KR100708847B1 - Plasma display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 임의의 간격을 두고 실질적으로 평행하게 배치되는 제1 기판 및 제2 기판; 상기 제1 기판 위에 형성되는 다수의 어드레스 전극들; 상기 어드레스 전극들을 덮으면서 제1 기판 전면에 형성되는 제1 유전층; 상기 제1 유전층과 소정의 높이로 제공되며, 제1 기판과 제2 기판의 사이 공간에 배치되어 소정 간격으로 구획된 방전 공간을 형성하는 다수의 격벽들; 상기 방전 공간내에 형성되는 형광층; 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판의 일면에 상기 어드레스 전극들과 교차하는 방향으로 배치되는 다수의 방전 유지 전극들; 상기 방전 유지 전극들을 덮으면서 상기 제2 기판 전면에 형성되는 제2 유전층; 및 상기 제2 유전층을 덮으면서 형성되고, MgO 및 Ca를 함유하는 보호막을 포함하고, 상기 보호막에서 Ca는 방전공간에 접하는 보호막 표면층에서 두께 방향으로 증가하는 농도 구배를 가지도록 존재하는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공한다.The present invention relates to a plasma display panel, comprising: a first substrate and a second substrate disposed substantially parallel to each other at arbitrary intervals; A plurality of address electrodes formed on the first substrate; A first dielectric layer formed over the first substrate while covering the address electrodes; A plurality of partition walls provided at a predetermined height with the first dielectric layer and disposed in a space between the first substrate and the second substrate to form a discharge space partitioned at predetermined intervals; A fluorescent layer formed in the discharge space; A plurality of discharge sustain electrodes disposed on one surface of the second substrate opposite to the first substrate in a direction crossing the address electrodes; A second dielectric layer formed over the second substrate while covering the discharge sustain electrodes; And a protective film formed covering the second dielectric layer, wherein the protective film contains MgO and Ca, wherein Ca is present in the protective film such that a concentration gradient increases in the thickness direction in the protective film surface layer in contact with the discharge space. to provide.

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 MgO 보호막 형성시 스퍼터된 표면으로부터 깊이방향으로 Ca의 함량을 일정범위로 증가시킴으로써, 2차 전자 방출 특성의 손실없이 안정된 방전특성을 구현할 수 있으며, 또한 Ca의 함량을 일정범위로 조절함으로써 수명특성의 저하를 방지할 수 있다.Plasma display panel of the present invention increases the content of Ca in the depth direction from the sputtered surface when forming the MgO protective film to a certain range, it is possible to implement a stable discharge characteristics without loss of secondary electron emission characteristics, and also to maintain a constant content of Ca By adjusting to the range, the fall of a lifetime characteristic can be prevented.

플라즈마, 디스플레이, 보호막, Ca, 깊이방향, A-Y 방전 Plasma, Display, Protective Film, Ca, Depth, A-Y Discharge

Description

플라즈마 디스플레이 패널 {PLASMA DISPLAY PANEL}Plasma Display Panel {PLASMA DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 일 예를 나타낸 부분 분해 사시도.1 is a partially exploded perspective view showing an example of a plasma display panel of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 상부기판의 사시도.2 is a perspective view of an upper substrate of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 MgO 보호막에서 막두께에 따른 깊이방향에서의 Ca의 함량을 나타낸 그래프.3 is a graph showing the content of Ca in the depth direction according to the film thickness in the MgO protective film of the plasma display panel according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 MgO 보호막에서 포함하는 막두께에 따른 Ca의 함량을 수식화하여 나타낸 그래프.Figure 4 is a graph showing the formulated content of Ca according to the film thickness included in the MgO protective film of the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2의 플라즈마 디스플레이 패널의 수명특성을 비교하여 나타낸 그래프.5 is a graph showing the life characteristics of the plasma display panels of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2의 플라즈마 디스플레이 패널의 방전특성을 비교하여 나타낸 그래프.6 is a graph showing discharge characteristics of the plasma display panels of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 according to the present invention.

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 보 호막의 방전공간에 접하는 표면층에서 두께 방향으로 Ca의 함량을 증가시킴으로써 방전특성과 수명특성의 향상으로 표시품질 또한 개선할 수 있는 MgO 보호막을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to increase the content of Ca in the thickness direction in the surface layer in contact with the discharge space of the protective film, and to improve the discharge characteristics and the life characteristics. It relates to a plasma display panel comprising.

플라즈마 디스플레이 패널(PDP; plasma display panel, 이하 'PDP'라 한다)은 방전 셀 내에서 일어나는 기체 방전에 의한 진공 자외선으로 형광체를 여기시켜 화상을 구현하는 표시장치로서, 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 박형 표시장치로 각광을 받고 있다. Plasma display panel (PDP) is a display device that realizes an image by exciting phosphors by vacuum ultraviolet rays caused by gas discharge in a discharge cell. It is attracting attention as a thin display device.

플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)은 기체 방전 시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 장치로서, 플라즈마 디스플레이 패널의 방전공간에 설치된 두 전극에 소정의 전압을 인가하여 이들 사이에서 플라즈마 방전이 일어나도록 하고, 이 플라즈마 방전 시 발생되는 자외선에 의해 소정의 패턴으로 형성된 형광체층을 여기시켜 화상을 형성한다.A plasma display panel (PDP) is a device that displays characters or graphics using light emitted from plasma generated during gas discharge. The plasma display panel (PDP) applies a predetermined voltage to two electrodes installed in the discharge space of the plasma display panel. Plasma discharge is caused to occur between them, and the phosphor layer formed in a predetermined pattern is excited by ultraviolet rays generated during the plasma discharge to form an image.

이와 같은 플라즈마 디스플레이는 크게 교류형(AC type), 직류형(DC type) 및 혼합형(Hybrid type)으로 나누어지며, 이중에서 교류형이 가장 널리 사용되고 있다.Such plasma displays are classified into AC type, DC type, and hybrid type, among which AC type is most widely used.

교류형 플라즈마 표시 소자는 방전 기체가 충진된 두 기판에 전극을 교차대향 배열하여 격벽으로 구획한 기본적 구조를 가지는데, 어느 한 전극 상에 벽전하를 형성하는 유전층이 피복되고 대향층의 전극에 형광층이 형성된다.The AC plasma display device has a basic structure in which electrodes are alternately arranged on two substrates filled with discharge gas and partitioned into partitions. A layer is formed.

상기 전극, 격벽, 유전층 등은 경제적인 면을 고려하여 일반적으로 인쇄 공 정으로 형성됨에 따라 막이 두껍게 형성되고 이에 따라 박막 공정에 비해 성막 상태가 상당히 불량하다.The electrodes, barrier ribs, dielectric layers, etc. are generally formed in a printing process in consideration of economical aspects, so that a thick film is formed, and thus the film formation state is considerably poorer than a thin film process.

따라서 방전에 의해 발생된 전자 및 이온의 스퍼터링(sputtering)에 의해 유전층과 그 하부의 전극이 손상되어 교류형 플라즈마 디스플레이 소자의 수명을 단축시키는 문제가 발생된다.Therefore, the sputtering of the electrons and ions generated by the discharge damages the dielectric layer and the lower electrode, thereby shortening the life of the AC plasma display device.

이를 해결하기 위하여 방전시의 이온 충격의 영향을 감소킬 목적으로, 유전층 상에 수백 nm 정도의 얇은 두께로 보호막을 형성한다.In order to solve this problem, a protective film is formed on the dielectric layer with a thickness of about several hundred nm for the purpose of reducing the influence of ion bombardment during discharge.

상기 PDP의 보호막 재료로는 MgO재료를 소결체로 제조하여 사용하고 있다. 상기에서 MgO를 소결체로 사용하는 것은 방전특성의 향상을 위한 특정성분의 정량도핑이 가능하고, 그 고용 한계내에서 자유롭게 조절할 수 있기 때문이다. MgO로 된 보호막은 방전 전압을 낮추며 스퍼터링에 의해 유전층을 보호함으로써 교류형 플라즈마 디스플레이 소자의 수명을 연장시킬 수 있다. 따라서, 응답속도가 단결정재료에 비해 빠른 장점을 극대화하여 고정세 플라즈마 표시장치에 적용하기 위한 특정성분의 도핑에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.As a protective film material of the said PDP, MgO material is manufactured and used for the sintered compact. The use of MgO as a sintered compact is because quantitative doping of specific components for improving discharge characteristics is possible and can be freely controlled within its solid solution limit. The protective film made of MgO lowers the discharge voltage and protects the dielectric layer by sputtering, thereby extending the life of the AC plasma display device. Therefore, research on the doping of specific components for high resolution plasma display device to maximize the advantages compared to the single crystal material has been actively conducted.

그런데, 상기 보호막은 가열 증착 등 성막 조건에 따라 특성이 크게 변화되어 일정한 표시 품질을 유지하기가 힘들다. 상기 보호막은 어드레스 방전 지연(Address Discharge Delay)에 따른 블랙 노이즈(black noise), 즉 발광하도록 선택된 셀이 발광하지 않는 현상인 방전 미스(Address Miss)가 발생되기 쉽다. 이러한 블랙 노이즈의 발생은 스크린 내의 발광 영역과 비 발광 영역 사이의 경계에서 쉽게 일어날 수 있지만 특정 장소에서 나타나며, 상기 방전 미스는 어드레스 방전 (Address Discharge)이 없거나 심지어 주사 방전이 실행될 때 그 강도가 낮음에 의해 야기된다.However, the protective film is greatly changed in characteristics according to film formation conditions such as heat deposition, so that it is difficult to maintain a constant display quality. The passivation layer is likely to generate black noise due to an address discharge delay, that is, a discharge miss, a phenomenon in which a cell selected to emit light does not emit light. The occurrence of such black noise can easily occur at the boundary between the light emitting area and the non-light emitting area in the screen but appears at a certain place, and the discharge miss is due to its low intensity when there is no address discharge or even scanning discharge is performed. Caused by

따라서 보호막에 플라즈마 디스플레이 패널의 특성을 향상시킬 수 있는 도펀트를 첨가하는 방법에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.Therefore, research into a method of adding a dopant capable of improving the characteristics of the plasma display panel has been actively conducted.

본 발명은 상기한 종래 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 방전공간에 접하는 표면층에서 두께 방향으로 MgO 및 깊이방향으로 Ca의 함량이 변화하는 보호막을 포함하여, 2차 전자 방출 특성의 손실이 없이 안정한 방전특성을 가지고 수명특성이 우수하여 표시품질을 개선할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention includes a protective film in which the MgO and the Ca content in the depth direction changes in the thickness of the surface layer in contact with the discharge space, the loss of secondary electron emission characteristics The present invention is to provide a plasma display panel having stable discharge characteristics and excellent life characteristics, thereby improving display quality.

본 발명의 또 다른 목적은 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 보호막에서 Ca의 함량을 방전공간에 접하는 표면층에서 두께 방향으로 변화시킴으로써, 점등되어야 할 각 셀들이 점등하지 않는 등의 특정 셀에 있어서 방전불능 상태를 제어하고 표시품질을 개선할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to change the content of Ca in the thickness direction of the surface layer in contact with the discharge space in the plasma display panel (PDP) protective film, thereby preventing the discharge state in a particular cell such that each cell to be turned on does not turn on. It is to provide a plasma display panel that can control and improve display quality.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In order to achieve the above object, the present invention,

임의의 간격을 두고 실질적으로 평행하게 배치되는 제1 기판 및 제2 기판;A first substrate and a second substrate disposed substantially parallel at any interval;

상기 제1 기판 위에 형성되는 다수의 어드레스 전극들;A plurality of address electrodes formed on the first substrate;

상기 어드레스 전극들을 덮으면서 제1 기판 전면에 형성되는 제1 유전층,A first dielectric layer formed over the first substrate while covering the address electrodes;

상기 제1 유전층과 소정의 높이로 제공되며, 제1 기판과 제2 기판의 사이 공 간에 배치되어 소정 간격으로 구획된 방전 공간을 형성하는 다수의 격벽들;A plurality of partition walls provided to the first dielectric layer at a predetermined height and disposed in a space between the first substrate and the second substrate to form a discharge space partitioned at predetermined intervals;

상기 방전 공간내에 형성되는 형광층;A fluorescent layer formed in the discharge space;

상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판의 일면에 상기 어드레스 전극들과 교차하는 방향으로 배치되는 다수의 방전 유지 전극들;A plurality of discharge sustain electrodes disposed on one surface of the second substrate opposite to the first substrate in a direction crossing the address electrodes;

상기 방전 유지 전극들을 덮으면서 상기 제2 기판 전면에 형성되는 제2 유전층; 및A second dielectric layer formed over the second substrate while covering the discharge sustain electrodes; And

상기 제2 유전층을 덮으면서 형성되고, MgO 및 Ca를 함유하는 보호막을 포함하고,It is formed covering the second dielectric layer, and comprises a protective film containing MgO and Ca,

상기 보호막에서 Ca는 방전공간에 접하는 보호막 표면층에서 두께 방향으로 증가하는 농도 구배를 가지도록 존재하는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공한다.In the passivation layer, Ca is provided to have a concentration gradient that increases in the thickness direction in the passivation layer surface layer in contact with the discharge space.

이하에서 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명은 고정세 플라즈마 표시장치에 있어서 방전 미스(Address miss)에 의한 블랙 노이즈(black noise) 발생을 제어하여 안정적인 구동이 이루어지도록 함으로써 표시품질을 개선할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a protective film of a plasma display panel capable of improving display quality by controlling black noise generation due to an address miss in a high definition plasma display device so that stable driving is performed.

또한, 본 발명은 제조된 MgO 보호막의 표면이 플라즈마 방전(특히, A-Y 방전: 이는 상,하판 사이에서 일어나므로 보호막의 스퍼터링을 야기함)에 의해 스퍼터되는 일반적인 AC-PDP에 있어서, A-Y 방전에 의한 이온 충격(ion bombardment)으로 스퍼터된 보호막층이 두께변화를 가지는 것에서 기인한 것이다.In addition, the present invention is a general AC-PDP in which the surface of the prepared MgO protective film is sputtered by plasma discharge (especially AY discharge: this occurs between the upper and lower plates, causing sputtering of the protective film). The protective film layer sputtered by ion bombardment has a thickness change.

상기 보호막은 플라즈마 디스플레이 패널에서 유전체층의 표면을 덮어 방전 기간 중 방전가스의 이온충격으로부터 유전체층을 보호하는 역할을 한다.The protective layer covers the surface of the dielectric layer in the plasma display panel to protect the dielectric layer from ion bombardment of the discharge gas during the discharge period.

본 발명의 보호막은 기본재료로서 산화 마그네슘(MgO)을 주성분으로 포함하고, 여기에 특정 도펀트 성분으로서 Ca을 포함한다.The protective film of this invention contains magnesium oxide (MgO) as a main component as a base material, and contains Ca as a specific dopant component here.

본 발명에서 상기 Ca의 함량은 방전공간에 접하는 표면으로부터 막 두께 방향으로 변화하는 특징이 있다. 방전공간에 접하는 표면층으로부터 막 두께 방향으로 Ca의 함량이 증가하는 농도구배를 가지도록 형성된다. 본 발명의 보호막에서 Ca는 하기 수학식 1과 같은 농도구배로 존재하는 것이 바람직하다.In the present invention, the content of Ca is characterized by a change in the film thickness direction from the surface in contact with the discharge space. It is formed to have a concentration gradient that increases the content of Ca in the film thickness direction from the surface layer in contact with the discharge space. In the protective film of the present invention, Ca is preferably present in a concentration gradient as shown in Equation 1 below.

(수학식 1)(Equation 1)

Y = (a/50)X + bY = (a / 50) X + b

상기 식에서 Y는 Ca의 함량이고, X는 막두께이고 a는 11 내지 14, 바람직하게는 11.5 내지 13.8의 범위에 있고 b는 145 내지 160의 범위에 있다. 또한, Y의 단위는 ppm이고, X의 단위는 nm이다.Wherein Y is the content of Ca, X is the film thickness, a is in the range of 11 to 14, preferably 11.5 to 13.8, and b is in the range of 145 to 160. In addition, the unit of Y is ppm and the unit of X is nm.

보다 바람직하게, 상기 Ca의 함량은 MgO 보호막 전체 중량에 대하여 150 내지 400 ppm으로 포함하고, 더욱 바람직하게는 150 내지 250 ppm으로 포함한다. 상기 Ca의 함량이 150 ppm 미만인 경우 또는 400 ppm을 초과할 경우에는 응답속도의 저하를 초래하여 방전 미스(adress miss)를 야기할 우려가 있다.More preferably, the content of Ca is included in an amount of 150 to 400 ppm, more preferably 150 to 250 ppm, based on the total weight of the MgO protective film. When the content of Ca is less than 150 ppm or more than 400 ppm, there is a fear of causing a decrease in response speed and causing a discharge miss.

본 발명의 보호막의 두께는 500 nm 내지 900 nm인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 MgO 보호막은 전자방출특성을 가져 얇은 박막으로 형성되며, 이러한 MgO 보호막의 투과율은 90% 이상, 바람직하게는 90% 내지 97%이고, 640nm에서 1.45 ~ 1.74의 굴절률을 가지는 것이 바람직하다.It is preferable that the thickness of the protective film of this invention is 500 nm-900 nm. In addition, the MgO protective film of the present invention is formed as a thin thin film having an electron emission characteristic, the transmittance of the MgO protective film is 90% or more, preferably 90% to 97%, preferably has a refractive index of 1.45 ~ 1.74 at 640nm. Do.

상기 보호막은 기본재료로서 내스퍼터링 특성과 큰 2차전자 방출계수를 가진 MgO를 사용하며, MgO 재료는 단결정 또는 소결체 형태의 것을 사용할 수 있으나, 소결방법으로 제조된 다결정(polycrystal)을 사용하는 것이 단결정에 비해 도펀트를 일정량으로 고용시킬 수 있어 바람직하다. 본 발명은 소결체 MgO 재료 제조시 또는 원료물질 제조시에 상기한 도펀트 원소로 정량적으로 첨가하여 플라즈마를 이용한 증착법으로 MgO 보호막을 제조한다.The protective layer uses MgO having a sputtering property and a large secondary electron emission coefficient as a base material, and the MgO material may be in the form of a single crystal or a sintered body, but it is preferable to use a polycrystal manufactured by the sintering method. In contrast, the dopant can be employed in a fixed amount, which is preferable. The present invention quantitatively adds the above dopant elements in the production of sintered MgO material or in the production of raw materials to produce a MgO protective film by vapor deposition using plasma.

상기 보호막은 증착법 또는 페이스트를 이용한 후막 인쇄법에 의하여 형성 가능하다. 증착법으로 형성된 막이 이온 충격에 의한 스퍼터링에 강하고, 2차 전자 방출에 의한 방전 유지 전압과 방전 개시 전압의 감소를 기대할 수 있어 바람직하다. 상기 보호막은 스퍼터링법, 전자빔 증착법, 이온빔지원퇴적법(IBAD ion beam assisted deposition), 이온 플레이팅법, 마그네트론 스퍼터링법, 화학기상 증착법(CVD chemical vapor deposition), 물리기상 증착법, 플라즈마 강화 화학기상증착법, 열증착법, 진공 증착법 등을 이용하여 형성할 수 있다. 이중에서 이온 플레이팅 공법으로 제조된 막에서 특히 우수한 특성을 가진 막을 얻을 수 있다.The protective film can be formed by a vapor deposition method or a thick film printing method using a paste. The film formed by the evaporation method is preferable because it is resistant to sputtering by ion bombardment, and can reduce the discharge sustain voltage and the discharge start voltage due to secondary electron emission. The protective film is sputtering, electron beam deposition, ion beam assisted deposition, ion plating, magnetron sputtering, CVD chemical vapor deposition, physical vapor deposition, plasma enhanced chemical vapor deposition, thermal It can form using a vapor deposition method, a vacuum vapor deposition method, etc. Among them, membranes having particularly excellent properties can be obtained from membranes prepared by the ion plating method.

또한, AC-PDP 에서 채용하는 MgO 보호막은 일반적으로 주상결정구조 (Culumnar Crystaline structure)를 가지게 되는데, 그 성장방향에 따른 차이는 있을 수 있으나, 주상결정구조는 비결정질 (Amorphous)에 비해 방전특성이나 내스퍼터성이 우수하다. 따라서, 본 발명에서는 결정성장을 유도하여 제조한 보호막을 사용한다.In addition, the MgO protective film employed in AC-PDP generally has a columnar crystalline structure, which may be different depending on the growth direction, but the columnar crystal structure has a discharge characteristic or resistance compared to amorphous. It is excellent in sputterability. Therefore, in the present invention, a protective film prepared by inducing crystal growth is used.

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 상기에서와 같이 Ca 함량을 변화시켜 제1 보호막을 형성하고 Si, Al, Fe, Cr, 및 Na 으로 이루어진 군으로부터 적어도 1 개 이상의 원소를 도펀트로 포함하는 제2보호막을 형성할 수도 있다. 제2 보호막에 포함되는 상기 도펀트들도 방전공간에 접하는 표면층에서 두께 방향으로 함량이 증가하도록 형성할 수 있다.Plasma display panel of the present invention is to change the Ca content as described above to form a first protective film, and a second protective film containing at least one element from the group consisting of Si, Al, Fe, Cr, and Na as a dopant It may be formed. The dopants included in the second passivation layer may also be formed to increase in a thickness direction in the surface layer in contact with the discharge space.

바람직하게는 Ca 함량을 변화시킨 제1 보호막과, 상기 제1 보호막의 표면에 Si, Al, Fe, Cr, 및 Na으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 도펀트를 포함하는 제2 보호막이 형성되고, 상기 제1 보호막과 제2 보호막이 주상결정구조를 가지며, A-Y 방전에 의한 이온 충격(Ion bombardment)으로 스퍼터된 보호막인 것이 바람직하다.Preferably, a second passivation layer including a first passivation layer having a Ca content changed and at least one dopant selected from the group consisting of Si, Al, Fe, Cr, and Na is formed on a surface of the first passivation layer, The first protective film and the second protective film preferably have a columnar crystal structure and are protective films sputtered by ion bombardment caused by AY discharge.

본 발명의 보호막은 A-Y방전에 의해 스퍼터됨에 있어서, 방전공간에 접하는표면층으로부터 막 두께 방향으로Ca의 함량이 증가하는 농도 구배를 가지도록 변화되므로 표면층의 2차 전자 방출 특성의 손실이 없어 안정된 방전특성을 얻을 수 있고 일정한 Ca함량의 유지에 기인하여 수명특성의 저하도 방지할 수 있다.In the sputtered by the AY discharge, the protective film of the present invention is changed to have a concentration gradient in which the content of Ca increases in the film thickness direction from the surface layer in contact with the discharge space, so that there is no loss of the secondary electron emission characteristics of the surface layer, thereby ensuring stable discharge characteristics. Can be obtained, and the degradation of life characteristics can be prevented due to the maintenance of constant Ca content.

이하, 첨부한 도면을 참고하여 상기 보호막을 갖는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 페널의 바람직한 일실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the plasma display panel of the present invention having the protective film.

도 1은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 일 예를 나타낸 부분 분해 사시도이며, 본 발명의 내용이 상기 도 1의 구조에만 한정되는 것은 아니다. 도면을 참고하면, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 제1기판(1) 상에 일방향(도면의 Y 방향)을 따라 어드레스 전극들(3)이 형성되고, 어드레스 전극들(3)을 덮으면서 제1 기판(1)의 전면에 유전체층(5)이 형성된다. 이 유전체층(5) 위로 격벽(7)이 형성되며, 각각의 격벽(7) 사이의 방전셀의 바닥면(5a)과 격벽 측면(7a)에 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 형광체층(9)이 위치한다. 제 1기판(1)에 대향하는 제2기판(11)의 일면에는 어드레스 전극(3)과 직교하는 방향(도면의 X 방향)을 따라 한쌍의 투명 전극(13a)과 버스 전극(13b)으로 구성되는 방전유지 전극들(13)이 형성되고, 방전유지 전극들(13)을 덮으면서 제2기판(11) 전체에 투명 유전체층(15)과 보호막(17)이 위치한다. 이로써, 어드레스 전극(3)과 방전유지 전극(13)의 교차 지점이 방전 셀을 구성한다.1 is a partially exploded perspective view showing an example of a plasma display panel of the present invention, the contents of the present invention is not limited to the structure of FIG. Referring to the drawings, in the plasma display panel of the present invention, address electrodes 3 are formed in one direction (Y direction in the drawing) on the first substrate 1, and the first electrodes cover the address electrodes 3. The dielectric layer 5 is formed on the front surface of the substrate 1. The partition wall 7 is formed on the dielectric layer 5, and red (R), green (G), and blue (B) are formed on the bottom surface 5a and the partition side surface 7a of the discharge cell between each partition wall 7. Phosphor layer 9 is located. One surface of the second substrate 11 opposite to the first substrate 1 includes a pair of transparent electrodes 13a and bus electrodes 13b along a direction orthogonal to the address electrode 3 (X direction in the drawing). The discharge sustain electrodes 13 are formed, and the transparent dielectric layer 15 and the passivation layer 17 are disposed on the entire second substrate 11 while covering the discharge sustain electrodes 13. As a result, the intersection of the address electrode 3 and the discharge sustain electrode 13 constitutes a discharge cell.

이러한 구성에 의해, 어드레스 전극(3)과 어느 하나의 방전유지 전극(13) 사이에 어드레스 전압(Va)을 인가하여 어드레스 방전을 행하고, 다시 한쌍의 방전유지 전극(13) 사이에 유지 전압(Vs)을 인가하면, 유지 방전시 발생하는 진공 자외선이 해당 형광체층(9)을 여기시켜 투명한 전면 기판(11)을 통해 가시광을 방출하게 된다.With this configuration, the address discharge is applied by applying the address voltage Va between the address electrode 3 and any one of the discharge sustaining electrodes 13, and the sustain voltage Vs is again generated between the pair of discharge sustaining electrodes 13. ), The vacuum ultraviolet rays generated during the sustain discharge excite the phosphor layer 9 to emit visible light through the transparent front substrate 11.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상기한 보호막을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제2 기판(상부 기판)만을 따로 떼어 도시하여 나타낸 것이다. 도 2에서는 편의상 이해를 돕기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 상부기판을 180도 뒤집어 도시한다.FIG. 2 illustrates only a second substrate (upper substrate) of the plasma display panel including the passivation layer according to an embodiment of the present invention. In FIG. 2, for convenience of understanding, the upper substrate of the plasma display panel according to an embodiment of the present invention is turned upside down by 180 degrees.

도 2를 참조하면, 제2 기판(11) 상에 다수의 방전유지 전극(13), 제2 유전층(15), 및 본 발명의 MgO 및 Ca을 포함하는 보호막(17)이 차례로 형성되어 있다. 즉, 제2 기판의 일면에는 상기 어드레스 전극들(3)과 서로 교차하는 방향으로 배치되는 다수의 방전 유지 전극들(13)이 형성되고, 상기 방전유지 전극들(13)을 덮으면서 상기 제2 기판의 전면에는 제2 유전층(15)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 제2 유전층(15) 위에는 그 위를 덮으면서 MgO 및 Ca을 포함하는 보호막(17)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 2, a plurality of discharge holding electrodes 13, a second dielectric layer 15, and a protective film 17 including MgO and Ca of the present invention are sequentially formed on the second substrate 11. That is, a plurality of discharge sustain electrodes 13 are formed on one surface of the second substrate in a direction crossing the address electrodes 3, and cover the discharge sustain electrodes 13. The second dielectric layer 15 is formed on the front surface of the substrate. A passivation layer 17 including MgO and Ca is formed on the second dielectric layer 15 while covering the second dielectric layer 15.

이와 같이 제조한 플라즈마 디스플레이 패널 제1 기판과 제2 기판의 가장자리를 프릿으로 도포하여 양 기판을 봉착하고, Ne 나 Xe 등의 방전가스를 주입함으로써 플라즈마 디스플레이패널을 제조한다.Plasma display panel The plasma display panel is manufactured by applying the frit to the edges of the first and second substrates, and sealing both substrates and injecting a discharge gas such as Ne or Xe.

이와 같이 제조한 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서는, 전극들로부터 구동 전압을 인가받아 이들 전극들 사이에 어드레스 방전을 일으켜서 유전층에 벽전하를 형성하고, 어드레스 방전에 의해 선택된 방전셀들에서 제2 기판에 형성한 한 쌍의 전극에 교반호적으로 공급되는 교류 신호에 의하여 이들 전극들간에 서스테인 방전을 일으킨다. 이에 따라 방전셀을 형성하는 방전 공간에 충전진된 방전 가스가 여기되고 천이되면서 자외선을 발생시키고, 자외선에 의한 형광체의 여기로 가시광선을 발생시키면서 화상을 구현하게 된다.In the plasma display panel according to the embodiment of the present invention manufactured as described above, a driving voltage is applied from the electrodes to generate an address discharge between the electrodes, thereby forming wall charges in the dielectric layer, and in the discharge cells selected by the address discharge. A sustain discharge is caused between these electrodes by an alternating current signal supplied to the pair of electrodes formed on the second substrate with stirring arc. Accordingly, the discharge gas charged in the discharge space forming the discharge cell is excited and transitioned to generate ultraviolet light, and to generate an image while generating visible light by excitation of the phosphor by the ultraviolet light.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서는 보호막 형성 영역 안쪽에 다수의 전극이 서로 교차하여 픽셀을 이루고 이들이 모여서 표시영역을 형성하며, 그 주변부에는 비표시영역을 형성한다. 기판(11) 상에 형성된 다수의 전극(13)은 FPC(flexible printed circuit, 연성회로기판)(미도시)와 연결될 수 있도록 그 단자부가 유전층(15)의 좌우로 인출되어 있다.In addition, as shown in FIG. 2, in the plasma display panel according to the exemplary embodiment of the present invention, a plurality of electrodes cross each other to form pixels and gather together to form a display area inside the passivation layer forming area, and a non-display area at the periphery thereof. To form. A plurality of electrodes 13 formed on the substrate 11 has a terminal portion drawn out to the left and right of the dielectric layer 15 so as to be connected to a flexible printed circuit (FPC) (not shown).

상술한 구조를 갖는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 당해 분야에 널리 알려진 바이고, 당해 분야에 종사하는 사람들에게는 충분히 이해될 수 있는 내용이므로, 본 명세서에서 상세한 설명은 생략하기로 한다. The manufacturing method of the plasma display panel of the present invention having the above-described structure is well known in the art, and can be fully understood by those skilled in the art, and thus the detailed description thereof will be omitted.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예 및 비교예를 기재한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred examples and comparative examples of the present invention are described. However, the following examples are only preferred embodiments of the present invention and the present invention is not limited by the following examples.

(실시예 1 내지 3)(Examples 1 to 3)

소다석회 유리로 제조된 상부 기판 위에 인듐 틴 옥사이드 도전체 재료를 이용하여 방전 유지 전극을 통상의 방법으로 스트라이프 상으로 형성하였다. A discharge sustaining electrode was formed in a stripe shape in a conventional manner using an indium tin oxide conductor material on an upper substrate made of soda lime glass.

이어서, 납계 유리의 페이스트를 상기 방전 유지 전극이 형성된 상부 기판의 전면에 걸쳐 코팅하고 소성하여 제2 유전층을 형성하였다.Subsequently, a paste of lead-based glass was coated over the entire surface of the upper substrate on which the discharge sustaining electrode was formed and baked to form a second dielectric layer.

이후, 상기 제2 유전층위에 스퍼터링 방법을 이용하여 MgO 및 Ca을 포함하는 보호막을 제조하여 상부 패널을 제조하였다. 이때, Ca의 함량은 도 2 및 표 1에 나타낸 바와 같이, 표면으로부터 150 ~ 400 ppm으로 증가시켰다(단위: ppm). 보호막의 두께에 따른 Ca 함량의 증가에 대한 그래프는 도 3에 나타내었다.Thereafter, a protective film including MgO and Ca was prepared on the second dielectric layer by using a sputtering method to prepare an upper panel. At this time, the content of Ca was increased from 150 to 400 ppm from the surface, as shown in Figure 2 and Table 1 (unit: ppm). A graph of the increase of the Ca content according to the thickness of the protective film is shown in FIG. 3.

[표 1] TABLE 1

실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 0 nm0 nm 150150 157157 167167 50 nm50 nm 174174 162162 183183 100 nm100 nm 192192 183183 199199 150 nm150 nm 203203 215215 225225 200 nm200 nm 216216 223223 238238 250 nm250 nm 229229 241241 242242 300 nm300 nm 235235 246246 251251 350 nm350 nm 239239 253253 268268 400 nm400 nm 247247 268268 274274 450 nm450 nm 261261 279279 295295 500 nm500 nm 265265 284284 298298 550 nm550 nm 271271 288288 305305 600 nm600 nm 288288 293293 345345 650 nm650 nm 300300 315315 358358 700 nm700 nm 343343 337337 362362 750 nm750 nm 354354 348348 384384 800 nm800 nm 376376 352352 402402

(실시예 4)(Example 4)

상기 실시예 1 내지 3에서 사용된 Ca 함량의 최적 기울기를 수식화하여 도 4에 나타내었다. 도 4에 의해 계산된 Ca의 함량에 대해서, 표면층과 기저층의 최적함량은 다음 표 2와 같다(단위: ppm). 표면층은 방전공간에 접하는 면(0nm)을 뜻하며, 기저층은 유전체면에 접하는 면을 의미한다.The optimum slope of the Ca content used in Examples 1 to 3 is formulated and shown in FIG. 4. Regarding the Ca content calculated by FIG. 4, the optimum contents of the surface layer and the base layer are shown in Table 2 (unit: ppm). The surface layer means a surface (0 nm) in contact with the discharge space, and the base layer means a surface in contact with the dielectric surface.

[표 2]TABLE 2

구 분division 평균Average 표준편차(Standard Deviation, StDeV)Standard Deviation (StDeV) 표면층(0 nm)Surface layer (0 nm) 158.00158.00 8.548.54 기저층 (800 nm)Base layer (800 nm) 376.7376.7 25.025.0

(비교예 1)(Comparative Example 1)

Ca이 포함되지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 실시하였다.The same procedure as in Example 1 was carried out except that Ca was not included.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

Ca을 보호막 전체에 일정한 함량이 되도록 증착한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 실시하였다.The same process as in Example 1 was carried out except that Ca was deposited to have a constant content throughout the protective film.

(실험예)Experimental Example

상기 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2에 따라 제조한 MgO 보호막에 대하여, 수명특성과 감마특성을 실험하였으며, 그 결과는 각각 도 5 및 표 3과, 도 6 및 표 4에 나타내었다.The MgO protective films prepared according to Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were tested for life and gamma characteristics, and the results are shown in FIGS. 5 and 3, 6, and 4, respectively.

[표 3]TABLE 3

구 분 division 00 100100 200200 300300 400400 500500 750750 10001000 15001500 20002000 비교예 1Comparative Example 1 100%100% 97%97% 95%95% 94%94% 93%93% 93%93% 90%90% 88%88% 87%87% 85%85% 비교예 2Comparative Example 2 100%100% 97%97% 95%95% 94%94% 93%93% 93%93% 92%92% 88%88% 86%86% 83%83% 실시예 1Example 1 100%100% 98%98% 96%96% 94%94% 93%93% 93%93% 93%93% 90%90% 90%90% 89%89% 실시예 2Example 2 100%100% 97%97% 95%95% 95%95% 93%93% 93%93% 92%92% 91%91% 90%90% 88%88%

[표 4]TABLE 4

구분 division 100100 110110 120120 130130 140140 150150 160160 170170 180180 190190 200200 비교예 1Comparative Example 1 0.0330.033 0.0390.039 0.0530.053 0.0570.057 0.0590.059 0.0620.062 0.0750.075 0.0750.075 0.0770.077 0.0830.083 0.0870.087 비교예 2Comparative Example 2 0.0340.034 0.0410.041 0.0520.052 0.0550.055 0.0690.069 0.0710.071 0.0790.079 0.0760.076 0.0750.075 0.0810.081 0.0820.082 실시예 1Example 1 0.0350.035 0.0420.042 0.0630.063 0.0740.074 0.0820.082 0.0840.084 0.0890.089 0.0910.091 0.0930.093 0.0970.097 0.0920.092 실시예 2Example 2 0.0340.034 0.0460.046 0.0610.061 0.0720.072 0.0840.084 0.0880.088 0.0910.091 0.0930.093 0.0980.098 0.0950.095 0.0970.097

상기 결과들로부터, 본 발명의 실시예 1, 2의 경우 MgO 보호막 형성시 깊이 방향으로 표면으로부터 Ca의 양을 증가시킴으로써, 비교예 1, 2에 비하여 수명특성과 방전특성이 우수함을 알 수 있다.From the above results, it can be seen that in Examples 1 and 2 of the present invention, by increasing the amount of Ca from the surface in the depth direction when forming the MgO protective film, the life characteristics and discharge characteristics are superior to Comparative Examples 1 and 2.

이상과 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 MgO 보호막 형성시 Ca를 방전공간에 접하는 보호막 표면층에서 두께 방향으로 증가하는 농도 구배를 가지도록 함으로써 내스퍼터 성능이 우수하고 특히 전자방출 특성과 수명특성을 향상시켜 표시품질의 향상을 도모할 수 있다.As described above, the plasma display panel of the present invention has a concentration gradient that increases in the thickness direction in the protective film surface layer in contact with the discharge space when MgO protective film is formed, thereby providing excellent sputter performance, in particular, improving electron emission characteristics and lifetime characteristics. In this way, the display quality can be improved.

Claims (9)

임의의 간격을 두고 평행하게 배치되는 제1 기판 및 제2 기판,A first substrate and a second substrate disposed in parallel at any interval, 상기 제1 기판 위에 형성되는 다수의 어드레스 전극들,A plurality of address electrodes formed on the first substrate, 상기 어드레스 전극들을 덮으면서 제1 기판 전면에 형성되는 제1 유전층,A first dielectric layer formed over the first substrate while covering the address electrodes; 상기 제1 유전층과 소정의 높이로 제공되며, 제1 기판과 제2 기판의 사이 공간에 배치되어 소정 간격으로 구획된 방전 공간을 형성하는 다수의 격벽들,A plurality of partition walls provided at a predetermined height with the first dielectric layer and disposed in a space between the first substrate and the second substrate to form a discharge space partitioned at a predetermined interval; 상기 방전 공간내에 형성되는 형광층,A fluorescent layer formed in the discharge space, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판의 일면에 상기 어드레스 전극들과 교차하는 방향으로 배치되는 다수의 방전 유지 전극들,A plurality of discharge sustain electrodes disposed on one surface of the second substrate opposite to the first substrate in a direction crossing the address electrodes; 상기 방전 유지 전극들을 덮으면서 상기 제2 기판 전면에 형성되는 제2 유전층, 및A second dielectric layer formed over the second substrate while covering the discharge sustain electrodes; and 상기 제2 유전층을 덮으면서 형성되고, MgO 및 Ca를 함유하는 보호막을 포함하고,It is formed covering the second dielectric layer, and comprises a protective film containing MgO and Ca, 상기 보호막에서 Ca는 방전공간에 접하는 보호막 표면층에서 두께 방향으로 증가하는 농도 구배를 가지도록 존재하는Ca in the protective film is present to have a concentration gradient that increases in the thickness direction in the protective film surface layer in contact with the discharge space 플라즈마 디스플레이 패널.Plasma display panel. 제 1항에 있어서, 상기 Ca의 함량과 막 두께의 관계는 하기 수학식 1로 표시되는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The plasma display panel of claim 1, wherein a relationship between the Ca content and the film thickness is represented by the following Equation 1. (수학식 1)(Equation 1) Y = (a/50)X + bY = (a / 50) X + b 상기 식에서 Y는 Ca의 함량(ppm)이고, X는 막두께(nm)이고, a는 11 내지 14 의 범위에 있고 b는 145 내지 160의 범위에 있음.Wherein Y is the content of Ca (ppm), X is the film thickness (nm), a is in the range of 11 to 14 and b is in the range of 145 to 160. 제 2항에 있어서, 상기 Ca의 함량은 MgO 보호막 전체 중량에 대하여 150 내지 400 ppm으로 포함하는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The plasma display panel of claim 2, wherein the content of Ca is 150 to 400 ppm based on the total weight of the MgO protective film. 제 3항에 있어서, 상기 Ca의 함량은 MgO 보호막 전체 중량에 대하여 150 내지 250 ppm으로 포함하는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The plasma display panel of claim 3, wherein the Ca content is included in an amount of 150 to 250 ppm based on the total weight of the MgO protective film. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호막의 두께가 500 내지 900 nm인 플라즈마 디스플레이 패널.The plasma display panel has a thickness of 500 to 900 nm. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호막은 Si, Al, Fe, Cr, 및 Na로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 원소를 포함하는 제2의 보호막층을 더 포함하는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The protective film further comprises a second protective film layer comprising at least one element selected from the group consisting of Si, Al, Fe, Cr, and Na. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호막은 주상결정구조를 가지는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The protective film has a columnar crystal structure. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호막은 A-Y 방전에 의한 이온충격 스퍼터에 의해 형성되는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The protective film is formed by the ion bombardment sputtered by the A-Y discharge plasma display panel. 제 1 항에 있어서, 상기 MgO는 소결 방법으로 제조된 다결정인 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The plasma display panel of claim 1, wherein the MgO is a polycrystal manufactured by a sintering method.
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