KR100710394B1 - 수직형 발광 소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 절연 기판상에 복수의 반도체층들을 성장시키는 단계와;상기 반도체층 상에 전극을 형성하는 단계와;상기 전극 위에 금속 지지부를 형성하는 단계와;상기 절연 기판측에서 상기 반도체층의 단위 소자 구분영역에 레이저를 조사하여 홈을 형성하는 단계와;레이저를 조사하여 상기 절연 기판을 제거하는 단계와;상기 절연 기판이 제거된 개개의 반도체층 면에 금속 패드들을 형성하는 단계를 포함하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 복수의 반도체층들을 성장시키는 단계는,상기 기판 위에 n형 반도체층을 형성하는 단계와;상기 n형 반도체층 위에 활성층을 형성하는 단계와;상기 활성층 위에 p형 반도체층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 전극을 형성하는 단계는,오믹전극을 형성하는 단계와;상기 오믹전극 위에 반사전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 3항에 있어서, 상기 오믹전극과 반사전극은 상기 반도체층 위를 완전히 또는 부분적으로 덮도록 형성되는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 3항에 있어서, 상기 오믹전극과 반사전극 사이 및 반사전극 상측 중 적어도 어느 한 위치에는 확산방지벽이 형성되는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 전극 위에 금속 지지부를 형성하는 단계는,상기 전극 위에 결합금속을 적층한 후에, 이 결합금속 위에 상기 금속 지지부를 형성하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 반도체층 상에 전극을 형성하는 단계와 상기 전극 위에 금속 지지부를 형성하는 단계 사이에는,상기 반도체층의 단위 소자 영역을 구분하는 부분에 포스트를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 레이저를 조사하여 홈을 형성하는 단계는, 상기 홈이 적어도 상기 반도체층에 이르도록 형성하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 레이저는 DPSS(diode pumped solid state) 레이저인 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 레이저의 파장은 266nm인 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 금속 지지부는 Cu, Au, Ni 중 하나 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 금속 지지부의 두께는 30 ~ 200㎛인 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 금속 패드가 형성된 반도체층을 단위 소자로 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 절연 기판상에 복수의 GaN 계열 반도체층들을 성장시키는 단계와;상기 복수의 반도체층을 식각하여 단위 소자 영역을 구분하는 단계와;상기 반도체층 상에 전극을 형성하는 단계와;상기 전극 위에 금속 지지부를 형성하는 단계와;상기 절연 기판측에서 상기 식각된 부분에 레이저를 조사하는 단계와;상기 절연 기판을 제거하는 단계와;상기 절연 기판이 제거된 개개의 반도체층 면에 금속 패드들을 형성하는 단계를 포함하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 14항에 있어서, 상기 단위 소자 영역을 구분하는 단계는,상기 복수의 반도체층의 n형 GaN층이 드러나도록 식각하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 14항에 있어서, 상기 전극 위에 금속 지지부를 형성하는 단계는,상기 반도체층이 식각된 부분에 포스트를 형성한 후에, 상기 금속 지지부를 형성하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 14항에 있어서, 상기 반도체층 상에 전극을 형성하는 단계와 상기 전극 위에 금속 지지부를 형성하는 단계 사이에는, 상기 식각되어 드러난 면에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
- 제 14항에 있어서, 상기 금속 패드가 형성된 반도체층을 단위 소자로 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 발광 소자의 제조방법.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8399272B2 (en) | 2008-10-28 | 2013-03-19 | Panasonic Corporation | Method of manufacturing semiconductor light emitting element |
KR101427875B1 (ko) | 2007-12-03 | 2014-08-08 | 엘지전자 주식회사 | 수직형 발광 소자 및 그 제조방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040104232A (ko) * | 2003-06-03 | 2004-12-10 | 삼성전기주식회사 | 수직구조 질화갈륨계 발광다이오드의 제조방법 |
JP2005012188A (ja) * | 2003-05-22 | 2005-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
KR20050013989A (ko) * | 2002-04-09 | 2005-02-05 | 오리올 인코포레이티드 | 금속 지지막을 사용한 수직 디바이스 제조방법 |
KR20050082040A (ko) * | 2004-02-17 | 2005-08-22 | 어드밴스드 에피텍시 테크날리지 | 발광다이오드 제조방법 |
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2006
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050013989A (ko) * | 2002-04-09 | 2005-02-05 | 오리올 인코포레이티드 | 금속 지지막을 사용한 수직 디바이스 제조방법 |
JP2005012188A (ja) * | 2003-05-22 | 2005-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
KR20040104232A (ko) * | 2003-06-03 | 2004-12-10 | 삼성전기주식회사 | 수직구조 질화갈륨계 발광다이오드의 제조방법 |
KR20050082040A (ko) * | 2004-02-17 | 2005-08-22 | 어드밴스드 에피텍시 테크날리지 | 발광다이오드 제조방법 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101427875B1 (ko) | 2007-12-03 | 2014-08-08 | 엘지전자 주식회사 | 수직형 발광 소자 및 그 제조방법 |
US8399272B2 (en) | 2008-10-28 | 2013-03-19 | Panasonic Corporation | Method of manufacturing semiconductor light emitting element |
KR101254639B1 (ko) * | 2008-10-28 | 2013-04-15 | 파나소닉 주식회사 | 반도체 발광 소자의 제조 방법 |
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