KR100710599B1 - vacuum chamber - Google Patents

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KR100710599B1
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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 관한 것으로, 특히 밀봉 부재를 벽판과 상부판 및 하부판 사이에 설치하지 않고, 상기 벽판에 돌출부를 형성시키고 상기 돌출부와 상기 상부판 및 하부판에 이중의 밀봉부재를 설치하여 소모성의 상기 밀봉 부재를 간편하게 교체하는데 적당하도록 한 분리형 진공 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a separable vacuum chamber of a flat panel display panel manufacturing apparatus, and in particular, without forming a sealing member between the wall plate and the upper plate and the lower plate, forming a protrusion on the wall plate, and doubles the protrusion and the upper plate and the lower plate. A separate vacuum chamber is provided which is suitable for easily replacing the consumable sealing member by installing the sealing member.

본 발명의 분리형 진공 챔버는, 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 하부판에 연결되는 끝단에만 상기 하부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 하부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 하부판에 배치되는 커버부재와, 상기 돌출부 상부 및 상기 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The separate vacuum chamber of the present invention is a separate vacuum chamber of a flat panel display panel manufacturing apparatus, comprising: an upper plate forming an upper portion of the chamber, a lower plate forming a lower portion of the chamber facing the upper plate, and the upper plate and the lower plate. Both ends are combined to form an internal sealed space, the wall plate having a protrusion protruding along the inner circumferential direction of the chamber to make a predetermined step with the lower plate only at the end connected to the lower plate, and the along the inner circumferential direction of the chamber And a cover member disposed at an upper end of the protrusion formed at an end of the wall plate connected to the lower plate and the lower plate, and a sealing member interposed between the protrusion upper part and the lower plate and the cover member to block the inside from the outside. It is done.

진공 챔버Vacuum chamber

Description

분리형 진공 챔버{vacuum chamber}Separation Vacuum Chamber

도 1은 종래 진공 챔버의 정면도이다.1 is a front view of a conventional vacuum chamber.

도 2는 종래 진공 챔버의 분리 사시도이다.2 is an exploded perspective view of a conventional vacuum chamber.

도 3은 본 발명인 분리형 진공 챔버의 정면도이다.3 is a front view of a separate vacuum chamber of the present invention.

도 4a 및 도 4b는 도 3의 "A"부분에 대한 확대도이다.4A and 4B are enlarged views of part “A” of FIG. 3.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10, 100 : 진공 챔버 11, 120 : 하부판10, 100: vacuum chamber 11, 120: lower plate

12, 110 : 상부판 13, 130 : 벽판12, 110: top plate 13, 130: wall plate

15, 140 : 밀봉 부재 135 : 돌출부15, 140: sealing member 135: protrusion

150 : 커버 부재150: cover member

본 발명은 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 관한 것으로, 특히 밀봉 부재를 벽판과 상부판 및 하부판 사이에 설치하지 않고, 상기 벽판에 돌출부를 형성시키고 상기 돌출부와 상기 상부판 및 하부판에 이중의 밀봉부재 를 설치하여 소모성의 상기 밀봉 부재를 간편하게 교체하는데 적당하도록 한 분리형 진공 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a separable vacuum chamber of a flat panel display panel manufacturing apparatus, and in particular, without forming a sealing member between the wall plate and the upper plate and the lower plate, forming a protrusion on the wall plate, and doubles the protrusion and the upper plate and the lower plate. A separate vacuum chamber is provided which is suitable for easily replacing the consumable sealing member by installing a sealing member.

평판 디스플레이 패널을 제조함에 있어 기판이 대면적 또는 대형화됨에 따라, 상기 기판을 처리하는 진공 챔버도 초대형으로 제작될 필요성이 있다. 그런데 상기 진공 챔버를 일체형 구조로 제작하기에는 원자재 생산과 제작상의 문제점으로 인하여 어려움이 있다. 따라서, 상기 진공 챔버는 유지 보수의 용이성을 확보하기 위하여 분리된 구조물을 결합하여 완성되는 것이 일반적이다.As the substrate becomes larger or larger in manufacturing a flat panel display panel, there is a need to manufacture a large vacuum chamber for processing the substrate. However, it is difficult to manufacture the vacuum chamber in an integrated structure due to problems in raw material production and manufacturing. Therefore, the vacuum chamber is generally completed by combining the separated structures to ensure ease of maintenance.

이하, 종래의 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 진공 챔버에 관한 구조와, 상기 구조에 의하여 발생되는 관련된 문제점을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a structure related to a vacuum chamber of a conventional flat panel display panel manufacturing apparatus and related problems caused by the structure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 진공 챔버의 정면도이다.1 is a front view of a conventional vacuum chamber.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 진공 챔버(10)는, 챔버(10)의 상부를 이루는 상부판(12)과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판(11)과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되는 벽판(13)과, 상기 벽판의 끝단과 하부판 사이와 상기 벽판의 끝단과 상기 상부판 사이에 설치되는 밀봉 부재(14, 15)를 포함하여 이루어져 있다.As shown in FIG. 1, the conventional vacuum chamber 10 includes an upper plate 12 forming an upper portion of the chamber 10, a lower plate 11 forming a lower portion of the chamber facing the upper plate, and And a sealing member (14, 15) installed between the top plate and the bottom plate both ends are coupled to the wall plate 13, and between the end and the bottom plate of the wall plate and the end of the wall plate and the top plate.

한편, 상기와 같은 구조를 가지는 종래의 진공 챔버(10)에서 상기 벽판(13)과 상부판(12) 그리고 상기 벽판(13)과 하부판(11) 사이의 결합은 용접에 의하거나 볼트 또는 스크류와 같은 접합 부재를 이용한다.Meanwhile, in the conventional vacuum chamber 10 having the structure as described above, the coupling between the wall plate 13 and the upper plate 12 and the wall plate 13 and the lower plate 11 is by welding or by bolts or screws. The same joining member is used.

도 2는 종래 진공 챔버의 분리 사시도이다.2 is an exploded perspective view of a conventional vacuum chamber.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 종래의 진공 챔버(10)를 제작하기 위해서는 챔버의 하부를 이루는 하부판(11)을 위치시키고, 상기 하부판(11)의 외곽을 따라 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(14)을 올려 놓는다. 상기 오링(O-Ring)(14)을 상기 하부판(11) 위에 올려 놓기 위하여 상기 하부판(11)에는 상기 오링(O-Ring)(14)의 외형과 일치하는 틀이 상기 오링(O-Ring)(14)이 올려지는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 2, in order to manufacture the conventional vacuum chamber 10, a lower plate 11 constituting a lower portion of the chamber is positioned, and an O-ring, which is a sealing member, is formed along the outer surface of the lower plate 11. (14). In order to place the O-ring 14 on the lower plate 11, the lower plate 11 has a frame that matches the shape of the O-ring 14 and the O-ring. It is preferable that it is formed in the position where 14 is raised.

상기 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(14)이 상기 하부판(11) 위에 설치되면 상기 벽판(13)을 상기 하부판(11) 위에 설치한다. 즉, 상기 하부판(11)의 외곽을 따라 소정의 면이 접촉될 수 있도록 형성된 벽판(13)을 상기 하부판(11) 위에 올려 놓는다. 한편, 상기 하부판(11)과 접촉되는 상기 벽판(13)의 끝단 하부면에는 상기 하부판(11)과 동일하게 상기 오링(O-Ring)(14)의 외형과 일치하는 틀이 형성되는 것이 바람직하다. When the O-ring 14, which is the sealing member, is installed on the lower plate 11, the wall plate 13 is installed on the lower plate 11. That is, the wall plate 13 is formed on the lower plate 11 so that a predetermined surface can be contacted along the outer surface of the lower plate 11. On the other hand, it is preferable that a frame coinciding with the outer shape of the O-ring 14 is formed on the lower end surface of the wall plate 13 in contact with the lower plate 11 in the same manner as the lower plate 11. .

상기 하부판(11) 위에 상기 벽판(13)이 설치되면, 상기 벽판(13)의 끝단 상부면에 밀봉 부재인 또다른 오링(O-Ring)(15)을 올려 놓는다. 상기 벽판(13)의 끝단 상부면에도 상기 오링(O-Ring)(15)의 외형과 일치하는 틀이 형성되어 있고, 이 틀 안에 상기 오링(O-Ring)(15)을 올려 놓는다.When the wall plate 13 is installed on the lower plate 11, another O-ring 15, which is a sealing member, is placed on the top surface of the end of the wall plate 13. A frame coinciding with the outer shape of the O-ring 15 is formed on the upper end surface of the wall plate 13, and the O-ring 15 is placed in the frame.

그런 후, 상기 상부판(12)을 상기 벽판(13)의 끝단 상부면에 올려 놓는다. 상기 벽판(13)의 끝단 상부면과 접촉하는 상기 상부판(12)의 면에도 상기 오링(O-Ring)(15)의 외형과 일치하는 틀링 형성되어 있다.Then, the top plate 12 is placed on the top surface of the end of the wall plate (13). The top of the top plate 12 in contact with the top surface of the end of the wall plate 13 is also formed with a ring to match the outer shape of the O-ring (O-Ring) (15).

상기와 같이 하부판(11), 벽판(13), 상부판(12)의 구조물과 밀봉 부재인 오 링(O-Ring)(14, 15)을 결합하여 진공 챔버의 구조를 형성시킨 후 상기 벽판(13)과 하부판(11) 그리고 상기 벽판(13)과 상부판(12)을 용접이나 볼트 또는 스크류와 같은 접합 부재를 이용하여 견고하게 결합한다.As described above, the structure of the lower plate 11, the wall plate 13, and the upper plate 12 and the O-rings 14 and 15, which are sealing members, are combined to form a structure of a vacuum chamber, and then the wall plate ( 13) and the lower plate 11 and the wall plate 13 and the upper plate 12 is firmly coupled using a welding member such as welding or bolts or screws.

이상과 같은 구조를 가지는 종래의 진공 챔버에 의하면 다음과 같은 문제점이 발생한다.According to the conventional vacuum chamber having the above structure, the following problem occurs.

상기 밀봉 부재는 상기 벽판과 하부판 사이 또는 상기 벽판과 상부판 사이에 설치되므로, 상기 판들 사이에 형성되는 미세한 틈을 통하여 상기 오링(O-Ring)과 같은 밀봉 부재가 플라즈마 가스에 노출되므로 수명이 단축되는 문제점이 있다.Since the sealing member is installed between the wall plate and the lower plate or between the wall plate and the upper plate, the sealing member such as the O-ring is exposed to the plasma gas through a minute gap formed between the plates, thereby shortening the lifespan. There is a problem.

또한, 상기 밀봉 부재인 오링의 교체가 요구되는 경우에는, 상기 진공 챔버를 이루는 구조물인 상기 벽판과 하부판 또는 상기 벽판과 상부판을 분리해야 하는 문제점이 발생한다.In addition, when the O-ring, which is the sealing member, is required, a problem arises in that the wall plate and the lower plate or the wall plate and the upper plate, which are structures forming the vacuum chamber, need to be separated.

한편, 기판의 대형화 또는 대면적화 되는 추세에 따라 챔버의 크기도 초대형으로 변화된다. 따라서 상기와 같이 챔버의 구조물을 분리하기 위해서는 많은 인력과 비용 그리고 시간이 소요되고, 유지보수에 어려움이 있다.On the other hand, the size of the chamber is also changed to a very large size in accordance with the trend of larger or larger area of the substrate. Therefore, in order to separate the structure of the chamber as described above, a lot of manpower, cost and time, there is a difficulty in maintenance.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 진공 챔버에 설치하는 밀봉 부재를 벽판과 상부판 또는 하부판 사이에 설치하는 것을 개선하여 상기 밀봉 부재를 진공 챔버 내측에 배치될 수 있도록 설치함으로써, 상기 밀봉 부재를 쉽게 분리하여 교체가 가능한 구조를 가지는 분리형 진공 챔버를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention was devised to solve the above problems of the prior art, and improves the installation of the sealing member installed in the vacuum chamber between the wall plate and the upper plate or the lower plate can be disposed inside the vacuum chamber. It is an object of the present invention to provide a detachable vacuum chamber having a structure in which the sealing member is easily detachable and replaceable.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 분리형 진공 챔버를 이루는 구성수단은, 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 하부판에 연결되는 끝단에만 상기 하부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 하부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 하부판에 배치되는 커버부재와, 상기 돌출부 상부 및 상기 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 즉, 벽판의 끝단 중에 하부판에 접촉 결합되는 끝단에만 돌출부를 형성하여 하부판과 단차를 형성하고, 그 위에 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 구조이다. 따라서, 상부판과 결합되는 벽판의 끝단은 종래와 같이 상부판과 벽판의 접촉 결합 부위에 밀봉부재가 형성된다.In order to solve the technical problem as described above, a constituent means for forming a separate vacuum chamber according to the present invention is a separate vacuum chamber of a flat panel display panel manufacturing apparatus, the upper plate forming an upper portion of the chamber and facing the upper plate. The lower plate forming the lower part of the chamber and both ends of the upper plate and the lower plate are combined to form an inner sealed space, and protruded along the inner circumferential direction of the chamber to make a predetermined step with the lower plate only at the end connected to the lower plate. A wall plate having a protruding portion, a cover member disposed on an upper portion of the protruding portion formed at an end of the wall plate connected to the lower plate along the inner circumferential direction of the chamber and the lower plate, interposed between the upper portion of the protruding portion and the lower plate and the cover member; Comprising sealing members for blocking the interior from the outside It characterized. That is, a protrusion is formed only at the end of the wall plate which is in contact with the lower plate to form a step with the lower plate, and the sealing member and the cover member are installed thereon. Therefore, the end of the wall plate coupled to the top plate is formed with a sealing member in the contact coupling portion of the top plate and the wall plate as in the prior art.

또 다른 분리형 진공 챔버의 구성수단은, 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 상부판에 연결되는 끝단에만 상기 상부판 과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 상부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 상부판에 배치되는 커버부재와, 상기 돌출부 상부 및 상기 상부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 즉, 이경우에는 벽판의 끝단 중에 상부판에 접촉 결합되는 끝단에만 돌출부를 형성하여 상부판과 단차를 형성하고, 그 위에 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 구조이다. 따라서, 하부판과 결합되는 벽판의 끝단은 종래와 같이 하부판과 벽판의 접촉 결합 부위에 밀봉 부재가 형성된다.Further, the constituent means of the separate vacuum chamber includes a separate vacuum chamber of a flat panel display panel manufacturing apparatus, the upper plate forming the upper portion of the chamber, the lower plate facing the upper plate and forming the lower portion of the chamber, the upper plate and Both ends are coupled to the lower plate to form an inner sealed space, the wall plate having protrusions protruding along the inner circumferential direction of the chamber to make a predetermined step with the upper plate only at the ends connected to the upper plate, and the inner circumference of the chamber A cover member disposed on an upper portion of the protrusion formed on an end of the wall plate connected to the upper plate and a cover member disposed on the upper plate, and interposed between the upper portion of the protrusion and the upper plate and the cover member to block the inside from outside. It is characterized by including a member. That is, in this case, a protrusion is formed only at the end of the wall plate that is in contact with the top plate to form a step with the top plate, and a sealing member and a cover member are installed thereon. Therefore, the sealing member is formed at the end of the wall plate coupled to the lower plate in the contact coupling portion of the lower plate and the wall plate as in the prior art.

한편, 상기 돌출부가 상기 하부판과 결합되는 상기 벽판의 끝단에 더 형성되어 상기 하부판과 소정의 단차를 마련하고, 그 위에 상기 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 것을 특징으로 한다. 즉, 벽판의 양 끝단에 모두 돌출부를 형성하여 상부판 및 하부판 모두에 단차를 형성하고, 그 위에 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 구조이다.On the other hand, the protrusion is further formed at the end of the wall plate coupled to the lower plate to provide a predetermined step with the lower plate, characterized in that the sealing member and the cover member is installed thereon. That is, the protrusions are formed at both ends of the wall plate to form a step in both the upper plate and the lower plate, and the sealing member and the cover member are provided thereon.

또한, 상기 밀봉 부재는, 오링(O-Ring)으로 하되, 상기 돌출부에 위치하는 오링(O-Ring)과 상기 상부판 또는 하부판에 위치하는 오링(O-Ring)이 결합되거나 분리되어 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the sealing member is an O-ring (O-Ring), the O-ring (O-Ring) located in the protrusion and the O-Ring (O-Ring) located on the upper or lower plate is coupled or separated installed It features.

또한, 상기 돌출부에 위치하는 오링(O-Ring)은, 상기 돌출부의 상면 또는 측면에 설치되는 것을 특징으로 한다. 다만, 설치 용이성에 있어서 돌출부 상면에 설치하는 것이 유리하다.In addition, the O-ring located in the protrusion is characterized in that it is provided on the upper surface or the side of the protrusion. However, for ease of installation, it is advantageous to install on the upper surface of the protrusion.

또한, 상기 벽판과 상부판에 접촉되어 설치되는 커버 부재는 접합부재에 의하여 상기 상부판에 결합되고, 상기 벽판과 하부판에 접촉되어 설치되는 커버 부재는 하중에 의하여 결합되거나 접합 부재에 의하여 결합되는 것을 특징으로 한다. 그러나, 오링의 보호를 위하여 접합 부재에 의하여 견고하게 결합하는 것이 바람직하다.In addition, the cover member is installed in contact with the wall plate and the upper plate is coupled to the upper plate by a joining member, the cover member is installed in contact with the wall plate and the lower plate is coupled by a load or joined by a joining member It features. However, for the protection of the O-rings, it is preferable to firmly join by the joining member.

이하, 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 분리형 진공 챔버에 관한 작용과 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation and the preferred embodiment related to the separate vacuum chamber of the present invention composed of the above configuration means will be described in detail.

도 3은 본 발명인 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버의 정면도이고, 도 4a 및 도 4b는 도 3의 "A" 부분에 대한 확대도이다.3 is a front view of a detachable vacuum chamber of the present invention, a flat panel display panel manufacturing apparatus, and FIGS. 4A and 4B are enlarged views of part "A" of FIG.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명인 분리형 진공 챔버(100)는, 상기 챔버(100)의 상부와 하부를 이루기 위하여 서로 대면하고 있는 상부판(110)과 하부판(120), 상기 상부판(110) 및 하부판(120)에 양 끝단이 결합되는 벽판(130)을 구조물로 하여 이루어져 있다. 한편, 도 3 및 도 4a 및 도 4b에는 상기 벽판(130)의 양 끝단 모두에 돌출부가 형성되어 상기 상부판과 하부판 모두에 대하여 단차를 형성시키고, 그 위에 밀봉 부재와 커버부재를 설치한 구조이나, 본 발명은 상기 돌출부가 상기 벽판의 일 끝단에만 형성되는 경우와 양 끝단에 형성되는 경우의 모두를 제안하는 것이다.As shown in FIG. 3, the inventors of the present invention include a separate vacuum chamber 100, the upper plate 110 and the lower plate 120 facing each other to form an upper portion and a lower portion of the chamber 100, and the upper plate 110. ) And the lower plate 120 is made of a wall plate 130 is coupled to both ends of the structure. Meanwhile, in FIGS. 3 and 4A and 4B, protrusions are formed at both ends of the wall plate 130 to form a step for both the upper plate and the lower plate, and a sealing member and a cover member are installed thereon. The present invention proposes both the case where the protrusion is formed only at one end of the wall plate and the case where it is formed at both ends.

한편, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 벽판(130)의 끝단에는 상기 상부판(110)에 대해서만 또는 상기 하부판(120)에 대해서만 또는 상기 상부판 및 하부판 모두에 대하여 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버(100) 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부(135)가 형성되어 있다. 상기 돌출부(135)는 상기 하부판(120) 또는 상기 상부판(110) 또는 상기 상부판 및 하부판에 접촉되는 접촉면(135a) 및 상면(135b) 그리고 측면(135c) 등의 세면을 형성한다. On the other hand, as shown in Figure 4a, the end of the wall plate 130 chamber to make a predetermined step only for the upper plate 110 or only the lower plate 120, or both the upper plate and the lower plate Protrusions 135 protruding along the inner circumferential direction are formed. The protrusion 135 forms three surfaces, such as a contact surface 135a, an upper surface 135b, and a side surface 135c, which are in contact with the lower plate 120 or the upper plate 110 or the upper plate and the lower plate.

그리고, 도 3 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(100) 내부를 외부와 차단하여 챔버 내부의 진공 상태를 효과적으로 유지하기 위하여 상기 돌출부(135)와 상기 돌출부(135) 근처의 상기 하부판(120)에만 또는 상기 상부판(110)에만 또는 상기 상부판 및 하부판 모두의 소정의 위치에 밀봉 부재(140, 140a)가 설치되고, 상기 밀봉 부재(140, 140a) 위에 상기 밀봉 부재(140, 140a)를 덮어 씌우면서 상기 돌출부(135)를 포함한 벽판(130), 상부판(110) 또는 하부판(120) 또는 상부판 및 하부판과 접촉되어 커버 부재(150)가 설치된다.3 and 4A, in order to effectively block the inside of the chamber 100 from the outside and effectively maintain a vacuum state inside the chamber, the protrusion 135 and the lower plate near the protrusion 135 The sealing members 140 and 140a are installed only at the 120 or only at the upper plate 110 or at predetermined positions of both the upper plate and the lower plate, and the sealing members 140 and 140a are disposed on the sealing members 140 and 140a. ) And the cover member 150 is installed in contact with the wall plate 130, the upper plate 110 or the lower plate 120 or the upper plate and the lower plate including the protrusion 135.

상기 커버 부재(150)는 상기 밀봉 부재(140, 140a)를 보호하고, 챔버 내의 플라즈마 가스에 대한 노출을 최소화시킬 수 있다. 따라서, 상기 커버 부재(150)는 상기 밀봉 부재(140, 140a)를 덮어 씌우되, 상기 벽판(130)과 상부판(110) 또는 하부판(120)에 최대한 밀착되어 결합되어 설치되는 것이 바람직하다. 상기 하부판(120)과 결합하는 커버 부재(150)는 그 하중에 의하여 상기 하부판(120)과 결합할 수 있으나, 더 강한 결합을 위하여 스크류 또는 볼트와 같은 접합 부재를 이용하여 결합하는 것이 더 바람직하다. 한편, 상기 상부판(110)과 결합하는 커버 부재는 하중에 의하여 자유 낙하되는 것을 방지하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 반드시 스크류 또는 볼트와 같은 접합 부재를 이용하여 결합한다.The cover member 150 may protect the sealing members 140 and 140a and minimize exposure of the plasma gas in the chamber. Therefore, the cover member 150 covers the sealing members 140 and 140a, but is preferably installed in close contact with the wall plate 130 and the upper plate 110 or the lower plate 120 as closely as possible. The cover member 150 to be coupled to the lower plate 120 may be coupled to the lower plate 120 by its load, but it is more preferable to bond using a bonding member such as a screw or bolt for stronger bonding. . On the other hand, the cover member to be coupled to the upper plate 110 is necessarily coupled using a bonding member such as a screw or bolt as shown in Figure 3 in order to prevent free fall by the load.

상기 도 3 및 도 4a에 도시된 밀봉 부재(140, 140a)는 일반적인 진공 챔버에서와 같이 오링(O-Ring)(140, 140a)을 사용한다. 그러나, 본 발명에서의 오링(O-Ring)(140, 140a)은 상기 벽판(130) 끝단에 형성되는 돌출부(135)와 하부판(120)(상기 벽판 끝단에 형성되는 돌출부(135)와 상부판(110))에 각각 설치되는 오링(O-Ring)(140, 140a)이 쌍으로 이루어져 설치된다. 즉 상기 돌출부(135)에 위치하는 오링(O-Ring)(140, 140a)과 상기 하부판(120) 또는 상부판(110)에 위치하는 오링(O-Ring)(140, 140a)이 서로 한쌍이 되어 설치된다. The sealing members 140 and 140a shown in FIGS. 3 and 4A use O-rings 140 and 140a as in a general vacuum chamber. However, the O-rings 140 and 140a according to the present invention may include protrusions 135 and lower plates 120 (protrusions 135 and upper plates formed at the end of the wall plate 130) formed at the end of the wall plate 130. O-rings 140 and 140a respectively installed at 110 are installed in pairs. That is, a pair of O-rings 140 and 140a positioned in the protrusion 135 and the O-rings 140 and 140a positioned in the lower plate 120 or the upper plate 110 are paired with each other. Is installed.

그런데, 상기 돌출부(135)와 하부판(120) 또는 상부판(110)에 설치되는 한쌍의 오링(O-Ring)(140, 140a)은 서로 분리될 수도 있고, 서로 결합될 수도 있다. 즉, 도 4a에 도시된 바와 같이, 돌출부(135)의 상면(135b)에 설치되는 오링(O-Ring)(140a)과 상기 돌출부(135)의 측면(135c)에 인접하여 상기 하부판(120) 위에 설치되는 오링(O-Ring)은 서로 각각 분리되어 설치될 수도 있고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 돌출부(135)의 상면(135b)에 설치되는 오링(O-Ring)(140b)과 상기 돌출부(135)의 측면(135c)에 인접하여 상기 하부판(120) 위에 설치되는 오링(O-Ring)(140b)은 서로 결합된 상태로 설치될 수 있다. 상기 도 4b에 도시된 결합형의 오링(O-Ring)(140b)을 사용하는 경우, 챔버 내의 진공 상태를 더 효율적으로 유지할 수 있다.However, the pair of O-rings 140 and 140a installed on the protrusion 135 and the lower plate 120 or the upper plate 110 may be separated from each other or may be coupled to each other. That is, as shown in FIG. 4A, the lower plate 120 is adjacent to an O-ring 140a installed on the upper surface 135b of the protrusion 135 and the side surface 135c of the protrusion 135. O-rings may be installed separately from each other, and as shown in FIG. 4B, the O-rings 140b and the O-rings 140b installed on the upper surface 135b of the protrusion 135 may be provided. The O-ring 140b installed on the lower plate 120 adjacent to the side surface 135c of the protrusion 135 may be installed in a coupled state. When the O-ring 140b of the coupling type shown in FIG. 4B is used, the vacuum in the chamber may be more efficiently maintained.

한편, 상기 밀봉 부재로서 한 쌍의 오링(O-Ring)(140, 140a, 140b)은 도 3 및 도 4a 그리고 4b에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(135)의 상면(135b)과 하부판(120) 또는 상기 돌출부(135)의 상면(135b)과 상부판(110)에 분리 또는 결합 되어 한쌍으로 설치되지만, 챔버 제조자의 의도에 따라 상기 돌출부(135)에 위치하는 오링은 상기 돌출부(135)의 상면(135b)에 설치되지 않고 상기 돌출부(135)의 측면(135c)에 설치될 수 있다.Meanwhile, the pair of O-rings 140, 140a, and 140b as the sealing member may have an upper surface 135b and a lower plate 120 of the protrusion 135, as illustrated in FIGS. 3, 4A, and 4B. Or a pair of the upper surface 135b of the protrusion 135 and the upper plate 110 are separated or coupled to each other. However, according to the intention of the chamber manufacturer, the O-ring positioned at the protrusion 135 may be formed in the protrusion 135. It may be installed on the side surface 135c of the protrusion 135 without being installed on the upper surface 135b.

이상에서 설명한 분리형 진공 챔버(100)를 제작하기 위해서는 챔버(100)의 하부를 이루는 하부판(120)을 위치시키고, 상기 하부판(120)의 외곽을 따라 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(140)을 올려 놓는다. 상기 오링(O-Ring)(140)을 상기 하부판(120) 위에 올려 놓기 위하여 상기 하부판(120)에는 상기 오링(O-Ring)(140)의 외형과 일치하는 틀이 상기 오링(O-Ring)(140)이 올려지는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.In order to manufacture the separate vacuum chamber 100 described above, the lower plate 120 forming the lower portion of the chamber 100 is positioned, and an O-ring 140 which is a sealing member along the outer side of the lower plate 120. Put it on. In order to place the O-ring 140 on the lower plate 120, the lower plate 120 has a frame that matches the appearance of the O-ring 140. It is preferable that it is formed in the position where 140 is raised.

상기 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(140)이 상기 하부판(120) 위에 설치되면 상기 하부판(120)과 소정의 단차를 만들기 위하여 도 4a에 도시된 바와 같이 끝단에 돌출부(135)가 형성된 벽판(130)을 상기 하부판(120) 위에 설치한다. 즉, 상기 하부판(120)의 외곽을 따라 상기 벽판(130)의 끝단에 형성된 돌출부(135)의 접촉면(135a)이 하부판(120)에 접촉될 수 있도록 상기 벽판(130)을 상기 하부판(120) 위에 올려 놓는다. 한편, 종래와 달리 본 발명은 하부판(120)과 벽판(130) 하부면 사이에 오링(O-Ring)이 위치하지 않으므로, 상기 하부판(120)과 접촉되는 상기 벽판(130)의 끝단 하부면에는 오링(O-Ring)의 외형과 일치하는 틀이 형성될 필요가 없다.When the sealing member O-ring 140 is installed on the lower plate 120, a wall plate having a protrusion 135 formed at an end thereof as shown in FIG. 4A to make a predetermined step with the lower plate 120. 130 is installed on the lower plate 120. That is, the wall plate 130 is connected to the lower plate 120 so that the contact surface 135a of the protrusion 135 formed at the end of the wall plate 130 may contact the lower plate 120 along the outer side of the lower plate 120. Put on top. On the other hand, unlike the prior art, since the O-ring is not located between the lower plate 120 and the lower surface of the wall plate 130, the lower end of the wall plate 130 in contact with the lower plate 120 There is no need to form a frame that matches the appearance of the O-Ring.

상기 하부판(120) 위에 상기 벽판(130)이 설치되면, 도 4a에 도시된 바와 같이 상기 벽판(130)의 끝단에 형성된 돌출부(135)의 상면(135b)에 밀봉 부재인 또다 른 오링(O-Ring)(143)을 올려 놓는다. 상기 벽판(130)의 끝단에 형성된 돌출부(135)의 상면(135b)에도 상기 오링(O-Ring)(143)의 외형과 일치하는 틀이 형성되어 있고, 이 틀 안에 상기 오링(O-Ring)(143)을 올려 놓는다.When the wall plate 130 is installed on the lower plate 120, another O-ring (O−) that is a sealing member on the upper surface 135b of the protrusion 135 formed at the end of the wall plate 130 as shown in FIG. 4A. Put ring (143). In the upper surface 135b of the protrusion 135 formed at the end of the wall plate 130, a frame is formed to match the outer shape of the O-ring 143, and the O-ring is formed in the frame. Put (143).

그런 후, 상기 하부판(120) 상면과 상기 돌출부(135)의 상면(135b)에 위치하는 오링(O-Ring)(140)을 덮어 씌우고, 상기 벽판(130)과 상기 하부판(120)에 접촉 결합하는 커버 부재(150)를 설치한다. 상기 커버 부재(150) 하부면의 형상은 상기 단차를 만드는 돌출부(135)와 접촉하여 결합할 수 있는 형상을 가지되, 상기 돌출부(135) 상면(135b)에 설치되는 오링(140)과 상기 하부판(120)의 상면에 설치되는 오링(140)을 수용할 수 있는 틀을 가지는 형상이다. 한편, 상기 커버 부재(150)를 설치한 후, 상기 커버 부재(150)의 이동을 방지하고 상기 오링(140)을 보호하는 동시에 상기 커버 부재(150)와 상기 하부판(120)의 견고한 결합을 위하여 볼트 또는 스크류와 같은 접합 부재를 이용하여 상기 하부판(120)과 상기 커버 부재(150)를 결합한다.Thereafter, an upper surface of the lower plate 120 and an O-ring 140 positioned on the upper surface 135b of the protrusion 135 are covered with each other, and the wall plate 130 and the lower plate 120 are in contact with each other. The cover member 150 is installed. The shape of the lower surface of the cover member 150 has a shape that can be coupled in contact with the protrusion 135 making the step, the O-ring 140 and the lower plate installed on the upper surface 135b of the protrusion 135 It is a shape having a frame that can accommodate the O-ring 140 is installed on the upper surface of (120). On the other hand, after installing the cover member 150, to prevent the movement of the cover member 150 and to protect the O-ring 140 and at the same time for the firm coupling of the cover member 150 and the lower plate 120 The lower plate 120 and the cover member 150 are coupled using a bonding member such as a bolt or a screw.

상기와 같은 구조에 의하여 챔버의 하부쪽이 완성되고, 챔버의 상부쪽은 상기 챔버 하부쪽 구조와 동일한 구조로 형성시킨다. 즉, 상기 벽판(130) 위에 상부판(110)을 올려 놓고, 오링(140)을 설치한 다음 커버 부재(150)를 설치한다.The lower side of the chamber is completed by the above structure, and the upper side of the chamber is formed in the same structure as the lower side structure of the chamber. That is, the top plate 110 is placed on the wall plate 130, the O-ring 140 is installed, and the cover member 150 is installed.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 분리형 진공 챔버에 의하면, 벽판의 끝단에 형성되는 돌출부 상에 챔버 내부의 진공 상 태를 유지하기 위하여 설치되는 밀봉 부재를 위치시키고, 상기 밀봉 부재를 커버 부재에 의하여 덮어 씌움으로써, 밀봉 부재의 수명이 연장되는 장점이 있다.According to the separate vacuum chamber of the present invention having the above-described configuration, operation, and preferred embodiments, a sealing member is disposed on the protrusion formed at the end of the wall plate to maintain the vacuum state in the chamber, and the sealing member By covering the cover by the cover member, there is an advantage that the life of the sealing member is extended.

또한, 상기 밀봉 부재를 교체하고자 하는 경우에, 챔버를 이루는 벽판, 상부판, 하부판을 분리하지 않고 커버 부재만을 분리하여 상기 밀봉 부재를 교체할 수 있으므로 챔버의 유지 보수가 용이하다.In addition, when the sealing member is to be replaced, the sealing member may be replaced by separating only the cover member without separating the wall plate, the upper plate, and the lower plate constituting the chamber, thereby facilitating the maintenance of the chamber.

Claims (7)

평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서,In the detachable vacuum chamber of the flat panel manufacturing apparatus, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과;An upper plate constituting an upper portion of the chamber; 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과;A lower plate which faces the upper plate and forms a lower portion of the chamber; 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 상부판 및 하부판에 각각 접촉되도록, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과;A wall plate having protrusions protruding along the inner circumferential direction of the chamber such that both ends are coupled to the upper plate and the lower plate to form an inner hermetic space, and to contact the upper plate and the lower plate, respectively; 상기 돌출부와 상부판 및 상기 돌출부와 하부판에 각각 접촉 배치되는 커버부재와; A cover member disposed in contact with the protrusion and the upper plate and the protrusion and the lower plate, respectively; 상기 돌출부 및 상기 상, 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하며, 돌출부와 커버부재 사이에 배치되는 부재와 상, 하부판과 커버부재 사이에 배치되는 부재가 결합된 결합형 밀봉부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.Interposed between the protrusion and the upper and lower plates and the cover member to block the inside from the outside, and a member disposed between the protrusion and the cover member coupled to the member disposed between the upper and lower plates and the cover member Removable vacuum chamber, characterized in that consisting of. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 밀봉 부재는, 오링(O-Ring)인 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.The sealing member is a separate vacuum chamber, characterized in that the O-ring (O-Ring). 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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