KR100726650B1 - Green sheet and manufacturing method of plasma display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 제조 공정수 및 불량률을 줄여 생산 수율을 향상시킬 수 있도록 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a green sheet for a plasma display panel and a method of manufacturing the same, capable of improving the production yield by reducing the number of manufacturing steps and defective rate.

이와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트는, 소정의 패턴이 형성된 베이스 필름과, 상기 베이스 필름 상부에 감광성 물질이 포함된 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나가 도포되어 형성된 드라이 필름 및 상기 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름으로 구성된다.In the green sheet for a plasma display panel according to the present invention, any one of a base film having a predetermined pattern and a dielectric paste, a partition paste, a black layer paste, and an electrode paste containing a photosensitive material on the base film is coated. And a dry film formed and a cover film formed on the dry film.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트 제조방법은, 투명 베이스 필름 상부에 소정의 패턴으로 블랙막을 형성하여 소정의 패턴을 갖는 베이스 필름을 형성하는 단계와, 상기 베이스 필름 상부에 감광성 물질을 포함한 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나를 도포하여 드라이 필름을 형성하는 단계 및 상기 드라이 필름 상부에 커버 필름을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.In addition, the method for manufacturing a green sheet for a plasma display panel according to the present invention may include forming a base film having a predetermined pattern by forming a black film on a transparent base film in a predetermined pattern, and applying a photosensitive material on the base film. Forming a dry film by applying any one of a dielectric paste, a partition wall paste, a black layer paste, and an electrode paste, and forming a cover film on the dry film.

플라즈마 디스플레이 패널, 그린시트, 베이스 필름, 드라이 필름, 라미네이팅Plasma Display Panel, Green Sheet, Base Film, Dry Film, Laminating

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트 및 그 제조방법{GREEN SHEET AND MANUFACTURING METHOD OF PLASMA DISPLAY PANEL}Green Sheet for Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof {GREEN SHEET AND MANUFACTURING METHOD OF PLASMA DISPLAY PANEL}

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조도,1 is a structural diagram of a typical plasma display panel;

도 2a 내지 2b는 종래의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 제조방법을 나타낸 도,2A to 2B illustrate a method of manufacturing a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention;

도 3은 도 2에 따른 격벽용 그린시트의 구조도,3 is a structural diagram of a green sheet for a partition wall according to FIG. 2;

도 4는 종래의 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 공정도,Figure 4 is a manufacturing process of the rear panel using a conventional green sheet for partition walls,

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도,5 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention;

도 6a 내지 6c는 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 제조방법을 나타낸 도,6a to 6c are views illustrating a method of manufacturing a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention;

도 7은 도 6에 따른 격벽용 그린시트의 구조도,7 is a structural diagram of a partition green sheet according to FIG. 6;

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 공정도,8 is a manufacturing process of the rear panel using the partition green sheet according to an embodiment of the present invention,

도 9a 내지 9c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 제조방법을 나타낸 도,9a to 9c are views illustrating a method of manufacturing a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to another embodiment of the present invention;

도 10은 도 9에 따른 격벽용 그린시트의 구조도,10 is a structural diagram of a partition green sheet according to FIG. 9;

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 공정도이다.11 is a manufacturing process diagram of the rear panel using the partition green sheet according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

500 : 후면 글라스 501 : 어드레스 전극500: rear glass 501: address electrode

502 : 유전체층 503 : 격벽용 드라이 필름502: dielectric layer 503: dry film for partition wall

504 : 베이스 필름504: base film

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트에 패턴을 형성하여 공정수 및 불량률을 줄일 수 있도록 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel green sheet and a method of manufacturing the same, by forming a pattern on the green sheet for plasma display panel to reduce the number of processes and a defective rate.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널은 전면기 후면기판 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온 및 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a plasma display panel is a partition wall formed between a front panel and a rear panel of a unit cell, and each cell includes neon, helium (He), or a mixture of neon and helium (Ne + He). An inert gas containing a main discharge gas and a small amount of xenon is filled. When discharged by a high frequency voltage, the inert gas generates vacuum ultraviolet rays and emits phosphors formed between the partition walls to realize an image. Such a plasma display panel has a spotlight as a next generation display device because of its thin and light configuration.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.1 illustrates a structure of a general plasma display panel.

도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(101)에 스캔 전극(102)과 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면기판(100) 및 배면을 이루는 후면 글라스(111) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(113)이 배열된 후면기판(110)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.As shown in FIG. 1, a plasma display panel includes a front substrate in which a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 are formed on a front glass 101, which is a display surface on which an image is displayed. The rear substrate 110 having the plurality of address electrodes 113 arranged to intersect the plurality of sustain electrode pairs on the back glass 111 forming the back surface 100 and the rear surface is coupled in parallel with a predetermined distance therebetween. .

전면기판(100)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103), 즉 투명한 ITO 물질로 형성된 투명 전극(a)과 금속재질로 제작된 버스 전극(b)으로 구비된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 하나 이상의 유전체층(104)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(104) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(105)이 형성된다.The front substrate 100 is made of a scan electrode 102 and a sustain electrode 103, that is, a transparent electrode (a) formed of a transparent ITO material and a metal material to mutually discharge and maintain light emission of the cells in one discharge cell. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 provided as the bus electrode b are included in pairs. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 are covered by one or more dielectric layers 104 that limit the discharge current and insulate the electrode pairs, and are oxidized on top of the upper dielectric layer 104 to facilitate the discharge conditions. A protective layer 105 on which magnesium (MgO) is deposited is formed.

후면기판(110)은 복수개의 방전 공간 즉, 방전셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입(또는 웰 타입)의 격벽(112)이 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(113)이 격벽(112)에 대해 평행하게 배치된다. 후면기판(110)의 상측면에는 어드레스 방전시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(114)가 도포된다. 어드레스 전극(113)과 형광체(114) 사이에는 어드레스 전극(113)을 보호하기 위한 하부 유전체층(115)이 형성된다.The rear substrate 110 is arranged in such a manner that a plurality of discharge spaces, that is, barrier ribs 112 of a stripe type (or well type) for forming discharge cells are maintained in parallel. In addition, a plurality of address electrodes 113 which perform address discharge to generate vacuum ultraviolet rays are arranged in parallel with the partition wall 112. On the upper side of the rear substrate 110, R, G, and B phosphors 114 which emit visible light for image display during address discharge are coated. A lower dielectric layer 115 is formed between the address electrode 113 and the phosphor 114 to protect the address electrode 113.

이와 같은, 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널은 미소 방전을 이용한 것 으로 방전이 발생한 셀에서 가시광선이 발생하게 되는데, 이웃한 셀을 공간적으로 분리하기 위해 셀과 셀 사이를 구획하는 격벽(barrier rib)이 형성되며, 이러한 격벽 상부에는 방전시 불필요한 광이 방출되어 플라즈마 디스플레이 패널의 콘트라스트(Contrast)특성이 저하되는 것을 방지하기 위한 블랙층이 형성된다.As such, a plasma display panel having a structure uses micro discharges to generate visible light in a cell where a discharge occurs. A barrier rib partitioning between cells is used to spatially separate neighboring cells. The black layer is formed on the partition wall to prevent unnecessary light from being discharged during discharge, thereby lowering the contrast characteristic of the plasma display panel.

한편, 전술한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조시 글라스 기판상에 형성되는 유전체, 격벽, 블랙층 또는 전극을 그린시트를 이용하여 형성하게 되면 보다 빠르게 플라즈마 디스플레이 패널을 제작할 수 있다.Meanwhile, when the above-described plasma display panel is manufactured, the dielectric, partition, black layer, or electrode formed on the glass substrate may be formed using the green sheet, thereby rapidly manufacturing the plasma display panel.

이러한, 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트의 제조 방법 및 구조를 살펴보면 도 2 내지 도 3과 같다.The manufacturing method and structure of the green sheet for plasma display panel are as shown in FIGS. 2 to 3.

도 2a 내지 2b는 종래의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 제조방법을 나타낸 도면이다.2A to 2B are views illustrating a method of manufacturing a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to an exemplary embodiment.

먼저, 도 2a를 살펴보면, 격벽을 형성하기 위한 드라이 필름은 코터(Coater, 210)로부터 나오는 격벽용 슬러리(Slurry, 201a)가 컨베이어 벨트(220)상에 형성된 PET 재질인 베이스 필름(202)상에 일정한 두께로 도포된다. First, referring to FIG. 2A, the dry film for forming the partition wall is formed on the base film 202 of PET material formed with the slurry slurry 201a from the coater 210 on the conveyor belt 220. It is applied to a certain thickness.

이후, 도 2b에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(202)에 형성된 슬러리(201a)는 건조구역을 지나 드라이 필름(201)이 형성되며, 드라이 필름(201) 상면에는 커버 필름(203)을 덮어 롤(Roll)형태로 제작되어 최종 그린시트(200)가 형성된다.Thereafter, as shown in FIG. 2B, the slurry 201a formed in the base film 202 passes through a drying zone, and a dry film 201 is formed, and the cover film 203 is covered with a roll on the upper surface of the dry film 201. (Roll) form the final green sheet 200 is formed.

도 3은 전술한 종래 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 구조를 나타낸 도면이다.3 is a view showing the structure of the partition green sheet laminated on the back glass of the plasma display panel according to the conventional embodiment described above.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 격벽용 드라이 필름 하부에 베이 스 필름(202), 베이스 필름 상부에 형성된 격벽용 드라이 필름(201) 및 격벽용 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름(203)으로 형성되어 있다.As shown in FIG. 3, the base film 202 is disposed below the partition dry film according to the present invention, the partition dry film 201 formed on the base film and the cover film 203 formed on the partition dry film. It is formed.

이렇게 형성된 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 방법을 살펴보면 도 4와 같다.Looking at the manufacturing method of the rear panel using the partition green sheet formed as shown in FIG.

도 4는 종래의 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 공정도로써, 도 4에 도시된 바와 같이, (a) 단계에서는 후면 글라스(300)에 어드레스 전극(301)을 형성하고, 상기 어드레스 전극(301)이 형성된 후면 글라스(300) 상부에 유전체(302)를 형성한다. 그런 다음, 유전체(302) 상부에 격벽용 그린시트를 도포한다. 이에 대해 자세히 살펴보면, 격벽용 그린시트 중 커버 필름(미도시)을 롤러를 이용하여 제거하면서 격벽용 드라이 필름(303)과 베이스 필름(304)을 유전체(302)가 형성된 후면 글라스 상부에 롤러를 이용하여 라미네이팅 한 후, 베이스 필름(304)을 제거한다.4 is a manufacturing process diagram of a rear panel using a conventional green sheet for partition walls, as shown in FIG. 4, in step (a), an address electrode 301 is formed on the rear glass 300, and the address electrode ( The dielectric 302 is formed on the rear glass 300 on which the 301 is formed. Then, a barrier green sheet is coated on the dielectric 302. Looking at this in detail, while removing the cover film (not shown) of the partition green sheet using a roller, the partition dry film 303 and the base film 304 using a roller on the top of the rear glass on which the dielectric 302 is formed. After laminating, the base film 304 is removed.

이 후, (b) 단계에서는 격벽용 드라이 필름(303) 상부에 소정의 포토 레지스트(Photo Resist)막, 예컨대 드라이 필름 레지스트(Dry Film Resist; 이하, DFR이라함, 310)이 라미네이팅 공정 등의 방법을 통하여 형성된다. 이 후, DFR(310) 상에는 포토 마스크(320)가 정렬되고, 이러한 포토 마스크(320)에 의한 노광 공정을 거친 후, 현상공정을 실시한다.Subsequently, in step (b), a predetermined photoresist film, for example, a dry film resist (hereinafter referred to as DFR) 310, is formed on the partition dry film 303. It is formed through. Thereafter, the photo mask 320 is aligned on the DFR 310, and after the exposure process is performed by the photo mask 320, a development process is performed.

이러한, 현상공정에 의해 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라함)의 DFR(310)은 격벽용 드라이 필름(303) 상에 잔류하는 반면에, 광에 노출되지 않은 영역(이하 '비노광 영역'이라 함)의 DFR(310)은 식각 및 제거되어 도 4의 (c)와 같 은 형상이 된다.The DFR 310 of the region exposed to light by the developing process (hereinafter referred to as 'exposure region') remains on the dry film 303 for the partition wall, whereas the region not exposed to light (hereinafter referred to as 'ratio') DFR 310 of the 'exposure area' is etched and removed to form a shape as shown in FIG.

이 후, (d)단계에서 에칭장치가 전술한 바와 같은 현상공정을 거친 격벽용 드라이 필름(303)과 DFR(310) 상에 에칭액을 분사한다. 이때, 격벽에 해당하는 드라이 필름(303)은 DFR(310) 패턴에 의해 보호되고, DFR(310) 패턴이 형성되지 않은 격벽용 드라이 필름(303)은 에칭액에 의해 깎여져 격벽 사이 공간에 방전공간이 형성된다.Thereafter, in step (d), the etching apparatus sprays the etching solution on the barrier dry film 303 and the DFR 310 which have undergone the above-described development process. At this time, the dry film 303 corresponding to the partition wall is protected by the DFR 310 pattern, and the dry film 303 for the partition, in which the DFR 310 pattern is not formed, is scraped off by an etchant to discharge space in the space between the partition walls. Is formed.

그러나, 상술한 바와 같이 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 도 4와 같이 종래 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트를 이용하여 후면 패널의 격벽층을 형성하는 방법은, 하부 유전체층 상부에 도포된 격벽용 드라이 필름에서 방전공간이 형성된 격벽을 형성하기 위하여 상기 격벽용 드라이 필름 상부에 DFR을 라미네이팅 하여 형성하고, DFR 상부에 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크를 정렬시켜야함으로 공정이 복잡하고, 포토 마스크 정렬시 오류가 발생하여 불량률이 높아지는 문제점이 있다.However, in the method of manufacturing the plasma display panel as described above, the method of forming the partition layer of the rear panel using the conventional green sheet for plasma display panel as shown in Figure 4, the dry film for the partition wall is applied on the lower dielectric layer. In order to form a barrier rib formed with a discharge space in the DFR is formed on the upper part of the dry film for the partition wall, and the process is complicated by aligning the photo mask having a predetermined pattern formed on the DFR, an error occurs when the photo mask alignment There is a problem that the failure rate is high.

따라서, 본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 그린시트를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정을 단순화하여 공정 시간을 단축하고, 동시에 불량을 줄여 생산 수율을 높일 수 있도록 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to simplify the manufacturing process of the plasma display panel using the green sheet to shorten the process time, at the same time to reduce the defects to increase the production yield The present invention provides a green sheet for a plasma display panel and a method of manufacturing the same.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레 이 패널용 그린시트는 소정의 패턴이 형성된 베이스 필름과, 상기 베이스 필름 상부에 감광성 물질이 포함된 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나가 도포되어 형성된 드라이 필름 및 상기 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름으로 구성된다.Green sheet for a plasma display panel according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a base film having a predetermined pattern, a dielectric paste, a partition paste, a black layer containing a photosensitive material on the base film It consists of a dry film formed by applying any one of a paste and an electrode paste and a cover film formed on the dry film.

또한, 상기 블랙층 페이스트는 상기 유전체 페이스트, 격벽 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나와 함께 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the black layer paste may be formed by coating the upper portion of the base film together with any one of the dielectric paste, the barrier paste, and the electrode paste.

여기서, 상기 베이스 필름에 형성된 소정의 패턴은 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극의 패턴 중 어느 하나의 패턴과 동일한 것을 특징으로 한다.Here, the predetermined pattern formed on the base film is the same as any one of the patterns of the dielectric, the partition, the black layer, and the electrode formed on the plasma display panel.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트의 제조방법은, 투명 베이스 필름 상부에 소정의 패턴으로 블랙막을 형성하여 소정의 패턴을 갖는 베이스 필름을 형성하는 단계와, 상기 베이스 필름 상부에 감광성 물질을 포함한 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나를 도포하여 드라이 필름을 형성하는 단계 및 상기 드라이 필름 상부에 커버 필름을 형성하는 단계로 이루어진다.Method for manufacturing a green sheet for a plasma display panel according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the step of forming a base film having a predetermined pattern by forming a black film in a predetermined pattern on the transparent base film And forming a dry film by applying one of a dielectric paste, a partition paste, a black layer paste, and an electrode paste including a photosensitive material on the base film, and forming a cover film on the dry film.

또한, 상기 드라이 필름을 형성하는 단계에서 상기 블랙층 페이스트는 상기 감광성 물질을 포함한 유전체 페이스트, 격벽 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나와 함께 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 형성된다.In addition, in the forming of the dry film, the black layer paste is formed on the base film by applying one of the dielectric paste including the photosensitive material, the barrier paste, and the electrode paste.

또한, 상기 베이스 필름에 형성된 소정의 패턴은 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극의 패턴 중 어느 하나의 패턴과 동일하다.In addition, the predetermined pattern formed on the base film is the same as any one of the patterns of the dielectric, the partition, the black layer, and the electrode formed on the plasma display panel.

이 때, 상기 베이스 필름에 형성되는 상기 블랙막의 재질은 산화코발트, 산화크롬, 삼산화이철 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, the material of the black film formed on the base film is characterized in that it comprises at least one of cobalt oxide, chromium oxide, ferric trioxide.

상기 베이스 필름 상부에 형성되는 드라이 필름의 두께는 50㎛이상 100㎛이하인 것을 특징으로 한다.The thickness of the dry film formed on the base film is characterized in that 50㎛ more than 100㎛.

또한, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트는 베이스 필름, 상기 베이스 필름 상부에 소정의 패턴이 형성된 드라이 필름 및 상기 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름으로 구성된다.In addition, the green sheet for a plasma display panel according to another embodiment of the present invention for achieving the above object is composed of a base film, a dry film having a predetermined pattern formed on the base film and a cover film formed on the dry film do.

여기서, 상기 드라이 필름은 감광성 물질이 포함된 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나가 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 형성되며, 상기 블랙층 페이스트는 상기 유전체 페이스트, 격벽 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나와 함께 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 드라이 필름을 형성한다.Here, the dry film is formed by applying any one of a dielectric paste, a partition paste, a black layer paste, and an electrode paste containing a photosensitive material on the base film, and the black layer paste is formed of the dielectric paste, the partition paste, and the electrode. Along with any one of the pastes is applied over the base film to form a dry film.

또한, 상기 드라이 필름에 형성되는 소정의 패턴은 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극의 패턴 중 어느 하나의 패턴과 동일한 것을 특징으로 한다.In addition, the predetermined pattern formed on the dry film is the same as any one of the pattern of the dielectric, the partition, the black layer, and the electrode formed on the plasma display panel.

또한, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트 제조방법은, 투명의 베이스 필름을 형성하는 단계와, 상기 베이스 필름 상부에 감광성 물질을 포함한 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나를 도포한 후, 노광하여 소정의 패턴을 갖는 드라이 필름을 형성하는 단계 및 상기 드라이 필름 상부에 커버 필름을 형성하는 단계로 이루어진다.In addition, a method for manufacturing a green sheet for a plasma display panel according to another embodiment of the present invention for achieving the above object includes forming a transparent base film, a dielectric paste including a photosensitive material on the base film, and a partition wall. After applying any one of the paste, the black layer paste and the electrode paste, and exposed to form a dry film having a predetermined pattern and forming a cover film on the dry film.

또한, 상기 블랙층 페이스트는 상기 유전체 페이스트, 격벽 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나와 함께 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 드라이 필름을 형성할 수 있다.In addition, the black layer paste may be coated on the base film together with any one of the dielectric paste, the partition paste, and the electrode paste to form a dry film.

여기서, 상기 드라이 필름에 형성된 소정의 패턴은 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극의 패턴 중 어느 하나의 패턴과 동일하며, 상기 베이스 필름 상부에 형성되는 드라이 필름의 두께는 50㎛이상 100㎛이하인 것을 특징으로 한다.Here, the predetermined pattern formed on the dry film is the same as any one of the patterns of the dielectric, partition, black layer and electrode formed on the plasma display panel, the thickness of the dry film formed on the base film is 50㎛ It is characterized by the above-mentioned 100 micrometers or less.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널의 제조방법에 대해 첨부한 도면을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the accompanying drawings for the manufacturing method of the display panel according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.5 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은, 전면 패널 제조과정과, 후면 패널 제조과정 및 전술한 전면 패널과 후면 패널을 합착하는 합착과정 등을 포함한 조립과정이 포함된다.As shown in FIG. 5, the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes an assembly process including a front panel manufacturing process, a back panel manufacturing process, and a bonding process for bonding the front panel and the back panel. do.

먼저, 전술한 전면 패널 제조과정을 살펴보면, 전면 패널은 먼저 기재가 되는 전면 글라스를 준비한 후(10), 전면 글라스 상부에 복수의 유지전극쌍을 형성한 다(11). 이 후, 유지전극쌍 상부에 상부 유전체층이 형성되고(12), 상부 유전체층 상부에 유지전극쌍을 보호하기 위한 MgO재질의 보호층이 형성된다(13).First, referring to the above-described front panel manufacturing process, the front panel first prepares the front glass to be the substrate (10), and forms a plurality of sustain electrode pairs on the front glass (11). Thereafter, an upper dielectric layer is formed on the sustain electrode pair (12), and a protective layer of MgO material is formed on the upper dielectric layer to protect the sustain electrode pair (13).

또한, 후면 패널 제조과정을 살펴보면, 후면 패널은 전면 패널과 마찬가지로 먼저 기재가 되는 후면 글라스를 준비하고(20), 전면 패널에 형성된 유지전극쌍과 교차하여 대향되도록 복수의 어드레스전극이 후면 글라스에 형성된다(21). 이 후에, 어드레스전극 상면에 하부 유전체층이 형성되고(22), 전술한 하부 유전체층 상부에 플라즈마 디스플레이 패널의 방전셀을 구획하기 위한 격벽이 형성된다(23). In addition, referring to the manufacturing process of the rear panel, the rear panel is prepared with a rear glass, which is first described as in the front panel (20), and a plurality of address electrodes are formed on the rear glass so as to face and cross the sustain electrode pair formed on the front panel. (21). Thereafter, a lower dielectric layer is formed on the upper surface of the address electrode (22), and a partition wall for partitioning discharge cells of the plasma display panel is formed on the lower dielectric layer (23).

이 후, 전술한 격벽에 의해 구획된 방전셀 내에 형광체층이 형성된다(24). 이 후, 건조 또는 소성 등의 공정을 통해 전면 패널 및 후면 패널이 제조된다.Thereafter, a phosphor layer is formed in the discharge cell partitioned by the aforementioned partition wall (24). Thereafter, the front panel and the rear panel are manufactured through a process such as drying or firing.

이와 같이 제조된 전면 패널과 후면 패널은 서로 합착되어(30) 플라즈마 디스플레이 패널(40)을 형성한다.The front panel and the rear panel manufactured as described above are bonded to each other (30) to form a plasma display panel (40).

이러한, 제조과정을 통하여 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널에서 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극 중 적어도 어느 하나를 그린시트를 이용하여 제작할 경우, 본 발명에 따른 일실시예로 그린시트를 이용한 격벽 형성방법 및 격벽용 그린시트의 제조방법과 구조에 대하여 상세히 살펴보면 도 6 내지 도 8와 같다.When fabricating at least one of a dielectric, a partition, a black layer, and an electrode using a green sheet in the plasma display panel formed through the manufacturing process, the partition wall forming method and the partition wall using the green sheet according to an embodiment of the present invention. Looking at the manufacturing method and structure of the green sheet for the same as in Figures 6 to 8.

먼저, 도 6a 내지 6c는 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 제조방법을 나타낸 도면이다.First, FIGS. 6A to 6C are views illustrating a method of manufacturing a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6a를 살펴보면, 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트의 제조공정시 사용되는 베이스 필름(402)은 PET재질로 이루어진 필름(402a)에 산화코발트, 산화크롬 또는 삼산화이철 등과 같은 차광물질이 박막형태로 증착되어 블랙막(402b)을 형성하고, 블랙막(402b)이 형성된 필름(402a)에는 일정부분이 노출되는 스페이스 패턴(A)과 노출되지 않는 라인 패턴(B)이 일정하게 배열되어 형성된다.Referring to Figure 6a, the base film 402 used in the manufacturing process of the green sheet for the plasma display panel has a light-shielding material such as cobalt oxide, chromium oxide or ferric trioxide is deposited in a thin film form on the film 402a made of PET material In the film 402a on which the black film 402b is formed and the black film 402b is formed, a space pattern A to which a predetermined portion is exposed and a line pattern B to which no portion is exposed are arranged in a constant manner.

스페이스 패턴(A)은 플라즈마 디스플레이 패널 제조시 노광공정에 의해 제작되어지는 후면 패널 격벽의 배열위치와 동일하게 배열되도록 형성된다. 이러한 스페이스 패턴(A)에서는 자외선과 같은 광이 베이스 필름(402)에 입사될 때, 광의 회절이나 산란과 같은 현상은 거의 일어나지 않고 대부분 광이 투과되어 원하는 부분을 노광하게 된다.The space pattern A is formed to be aligned with the arrangement position of the rear panel partition wall which is manufactured by the exposure process in manufacturing the plasma display panel. In such a space pattern A, when light such as ultraviolet rays is incident on the base film 402, a phenomenon such as diffraction or scattering of light hardly occurs and most of the light is transmitted to expose a desired portion.

라인 패턴(B)은 스페이스 패턴(A)들 사이에 배열되어 형성되고, 자외선과 같은 광은 전부 투과하지 못한다.The line pattern B is formed by being arranged between the space patterns A, and does not transmit all of light such as ultraviolet rays.

이러한 플라즈마 디스플레이 패널에 형성되는 격벽과 동일한 패턴이 형성된 베이스 필름을 이용하여 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트를 제작하는 방법과 그 구조를 도 6 b, 도 6c 및 도 7를 참조하여 설명한다.A method of manufacturing a green sheet for a plasma display panel using a base film having the same pattern as a partition wall formed in the plasma display panel and a structure thereof will be described with reference to FIGS. 6B, 6C, and 7.

도 6b를 살펴보면, 격벽을 형성하기 위한 드라이 필름은 코터(Coater, 410)로부터 나오는 격벽용 슬러리(Slurry, 401a)가 컨베이어 벨트(420)상에 형성된 격벽과 동일한 패턴을 갖는 베이스 필름(402)상에 일정한 두께로 도포된다. 이 때, 격벽과 동일한 패턴이 형성된 베이스 필름은 플라즈마 디스플레이 패널에 형성되는 구조에 따라 유전체, 블랙층 또는 전극의 패턴과 동일하게 형성될 수 있으며, 베이스 필름에 형성된 패턴 형상에 따라 유전체용, 블랙층용, 전극용 페이스트가 상기 베이스 필름 상부에 일정한 두께로 도포되게 된다.Referring to FIG. 6B, the dry film for forming the partition wall is formed on the base film 402 having the same pattern as the partition wall formed with the slurry slurry 401a from the coater 410 on the conveyor belt 420. To a certain thickness is applied. In this case, the base film having the same pattern as the partition wall may be formed in the same manner as the dielectric, black layer, or electrode pattern according to the structure formed on the plasma display panel, and for the dielectric layer and the black layer according to the pattern shape formed on the base film. The electrode paste is applied to a predetermined thickness on the base film.

계속해서, 도 6c에 도시된 바와 같이, 격벽과 동일한 패턴이 형성된 베이스 필름(402)에 형성된 슬러리(401a)는 건조구역을 지나 드라이 필름(401)이 형성되며, 드라이 필름(401) 상면에는 커버 필름(403)을 덮어 롤(Roll)형태로 제작되어 최종 격벽용 그린시트(400)가 형성된다.Subsequently, as shown in FIG. 6C, the slurry 401a formed on the base film 402 having the same pattern as the partition wall passes through the drying zone to form a dry film 401, and a cover on the top surface of the dry film 401. The film 403 is covered to form a roll to form a green sheet 400 for the final partition wall.

또한, 본 발명에서는 도시하지 않았지만, 상기 격벽용 페이스트, 유전체용 페이스트 또는 전극용 페이스트 상부에 블랙층용 페이스트를 함께 도포하여 격벽/블랙층용, 유전체/블랙층용, 전극/블랙층용 그린시트를 형성할 수도 있다. 이러한 경우, 한번의 라미네이팅 공정에 의해 두 개의 층을 형성할 수 있어 플라즈마 디스플레이 패널의 제조공정을 보다 용이하게 할 수 있다. In addition, although not shown in the present invention, a black layer paste may be applied together on the partition paste, dielectric paste, or electrode paste to form a green sheet for a partition / black layer, a dielectric / black layer, and an electrode / black layer. have. In this case, two layers may be formed by one laminating process, thereby facilitating the manufacturing process of the plasma display panel.

도 7은 전술한 종래 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 구조를 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a diagram illustrating a structure of a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to an exemplary embodiment described above.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 격벽용 드라이 필름 하부에 베이스 필름(402), 베이스 필름 상부에 형성된 격벽용 드라이 필름(401) 및 격벽용 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름(403)으로 형성되어 있다.As shown in FIG. 7, a base film 402, a partition dry film 401 formed on an upper part of the base film, and a cover film 403 formed on an upper part of the dry film for partitions, below the dry film for partitions according to the present invention. Formed.

이렇게 형성된 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 방법을 살펴보면 도 8와 같다.Looking at the manufacturing method of the rear panel using the partition green sheet formed as shown in FIG.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 격벽용 그린시트를 이용한 후면패널의 제조 공정도이다.8 is a manufacturing process diagram of the rear panel using the partition green sheet according to an embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이, (a) 단계에서는 후면 글라스(500)에 어드레스 전극(501)을 형성하고, 상기 어드레스 전극(501)이 형성된 후면 글라스(500) 상부에 유전체(502)를 형성한다. 그런 다음, 유전체(502) 상부에 격벽용 그린시트를 도포한다. 이에 대해 자세히 살펴보면, 격벽용 그린시트 중 커버 필름(미도시)을 롤러를 이용하여 제거하면서 격벽용 드라이 필름(503)과 패턴이 형성된 베이스 필름(504)을 유전체(502)가 형성된 후면 글라스 상부에 롤러를 이용하여 라미네이팅 한다. 이 후, 격벽과 동일한 패턴이 형성된 베이스 필름(504) 상부에 광을 조사한다.As shown in FIG. 8, in step (a), an address electrode 501 is formed on the back glass 500, and a dielectric 502 is formed on the back glass 500 on which the address electrode 501 is formed. . Then, a barrier green sheet is coated on the dielectric 502. Looking at this in detail, while removing the cover film (not shown) of the partition green sheet using a roller, the partition dry film 503 and the patterned base film 504 is formed on the upper surface of the rear glass on which the dielectric 502 is formed. Laminate using a roller. Thereafter, light is irradiated onto the base film 504 on which the same pattern as that of the partition wall is formed.

이 후, (b)단계에서 현상공정을 실시하면 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라함) 즉, 도 6a에서 설명된 베이스 필름의 스페이스 패턴(A)은 격벽용 드라이 필름(503) 상에 경화되어 잔류하는 반면에, 광에 노출되지 않은 영역(이하 '비노광 영역'이라 함)의 라인 패턴(B)는 식각 및 제거된다.Subsequently, when the development process is performed in step (b), the space pattern A of the exposed area (hereinafter referred to as an “exposure area”), that is, the base film described with reference to FIG. 6A, is the partition dry film 503. While cured and remaining on the phase, the line pattern B in the region not exposed to light (hereinafter referred to as the 'non-exposed region') is etched and removed.

이 후, (c)단계에서 에칭장치가 전술한 바와 같은 현상공정을 거친 격벽용 드라이 필름(503)과 격벽과 동일한 패턴이 형성된 베이스 필름(504) 상에 에칭액을 분사한다. 이때, 격벽에 해당하는 드라이 필름(503a)은 베이스 필름(504)에 형성된 스페이스 패턴(A)에 의해 보호되고, 베이스 필름(504)에 차단물질 산화코발트(CoO), 산화크롬(CrO2), 삼산화이철(Fe2O3) 등으로 블랙막을 형성한 라인 패턴(B)에 형성된 격벽용 드라이 필름(503b)은 에칭액에 의해 깎여져 격벽 사이 공간에 방전공간이 형성된다.Subsequently, in step (c), the etching apparatus sprays the etching solution on the dry film 503 for barrier ribs and the base film 504 on which the same pattern as the barrier rib is formed. At this time, the dry film 503a corresponding to the partition wall is protected by the space pattern A formed on the base film 504, and the barrier material cobalt oxide (CoO), chromium oxide (CrO 2 ), The partition dry film 503b formed in the line pattern B in which the black film is formed of ferric trioxide (Fe 2 O 3 ) or the like is scraped off by an etching solution to form a discharge space in the space between the partition walls.

한편, 도 9a 내지 9c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 제조방법을 나타낸 도면이다.9A to 9C illustrate a method of manufacturing a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to another exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 도 9a를 살펴보면, 격벽을 형성하기 위한 드라이 필름은 코터(Coater, 610)로부터 나오는 격벽용 슬러리(Slurry, 601a)가 컨베이어 벨트(620)상에 형성된 PET 재질인 베이스 필름(602)상에 일정한 두께로 도포된다.First, referring to FIG. 9A, a dry film for forming a partition wall is formed on a base film 602 of PET material formed with a slurry slurry 601a from a coater 610 on a conveyor belt 620. It is applied to a certain thickness.

이 후, 도 9b를 살펴보면, 격벽용 드라이 필름(601) 상부에 격벽과 동일한 포토 마스크(630)가 정렬되고, 이러한 포토 마스크(630)에 의한 노광 공정을 실시한다.Subsequently, referring to FIG. 9B, the same photo mask 630 as the partition wall is aligned on the dry film 601 for partition walls, and the exposure process by the photo mask 630 is performed.

이 때, 격벽용 드라이 필름(601) 상부에는 격벽과 동일한 패턴이 형성된 포토 마스크가 정렬되나, 플라즈마 디스플레이 패널에 형성되는 구조에 따라 유전체, 블랙층 또는 전극의 패턴과 동일한 마스크가 유전체용 드라이 필름, 블랙층용 드라이 필름, 전극용 드라이 필름에 각각 정렬되어 노광 공정을 수행하게 된다.At this time, the photomask having the same pattern as the partition wall is aligned on the partition dry film 601, but the same mask as the pattern of the dielectric, black layer, or electrode may be formed according to the structure formed in the plasma display panel. The exposure layer is aligned with the dry film for the black layer and the dry film for the electrode, respectively.

그리하면, 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라함)은 경화되는 반면에, 광에 노출되지 않은 영역(이하 '비노광 영역'이라 함)은 연화된 상태를 유지하게 된다.Then, the area exposed to light (hereinafter referred to as 'exposure region') is cured while the area not exposed to light (hereinafter referred to as 'non-exposure region') remains softened.

이 후, 도 9c에 도시된 바와 같이, 격벽용 드라이 필름(601) 상면에는 커버 필름(603)을 덮어 롤(Roll)형태로 제작되어 최종 격벽용 그린시트(600)가 형성된다.Thereafter, as illustrated in FIG. 9C, the cover film 603 is covered on the top surface of the barrier rib dry film 601 to form a roll to form a final barrier green sheet 600.

도 10은 전술한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 후면 글라스에 라미네이팅 되는 격벽용 그린시트의 구조를 나타낸 도면이다.FIG. 10 is a diagram illustrating a structure of a partition green sheet laminated on a rear glass of a plasma display panel according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 격벽용 드라이 필름 하부에 베이스 필름(602), 베이스 필름 상부에 형성된 격벽용 드라이 필름(601) 및 격벽용 드 라이 필름 상부에 형성된 커버 필름(603)으로 형성되어 있다.As shown in FIG. 10, a base film 602, a partition dry film 601 formed on the base film, and a cover film 603 formed on the partition dry film below the partition dry film according to the present invention. It is formed.

이 때, 그린 시트(600)의 격벽용 드라이 필름(601)은 포토 레지스트가 포함된 감광성 재료로서 노광공정에 의해 격벽에 해당하는 부분은 경화되어 있다.At this time, the partition dry film 601 of the green sheet 600 is a photosensitive material containing a photoresist, and a portion corresponding to the partition wall is cured by an exposure process.

또한, 본 발명에서는 도시하지 않았지만, 상기 격벽용 페이스트, 유전체용 페이스트 또는 전극용 페이스트 상부에 블랙층용 페이스트를 함께 도포하여 격벽/블랙층용, 유전체/블랙층용, 전극/블랙층용 그린시트를 형성할 수도 있다. 이와 같은 경우, 격벽용, 유전체용 또는 전극용 페이스트 상부에 형성되는 블랙층용 페이스트의 상부에는 상기 블랙층 페이스트 하부에 형성된 격벽용, 유전체용, 전극용 페이스트에 따라 그에 대응되는 패턴을 갖는 포토 마스크가 정렬되어 노광된다.In addition, although not shown in the present invention, a black layer paste may be applied together on the partition paste, dielectric paste, or electrode paste to form a green sheet for a partition / black layer, a dielectric / black layer, and an electrode / black layer. have. In such a case, a photo mask having a pattern corresponding to the partition wall, dielectric, and electrode paste formed under the black layer paste is formed on the upper portion of the black layer paste formed on the partition, dielectric, or electrode paste. Aligned and exposed.

계속해서, 전술한 바와 같이 형성된 격벽용 그린시트를 이용한 후면 패널의 제조 방법을 살펴보면 도 11와 같다.Subsequently, a method of manufacturing the rear panel using the partition green sheet formed as described above will be described with reference to FIG. 11.

도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 격벽용 그린시트를 이용한 후면패널의 제조 공정도이다.11 is a manufacturing process diagram of the rear panel using the partition green sheet according to an embodiment of the present invention.

도 11에 도시된 바와 같이, (a) 단계에서는 후면 글라스(700)에 어드레스 전극(701)을 형성하고, 상기 어드레스 전극(701)이 형성된 후면 글라스(700) 상부에 유전체(702)를 형성한다. 그런 다음, 유전체(702) 상부에 도 9에서와 같은 방법을 통해 형성된 격벽용 그린시트를 도포한다. 이에 대해 자세히 살펴보면, 격벽용 그린시트 중 커버 필름(미도시)을 롤러를 이용하여 제거하면서 패턴이 형성된 격벽용 드라이 필름(703a, 703b)과 베이스 필름(704)을 유전체(702)가 형성된 후면 글라스 상부에 롤러를 이용하여 라미네이팅 한다. 이 후, 베이스 필름(704)을 박리한다.As shown in FIG. 11, in step (a), an address electrode 701 is formed on the back glass 700, and a dielectric 702 is formed on the back glass 700 on which the address electrode 701 is formed. . Then, a barrier green sheet formed through the method as shown in FIG. 9 is coated on the dielectric 702. In detail, the back glass on which the dielectric film 702 is formed on the partition dry film 703a and 703b and the base film 704 in which the pattern is formed while removing the cover film (not shown) among the partition green sheets using a roller is described. Laminate using a roller on the top. Thereafter, the base film 704 is peeled off.

계속해서, (b)단계에서 에칭장치가 전술한 바와 같이 격벽과 동일한 패턴이 형성되어 라미네이팅 공정을 거친 격벽용 드라이 필름(703a, 703b)상에 에칭액을 분사한다. 이 때, 격벽에 해당하는 드라이 필름(703a)은 이미 그린시트 제조공정에서 노광공정에 의해 경화되어 있고, 노광공정에서 경화되지 않은 격벽용 드라이 필름(703b)은 에칭액에 의해 깎여져 격벽 사이 공간에 방전공간이 형성된다.Subsequently, in step (b), the etching apparatus injects the etching solution onto the partition dry films 703a and 703b having the same pattern as the partition wall and undergoing the laminating process. At this time, the dry film 703a corresponding to the partition wall is already cured by the exposure step in the green sheet manufacturing step, and the partition dry film 703b which is not cured in the exposure step is scraped off by the etching solution and is formed in the space between the partition walls. The discharge space is formed.

이와 같이, 유전체, 격벽, 블랙층 또는 전극과 동일한 패턴이 형성된 그린시트를 이용하여 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하게 되면, 글라스 기판 상부에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 또는 전극에 패턴을 형성하기 위한 DFR 공정 및 마스크 얼라인 공정을 생략할 수 있어 패널의 제조 공정 시간을 줄일 수 있고, 마스크 얼라인 공정시 발생할 수 있는 오류를 방지함으로써 불량률을 줄일 수 있어 생산 수율을 높이는 효과가 있다.As such, when the plasma display panel is formed by using the green sheet having the same pattern as the dielectric, the partition, the black layer, or the electrode, a DFR process for forming the pattern on the dielectric, the partition, the black layer, or the electrode formed on the glass substrate is performed. And it is possible to omit the mask alignment process can reduce the manufacturing process time of the panel, it is possible to reduce the failure rate by preventing errors that can occur during the mask alignment process has the effect of increasing the production yield.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것을 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.Although the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the present invention is not limited to the above-described embodiments without departing from the spirit of the present invention as claimed in the claims. Of course, any person skilled in the art can make various modifications, and such changes are within the scope of the claims.

위와 같이 설명된 본 발명에 따르면, 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트를 이용하여 패널을 형성함으로써 제조 공정이 간단해지고, 그로 인해 공정 시간을 단축할 수 있다. According to the present invention described above, the manufacturing process is simplified by forming a panel using the green sheet for plasma display panel, thereby shortening the process time.                     

또한, 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 형성하는 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극과 동일한 패턴이 형성된 그린시트를 이용함으로써 마스크 얼라인 공정시 발생하는 오류를 줄여 생산 수율을 높이는 효과가 있다.In addition, by using the green sheet having the same pattern as the dielectric, the partition, the black layer, and the electrode forming the structure of the plasma display panel, an error occurring during the mask alignment process may be reduced, thereby increasing production yield.

Claims (16)

소정의 패턴이 형성된 베이스 필름;A base film having a predetermined pattern formed thereon; 상기 베이스 필름 상부에 감광성 물질이 포함된 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나가 도포되어 형성된 드라이 필름; 및A dry film formed by coating any one of a dielectric paste, a partition paste, a black layer paste, and an electrode paste including a photosensitive material on the base film; And 상기 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름A cover film formed on the dry film 을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트.Green sheet for plasma display panel comprising a. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 블랙층 페이스트는 The black layer paste 상기 유전체 페이스트, 격벽 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나와 함께 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트. And the dielectric paste, the barrier paste, and the electrode paste are coated on the base film and formed. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 소정의 패턴은The predetermined pattern is 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극의 패턴 중 어느 하나의 패턴과 동일한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트.And the same pattern as any one of a pattern of a dielectric, a partition, a black layer, and an electrode formed in the plasma display panel. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 베이스 필름;Base film; 상기 베이스 필름 상부에 소정의 패턴이 형성된 드라이 필름; 및A dry film having a predetermined pattern formed on the base film; And 상기 드라이 필름 상부에 형성된 커버 필름A cover film formed on the dry film 을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트.Green sheet for plasma display panel comprising a. 제 9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 드라이 필름은The dry film 감광성 물질이 포함된 유전체 페이스트, 격벽 페이스트, 블랙층 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나가 상기 베이스 필름 상부에 도포되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트.A green sheet for a plasma display panel, wherein any one of a dielectric paste, a partition paste, a black layer paste, and an electrode paste containing a photosensitive material is formed on the base film. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 블랙층 페이스트는The black layer paste 상기 유전체 페이스트, 격벽 페이스트 및 전극 페이스트 중 어느 하나와 함께 상기 베이스 필름 상부에 도포되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트.And the dielectric paste, the barrier rib paste, and the electrode paste are coated on the base film. 제 9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 소정의 패턴은 The predetermined pattern is 상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 유전체, 격벽, 블랙층 및 전극의 패턴 중 어느 하나의 패턴과 동일한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 그린시트.And the same pattern as any one of a pattern of a dielectric, a partition, a black layer, and an electrode formed in the plasma display panel. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH1040808A (en) 1996-05-22 1998-02-13 Dainippon Printing Co Ltd Thick-film pattern forming method
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