KR100724776B1 - 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법 - Google Patents

광 픽업용 대물렌즈의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 하이브리드형 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는, 사출 성형 공정 중 발생되는 형상 수축에 의해 대물렌즈의 성능이 저하됨을 방지할 수 있도록 렌즈면을 설계함을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법에 관한 것으로, 이를 위하여 CD/DVD 공통영역과 DVD 전용영역 각각의 비구면식(구체적으로는, 각 영역에서의 형상 기울기)에 소정의 관계를 설정한 조건의 사출 성형 공정을 통해 광 픽업용 대물렌즈를 제조하는 방법을 개시하고, 이를 통하여 형상 수축에 의한 간섭무늬의 불연속적 파면을 줄이고, 사출 성형 과정에서의 렌즈 성능 확보를 용이하게 하며, 결과적으로 대물렌즈의 품질 및 양산성을 향상시킬 수 있다.
대물렌즈, 하이브리드 렌즈, 비구면, 형상 수축, 사출, 형상 기울기

Description

광 픽업용 대물렌즈의 제조방법 {Method for manufacturing an objective lens for an optical pick-up}
도 1a는 기존의 하이브리드형 대물렌즈의 일 예를 도시한 평면도;
도 1b는 도 1a의 렌즈면의 형상을 모식적으로 도시한 도;
도 2는 사출과정에서 발생하는 형상 수축의 일 예를 도시한 도;
도 3은 도 2의 형상 수축이 발생한 대물렌즈에 대하여 관측되는 간섭무늬를 도시한 도; 및
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법을 설명하기 위한 설명도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10, 110 : 대물렌즈 12, 112 : 렌즈면
12' : 설계면 14, 114C, 114E : 비구면
A : 형상 수축 C : 공통영역
E : 전용영역
본 발명은 하이브리드형 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는, 사출 성형 공정 중 발생되는 형상 수축에 의해 대물렌즈의 성능이 저하됨을 방지할 수 있도록 렌즈면을 설계함을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법에 관한 것이다.
광 저장매체가 시디(CD; compact disc), 시디-알떠블유(CD-RW; compact disc-read/write), 디브이디(DVD; digital versatile disc), 디브이디-알떠블유(DVD-RW) 등으로 다양해 짐에 따라 이런 다양한 저장매체를 지원할 수 있는 광 디스크 장치가 요구되고 있다. 호환형 광 디스크 장치를 구현하는 가장 효과적인 광학계는 CD 및 DVD의 기록 및 재생을 하나의 광학계로 수행할 수 있는 CD/DVD 호환형 광 픽업 광학계이다. 그러나, CD/DVD 양 저장매체의 규격 사이에 개구수(NA; numerical aperture), 커버층(cover layer)의 두께 등 차이가 존재하기 때문에, CD/DVD 호환형 광 픽업 광학계는 각각의 파장에서 이러한 차이를 보상할 수 있도록 구성되어야 한다. 따라서, 광 픽업 광학계 내에 사용되는 대물렌즈(OL; object lens) 또한 CD 및 DVD 양자의 파장, 개구수, 커버층의 두께 등의 차이를 보상하면서 선명한 초점을 맺을 수 있도록 설계되어야 한다.
본 발명은 이러한 광 디스크 장치 중 광 픽업용 대물렌즈에 관한 것이며, 특히 CD/DVD 호환용 대물렌즈의 제조방법에 관한 것이다.
이러한 대물렌즈의 경우 비구면렌즈가 폭넓게 사용되며, 덧붙여 CD/DVD 호환을 달성하기 위하여 비구면에 회절면을 결합시킨 하이브리드형 대물렌즈가 주로 사용되고 있다. 이러한 하이브리드형 대물렌즈는 CD 및 DVD 규격간의 차이로부터 발 생하는 색수차 및 구면수차 등을 보상할 수 있다.
도 1a는 기존의 하이브리드형 대물렌즈의 일 예를 도시한 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 렌즈면의 형상을 도시한 도이다. 도 1a 및 1b를 참조하여 기존의 대물렌즈의 구조를 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
기존의 하이브리드형 대물렌즈(10)는 중앙의 공통영역(C)과 주변부의 전용영역(E)을 포함하는 렌즈면(12)과 렌즈면에 대응되는 평면(도시되지 않음)을 포함하여 구성된다. 렌즈면(12)은 비구면(14)으로 형성되며, 그 표면에 회절면이 형성됨으로써 서로 다른 광원의 빔들(예컨대, CD 및 DVD용 빔들)의 차이에 의한 색수차 등을 보상할 수 있도록 구성된다.
예를 들면, CD/DVD 공통영역(C)은 CD 및 DVD 파장 각각에 대해 적절히 초점을 맺도록 형성되고, DVD 전용영역(E)은 DVD 파장에 대해서만 적절히 초점을 맺도록 설계됨으로써, DVD 파장에 대해서는 대물렌즈의 전 영역(C, E)이 사용되고 CD 파장에 대해서는 CD/DVD 공통영역(C)만이 사용되는 방식으로 구성될 수 있다.
이와 같은 광 픽업용 대물렌즈의 경우, 동일한 규격의 렌즈가 대량으로 사용되기 때문에 대량생산에 적합한 사출 성형 방식으로 제작되고 있다. 사출 성형이란, 렌즈의 형상에 대응하는 금형을 제작하고 금형 내에 수지 등을 주입하여 원하는 형상의 렌즈를 얻는 방식을 가리킨다. 이러한 사출 성형은 양질의 렌즈를 저가로 양산할 수 있다는 장점을 갖는 반면, 금형 제작이 어렵고 또한 실제로 생산되는 렌즈의 경우 사출 성형 과정에서 형상 수축이 발생되어 설계된 렌즈의 성능을 확보하기 어려운 단점을 갖는다.
수축이 발생하는 정도는 수지의 종류나 사출 성형 조건, 렌즈의 형상 등에 따라 차이가 있으며, 약 10 ㎛ 이상의 수축도 흔히 나타나기 때문에 수축에 의한 영향을 제대로 보상하지 못하면 원하는 렌즈의 성능을 확보하기 어려운 면이 있다.
도 2는 설계면(12')과 실제 렌즈면(12) 사이의 수축 정도를 도시한 도이며, 화살표 A와 같은 방향으로 수축이 발생함을 알 수 있다. 도 3은 형상 수축을 제대로 보상하지 못한 경우의 렌즈에서 관측되는 간섭무늬의 일 예를 도시하고 있다. 도 3에 도시된 것처럼, CD/DVD 공통영역 및 DVD 전용영역의 경계면을 따라 불연속 파면이 발생함을 쉽게 알 수 있다.
본 발명은 사출 성형시 발생하는 형상 수축을 보상하는 대물렌즈의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 CD/DVD 공통영역과 DVD 전용영역 사이의 경계면에서 형상 수축 변화율을 유사하게 하여 사출 성형을 통하여 제작된 대물렌즈의 성능을 원하는 값으로 확보하기 위한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 제1파장의 빔 및 제2파장의 빔에 공통으로 대응되는 공통영역(C)과, 제2파장의 빔에 대응되는 전용영역(E)으로 구성되는 렌즈면을 포함하는 대물렌즈 제조방법으로서, 렌즈면에 대한 비구면식들(AC, AE)을 적용하여 금형을 설계한 후 금형을 이용하여 대물렌즈를 사출 성형하는 단계 를 포함하고, 비구면식들(AC, AE) 각각은 사출 성형 과정에서 나타나는 형상 수축을 고려하여 정의되는 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 있어서, 비구면식들(AC, AE)은:
| A'C(rb) - A'E(rb) | ≤ 0.01 × min( |A'C(rb)|, |A'E(rb)| )
의 관계를 만족하도록 정의되고, 여기서 A'C는 공통영역에 대응되는 비구면식(AC)의 미분값(dAC/dr)이고, A'E는 전용영역에 대응되는 비구면식(AE)의 미분값(dAE/dr)이며, 그리고 rb는 렌즈면의 중심축에서 일 지점(예컨대, 공통영역과 전용영역 사이의 경계부)까지의 거리인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 있어서, 비구면식들(AC, AE)은 렌즈면의 정점에 접한 기준선으로부터 각 영역 중 일 지점까지의 거리에 대응하는 새그(sag) 값으로 정의되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 있어서, 제1파장의 빔은 CD용 레이저 광원의 빔이고, 제2파장의 빔은 DVD용 광원의 빔인 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명한다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 렌즈면을 포함하는 광 픽업용 대물렌즈(110)의 제조방법을 설명하기 위한 설명도이다.
본 발명은 CD용 광원의 빔과 같이 제1파장의 빔 및 DVD용 광원의 빔과 같이 제2파장의 빔에 공통으로 대응되는 CD/DVD 공통영역(C)과, DVD용 제2파장의 빔에 대응되는 전용영역(E)으로 구성되는 렌즈면(112)을 포함하는 대물렌즈(110) 제조방법으로서, 렌즈면(112)의 비구면들(114C, 114E)에 대한 비구면식들(AC, AE)을 소정의 관계를 만족하도록 적용하여 금형을 제작한 후 제작된 금형을 이용하여 대물렌즈를 사출 성형하는 단계를 포함하고, 이때 비구면식들(AC, AE) 각각은 사출 성형 과정에서 나타나는 형상 수축을 고려하여 정의되는 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법을 제공한다.
예컨대, 도 4에서 도시된 바와 같이, 비구면식(AC, AE) 각각은 비구면(114C, 114E)의 곡선을 나타내는 수학식으로 표현될 수 있으며, 이는 예를 들면:
Figure 112007002258682-pat00008
과 같이 표현될 수 있다. 여기서, AC는 공통영역에 대한 비구면식임을 가리키고, C1, C2, c 및 k는 각각 상수이고, r은 중심에서 일 지점까지의 거리를 가리킨다.
전용영역에 대한 비구면식 AE 역시 유사한 수학식으로 표현될 수 있다. 이 경우, 각 상수들(C1, C2, c)의 값이 원하는 비구면을 얻기 위하여 조정될 수 있다는 점은 자명하다.
이러한 비구면식들(AC, AE)은 예컨대, 렌즈면(112)의 정점에 접한 기준선으로부터 각 영역 중 일 지점까지의 거리에 대응하는 새그(sag) 값으로 나타나며, 또한 비구면식들(AC, AE) 각각을 거리(r)로 미분한 결과는 결국 해당 비구면의 형상 기울기로 표현될 수 있다. 즉, 이러한 형상 기울기는:
Figure 112005072865917-pat00002
와 같이 표현될 수 있다.
본 발명은 비구면 + 회절면으로 구성된 하이브리드형 대물렌즈의 렌즈면을 구성하는 공통영역(C) 및 전용영역(E) 사이의 경계면에서 각 비구면 형상 수축에 관한 것이며, 특히 공통영역(C)의 비구면의 형상 기울기(A'C) 및 전용영역(E)의 비구면의 형상 기울기(A'E)가 그 경계면에서 소정의 관계를 만족시키도록 정의됨을 특징으로 한다.
즉 경계면을 기준으로 공통영역(C)에서 접근하는 비구면의 형상 기울기(A'C)와 전용영역(E)에서 접근하는 비구면의 형상 기울기(A'E)가 다음의 수학식 3과 같은 관계를 만족시키는 범위 내에서 정의되도록 함으로써, 형상 수축에도 불구하고 공통영역과 전용영역의 경계면에서 불연속적 파면이 발생하지 않도록 함을 특징으로 한다.
형상 기울기들이 만족시켜야 하는 소정의 관계는 다음과 같다.
| A'C(rb) - A'E(rb) | ≤ 0.01 × min( |A'C(rb)|, |A'E(rb)| )
여기서 rb는 렌즈면의 중심축에서 일 지점(공통영역과 전용영역 사이의 경계면)까지의 거리를 가리킨다.
이상과 같은 점에 관하여, 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
비구면과 회절면으로 구성되는 렌즈면을 포함하는 하이브리드형 대물렌즈의 경우, 비구면 형상의 새그값 변화량은 수 ㎜이고, 회절면(DOE) 형상에 의한 새그값 변화량은 수 ㎛이기 때문에, 사출 성형 과정에서 실제 발생하는 형상 수축의 대부분은 비구면 형상에 의해서 결정된다고 할 수 있다.
따라서, CD/DVD 공통영역(C)과 DVD 전용영역(E)의 비구면식들(AC, AE)을 적절히 연결하여 형상 수축에 대응함으로써 형상 수축에 의한 파면의 급격한 변화를 제한할 수 있다. 두 영역의 비구면식들을 동일하게 지정하면 형상 수축에 가장 잘 견디겠지만 이 경우 회절면 만으로 CD/DVD 규격의 차이를 극복해야 하기 때문에 소망의 렌즈 성능을 확보하기에 어려움이 발생한다. 따라서, 본 발명에서는 경계면에서의 형상 기울기를 비슷하게 하는 방식으로 형상 수축에 의한 영향을 감소시키는 방식을 제공하며, 각 형상 기울기들(A'C, A'E)을 위 수학식 3과 같은 관계를 만족시키도록 함으로써 수축에 의한 영향을 감소시킬 수 있다.
수학식 3과 같은 조건을 만족하도록 각 영역들에서의 형상 기울기들(A'C, A'E)을 정의함으로써, 양 영역의 경계면 근처에서 비슷한 형상 수축을 유도할 수 있기 때문에 경계면에서 발생하는 불연속적 파면 변화를 경감시킬 수 있으며, 이를 통하여 사출 성형시 공정조건의 조정을 통하여 대물렌즈의 성능을 보다 쉽게 확보할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 공통영역과 전용영역의 비구면식들에 수학식 3과 같은 일정한 조건을 설정하기 때문에, 비구면 CD/DVD 규격상의 차이를 보상하는 역할의 상당부분을 회절면만으로 담당해야 하는 어려움이 있으나, 양 영역의 비구면식이 동일하게 설정되지 않기 때문에 제한적으로나마 두 영역간의 CD/DVD 규격상 차이를 비구면식을 통하여 보상할 수도 있다.
따라서, 본 발명은 CD/DVD 공통영역(C)과 DVD 전용영역(E) 양자의 비구면식을 동일하게 하는 극단적인 경우에 비하여, 훨씬 완화된 조건으로 형상 수축에 의한 영향을 최소화할 수 있으며 동시에 CD/DVD 구격상의 차이를 보상할 수 있는 이점을 갖는다.
본 발명에 따른 대물렌즈의 제조방법은 CD/DVD 공통영역과 DVD 전용영역 각각의 비구면식(구체적으로는, 각 영역에서의 형상 기울기)에 소정의 관계를 설정함으로써 형상 수축에 의한 간섭무늬의 불연속적 파면을 줄이고, 사출 성형 과정에서의 렌즈 성능 확보를 용이하게 하며, 결과적으로 대물렌즈의 품질 및 양산성을 향 상시킬 수 있다.

Claims (5)

  1. 제1파장의 빔 및 제2파장의 빔에 공통으로 대응되는 공통영역(C)과, 제2파장의 빔에 대응되는 전용영역(E)으로 구성되는 렌즈면을 포함하는 대물렌즈 제조방법으로서,
    상기 렌즈면에 대한 비구면식들(AC, AE)을 적용하여 금형을 설계한 후 상기 금형을 이용하여 대물렌즈를 사출 성형하는 단계를 포함하고,
    상기 비구면식들(AC, AE) 각각은 사출 성형 과정에서 나타나는 형상 수축을 고려하여 정의되는 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 비구면식들은:
    | A'C(rb) - A'E(rb) | ≤ 0.01 × min( |A'C(rb)|, |A'E(rb)| )
    의 관계를 만족하도록 정의되고, 여기서 A'C는 공통영역에 대응되는 비구면식(AC)의 미분값(dAC/dr)이고, A'E는 전용영역에 대응되는 비구면식(AE)의 미분값(dAE/dr)이며, 그리고 rb는 렌즈면의 중심축에서 일 지점까지의 거리인 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 렌즈면은 상기 비구면식들에 의해 정의되는 비구면 외에 회절면을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 비구면식들(AC, AE)은 렌즈면의 정점에 접한 기준선으로부터 각 영역 중 일 지점까지의 거리에 대응하는 새그(sag) 값으로 정의되는 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제1파장의 빔은 CD용 레이저 광원의 빔이고, 상기 제2파장의 빔은 DVD용 광원의 빔인 것을 특징으로 하는 광 픽업용 대물렌즈의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050035481A (ko) * 2003-10-13 2005-04-18 삼성전기주식회사 Ｄｖｄ/ｃｄ 호환형의 광픽업용 대물렌즈

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