KR100712219B1 - Both-sides Emmitting Organic Electroluminescence Device And The Method For Fabricating Of The Same - Google Patents

Both-sides Emmitting Organic Electroluminescence Device And The Method For Fabricating Of The Same Download PDF

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Abstract

본 발명은 도전성기판을 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention, by using a conductive substrate, can block the external light and transmitted light to improve the image display quality, high temperature process, strong against external impact and prevent static electricity in the double-sided light emitting organic electroluminescent device and its manufacturing method It is about.

본 발명은 도전성기판; 상기 도전성기판의 일면에 위치하는 제 1 절연막; 상기 제 1 절연막 상에 위치하는 제 1 하부전극; 상기 제 1 하부전극 상에 위치하는 제 1 유기막층; 상기 제 1 유기막층 상에 위치하는 제 1 상부전극; 상기 도전성기판의 다른 일면에 위치하는 제 2 절연막; 상기 제 2 절연막 상에 위치하는 제 2 하부전극; 상기 제 2 하부전극 상에 위치하는 제 2 유기막층; 및 상기 제 2 유기막층 상에 위치하는 제 2 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is a conductive substrate; A first insulating film disposed on one surface of the conductive substrate; A first lower electrode on the first insulating layer; A first organic layer disposed on the first lower electrode; A first upper electrode on the first organic layer; A second insulating film disposed on the other surface of the conductive substrate; A second lower electrode on the second insulating layer; A second organic layer disposed on the second lower electrode; And a second upper electrode positioned on the second organic layer.

양면발광, 유기전계발광소자 Double sided emission, organic light emitting device

Description

양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법{Both-sides Emmitting Organic Electroluminescence Device And The Method For Fabricating Of The Same}Two-sided organic electroluminescent device and its manufacturing method {Both-sides Emmitting Organic Electroluminescence Device And The Method For Fabricating Of The Same}

도 1 및 도 2 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도.1 and 2 are cross-sectional views of a double-sided organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 5 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도.3 to 5 are cross-sectional views of the double-sided organic light emitting display device according to the second embodiment of the present invention.

<도면 주요부호에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Major Symbols in Drawings>

100 : 도전성기판 110,210 : 절연막100: conductive substrate 110, 210: insulating film

120,220 : 반도체층 130,230 : 게이트 절연막120,220 semiconductor layer 130,230 gate insulating film

140,240 : 게이트 전극 150,250 : 층간 절연막140,240: gate electrode 150,250: interlayer insulating film

151,152,251,252 : 소스/드레인 전극151,152,251,252: source / drain electrodes

160,260 : 평탄화막 170,270 : 반사막160,260: planarization film 170,270: reflection film

175,275 : 제 1 및 제 2 하부전극 175,275: first and second lower electrodes

180,280 : 제 1 및 제 2 유기막층180,280: first and second organic layer

190,290 : 제 1 및 제 2 상부전극190,290: first and second upper electrodes

195 : 무기막 195: inorganic film

본 발명은 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 도전성기판을 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하다. 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 양면발광 유기전계발광소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a double-sided light emitting organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same. More specifically, by using a conductive substrate, external light and transmitted light can be blocked to improve image display quality, and a high temperature process is possible. In addition, the present invention relates to a double-sided light emitting organic electroluminescent device which is resistant to external shock and prevents static electricity.

종래 양면발광 유기전계발광소자는 유리기판 상에 제 1 전극, 유기막층 및 제 2 전극으로 이루어진다. 상기 유리기판은 반도체층, 게이트 전극 및 소스/드레인 전극을 포함할 수 있다. 이어서, 다른 유리기판 상에 상기와 같이 소자를 형성하고 상기 완성된 2개의 소자를 합착하여 종래 양면발광 유기전계발광소자를 완성한다.Conventional double-sided organic light emitting display device is composed of a first electrode, an organic film layer and a second electrode on a glass substrate. The glass substrate may include a semiconductor layer, a gate electrode, and a source / drain electrode. Subsequently, an element is formed on another glass substrate as described above, and the two completed elements are joined to complete a conventional double-sided organic light emitting diode.

그러나, 상기와 같은 종래 양면발광 유기전계발광소자는 기판이 유리이기 때문에, 저온에서 공정해야 하는 어려움이 있으며 정전기 문제가 발생할 수 있다. 또한 외부광을 막아주기 위해 편광판 또는 블랙 매트릭스를 더 사용해야 하는 단점이 있다. However, since the substrate is glass, the conventional double-sided light emitting organic electroluminescent device as described above has a difficulty in processing at a low temperature and may cause an electrostatic problem. In addition, there is a disadvantage in that a polarizer or a black matrix must be further used to prevent external light.

또한, 상부의 소자에서 발광하는 빛이 유리기판을 통해 하부의 소자에까지 영향을 미쳐 콘트라스트가 저하되고, 외부충격에 의해 유리기판이 파손되기 쉬운 단점이 있다.In addition, the light emitted from the upper element affects the lower element through the glass substrate, so that the contrast is lowered and the glass substrate is easily damaged by external impact.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 도전성기판을 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages and problems of the prior art, by using a conductive substrate, it is possible to increase the image display quality by blocking external light and transmitted light, high temperature process is possible, SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a double-sided light emitting organic electroluminescent device and a method for manufacturing the same that are resistant to impact and prevent static electricity.

본 발명의 상기 목적은 도전성기판; 상기 도전성기판의 일면에 위치하는 제 1 절연막; 상기 제 1 절연막 상에 위치하는 제 1 하부전극; 상기 제 1 하부전극 상에 위치하는 제 1 유기막층; 상기 제 1 유기막층 상에 위치하는 제 1 상부전극; 상기 도전성기판의 다른 일면에 위치하는 제 2 절연막; 상기 제 2 절연막 상에 위치하는 제 2 하부전극; 상기 제 2 하부전극 상에 위치하는 제 2 유기막층; 및 상기 제 2 유기막층 상에 위치하는 제 2 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자에 의해 달성된다.The object of the present invention is a conductive substrate; A first insulating film disposed on one surface of the conductive substrate; A first lower electrode on the first insulating layer; A first organic layer disposed on the first lower electrode; A first upper electrode on the first organic layer; A second insulating film disposed on the other surface of the conductive substrate; A second lower electrode on the second insulating layer; A second organic layer disposed on the second lower electrode; And a second upper electrode positioned on the second organic film layer.

또한, 본 발명의 상기 목적은 도전성기판을 제공하는 단계; 상기 도전성기판 일면에 제 1 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 절연막 상에 제 1 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 하부전극 상에 제 1 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 1 유기막층 상에 제 1 상부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 하부전극, 제 1 유기막층 및 제 1 상부전극을 포함하는 무기막을 형성하는 단계; 상기 도전성기판의 다른 일면에 제 2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연막 상에 제 2 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 2 하부전극 상에 제 2 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 2 유기막층 상에 제 2 상부전극을 형성하는 단계; 상기 무기막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법에 의해서도 달성된다. In addition, the object of the present invention is to provide a conductive substrate; Forming a first insulating film on one surface of the conductive substrate; Forming a first lower electrode on the first insulating film; Forming a first organic layer on the first lower electrode; Forming a first upper electrode on the first organic layer; Forming an inorganic film including the first lower electrode, the first organic layer, and the first upper electrode; Forming a second insulating film on the other surface of the conductive substrate; Forming a second lower electrode on the second insulating film; Forming a second organic layer on the second lower electrode; Forming a second upper electrode on the second organic layer; It is also achieved by a method for manufacturing a double-sided light emitting organic electroluminescent device comprising the step of removing the inorganic film.

또한, 본 발명의 상기 목적은 제 1 도전성기판을 제공하는 단계; 상기 제 1 도전성기판 상에 제 1 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 절연막 상에 제 1 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 하부전극 상에 제 1 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 1 유기막층 상에 제 1 상부전극을 형성하는 단계; 제 2 도전성기판을 제공하는 단계; 상기 제 2 도전성기판 상에 제 2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연막 상에 제 2 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 2 하부전극 상에 제 2 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 2 유기막층 상에 제 2 상부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 도전성기판과 제 2 도전성기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법에 의해서도 달성된다. In addition, the object of the present invention is to provide a first conductive substrate; Forming a first insulating film on the first conductive substrate; Forming a first lower electrode on the first insulating film; Forming a first organic layer on the first lower electrode; Forming a first upper electrode on the first organic layer; Providing a second conductive substrate; Forming a second insulating film on the second conductive substrate; Forming a second lower electrode on the second insulating film; Forming a second organic layer on the second lower electrode; Forming a second upper electrode on the second organic layer; It is also achieved by a method for manufacturing a double-sided light emitting organic electroluminescent device comprising the step of bonding the first conductive substrate and the second conductive substrate.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 또한 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동 일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention. In the drawings, the length, thickness, etc. of layers and regions may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout the specification.

본 발명의 양면발광 유기전계발광소자는 하나의 도전성기판을 사용하여 도전성기판의 양면에 각각 유기전계발광소자를 형성하여 본 발명의 양면발광 유기전계발광소자를 형성할 수 있다. 또한 각각 하나의 도전성기판에 유기전계발광소자를 형성하여 상기 도전성기판들을 합착함으로써 본 발명의 양면발광 유기전계발광소자를 형성할 수 있다.The double-sided organic light emitting display device of the present invention can form the double-sided organic light emitting device of the present invention by forming the organic light emitting device on each side of the conductive substrate using one conductive substrate. In addition, the organic light emitting diodes may be formed on one conductive substrate to bond the conductive substrates to form the double-sided organic light emitting diodes of the present invention.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a double-emitting organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 도전성기판(100)을 제공한다. 상기 도전성기판(100)은 SUS(Steel Use Stainless)를 사용할 수 있다. 상기와 같이 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있다.Referring to FIG. 1, a conductive substrate 100 is provided. The conductive substrate 100 may use stainless steel (SUS). By using SUS as described above, the image display quality can be improved by blocking external light and transmitted light, and a high temperature process is possible, and it is also resistant to external impact and can prevent static electricity.

다음, 상기 도전성기판(100) 상에 제 1 절연막(110)을 형성한다. 상기 제 1 절연막(110)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있고, 상기 도전성기판(100)을 추후 상부에 형성되는 층들로부터 절연시키는 절연막일 수 있다.Next, a first insulating layer 110 is formed on the conductive substrate 100. The first insulating layer 110 may be formed of a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof, and may be an insulating layer that insulates the conductive substrate 100 from layers later formed thereon.

이어, 상기 제 1 절연막(110) 상에 반도체층(120)을 형성한다. 상기 반도체층(120)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(120) 상에 게이트 절연막(130)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(130)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.Subsequently, a semiconductor layer 120 is formed on the first insulating layer 110. The semiconductor layer 120 may be an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film obtained by crystallizing an amorphous silicon film. A gate insulating layer 130 is formed on the semiconductor layer 120. The gate insulating layer 130 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof.

이어서, 상기 게이트 절연막(130) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(120)과 대응되는 영역에 게이트 전극(140)을 형성한다. Subsequently, the gate electrode material 140 is stacked on the gate insulating layer 130 and patterned to form the gate electrode 140 in a region corresponding to the semiconductor layer 120.

상기 도전성기판(100) 상에 층간 절연막(150)을 형성한다. 상기 층간 절연막(150)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(150) 상에 상기 반도체층(120)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(100) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(151,152)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(151,152)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(120)에 연결된다.An interlayer insulating layer 150 is formed on the conductive substrate 100. The interlayer insulating layer 150 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof. Contact holes exposing the semiconductor layer 120 are formed on the interlayer insulating layer 150. A conductive film is stacked on the conductive substrate 100 on which the contact holes are formed, and then patterned to form source / drain electrodes 151 and 152. The source and drain electrodes 151 and 152 are connected to the semiconductor layer 120 through the contact hole.

상기 소스/드레인 전극(151,152)과 층간 절연막(150) 상에 평탄화막(160)을 형성하고, 상기 평탄화막(160)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(160) 상에 반사막(170)을 형성한다. 상기 반사막(170)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.The planarization layer 160 is formed on the source / drain electrodes 151 and 152 and the interlayer insulating layer 150, and the planarization layer 160 is etched to form via holes. The reflective film 170 is formed on the planarization film 160. The reflective film 170 may be Ag, Al, or an alloy thereof.

이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 도전성기판(100) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(170)을 포함하는 제 1 하부전극(171)을 형성한다. 상기 제 1 하부전극(171)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the conductive substrate 100, and then the transparent conductive film is patterned to form a first lower electrode 171 including the reflective film 170. The first lower electrode 171 may use ITO or IZO.

상기 도전성기판(100) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(175)을 형성한다. 상기 개구부에 제 1 유기막층(180)을 형성한다. 상기 제 1 유기막층(180)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 도전성기판(100) 전면에 제 1 상부전극(190)을 형성한다. 상기 제 1 상부전극(190)은 투명하 면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A pixel defining layer 175 having an opening is formed on the entire surface of the conductive substrate 100. The first organic layer 180 is formed in the opening. The first organic layer 180 may include at least an organic light emitting layer, and may further include any one or more layers of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. Thereafter, a first upper electrode 190 is formed on the entire surface of the conductive substrate 100. The first upper electrode 190 may be used as Mg, Ag, Al, Ca, and an alloy thereof having a transparent and low work function.

이후에, 상기 박막 트랜지스터, 제 1 하부전극, 유기막층 및 제 1 상부전극을 포함하도록 무기막(195)을 형성한다. 상기 무기막(195)은 후속 공정을 할 때, 소자를 보호하기 위한 것으로써 산화규소계 또는 질화규소계중에 선택된 하나의 재료로 형성된다.Thereafter, the inorganic layer 195 is formed to include the thin film transistor, the first lower electrode, the organic layer, and the first upper electrode. The inorganic film 195 is formed of one material selected from silicon oxide or silicon nitride based on the protection of the device during the subsequent process.

다음, 도 2를 참조하면, 상기 도전성기판의 다른 일면에 제 2 절연막(210)을 형성한다. 상기 절연막(210)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 2, a second insulating film 210 is formed on the other surface of the conductive substrate. The insulating film 210 may be formed of a silicon oxide film, a silicon nitride film, or multiple layers thereof.

상기 절연막(210) 상에 반도체층(220)을 형성한다. 상기 반도체층(220)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(220) 상에 게이트 절연막(230)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(230)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The semiconductor layer 220 is formed on the insulating layer 210. The semiconductor layer 220 may be an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film obtained by crystallizing an amorphous silicon film. A gate insulating layer 230 is formed on the semiconductor layer 220. The gate insulating layer 230 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof.

이어서, 상기 게이트 절연막(230) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(220)과 대응되는 영역에 게이트 전극(240)을 형성한다. Subsequently, the gate electrode material is formed on the gate insulating layer 230 and patterned to form the gate electrode 240 in a region corresponding to the semiconductor layer 220.

상기 도전성기판(200) 상에 층간 절연막(250)을 형성한다. 상기 층간 절연막(250)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(250) 상에 상기 반도체층(220)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(200) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(251,252)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(251,252)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(220)에 연결된다.An interlayer insulating layer 250 is formed on the conductive substrate 200. The interlayer insulating film 250 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof. Contact holes exposing the semiconductor layer 220 are formed on the interlayer insulating layer 250. A conductive film is stacked on the conductive substrate 200 on which the contact holes are formed, and then patterned to form source / drain electrodes 251 and 252. The source and drain electrodes 251 and 252 are connected to the semiconductor layer 220 through the contact hole.

상기 소스/드레인 전극(251,252)과 층간 절연막(250) 상에 평탄화막(260)을 형성하고, 상기 평탄화막(260)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(260) 상에 반사막(270)을 형성한다. 상기 반사막(270)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.The planarization layer 260 is formed on the source / drain electrodes 251 and 252 and the interlayer insulating layer 250, and the via layer is etched to form via holes. The reflective film 270 is formed on the planarization film 260. The reflective film 270 may be Ag, Al, or an alloy thereof.

이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 도전성기판(200) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(270)을 포함하는 제 2 하부전극(271)을 형성한다. 상기 제 2 하부전극(271)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다.Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the conductive substrate 200, and then the transparent conductive film is patterned to form a second lower electrode 271 including the reflective film 270. The second lower electrode 271 may use ITO or IZO.

상기 도전성기판(200) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(275)을 형성한다. 상기 개구부에 제 2 유기막층(280)을 형성한다. 상기 제 2 유기막층(280)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 도전성기판(200) 전면에 제 2 상부전극(290)을 형성한다. 상기 제 2 상부전극(290)은 투명하면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A pixel defining layer 275 having an opening is formed on the entire surface of the conductive substrate 200. The second organic layer 280 is formed in the opening. The second organic layer 280 may include at least an organic light emitting layer, and may further include any one or more layers of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. Thereafter, a second upper electrode 290 is formed on the entire surface of the conductive substrate 200. The second upper electrode 290 may be used as Mg, Ag, Al, Ca, and an alloy thereof having a transparent and low work function.

이후에, 상기 무기막(195)를 제거하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자를 완성한다.Thereafter, the inorganic layer 195 is removed to complete the double-sided organic light emitting display device according to the first embodiment of the present invention.

상기와 같이, 도전성기판으로 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 이점이 있다.As described above, by using the SUS as the conductive substrate, it is possible to block external light and transmitted light to increase the image display quality, to enable a high temperature process, and also to be resistant to external impact and to prevent static electricity.

도 3 및 도 4 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도이다.3 and 4 are cross-sectional views of the double-sided organic light emitting display device according to the second embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 제 1 도전성기판(300)을 제공한다. 상기 제 1 도전성기판(300)은 SUS(Steel Use Stainless)를 사용할 수 있다. 상기와 같이 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있다.Referring to FIG. 3, a first conductive substrate 300 is provided. The first conductive substrate 300 may use stainless steel (SUS). By using SUS as described above, the image display quality can be improved by blocking external light and transmitted light, and a high temperature process is possible, and it is also resistant to external impact and can prevent static electricity.

상기 제 1 도전성기판(300) 상에 제 1 절연막(310)을 형성한다. 상기 제 1 절연막(310)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있고, 상기 도전성기판(300)을 추후 상부에 형성되는 층들로부터 절연시키는 절연막일 수 있다.A first insulating layer 310 is formed on the first conductive substrate 300. The first insulating layer 310 may be formed of a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or multiple layers thereof, and may be an insulating layer that insulates the conductive substrate 300 from layers later formed thereon.

상기 제 1 절연막(310) 상에 반도체층(320)을 형성한다. 상기 반도체층(320)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(320) 상에 게이트 절연막(330)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(330)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The semiconductor layer 320 is formed on the first insulating layer 310. The semiconductor layer 320 may be an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film obtained by crystallizing an amorphous silicon film. A gate insulating layer 330 is formed on the semiconductor layer 320. The gate insulating layer 330 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof.

이어서, 상기 게이트 절연막(330) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(320)과 대응되는 영역에 게이트 전극(340)을 형성한다. Subsequently, a gate electrode material 340 is formed on the gate insulating layer 330 by stacking and patterning the gate electrode material on the region corresponding to the semiconductor layer 320.

상기 제 1 도전성기판(300) 상에 층간 절연막(350)을 형성한다. 상기 층간 절연막(350)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(350) 상에 상기 반도체층(320)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(300) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(351,352)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(351,352)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(320)에 연결된다.An interlayer insulating layer 350 is formed on the first conductive substrate 300. The interlayer insulating film 350 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof. Contact holes exposing the semiconductor layer 320 are formed on the interlayer insulating layer 350. A conductive film is stacked on the conductive substrate 300 on which the contact holes are formed, and then patterned to form source / drain electrodes 351 and 352. The source and drain electrodes 351 and 352 are connected to the semiconductor layer 320 through the contact hole.

상기 소스/드레인 전극(351,352)과 층간 절연막(350) 상에 평탄화막(360)을 형성하고, 상기 평탄화막(360)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(360) 상에 반사막(370)을 형성한다. 상기 반사막(370)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.The planarization layer 360 is formed on the source / drain electrodes 351 and 352 and the interlayer insulating layer 350, and the planarization layer 360 is etched to form via holes. The reflective film 370 is formed on the planarization film 360. The reflective film 370 may be Ag, Al, or an alloy thereof.

이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 제 1 도전성기판(300) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(370)을 포함하는 제 1 하부전극(371)을 형성한다. 상기 제 1 하부전극(371)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the first conductive substrate 300, and then the transparent conductive film is patterned to form a first lower electrode 371 including the reflective film 370. The first lower electrode 371 may use ITO or IZO.

상기 제 1 도전성기판(300) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(375)을 형성한다. 상기 개구부에 제 1 유기막층(380)을 형성한다. 상기 제 1 유기막층(380)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 제 1 도전성기판(300) 전면에 제 1 상부전극(390)을 형성한다. 상기 제 1 상부전극(390)은 투명하면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A pixel defining layer 375 having an opening is formed on the entire surface of the first conductive substrate 300. The first organic layer 380 is formed in the opening. The first organic layer 380 may include at least an organic light emitting layer, and may further include any one or more layers of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. Thereafter, a first upper electrode 390 is formed on the entire surface of the first conductive substrate 300. The first upper electrode 390 may be used as Mg, Ag, Al, Ca, and an alloy thereof having a transparent and low work function.

다음 도 4를 참조하면, 제 2 도전성기판(400)을 제공한다. 상기 제 2 도전성기판(400)은 상기 제 1 도전성기판과 동일하게 SUS(Steel Use Stainless)를 사용할 수 있다. 상기와 같이 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있다.Next, referring to FIG. 4, a second conductive substrate 400 is provided. The second conductive substrate 400 may use SUS (Steel Use Stainless) in the same manner as the first conductive substrate. By using SUS as described above, the image display quality can be improved by blocking external light and transmitted light, and a high temperature process is possible, and it is also resistant to external impact and can prevent static electricity.

상기 제 2 도전성기판(400) 상에 제 2 절연막(410)을 형성한다. 상기 제 2 절연막(410)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있고, 상기 제 2 도전성기판(400)을 추후 상부에 형성되는 층들로부터 절연시키는 절연막일 수 있다.A second insulating layer 410 is formed on the second conductive substrate 400. The second insulating film 410 may be formed of a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof, and may be an insulating film that insulates the second conductive substrate 400 from later formed layers.

상기 제 2 절연막(410) 상에 반도체층(420)을 형성한다. 상기 반도체층(420)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(420) 상에 게이트 절연막(430)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(430)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The semiconductor layer 420 is formed on the second insulating layer 410. The semiconductor layer 420 may be an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film obtained by crystallizing an amorphous silicon film. A gate insulating layer 430 is formed on the semiconductor layer 420. The gate insulating layer 430 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof.

이어서, 상기 게이트 절연막(430) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(420)과 대응되는 영역에 게이트 전극(440)을 형성한다. Subsequently, the gate electrode material is stacked on the gate insulating layer 430 and patterned to form the gate electrode 440 in a region corresponding to the semiconductor layer 420.

상기 제 2 도전성기판(400) 상에 층간 절연막(450)을 형성한다. 상기 층간 절연막(450)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(450) 상에 상기 반도체층(420)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(400) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(451,452)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(451,452)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(420)에 연결된다.An interlayer insulating layer 450 is formed on the second conductive substrate 400. The interlayer insulating layer 450 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof. Contact holes exposing the semiconductor layer 420 are formed on the interlayer insulating layer 450. A conductive film is stacked on the conductive substrate 400 on which the contact holes are formed, and then patterned to form source / drain electrodes 451 and 452. The source and drain electrodes 451 and 452 are connected to the semiconductor layer 420 through the contact hole.

상기 소스/드레인 전극(451,452)과 층간 절연막(450) 상에 평탄화막(460)을 형성하고, 상기 평탄화막(460)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(460) 상에 반사막(470)을 형성한다. 상기 반사막(470)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.A planarization layer 460 is formed on the source / drain electrodes 451 and 452 and the interlayer insulating layer 450, and the planarization layer 460 is etched to form via holes. The reflective film 470 is formed on the planarization film 460. The reflective film 470 may be Ag, Al, or an alloy thereof.

이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 제 2 도전성기판(400) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(470)을 포함하는 제 2 하부전극(471)을 형성 한다. 상기 제 2 하부전극(471)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the second conductive substrate 400, and then the transparent conductive film is patterned to form a second lower electrode 471 including the reflective film 470. The second lower electrode 471 may use ITO or IZO.

상기 제 2 도전성기판(400) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(475)을 형성한다. 상기 개구부에 제 2 유기막층(480)을 형성한다. 상기 제 2 유기막층(480)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 제 2 도전성기판(400) 전면에 제 2 상부전극(490)을 형성한다. 상기 제 2 상부전극(490)은 투명하면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A pixel defining layer 475 having an opening is formed on the entire surface of the second conductive substrate 400. The second organic layer 480 is formed in the opening. The second organic layer 480 may include at least an organic light emitting layer, and may further include any one or more layers of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. Thereafter, a second upper electrode 490 is formed on the entire surface of the second conductive substrate 400. The second upper electrode 490 may be used as Mg, Ag, Al, Ca, and an alloy thereof having a transparent and low work function.

이후에 도 5를 참조하면, 상기 제 1 도전성기판과 제 2 도전성기판을 양면테이프 또는 접착제를 사용하여 합착하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자를 완성한다.5, the first conductive substrate and the second conductive substrate are bonded to each other using a double-sided tape or an adhesive to complete a double-sided organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.

상기와 같이, SUS로 이루어진 도전성기판을 사용함으로써, 저온 공정을 해야 하는 어려움 없이 고온 공정이 가능하고, 정전기 문제도 발생하지 않는다.As described above, by using the conductive substrate made of SUS, a high temperature process is possible without difficulty of having a low temperature process, and no electrostatic problem occurs.

또한, 외부광과 상부 소자에서 발생하는 하부 소자로의 투과광을 차단하여 화상표시품질을 높일 수 있으며, 외부충격에도 쉽게 손상되지 않는 이점이 있다. In addition, the image display quality can be improved by blocking external light and transmitted light from the upper element to the lower element, and there is an advantage that the external impact is not easily damaged.

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.Although the present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, it is not limited to the above embodiments and those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible.

따라서, 본 발명의 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 외부광 및 투과광을 방지하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the double-sided organic light emitting display device and the manufacturing method thereof according to the present invention can increase the image display quality by preventing external light and transmitted light, and can have a high temperature process, are resistant to external impact, and can prevent static electricity.

Claims (10)

도전성기판;Conductive substrate; 상기 도전성기판의 일면에 위치하는 제 1 절연막;A first insulating film disposed on one surface of the conductive substrate; 상기 제 1 절연막 상에 위치하는 제 1 하부전극;A first lower electrode on the first insulating layer; 상기 제 1 하부전극 상에 위치하는 제 1 유기막층;A first organic layer disposed on the first lower electrode; 상기 제 1 유기막층 상에 위치하는 제 1 상부전극;A first upper electrode on the first organic layer; 상기 도전성기판의 다른 일면에 위치하는 제 2 절연막;A second insulating film disposed on the other surface of the conductive substrate; 상기 제 2 절연막 상에 위치하는 제 2 하부전극;A second lower electrode on the second insulating layer; 상기 제 2 하부전극 상에 위치하는 제 2 유기막층; 및A second organic layer disposed on the second lower electrode; And 상기 제 2 유기막층 상에 위치하는 제 2 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자.And a second upper electrode positioned on the second organic film layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전성기판은 하나의 기판 또는 두개의 기판을 사용하는 것을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자.The conductive substrate is a double-sided organic light emitting device, characterized in that further comprising using one substrate or two substrates. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 하부전극은 반사막 및 투명도전막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자.And the first and second lower electrodes are formed of a reflective film and a transparent conductive film. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 도전성기판은 SUS를 사용하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.The conductive substrate is a manufacturing method of a double-sided organic light emitting device, characterized in that using SUS. 도전성기판을 제공하는 단계;Providing a conductive substrate; 상기 도전성기판 일면에 제 1 절연막을 형성하는 단계;Forming a first insulating film on one surface of the conductive substrate; 상기 제 1 절연막 상에 제 1 하부전극을 형성하는 단계;Forming a first lower electrode on the first insulating film; 상기 제 1 하부전극 상에 제 1 유기막층을 형성하는 단계;Forming a first organic layer on the first lower electrode; 상기 제 1 유기막층 상에 제 1 상부전극을 형성하는 단계;Forming a first upper electrode on the first organic layer; 상기 제 1 하부전극, 제 1 유기막층 및 제 1 상부전극을 포함하는 무기막을 형성하는 단계;Forming an inorganic film including the first lower electrode, the first organic layer, and the first upper electrode; 상기 도전성기판의 다른 일면에 제 2 절연막을 형성하는 단계;Forming a second insulating film on the other surface of the conductive substrate; 상기 제 2 절연막 상에 제 2 하부전극을 형성하는 단계;Forming a second lower electrode on the second insulating film; 상기 제 2 하부전극 상에 제 2 유기막층을 형성하는 단계;Forming a second organic layer on the second lower electrode; 상기 제 2 유기막층 상에 제 2 상부전극을 형성하는 단계;Forming a second upper electrode on the second organic layer; 상기 무기막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.A method of manufacturing a double-sided light emitting organic electroluminescent device comprising the step of removing the inorganic film. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 도전성기판은 SUS를 사용하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.The conductive substrate is a manufacturing method of a double-sided organic light emitting device, characterized in that using SUS. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제 1 전극은 반사막 및 투명도전막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.The first electrode is a manufacturing method of a double-sided organic light emitting device, characterized in that consisting of a reflective film and a transparent conductive film. 제 1 도전성기판을 제공하는 단계;Providing a first conductive substrate; 상기 제 1 도전성기판 상에 제 1 절연막을 형성하는 단계;Forming a first insulating film on the first conductive substrate; 상기 제 1 절연막 상에 제 1 하부전극을 형성하는 단계;Forming a first lower electrode on the first insulating film; 상기 제 1 하부전극 상에 제 1 유기막층을 형성하는 단계;Forming a first organic layer on the first lower electrode; 상기 제 1 유기막층 상에 제 1 상부전극을 형성하는 단계;Forming a first upper electrode on the first organic layer; 제 2 도전성기판을 제공하는 단계;Providing a second conductive substrate; 상기 제 2 도전성기판 상에 제 2 절연막을 형성하는 단계;Forming a second insulating film on the second conductive substrate; 상기 제 2 절연막 상에 제 2 하부전극을 형성하는 단계;Forming a second lower electrode on the second insulating film; 상기 제 2 하부전극 상에 제 2 유기막층을 형성하는 단계;Forming a second organic layer on the second lower electrode; 상기 제 2 유기막층 상에 제 2 상부전극을 형성하는 단계;Forming a second upper electrode on the second organic layer; 상기 제 1 도전성기판과 제 2 도전성기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.And bonding the first conductive substrate and the second conductive substrate to each other. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 도전성기판은 SUS를 사용하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.The conductive substrate is a manufacturing method of a double-sided organic light emitting device, characterized in that using SUS. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 1 전극은 반사막 및 투명도전막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법.The first electrode is a manufacturing method of a double-sided organic light emitting device, characterized in that consisting of a reflective film and a transparent conductive film.
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