KR100720826B1

KR100720826B1 - 유체이송용 커플링 장치

Info

Publication number: KR100720826B1
Application number: KR1020060004332A
Authority: KR
Inventors: 연창흠; 윤태규
Original assignee: (주)에스티아이
Priority date: 2006-01-16
Filing date: 2006-01-16
Publication date: 2007-05-23

Abstract

본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치는 메일커플러와 피메일커플러로 이루어지며, 상기 피메일커플러는 메일커플러가 고정되는 헤드부, 상기 헤드부와 연결되며 메일커플러와 피메일커플러의 연결부분을 세정하고 건조하는 세정건조부, 상기 세정건조부 내부에 위치하며 전후진하여 상기 메일커플러와 유체이송 관로를 형성하는 실린더부, 상기 세정건조부와 연결되며 상기 실린더부의 전후진으로 인한 위치 변경을 해소하기 위한 버퍼부 및 상기 세정건조부에 세정을 위한 고압세정수혼합가스 및 건조를 위한 고압가스를 제공하는 기액혼합장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

메일커플러, 피메일커플러, 헤드부, 실린더부, 세정건조부, 버퍼부, 고압세정수혼합가스

Description

유체이송용 커플링 장치{Coupler for Transfer of Fluids}

제1도는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 일부 절개 사시도이다.

제2도는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 일부 절개된 분해 사시도이다.

제3A도는 기액혼합장치의 사시도이다.

제3B도는 기액혼합장치의 단면도이다.

제4A도는 도 1의 A부분을 확대한 단면도이다.

제4B도는 도 4A에서 실린더부가 전진한 상태를 보여주는 도면이다.

제5도는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링장치의 정면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *

100 : 메일커플러 111 : 키홈

131 : 주입구 132 : 스프링

133 : 스토퍼 200: 피메일커플러

210: 헤드 211: 키돌기

212 : 잠금장치 220 : 세정건조부

221, 222 : 제 1, 2 공기 주입구 223 : 유입구

224 : 배출구 230 : 실린더부

231 : 주입구 232 : 스프링

233 : 스토퍼 240 : 버퍼부

241 : 내관 242 : 외관

243, 244 : 이동 감지 센서 245 : 누수 센서

250 : 기액혼합장치 251 : 고압가스 유입구

252 : 세정수 유입구 253 : 배출구

260 : 지지 플레이트

발명의 분야

본 발명은 커플링 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 유체를 공급 또는 회수함에 있어 운반트럭과 저장탱크 사이의 연결 관로를 형성하는 유체이송용 커플링 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

반도체나 FPD 공정에 사용되는 각 케미컬(chemical)을 운반하고 회수함에 있어 대용량을 안정적으로 이송할 수 있도록 운반트럭과 저장 탱크 사이에 공급 및 회수를 위한 호스를 연결하며, 이 호스를 통해 운반트럭으로부터 저장 탱크로 케미컬을 공급하거나 저장 탱크로부터 운반트럭으로 케미컬을 회수한다.

이 때 운반트럭의 호스에 메일커플러(male coupler)를 설치하고, 저장 탱크 호스에는 피메일커플러(female coupler)를 설치한 후 메일커플러와 피메일커플러를 연결하여 케미컬 이송 관로를 형성한다.

이러한 유체이송용 커플링 장치는 이송되는 케미컬에 오염 물질이 섞이지 않도록 하기 위해 피메일커플러와 메일커플러가 체결되는 부분을 세정해야할 필요가 있다. 따라서 종래의 유체이송용 커플링장치에서는 여러 가지 형태의 분사공을 피메일커플러에 형성한 후 분사공을 통해 세정수를 분사하여 피메일커플러와 메일커플러가 연결되는 체결부를 세척하도록 구성하였다. 그러나 단순히 세정수를 분사하는 방법으로는 원하는 만큼의 세정 효과가 획득되지 않으며, 또한 세척후 잔존하는 세정수가 케미컬에 유입되어 케미컬이 오염되는 문제가 발생되는 문제점이 있었다.

또한 각종 공정에 사용되는 케미컬의 종류가 다양하므로 공장에 구비되어 있는 저장 탱크의 종류도 다양하다. 따라서 운반 트럭의 메일커플러는 트럭에 저장된 케미컬에 대응하는 저장 탱크의 피메일커플러와 체결되어 케미컬을 공급해야하지만 실수로 대응되지 않는 저장탱크의 피메일커플러에 체결될 경우 서로 다른 종류의 케미컬 섞이게되는 사고도 발생된다. 그러나 종래의 유체이송용 커플링장치로서는 이러한 사고를 미연에 방지할 수 있는 장치를 구비하지 못하였다.

또한 종래의 유체이송용 커플링장치의 실린더부는 피메일커플러 내부에서의 습동(slide)을 위해 실린더부와 피메일커플러 사이에 그리스를 주입시켜 그 마찰을 줄이고 습동이 가능하도록 구성하였다. 그러나 실린더부의 습동을 위해 주입되는 그리스가 케미컬에 유입되어 케미컬이 오염되는 문제점이 있었다.

이에 본 발명자들은 이러한 종래의 유체이송용 커플링 장치가 갖는 문제점을 해결하면서 보다 향상된 기능을 구비한 새로운 유체이송용 커플링 장치를 개발하기에 이른 것이다.

본 발명의 목적은 기액혼합장치를 구비하여 유체이송 전후에 장치의 오염물질을 고압세정수혼합가스로 세정하고 고압가스로 건조시킬 수 있는 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 실린더부 및 이와 맞닿는 피메일커플러 부분이 각각 폴리에틸렌 및 폴리 테트라 플로오르 에틸렌으로 이루어져 그리스 주입 없이도 실린더부의 습동이 가능한 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 메일커플러의 외주면에는 이송되는 유체의 종류를 인식할 수 있는 키홈이 형성되어 있고, 피메일커플러 헤드부의 내주면에는 상기 키홈에 대응되는 키돌기가 형성되어 키홈과 키돌기가 일치하는 메일커플러와 피메일커플러만이 상호 체결될 수 있는 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 헤드부의 키돌기가 형성된 붓싱의 교체가 가능하 여 사용 케미컬이 변경되었을 때 최소한의 부품 교체로 다른 케미컬을 공급하는 메일커플러와 체결가능한 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 실린더부에 연결되는 버퍼부 부분에 벨로즈를 설치하여 실리더의 움직임을 벨로즈의 팽창 수축으로 보완함으로써 피메일커플러 후면부 배관의 위치변경을 방지하는 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 실린더부에 연결되는 버퍼부 부분이 실린더부의 전후진에 따라 함께 전후진하는 내관과 실린더부의 움직임에 관계없이 위치가 고정된 외관으로 구성되어 피메일커플러 후면부 배관의 위치변경을 방지하는 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 실린더부에 실린더의 전후진을 감지하는 이동 감지 센서가 포함되어 커플링 장치의 체결 및 해제여부를 인식하여 제어할 수 있는 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 실린더부에는 유체의 누수여부를 감지하는 누수 센서가 포함되어 누수 여부를 인식하여 제어할 수 있는 유체이송용 커플링장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치는 메일커플러와 피메일커플러로 이루어지며, 상기 피메일커플러는 상기 메일커플러가 고정되는 헤드부, 상기 헤드부와 연결되며 상기 메일커플러와 피메일커플러의 연결부분을 세정하고 건조하는 세정건조부, 상기 세정건조부 내부에 위치하며 전후진하여 상기 메일커플러와 유체이송 관로를 형성하는 실린더부, 상기 세정건조부와 연결되며 상기 실린더부의 전후진으로 인한 위치 변경을 해소하기 위한 버퍼부 및 상기 세정건조부에 세정을 위한 고압세정수혼합가스 및 건조를 위한 고압가스를 제공하는 기액혼합장치를 포함하여 이루어져, 메일커플러와 피메일커플러가 완전히 결합되어 유체이송을 위한 관로가 형성되기 전 오염물질 및 유체이송 후 표면에 잔존하는 오염물질을 고압세정수혼합가스로 세정하고 고압가스로 건조할 수 있는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치는 실린더부의 전후진 시 실린더부와 맞닿는 세정건조부 부분은 폴리에틸렌(PE)으로 형성되어 있으며, 세정건조부와 맞닿는 실린더부 부분은 폴리 테트라 플로오르 에틸렌(PTFE)으로 형성되어 실린더부와 세정건조부 사이에 그리스 주입 없이도 실린더부의 전후진이 가능한 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치는 메일커플러의 외주면에는 이송되는 유체의 종류를 인식할 수 있는 키홈이 형성되어 있으며, 피메일커플러 헤드부의 내주면에는 상기 키홈에 대응되는 키돌기가 형성되어 상기 키홈과 키돌기가 일치해야 메일커플러와 피메일커플러가 체결 가능하도록 한 것을 특징으로 한다.

또한 버퍼부는 피메일커플러 후미에 연결되는 벨로즈(bellows)를 포함하거나 실린더부의 전후진에 따라 함께 전후진하는 내관과 실린더부의 움직임에 관계없이 위치가 고정된 외관으로 구성되어 실린더부의 전후진에 관계없이 피메일커플러 후미에 연결되는 배관의 위치 이탈이 방지되는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 내용을 상세히 설명한다.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명

본 발명에 따른 유체이송용 커플링장치는 반도체 또는 FPD(평판 디스플레이) 공정에 적용되는 각 케미컬을 공급 또는 회수하는데 있어 대용량을 안정적으로 수행하도록 운반트럭과 저장탱크 사이를 연결하는 커플링장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 일부 절개 사시도가 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 운반트럭과 저장탱크 사이의 케미컬 공급 또는 회수를 위해 운반트럭의 호스에는 메일커플러(100)가 연결되고, 저장탱크에는 피메일커플러(200)가 설치된다. 이렇게 연결된 상태에서, 메일커플러가 피메일커플러 안으로 삽입 고정되고, 서로 연결되어 관로가 형성된 후 이렇게 형성된 관로를 통해 운반트럭과 케미컬 저장탱크 사이에 케미컬의 공급 또는 회수가 이루어질 수 있다.

도 2는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 일부 절개된 분해 사시도이며, 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치를 보다 상세히 설명하면, 본 발명에 따른 커플링장치는 메일커플러(100)와 헤드부(210), 세정건조부(220), 실린더부(230), 버퍼부(240), 및 기액혼합장치(250)를 포함하여 이루어진 피메일커플러(200)로 이루어진다.

본 발명에 따른 메일커플러(100)는 피메일커플러와 세트로 유체이송용 커플링 장치를 구성하는 부품으로서 운반트럭의 호스 최종단에 설치된다. 메일커플러의 주입구(131)에는 체크플레이트가 설치되어 있어 케미컬의 임의 유출을 방지할 수 있도록 구성되어 있다. 또한 체크플레이트 후면부에는 체크플레이트의 개방 후 위치 복귀를 위한 스프링(132)이 설치되어 있으며, 스프링의 후면부에는 단차에 의한 스토퍼(133)가 형성되어 있어 피메일커플러(200)의 스프링(232)과 장력의 차이가 있어도 체크플레이트가 완전 개방될 수 있도록 구성되어 있다.

또한 메일커플러의 외주면에는 운반트럭이 운송하는 케미컬의 종류에 따라 부여된 키홈(111)이 설치되어 있어 키홈에 대응하는 키돌기(211)를 갖는 피메일커플러에만 체결이 가능하다.

본 발명에 따른 피메일커플러의 헤드부(210)는 피메일커플러에 삽입된 메일커플러를 고정시키는 부분으로서 메일커플러의 키홈(111)에 대응하는 키돌기(211)가 형성되어 있어 메일커플러의 키홈과 케미컬 코드가 상호 일치하지 않을 경우 체결이 불가능하다. 또한 키돌기가 형성되어 있는 부시(bush)만 별도로 제작설치가 가능하도록 구성되어 있기 때문에 저장탱크에 저장되는 케미컬의 종류가 변경되었을 경우 키돌기가 형성된 부시만 새로운 케미컬에 맞는 부시로 교체하는 최소한의 부품 교체로 새로운 케미컬에 사용할 수 있도록 구성되어 있다.

또한 헤드부(210)에는 잠금장치(212)가 설치되어 있다. 상기 잠금장치는 메일커플러를 피메일커플러에 설치한 후 상호 연결 상태를 유지할 수 있도록 체결해주는 장치로서 회전운동을 직선운동으로 전환하여 메일커플러와 피메일커플러의 체 결 및 분리시 유용한 구조로 설계되어 있다. 또한 커플링 체결과 분리시 레버의 위치이탈을 방지하기 위해 스토퍼가 설치될 수 있다.

본 발명에 따른 피메일커플러의 세정건조부(220)는 메일커플러가 피메일커플러의 헤드부에 고정된 후 피메일커플러와의 사이에 관로가 형성되어 케미컬이 통수되기 전에 운반트럭에 설치되어 있는 메일커플러와 저장탱크 벽면에 설치되어 있는 피메일커플러의 오염 요소를 제거하는 장치이다.

종래에는 세정수를 사용하여 메일커플러와 피메일커플러의 결합부를 세정하였으나 본 발명에 따른 세정건조부(220)는 세정수와 고압가스가 혼합된 고압세정수혼합가스를 이용하여 결합부를 세정한다. 세정건조부(220)의 상부에는 고압세정수혼합가스가 유입되는 유입구(223)가 형성되어 있고 하부에는 세정 후 고압세정수혼합가스가 배출되는 배출구(224)가 형성되어 있다. 세정후 고압세정수혼합가스는 배출구(224)를 통해 기액분리박스(도시되어 있지 않음)로 배출되며, 기액분리박스내부에서 다시 세정수와 건조가스로 분리된다.

고압세정수혼합가스는 기액혼합장치(250)로부터 유입되며, 이러한 기액혼합장치의 사시도와 단면도가 도 3A 및 도 3B에 도시되어 있다. 본 발명에 따른 기액혼합장치는 베르누이의 원리를 적용하여 고압가스와 세정수를 혼합하여 분사한다. 도 3B를 참조하여 보다 상세히 설명하면, 고압가스 유입구(251)를 통해 고압의 가스가 고속으로 유입되면 고압가스 유입구의 관로가 테이퍼져 있어 고압으로 분사되는 관로의 끝부분에 진공 영역이 형성되며, 세정수 유입구(252)를 통해 이 부분에 세정수가 유입되면 고압가스와 세정수가 혼합되어 세정건조부(220) 내로 고압세정 수혼합가스가 분사된다. 이러한 기액혼합장치(250)는 세정건조부의 유입구(223)와 기액혼합장치의 배출구(253)가 상호 연결됨으로써 세정건조부에 장착된다.

고압세정수혼합가스에 의한 세정방법은 종래의 세정 방법에 비해 이물질 제거효과가 탁월하다. 또한 세정이 완료된 후에는 세정시에 동시에 유입되었던 세정수 공급을 차단하고 고압가스만을 공급함으로써 세정후 남아있는 세정수를 건조시켜 잔존하는 세정수가 케미컬로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

이러한 세정 및 건조는 메일커플러와 피메일커플러 사이에 관로가 형성되기 전과 케미컬의 공급 또는 회수 작업이 종료된 후 메일커플러를 피메일커플러로부터 분리하기 전 총 2번에 걸쳐 진행되어 오염물질이 케미컬에 침투되는 것을 방지하고 케미컬의 공급 또는 회수 후에 커플링장치에 케미컬이 잔존하는 것을 방지한다.

본 발명에 따른 피메일커플러의 실린더부(230)는 피메일커플러(100)와 같이 주입구(231)에는 체크플레이트가 설치되어 있어 케미컬의 임의 유출을 방지할 수 있도록 구성되어 있으며, 체크플레이트 후면부에는 체크플레이트의 개방 후 위치 복귀를 위한 스프링(232)이 설치되어 있으며, 스프링의 후면부에는 단차에 의한 스토퍼(233)가 형성되어 있어 메일커플러의 스프링(132)과 장력의 차이가 있어도 체크플레이트가 완전 개방될 수 있도록 구성되어 있다.

이러한 실린더부(230)는 앞서 설명한 바와 같이 메일커플러(100)가 피메일커플러의 헤드부(210)에 고정되고, 상기 세정건조 과정이 종료되면 메일커플러쪽으로 전진하여 유체이송을 위한 관로가 형성된다. 이러한 관로는 메일커플러의 주입구(131)와 피메일커플러의 주입구(231)가 서로 맞닿으면서 생기는 압력으로 양 주입 구의 체크플레이트가 개방되면서 형성되며, 이 관로를 통해 케미컬이 통수되고, 케미컬의 공급 또는 회수가 완료된 후 실린더부가 후진하면 체크플레이트에 가해진 압력이 해소되고 체크플레이트 뒤에 위치한 스프링의 장력에 의해 다시 주입구(131, 231)가 닫히게 된다.

실린더부(230)는 에어오퍼레이팅방식으로 전진 또는 후진하게 되는데 실린더부의 전후진을 위해 세정건조부(220)에는 이격된 위치에 2개의 공기 주입구(221, 222)가 형성되어 있으며, 2개의 공기 주입구 중 공기가 주입되는 공기 주입구의 위치에 따라 실린더부가 전후진된다.

도 4A 및 도 4B를 참조하여 보다 상세히 설명하면, 제1 공기주입구(221)를 통해 공기가 주입되면 도 4B에 도시된 바와 같이 실린더부(사선으로 표시되어 있음)가 전진하고, 제2 공기주입구(222)를 통해 공기가 주입되면 도 5A에 도시된 바와 같이 실린더부가 후진하게 된다. 종래에는 실린더부의 습동(slide)을 위해 서로 맞닿는 실린더부와 세정건조부 사이에 그리스를 주입하는 방식이 사용되었으나 주입된 그리스가 케미컬에 침투되어 유분함유를 유발하게 되는 문제점이 있었다. 따라서 본 발명에서는 실린더의 습동시 서로 맞닿는 부분 중 세정건조부 부분은 폴리에틸렌(PE)으로 형성하고, 실린더부 부분은 폴리 테트라 플로오르 에틸렌(PTFE)으로 형성하여 마찰저항을 최소화하여 그리스 주입방식을 완전히 배제함으로써 케미컬에 유분함유 유발을 배제하였다. 이러한 방식은 특히 반도체 및 FPD 제조시 사용되는 케미컬과 같이 고순도가 유지되어야 하는 유체의 이송에 있어 특히 유리하다.

상기와 같이 실린더부가 전진 또는 후진하게 되면 피메일커플러 후단에 연결 되는 저장탱크의 배관과의 사이에 위치변경이 생기게 되는데 이러한 위치변경을 보상하여 주는 부분이 바로 버퍼부(240)이다. 본 발명에 따른 피메일커플러의 버퍼부는 실린더부(230)의 후단에 연결되어 실린더부와 함께 습동하는 내관(241)과 실린더부의 움직임에 관계없이 고정된 외관(242)의 이중구조 구성되어 실린더부의 움직임에 관계없이 피메일커플러 후단에 연결되는 저장탱크 배관의 위치를 항상 일정하게 유지시킨다.

또한 실린더부(230) 후단과의 사이에 벨로즈(bellows)(도시되어 있지 않음)를 설치하여 실린더의 습동으로 생기는 위치변경을 벨로즈의 팽창 수축으로 보완하여 저장탱크 배관의 위치를 항상 일정하게 유지시킬 수도 있다.

또한 본 발명에 따른 피메일커플러의 버퍼부에는 도 5에 도시된 바와 같이 실린더부의 전진과 후진을 감지하는 이동 감지 센서(243, 244)가 설치될 수 있다. 이러한 이동 감지 센서는 실린더부의 전후진 감지를 통해 커플링의 체결 및 해체 여부를 인식할 수 있고, 이를 전기적 신호로 제어부(도시되어 있지 않음)로 전송함으로써 제어부가 유체이송용 커플링장치를 제어할 수 있도록 한다.

또한 도 5에 도시된 바와 같이 버퍼부의 하부에 케미컬의 누수를 확인할 수 있는 누수센서(255)를 설치하여 케미컬의 누수 여부를 감지할 수 있다.

본 발명에 따른 유체이송용 커플링장치의 피메일커플러(200)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이 지지 플레이트(260)를 포함할 수 있다. 지지 플레이트는 피메일커플러를 저장탱크 벽면에 설치하는 구조물로서 저장탱크 벽면에 마운트 가능한 구조로 형성되며, 벽면의 형상에 따라 곡률을 가질 수도 있다.

상기와 같은 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치를 이용하여 케미컬을 공급 또는 회수하는 방법을 다시 설명하면, 운반트럭의 호스 종단에는 메일커플러(100)가 연결되어 있고, 저장탱크에는 피메일커플러(200)가 형성되어 있다. 운반트럭과 저장탱크 사이에서 케미컬을 공급하거나 회수하기 메일커플러를 피메일커플러에 삽입하여 메일커플러의 키홈(111)과 피메일커플러의 키돌기(211)를 맞추고 잠금장치로 메일커플러를 헤드부(210)에 고정시킨다.

케미컬을 통수시키기 전에 메일커플러와 피메일커플러의 오염물질을 제거하기위해 기액혼합장치(250)로부터 세정건조부에 고압세정수혼합가스가 유입되고, 세정후 기액혼합장치로부터 세정건조부에 고압가스만 유입되어 세정건조부 내부를 건조시킨다.

상기 세정건조 작업이 종료되면, 세정건조부의 제1 공기 주입구(221)를 통해 공기가 주입되고, 실린더부(230)는 에어오퍼레이팅 방식으로 전진하게 된다. 실린더부의 전진으로 인해 메일커플러의 주입구(131)와 피메일커플러의 주입구(231)의 체크플레이트가 개방되어 메일커플러와 피메일커플러 사이에 케미컬 이송을 위한 관로가 형성된다.

상기와 같이 케미컬 이송을 위한 관로가 형성되면 운반트럭 쪽에 가스를 유입시켜 압력이 상대적으로 낮은 저장탱크 구간으로 케미컬을 이송시키는 가압방식이나 저장탱크 호스에 유체동력 전달장치(Pump)를 설치 기동하여 운반트럭의 케미컬을 저장탱크 쪽으로 이송하는 펌핑 방식 등을 이용하여 운반트럭의 케미컬을 저장탱크로 이송하거나 반대로 저장탱크의 케미컬을 운반트럭으로 회수할 수 있다.

케미컬의 이송 또는 회수가 끝나면 세정건조부의 제2 공기 주입구(222)를 통해 공기가 주입되고, 실린더부(230)는 에어오퍼레이팅 방식으로 후진하게 된다. 실린더부의 후진으로 인해 메일커플러의 주입구(131)와 피메일커플러의 주입구(231)의 체크플레이트를 개방시키는 압력이 없어지면 체크플레이트는 스프링(132, 232)의 장력에 의해 다시 닫히게 되어 메일커플러와 피메일커플러 사이의 관로가 분리된다.

케미컬이 상호 통수되었던 구간에 일부 케미컬이 표면에 잔류하게 되는데 케미컬 공급전의 세정방법과 동일한 방식으로 표면에 잔류되어 있는 케미컬을 세정하고, 남아 있는 세정수를 건조시킨다.

상기와 같은 세정건조가 종료되면, 메일커플러를 고정시키고 있는 잠금장치(212)를 열어 메일커플리을 해체함으로써 운반트럭과 저장탱크 사이의 케미컬 공급 및 회수 작업을 완료한다.

비록 본 발명에 따른 유체이송용 커플링장치를 반도체 또는 FPD 공정에 사용되는 케미컬 이송에 적용시켜 설명하였지만 액체뿐만 아니라 가스 등 기타 유동체 이송을 위한 모든 커플링장치로 사용될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

본 발명은 유체이송 전후에 장치의 오염물질을 고압세정수혼합가스로 세정하고 고압가스로 건조시킬 수 있으며, 그리스 주입 없이도 실린더부의 습동이 가능하여 이송되는 유체의 오염을 방지할 수 있으며, 동일한 케미컬을 취급하는 메일커플 러와 피메일커플러만이 상호 체결될 수 있어 상이한 케미컬이 공급되는 피해를 방지할 수 있으며, 저장 탱크에 저장되는 케미컬 변경시 최소한의 부품 교체로 다른 케미컬을 공급하는 메일커플러와 체결가능하며, 피메일커플러 후면부 배관의 위치변경을 방지하며, 실린더의 전후진 및 유체의 누수여부를 감지하고 이를 제어할 수 있는 유체이송용 커플링장치를 제공할 수 있는 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

메일커플러(100)와 피메일커플러(200)로 이루어진 유체이송 커플링 장치에 있어서, 상기 피메일커플러는,

상기 메일커플러가 고정되는 헤드부(210);

상기 헤드부와 연결되며, 상기 메일커플러와 피메일커플러의 연결부분을 세정하고 건조하는 세정건조부(220);

상기 세정건조부 내부에 위치하며, 전후진하여 상기 메일커플러와 유체이송 관로를 형성하는 실린더부(230);

상기 세정건조부와 연결되며, 상기 실린더부의 전후진으로 인한 위치 변경을 해소하기 위한 버퍼부(240); 및

고압가스가 유입되는 고압가스 유입구(251), 세정수가 유입되는 세정수 유입구(252), 및 배출구(253)를 구비하고, 세정을 위해 유입된 고압가스와 세정수를 혼합한 고압세정수혼합가스 및 건조를 위해 고압가스를 상기 세정건조부로 제공하는 기액혼합장치(250);

를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제1항에 있어서, 상기 세정건조부(220)에는 서로 이격된 위치에 제1, 2 공기 주입구(221, 222)가 형성되어 있으며, 상기 제1, 2 공기 주입구 중 공기가 주입되는 공기 주입구의 위치에 따라 상기 실린더부(230)가 에어오퍼레이팅 방식으로 전후진되는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 실린더부(230)의 전후진 시 실린더부와 맞닿는 세정건조부 부분은 폴리에틸렌(PE)으로 형성되어 있으며, 세정건조부와 맞닿는 실린더부 부분은 폴리 테트라 플로오르 에틸렌(PTFE)으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제1항에 있어서, 상기 메일커플러(100)의 외주면에는 이송되는 유체의 종류를 인식할 수 있는 키홈(111)이 형성되어 있으며, 상기 헤드부의 내주면에는 상기 키홈에 대응되는 키돌기(211)가 형성되어 상기 키홈과 키돌기가 일치해야 메일커플러와 피메일커플러가 체결 가능한 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제4항에 있어서, 상기 헤드부(210)의 키돌기(211)가 형성된 부싱은 교체가능한 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제1항, 제4항, 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 헤드부(210)는 메일커플러의 체결과 분리시 위치이탈을 방지하기 위한 잠금장치(212)를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제1항에 있어서, 상기 피메일커플러(200)는 벽면에 고정 설치되기 위한 지지 플레이트(260)를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링 장치.
제1항에 있어서, 상기 버퍼부(240)는 실린더부(230)의 전후진에 의해 피메일커플러 후미에 연결되는 배관의 위치 이탈을 방지하기 위한 벨로즈(bellows)를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링장치.
제1항에 있어서, 상기 버퍼부(240)는 상기 실린더부(230)의 전후진에 따라 함께 전후진하는 내관과 실린더부의 움직임에 관계없이 위치가 고정된 외관으로 구성되어 피메일커플러(200) 후미에 연결되는 배관의 위치 이탈을 방지하는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링장치.
제1항에 있어서, 상기 메일커플러의 주입구(131)와 피메일커플러의 실린더부 주입구(231)에는 유체 유출 방지를 위한 체크플레이트가 설치되어 있으며, 상기 체 크플레이트 후면부에는 체크플레이트의 개방 후 위치 복귀를 위한 스프링(132, 232)이 각각 설치되어 있으며, 상기 스프링의 후미에는 스토퍼가 설치되어 있어 메일커플러와 피메일커플러 스프링(132, 232)의 장력에 차이가 있어도 메일커플러의 주입구(131)와 피메일커플러의 주입구(231)가 체결되었을 때 상기 체크 플레이트가 완전 개방될 수 있는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링장치.
제1항에 있어서, 상기 버퍼부(240)는 실린더의 전후진을 감지하는 이동 감지 센서(243, 244)와 누수를 확인하는 누수 센서(245)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체이송용 커플링장치.