KR100726806B1 - Rail type hybrid optic/electric converter - Google Patents

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Abstract

본 발명은 본 발명은 실리카계 평판 광도파 회로(Planar Light Circuit) 플랫폼을 이용한 하이브리드(Hybrid) 광전 변환 장치에 관한 것으로, 본 발명에서는 상부 클래드층(1)의 코아(2)의 일단(b)과 동일축의 실리콘 기판(4)에 V자형태의 레일 홈(11)을 형성하고, 광 소자(3)의 하단부에는 V자형의 돌출부(3-1)를 형성하므로써 광 소자(3)를 실리콘 기판(4)상의 필요한 위치 즉, 상부 클래드층(1)의 코아(2)의 일단부(b)와 접촉가능한 위치에 접합시킬 수 있으며, 레일 홈(11) 및 돌출부(3-1)는 기판(4)의 재료인 실리콘(Si) 그리고 광 소자(3)의 재료인 비화 갈륨(GaAs)과 인화 인듐(InP)의 습식 이방성 식각 특성을 이용하여 형성한다. The present invention relates to a hybrid photoelectric conversion device using a silica-based planar light circuit platform, in the present invention, one end (b) of the core (2) of the upper cladding layer (1) The V-shaped rail groove 11 is formed in the silicon substrate 4 on the same axis as the V axis, and the V-shaped protrusion 3-1 is formed at the lower end of the optical element 3 so that the optical element 3 is formed on the silicon substrate. (4) can be joined to the required position, that is, the position where the upper clad layer 1 is in contact with the one end b of the core 2, and the rail groove 11 and the protrusion 3-1 are connected to the substrate ( It is formed using the wet anisotropic etching characteristics of silicon (Si), a material of 4), and gallium arsenide (GaAs), and indium phosphide (InP), which are materials of the optical device 3.

따라서, 본 발명에서는 고가의 정렬 장치를 사용하지 않고 광 소자를 기판상의 요구되는 위치에 정확히 고정시킬 수 있다는 효과가 있다.  Therefore, in the present invention, there is an effect that the optical element can be accurately fixed to the required position on the substrate without using an expensive alignment device.

Description

레일형 하이브리드 광전 변환 장치{RAIL TYPE HYBRID OPTIC/ELECTRIC CONVERTER}Rail type hybrid photoelectric conversion device {RAIL TYPE HYBRID OPTIC / ELECTRIC CONVERTER}

도 1은 종래 하이브리드 광전 변환 장치의 개략도, 1 is a schematic diagram of a conventional hybrid photoelectric conversion device,

도 2는 적외선을 이용하여 종래 하이브리드 광전 변환 장치의 광 소자를 정렬시키는 방법을 설명하기 위한 도면, 2 is a view for explaining a method of aligning optical elements of a conventional hybrid photoelectric conversion device using infrared rays;

도 3은 거울을 이용하여 종래 하이브리드 광전 변환 장치의 광 소자를 정렬시키는 방법을 설명하기 위한 도면,3 is a view for explaining a method of aligning optical elements of a conventional hybrid photoelectric conversion device using a mirror,

도 4는 본 발명에 따른 레일형 하이브리드 광전 변환 장치의 개략도, 4 is a schematic diagram of a rail-type hybrid photoelectric conversion device according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 레일형 하이브리드 광전 변환 장치에서 광 소자가 기판상에 접합되는 상태를 도시한 도면, 5 is a view illustrating a state in which an optical device is bonded on a substrate in the rail-type hybrid photoelectric conversion device according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 레일형 하이브리드 광전 변환 장치에서 실리콘 기판상에 레일 홈을 형성하는 과정을 도시한 도면.6 is a view illustrating a process of forming rail grooves on a silicon substrate in a rail-type hybrid photoelectric conversion device according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 상부 클래드 층 2 : 코아1: upper clad layer 2: core

3 : 능동 광 소자 4 : 실리콘 기판3: active optical element 4: silicon substrate

5 : 테라스 면 6 : 고정 홈5: terrace face 6: fixed groove

7 : 광 섬유 8 : 정렬 마크7: optical fiber 8: alignment mark

9 : 모니터 10 : 거울9: monitor 10: mirror

11 : 레일 홈 12 : 식각 마스크11: rail groove 12: etching mask

본 발명은 실리카계 평판 광도파 회로(Planar Light Circuit) 플랫폼을 이용한 하이브리드(Hybrid) 광전 변환 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 능동 광 소자를 수동 소자에 간단히 정렬시킬 수 있는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hybrid photoelectric conversion device using a silica-based planar light circuit platform, and more particularly, to a rail type hybrid photoelectric conversion device capable of easily aligning an active optical device to a passive device. It is about.

광 송신 모듈을 저가격으로 생산하는 기술로서 실리카계 평판 광도파 회로 플랫폼을 이용한 하이브리드 광전 변환 장치가 사용되고 있다. 평판 광도파 회로 플랫폼을 이용하는 하이브리드 광전 변환 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 상부 클래드층(1)의 내부에 형성되는 코아(2)의 일측 끝단 위치에 맞추어 레이저 다이오드 또는 포토 다이오드 등의 능동 광 소자(3)를 하부 실리콘(4)의 테라스면(5)에 고정하는 방법으로 제작하였다. 코아(2)의 타측 끝단의 클래드층(1)에는 고정 홈(6)이 형성되며, 이 고정 홈(6)에 광 섬유(7)가 고정 설치되므로써 광 소자(3)의 광은 코아(2) 및 광 섬유(7)를 통하여 전송된다. A hybrid photoelectric conversion device using a silica-based flat waveguide circuit platform is used as a technology for producing an optical transmission module at low cost. As shown in FIG. 1, a hybrid photoelectric conversion device using a planar optical waveguide circuit platform has an active optical device such as a laser diode or a photodiode in accordance with a position of one end of a core 2 formed inside the upper clad layer 1. (3) was produced by the method of fixing to the terrace surface 5 of the lower silicon 4. A fixing groove 6 is formed in the clad layer 1 of the other end of the core 2, and the optical fiber 7 is fixedly installed in the fixing groove 6 so that the light of the optical element 3 is transferred to the core 2. ) And through optical fiber 7.

한편, 상술한 하이브리드 광전 변환 장치의 제작 방법은 능동 정렬 방법과 수동 정렬 방법으로 구분된다. 능동 정렬 방법은 능동 광 소자(3)에 전류를 제공하여 광 소자(3)를 동작시키면서 코아(2)를 통하여 광 섬유(7)에 제공되는 광신호의 레벨을 측정하여 최대 레벨의 광신호가 제공되는 위치에 광 소자(3)를 고정시키는 방법으로, 이러한 방법은 제작 단가가 높고, 대량 생산이 불가능하다는 단점이 있다. On the other hand, the manufacturing method of the above-described hybrid photoelectric conversion device is classified into an active alignment method and a passive alignment method. The active alignment method provides a current to the active optical element 3 to operate the optical element 3 while measuring the level of the optical signal provided to the optical fiber 7 through the core 2 to provide a maximum level of the optical signal. As a method of fixing the optical element 3 in the position, such a method has a disadvantage that the manufacturing cost is high, mass production is impossible.

능동 정렬 방법의 단점을 보완하기 위하여 수동 정렬 방법이 제안되었다. 수동 정렬 방법에서는 광 소자(3)를 작동시키지 않는 상태에서 코아(2와 광 소자(3)를 정렬 시킨다. 수동 정렬 방법에서는 광 소자(3)를 작동시키지 않는 대신에 별도의 정렬 마크를 광 소자(3) 및 실리콘 기판(4)상에 형성하고, 이 정렬 마크를 관찰하면서 광 소자(3)를 위치시킨다. 여기서, 정렬 마크를 관찰하는 방법으로는 적외선을 이용하는 방법과 거울을 이용한 잔여 영상 이메징 방법이 있다. In order to make up for the shortcomings of the active sorting method, a passive sorting method has been proposed. In the manual alignment method, the core 2 and the optical device 3 are aligned while the optical device 3 is not operated. In the manual alignment method, a separate alignment mark is added to the optical device instead of the optical device 3 being operated. (3) and on the silicon substrate 4, and the optical element 3 is positioned while observing the alignment mark, wherein the alignment mark is observed by using infrared rays and remaining images using a mirror. There is a method of messaging.

적외선을 사용하는 방법은 도 2에 도시된 바와 같이 광 소자(3)와 실리콘 기판(4)에 정렬 마크(8)를 형성하고, 기판(4)에 적외선 광원(15)의 광을 투사하여 도시하지 않은 카메라로 광 소자(3) 및 기판(4)의 정렬 마크(8를 촬상한다. 카메라의 촬상 결과는 모니터(9)상에 디스플레이되므로 광 소자(3) 및 기판(4)의 정렬 마크(8)가 일치되도록 광 소자(3)의 위치를 조정하고, 이 정렬 마크(8)가 일치할 때에 솔더를 이용하여 기판(4)과 광 소자(3)를 접합시킨다. The method using infrared light is shown by forming alignment marks 8 on the optical element 3 and the silicon substrate 4 and projecting the light of the infrared light source 15 onto the substrate 4 as shown in FIG. An image of the alignment mark 8 of the optical element 3 and the board | substrate 4 is image | photographed with the camera which is not. Since the imaging result of a camera is displayed on the monitor 9, the alignment mark of the optical element 3 and the board | substrate 4 ( The position of the optical element 3 is adjusted so that 8) matches, and when the alignment mark 8 matches, the board | substrate 4 and the optical element 3 are bonded together using solder.

잔여 영상 이메징 방법은 도 3에 도시된 바와 같이 거울(10)을 이용한다. 즉, 광 소자(3)와 기판(4)사이에 거울(10)을 위치시키고, 거울(10)에 반사되는 영상을 통하여 광 소자(3) 및 기판(4)의 정렬 마크(8)의 위치를 확인하여 이들의 위치가 일치될 때에 거울(10)을 제거하고 솔더를 이용하여 광 소자(3)와 기판(4)을 접합시킨다. The residual image imaging method uses a mirror 10 as shown in FIG. That is, the mirror 10 is positioned between the optical element 3 and the substrate 4, and the position of the alignment mark 8 of the optical element 3 and the substrate 4 through the image reflected by the mirror 10. When the positions thereof are coincident with each other, the mirror 10 is removed, and the optical element 3 and the substrate 4 are bonded using solder.

상술한 바와 같이 종래의 수동 정렬 방법은 능동 정렬 방법에 비하여 대량 생산면에서는 유리하나, 적외선 광원, 모니터, 거울 등의 장치가 필요하며 이로 인하여 장치의 설치 비용이 높다는 문제가 있다. As described above, the conventional passive alignment method is advantageous in terms of mass production compared to the active alignment method, but requires an apparatus such as an infrared light source, a monitor, a mirror, and the like, and thus, the installation cost of the apparatus is high.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 고가의 정렬 장치를 사용하지 않고 광 소자를 기판상의 요구되는 위치에 정확히 고정시킬 수 있는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve this problem, and an object of the present invention is to provide a rail-type hybrid photoelectric conversion device capable of accurately fixing an optical element to a required position on a substrate without using an expensive alignment device.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 하이브리드 광전 변환 장치에 있어서, 코아가 내장되며, 코아의 제 1 단부에는 광 섬유의 장착이 가능한 고정 홈이 형성된 클래드층과; 상부 클래드층의 하부에 위치하며, 코아의 제 2 단부와 동일 축상에 레일 홈이 형성되는 기판과; 하단에 돌출부가 형성되며, 돌출부는 레일 홈에 고정이 가능하도록 구성된 광 소자를 구비한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a hybrid photoelectric conversion device comprising: a clad layer having a core embedded therein and a fixing groove formed at a first end of the core to which optical fibers can be mounted; A substrate positioned below the upper clad layer, the rail groove being formed on the same axis as the second end of the core; A protrusion is formed at the bottom, and the protrusion has an optical element configured to be fixed to the rail groove.

이하, 본 발명의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 레일형 광전 변환 장치의 사시도이다. 도시된 바와 같이 실리콘 기판(4)상에는 코아(2)가 내장된 상부 클래드층(1)이 형성되어 있고, 코아(2)가 형성되는 상부 클래드층(1)의 일단부(a)에는 고정 홈(6)이 형성되어 광 섬유(2)의 고정 설치가 가능하도록 구성되어 있다. 4 is a perspective view of a rail-type photoelectric conversion device according to the present invention. As shown, the upper cladding layer 1 in which the core 2 is embedded is formed on the silicon substrate 4, and the fixing groove is formed at one end a of the upper cladding layer 1 in which the core 2 is formed. (6) is formed and is comprised so that the fixed installation of the optical fiber 2 is possible.

한편, 상부 클래드(1)층에 형성되는 코아(2)의 다른 일단부(b))와 동일축상의 실리콘 기판(4)에는 V자의 홈(11)(이하, 레일 홈이라 함)이 형성되어 있으며, 광 소자(3)는 그 하단부에 V자 형의 돌출부(3-1)가 형성되어 있다. 따라서, 광 소자(3)를 실리콘 기판(4)상에 위치시키고자 하는 경우에는 도 5 a와 같이 광 소자(3)를 실리콘 기판(4)의 레일 홈(11)에 밀어넣으면 광 소자(3)의 돌출부(3-1)는 실리콘 기판(4)의 레일 홈(11)에 삽입되어 광 소자(3)와 실리콘 기판(4)은 도 5 b와 같이 마치 톱니 모양으로 결합된다. 여기서, 광 소자(3)는 코아(2)의 일단부(b)와 접합되어야 하며, 이를 위해서는 실리콘 기판(4)의 레일 홈(11)에 위치한 광 소자(3)를 코아(2)측으로 밀어넣으면 광 소자(3)는 코아(2)의 일단부(b)와 자연스럽게 접촉된다. 따라서, 광 소자(3)는 별다른 장치를 사용하지 않고도 상부 클래드층(1)내의 코아(2)의 일단부(b)와 코아(2)와 동일축상에서 상호 접촉될 수 있다. Meanwhile, a V-shaped groove 11 (hereinafter referred to as a rail groove) is formed in the silicon substrate 4 on the same axis as the other end portion b of the core 2 formed on the upper cladding layer 1. The optical element 3 has a V-shaped protrusion 3-1 at its lower end. Therefore, when the optical element 3 is to be positioned on the silicon substrate 4, the optical element 3 is pushed into the rail groove 11 of the silicon substrate 4 as shown in FIG. 5A. The protrusions 3-1 of) are inserted into the rail grooves 11 of the silicon substrate 4 so that the optical element 3 and the silicon substrate 4 are joined in a sawtooth shape as shown in FIG. 5B. Here, the optical element 3 should be bonded to one end b of the core 2. For this purpose, the optical element 3 located in the rail groove 11 of the silicon substrate 4 is pushed toward the core 2 side. When put in, the optical element 3 naturally contacts the one end b of the core 2. Thus, the optical element 3 can be in contact with each other coaxially with one end b of the core 2 and the core 2 in the upper clad layer 1 without using any device.

상술한 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이 본 발명에서는 실리콘 기판(4)내에는 레일 홈(11)을 그리고 광 소자(3)의 하단부에는 V자의 돌출부(3-1)를 형성하여야 한다. 이러한 레일 홈(11) 및 돌출부(3-1)는 기판(4)의 재료인 실리콘(Si) 그리고 광 소자(3)의 재료인 비화 갈륨(GaAs)과 인화 인듐(InP)의 습식 이방성 식각 특성을 이용하여 용이하게 형성할 수 있다. As can be seen from the above description, in the present invention, the rail groove 11 is formed in the silicon substrate 4 and the V-shaped protrusion 3-1 is formed at the lower end of the optical element 3. The rail grooves 11 and the protrusions 3-1 are wet anisotropic etching characteristics of silicon (Si), which is a material of the substrate 4, and gallium arsenide (GaAs) and indium phosphide (InP), which are materials of the optical device 3. It can be easily formed using.

습식 이방성 식각 방법은 물질의 결정 방향에 따른 식각률의 차이를 이용하여 미세한 구조를 형성하는 대표적인 가공 방법으로서 이미 1950년대부터 연구가 개시되었다. 이방성 식각의 원리는 물질이 결정 방향에 따라 서로 다른 식각률을 보이며 이것은 결정 방향에 따라 원자 밀집 정도가 다르기 때문에 발생하는 것으로서 가장 낮은 활성화 에너지를 가진 방향의 식각률이 가장 높다. 기판(2)의 재료인 실리콘(Si)과 광 소자(3)의 재료인 비화 갈륨(GaAS) 및 인화 인듐(InP)은 이방성 식각 특성을 가지고 있다. 예로서 실리콘(Si)상에 V자 홈을 형성하는 방법을 설명하면 다음과 같다. The wet anisotropic etching method is a representative processing method for forming a fine structure by using the difference in the etching rate according to the crystal direction of the material has already been studied since the 1950s. The principle of anisotropic etching is that the material shows different etching rates depending on the crystal direction, which is caused by the difference of atomic density depending on the crystal direction, and the etching rate in the direction having the lowest activation energy is the highest. Silicon (Si), which is a material of the substrate 2, and gallium arsenide (GaAS) and indium phosphide (InP), which are materials of the optical element 3, have anisotropic etching characteristics. As an example, a method of forming a V-shaped groove on silicon (Si) is as follows.

도 6 a에 도시된 바와 같이 레일 홈(11)을 형성하고자 하는 실리콘 기판(4)의 소정 영역을 제외한 나머지 부분에 산화막이나 질화막으로 식각 마스크(12)를 형성한 다음 식각액에 침수시킨다. 이때, 레일 홈(11)이 형성되는 실리콘 기판(4)의 소정 영역은 그 결정면의 밀러 지수가 (100)이 되도록 한다. 이러한 상태에서 실리콘 기판(4)이 식각액에 침수되면 (111)의 밀러지수를 갖는 결정면의 식각률이 가장 늦기 때문에 밀러지수 (111)의 결정면만이 노출된다. 또한, 식각에 의하여 드러나는 밀러 지수(111)의 결정면이 만나는 지점에서 식각이 자동으로 정지된다. 따라서 식각액에 노출시킨 실리콘 표면이 실리콘에 평행한 레일 형태인 경우에 도 6 b와 같이 레일에 따라 V자형의 홈이 형성됨을 알 수 있다. As shown in FIG. 6A, the etching mask 12 is formed of an oxide film or a nitride film on the remaining portion except for a predetermined region of the silicon substrate 4 on which the rail groove 11 is to be formed, and then immersed in the etching solution. At this time, in the predetermined region of the silicon substrate 4 where the rail groove 11 is formed, the Miller index of the crystal surface becomes (100). In this state, when the silicon substrate 4 is immersed in the etchant, only the crystal surface of the Miller index 111 is exposed because the etching rate of the crystal surface having the Miller index of 111 is the slowest. In addition, the etching is automatically stopped at the point where the crystal plane of the Miller index 111 exposed by the etching meets. Therefore, when the silicon surface exposed to the etchant is in the form of a rail parallel to the silicon it can be seen that the V-shaped grooves are formed along the rail as shown in Figure 6b.

또한, 실리콘 기판(4)상에 레일 홈(11)을 형성하는 방법을 광 소자(3)에 적용하면 V자형의 돌출부(3-1)를 형성할 수 있다. In addition, when the method of forming the rail groove 11 on the silicon substrate 4 is applied to the optical element 3, the V-shaped protrusion 3-1 can be formed.

상술한 바와 같이 본 발명에서는 상부 클래드층(1)의 코아(2)의 일단(b)과 동일축의 실리콘 기판(4)에 V자 형태의 레일 홈(11)을 형성하고, 광 소자(3)의 하단부에는 V자형의 돌출부(3-1)를 형성하므로써 광 소자(3)를 실리콘 기판(4)상의 필요한 위치 즉, 상부 클래드층(1)의 코아(2)의 일단부(b)와 접촉가능한 위치에 접합시킬 수 있다. As described above, in the present invention, a V-shaped rail groove 11 is formed in the silicon substrate 4 coaxial with one end b of the core 2 of the upper cladding layer 1, and the optical element 3 is formed. By forming the V-shaped protrusions 3-1 at the lower end of the optical element 3, the optical element 3 contacts the required position on the silicon substrate 4, that is, the one end b of the core 2 of the upper cladding layer 1. It can be bonded at possible positions.

따라서, 본 발명에서는 고가의 정렬 장치를 사용하지 않고 광 소자를 기판상의 요구되는 위치에 정확히 고정시킬 수 있다는 효과가 있다.  Therefore, in the present invention, there is an effect that the optical element can be accurately fixed to the required position on the substrate without using an expensive alignment device.

Claims (5)

기판;Board; 상기 기판 위에 형성되는 상부 클래드층;An upper clad layer formed on the substrate; 상기 상부 클래드층에 내장되는 코아;Core embedded in the upper clad layer; 상기 코아의 제 1 단부 측으로, 광 섬유가 장착되도록 상기 상부 클래드층에 형성되는 고정 홈;A fixing groove formed in the upper clad layer so as to mount an optical fiber toward the first end side of the core; 상기 기판 위에, 상기 코아의 제 2 단부 측으로, 상기 코아와 동일 축을 이루며 형성되는 레일 홈; 및A rail groove formed on the substrate to the second end side of the core, the rail groove being coaxially formed with the core; And 그 하부에 돌출부를 구비하여 상기 레일 홈에 체결할 수 있도록 형성되는 광 소자An optical element formed to be fastened to the rail groove by having a protrusion at the bottom thereof 를 포함하는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치.Rail-type hybrid photoelectric conversion device comprising a. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 실리콘의 레일 홈은 V자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치.The rail groove of the silicon rail-shaped hybrid photoelectric conversion device, characterized in that formed in the V shape. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 광 소자 하단부의 돌출부는 V자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치.The projecting portion of the lower end of the optical element is a rail-type hybrid photoelectric conversion device, characterized in that formed in the V shape. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 실리콘 레일 홈은 이방성 식각으로 형성하는 것을 특징으로 하는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치.And the silicon rail grooves are formed by anisotropic etching. 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 광 소자 하단부의 돌출부는 이방성 식각으로 형성하는 것을 특징으로 하는 레일형 하이브리드 광전 변환 장치.The projecting portion of the lower end of the optical element is a rail-type hybrid photoelectric conversion device, characterized in that formed by anisotropic etching.
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