KR100707601B1 - Organic light emitting display device and method for fabricating the same - Google Patents

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KR100707601B1 KR1020050098330A KR20050098330A KR100707601B1 KR 100707601 B1 KR100707601 B1 KR 100707601B1 KR 1020050098330 A KR1020050098330 A KR 1020050098330A KR 20050098330 A KR20050098330 A KR 20050098330A KR 100707601 B1 KR100707601 B1 KR 100707601B1
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이재호
강태민
김무현
송명원
곽노민
노석원
김선호
고삼일
유병욱
양남철
권영길
이성택
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Abstract

본 발명은 레이저 열전사 방법에 의해 발광층을 형성할 시, 기판 상에 발광층을 전사하는 과정에서 화소정의막(PDL:pixel defined layer)이 도너필름 쪽으로 탈리되는 현상을 방지할 수 있는 유기 발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 발광표시장치는 유기 발광소자를 포함하는 발광부와, 상기 유기 발광소자를 구동하는 박막트랜지스터를 포함하는 구동부를 포함하여 구성되며, 상기 구동부는 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판과, 상기 기판의 상부에 형성되며 표면의 일영역이 요철면으로 형성되는 평탄화막을 포함하고, 상기 발광부는 상기 평탄화막 상의 일영역에 형성되며, 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결되는 제1 전극층과, 상기 평탄화막 및 상기 제1 전극층 상에 상기 제1 전극층이 부분적으로 노출되도록 형성된 개구부를 구비하며, 상기 요철면과의 계면이 상기 요철면의 형상에 맞추어 형성되는 화소정의막과, 상기 화소정의막 상에 형성된 발광층 및 상기 발광층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함한다. 이러한 구성에 의하여, 비발광 영역에서 발광이 이루어지는 것을 방지할 수 있다.The present invention provides an organic light emitting display that can prevent a pixel defined layer (PDL) from being detached toward a donor film during a process of transferring a light emitting layer on a substrate when the light emitting layer is formed by a laser thermal transfer method. And to a method for producing the same. The organic light emitting diode display according to the present invention comprises a light emitting unit including an organic light emitting element, a driving unit including a thin film transistor for driving the organic light emitting element, the driving unit is a substrate on which the thin film transistor is formed; A first planarization layer formed on an upper surface of the substrate and having a region formed on an uneven surface of the substrate, wherein the light emitting unit is formed on an area of the planarization layer and connected to one of a source and a drain electrode of the thin film transistor An electrode layer, an opening formed on the planarization layer and the first electrode layer to partially expose the first electrode layer, and a pixel definition layer having an interface with the uneven surface to match the shape of the uneven surface; A light emitting layer formed on the pixel defining layer and a second electrode layer formed on the light emitting layer. By this structure, light emission can be prevented from occurring in the non-light emitting area.

레이저 열전사 방법, 요철면 Laser thermal transfer method, uneven surface

Description

유기 발광표시장치 및 그 제조방법 {ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}Organic light emitting display and manufacturing method thereof {ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

도 1a 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 레이저 열전사 방법을 이용하여 발광층을 전사시키는 제조단계별 단면도이다.1A to 1C are cross-sectional views of manufacturing steps for transferring a light emitting layer using a laser thermal transfer method according to the related art.

도 2는 본 발명에 따른 유기 발광표시장치의 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to the present invention.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명에 따른 레이저 열전사 방법을 이용하여 발광층을 전사시키는 제조단계별 단면도이다.3A to 3H are cross-sectional views of manufacturing steps for transferring a light emitting layer using a laser thermal transfer method according to the present invention.

도 4는 요철면을 형성하는 또다른 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view showing another method of forming the uneven surface.

♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing ♣

208, 408 : 평탄화막 211, 411 : 정공수송층208, 408: planarization film 211, 411: hole transport layer

214, 414 : 발광층 216 : 나노파티클214, 414: light emitting layer 216: nanoparticles

220, 420 : 요철면 419 : 롤러220, 420: Uneven surface 419: Roller

본 발명은 유기발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 레이저 열전사 방법에 의해 유기막층을 형성할 시, 유기 발광다이오드가 형성 된 기판 상에 유기막층을 전사하는 과정에서 화소정의막(PDL:pixel define layer)이 탈리되는 현상을 방지할 수 있는 유기발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same. More specifically, when the organic film layer is formed by a laser thermal transfer method, pixel definition is performed in the process of transferring the organic film layer on the substrate on which the organic light emitting diode is formed. The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can prevent the film (PDL: pixel define layer) from being detached.

일반적으로, 유기 발광표시장치는 절연기판 상에 하부전극인 제1 전극층이 형성되고, 제1 전극층 상에 유기막층이 형성되며, 유기막층 상에 상부전극인 제2 전극층이 형성된다. 유기막층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 정공억제층, 전자수송층, 전자주입층 중 적어도 하나를 포함한다.In general, in an organic light emitting diode display, a first electrode layer which is a lower electrode is formed on an insulating substrate, an organic layer is formed on the first electrode layer, and a second electrode layer which is an upper electrode is formed on the organic layer. The organic layer includes at least one of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, a hole suppression layer, an electron transport layer, an electron injection layer.

유기막층을 형성하는 방법으로는 증착법과 리소그라피법이 있다. 증착법은 새도우 마스크를 이용하여 유기발광물질을 진공증착하여 유기막층을 형성하는 방법으로, 마스크의 변형 등에 의해 고정세의 미세패턴을 형성하기 어렵고, 대면적 표시장치에 적용하기 어렵다. 리소그라피법은 유기발광물질을 증착한 다음 포토레지스트를 이용해 패터닝하여 유기막층을 형성하는 방법으로, 고정세의 미세패턴을 형성하는 것은 가능하지만, 포토레지스트(photo resist) 패턴을 형성하기 위한 현상액 또는 유기발광물질의 식각액 등에 의해 유기막층의 특성이 저하되는 문제점이 있다.As a method of forming an organic film layer, there exist a vapor deposition method and the lithography method. The vapor deposition method is a method of forming an organic film layer by vacuum deposition of an organic light emitting material using a shadow mask, it is difficult to form a high-definition fine pattern by deformation of the mask, it is difficult to apply to a large-area display device. The lithography method is a method of forming an organic film layer by depositing an organic light emitting material and then patterning the photoresist using a photoresist, but it is possible to form a high-definition fine pattern, but it is a developer or organic material for forming a photoresist pattern. There is a problem that the characteristics of the organic film layer is lowered by the etchant of the light emitting material.

증착법과 리소그라피법의 문제점을 해결하기 위하여, 직접 유기막층을 패터닝하는 잉크젯 방식이 제안되었다. 잉크젯 방식은 발광재료를 용매에 용해 또는 분산시켜 토출액으로써 잉크젯 프린트 장치의 헤드로부터 토출시켜 유기막층을 형성하는 방법이다. 잉크젯 방식은 공정이 비교적 간단하지만, 수율저하나 막두께의 불균일성이 발생되고, 대면적의 표시장치에 적용하기 어려운 문제점이 있다.In order to solve the problems of the deposition method and the lithography method, an inkjet method of directly patterning the organic film layer has been proposed. The inkjet method is a method in which an organic film layer is formed by dissolving or dispersing a light emitting material in a solvent and discharging it from a head of an inkjet printing apparatus as a discharge liquid. The inkjet method has a relatively simple process, but has a problem of low yield and nonuniformity in film thickness, which is difficult to apply to a large-area display device.

한편, 레이저 열전사 방법을 이용하여 유기막층을 형성하는 방법이 제안되었는데, 건식식각 공정이기 때문에 전사층의 용해성 특성에 영향을 받지 않는다는 장점이 있다. 따라서, 언더레이어와 같은 유기 가공성 정공 전사층을 도입하여 유기 발광표시장치의 성능을 향상시킬 수 있다. 레이저 열전사 방법은 광원에서 나온 빛을 열에너지로 변환하고, 변환된 열에너지에 의해 이미지 형성물질을 유기 발광표시장치의 기판으로 전사시켜 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 유기막층을 형성하는 방법이다. 레이저 열전사 방법은 레이저로 유도된 이미징 프로세스로 고해상도의 패턴 형성, 필름 두께의 균일성, 멀티레이어 적층 능력, 대형 마더글래스로의 확장성과 같은 고유한 이점을 가지고 있다.On the other hand, a method of forming an organic film layer by using a laser thermal transfer method has been proposed, because there is an advantage that it is not affected by the solubility characteristics of the transfer layer because it is a dry etching process. Therefore, an organic processible hole transfer layer such as an underlayer may be introduced to improve performance of the organic light emitting display device. The laser thermal transfer method converts light from a light source into thermal energy, and transfers an image forming material to a substrate of an organic light emitting display device by converting the thermal energy into red (R), green (G), and blue (B) organic film layers. How to form. The laser thermal transfer method has inherent advantages such as high resolution pattern formation, film thickness uniformity, multilayer stacking capability, and scalability to large mother glass in a laser induced imaging process.

이러한 레이저 열전사 방법은 액정표시소자용 컬러필터 제조에 이용되기도 하며, 또한 발광물질의 패턴을 형성하기 위하여 이용되는 경우도 있다.(미국특허 제 5,998,085호)The laser thermal transfer method may be used to manufacture color filters for liquid crystal display devices, and may also be used to form patterns of light emitting materials. (US Patent No. 5,998,085)

이하에서는 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 레이저 열전사 방법을 이용한 유기 발광표시장치 및 그 제조방법에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting diode display using a laser thermal transfer method according to the related art and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 레이저 열전사 방법을 이용하여 발광층을 전사시키는 제조단계별 단면도이다.1A to 1C are cross-sectional views of manufacturing steps for transferring a light emitting layer using a laser thermal transfer method according to the related art.

먼저, 도 1a를 참조하면, 종래의 레이저 열전사 방법은 기판(100)과 도너필름(115)을 준비하고, 기판(100)의 상부와 도너필름(115)의 하부가 대향하도록 위치시킨다.First, referring to FIG. 1A, the conventional laser thermal transfer method prepares the substrate 100 and the donor film 115, and positions the upper portion of the substrate 100 and the lower portion of the donor film 115 to face each other.

상기 도너필름(115)은 기재기판(base film;112), 상기 기재기판(112) 상에 형성된 광-열 변환층(LTHC:light to heat conversion;113), 상기 광-열 변환층(113) 상에 발광층(114)이 형성되어 있다. 상기 광-열 변환층(113)과 상기 발광층(114) 사이에 층간삽입층(미도시)을 더 포함할 수 있다.The donor film 115 may include a base film 112, a light-to-heat conversion layer (LTHC) 113 formed on the base substrate 112, and the light-to-heat conversion layer 113. The light emitting layer 114 is formed on it. An interlayer insertion layer (not shown) may be further included between the light-to-heat conversion layer 113 and the light emitting layer 114.

그리고, 기판(100)을 구체적으로 설명하면, 기판(100) 상에는 적어도 하나의 박막트랜지스터(107)가 형성되며, 상기 박막트랜지스터(107) 상에 평탄화막(108)이 형성되고, 상기 평탄화막(108)의 일영역 상에 상기 박막트랜지스터(107)의 소스 및 드레인 전극(106a, 106b) 중 어느 하나와 연결된 제1 전극층(109)이 형성된다. 상기 제1 전극층(109) 및 평탄화막(108) 상에는 상기 제1 전극층(109)을 적어도 부분적으로 노출시키는 개구부(118)를 포함하는 화소정의막(110)이 형성되며, 상기 화소정의막(110) 및 상기 개구부(118) 상에 정공수송층(111)이 형성된다.In detail, the substrate 100 will be described in detail. At least one thin film transistor 107 is formed on the substrate 100, and the planarization film 108 is formed on the thin film transistor 107. The first electrode layer 109 connected to any one of the source and drain electrodes 106a and 106b of the thin film transistor 107 is formed on one region of 108. A pixel definition layer 110 including an opening 118 at least partially exposing the first electrode layer 109 is formed on the first electrode layer 109 and the planarization layer 108, and the pixel definition layer 110 is formed. And a hole transport layer 111 is formed on the opening 118.

그 다음, 도 1b를 참조하면, 상기 도너필름(115)의 하부와 기판(100)의 상부를 밀착시키고, 상기 도너필름(115)에 레이저를 조사한다. 상기 광-열 변환층(113)이 레이저를 열로 변환시켜 열을 방출하면서 팽창하게 되며, 이에 따라 발광층(114)도 팽창되어 도너필름(115)으로부터 분리되어, 기판으로 패터닝된 발광층(114)이 전사된다.Next, referring to FIG. 1B, the lower portion of the donor film 115 and the upper portion of the substrate 100 are brought into close contact with each other, and the donor film 115 is irradiated with a laser. The light-to-heat conversion layer 113 expands while converting the laser into heat to release heat, thereby expanding the light emitting layer 114 to be separated from the donor film 115, thereby patterning the light emitting layer 114 onto the substrate. Is transferred.

이 후, 도 1c를 참조하면, 기판(100)에 발광층(114)이 전사되면 도너필름(115)과 기판(100)을 분리한다. 그러나, 도너필름(115)과 기판(100)을 분리하는 과정에서 평탄화막(108)과 화소정의막(110)의 접착력이 약하기 때문에, 화소정의막(110)이 도너필름(115) 쪽으로 탈리되는 현상이 발생하게 된다. 화소정의막(110)이 탈리됨으로써, 비발광 영역에서 발광이 일어나게 된다. 또한, 탈리된 화소정의 막(110) 상부의 발광층(114) 역시 기판(100)에 전사되지 못하게 되는 문제점이 있다.Subsequently, referring to FIG. 1C, when the light emitting layer 114 is transferred to the substrate 100, the donor film 115 and the substrate 100 are separated. However, since the adhesion between the planarization film 108 and the pixel definition layer 110 is weak in the process of separating the donor film 115 and the substrate 100, the pixel definition layer 110 is detached toward the donor film 115. The phenomenon occurs. As the pixel defining layer 110 is detached, light emission occurs in the non-emission area. In addition, there is a problem that the light emitting layer 114 on the detached pixel definition layer 110 is also not transferred to the substrate 100.

따라서, 본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 고안된 발명으로, 본 발명의 목적은 레이저 열전사 방법에 의해 유기막층을 형성할 시, 기판 상에 유기막층을 전사하는 과정에서 화소정의막(PDL:pixel define layer)이 탈리되는 현상을 미연에 방지할 수 있는 유기발광표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention is an invention devised to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to form a pixel definition film in a process of transferring an organic film layer on a substrate when the organic film layer is formed by a laser thermal transfer method. The present invention provides an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can prevent the phenomenon of PDL (pixel define layer) from detaching.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 발광표시장치는 유기 발광소자를 포함하는 발광부와, 상기 유기 발광소자를 구동하는 박막트랜지스터를 포함하는 구동부를 포함하여 구성되며, 상기 구동부는 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판과, 상기 기판의 상부에 형성되며 표면의 일영역이 요철면으로 형성되는 평탄화막을 포함하고, 상기 발광부는 상기 평탄화막 상의 일영역에 형성되며, 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결되는 제1 전극층과, 상기 평탄화막 및 상기 제1 전극층 상에 상기 제1 전극층이 부분적으로 노출되도록 형성된 개구부를 구비하며, 상기 요철면과의 계면이 상기 요철면의 형상에 맞추어 형성되는 화소정의막과, 상기 화소정의막 상에 형성된 발광층 및 상기 발광층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함한다.In order to achieve the above object, the organic light emitting diode display according to the present invention comprises a light emitting unit including an organic light emitting element, and a driving unit including a thin film transistor for driving the organic light emitting element, the driving unit is And a planarization film formed on the substrate, and a planarization film formed on an upper surface of the substrate and having an uneven surface formed thereon, wherein the light emitting part is formed on an area of the planarization film, and source and drain electrodes of the thin film transistor. A first electrode layer connected to any one of the first electrode layer and an opening formed on the planarization layer and the first electrode layer so as to partially expose the first electrode layer, and an interface with the uneven surface conforms to the shape of the uneven surface. A pixel definition film formed, a light emitting layer formed on the pixel definition film, and a second electrode formed on the light emitting layer A layer.

바람직하게, 상기 제1 전극층 및 상기 발광층 사이에는 정공수송층을 더 포 함한다. 상기 요철면의 높이는 0.1㎛ 내지 0.5㎛로 형성되며, 상기 요철면은 상기 평탄화막 표면의 전부에 형성된다. 상기 평탄화막의 두께는 1㎛ 내지 1.5㎛의 범위로 형성되고, 상기 제1 전극층은 비어홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 상기 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결된다.Preferably, further comprising a hole transport layer between the first electrode layer and the light emitting layer. The height of the uneven surface is formed from 0.1㎛ to 0.5㎛, the uneven surface is formed on the entire surface of the planarization film. The planarization film has a thickness ranging from 1 μm to 1.5 μm, and the first electrode layer is connected to any one of the source and drain electrodes of the thin film transistor through a via hole.

본 발명에 따른 유기 발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터 상부에 표면의 일영역이 요철면으로 형성된 평탄화막을 형성하는 단계와, 상기 평탄화막 상의 일영역에 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결되는 제1 전극층을 형성하는 단계와, 상기 평탄화막 및 제1 전극층이 상기 요철면과 접촉하는 계면은 상기 요철 형상에 맞추어지는 화소정의막을 형성하는 단계와, 상기 제1 전극층이 부분적으로 노출되도록 상기 화소정의막 상에 개구부를 형성하는 단계와, 상기 화소정의막에 발광층을 레이저 열전사 방법에 의해 형성하는 단계 및 상기 발광층 상에 제2 전극층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes forming a thin film transistor on a substrate, forming a planarization film having an uneven surface on one surface of the thin film transistor, and a region on the planarization film. Forming a first electrode layer connected to any one of a source and a drain electrode of the thin film transistor, and an interface at which the planarization layer and the first electrode layer contact the uneven surface to form a pixel defining layer that is adapted to the uneven shape Forming an opening on the pixel definition layer to partially expose the first electrode layer, forming a light emitting layer on the pixel definition layer by a laser thermal transfer method, and forming a second electrode layer on the light emitting layer. Forming a step.

바람직하게, 상기 제1 전극층 및 상기 발광층 사이에는 정공수송층을 더 포함한다. 상기 평탄화막을 형성하는 단계에서 상기 요철면은 나노파티클을 분사하여 형성하며, 상기 평탄화막을 형성하는 단계에서 상기 요철면은 표면이 요철된 롤러를 롤링함으로써 형성한다. 또한, 상기 요철면의 높이는 0.1㎛ 내지 0.5㎛로 형성하고, 상기 나노파티클은 상기 박막트랜지스터의 구동에 영향을 미치지 않는 부도체 물질이며, SiO2 또는 TiO2로 형성된다.Preferably, further comprising a hole transport layer between the first electrode layer and the light emitting layer. In the forming of the planarization film, the uneven surface is formed by spraying nanoparticles, and in the forming of the planarization film, the uneven surface is formed by rolling a roller having an uneven surface. In addition, the height of the concave-convex surface is formed from 0.1㎛ to 0.5㎛, the nanoparticles are non-conductive material that does not affect the driving of the thin film transistor, it is formed of SiO 2 or TiO 2 .

이하에서는 본 발명의 실시예를 도시한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 유기발광표시장치 및 그 제조방법을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 유기 발광표시장치의 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to the present invention.

도 2에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 발광표시장치는 기판(200) 상에 형성된 적어도 하나의 박막트랜지스터(207)와, 발광층(214)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 2, in the organic light emitting diode display according to the present invention, at least one thin film transistor 207 and a light emitting layer 214 are formed on the substrate 200.

기판(200) 상에 형성된 박막트랜지스터(207)의 구조를 간단히 설명하면, 상기 기판(200) 상에 버퍼층(201)이 형성되고, 상기 버퍼층(201)의 일영역 상에 액티브 채널층(202a)과 오믹콘택층(202b) 사이에 LDD층(미도시)을 포함하는 반도체층(202)이 형성된다. 상기 반도체층(202) 상에는 게이트 절연막(203)과 게이트 전극(204)이 패터닝되어 순차적으로 형성된다. 상기 게이트 전극(204) 상에 형성되며, 상기 반도체층(202) 중 오믹콘택층(202b)이 노출되도록 형성된 층간절연층(205)과, 노출된 상기 오믹콘택층(202b)에 접촉되도록 소스 및 드레인 전극(206a, 206b)이 상기 층간절연층(205)의 일영역 상에 형성된다.The structure of the thin film transistor 207 formed on the substrate 200 will be briefly described. A buffer layer 201 is formed on the substrate 200, and an active channel layer 202a is formed on one region of the buffer layer 201. The semiconductor layer 202 including an LDD layer (not shown) is formed between the ohmic contact layer 202b and the ohmic contact layer 202b. The gate insulating layer 203 and the gate electrode 204 are patterned on the semiconductor layer 202 and sequentially formed. A source and a second interlayer insulating layer 205 formed on the gate electrode 204 to contact the interlayer insulating layer 205 formed to expose the ohmic contact layer 202b of the semiconductor layer 202 and the exposed ohmic contact layer 202b. Drain electrodes 206a and 206b are formed on one region of the interlayer insulating layer 205.

그리고, 상기 박막트랜지스터(207) 상에 표면의 일영역이 요철면으로 형성되는 평탄화막(208)을 형성하고, 상기 평탄화막(208) 상에는 상기 평탄화막(208)의 일영역을 에칭하여 상기 소스 및 드레인 전극(206a, 206b) 중 어느 하나가 노출되도록 형성된 비어홀(미도시)을 통해, 상기 소스 및 드레인 전극(206a, 206b) 중 어느 하나와 제1 전극층(209)이 전기적으로 연결된다. 상기 제1 전극층(209)은 상기 평탄화막(208)의 일영역에 형성되며, 상기 평탄화막(208) 상에는 상기 제1 전극층(209)을 적어도 부분적으로 노출시키는 개구부(218)가 형성된 화소정의막(210)이 형성된다. 상기 화소정의막(210) 및 상기 개구부(218) 상에는 정공수송층(211)이 형성되어 있으며, 상기 개구부(218) 및 상기 정공수송층(211)의 일영역 상에 발광층(214)이 형성되어 있다. 그리고, 화소정의막(210) 및 발광층(214) 상에는 제2 전극층(221)이 형성되어 있다.In addition, a planarization film 208 is formed on the thin film transistor 207 in which one region of the surface is formed as an uneven surface, and one region of the planarization film 208 is etched on the planarization film 208 to form the planarization film 208. And one of the source and drain electrodes 206a and 206b and the first electrode layer 209 are electrically connected to each other through a via hole (not shown) formed to expose one of the drain electrodes 206a and 206b. The first electrode layer 209 is formed in one region of the planarization layer 208, and on the planarization layer 208, a pixel definition layer having an opening 218 at least partially exposing the first electrode layer 209. 210 is formed. A hole transport layer 211 is formed on the pixel definition layer 210 and the opening 218, and a light emitting layer 214 is formed on one region of the opening 218 and the hole transport layer 211. The second electrode layer 221 is formed on the pixel defining layer 210 and the light emitting layer 214.

상기 평탄화막(208)의 요철면(220) 상에 형성된 상기 화소정의막(210) 및 상기 발광층(214)은 요철면(220)을 갖도록 형성된다. 상기 평탄화막(208) 상에 상기 요철면(220)을 형성하여 접촉 표면적을 넓힘으로써, 상기 평탄화막(208)과 상기 화소정의막(210)의 접착력을 증가시킬 수 있다.The pixel defining layer 210 and the light emitting layer 214 formed on the uneven surface 220 of the planarization layer 208 are formed to have the uneven surface 220. By forming the concave-convex surface 220 on the planarization layer 208 to increase the contact surface area, the adhesion between the planarization layer 208 and the pixel definition layer 210 may be increased.

그리고, 상기 요철면(220)을 가지는 상기 평탄화막(208)의 두께는 1㎛ 내지 1.5㎛의 범위로 형성된다.In addition, the thickness of the planarization layer 208 having the uneven surface 220 is formed in a range of 1 μm to 1.5 μm.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명에 따른 레이저 열전사 방법을 이용하여 발광층을 전사시키는 제조단계별 단면도로, 설명의 편의상, 전술한 도 2와 동일한 구성요소에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 특히, 박막트랜지스터와 발광층이 형성된 기판에 대한 설명은 생략한다.3A to 3H are cross-sectional views of manufacturing steps for transferring a light emitting layer using a laser thermal transfer method according to the present invention. For convenience of description, detailed descriptions of the same components as those of FIG. 2 will be omitted. In particular, the description of the substrate on which the thin film transistor and the light emitting layer are formed will be omitted.

먼저, 도 3a에서 보는 바와 같이, 박막트랜지스터(207)가 형성된 기판 상에 평탄화막(208)을 형성한다.First, as shown in FIG. 3A, the planarization film 208 is formed on a substrate on which the thin film transistor 207 is formed.

상기 평탄화막(208)은 산화실리콘(SiO2)과 질화실리콘(SiNx) 등의 무기절연물질 또는 아크릴(Acryl)계 유기화합물, 폴리아미드, 폴리이미드 등의 유기절연물질 등이 이용되며, 이에 한정되지 않는다.The planarization layer 208 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) and silicon nitride (SiNx), or an organic insulating material such as acrylic organic compound, polyamide, polyimide, or the like. It doesn't work.

그 다음, 도 3b에서 보는 바와 같이, 분사 장치(217)를 이용하여 평탄화막(208) 상에 나노파티클(216)을 스퍼터링 방법에 의해 분사한다. 상기 나노파티클(216)의 지름은 0.1㎛ 내지 0.5㎛로 형성되며, 박막트랜지스터(207)의 구동에 영향을 미치지 않는 부도체 물질로 구성된다. 상기 부도체 물질에는 SiO2 또는 TiO2 등이 있으며, 이에 한정되지 않는다.Next, as shown in FIG. 3B, the nanoparticles 216 are sprayed onto the planarization film 208 by the sputtering method using the spraying device 217. The nanoparticles 216 have a diameter of 0.1 μm to 0.5 μm, and are made of a non-conductive material that does not affect driving of the thin film transistor 207. The nonconductive material includes SiO 2 or TiO 2 , but is not limited thereto.

그리고 나서, 도 3c에서 보는 바와 같이, 상기 나노파티클(216)에 의해 상기 평탄화막(208) 표면에 요철면220)이 형성된다. 상기 나노파티클(216)은 상기 평탄화막(208) 상에 달라붙거나 또는 상기 평탄화막(208)에 부딪혀 튕겨나가면서 상기 평탄화막(208)에 홈을 내어, 요철면(220)을 형성한다. 상기 나노파티클(216)의 지름은 상기 요철면(220)보다 적어도 동일한 크기로 형성된다.Then, as shown in FIG. 3C, an uneven surface 220 is formed on the surface of the planarization film 208 by the nanoparticles 216. The nanoparticles 216 stick to the planarization layer 208 or hit the planarization layer 208 and bounce off the planarization layer 208 to form the uneven surface 220. The diameter of the nanoparticles 216 is formed at least the same size as the concave-convex surface 220.

또한, 상기 요철면(220)은 상기 평탄화막(208)을 건조시키기 전에 형성하여도 되고, 평탄화막(208)을 건조시킨 뒤에 형성하여도 된다.In addition, the uneven surface 220 may be formed before the flattening film 208 is dried, or may be formed after the flattening film 208 is dried.

이 후, 도 3d에서 보는 바와 같이, 상기 평탄화막(208)의 일영역을 에칭하여 상기 소스 및 드레인 전극(206a, 206b) 중 어느 하나가 노출되도록 형성된 비어홀(미도시)을 통해, 상기 소스 및 드레인 전극(206a, 206b) 중 어느 하나와 제1 전극층(209)을 전기적으로 연결시킨다. 제1 전극층(209)의 상부는 평평하게 형성될 수도 있고, 평탄화막(208)에 형성된 요철면을 따라 형성될 수도 있다.Thereafter, as illustrated in FIG. 3D, one region of the planarization layer 208 may be etched to expose one of the source and drain electrodes 206a and 206b to expose the source and drain via via holes (not shown). One of the drain electrodes 206a and 206b and the first electrode layer 209 are electrically connected to each other. The upper portion of the first electrode layer 209 may be formed flat or along the uneven surface formed in the planarization film 208.

그리고, 도 3e에서 보는 바와 같이, 상기 평탄화막(208) 및 제1 전극층(209) 상에 화소정의막(210)을 형성하고, 화소정의막(210)의 일영역을 에칭하여 상기 제1 전극층(209)이 적어도 부분적으로 노출되도록 개구부(218)를 형성한다.As shown in FIG. 3E, a pixel definition layer 210 is formed on the planarization layer 208 and the first electrode layer 209, and a region of the pixel definition layer 210 is etched to etch the first electrode layer. Opening 218 is formed such that 209 is at least partially exposed.

화소정의막의 상부는 평탄화막 표면에 형성된 요철면을 따라 형성된다. 그리고, 개구부(218)를 형성할 때에는 포토레지스터 공정을 이용하여 에칭한다. 화소정의막(210)의 일영역 상에 포토레지스트(photo resist)를 균일하게 도포하고, 이것을 선택적으로 노광, 현상 처리하여 포토레지스트 패턴을 형성하고, 이 패턴을 마스크로 하여 화소정의막(210)을 선택적으로 에칭하고, 불필요한 포토레지스트 층을 에칭용액으로 제거한다.The upper portion of the pixel definition layer is formed along the uneven surface formed on the planarization film surface. And when forming the opening part 218, it etches using a photoresist process. A photoresist is uniformly coated on one region of the pixel definition layer 210 and selectively exposed and developed to form a photoresist pattern, and the pixel definition layer 210 is used as a mask. Is selectively etched and the unnecessary photoresist layer is removed with an etching solution.

그 다음, 도 3f에서 보는 바와 같이, 상기 화소정의막(210) 및 상기 개구부(218) 상에 정공수송층(211)을 형성한다. 상기 정공수송층(211)은 마스크를 사용하여 진공증착에 의해 형성된다. 마스크는 0.1㎜ 정도의 두께를 가지는 SUS, Ni, Fe, Ni 합금(예를 들어, Ni-Fe 합금) 또는 실리콘 등의 반도체를 에칭 등에 의해 가공하여 제조한 메탈(metal) 마스크가 일반적으로 사용된다.Next, as shown in FIG. 3F, a hole transport layer 211 is formed on the pixel definition layer 210 and the opening 218. The hole transport layer 211 is formed by vacuum deposition using a mask. As the mask, a metal mask manufactured by processing a semiconductor such as SUS, Ni, Fe, Ni alloy (for example, Ni-Fe alloy) or silicon having a thickness of about 0.1 mm by etching or the like is generally used. .

이 후, 도 3g에서 보는 바와 같이, 기판(200) 상에 도너필름(215)을 위치시키고, 도너필름(215) 상에서 발광층(214)이 전사될 영역에 레이저를 조사한다. 도 1b에서 설명한 것처럼, 도너필름(215) 상에 레이저가 조사되는 부분의 광-열 변환층(213)이 팽창함에 따라 발광층(214)이 팽창하면서 도너필름(215)으로부터 분리되어 기판(200)으로 패터닝된 발광층(214)이 전사된다.Thereafter, as shown in FIG. 3G, the donor film 215 is positioned on the substrate 200, and the laser is irradiated to the region where the light emitting layer 214 is to be transferred on the donor film 215. As described with reference to FIG. 1B, as the light-to-heat conversion layer 213 of the portion irradiated with the laser on the donor film 215 expands, the light emitting layer 214 expands and is separated from the donor film 215 to separate the substrate 200. The patterned light emitting layer 214 is transferred.

레이저 전사용 도너필름(215)은, 기재기판(212), 상기 기재기판(212) 상에 형성된 광-열 변환층(213) 및 상기 광-열 변환층(213) 상에 형성된 발광층(214)을 포함한다. 상기 광-열 변환층(213) 및 상기 발광층(214) 사이에 층간삽입층(미도 시)을 더 포함할 수 있다.The laser transfer donor film 215 includes a substrate substrate 212, a light-to-heat conversion layer 213 formed on the substrate 212, and a light emitting layer 214 formed on the light-to-heat conversion layer 213. It includes. An interlayer insertion layer (not shown) may be further included between the light-to-heat conversion layer 213 and the light emitting layer 214.

도너필름(215)을 구체적으로 설명하면, 기재기판(212)은 지지체 역할을 하며, 광투과율이 90% 이상인 기판을 사용한다. 기재기판(212)을 형성하는 물질로는 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리올레핀, 폴리비닐수지 등을 사용하는데, 그 중에서도 투명성이 우수한 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)가 가장 많이 사용된다.Referring to the donor film 215 in detail, the substrate 212 serves as a support and uses a substrate having a light transmittance of 90% or more. Polyester, polycarbonate, polyolefin, polyvinyl resin, etc. are used as a material for forming the base substrate 212. Among them, polyethylene terephthalate (PET) having excellent transparency is most used.

광-열 변환층(213)은 발광층(214)이 기판(200) 등과 같은 수용체 상에 전사될 수 있는 전사에너지를 제공하는 역할을 하며, 레이저를 흡수하여 열에너지로 변환시켜 주는 광흡수재(radiation absorber)를 포함한다. 광-열 변환층(213)이 너무 얇게 형성되는 경우에는 에너지 흡수율이 낮아 광이 열로 변화되는 에너지 양이 작게 되어 팽창압력이 낮아지고, 투과되는 에너지가 커지게 되어 유기 발광표시장치의 기판 회로에 손상을 주게 되므로, 1㎛ 내지 5㎛ 정도로 형성된다.The light-to-heat conversion layer 213 serves to provide transfer energy capable of transferring the light emitting layer 214 onto a receptor such as the substrate 200, and absorbs a laser and converts it into thermal energy. ). In the case where the light-to-heat conversion layer 213 is formed too thin, the energy absorption rate is low so that the amount of energy converted into heat is small, so that the expansion pressure is lowered, and the transmitted energy is increased, thereby increasing the energy of the substrate circuit of the organic light emitting display device. Since damage is caused, it is formed in the range of about 1 μm to about 5 μm.

광-열 변환층(213)은 금속성 및 금속화합물을 이용하여 박막 형태로 형성된다. 보다 상세하게는, 스퍼터링 및 증발성 증착과 같은 건식 방법에 의해 형성될 수 있으며, 입상코팅은 결합제 및 임의의 적합한 건조 또는 습식코팅 방법을 이용하여 형성될 수 있다. 광-열 변환층(213)을 보호하기 위한 층간삽입층(미도시)은 광-열 변환층(213)의 이물질이 발광층(214)에 들어가지 않도록 하는 역할을 한다.The light-to-heat conversion layer 213 is formed in a thin film form using metallic and metal compounds. More specifically, it can be formed by dry methods such as sputtering and evaporative deposition, and the granular coating can be formed using a binder and any suitable dry or wet coating method. An interlayer insertion layer (not shown) for protecting the light-to-heat conversion layer 213 serves to prevent foreign substances of the light-to-heat conversion layer 213 from entering the light emitting layer 214.

마지막으로, 도 3h에서 보는 바와 같이, 기판(200)에 발광층(214)이 전사되면 도너필름(215)과 기판(200)을 분리시킨다. 분리된 기판(200) 상에는 개구부(218) 및 정공수송층(211) 일영역의 요철면(220)를 따라 발광층(214)이 형성되며, 도너필름(215) 하부의 발광층(214) 중 레이저가 조사된 영역의 발광층(214)만 전사 되고, 레이저가 조사되지 않은 영역의 발광층(214)은 도너필름(215) 상에 그대로 남아있게 된다. 발광층(214)이 전사된 뒤, 화소정의막(210) 및 발광층(214) 상에 제2 전극층(221)을 형성한다.Lastly, as shown in FIG. 3H, when the light emitting layer 214 is transferred to the substrate 200, the donor film 215 and the substrate 200 are separated. On the separated substrate 200, a light emitting layer 214 is formed along the uneven surface 220 of the opening 218 and the hole transport layer 211, and the laser is irradiated from the light emitting layer 214 under the donor film 215. Only the light emitting layer 214 of the region is transferred, and the light emitting layer 214 of the region not irradiated with the laser remains on the donor film 215. After the emission layer 214 is transferred, the second electrode layer 221 is formed on the pixel definition layer 210 and the emission layer 214.

평탄화막(208)에 형성된 요철면(220)으로 인해 평탄화막(208)과 화소정의막(210)의 접착력이 향상됨으로써, 레이저 열전사 방법에 의해 발광층(214)을 전사할 시, 화소정의막(210)이 도너필름(215)을 따라 탈리되는 현상을 방지할 수 있다.The adhesion between the planarization film 208 and the pixel definition film 210 is improved due to the uneven surface 220 formed on the planarization film 208, so that the pixel definition film is transferred when the light emitting layer 214 is transferred by the laser thermal transfer method. A phenomenon in which the 210 is detached along the donor film 215 may be prevented.

도 4는 요철면을 형성하는 또다른 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view showing another method of forming the uneven surface.

도 4를 참조하면, 기판(400) 상에 형성된 평탄화막(408) 상에 다수개의 요철을 가지는 롤러(419)를 위치시킨다. 롤러(419)가 굴러감에 따라, 롤러(419)에 형성된 요철에 의해 평탄화막(408)의 표면을 깎아내어, 다수개의 요철면(420)을 형성시킨다.Referring to FIG. 4, a roller 419 having a plurality of irregularities is positioned on the planarization film 408 formed on the substrate 400. As the roller 419 rolls, the surface of the planarization film 408 is cut off by the unevenness | corrugation formed in the roller 419, and the several uneven surface 420 is formed.

전술한 실시예에서는 평탄화막 전체 영역에 요철면을 형성하였지만, 국부적으로 요철면을 형성할 수 있으며, 도면에서는 정공수송층을 포함하는 구조를 도시하였으나, 정공수송층이 포함되지 않은 구조도 가능함은 물론이다. 또한, 나노파티클 또는 롤러를 이용하여 평탄화막에 요철면을 형성하였지만, 평탄화막의 표면을 러빙처리하여 요철면을 형성할 수도 있다. 그리고, 본 발명에서는 전면 발광을 하는 유기 발광표시장치에 대한 실시예를 설명하였지만, 배면 발광을 하는 유기 발광표시장치에도 적용 가능하다.In the above-described embodiment, the concave-convex surface is formed in the entire area of the planarization film, but the concave-convex surface may be locally formed. . In addition, although the uneven surface was formed in the planarization film using nanoparticles or a roller, the uneven surface may be formed by rubbing the surface of the planarization film. Although the present invention has been described with respect to an organic light emitting display device having top emission, the present invention can also be applied to an organic light emitting display device having bottom emission.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해 야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention has been described in detail according to the above-described preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 레이저 열전사 방법에 의해 유기막층을 형성할 시, 평탄화막의 표면적을 증가시켜서 평탄화막과 화소정의막 사이의 접착력을 증가시킴으로써, 기판 상에 유기막층을 전사하는 과정에서 화소정의막(PDL:pixel define layer)이 탈리되는 현상을 미연에 방지하여, 비발광 영역에서 발광이 이루어지는 것을 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, when forming the organic film layer by the laser thermal transfer method, the surface area of the planarization film is increased to increase the adhesion between the planarization film and the pixel definition film, thereby transferring the organic film layer onto the substrate. In this process, the phenomenon of detaching the pixel definition layer (PDL) may be prevented in advance, thereby preventing light emission from occurring in the non-emission area.

Claims (13)

유기 발광소자를 포함하는 발광부와, 상기 유기 발광소자를 구동하는 박막트랜지스터를 포함하는 구동부를 포함하여 구성되며,It comprises a light emitting unit including an organic light emitting element, and a driving unit including a thin film transistor for driving the organic light emitting element, 상기 구동부는 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판과,The driving unit and the substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 기판의 상부에 형성되며 표면의 일영역이 요철면으로 형성되는 평탄화막을 포함하고,A planarization film formed on an upper portion of the substrate and having one region of a surface formed of an uneven surface; 상기 발광부는 상기 평탄화막 상의 일영역에 형성되며, 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결되는 제1 전극층과,The light emitting part is formed in one region on the planarization layer, the first electrode layer connected to any one of a source and a drain electrode of the thin film transistor; 상기 평탄화막 및 상기 제1 전극층 상에 상기 제1 전극층이 부분적으로 노출되도록 형성된 개구부를 구비하며, 상기 요철면과의 계면이 상기 요철면의 형상에 맞추어 형성되는 화소정의막과,A pixel defining layer having an opening formed on the planarization layer and the first electrode layer to partially expose the first electrode layer, the interface with the uneven surface being formed in accordance with the shape of the uneven surface; 상기 화소정의막 상에 형성된 발광층 및,An emission layer formed on the pixel definition layer; 상기 발광층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함하는 유기 발광표시장치.And a second electrode layer formed on the light emitting layer. 제1항에 있어서, 상기 제1 전극층 및 상기 발광층 사이에는 정공수송층을 더 포함하는 유기 발광표시장치.The organic light emitting display device of claim 1, further comprising a hole transport layer between the first electrode layer and the light emitting layer. 제1항에 있어서, 상기 요철면의 높이는 0.1㎛ 내지 0.5㎛로 형성되는 유기 발광표시장치.The organic light emitting display device of claim 1, wherein the height of the uneven surface is 0.1 μm to 0.5 μm. 제1항에 있어서, 상기 요철면은 상기 평탄화막 표면의 전부에 형성되는 유기 발광표시장치.The organic light emitting display device of claim 1, wherein the uneven surface is formed on an entire surface of the planarization layer. 제1항에 있어서, 상기 평탄화막의 두께는 1㎛ 내지 1.5㎛의 범위로 형성되는 유기 발광표시장치.The organic light emitting display device of claim 1, wherein the planarization layer has a thickness in a range of about 1 μm to about 1.5 μm. 제1항에 있어서, 상기 제1 전극층은 비어홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결되는 유기 발광표시장치.The organic light emitting diode display of claim 1, wherein the first electrode layer is connected to one of a source and a drain electrode of the thin film transistor through a via hole. 기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와,Forming a thin film transistor on the substrate; 상기 박막트랜지스터 상부에 표면의 일영역이 요철면으로 형성된 평탄화막을 형성하는 단계와,Forming a planarization film having a region of an uneven surface formed on an upper surface of the thin film transistor; 상기 평탄화막 상의 일영역에 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 중 어느 하나와 연결되는 제1 전극층을 형성하는 단계와,Forming a first electrode layer connected to any one of a source and a drain electrode of the thin film transistor in one region of the planarization layer; 상기 평탄화막 및 제1 전극층이 상기 요철면과 접촉하는 계면은 상기 요철 형상에 맞추어지는 화소정의막을 형성하는 단계와,Forming a pixel definition layer whose interface between the planarization film and the first electrode layer is in contact with the uneven surface is adapted to the uneven shape; 상기 제1 전극층이 부분적으로 노출되도록 상기 화소정의막 상에 개구부를 형성하는 단계와,Forming an opening on the pixel definition layer to partially expose the first electrode layer; 상기 화소정의막에 발광층을 레이저 열전사 방법에 의해 형성하는 단계 및,Forming a light emitting layer on the pixel definition layer by a laser thermal transfer method; 상기 발광층 상에 제2 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광표시장치의 제조방법.And forming a second electrode layer on the light emitting layer. 제7항에 있어서, 상기 제1 전극층 및 상기 발광층 사이에는 정공수송층을 더 포함하는 유기 발광표시장치.The organic light emitting display device of claim 7, further comprising a hole transport layer between the first electrode layer and the light emitting layer. 제7항에 있어서, 상기 평탄화막을 형성하는 단계에서 상기 요철면은 나노파티클을 분사하여 형성하는 유기 발광표시장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein in the forming of the planarization layer, the uneven surface is formed by spraying nanoparticles. 제7항에 있어서, 상기 평탄화막을 형성하는 단계에서 상기 요철면은 표면이 요철된 롤러를 롤링함으로써 형성하는 유기 발광표시장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein, in the forming of the planarization layer, the uneven surface is formed by rolling a roller having a uneven surface. 제7항에 있어서, 상기 요철면의 높이는 0.1㎛ 내지 0.5㎛로 형성하는 유기 발광표시장치의 제조방법.The method of claim 7, wherein the height of the uneven surface is 0.1 μm to 0.5 μm. 제9항에 있어서, 상기 나노파티클은 상기 박막트랜지스터의 구동에 영향을 미치지 않는 부도체 물질인 유기 발광표시장치의 제조방법.The method of claim 9, wherein the nanoparticle is an insulator material that does not affect driving of the thin film transistor. 제12항에 있어서, 상기 부도체 물질은 SiO2 또는 TiO2인 유기 발광표시장치 의 제조방법.The method of claim 12, wherein the insulator material is SiO 2 or TiO 2 .
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