KR100729271B1 - 연속 도금설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연속 도금설비에 관한 것으로, 휠의 회전에 의해 이동되는 이송벨트에 제품을 장착하는 로더부, 상기 로더부에 의해 장착된 제품을 도금하는 도금부 및 상기 도금부에서 도금된 제품을 이송벨트에서 분리하는 언로더부를 포함하는 도금설비에 있어서, 상기 로더부는 제품의 일면을 흡착하는 진공패드부, 상기 진공패드부 상부에 설치되어 상기 진공패드부에 흡착된 제품을 상방으로 들어올리는 제1에어실린더, 상기 제1에어실린더와 연동되며, 상기 제품을 90도 회전시키는 제2에어실린더, 상기 90도로 회전된 제품 상단부를 이송벨트와 이송벨트에 장착된 클램프 하단부 사이에 끼우기 위해 클램프의 탄성부를 지지하여 이송벨트와 클램프 하단부 사이의 간격을 벌려주는 클램프개방부재를 포함하여 구성된다. 상기한 구성에 의하면, 제품 이송벨트 이동시 클램프에 제품을 연속적으로 고정할 수 있어 작업속도가 빠르며 생산성이 높은 연속 도금설비를 제공할 수 있는 이점이 있다.
도금, 연속, 설비, 로더부, 언로더부, 클램프

Description

연속 도금설비{Continuous plating equipment}
도 1a는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비의 개략도 평면도.
도 1b는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비의 개략도 정면도.
도 2는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비의 로더부의 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비의 언로더부의 사시도.
도 4a는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비 중 이송벨트의 클램프에 리드프레임이 장착된 상태를 보인 개략적 정면도.
도 4b는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비 중 이송벨트의 클램프에 리드프레임이 장착된 상태를 보인 개략적 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100: 로더부 110,310: 휠
112: 이송벨트 114,314: 적치함
121: 진공패드부 122: 제1에어실린더
124: 제2에어실린더 126,326: 클램프개방부재
130: 클램프 200: 도금부
300: 언로더부 312: 슬라이드부
312a: 가이드부 316: 위치고정틀
400: 리드프레임
본 발명은 연속 도금설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송벨트 이동시 자동 픽업 및 자동정렬이 가능하여 연속적으로 작업이 가능하고, 작업속도가 빨라 생산성이 향상되는 연속 도금설비에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 리드프레임은 제작 공정 중에 프레임의 타발공정 후 프레임에 칩을 조립하고 몰딩성형하고, 리드들이 절단되어 개개의 반도체 소자로 분리되기 전에, 패키지 몸체에서 노출된 리드프레임의 표면에 도금막을 입히게 된다.
일반적인 전기도금장치의 도금공정을 개략적으로 살펴보면 제품인 리드프레임 등에 묻어 있는 이물질 및 산화층 등을 제거하여 주는 전처리(deflash) 공정, 제품에 전류를 걸어주어 도금을 하는 도금공정 및 상기의 여러 약품 공정에서 묻은 화학약품 등을 제거시켜 주는 후처리공정 등의 순으로 진행하게 된다. 이와 같은 공정을 통하여 형성된 도금막은 추후에 외부공기에 노출된 리드프레임들이 산화되는 등의 손상을 방지할 수 있다.
이와 같은 일련의 공정들을 행하는 도금설비에 있어서, 리드프레임은 클램프가 장착된 제품 이송벨트에 매달려 도금에 필요한 상기 공정들을 거치게 된다.
종래의 도금설비에서는 클램프에 제품을 사람이 수동으로 물어주거나 별도의 기구를 이용하여 고정하였는데, 이때 이송벨트가 일시적으로 정지되게 된다. 따라서, 종래의 도금설비를 이용하는 도금공정은 이송벨트가 정지 및 이동을 반복적으로 하는 방식(step & repeat)이었다. 따라서, 작업속도가 느려 생산성이 낮은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 제품 이송벨트 이동시 클램프에 제품을 연속적으로 장착할 수 있어 작업속도가 빠르며 생산성이 높은 연속 도금설비를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 도금공정 후 도금한 제품을 자동정렬할 수 있어 생산성이 향상된 연속 도금설비를 제공하는 것이다.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 휠의 회전에 의해 이동되는 이송벨트에 제품을 장착하는 로더부, 상기 로더부에 의해 장착된 제품을 도금하는 도금부 및 상기 도금부에서 도금된 제품을 이송벨트에서 분리하는 언로더부를 포함하는 도금설비에 있어서, 상기 로더부는 제품의 일면을 흡착하는 진공패드부, 상기 진공패드부 상부에 설치되어 상기 진공패드부에 흡착된 제품을 상방으로 들어올리는 제1에어실린더, 상기 제1에어실린더와 연동되며, 상기 제품을 90도 회전시키는 제2에어실린더, 상기 90도로 회전된 제품 상단부를 이송벨트와 이송벨트에 장착된 클램프 하단부 사이에 끼우기 위해 클램프의 탄성부를 지지하여 이송벨트와 클램프하단부 사이의 간격을 벌려주는 클램프개방부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제품은 리드프레임을 포함하는 다양한 금속제품일 수 있다.
상기한 구성에 의하면, 제품 이송벨트 이동시 클램프에 제품을 연속적으로 고정할 수 있어 작업속도가 빠르며 생산성이 높은 연속 도금설비를 제공할 수 있는 이점이 있다.
상기 언로더부는 상기 벨트 클램프에서 제품을 분리하기 위해 클램프의 탄성부를 지지하여 이송벨트와 클램프하단부 사이의 간격을 벌려주는 클램프개방부재와, 상기 분리된 제품을 일정방향으로 유도하는 양측 가이드부를 구비한 슬라이드부와, 상기 슬라이드부에서 미끄러진 제품을 정렬할 수 있는 가이드부를 구비하고 제품을 정렬하는 엘레베이트 기능을 구비한 제품 적치함을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 의하면, 도금공정 후 도금한 제품을 자동정렬할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 구성에 대해 더욱 상세하게 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비 의 개략도 평면도 및 정면도이고, 도 2는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비의 로더부의 사시도이며, 도 3은 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비의 언로더부의 사시도이다.
상기 도면들을 참조하면 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비는 개략적으로 휠(110)의 회전에 의해 이동되는 이송벨트(112)에 리드프레임(400)을 장착하는 로더부(100), 상기 로더부(100)에 의해 장착된 리드프레임(400)을 도금하는 도금부(200) 및 상기 도금부(200)에서 도금된 리드프레임(400)을 이송벨트에서 분리하는 언로더부(300)로 구성된다.
상기 로더부(100)는 리드프레임(400)의 일면을 흡착하는 진공패드부(121), 상기 진공패드부(121) 상부에 설치되어 상기 진공패드부(121)에 흡착된 리드프레임(400)을 상방으로 들어올리는 제1에어실린더(122), 상기 제1에어실린더(122)와 연동되며, 상기 리드프레임(400)을 90도 회전시키는 제2에어실린더(124), 상기 90도로 회전된 리드프레임(400)을 이송벨트(112)와 이송벨트(112)에 장착된 클램프(130) 하단부 사이에 끼우기 위해 클램프(130)의 탄성부를 지지하여 이송벨트(112)와 클램프(130) 하단부 사이의 간격을 벌려주는 클램프개방부재(126)로 구성된다.
도 4a는 본 발명에 의한 바람직한 일 실시예에 의한 연속 도금설비 중 이송벨트의 클램프에 리드프레임이 장착된 상태를 보인 개략적 정면도 및 단면도이다.
상기 이송벨트(112)의 일측에는 다수개의 관통공(112a)이 일렬로 형성되어 있고, 타측에는 다수개의 걸개공(112b)이 일렬로 형성되어 있다. 상기 관통 공(112a)과 걸개공(112b)에 클램프(130)의 양 단부가 삽입되어 리드프레임(400)을 고정시키게 된다. 상기 이송벨트(112) 및 클램프(130)는 공지의 이송벨트 및 클램프를 이용할 수 있다. 더욱 상세하게는 상기 클램프(130)는 이송벨트(112) 관통공(112a)에 삽입되는 지지부(130a)와, 그 지지부(130a)에서 연장되어 탄력을 갖는 탄성부(130b)와 그 탄성부(130b)에 연장되어 상기 벨트(112)의 걸개공(112b)에 삽입되어 리드프레임(400)을 고정시키는 걸개부(130c)로 구성된다.
상기 도금부(200)는 리드프레임(400)에 묻어 있는 이물질 및 산화층 등을 제거하여 주는 전처리(deflash) 공정, 제품에 전류를 걸어주어 도금을 하는 도금공정 및 상기의 여러 약품 공정에서 묻은 화학약품 등을 제거시켜 주는 후처리공정을 수행하도록 구성된다. 상기 도금부(200)는 특별한 제한이 있는 것이 아니며, 다양한 도금을 위한 공지의 도금조 등이 설비될 수 있다.
도 3을 참조하면 상기 언로더부(300)는 상기 이송벨트(112) 클램프(130)에서 리드프레임(400)을 분리하기 위해 클램프(130)의 클램프(130)의 탄성부를 지지하여 이송벨트(112)와 클램프(130) 하단부 사이의 간격을 벌려주는 클램프개방부재(326)와, 상기 분리된 리드프레임(400)을 일정방향으로 유도하는 양측 가이드부(312)를 구비한 슬라이드부(312)와, 상기 슬라이드부(312)에서 미끄러진 리드프레임(400)을 정렬할 수 있는 위치고정틀(316)을 구비하여 리드프레임(400)을 정렬하며 엘레베이트 기능을 구비하여 리드프레임(317)을 적재하는 적치함(314)으로 구성된다.
미설명부호 T1, T2는 로더부 및 언로더부가 설치된 테이블을 의미한다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 작용효과에 대해 살펴보기로 한다.
먼저, 구동장치에 의해 휠(110)이 회전함에 따라 이송벨트(112)가 이동하게 된다. 이때 로더부(200)의 적치함(114)에 적재된 리드프레임(400)이 상기 적치함(114)에 설치된 엘레베이터(미도시)에 의해 진공패드부(121) 부분까지 상승한다. 그런 다음 진공패드부(121)의 작동에 의해 리드프레임(400)이 상기 진공패드부(121)에 흡착된다.
상기 진공패드부(121)에 흡착된 리드프레임(400)은 제1에어실린더(122)에 의해 수직방향으로 상승되고 상기 제2에어실리더(124)에 의해 90도 회전하여 이송벨트(112)에 접하게 된다. 이때 상기 이송벨트(112)에 고정설치된 클램프(130)의 탄성부(130b)는 클램프(130)의 전면부에 설치된 클램프개방부재(126)에 의해 지지되어 이송벨트(112)와 클램프(130) 하단 걸개부(130c) 사이의 간격이 벌어진다. 따라서, 리드프레임(400)은 이송벨트(112)와 클램프(130)의 걸개부(130c) 사이에 끼워지고, 클램프개방부재(126)의 작동이 멈추면 리드프레임(400)이 이송벨트(112)에 장착된다.
상기와 같은 구성에 의하면 이송벨트(112) 이동시 클램프(130)에 리드프레임(400)을 연속적으로 장착할 수 있어 작업속도가 빨라진다. 따라서, 도금된 리드프레임(400)의 생산성을 높일 수 있다. 또한, 진공패드부(121)를 이용하기 때문에 제품의 손상을 방지할 수 있다.
상기와 같이 장착된 리드프레임(400)은 이송벨트(112)의 이동에 따라 이동되어 도금부(200)를 거치면서 도금된다.
그런 다음, 도금된 리드프레임(400)은 언로더부(300)로 이송된다. 언로더 부(300)에 설치된 클램프개방부재(326)가 클램프(130)의 탄성부(130b)를 지지하여 이송벨트(112)와 클램프(130) 하단 걸개부(130c) 사이의 간격이 벌어진다. 이때, 이송벨트(112)와 클램프(130)의 걸개부(130c) 사이에 끼워져 있던 리드프레임(400)은 이송벨트(112)에서 분리된다.
상기 분리된 리드프레임(400)은 상기 클램프개방부재(326) 하부에 설치된 슬라이드부(312)를 따라 미끄러져 내려온다. 이때 상기 슬라이드부(312)의 양측에는 가이드부(312a)가 설치되어 있어 상기 리드프레임(400)이 상기 슬라이드부(312) 말단에 설치된 위치고정틀(316)에 안치되도록 유도한다.
상기 위치고정틀(316)에 안치된 리드프레임(400)은 상기 위치고정틀(316) 하부의 적치함(314)에 적재된다. 이때 상기 리드프레임(400)은 상기 적치함(314)에 설치된 엘레베이터에 의해 하방으로 내려오면서 자동정렬된다.
상기한 구성에 의하면, 도금공정 후 도금한 리드프레임(400)을 자동정렬할 수 있어 연속적 생산을 통한 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기 도면들에 도시된 바와 같이 로더부(100)의 적치함(114) 및 언로더부(300)의 적치함(314)이 복수개 설치되고 일정 이동 경로를 통해 로더부(100) 및 언로더부(300)의 소정의 위치로 이동가능하도록 구성될 수 있다. 이런 구성에 의해 대량으로 연속적으로 도금이 가능하여 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.
본 발명에 있어서 로더부 및 언로더부의 구동은 공지의 인덱스, 오실레이션, 또는 서보모터를 이용할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아 니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 의하면 제품 이송벨트 이동시 클램프에 제품을 연속적으로 고정할 수 있어 작업속도가 빨라 제품 생산성을 높일 수 있는 효과를 도모할 수 있다.
본 발명의 다른 효과는 도금공정 후 도금한 제품을 자동정렬할 수 있어 제품의 생산성을 더욱 향상할 수 있다.

Claims (4)

  1. 휠의 회전에 의해 이동되는 이송벨트에 제품을 장착하는 로더부, 상기 로더부에 의해 장착된 제품을 도금하는 도금부 및 상기 도금부에서 도금된 제품을 이송벨트에서 분리하는 언로더부를 포함하는 도금설비에 있어서,
    상기 로더부는 제품의 일면을 흡착하는 진공패드부;
    상기 진공패드부 상부에 설치되어 상기 진공패드부에 흡착된 제품을 상방으로 들어올리는 제1에어실린더;
    상기 제1에어실린더와 연동되며, 상기 제품을 90도 회전시키는 제2에어실린더; 및
    상기 90도로 회전된 제품 상단부를 이송벨트와 이송벨트에 장착된 클램프 하단부 사이에 끼우기 위해 클램프의 탄성부를 지지하여 이송벨트와 클램프 하단부 사이의 간격을 벌려주는 클램프개방부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 연속 도금설비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제품은 리드프레임을 포함하는 금속제품인 것을 특징으로 하는 연속 도금설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 언로더부는 상기 벨트 클램프에서 제품을 분리하기 위해 클램프의 탄성부를 지지하여 이송벨트와 클램프 하단부 사이의 간격 을 벌려주는 클램프개방부재;
    상기 분리된 제품을 일정방향으로 유도하는 양측 가이드부를 구비한 슬라이드부; 및
    상기 슬라이드부에서 미끄러진 제품을 정렬할 수 있는 가이드부를 구비하고 제품을 정렬하는 엘레베이트 기능을 구비한 제품 적치함을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 연속 도금설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 로더부 및 언로더부의 구동은 인덱스, 오실레이션, 또는 서보모터에 의한 것임을 특징으로 하는 연속 도금설비.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100973339B1 (ko) 2008-08-29 2010-07-30 주식회사 엔케이 인산염 피막처리를 위한 원판모재 로딩장치
KR101050085B1 (ko) * 2008-08-30 2011-07-19 주식회사 엔케이 인산염 피막처리된 원판모재의 언로딩장치
CN108611673A (zh) * 2016-12-26 2018-10-02 东莞市蓉工自动化科技有限公司 一种可用于不规则零件方便夹持的自动电镀机
KR102252654B1 (ko) * 2020-06-10 2021-05-14 정을연 단품 자동 래크 회전 전기도금장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60102320A (ja) * 1983-11-07 1985-06-06 Electroplating Eng Of Japan Co ロ−デイング装置
JPS60113956A (ja) * 1983-11-26 1985-06-20 Electroplating Eng Of Japan Co 自動メッキ装置
JPH07316885A (ja) * 1994-05-31 1995-12-05 Japan Tobacco Inc メッキ用基板取付け装置および取外し装置
US5984624A (en) * 1999-02-19 1999-11-16 Glassline Corporation Article loader/unloader

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60102320A (ja) * 1983-11-07 1985-06-06 Electroplating Eng Of Japan Co ロ−デイング装置
JPS60113956A (ja) * 1983-11-26 1985-06-20 Electroplating Eng Of Japan Co 自動メッキ装置
JPH07316885A (ja) * 1994-05-31 1995-12-05 Japan Tobacco Inc メッキ用基板取付け装置および取外し装置
US5984624A (en) * 1999-02-19 1999-11-16 Glassline Corporation Article loader/unloader

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100973339B1 (ko) 2008-08-29 2010-07-30 주식회사 엔케이 인산염 피막처리를 위한 원판모재 로딩장치
KR101050085B1 (ko) * 2008-08-30 2011-07-19 주식회사 엔케이 인산염 피막처리된 원판모재의 언로딩장치
CN108611673A (zh) * 2016-12-26 2018-10-02 东莞市蓉工自动化科技有限公司 一种可用于不规则零件方便夹持的自动电镀机
CN108611673B (zh) * 2016-12-26 2019-10-29 陈少军 一种可用于不规则零件方便夹持的自动电镀机
KR102252654B1 (ko) * 2020-06-10 2021-05-14 정을연 단품 자동 래크 회전 전기도금장치

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