KR100719674B1 - 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법 - Google Patents

페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100719674B1
KR100719674B1 KR1020060020105A KR20060020105A KR100719674B1 KR 100719674 B1 KR100719674 B1 KR 100719674B1 KR 1020060020105 A KR1020060020105 A KR 1020060020105A KR 20060020105 A KR20060020105 A KR 20060020105A KR 100719674 B1 KR100719674 B1 KR 100719674B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tank
glove box
paste
liquid
paste liquid
Prior art date
Application number
KR1020060020105A
Other languages
English (en)
Inventor
노연구
정병현
정원웅
이종우
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 삼성에스디아이 주식회사
Priority to KR1020060020105A priority Critical patent/KR100719674B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100719674B1 publication Critical patent/KR100719674B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/841—Self-supporting sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기 발광소자를 봉지하는 공정 시 사용되는 페이스트의 대기 노출을 차단하여 재료의 변성을 방지하기 위한 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 페이스트 액 공급장치는 분위기 치환이 가능한 제 1 글러브 박스, 상기 제 1 글러브 박스 내에 위치한 제 1 탱크, 상기 제 1 글러브 박스와 연결된 제 2 글러브 박스, 상기 제 2 글러브 박스와 연결된 펌프, 상기 펌프와 연결된 제 2 탱크, 상기 제 2 탱크와 연결되는 액주입부, 스크린 마스크와 상기 액주입부가 내부에 구비된 챔버 및 상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 포함한다.
유기발광소자, 봉지구조, 페이스트, 액공급, 대기차단

Description

페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법{paste supply apparatus and paste supply method}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 액 공급장치를 나타낸 입체도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 액 공급방법을 나타낸 순서도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 액 공급장치를 나타낸 입체도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 액 공급방법을 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명에 따른 페이스트 액 공급장치를 이용하여 제작한 유기 발광소자를 나타낸 단면도이다.
*** 도면의 주요 부호에 대한 설명 ***
10,100: 제 1 글러브 박스 50,500: 제 2 탱크
20,200: 제 1 탱크 60,600: 액주입부
30,300: 제 2 글러브 박스 70,700: 챔버
40,400: 펌프
본 발명은 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기 발광소자를 봉지하는 공정 시 사용되는 페이스트의 대기 노출을 차단하여 재료의 변성을 방지하기 위한 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법에 관한 것이다.
최근 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode)를 이용한 유기 발광소자(Organic Light Emitting Device)가 주목받고 있다.
유기 발광소자는 기판상에 유기 발광 다이오드와 유기 발광 다이오드를 구동하기 위한 TFT(Thin Film Transistor)를 포함하는 복수의 화소를 구비한다. 이러한 유기 발광 다이오드는 수분에 민감하여 건조재가 도포 된 금속 캡이나 밀봉 유리 기판으로 증착 기판에 덮개를 덮어 수분의 침입을 방지하는 밀봉 구조가 제안되어 있다. 이러한 밀봉 구조의 경우, 유기 발광 다이오드가 형성된 디바이스 유리 기판과 밀봉 유리 기판에 평평한 플레이트(plate)로 하중을 가하거나 N2 전면 균일 가압 방식으로 밀봉 공정이 진행된다.
한편, 기판을 밀봉하는 공정에 있어서는 기판 또는 봉지기판에 스크린 프린트를 이용하여 페이스트를 도포함으로써 기판과 봉지기판을 접착한다. 이에 의해 기판과 봉지기판 사이에 위치하는 유기 발광다이오드가 수분 또는 산소 등의 불순물로부터 보호받을 수 있다. 따라서, 봉지공정에서 사용되는 페이스트는 수분과 산소를 차단할 수 있는 물질로 사용되어야 한다.
또한, 페이스트 액을 기판 또는 봉지기판에 공급하는 장치 내부가 대기상에 노출되면 페이스트 액을 운반하는 과정에 있어서 대기중의 불순물들로부터 오염되는 문제점이 있다.
따라서 상술한 종래 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판과 봉지기판을 접착하는 페이스트의 공급장치 내부가 대기에 노출되는 것을 차단하여 페이스트 재료의 변성을 방지할 수 있는 페이스트 공급장치 및 페이스트 공급방법을 제공하기 위한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 기술적 수단으로 본 발명의 제 1 측면은 분위기 치환이 가능한 제 1 글러브 박스, 상기 제 1 글러브 박스 내에 위치한 제 1 탱크, 상기 제 1 글러브 박스와 연결된 제 2 글러브 박스, 상기 제 2 글러브 박스와 연결된 펌프, 상기 펌프와 연결된 제 2 탱크, 상기 제 2 탱크와 연결되는 액주입부, 스크린 마스크와 상기 액주입부가 내부에 구비된 챔버 및 상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 포함하는 페이스트 액 공급장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제 2 측면은 대기에 노출되어 있는 제 1 탱크, 상기 제 1 탱크와 연결되며, 분위기 치환이 가능한 제 1 글러브 박스, 상기 제 1 글러브 박스와 연결된 제 2 글러브 박스, 상기 제 2 글러브 박스와 연결된 펌프, 상기 펌프와 연결된 제 2 탱크, 상기 제 2 탱크와 연결되는 액주입부, 스크린 마스크와 상기 액주입부가 내부에 구비된 챔버 및 상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 포함하는 페이스트 액 공급장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제 3 측면은 제 1 글러브 박스 내부에 제 1 탱크를 투입하는 단계, 상기 제 1 글러브 박스 내부의 분위기를 제 2 글러브 박스와 동일하도록 치환하는 단계, 상기 제 1 글러브 박스와 상기 제 2 글러브 박스 사이에 형성된 셔터를 여는 단계, 상기 제 1 탱크와 상기 제 2 글러브 박스에 구비된 배관을 연결하는 단계, 상기 배관을 통해 상기 제 1 탱크와 연결된 펌프를 이용하여 상기 제 1 탱크에 저장된 페이스트 액을 제 2 탱크로 공급하는 단계, 상기 제 2 탱크에 저장된 상기 페이스트 액을 액주입부에 공급하는 단계 및 상기 액주입부를 통해 챔버 내부에 구비된 스크린 마스크에 상기 페이스트 액을 공급하는 단계를 포함하는 페이스트 액 공급방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 제 4 측면은 대기상에 제 1 탱크를 구비하는 단계, 상기 제 1 글러브 박스 내부의 분위기를 제 2 글러브 박스와 동일하도록 치환하는 단계, 상기 제 1 글러브 박스와 상기 제 2 글러브 박스 사이에 형성된 셔터를 여는 단계, 상기 제 1 탱크와 상기 제 2 글러브 박스에 구비된 배관을 연결하는 단계, 상기 배관을 통해 상기 제 1 탱크와 연결된 펌프를 이용하여 상기 제 1 탱크에 저장된 페이스트 액을 제 2 탱크로 공급하는 단계, 상기 제 2 탱크에 저장된 상기 페이스트 액을 액주입부에 공급하는 단계 및 상기 액주입부를 통해 챔버 내부에 구비된 스크린 마스크에 상기 페이스트 액을 공급하는 단계를 포함하는 페이스트 액 공급방법을 제공하는 것이다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 액 공급장치를 나타낸 입체도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 액 공급방법을 나타낸 순서도이다.
도 1 및 도 2를 결부하여 설명하면 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 액 공급장치는 제 1 글러브 박스(10), 제 1 탱크(20), 제 2 글러브 박스(30), 펌프(40), 제 2 탱크(50), 액주입부(60), 챔버(70) 및 배관(1a~3a)을 포함한다.
제 1 글러브 박스(10)는 분위기 치환이 가능하며, 그 내부에 제 1 탱크(20)를 구비한다.
제 1 탱크(20)는 그 내부에 유기 발광소자의 기판(미도시)에 공급할 페이스트 액(미도시)이 보관되어 있다. 한편, 유기 발광소자는 수분 또는 산소 등의 외기에 취약하므로 페이스트 액 또한 외기로부터 차단해야 한다. 따라서, 제 1 탱크(20)에는 덮개를 구비하여 내부에 보관된 페이스트 액을 외부와 차단시키도록 한다. 또한, 제 1 탱크(20)는 페이스트 액을 그 내부로 주입하기 위한 제 1 주입부(21)와 페이스트 액을 제 1 탱크(20)의 외부로 배출하기 위한 제 1 배출부(22)를 구비한다. 이러한 페이스트는 욕조(constant temperature bath)에서 20℃ 내지 25℃의 온도로 녹인 후, 일정 온도에서 등온 욕조에 유지된다. 이과정에서, 작업자가 용기와 접촉하여 용기의 온도를 상승하면, 페이스트의 품질이 악화되어 경화되기 쉽다. 페이스트는 일단 굳어지면 폐기하여야 하므로 페이스트를 액 형태로 보존하여 사용하도록 한다.
제 2 글러브 박스(30)는 제 1 글러브 박스(10)와 연결되어 있으며, 제 1 글러브 박스(10)와 제 2 글러브 박스(30) 사이에는 셔터(15)가 형성된다. 셔터(15)는 제 1 글러브 박스(10)와 제 2 글러브 박스(30)가 동일하게 치환되면 열리고, 그렇지 않으면 닫히므로 페이스트 액이 이동하는 과정에서 대기에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
펌프(40)는 제 1 배관(1a)을 통해 제 2 글러브 박스(30)와 연결되어 있으며, 제 1 배관(1)은 제 1 탱크(20)와도 연결될 수 있는 길이이다.
제 2 탱크(50)는 펌프(40)와 제 2 배관(2a)을 통해 연결되어 있다. 여기서, 제 2 탱크(50)는 제 1 탱크(20)내의 페이스트 액이 소진 시 일정량을 저장하는 공간으로도 사용된다.
액주입부(60)는 제 3 배관(3a)을 통해 제 2 탱크(50)와 연결된다. 즉, 제 2 탱크(50)로부터 페이스트 액을 전달받아 일정량씩 챔버(70) 내의 스크린 마스크(71)에 공급한다.
챔버(70)는 스크린 마스크(71)를 통해 기판(미도시)에 페이스트를 도포하는 공정을 실시하기 위한 공간이다. 따라서, 챔버(70)는 외기로부터의 불순물을 차단 하기 위해 분위기 관리가 이루어져야 한다.
상술한 구성요소들을 이용하여 실시한 본 발명에 따른 페이스트 공급액의 공급방법을 설명하면, 먼저, 제 1 글러브 박스(10) 내부로 제 1 탱크(20)를 투입한다. (ST10) 그리고 나서, 제 1 탱크(20)를 투입하면서 대기에 노출된 제 1 글러브 박스(10)를 소정의 수단을 이용하여 진공상태로 만든 후 질소 분위기(N2 circulation)로 치환한다. 바람직하게는 10ppm 이하의 질소 분위기로 치환한다. (ST20)
이 후, 제 1 글러브 박스(10)와 제 2 글러브 박스(30) 사이에 형성된 셔터(15)를 연다. 이때, 제 2 글러브 박스(30)도 질소 분위기로 치환된 상태이다. 즉, 셔터(15)는 제 1 글러브 박스(10)와 제 2 글러브 박스(30)가 동일한 분위기를 유지할 때에만 열도록 한다. (ST30)
한편, 제 2 글러브 박스(30) 내부에는 펌프(40)와 연결된 제 1 배관(1a)이 구비되어 있다. 따라서, 제 1 배관(1)과 제 1 탱크(20)의 제 1 배출부(22)를 서로 연결하여 페이스트 액의 공급이 가능하도록 한다. (ST40)
그 다음에, 제 1 배관(1a)을 통해 제 1 탱크(20)와 연결된 펌프를 이용하여, 페이스트 액을 제 2 탱크(50)로 공급한다. 제 2 탱크(50)로 공급된 페이스트 액은 일정량씩 액주입부(60)로 전달된다. (ST50)
이 후, 액주입부(60)는 챔버(70) 내에 배열된 스크린 마스크(71)상에 필요한 양만큼의 페이스트 액을 조절하여 공급한다. (ST60)
한편, 복수의 배관(1a~3a)들은 그 중간에 벨브(4a~6a)를 더 구비하여 페이스 트 액의 흐름 속도 및 양을 조절하도록 한다. (ST70)
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 액 공급장치를 나타낸 입체도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 액 공급방법을 나타낸 순서도이다.
도 3 및 도 4를 결부하여 설명하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 액 공급장치는 제 1 글러브 박스(100), 제 1 탱크(200), 제 2 글러브 박스(300), 펌프(400), 제 2 탱크(500), 액주입부(600), 챔버(700) 및 배관(1b~3b)을 포함한다.
제 1 글러브 박스(100)는 분위기 치환이 가능하며, 제 1 탱크(20)와 연결되는 연결부는 개폐가 가능한 구조를 구비한다.
제 1 탱크(200)는 대기에 노출되어 있으며, 제 1 글러브 박스(100)와 연결된다. 즉, 제 1 탱크(200)는 제 1 글러브 박스(100)의 외부에 위치한다. 또한, 제 1 탱크(200)는 그 내부에 유기 발광소자의 기판(미도시)에 공급할 페이스트 액(미도시)을 보관하고 있다. 한편, 유기 발광소자는 수분 또는 산소 등의 외기에 취약하므로 페이스트 액 또한 외기로부터 차단해야 한다. 따라서, 제 1 탱크(200)에는 덮개를 구비하여 내부에 보관된 페이스트 액을 외부와 차단시키도록 한다. 또한, 제 1 탱크(200)는 페이스트 액을 그 내부로 주입하기 위한 제 2 주입부(210)와 페이스트 액을 제 1 탱크(200)의 외부로 배출하기 위한 제 1 배출부(220)를 구비한다.
제 2 글러브 박스(300)는 제 1 글러브 박스(100)와 연결되어 있으며, 제 1 글러브 박스(100)와 제 2 글러브 박스(300) 사이에는 셔터(150)가 형성된다. 셔터(150)는 제 1 글러브 박스(100)와 제 2 글러브 박스(300)가 동일하게 치환되면 열리고, 그렇지 않으면 닫히므로 페이스트 액이 이동하는 과정에서 대기에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 제 1 글러브 박스(100)는 그 내부에 제 1 탱크(200)가 구비되어 있지 않으므로, 제 2 글러브 박스(300)보다 작은 크기로 형성한다. 즉, 제 1 글러브 박스(100)에 분위기 치환 공정을 실시하는데 있어서, 그 부피가 작으면 작을수록 분위기 치환시간도 작아진다. 바람직하게는 제 1 글러브 박스(100)를 제 1 배관(1b)과 제 2 배관(2b)이 서로 연결될 수 있는 공간만 확보하는 구조로 형성할 수 있다.
펌프(400)는 제 1 배관(1b)을 통해 제 2 글러브 박스(300)와 연결되어 있으며, 제 1 배관(1b)은 제 1 탱크(200)와도 연결될 수 있는 길이이다.
제 2 탱크(500)는 펌프(400)와 제 2 배관(2b)을 통해 연결되어 있다. 여기서, 제 2 탱크(500)는 제 1 탱크(200)내의 페이스트 액이 소진 시 일정량을 저장하는 공간으로도 사용된다.
액주입부(600)는 제 3 배관(3b)을 통해 제 2 탱크(500)와 연결된다. 즉, 제 2 탱크(500)로부터 페이스트 액을 전달받아 일정량씩 챔버(700) 내의 스크린 마스크(710)에 공급한다.
챔버(700)는 스크린 마스크(710)를 통해 기판(미도시)에 페이스트를 도포하는 공정을 실시하기 위한 공간이다. 따라서, 챔버(700)는 외기로부터의 불순물을 차단하기 위해 분위기 관리가 이루어져야 한다.
상술한 구성요소들을 이용하여 실시한 본 발명에 따른 페이스트 공급액의 공급방법을 설명하면, 먼저 제 1 글러브 박스(100)와 제 1 배관(1b)의 연결부를 차단하고 제 1 글러브 박스(100)를 소정의 수단을 이용하여 진공상태로 만든 후 질소 분위기(N2 circulation)로 치환한다. 바람직하게는 10ppm 이하의 질소 분위기로 치환한다. (ST100,ST200)
이 후, 제 1 글러브 박스(100)와 제 2 글러브 박스(300) 사이에 형성된 셔터(150)를 연다. 이때, 제 2 글러브 박스(300)도 질소 분위기로 치환된 상태이다. 즉, 셔터(150)는 제 1 글러브 박스(100)와 제 2 글러브 박스(300)가 동일한 분위기를 유지할 때에만 열도록 한다. (ST300)
한편, 제 2 글러브 박스(300) 내부에는 펌프(400)와 연결된 제 2 배관(2b)이 구비되어 있다. 그리고, 제 1 글러브 박스(100)내에서 제 1 배관(1b)과 제 2 배관(2b)을 서로 연결한다. (ST400)
그 다음에, 제 1 배관(1b)과 제 2 배관(2b)의 연결에 의해 제 1 탱크(200)의 배출부(220)와 연결된 펌프(400)를 이용하여 페이스트 액을 제 2 탱크(500)로 공급한다. (ST500) 제 2 탱크(500)로 공급된 페이스트 액은 일정량씩 액주입부(600)로 전달된다. (ST600)
이 후, 액주입부(600)는 챔버(700) 내에 배열된 스크린 마스크(710) 상에 필요한 양만큼의 페이스트 액을 조절하여 공급한다. (ST700)
한편, 복수의 배관(1b~3b)들은 그 중간에 벨브(4b~6b)를 더 구비하여 페이스 트 액의 흐름 속도 및 양을 조절하도록 한다.
도 5는 본 발명에 따른 페이스트 액 공급장치를 이용하여 제작한 유기 발광소자를 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 페이스트 액 공급장치를 이용하여 제작한 유기 발광소자는 기판(801)과 봉지기판(901)을 포함한다.
기판(801)상에는 먼저 버퍼층(802)이 형성된다. 기판(801)은 유리(glass)등으로 형성되며 버퍼층(802)은 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx) 등과 같은 절연 물질로 형성된다. 한편, 버퍼층(802)은 외부로부터의 열 등의 요인으로 인해 증착 기판(801)이 손상되는 것을 방지하기 위해 형성된다.
버퍼층(802)의 적어도 어느 일 영역 상에는 액티브층(803a)과 소스/드레인 영역(803b)을 구비하는 반도체층(803)이 형성된다.
반도체층(803)을 포함하여 버퍼층(802) 상에는 게이트 절연층(804)이 형성되고, 게이트 절연층(804)의 일 영역 상에는 액티브층(803a)의 폭에 대응하는 크기의 게이트 전극(805)이 형성된다.
게이트 전극(805)을 포함하여 게이트 절연층(804) 상에는 층간 절연층(806)이 형성되며, 층간 절연층(806)의 소정의 영역 상에는 소스 및 드레인 전극(807a,807b)이 형성된다.
소스 및 드레인 전극(807a,807b)은 소스/드레인 영역(803b)의 노출된 일 영역과 각각 접속되도록 형성되며, 소스 및 드레인 전극(807a,807b)을 포함하여 층간 절연층(806)상에는 평탄화층(808)이 형성된다.
평탄화층(808)의 일 영역 상에는 제 1 전극(810)이 형성되며, 이때 제 1 전극(810)은 비아홀(809)에 의해 소스 및 드레인 전극(807a,807b)중 어느 하나의 노출된 일 영역과 접속된다.
제 1 전극(810)을 포함하여 평탄화층(808) 상에는 제 1 전극(810)의 적어도 일 영역을 노출하는 개구부(미도시)가 구비된 화소 정의막(811)이 형성된다.
화소 정의막(811)의 개구부 상에는 유기층(812)이 형성되며, 유기층(812)을 포함하여 화소 정의막(811)상에는 제 2 전극층(813)이 형성된다.
봉지기판(901)은 기판(801)상에 형성된 상기 소정의 구조물들을 외부의 산소 및 수분으로부터 보호하기 위해 소정의 구조물들을 사이에 두고, 페이스트(850)에 의해 기판(801)상에 형성된 상기 구조물들 중 어느 하나와 합착 된다. 이때, 봉지기판(901)은 비 제한적이나 산화 실리콘(SiO2), 실리콘 나이트라이드(SiNx), 실리콘 옥시나이트라이드(SiOxNy)로 구성된 군에서 선택된 적어도 하나의 재료로 형성하는 것이 가능하다.
한편, 상술한 제 1 전극(810), 유기층(812) 및 제 2 전극(813)을 적어도 포함하는 유기 발광다이오드는 수분 또는 산소 등의 외기에 노출되면 치명적인 손상을 입을 수 있다. 따라서, 기판(801)과 봉지기판(901)을 접착하여 그 사이에 개재된 유기 발광다이오드를 외기로부터 보호해야 한다. 이때, 기판(801)과 봉지기판(901) 사이에 페이스트(850)를 도포하여 기판(801)과 봉지기판(901)을 접착한다. 한편, 페이스트(850) 또한 수분 또는 산소가 봉지구조 내부로 침입하지 못하 도록 차단하는 역할을 하므로 페이스트(850)가 도포 되는 공정은 대기에 노출되지 않도록 진행하여야 한다. 따라서, 상술한 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한 본 발명의 바람직한 실시예를 따른 페이스트(850) 액 공급장치 및 페이스트(850) 액 공급방법을 이용함으로써, 외기차단이 가능한 공정을 확보할 수 있다.
본 발명에 따른 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법에 의하면, 외기의 완전 차단으로 페이스트 재료의 변성을 방지하여 안정된 재료를 공급함으로써 수명 향상과 품질 확보의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 대량의 자동 액 공급을 통한 설비 안정성과 설비 런타임(Run Time)을 증가시킬 수 있다.

Claims (30)

  1. 분위기 치환이 가능한 제 1 글러브 박스;
    상기 제 1 글러브 박스 내에 위치한 제 1 탱크;
    상기 제 1 글러브 박스와 연결된 제 2 글러브 박스;
    상기 제 2 글러브 박스와 연결된 펌프;
    상기 펌프와 연결된 제 2 탱크;
    상기 제 2 탱크와 연결되는 액주입부;
    스크린 마스크와 상기 액주입부가 내부에 구비된 챔버; 및
    상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 포함하는 페이스트 액 공급장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 탱크 내부에는 페이스트 액이 보관되어 있는 페이스트 액 공급장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 탱크는 덮개를 구비하여 상기 페이스트 액을 외부와 차단시키는 페이스트 액 공급장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 배관 각각의 연결부위에 상기 페이스트 액의 흐름을 조절하는 벨브를 더 구비하는 페이스트 액 공급장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 탱크는 상기 페이스트 액을 상기 제 1 탱크 내부로 주입하는 제 1 주입구와, 상기 페이스트 액을 상기 제 1 탱크 외부로 배출하는 제 1 배출구를 포함하는 페이스트 액 공급장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 펌프는 상기 배관에 의해 상기 제 1 탱크의 상기 제 1 배출구와 연결되어 있는 페이스트 액 공급장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 글러브 박스에 치환되는 상기 분위기는 질소분위기인 페이스트 액 공급장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 글러브 박스에 치환되는 분위기는 질소분위기인 페이스트 액 공급장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    제 1 글러브 박스와 상기 제 2 글러브 박스 사이에는 셔터가 더 구비된 페이스트 액 공급장치.
  10. 대기에 노출되어 있는 제 1 탱크;
    상기 제 1 탱크와 연결되며, 분위기 치환이 가능한 제 1 글러브 박스;
    상기 제 1 글러브 박스와 연결된 제 2 글러브 박스;
    상기 제 2 글러브 박스와 연결된 펌프;
    상기 펌프와 연결된 제 2 탱크;
    상기 제 2 탱크와 연결되는 액주입부;
    스크린 마스크와 상기 액주입부가 내부에 구비된 챔버; 및
    상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 포함하는 페이스트 액 공급장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제 1 탱크 내부에는 페이스트 액이 보관되어 있는 페이스트 액 공급장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제 1 탱크는 덮개를 구비하여 상기 페이스트 액을 외부와 차단시키는 페이스트 액 공급장치.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 복수의 배관 각각의 연결부위에 상기 페이스트 액의 흐름을 조절하는 벨브를 더 구비하는 페이스트 액 공급장치.
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 제 1 탱크는 상기 페이스트 액을 상기 제 1 탱크 내부로 주입하는 제 2주입구와, 상기 페이스트 액을 상기 제 1 탱크 외부로 공급하는 제 2 배출구를 포함하는 페이스트 액 공급장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 펌프는 상기 배관에 의해 상기 제 1 탱크의 상기 제 2 배출구와 연결되어 있는 페이스트 액 공급장치.
  16. 제 11항에 있어서,
    상기 제 1 글러브 박스에 치환되는 상기 분위기는 질소분위기인 페이스트 액 공급장치.
  17. 제 11항에 있어서,
    상기 제 2 글러브 박스에 치환되는 분위기는 질소분위기인 페이스트 액 공급장치.
  18. 제 11항에 있어서,
    제 1 글러브 박스와 상기 제 2 글러브 박스 사이에는 셔터가 더 구비된 페이스트 액 공급장치.
  19. 제 11항에 있어서,
    상기 제 2 글러브 박스는 상기 제 1 글러브 박스보다 작은 크기로 형성되는 페이스트 액 공급장치.
  20. 제 1 글러브 박스 내부에 제 1 탱크를 투입하는 단계;
    상기 제 1 글러브 박스 내부의 분위기를 제 2 글러브 박스와 동일하도록 치환하는 단계;
    상기 제 1 글러브 박스와 상기 제 2 글러브 박스 사이에 형성된 셔터를 여는 단계;
    상기 제 1 탱크와 상기 제 2 글러브 박스에 구비된 배관을 연결하는 단계;
    상기 배관을 통해 상기 제 1 탱크와 연결된 펌프를 이용하여 상기 제 1 탱크에 저장된 페이스트 액을 제 2 탱크로 공급하는 단계;
    상기 제 2 탱크에 저장된 상기 페이스트 액을 액주입부에 공급하는 단계; 및
    상기 액주입부를 통해 챔버 내부에 구비된 스크린 마스크에 상기 페이스트 액을 공급하는 단계를 포함하는 페이스트 액 공급방법.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 페이스트 액은 상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 통해 이동하는 페이스트 액 공급방법.
  22. 제 20항에 있어서,
    상기 제 1 글러브 박스는 질소분위기로 치환하는 페이스트 액 공급방법.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 질소분위기는 10ppm 이하로 치환하는 페이스트 액 공급방법.
  24. 제 20항에 있어서,
    상기 제 1 탱크에 저장된 상기 페이스트 액이 소진 시 상기 제 2 탱크에 일 정량의 상기 페이스트 액을 보관하는 페이스트 액 공급방법.
  25. 대기상에 제 1 탱크를 구비하는 단계;
    상기 제 1 글러브 박스 내부의 분위기를 제 2 글러브 박스와 동일하도록 치환하는 단계;
    상기 제 1 글러브 박스와 상기 제 2 글러브 박스 사이에 형성된 셔터를 여는 단계;
    상기 제 1 탱크와 상기 제 2 글러브 박스에 구비된 배관을 연결하는 단계;
    상기 배관을 통해 상기 제 1 탱크와 연결된 펌프를 이용하여 상기 제 1 탱크에 저장된 페이스트 액을 제 2 탱크로 공급하는 단계;
    상기 제 2 탱크에 저장된 상기 페이스트 액을 액주입부에 공급하는 단계; 및
    상기 액주입부를 통해 챔버 내부에 구비된 스크린 마스크에 상기 페이스트 액을 공급하는 단계를 포함하는 페이스트 액 공급방법.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 제 1 탱크와 상기 제 1 글러브 박스를 연결하는 배관은 차단이 가능하도록 제작하는 페이스트 액 공급방법.
  27. 제 25항에 있어서,
    상기 페이스트 액은 상기 제 1 탱크와 상기 펌프, 상기 펌프와 제 2 탱크, 상기 탱크와 상기 액주입부를 연결하는 복수의 배관을 통해 이동하는 페이스트 액 공급방법.
  28. 제 25항에 있어서,
    상기 제 1 글러브 박스는 질소분위기로 치환하는 페이스트 액 공급방법.
  29. 제 28항에 있어서,
    상기 질소분위기는 10ppm 이하로 치환하는 페이스트 액 공급방법.
  30. 제 25항에 있어서,
    상기 제 1 탱크에 저장된 상기 페이스트 액이 소진 시 상기 제 2 탱크에 일정량의 상기 페이스트 액을 보관하는 페이스트 액 공급방법.
KR1020060020105A 2006-03-02 2006-03-02 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법 KR100719674B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060020105A KR100719674B1 (ko) 2006-03-02 2006-03-02 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060020105A KR100719674B1 (ko) 2006-03-02 2006-03-02 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100719674B1 true KR100719674B1 (ko) 2007-05-17

Family

ID=38277581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060020105A KR100719674B1 (ko) 2006-03-02 2006-03-02 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100719674B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020009438A (ko) * 2000-07-21 2002-02-01 다우 코닝 도레이 실리콘 캄파니 리미티드 페이스트 배출 용기
KR20020083375A (ko) * 2001-04-27 2002-11-02 윤희선 포토레지스트 공급 장치 및 이를 이용한 포토레지스트공급방법
KR20060065045A (ko) * 2004-12-09 2006-06-14 엘지전자 주식회사 페이스트 공급장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020009438A (ko) * 2000-07-21 2002-02-01 다우 코닝 도레이 실리콘 캄파니 리미티드 페이스트 배출 용기
KR20020083375A (ko) * 2001-04-27 2002-11-02 윤희선 포토레지스트 공급 장치 및 이를 이용한 포토레지스트공급방법
KR20060065045A (ko) * 2004-12-09 2006-06-14 엘지전자 주식회사 페이스트 공급장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100599545B1 (ko) 도포 장치, 박막 형성 방법, 박막 형성 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법
US7141492B2 (en) Method for forming thin-film, apparatus for forming thin-film, method for manufacturing semiconductor device, electro-optical unit, and electronic apparatus
CN101399283B (zh) 电光学装置以及电子机器
EP1995996A1 (en) Film forming apparatus and method for manufacturing light emitting element
WO2019003305A1 (ja) 有機ｅｌデバイスの製造方法
CN108461647B (zh) 封装方法和显示装置
US20180298489A1 (en) Deposition apparatus, method for controlling same, deposition method using deposition apparatus, and device manufacturing method
JPWO2018229876A1 (ja) 有機ｅｌデバイスおよびその製造方法
US20170051394A1 (en) Vapor deposition apparatus, vapor deposition method using vapor deposition apparatus, and device production method
CN1286082C (zh) 电光学装置、其制造方法及电子仪器
KR100719674B1 (ko) 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법
US9735379B2 (en) Display apparatus, apparatus and method of manufacturing display apparatus
US9725798B2 (en) Apparatus for manufacturing display device and method of manufacturing display device
KR100748306B1 (ko) 페이스트 액 공급장치 및 페이스트 액 공급방법
KR102527232B1 (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102114313B1 (ko) 증착장치 및 이를 이용한 증착방법
US7629738B2 (en) Organic electroluminescence display device providing uniformity of color coordinates by controlling inorganic layer thickness deviation
KR20070051651A (ko) 글로브 박스의 분위기 조절장치
JP6542931B2 (ja) 有機ｅｌデバイスの製造方法
JP2004146310A (ja) 成膜方法、表示パネル、電子機器および液滴吐出装置
KR102536253B1 (ko) 박막 증착 장치
KR20070051623A (ko) 오엘이디 봉지 공정 분위기 관리시스템
KR20200054849A (ko) 베이크 장치 및 이를 이용한 표시 장치 제조 방법
CN116744749A (zh) 用于制造显示面板的方法
KR100484954B1 (ko) 유기 전계발광 소자의 엔캡슐레이션 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130430

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140430

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150430

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee