KR100729770B1 - 액정표시장치 및 그 제조공정 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 있어서, 소다라임 글라스를 이용하여 액정표시장치를 제조하는 것에 관한 것이다.
소다라임 글라스를 이용하여 액정표시장치를 제작함에 있어서 불순물의 액정내로의 유출을 막고자 그 특성이 우수한 보호막(Barrier coating)을 형성한 후 고온의 공정진행으로 인한 특성저하를 막고자 저온의 제조공정으로 박막 트랜지스터를 형성하는 액정 표시 장치를 제작한다.
이는 보로실리케이트 글라스가 기판으로 사용되는 경우 대비 상당한 원가를 줄임으로써 가격 경쟁력을 갖는 액정 표시 장치를 제공할 수 있다.
소다라임 글라스, 투명 무기 절연막, Hybrid막, 무알칼리, 액정표시장치.

Description

액정표시장치 및 그 제조공정{Liquid crystal display device}
도 1은 일반적인 액정표시장치 사시도.도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치의 하부기판 제작 공정단면도.도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치의 상부기판 제작 공정단면도.도 4 는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치의 단면도.<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>1, 11: 기판 3, 55 : 블랙매트릭스(BM)2, 21, 51: 무기 절연막 46, 61 : 공통전극60a, 60b : 컬러필터 패턴 15, 23 : 게이트 전극25 : 게이트 절연막 30a, 30b : 반도체층35 : 소스 전극 36 : 드레인 전극40 : 보호막 45 : 드레인 콘택홀14, 46 : 화소전극
본 발명은 액정표시장치에 관한 것이다.
현재 전 세계는 대화면 평면 TV의 수요가 급증하고 있으며 일부 국가에서 시험
방송 중인 디지털 방송이 조만간 우리의 실생활로 실용화 단계에 와 있고 이는 향후 지속적으로 확대 될 것으로 각광받고 있다. TV의 교체 주기와 맞물려 다양한 종류의 TV가 각각 경쟁을 하고 있다. CRT TV 역시 슬림(Slim) 방식의 개발을 통해 지속적으로 경쟁을 하고 있다.
일반적으로 액정표시장치는 전압인가에 따라 배열을 달리하는 액정분자의 특성을 이용한 디스플레이장치로서, 음극선관에 비하여 낮은 전력으로 구동이 가능하며 소형화, 박형화에 더욱 유리한 장점을 지니므로 노트북 컴퓨터의 모니터와 벽걸이형 텔레비젼 등 차세대 디스플레이장치로서 각광을 받고 있다.액정표시장치는 크게 박막 트랜지스터가 형성된 하부기판과, 컬러필터가 형성된 상부기판으로 구성되며, 하부기판과 상부기판의 이격된 사이에 액정이 위치한다. 도 1은 종래의 일반적인 무알칼리 글라스를 사용한 액정표시장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도시한 바와 같이, 일반적인 액정표시장치(11)는 투명한 절연 기판상에 컬러필터(4)와 상기 각 컬러필터(4)사이에 구성된 블랙매트릭스(3)와 상기 컬러필터(4)와 블랙매트릭스(3) 상부에 증착된 공통전극(5)이 형성된 상부기판(1)과, 화소영역(12)과 화소영역(12) 상에 형성된 화소전극(14)과 스위칭소자(T)와 어레이배선이 형성된 하부기판(11)으로 구성되며, 상기 상부기판(1)과 하부기판(11) 사이에는 액정(6)이 채워져 있다.상기 하부기판(11)은 박막트랜지스터 기판(TFT substrate)이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(TFT)를 교차하여 지나가는 게이트배선(15)과 데이터배선(16)이 형성된다.이때, 상기 화소영역(12)은 상기 게 이트배선(15)과 데이터배선(16)이 교차하여 정의되는 영역이며, 상기 화소영역(12)상에는 전술한 바와 같이, 투명한 화소전극(14)이 형성된다.전술한 일반적인 액정표시장치의 상부기판과 하부기판을 이루는 투명한 절연기판은 일반적으로 무알칼리 글라스가 사용되고 있다.
글라스에 대하여 언급하면, 글라스는 무알칼리 글라스와 소다라임 글라스(soda lime glass) 그리고 보로실리캐이트 글라스(Borosilicate glass)로 나뉜다.
소다라임 글라스는 Na2O의 함량이 1wt%이상인 글라스를 말하며, 무알칼리 글라스는 Na2O의 함량이 0.1wt%이하 그리고 Na2O의 함량이 0.1w% 내지 1w%인 글라스를 중성 보로실리캐이트 글라스라 한다. 상기 소다라임 글라스를 알칼리 글라스라고 한다.박막 트랜지스터(Thin Film Transistor:TFT)를 포함하는 능동 매트릭스 능동방식 액정표시장치에는 무알칼리 글라스가 주로 사용된다. 소다라임 글라스는 알칼리 이온을 많이 함유하고 있어, 상기 알칼리 이온이 쉽게 용출되므로 소다라임 글라스로 박막 트랜지스터어레이 기판을 제작하면 소다라임 글라스에서 확산되는 알칼리 이온에 의해 박막 트랜지스터가 형성될 때 상부 박막 트랜지스터의 채널을 오염시켜서 채널의 반도체적 성질을 도체적 성질을 가지도록 바꿈으로써 게이트 전압 오프(off)시에도 채널에서 전류가 발생하여 결과적으로 누설전류(Ioff)가 증가하는 특성을 갖게된다. 또한 액정 영역에까지 알칼리 이온에 의한 오염 발생시에는 잔상 문제를 유발하기도 한다. 그러나 무알칼리 글라스 기판은 알칼리 이온의 용출이 거의 없기 때문에 박막 트랜지스터의 오염 및 잔상등의 불량을 발생시키지 않는다. 상기와 같은 이유로 능동 매트릭스 소자인 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제작은 무알칼리 글라스로 제작하고 있다. 그러나, 액정표시장치가 일반 CRT(Cathode Ray Tube) 대비 박막, 경량의 좋은 장점을 지녔음에도 불구하고, 동일 화면 사이즈의 상기 CRT대비 가격이 높음으로 인하여 소비자의 구매에 부정적인 영향을 끼치게 된다. 그러므로 제작 원가절감이 강력히 요구되어 지고 있고, 이에 따라 액정표시장치 제조에 들어가는 부품 또는 재료 중 가격에 큰 비중을 차지하는 글라스에 대해서도 원가 절감이 요구되어지면서 고가의 무알칼리 글라스 대신 저가의 소다라임 글라스로 액정표시장치를 제작하는 방안이 제시되고 있다.
일부에서는 박막 트랜지스터가 형성된 어레이 기판은 종래대로 무알칼리 글라스로 제작하여 알칼리 이온에 의한 트랜지스터의 오염 및 구동불량을 방지하고 상부기판인 컬러필터 기판을 알칼리 글라스로 제작하고 이때 문제가 되는 열팽창에 의한 불량을 최소화하기 위해 고온공정을 저온공정으로 대체하여 액정표시장치를 제작하기도 한다. 여기서 기존에 액정표시장치에서 사용되는 보로실리케이트 글라스는 무알칼리 글라스라고 하며, 소다라임 글래스에 비해 강하고 그 성질을 달리하는 성질 변화점(Softenting point)도 섭씨 975도로 소더라임 글라스의 섭씨 726도에 비해 훨씬 높다. 이러한 특성 차이로 인해서 가격은 보로실리케이트 글래스가 창유리로 사용되는 소다라임 글래스에 비해 수십배 정도 높다. 그러나, 소더라임 글라스에는 Na성분이 포함되어 있는데 이것이 공정의 진행 중 용출되어 TFT의 특 성을 저하시키는 문제가 있다. 또한, 일반적인 a-Si 박막트랜지스터(TFT)의 형성에는 400도 정도의 높은 공정온도가 요구되므로 무알칼리 글라스를 사용할 필요가 있다. 따라서 가격면에서 불리한 보로 실리케이트 글래스가 사용되어지고 있다.
본 발명은 액정표시장치의 기판에 관한 것으로 저비용의 소다라임 글라스를 기판으로 사용한 박막 트랜지스터 기판 및 그 방법을 제공하는 것이다.
알칼리알칼리알칼리
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 제 1 특징에 의한 액정표시장치는 소다라임 글라스와 그 하면에 알칼리 이온 차단막과 컬러필터와 공통전극을 가지는 상부기판과; 소다라임 글라스와 그 상면에 투명 무기 절연막과 박막트랜지스터 배열을 가지는 하부기판과; 이격되어진 상기 상부기판과 상기 하부기판 사이에 개재된 액정을 포함한다.이때 투명 무기 절연막은 알루미늄 또는 알루미늄 산화막 이며, 상기 차단막을 포함한 박막트랜지스터 어레이(TFT Array)의 적층 공정은 섭시 150도의 저온공정에 의해 형성된 것이 특징이다. 본 발명에 의한 제 2 특징에 의한 액정표시장치는 소다라임 글라스와 그 하면에 Na이온 차단막을 가지는 상부기판과; 소다라임 글라스와 그 상면에 Na이온 차단막을 박막트랜지스터와 컬러필터를 하부기판과; 이격되어진 상기 상부기판과 상기 하부기판 사이에 개재된 액정을 포함한다.상기 제 1 및 2의 특징을 갖는 액정표시장치의 상기 소다라임 글라스는 Na2O의 함량이 1wt%이상이며, 상기 제 1, 2 특징을 갖는 액정표시장치에 있어서, 상기 소다라임 글라스는 Na2O의 함량이 1wt%이상이며, 상기 베리어막은 알루미늄(Al), 알루미늄 옥사이드(AlOx), 알루미늄 실리케이트(AlxSixOy) 징크옥사이드(ZnO), etc 등의 무기막 혹은 이러한 파릴렌(parylene)등의 유기막, 혹은 이러한 유기막과 hybrid막의 이중막중에서 적어도 하나 이상을 포함하는 적층 형태로 구성된다. 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법은 소다라임 글라스 상에 알칼리 이온 차단막이 형성되고 컬러필터 및 공통전극이 형성된 상부기판을 구비하는 단계와; 소다라임 글라스 상에 투명 무기 절연막과 박막트랜지스터가 형성된 하부기판을 구비하는 단계와; 상기 상부기판 또는 하부기판 상에 씰 재로 씰 패턴을 형성하는 단계와; 상기 상부기판의 공통전극과 상기 하부기판의 박막트랜지스터가 마주하도록 하여 상기 두 기판을 합착하는 단계와; 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입하는 단계를 포함한다.이때 상기 상부기판의 투명 무기 절연막은 소다라임 글라스 위에 형성되고, 이후 BM 및 컬러필터가 형성되거나, 상기 상부기판의 소다라임 글라스에 BM 및 컬러필터가 형성되고, 이후 알칼리 이온 차단막이 구성되는 것이 특징이다. 또한, 상기 하부기판은 소다라임 글라스에 투명 무기 절연막이 형성되고, 상기 투명 무기 절연막 상에 게이트 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 및 화소전극이 형성되는 것이 특징이다. 본 발명에 의한 또 다른 액정표시장치의 제조방법은 소다라임 글라스 상에 투명 무기 절연막 및 공통전극이 형성된 상부기판을 구비하는 단계와; 소다라임 글라스 상에 투명 무기 절연막과 박막트랜지스터와 컬러필터가 형성된 하부기판을 구비하는 단계와; 상기 상부기판 또는 하부기판 상에 씰 재로 씰 패턴을 형성하는 단계와; 상기 상부기판의 공통전극과 상기 하부기판의 박막트랜지스터가 마주하도록 하여 상기 두 기판을 합착하는 단계와; 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 하부기판은 소다라임 글라스에 투명 무기 절연막을 형성하는 단계와; 상기 투명 무기 절연막 위에 게이트 전극 및 소스 드레인 전극을 갖는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 박막 트랜지스터 위에 컬러필터를 형성하는 단계를 더욱 포함한다. 또한, 상기 하부기판은 소다라임 글라스에 컬러필터를 형성하는 단계와;상기 컬러필터 위에 투명 무기 절연막을 형성하는 단계와; 상기 투명 무기 절연막 위에 게이트 전극 및 소스 드레인 전극을 갖는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계를 더욱 포함한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 제 1 실시예 본 발명에 따른 제 1 실시예는 상부 및 하부 두 기판 모두 소다라임 글라스를 사용할 경우 상대적으로 알칼리 이온에 취약한 하부기판인 어레이기판 상부에 투명 무기 절연막을 사용하고, 상대적으로 알칼리 이온의 영향이 적게 나타나는 상판인 컬러필터 기판에는 별도의 절연막을 사용하지 않거나, 섭씨 400도 이하의 저온공정으로 알루미늄 실리케이트막(AlxSixOy)을 형성하여 액정표시장치를 제작하는 것이다.액정표시장치는 하부기판을 형성하는 박막트랜지스터 어레이(TFT Array) 공정과 상부기판을 형성하는 공정, 그리고 상기 두 공정에서 제작된 상하부 기판에 액정을 채워 붙이는 셀공정을 진행함으로서 제작되어진다. 우선, 본 발명의 제 1 실시예 의한 박막트랜지스터 어레이(TFT Array) 기판인 하부기판의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 2a 내지 2e는 소다라임 글라스 및 투명 무기 절연막을 사용하여 하부기판 제조 공정을 순서대로 도시한 공정도이다. 도 2a에 도시한 바와 같이, 투명한 소다라임 글라스(20) 상에 무기 절연막 베리어층(21)을 형성한다. 여기서, 소다라임 글라스(20)는 1wt% 내지 15wt% 이상의 Na2O를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 무기물은 바람직하게는 알루미늄(Al), 알루미늄 실리케이트(AlxSixOy)막, 알루미늄옥사이드(AlOx)막, 징크 옥사이드(ZnO) 등의 무기막 혹은 이러한 parylene등의 유기막, 혹은 이러한 유기막과 무기막의 하이브리드(Hybrid)막을 여러 층 적층한 것이 적당하다.다음으로 도 2b에 도시한 바와 같이 상기 무기 절연막 베리어층(21)이 형성된 소다라임 글라스(20) 기판 위에 제 1 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(AlNd)을 증착하고 사진식각공정을 통해 패터닝하여 게이트 전극(23)과 게이트 배선(미도시)을 형성하고 이후 절연물질을 전면 증착하여 게이트 절연막(25)을 형성한다.다음으로 도 2c에 도시한 바와 같이 순수 비정질 실리콘(a-Si)을 증착하고 이온도핑하여 순수 비정질 실리콘층인 액티브층(30a)과 불순물이 도핑된 비정질 실리콘층인 오믹 콘택층(30b)을 각각 형성하여 반도체층(30)을 구성한다.다음으로 도 2d에 도시한 바와 같이 상기 반도체층(30) 위에 제 2 금속물질을 증착하고 패터닝하여, 데이터 배선(미도시)과 반도체층(30) 상부에서 서로 일정간격 이격되는 소스 및 드레인 전극(35, 36)을 형성한다. 이후 소스 및 드레인 전극(35, 36)을 마스크로 하여, 이격된 구간의 오믹 콘택층(30b)을 제거하고, 그 하부층인 액티브층(30a)을 노출시켜 채널을 형성한다. 상기 게이트 전극(23), 반도체층(30), 소스 및 드레인 전극(35, 36)은 박막트랜지스터(TFT)를 이룬다. 다음으로 도 2e에 도시한 바와 같이 상기 소스 및 드레인 전극(35, 36) 위로 절연물질을 증착하고 패터닝하여, 드레인 전극(36)의 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(45)을 가지는 보호막(40)을 형성하고, 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 전면에 증착하고 패터닝하여 화소전극(46)을 형성한다. 전술한대로 진행하면 소다라임 글라스 및 이온 확산을 방지하는 무기 절연막 베리어층을 포함하는 어레이 기판을 제조할 수 있다.
다음으로 상부기판을 이루는 소다라임 글라스를 사용한 컬러필터 기판의 제조방법에 대해 설명한다. 도 3a 내지 3c는 소다라임 글라스 및 무기막 베리어층(AlxSixOy)를 사용하여 상부기판 제조 공정을 순서대로 도시한 공정도이다.
도 3a에 도시한 바와 같이 소다라임 글라스 기판(50)상에 알칼리 이온 확산을 막기위해 무기절연막층 (51)을 형성한다. 상기 무기 절연막층(51)인 알루미늄 실리케이트막은 섭씨 150도 내지 400도 정도의 저온에서 진행 가능한 CVD(Chemical Vapor Deposition), 졸겔(sol/gel)방법 또는 이배포래이션법(evaporation)을 통하여 상기 기판 전면에 형성할 수 있다. 다음으로 도 3b에 도시한 바와 같이 상기 베리어층을 형성한 투명한 소다라임 글라스 기판(50) 위에 금속물질예를들면 크롬(Cr)/크롬옥사이드(CrOx) 또는 수지를 전면에 증착한 후 패터닝하여 블랙 매트릭스(Black Matrix : 이하 BM이라 칭함, 55)를 형성한다. 다음으로 도 3c에 도시한 바와 같이 BM(55)이 형성된 소다라임 글라스 기판(50) 위에 적(Red) 컬러 레지스트를 스핀 코팅 방식으로 상부기판 전면에 코팅한 후 프록시미티(Proximity) 노광을 한다. 노광되어진 적 컬러 레지스트를 광중합 반응 후 현상시키면 적 컬러 패턴(60a)이 형성된다. 적, 녹, 청 레지스트는 네가티브 포토 레지스트의 성질을 갖고 있으므로 노광되지 않은 부분이 제거된다. 적 컬러 패턴의 형성과 동일한 방식으로 녹, 청 컬러필터 패턴(60b, 미도시)을 형성한다. 상기 적, 녹, 청 컬러필터 패턴(60a, 60b, 미도시) 형성 순서는 바뀔 수 있다. 상기 전술한 방법은 안료분산법에 의해 컬러필터를 형성한 것이고, 최근에는 잉크젯트 방법, 열전사법, 레이져 전사법 그리고 필름전사법 등 다양한 방법들이 개발되어 상기 컬러필터 형성에 이용되고 있다.다음으로 도3d에 도시한 바와 같이, 상기 컬러필터가 전면에 형성된 기판에 투명한 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이트(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 전면에 증착시킴으로써 공통전극(61)을 형성한다.전술한 방법에 의해 제작된 하부기판인 어레이기판과 상부기판인 컬러필터기판은 셀공정을 통하여 상기 두 기판 중 어느 하나에 씰 패턴을 형성하고, 어레이기판의 박막 트랜지스터와 컬러필터 기판의 공통전극을 마주보게 하여 합착한다. 이후 상기 합착된 두 기판 사이에 액정(미도시)을 충진하여 액정표시장치를 완성한다.이와 같이 완성된 액정표시장치를 도 4에 도시하였다.도 4는 제 1 실시예의 전술한 공정방법에 의해 제작된 액정표시장치의 단면도로써 상부 및 하부 기판(20, 50) 모두 소다라임 글라스을 사용하였고, 박막 트랜지스터(13)가 형성되는 하부기판(20)은 상기 소다라임 글라스에서 확산되는 알칼리 이온을 차단하기 위하여 본 발명에 따른 무기 절연막 베리어층 (21)을 상기 소다라임 글라스 상부에 형성한 후 상기 무기 절연막 베리어층 (21) 위로 박막 트랜지스터(T) 및 화소전극(46)을 형성하였다. 또한, 도시 바와 같이 컬러필터 기판인 소다라임 글라스를 사용한 상부기판(50)은 상기 기판(50) 하부에 무기 절연막 (AlxSixOy)(51)을 형성하여 알칼리 이온의 확산을 차단하였다. BM(55) 및 컬러패턴(60a, 61b)을 형성하고 상기 컬러패턴(60a, 61b) 하부에 이는 박막 트랜지스터에 상대적으로 적게 영향을 주기 때문에 무기 절연막 베리어층을 형성하지 않고 섭씨 150도 내지 400도 정도의 저온공정에 의한 무기 절연막 (AlxSixOy)(51)을 형성하였다. 어레이 기판의 제조방법은 도 2a 내지 도 2e통해 전술하였음으로 생략한다. 소다라임 글라스로부터의 알칼리 이온의 확산을 차단할 수 있는 무기 절연막을 컬러필터(60) 및 블랙매트릭스 (BM55)보다 하부에 형성하면, 평편한 글라스위에 바로 형성이 되어서 유기막의 요철등에 형성할 경우보다 엉성하게 형성되는 곳이 없어 Na의 용출을 줄여 상대적으로 박막트랜지스터의 특성에 적게 영향을 주기 때문에 상기와 같이 구성하였다.
이미, 전술한 바와 같이 한쪽 면 즉 컬러필터가 형성되는 상부기판만을 알칼리 글라스를 사용하여 제작한 액정표시장치는 열팽창에 의한 불량에 대한 부담감이 여전히 존재하고, 원가절감 요소도 남아있고, 소다라임 글라스의 기판사용은 이것으로 액정표시장치를 제작할 경우, 공정온도인 섭씨 150도 내지 400도 정도 온도의 영향보다는 Na등의 불순물 용출에 의한 액정표시장치 기판으로써의 부적합함이 있었다. 반면, 알칼리 이온의 확산은 차폐효과가 뛰어난 Al 및 AlOx와 AlxSixOy 및 ZnO등의 무기 절연막으로 베리어 층을 형성한 경우, 실험한 결과 상기 기존의 보로 실리케이트 글라스에 대등한 수준임을 확인할 수 있었다. 이는, 기존의 보로 실리케이트 글라스에 비해 소다라임 글라스에 베리어층을 형성하여 사용하는 방법이 원가절감등에서 더 효과적임을 나타낸다.따라서, 본 발명은 알루미늄 실리케이트의 베리어막을 소다라임 글라스 표면 또는 박막트랜지스터 하부에 형성함으로써 알칼리 이온의 확산에 의한 박막트랜지스터 오염 및 구동불량을 방지하는 액정표시장치를 제공함으로써 제작 원가를 낮추어 가격 경쟁력을 높일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라 소다라임 글라스상에 알칼리 이온의 확산을 차단하기 위해 종래의 고온 공정을 진행하여 형성한 산화실리콘(SiO2)막 대신 저온에서 무기 절연막 베리어층은 알루미늄 실리케이트막 (AlxSixOy)등을 형성한 상부 및 하부기판을 이용하여 액정표시장치를 제조하면 소다라임 글라스 자체의 변형을 갖는 왜점에 영향을 주지않는 안전한 공정진행과 우수한 알칼리 이온의 확산 차폐 효과를 가지게 된다.
그러므로, 무알칼리 글라스 대비 단가가 수배정도 낮은 소다라임 글라스 사용으로 생산 원가를 줄임으로써 가격 경쟁력을 갖는 액정표시장치를 제공할 수 있다.

Claims (9)

  1. 제1 소다라임 글라스,
    상기 제1 소다라임 글라스 위에 형성되어 있는 알칼리 이온 차단막,
    상기 알칼리 이온 차단막 위에 형성되어 있는 블랙매트릭스,
    상기 블랙 매트릭스 위에 형성되어 있는 칼라필터,
    상기 제1 소다라임 글라스와 마주하는 제2 소다라임 글라스,
    상기 제2 소다라임 글라스 위에 형성되어 있는 무기 절연막 베리어층,
    상기 무기 절연막 베리어층 위에 형성되어 있는 박막트랜지스터,
    상기 제1 소다라임 글라스와 상기 제2 소다라임 글라스 사이에 개재된 액정을 포함하는 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 알칼리 이온 차단막은 알루미늄 실리케이트 무기 절연막으로 형성된 액정표시장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 무기 절연막은 섭씨 150도 내지 400도 정도의 저온공정을 통해 형성된 액정표시장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 무기 절연막은 소다라임 글라스 위에 형성되어 있거나 상기 블랙매트릭스 아래에 형성되어 있는 액정표시장치.
  5. 제1항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 소다라임 글라스는 Na2O의 함량이 1wt% 내지 15wt%인 액정표시장치.
  6. 제2항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 무기 절연막 베리어막은 알루미늄(Al), 알루미늄 옥사이드(AlOx), 알루미늄실리케이트(AlxSixOy), 징크옥사이드(ZnO) 중 어느 하나 이상을 포함하는 액정표시장치.
  7. 제2항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 무기 절연막 베리어막 위에 형성되어 있는 유기막을 더 포함하는 액정표시장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 유기막은 파릴렌(parylene)으로 이루어져 있는 액정표시장치.
  9. 제2항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 무기 절연막 베리어막 위에 형성되어 있는 하이브리드(hybrid)막을 더 포함하는 액정표시장치.
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