KR100712219B1 - Both-sides Emmitting Organic Electroluminescence Device And The Method For Fabricating Of The Same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 도전성기판을 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention, by using a conductive substrate, can block the external light and transmitted light to improve the image display quality, high temperature process, strong against external impact and prevent static electricity in the double-sided light emitting organic electroluminescent device and its manufacturing method It is about.
본 발명은 도전성기판; 상기 도전성기판의 일면에 위치하는 제 1 절연막; 상기 제 1 절연막 상에 위치하는 제 1 하부전극; 상기 제 1 하부전극 상에 위치하는 제 1 유기막층; 상기 제 1 유기막층 상에 위치하는 제 1 상부전극; 상기 도전성기판의 다른 일면에 위치하는 제 2 절연막; 상기 제 2 절연막 상에 위치하는 제 2 하부전극; 상기 제 2 하부전극 상에 위치하는 제 2 유기막층; 및 상기 제 2 유기막층 상에 위치하는 제 2 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is a conductive substrate; A first insulating film disposed on one surface of the conductive substrate; A first lower electrode on the first insulating layer; A first organic layer disposed on the first lower electrode; A first upper electrode on the first organic layer; A second insulating film disposed on the other surface of the conductive substrate; A second lower electrode on the second insulating layer; A second organic layer disposed on the second lower electrode; And a second upper electrode positioned on the second organic layer.
양면발광, 유기전계발광소자 Double sided emission, organic light emitting device
Description
도 1 및 도 2 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도.1 and 2 are cross-sectional views of a double-sided organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
도 3 내지 도 5 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도.3 to 5 are cross-sectional views of the double-sided organic light emitting display device according to the second embodiment of the present invention.
<도면 주요부호에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Major Symbols in Drawings>
100 : 도전성기판 110,210 : 절연막100:
120,220 : 반도체층 130,230 : 게이트 절연막120,220 semiconductor layer 130,230 gate insulating film
140,240 : 게이트 전극 150,250 : 층간 절연막140,240: gate electrode 150,250: interlayer insulating film
151,152,251,252 : 소스/드레인 전극151,152,251,252: source / drain electrodes
160,260 : 평탄화막 170,270 : 반사막160,260: planarization film 170,270: reflection film
175,275 : 제 1 및 제 2 하부전극 175,275: first and second lower electrodes
180,280 : 제 1 및 제 2 유기막층180,280: first and second organic layer
190,290 : 제 1 및 제 2 상부전극190,290: first and second upper electrodes
195 : 무기막 195: inorganic film
본 발명은 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 도전성기판을 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하다. 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 양면발광 유기전계발광소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a double-sided light emitting organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same. More specifically, by using a conductive substrate, external light and transmitted light can be blocked to improve image display quality, and a high temperature process is possible. In addition, the present invention relates to a double-sided light emitting organic electroluminescent device which is resistant to external shock and prevents static electricity.
종래 양면발광 유기전계발광소자는 유리기판 상에 제 1 전극, 유기막층 및 제 2 전극으로 이루어진다. 상기 유리기판은 반도체층, 게이트 전극 및 소스/드레인 전극을 포함할 수 있다. 이어서, 다른 유리기판 상에 상기와 같이 소자를 형성하고 상기 완성된 2개의 소자를 합착하여 종래 양면발광 유기전계발광소자를 완성한다.Conventional double-sided organic light emitting display device is composed of a first electrode, an organic film layer and a second electrode on a glass substrate. The glass substrate may include a semiconductor layer, a gate electrode, and a source / drain electrode. Subsequently, an element is formed on another glass substrate as described above, and the two completed elements are joined to complete a conventional double-sided organic light emitting diode.
그러나, 상기와 같은 종래 양면발광 유기전계발광소자는 기판이 유리이기 때문에, 저온에서 공정해야 하는 어려움이 있으며 정전기 문제가 발생할 수 있다. 또한 외부광을 막아주기 위해 편광판 또는 블랙 매트릭스를 더 사용해야 하는 단점이 있다. However, since the substrate is glass, the conventional double-sided light emitting organic electroluminescent device as described above has a difficulty in processing at a low temperature and may cause an electrostatic problem. In addition, there is a disadvantage in that a polarizer or a black matrix must be further used to prevent external light.
또한, 상부의 소자에서 발광하는 빛이 유리기판을 통해 하부의 소자에까지 영향을 미쳐 콘트라스트가 저하되고, 외부충격에 의해 유리기판이 파손되기 쉬운 단점이 있다.In addition, the light emitted from the upper element affects the lower element through the glass substrate, so that the contrast is lowered and the glass substrate is easily damaged by external impact.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 도전성기판을 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages and problems of the prior art, by using a conductive substrate, it is possible to increase the image display quality by blocking external light and transmitted light, high temperature process is possible, SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a double-sided light emitting organic electroluminescent device and a method for manufacturing the same that are resistant to impact and prevent static electricity.
본 발명의 상기 목적은 도전성기판; 상기 도전성기판의 일면에 위치하는 제 1 절연막; 상기 제 1 절연막 상에 위치하는 제 1 하부전극; 상기 제 1 하부전극 상에 위치하는 제 1 유기막층; 상기 제 1 유기막층 상에 위치하는 제 1 상부전극; 상기 도전성기판의 다른 일면에 위치하는 제 2 절연막; 상기 제 2 절연막 상에 위치하는 제 2 하부전극; 상기 제 2 하부전극 상에 위치하는 제 2 유기막층; 및 상기 제 2 유기막층 상에 위치하는 제 2 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자에 의해 달성된다.The object of the present invention is a conductive substrate; A first insulating film disposed on one surface of the conductive substrate; A first lower electrode on the first insulating layer; A first organic layer disposed on the first lower electrode; A first upper electrode on the first organic layer; A second insulating film disposed on the other surface of the conductive substrate; A second lower electrode on the second insulating layer; A second organic layer disposed on the second lower electrode; And a second upper electrode positioned on the second organic film layer.
또한, 본 발명의 상기 목적은 도전성기판을 제공하는 단계; 상기 도전성기판 일면에 제 1 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 절연막 상에 제 1 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 하부전극 상에 제 1 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 1 유기막층 상에 제 1 상부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 하부전극, 제 1 유기막층 및 제 1 상부전극을 포함하는 무기막을 형성하는 단계; 상기 도전성기판의 다른 일면에 제 2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연막 상에 제 2 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 2 하부전극 상에 제 2 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 2 유기막층 상에 제 2 상부전극을 형성하는 단계; 상기 무기막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법에 의해서도 달성된다. In addition, the object of the present invention is to provide a conductive substrate; Forming a first insulating film on one surface of the conductive substrate; Forming a first lower electrode on the first insulating film; Forming a first organic layer on the first lower electrode; Forming a first upper electrode on the first organic layer; Forming an inorganic film including the first lower electrode, the first organic layer, and the first upper electrode; Forming a second insulating film on the other surface of the conductive substrate; Forming a second lower electrode on the second insulating film; Forming a second organic layer on the second lower electrode; Forming a second upper electrode on the second organic layer; It is also achieved by a method for manufacturing a double-sided light emitting organic electroluminescent device comprising the step of removing the inorganic film.
또한, 본 발명의 상기 목적은 제 1 도전성기판을 제공하는 단계; 상기 제 1 도전성기판 상에 제 1 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 절연막 상에 제 1 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 하부전극 상에 제 1 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 1 유기막층 상에 제 1 상부전극을 형성하는 단계; 제 2 도전성기판을 제공하는 단계; 상기 제 2 도전성기판 상에 제 2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연막 상에 제 2 하부전극을 형성하는 단계; 상기 제 2 하부전극 상에 제 2 유기막층을 형성하는 단계; 상기 제 2 유기막층 상에 제 2 상부전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 도전성기판과 제 2 도전성기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광 유기전계발광소자의 제조방법에 의해서도 달성된다. In addition, the object of the present invention is to provide a first conductive substrate; Forming a first insulating film on the first conductive substrate; Forming a first lower electrode on the first insulating film; Forming a first organic layer on the first lower electrode; Forming a first upper electrode on the first organic layer; Providing a second conductive substrate; Forming a second insulating film on the second conductive substrate; Forming a second lower electrode on the second insulating film; Forming a second organic layer on the second lower electrode; Forming a second upper electrode on the second organic layer; It is also achieved by a method for manufacturing a double-sided light emitting organic electroluminescent device comprising the step of bonding the first conductive substrate and the second conductive substrate.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 또한 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동 일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention. In the drawings, the length, thickness, etc. of layers and regions may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout the specification.
본 발명의 양면발광 유기전계발광소자는 하나의 도전성기판을 사용하여 도전성기판의 양면에 각각 유기전계발광소자를 형성하여 본 발명의 양면발광 유기전계발광소자를 형성할 수 있다. 또한 각각 하나의 도전성기판에 유기전계발광소자를 형성하여 상기 도전성기판들을 합착함으로써 본 발명의 양면발광 유기전계발광소자를 형성할 수 있다.The double-sided organic light emitting display device of the present invention can form the double-sided organic light emitting device of the present invention by forming the organic light emitting device on each side of the conductive substrate using one conductive substrate. In addition, the organic light emitting diodes may be formed on one conductive substrate to bond the conductive substrates to form the double-sided organic light emitting diodes of the present invention.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a double-emitting organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 도전성기판(100)을 제공한다. 상기 도전성기판(100)은 SUS(Steel Use Stainless)를 사용할 수 있다. 상기와 같이 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있다.Referring to FIG. 1, a
다음, 상기 도전성기판(100) 상에 제 1 절연막(110)을 형성한다. 상기 제 1 절연막(110)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있고, 상기 도전성기판(100)을 추후 상부에 형성되는 층들로부터 절연시키는 절연막일 수 있다.Next, a first
이어, 상기 제 1 절연막(110) 상에 반도체층(120)을 형성한다. 상기 반도체층(120)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(120) 상에 게이트 절연막(130)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(130)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.Subsequently, a
이어서, 상기 게이트 절연막(130) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(120)과 대응되는 영역에 게이트 전극(140)을 형성한다. Subsequently, the
상기 도전성기판(100) 상에 층간 절연막(150)을 형성한다. 상기 층간 절연막(150)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(150) 상에 상기 반도체층(120)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(100) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(151,152)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(151,152)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(120)에 연결된다.An
상기 소스/드레인 전극(151,152)과 층간 절연막(150) 상에 평탄화막(160)을 형성하고, 상기 평탄화막(160)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(160) 상에 반사막(170)을 형성한다. 상기 반사막(170)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.The
이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 도전성기판(100) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(170)을 포함하는 제 1 하부전극(171)을 형성한다. 상기 제 1 하부전극(171)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the
상기 도전성기판(100) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(175)을 형성한다. 상기 개구부에 제 1 유기막층(180)을 형성한다. 상기 제 1 유기막층(180)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 도전성기판(100) 전면에 제 1 상부전극(190)을 형성한다. 상기 제 1 상부전극(190)은 투명하 면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A
이후에, 상기 박막 트랜지스터, 제 1 하부전극, 유기막층 및 제 1 상부전극을 포함하도록 무기막(195)을 형성한다. 상기 무기막(195)은 후속 공정을 할 때, 소자를 보호하기 위한 것으로써 산화규소계 또는 질화규소계중에 선택된 하나의 재료로 형성된다.Thereafter, the
다음, 도 2를 참조하면, 상기 도전성기판의 다른 일면에 제 2 절연막(210)을 형성한다. 상기 절연막(210)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 2, a second
상기 절연막(210) 상에 반도체층(220)을 형성한다. 상기 반도체층(220)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(220) 상에 게이트 절연막(230)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(230)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The
이어서, 상기 게이트 절연막(230) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(220)과 대응되는 영역에 게이트 전극(240)을 형성한다. Subsequently, the gate electrode material is formed on the
상기 도전성기판(200) 상에 층간 절연막(250)을 형성한다. 상기 층간 절연막(250)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(250) 상에 상기 반도체층(220)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(200) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(251,252)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(251,252)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(220)에 연결된다.An interlayer insulating
상기 소스/드레인 전극(251,252)과 층간 절연막(250) 상에 평탄화막(260)을 형성하고, 상기 평탄화막(260)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(260) 상에 반사막(270)을 형성한다. 상기 반사막(270)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.The
이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 도전성기판(200) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(270)을 포함하는 제 2 하부전극(271)을 형성한다. 상기 제 2 하부전극(271)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다.Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the conductive substrate 200, and then the transparent conductive film is patterned to form a second
상기 도전성기판(200) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(275)을 형성한다. 상기 개구부에 제 2 유기막층(280)을 형성한다. 상기 제 2 유기막층(280)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 도전성기판(200) 전면에 제 2 상부전극(290)을 형성한다. 상기 제 2 상부전극(290)은 투명하면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A
이후에, 상기 무기막(195)를 제거하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자를 완성한다.Thereafter, the
상기와 같이, 도전성기판으로 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 이점이 있다.As described above, by using the SUS as the conductive substrate, it is possible to block external light and transmitted light to increase the image display quality, to enable a high temperature process, and also to be resistant to external impact and to prevent static electricity.
도 3 및 도 4 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자의 단면도이다.3 and 4 are cross-sectional views of the double-sided organic light emitting display device according to the second embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 제 1 도전성기판(300)을 제공한다. 상기 제 1 도전성기판(300)은 SUS(Steel Use Stainless)를 사용할 수 있다. 상기와 같이 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있다.Referring to FIG. 3, a first
상기 제 1 도전성기판(300) 상에 제 1 절연막(310)을 형성한다. 상기 제 1 절연막(310)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있고, 상기 도전성기판(300)을 추후 상부에 형성되는 층들로부터 절연시키는 절연막일 수 있다.A first insulating
상기 제 1 절연막(310) 상에 반도체층(320)을 형성한다. 상기 반도체층(320)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(320) 상에 게이트 절연막(330)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(330)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The
이어서, 상기 게이트 절연막(330) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(320)과 대응되는 영역에 게이트 전극(340)을 형성한다. Subsequently, a gate electrode material 340 is formed on the
상기 제 1 도전성기판(300) 상에 층간 절연막(350)을 형성한다. 상기 층간 절연막(350)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(350) 상에 상기 반도체층(320)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(300) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(351,352)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(351,352)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(320)에 연결된다.An interlayer insulating
상기 소스/드레인 전극(351,352)과 층간 절연막(350) 상에 평탄화막(360)을 형성하고, 상기 평탄화막(360)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(360) 상에 반사막(370)을 형성한다. 상기 반사막(370)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.The
이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 제 1 도전성기판(300) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(370)을 포함하는 제 1 하부전극(371)을 형성한다. 상기 제 1 하부전극(371)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the first
상기 제 1 도전성기판(300) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(375)을 형성한다. 상기 개구부에 제 1 유기막층(380)을 형성한다. 상기 제 1 유기막층(380)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 제 1 도전성기판(300) 전면에 제 1 상부전극(390)을 형성한다. 상기 제 1 상부전극(390)은 투명하면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A
다음 도 4를 참조하면, 제 2 도전성기판(400)을 제공한다. 상기 제 2 도전성기판(400)은 상기 제 1 도전성기판과 동일하게 SUS(Steel Use Stainless)를 사용할 수 있다. 상기와 같이 SUS를 사용함으로써, 외부광 및 투과광을 차단하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 또한, 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있다.Next, referring to FIG. 4, a second
상기 제 2 도전성기판(400) 상에 제 2 절연막(410)을 형성한다. 상기 제 2 절연막(410)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층으로 형성할 수 있고, 상기 제 2 도전성기판(400)을 추후 상부에 형성되는 층들로부터 절연시키는 절연막일 수 있다.A second insulating
상기 제 2 절연막(410) 상에 반도체층(420)을 형성한다. 상기 반도체층(420)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(420) 상에 게이트 절연막(430)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(430)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The
이어서, 상기 게이트 절연막(430) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(420)과 대응되는 영역에 게이트 전극(440)을 형성한다. Subsequently, the gate electrode material is stacked on the
상기 제 2 도전성기판(400) 상에 층간 절연막(450)을 형성한다. 상기 층간 절연막(450)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(450) 상에 상기 반도체층(420)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 도전성기판(400) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(451,452)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(451,452)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(420)에 연결된다.An interlayer insulating
상기 소스/드레인 전극(451,452)과 층간 절연막(450) 상에 평탄화막(460)을 형성하고, 상기 평탄화막(460)을 식각하여 비어홀을 형성한다. 상기 평탄화막(460) 상에 반사막(470)을 형성한다. 상기 반사막(470)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다.A
이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 제 2 도전성기판(400) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(470)을 포함하는 제 2 하부전극(471)을 형성 한다. 상기 제 2 하부전극(471)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the second
상기 제 2 도전성기판(400) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(475)을 형성한다. 상기 개구부에 제 2 유기막층(480)을 형성한다. 상기 제 2 유기막층(480)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. 이후에 상기 제 2 도전성기판(400) 전면에 제 2 상부전극(490)을 형성한다. 상기 제 2 상부전극(490)은 투명하면서 일함수가 낮은 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금으로 사용할 수 있다. A
이후에 도 5를 참조하면, 상기 제 1 도전성기판과 제 2 도전성기판을 양면테이프 또는 접착제를 사용하여 합착하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 양면발광 유기전계발광소자를 완성한다.5, the first conductive substrate and the second conductive substrate are bonded to each other using a double-sided tape or an adhesive to complete a double-sided organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.
상기와 같이, SUS로 이루어진 도전성기판을 사용함으로써, 저온 공정을 해야 하는 어려움 없이 고온 공정이 가능하고, 정전기 문제도 발생하지 않는다.As described above, by using the conductive substrate made of SUS, a high temperature process is possible without difficulty of having a low temperature process, and no electrostatic problem occurs.
또한, 외부광과 상부 소자에서 발생하는 하부 소자로의 투과광을 차단하여 화상표시품질을 높일 수 있으며, 외부충격에도 쉽게 손상되지 않는 이점이 있다. In addition, the image display quality can be improved by blocking external light and transmitted light from the upper element to the lower element, and there is an advantage that the external impact is not easily damaged.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.Although the present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, it is not limited to the above embodiments and those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible.
따라서, 본 발명의 양면발광 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 외부광 및 투과광을 방지하여 화상표시품질을 상승시킬수 있고, 고온 공정이 가능하며 외부충격에 강하고 정전기를 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the double-sided organic light emitting display device and the manufacturing method thereof according to the present invention can increase the image display quality by preventing external light and transmitted light, and can have a high temperature process, are resistant to external impact, and can prevent static electricity.
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