터(230)는 플렉셔(80) 및/또는 로드 빔(90)에 결합될 수 있는 제1 피벗 스프링 쌍(402, 408)에 의해 헤드 짐발 조립체(60)에 결합된다. 상기 제2 스테이터(250)는 플렉셔(80) 및/또는 로드 빔(90)에 의해 제2 피벗 스프링 쌍(400, 406)에 의해 헤드 짐발 조립체(60)에 결합된다.
도 16에 도시된 바와 같이, 상기 읽기-쓰기 헤드(10)는 하드 디스크 드라이브(1000)와 회전하는 디스크(180)의 표면 사이에서 통신하기 위해 읽기 차동 신호 쌍(R+-)과 쓰기 차동 신호 쌍(W+-)을 사용한다. 상기 읽기 차동 신호 쌍(R+-)은 중심 가동부(300)를 가로지르는 읽기-차동 신호 쌍 경로(430, 432)를 통해 전기적으로 전도된다. 상기 쓰기 차동 신호 쌍(W+-)은 중심 가동부(300)를 가로지르는 쓰기-차동 신호 쌍 경로(436, 438)를 통해 전기적으로 전도된다. 이들은 상기 중심 가동부(300)를 가로질러 가요성 회로(2200) 상에 위치한 읽기-쓰기 전치증폭기(2222)에 전도된다. 상기 읽기-쓰기 전치증폭기(2222)는 컨넥터들(2230, 2226)을 가로질 러 채널 인터페이스(2140)까지의 전치증폭기 신호의 상호 통신을 제공한다. 상기 컴퓨터(2100)에 상호 통신 가능하도록 결합된 상기 채널 인터페이스(2140)는 회전하는 디스크(180)의 표면상의 데이터를 읽고 데이터를 쓰기 위해 사용된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, MEMS 기술에 의해 제조된 마이크로-액츄에이터 조립체에 의해 슬라이더의 보다 미세한 제어가 가능하게 된다.
본 기술분야의 기술자들은 본 발명의 범위와 사상을 벗어나지 않고서도 설명된 바람직한 실시예에 대한 다양한 적용예들과 변형예들이 구성될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구범위 내에서 여기에서 특별히 설명된 것과는 다르게 실행될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
Claims (14)
- 하드 디스크 드라이브의 슬라이더에 결합되는 마이크로-액츄에이터 조립체에 있어서,제1 스테이터에 결합된 제1 피벗 스프링 쌍과, 제2 스테이터에 결합된 제2 피벗 스프링 쌍과, 중심 가동부에 결합된 제1 플렉셔 스프링 쌍 및 제2 플렉셔 스프링 쌍과, 상기 중심 가동부에 결합된 피치 스프링 쌍을 포함하는 제1 마이크로-액츄에이터를 구비하며;상기 중심 가동부는 읽기-차동 신호 쌍 경로와 쓰기-차동 신호 쌍 경로를 포함하고, 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로는 상기 슬라이더에 읽기 차동 신호 쌍을 제공하며, 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로는 상기 슬라이더에 쓰기 차동 신호 쌍을 제공하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 플렉셔 스프링 쌍과 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 2항에 있어서,상기 제1 플렉셔 스프링 쌍은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로에 결합되고, 상 기 제2 플렉셔 스프링 쌍은 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 2항에 있어서,상기 제1 플렉셔 스프링 쌍과 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍과 상기 피벗 스프링 쌍은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 4항에 있어서,상기 피치 스프링 쌍 중 피치 상부 스프링과, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍과, 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍 중 제2 플렉셔 상부 스프링은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 4항에 있어서,상기 피치 스프링 쌍 중 피치 상부 스프링과, 상기 제1 플렉셔 스프링 쌍 중 제1 플렉셔 하부 스프링과, 상기 제2 플렉셔 스프링 쌍 중 제2 플렉셔 상부 스프링은 상기 읽기-차동 신호 쌍 경로와 상기 쓰기-차동 신호 쌍 경로에 집합적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 스테이터와 상기 중심 가동부에 마련된 제1 핑거 어레이 사이에 제공된 정전력에 의해, 상기 중심 가동부가 상기 제1 스테이터에 대해 이동하며,상기 제2 스테이터와 상기 중심 가동부에 마련된 제2 핑거 어레이 사이에 제공된 정전력에 의해, 상기 중심 가동부가 상기 제2 스테이터에 대해 이동하도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 마이크로-액츄에이터는 측방향 콤브 드라이브로서 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 마이크로-액츄에이터는 횡방향 콤브 드라이브로서 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 1항에 있어서,상기 중심 가동부와 전기적으로 상호 작용하는 제3 스테이터와 제4 스테이터를 포함하는 제2 마이크로-액츄에이터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 10항에 있어서,상기 제2 마이크로-액츄에이터는 수직 콤브 드라이브로서 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 10항에 있어서,상기 제2 마이크로-액츄에이터는 비틀림 드라이브로서 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 제 10항에 있어서,상기 제2 마이크로-액츄에이터는 상기 슬라이더의 비행고를 검출하는 센서로서 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로-액츄에이터 조립체.
- 읽기-쓰기 헤드를 탑재한 슬라이더;상기 슬라이더를 지지하는 플렉셔; 및상기 슬라이더와 플렉셔 사이에 배치되어 상기 슬라이더를 상기 플렉셔에 결합하는 것으로, 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 마이크로-액츄에이터 조립체;를 구비하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체.
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