KR100730385B1 - 자성박막을 이용한 맥진 센서 - Google Patents

자성박막을 이용한 맥진 센서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 자성체로 형성된 피부접촉부 상부에 GMR 소자 또는 MTJ 소자 등 자계 센서를 이용하여 센서부 어레이를 구성함으로써, 센서의 집적도를 증가시키고 맥진 부위 탐색에 걸리는 시간을 최소화시키며 휴대 가능한 맥진기 등에 광범위하게 응용될 수 있는 자성박막을 이용한 비침습적 의학용 맥진 센서에 관한 것이다.
자성박막, 맥진 센서, GMR, MTJ, 맥진기

Description

자성박막을 이용한 맥진 센서{A pulsimeter sensor using magnetic thin films}
도 1은 종래 맥진 센서의 단면을 나타낸 도면이고,
도 2는 전통 맥진법에 의하여 진단되는 맥상의 특성을 나타내는 도면이고,
도 3은 본 발명에 의한 맥진 센서의 단면을 나타낸 도면이고,
도 4는 본 발명의 단위 셀에 대한 전기적 접속을 보여주는 도면이고,
도 5는 본 발명의 단위 셀의 외부 자계 변화에 대한 전기적 동작특성을 보여주는 도면이고,
도 6은 본 발명의 맥파감지센서부 어레이 형태의 일 실시예를 보여주는 도면이고,
도 7은 본 발명의 맥파감지센서부 어레이의 또 다른 형태로 구현하기 위한 단위 셀의 단면을 보여주는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 피부접촉부 20 : 맥파감지센서부
22 : 단위 셀 30 : 이격공간부
222, 228 : 도전층 224 : 가변강자성층
225 : 비자성층 226 : 고정강자성층
본 발명은 자성박막을 이용한 맥진 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자성체로 형성된 피부접촉부 상부에 GMR(Giant Magneto Resistance : 거대자기저항) 소자 또는 MTJ(Magnetic Tunnel Junction : 자기터널접합) 소자를 이용하여 센서부 어레이를 구성함으로써, 요골동맥의 맥동이 상기 피부접촉부의 자성체로 전달되어 상기 어레이 하단에 자계 변화를 초래하게 되는데, 이러한 자계 변화를 센서부 어레이에서 감지하여 역으로 상기 동맥의 맥파를 비침습적으로 측정하는 의학용 맥진 센서에 관한 것이다.
현재 의학용으로 이용되고 있는 맥 검출센서는 대부분 혈관내에 튜브를 주입하여 혈액의 압력 변화를 직접 검출하도록 되어 있는 침습적 센서이거나 압력 센서를 이용한 비침습적 센서이다.
특히, 압력 센서를 이용한 맥 검출센서는 비침습적이라는 이유로 많은 연구가 되어져 왔고, 그 중에는 한국특허공개번호 제2001-0028668호(의학용 맥진 센서), 한국특허공개번호 제2002-0096224호(자동맥진기) 및 한국등록실용신안 제20-0358195(맥파측정장치) 등이 있다.
상기 한국특허공개번호 제2001-0028668호(의학용 맥진 센서)는 도 1에서와 같이 요골동맥 상부 피부에 밀착되어 맥파 진동에 따른 공기층의 압력변화를 감지 하도록 상기 공기층을 밀폐시키는 실리콘막(1), 상기 공기층의 압력변화를 전달하는 실리콘겔(2), 상기 실리콘겔에 의해 전달되는 압력변화를 측정하는 압력측정판(3)으로 이루어진 압력감지부를 포함하는 압력감지센서(4)와; 상기 압력감지부의 크기에 맞게 구멍이 뚫려 상기 압력감지부를 감싸고 상기 압력감지센서(4)의 전면에 부착되어 상기 압력감지센서(4)가 피진단자의 피부에 고정되게 하는 실리콘고무(5)와; 상기 압력감지센서(4)의 후면에 부착되어 후면에서 가변하여 가해지는 압력을 상기 압력감지센서(4)를 통해 피진단자의 피부에 전달하는 강화플라스틱판(6)을 포함하여 구성함으로써, 상기 압력측정판(3) 앞에 상기 실리콘막(1)과 실리콘겔(2)를 두어 종전 맥 감지부위가 금속이어서 인체에 주는 차가운 느낌과 불필요한 자극을 제거한 효과는 있으나, 불필요하게 공기층을 밀폐시키고 밀폐된 공기층의 압력변화를 간접적으로 압력측정판에 전달하여 정확한 맥을 측정할 수 없었고 사람마다 다른 맥의 위치를 정확히 짚어내어 신속한 측정이 불가능한 문제점이 있었다.
상기의 문제점을 개선하고 한의사가 맥진하는 방식을 그대로 기계적으로 구현하기 위해 즉, 요골동맥 상의 관상돌기를 "관"으로, 상기 관에서 손바닥쪽으로 1 ~ 1.3 cm 떨어진 곳을 "촌"으로, 상기 관에서 팔꿈치쪽으로 1 ~ 1.3 cm 떨어진 곳을 "척"으로 분류하고, 검진자의 중지를 중심으로 3개의 손가락을 피검진자의 상기 "촌", "관", "척" 부위에 대고 손가락에 약간 힘을 가한 상태("부"라 함), 더 큰 힘을 가한 상태("중"라 함), 힘을 약간 푼 상태("침"이라 함)로 나누어 맥파를 측정하던 종래 방식을 하나의 압력 센서로 기계적으로 구현하거나(한국특허공개번호 제2002-0096224호), 3개의 압력 센서로 상기 "촌", "관", "척" 부위를 동시에 측정 하고자 하였다(한국등록실용신안 제20-0358195).
그러나, 상기 기술들은 모두 압전소자 등 압력센서를 이용한 것이어서 다음과 같은 문제점들이 있어왔다.
첫째로, 상기 압력센서에 의한 맥압의 변화량(파형) 측정으로 맥의 시간적 특성은 어느 정도 파악할 수 있었으나, 전통적 맥진에서 보다 중요한 맥이 감지되는 깊이, 감지되는 넓이, 감지되는 길이 등 맥의 공간적 특성(맥의 3차원 형상)은 상기 기술로 파악하기 어렵다는 문제점이 있다.
따라서, 도 2와 같이, 전통적 맥진에서 다루는 28종의 맥상 중에서 상기 기술로 파악할 수 있는 맥상은 시간적 특성에 관련된 7종(지맥, 삭맥, 활맥, 삽맥, 촉맥, 결맥, 대맥)에 불과하여 검진자가 직접 하는 전통적 맥진을 대체하는 것에는 일정한 한계가 있어왔다.
둘째로, 상기 압력센서 기술을 이용하여 맥의 공간적 특성을 파악하기 위한 제품들이 최근 만들어지고 있으나, 압력센서의 공간적 배치(집적도)에 한계가 있어 과도한 보간(interpolation)을 통해 맥의 최소한의 공간적 정보를 얻을 수밖에 없다는 문제점이 있다.
셋째로, 맥의 공간적 특성을 제대로 계측하기 위해서는 센서가 요골동맥 위치를 정확히 찾아야 하나, 단지 수개의 압력센서로 상기 동맥의 중심을 제대로 찾을 수 없어 맥진 부위 탐색에 상당한 시간이 소요되는 문제점이 있다.
넷째로, 압력센서의 특성상 움직임 잡음에 취약하여 착용한 채 맥상 측정이 불가능하여 휴대용 기기에로의 응용에 한계가 있다는 문제점이 있다.
마지막으로, 대부분의 압력센서는 강체로 구성된 측정수단에 구비됨으로써, 측정시 인가압력에 의한 통증이 유발되는 문제점이 있다.
상기와 같은 종래의 압력센서를 이용한 맥 검출센서가 갖는 문제점들을 근본적으로 해결하기 위하여 본 발명에서는 자성박막을 이용한 맥진 센서를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 맥진 센서는, 도 3과 같이, 맥파를 측정하고자 하는 위치의 피부에 접촉되는 자성체로 형성된 피부접촉부(10)와; 상기 피부접촉부 상부에 일정거리 이격하여 2 이상의 자성 박막층을 단위 셀(22)로 형성된 어레이 형태의 맥파감지센서부(20)와; 상기 피부접촉부(10)와 상기 맥파감지센서부(20) 사이에 소정의 공간을 이루는 이격공간부(30)를 포함하여 구성되는 자성박막을 이용한 것을 특징으로 한다.
이하에서는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 피부접촉부(10)의 자성체는 맥의 진동에 따라 위치변동을 용이하게 할 수 있는 서브-마이크론(sub-micron) 크기의 자성 나노 비드(bead) 형태의 나노 자성입자나 소형 영구자석으로 이루어진 초박형 자성체로 구현할 수 있 다.
여기서, 상기 나노 자성입자는 Co, Fe3O4 또는 Fe2O3 로 하는 것이 바람직하고, 초박형 자성체로 할 경우에는 리본형 자성 패드나 소형 원판 자성 칩으로 하는 것이 바람직하다. 이때, 리본형 자성 패드는 3 mm 떨어진 곳에서도 200 ~ 300 Oe 정도의 자계 세기를 갖는 플라스틱 자석인 것이 보다 바람직하고, 그 크기는 상기 맥파감지센서부(20)에 따라 결정되나 일 예로 폭 1.0 mm, 길이 12 mm인 5줄의 줄무늬로 형성할 수 있다. 이 경우 자성 패드의 줄무늬 홈으로 상기 피부접촉부(10)를 고정시킬 수 있는 장점이 있다.
특히, 상기 피부접촉부(10)의 피부와 접촉되는 접촉면은 피부면 모양이 압박받지 않도록 부드러운 재질로 제작함이 바람직하다.
다음, 본 발명의 맥파감지센서부(20) 어레이의 단위 셀(22)은 GMR 소자 또는 MTJ 소자이라면 어떤 구조를 갖는 것이라도 본 발명의 구성요소로 이용될 수 있다.
이들 소자에 대해서는 이미 반도체 메모리 제조 업체 등에 의하여 차세대 기억소자로 많은 연구가 되어왔다(미국특허번호 제5206590호, 미국특허번호 제5650958호 등). 따라서, 여기서는 본 발명에 관련되는 내용만 간단히 언급한다.
본 발명의 단위 셀(22)로 사용되는 GMR 소자는 통상 스핀 밸브(Spin Valve : SV) 효과를 나타내는 SV 센서로 지칭되며, 도 4와 같이, 비자성층(225)을 사이에 두고 통상 반강자성층(antiferromagnetic layer)에 의하여 특정 방향으로 자화된 고정강자성층(pinned layer; 226)과 외부 자계에 응답하여 자유로이 자화방향이 바 뀌는 가변강자성층(free layer; 224)으로 구성되며, 이들 각층에 종방향 바이어스를 제공하기 위한 도전층이 상기 고정강자성층(226)과 가변강자성층(224)의 각 일단(222, 228)에 더 형성되고, 상기 양 도전층(222, 228)을 통하여 전류원(24)과 신호검출기(26)가 전기적으로 접속되어 상기 GMR 소자의 저항을 감지하게 된다.
상기 GMR 소자의 동작은, 도 5와 같이, 외부의 자계 변화에 따라 상기 가변강자성층의 자화방향(224')이 바뀌어 상기 고정강자성층의 자화방향(226')과 같게 되면 자기저항(MR)이 작게 되고, 상기 고정강자성층의 자화방향(226')과 달라지게 되면 자기저항(MR)이 커지게 된다.
본 발명은 상기와 같은 GMR 소자의 동작 특성을 이용함으로써, 상기 피부접촉부(10)의 자성체가 요골동맥의 맥동에 따라 움직일 때 상기 자성체에 의한 자계 변화를 주게 되고, 이 자계의 변화는 상기 GMR 소자의 가변강자성층(224)에서 감지 응답하게 되고, 상기 가변강자성층(224)의 응답은 곧 외부 신호검출기(26)에서 자기저항의 변화로 인한 전기적 신호(전압 등)로 나타나, 상기 외부 신호검출기(26) 신호를 입체적으로 분석함으로써 역으로 상기 동맥의 맥동을 정확히 파악할 수 있게 되는 것이다.
여기서, 상기 가변강자성층(224) 및/또는 고정강자성층(226)은 서로 다른 2 이상의 박막층으로 형성될 수 있으며, 특히 상기 고정강자성층(226)은 외부 자계와 무관하게 항상 일정 방향으로 자화가 일어날 수 있도록 하는 반강자성층(antiferromagnetic layer)을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 상기 가변강자성층(224) 및/또는 고정강자성층(226)에는 상기 도전층(222, 228)이 증착되기 전에 캡 층이 더 증착될 수도 있다.
보다 구체적으로, 상기 가변강자성층(224)은 상기 비자성층(225)의 일단과 접하여 CoFe층과 NiFe층이 순차적으로 형성되도록 하고, 상기 고정강자성층(226)은 상기 비자성층(225)의 다른 일단과 접하여 CoFe층과 IrMn층이 순차적으로 형성되도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 비자성층(225)은 Cu층으로, 상기 캡층(미도시)은 Ta층으로 하는 것이 또한 바람직하다.
나아가, 상기 가변강자성층(224)의 CoFe층은 약 2.0 nm, 상기 NiFe층은 약 4.0 nm, 상기 고정강자성층(226)의 CoFe층은 약 3.5 nm, 상기 IrMn층은 약 15.0 nm, 상기 Cu층은 약 2.7 nm, 상기 Ta층은 약 5.0 nm 로 하는 것이 보다 바람직하다.
상기 가변강자성층(224), 고정강자성층(226), 비자성층(225) 및 캡층(미도시)의 물질과 각 층의 두께에 대하여는 상기 실시예에 한정되지 아니하고 본 발명의 기술적 사상 즉, 본 발명의 피부접촉부(10) 자성체에 의한 상기 GMR 소자의 동작 특성이 나타나기만 하면 모두 가능하다.
한편, 본 발명의 단위 셀(22)로 사용되는 MTJ 소자는 상기 GMR 소자에서 비자성층 대신에 절연성 터널 장벽층을 사이에 두고 분리되는 2개의 강자성층으로 구성된다. 상기 터널 장벽층은 강자성층들 사이에서 전하 캐리어의 양자역학적 터널링을 발생시킬 수 있도록 충분히 얇아야 된다. 이때, 터널링은 2개 강자성층의 자화방향에 의존하게 되므로, 상기 2개의 강자성층 중의 하나는 자화방향이 외부 자계에 영향을 받지 않는 고정강자성층으로 하고, 나머지 하나는 자화방향이 외부 자 계에 영향을 받는 가변강자성층으로 하여, 외부 자계(신호)가 상기 가변강자성층의 자화방향을 변화시키면 이는 상기 절연성 터널 장벽층에 대한 전하 캐리어의 터널링에 영향을 주어 결국 상기 MTJ 소자의 저항에 변화를 주게 되어 이를 전압 등의 신호로 검출하게 된다.
따라서, 상기 MTJ 소자도 요골동맥의 맥동에 따라 움직이는 상기 피부접촉부(10)의 자성체에 의한 자계의 변화를 감지하는 센서로 사용할 수 있다. 기타 자계 센서도 본 발명의 기술적 사상 내에서 얼마든지 대체될 수 있다.
본 발명의 맥파감지센서부(20)는 상기 GMR 소자 또는 MTJ 소자를 단위 셀(22)로 하여, 도 6과 같이, 어레이 형태로 배열한다.
구체적 어레이 형태는 맥파의 측정 목적에 따라 다양하게 구현될 수 있으나, 전통적 한의사의 맥진법에 따른 맥상을 모두 얻기 위하여 "촌", "관", "척" 부위에 대응되도록 3부분으로 나누어 각 부위에 단위 셀을 2 x 5 또는 3 x 6 로 배열하여 패키지화시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 맥파감지센서부(20)의 단위 셀(22) 크기는 공정기술과 집적도에 따라 달라질 수 있으나, 약 1.0 mm x 2.0 mm 로 하는 것이 바람직하다.
상기 구체적 어레이의 또 다른 형태는 하나의 웨이퍼에 스위칭 소자(예 : NMOS 소자)와 함께 임의 M x N 단위 셀을 만들고, 도 7과 같이, 센싱 전류(IS)를 비트라인(BL; 242)에 인가하고 측정부위에 있는 단위 셀만 구동되도록 워드라인(WL; 241)의 전원을 조절(control)하면, 원하는 측정 부위의 맥상을 쉽고 빠르게 얻을 수 있다. 도 7에서 미설명된 참조부호 221은 소자 보호층이고, 244 및 248은 전기적 연결을 위한 콘택이며, 246 및 247은 NMOS 소자의 소스 또는 드레인 영역을 나타낸다.
결국, 본 발명의 맥파감지센서부(20)의 미세 단위 셀(22)을 어레이 형태로 적절히 배열함으로써, 맥파 측정에 의한 맥의 시간적 특성은 물론이고, 맥의 폭, 맥의 길이, 맥의 촉지 심도 등의 계측이 가능하여 맥의 공간적 특성도 완전하게 파악할 수 있다.
마지막으로, 본 발명의 이격공간부(30)는 일정 압력을 유지하는 정압 체임버로 하는 것이 바람직하다. 본 발명에서 이격공간부(30)의 기능은 상기 피부접촉부(10)와 상기 맥파감지센서부(20) 사이에서 소정의 간격을 유지하며, 상기 피부접촉부(10)의 자성체에 의한 자계의 변화를 그대로 상기 맥파감지센서부(20)에 전달하는 것이다. 따라서, 상기 소정의 이격 간격을 유지할 수 있고, 상기 피부접촉부(10)의 자성체에 의한 자계의 변화를 그대로 상기 맥파감지센서부(20)에 전달할 수 있으면 어떤 수단도 본 발명에 이용될 수 있다.
상기 정압 체임버의 이격거리(상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이의 거리)는 상기 피부접촉부(10)의 자성체의 자계 세기와 상기 맥파감지센서부(20)의 단위 셀(22)의 자기감응도에 따라 결정되나, 상기 피부접촉부(10)의 자성체를 200 ~ 300 Oe의 자계 세기를 갖는 리본형 자성 패드로 하였을 경우에는 상기 이격거리를 1 ~ 3 mm로 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 정압 체임버에는 압력 조절 장치를 부착함으로써, 전통적 한의사 의 맥진법에 따른 "부", "중", "침" 상태의 맥상도 쉽게 얻을 수 있다.
다만, 상기 압력 조절 장치의 기능을 제대로 발휘하기 위해서는 본 발명에 의한 맥진 센서를 손목시계나 팔찌 등에 구현하여 상기 체임버의 압력을 증가시킬 경우 그 증가된 압력이 그대로 본 발명의 피부접촉부(10)에 전달되도록 하는 것이 필요하다.
한편, 본 발명의 피부접촉부(10)에는 상기 자성체와 별도로 종래의 압력센서를 더 부착함으로써, 상기 압력센서만 갖는 기능을 보완할 수도 있다.
이상으로 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양하게 변형 실시할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 본 발명의 구성요소인 피부접촉부(10), 맥파감지센서부(20) 및 이격공간부(30)에 대한 물질이나 수치의 한정은 본 발명의 기술적 사상 범위 내에서 얼마든지 다양하게 구현될 수 있다.
본 발명은 자계 센서를 미세한 단위 셀로 하여 어레이 형태의 맥파감지센서부를 구현함으로써, 맥진 부위를 찾는데 걸리는 시간을 최소화 내지 제로화시킬 수 있고, 종래 압력센서로 측정할 수 없었던 부분을 측정하여 맥의 공간적 특성도 완전히 파악할 수 있게 되어, 전통 맥진법에 의한 28종의 맥상 모두를 찾아낼 수 있게 되었다.
또한, 자계 센서로 GMR 소자 또는 MTJ 소자는 고도화된 반도체 리소그래피 공정 등을 이용하여 얼마든지 소형화가 가능하고 인체의 움직임에 따른 측정 오류가 거의 없어, 손목시계나 반지 등은 물론 IC 칩으로의 개발도 가능하여 착용용(휴대용) 맥진기 등에 광범위하게 응용될 수 있다.
나아가, 종래 압력센서에 의한 맥진기는 측정시 피부에 압력 인가에 따른 통증을 유발할 수밖에 없었는데, 본 발명은 맥동을 부드러운 재질로 된 피부접촉부의 자성체로 전달받으면 되므로 측정시 통증은 거의 없다는 장점도 있다.

Claims (18)

  1. 맥파 측정을 위한 맥진 센서에 있어서,
    상기 맥파를 측정하고자 하는 위치의 피부에 접촉되는 자성체로 형성된 피부접촉부와;
    상기 피부접촉부 상부에 일정거리 이격하여 2 이상의 자성 박막층을 단위 셀로 형성된 어레이 형태의 맥파감지센서부와;
    상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이에 소정의 공간을 이루는 이격공간부를 포함하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 피부접촉부의 자성체는 자성 나노 비드(bead) 형태의 나노 자성입자인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 피부접촉부의 나노 자성입자는 Co, Fe3O4 및 Fe2O3 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 피부접촉부의 자성체는 초박형 자성체인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 피부접촉부의 초박형 자성체는 리본형 자성 패드인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 피부접촉부의 리본형 자성 패드는 3 mm 떨어진 곳에서 200 ~ 300 Oe의 자계 세기를 갖는 플라스틱 자석인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 맥파감지센서부 어레이의 단위 셀은 GMR 소자 또는 MTJ 소자인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 GMR 소자는 Cu층을 비자성층으로 사이에 두고 상기 피부접촉부를 향하는 하부층은 가변강자성층을, 반대편 상부층은 고정강자성층인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 가변강자성층 및/또는 고정강자성층은 서로 다른 2 이상의 박막층으로 형성된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 가변강자성층은 상기 비자성층의 일단과 접하여 CoFe층과 NiFe층이 순차적으로 형성되어 있고, 상기 고정강자성층은 상기 비자성층의 다른 일단과 접하여 CoFe층과 IrMn층이 순차적으로 형성된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 Cu층은 2.7 nm, 상기 가변강자성층의 CoFe층은 2.0 nm, 상기 NiFe층은 4.0 nm, 상기 고정강자성층의 CoFe층은 3.5 nm, 상기 IrMn층은 15.0 nm인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 맥파감지센서부 어레이는 상기 단위 셀 30개 내지 54개를 "촌", "관", "척" 부위에 대응되도록 3부분으로 나누어 패키지화된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 맥파감지센서부의 단위 셀 크기는 1.0 mm x 2.0 mm 이고, 상기 어레이는 상기 "촌", "관", "척" 부위의 각각에 상기 단위 셀이 2 x 5로 배열된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 맥파감지센서부 어레이는 하나의 웨이퍼에 스위칭 소자와 함께 M x N 단위 셀을 하나의 패키지로 만든 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  15. 제 7 항에 있어서,
    상기 이격공간부는 일정 압력을 유지하는 정압 체임버인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 정압 체임버는 상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이의 이격거 리를 1 ~ 3 mm로 유지하는 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 정압 체임버는 압력 조절 장치가 부착된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 피부접촉부는 상기 자성체와 별도로 압력센서가 더 부착된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서.
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