KR100707133B1

KR100707133B1 - 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너

Info

Publication number: KR100707133B1
Application number: KR1020060043773A
Authority: KR
Inventors: 조진우; 이진호; 강석진; 정현구; 정석환; 고영철
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-05-16
Filing date: 2006-05-16
Publication date: 2007-04-13
Also published as: JP2007310342A; US20070268543A1

Abstract

큰 구동각도를 가지면서도 동적 변형량이 적어서 고해상도의 화질을 구현할 수 있는 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너가 제시된다. 광원을 반사하는 스캐너의 미러 배면에 상기 미러의 진동의 중심이 되는 회동축과 수직하게 복수개의 수직 리브를 형성한다. 또한, 상기 회동축과 일정 이격거리를 가지며, 상기 수직리브와 수직인 관계를 이루는 수평리브를 구성한다. 미러크기, 회전관성 모멘트, 구동각도 및 동적 변형량 등 상호간 커플링 되어 있는 변수들의 최적의 설계 인자를 도출하여 미러가 고속 회전이 가능하면서도 정확한 위치에 영상신호를 주사할 수 있다.

광스캐너, 미러, 리브, 최적설계

Description

미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너{MIRROR STRUCTURE AND OPTICAL SCANNER HAVING THE SAME}

도 1은 본 출원인이 출원한 한국공개특허공보 2005-53053에 제시된 광스캐너의 미러를 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 미러 구조의 전면을 도시한 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 미러구조의 배면을 도시한 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 미러의 배면을 확대하여 도시한 사시도이다.

도 5는 미러의 인자들의 값을 변화해 가면서 회전관성 모멘트에 따른 동적 변화량을 도시한 것이다.

도 6은 이격거리에 따른 동적변화량을 도시한 그래프이다.

도 7은 본 발명의 스프링축을 확대하여 도시한 사시도이다.

도 8은 스프링 축의 길이에 구동각도의 변화를 도시한 그래프이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 미러구조 110: 미러

120: 회동축 121: 스프링축

125: 연결축 130: 콤 축

131: 콤 핑거 210: 수직리브

220: 수평리브

본 발명은 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 큰 구동각도를 가지면서도 동적 변형량이 적어서 고해상도의 화질을 구현할 수 있는 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너에 관한 것이다.

스캐너는 주로 레이저 등 광원의 경로를 변경하기 위한 것으로서, 간단하게는 레더 프린터(leather printer)나 바코드 리더기(bar code reader) 등에 사용될 수 있으며, 복잡하게는 레이져 텔레비전 등과 같이 복잡한 영상을 처리하기 위한 장치에 사용될 수 있다. 일반적으로 레이저는 직진하는 성질로 인하여 직선경로를 따라 제공되기 때문에, 스캐너를 이용하여 경로 변경 후 스크린 등에 투사하여 원하는 영상을 얻게 된다.

이러한 스캐너는 MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 기술을 근간으로 제조되는 미러를 포함한다. 종래에는 레이저의 경로를 전환하기 위해 서로 다른 2축을 움직이는 미러를 사용하는 방법이 있으며, 다르게는 하나의 미러를 2축으로 움직이게 함으로써 레이저의 경로를 2차원적으로 변경하는 방법이 있다.

도 1은 본 출원인이 출원한 한국공개특허공보 2005-53053에 제시된 MEMS 스캐너의 미러를 도시한 사시도이다.

이에 도시된 바와 같이, 레이져 등 광원을 반사하는 미러부(10)는 대략 원형으로 형성된다. 상기 미러부(10)는 한 쌍의 스프링부(20, 20’)를 중심축으로 하여 소정각도 범위 내에서 회전 구동하게 되며, 한 쌍의 스프링부(20, 20’)는 상기 미러부(10)를 지지하며, 미러부(10)의 회전 구동시 토션 운동을 한다.

연결부(30)는 미러부(10) 및 한 쌍의 스프링부(20, 20’)를 연결하며, 대략 타원형으로 형성된다. 상기 연결부(30)의 외주면에는 복수개의 콤-핑거(comb-finger)가 일정 간격으로 배열된 이동콤(40)이 형성되며, 도시되지는 않았지만 상기 이동콤(40)과 정전기력이 작용하는 고정콤이 이동콤과 대응되도록 배열된다.

고정콤에 정전기력이 작용하여 상기 이동콤(40)에 구동력을 전달하면, 미러부(10)를 포함하는 미러가 원하는 구동각도를 가지면서 운동을 하게 된다. 외부에서 입사되는 광원은 미러부(10)에 의해 원하는 스크린의 위치에 반사하여 주사되게 되며, 영상 신호를 생성할 수 있게 되는 것이다. 이러한 정전기 방식은 전력소모가 낮고, 제작이 비교적 용이한 장점이 있다.

하지만, 종래의 미러 구조는 VGA(Video Graphics Adapter) 급에서는 만족할 만한 성능을 가지나, 보다 고해상도를 위한 HD(High Density)급의 영상을 구현하기 위해서는 여러 가지 문제점이 있다.

먼저, 고해상도를 갖는 화질을 구현하기 위해서는 미러의 크기가 커지게 되고, 구동각도도 커져야 한다. 예를 들어 HD 급의 화질을 구현하기 위해서는 미러의 직경이 종래의 1.0 mm에서 1.5 mm 정도로 커져야 되며, 구동각도가 종래의 8° 정도에서 12° 정도로 커져야 한다.

하지만, 고속으로 운동할수록, 또한 미러의 직경이 커질수록 동적 변형량이 커지는 문제점이 있다. 광신호가 원하는 위치에 주사되기 위해서는 최대 동적 변형량이 대략 레이져 파장의 1/6 또는 엄격히는 1/10 이하가 되는 것이 바람직하나, 종래의 이러한 구조로는 이러한 요구조건을 만족시킬 수 없다. RGB(Red, Green, Blue) 칼라를 광원으로 사용할 경우에는 최대 동적 변형량은 G 칼라(Green color)의 파장인 450nm 정도의 1/10 수준인 45nm 이하인 것이 좋다.

동적 변형량을 줄이기 위해서는 두께를 두텁게 하여 회전관성 모멘트(moment of inertia)를 크게 하는 것이 좋으나, 이는 강성이 증가하여 동일한 토크에 대하여 미러의 구동각도가 작아지는 문제점이 생기므로 바람직한 해결 방안은 아니다.

즉, 구동각도와 미러의 크기, 그리고 동적 변형량은 모두 커플링(coupling)되어 있어서 상호간 영향을 미치므로, 최적의 설계에 대한 연구가 시급한 시점이라 하겠다.

따라서 본 발명은 상술한 본 발명의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 일 목적은 미러의 크기가 크고 큰 구동각도를 가지면서도 동적 변형량이 적어서 고해상도의 화질을 구현할 수 있는 미러 구조 및 이를 포함하는 광스캐너를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 제작이 용이하며, 전력소모가 낮은 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 미러크기, 회전관성 모멘트, 구동각도 및 동적 변형 량 등 상호간 커플링 되어 있는 변수들의 최적의 설계 인자를 도출하여 미러가 고속 회전이 가능하면서도 정확한 위치에 영상신호를 주사할 수 있는 미러구조 및 이를 포함하는 광스캐너를 제공하는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 미러구조는 광원을 주사(走査)하는 스캐너의 미러 구조에 있어서, 광원을 반사하며, 진동 가능한 미러와, 상기 미러를 지지하며, 상기 미러의 진동시 중심축이 되는 회동축과, 상기 미러의 배면에 돌출 형성되되, 상기 회동축과 수직인 관계를 이루는 복수개의 수직 리브, 및 상기 회동축과 일정한 이격 거리를 가지며, 상기 수직리브와 수직인 관계를 이루는 수평 리브를 포함한다.

상기 미러는 원반 형태로서, 그 직경이 대략 1.2 내지 2.0 mm이며, 상기 수평리브의 이격거리는 0.55 내지 0.85 mm 인 것이 좋다. 또는 상기 미러는 원반 형태로서, 그 직경에 대한 상기 수평리브의 이격거리의 비가 0.4 내지 0.6인 것일 수 있다. 이 때, 상기 수직 리브의 폭은 20~40㎛, 수직 리브 간의 피치 간격은 100~140㎛, 미러의 두께는 20~40㎛, 미러와 수직리브의 두께의 합은 100~140㎛ 인 것이 바람직하다.

상기 수직 리브 및 상기 수평 리브는 상기 미러의 배면을 식각하여 형성하는 것이 바람직하며, 상기 회동축은 그 양 끝단에 축소된 직경을 구비한 스프링축을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 회동축은 그 길이가 대략 2000 내지 3000 ㎛, 상기 스프링축의 길이는 700 내지 1200㎛, 스프링축의 폭은 70 내지 120㎛ 정도인 것 이 바람직하다.

또한, 본 발명의 광스캐너는 미러와, 상기 미러를 지지하는 회동축과, 상기 회동축의 양 옆에 각각 나란히 배치된 콤축과, 상기 콤축의 측면에 돌출 형성된 다수의 콤 핑거와, 상기 콤 핑거와 정전기력이 작용하는 고정 콤과, 상기 미러의 배면에 돌출 형성되되, 상기 회동축과 수직인 관계를 이루는 복수개의 수직 리브, 및 상기 회동축과 일정한 이격 거리를 가지며, 상기 수직리브와 수직인 관계를 이루는 수평 리브를 포함한다. 이때, 상기 콤 핑거의 폭은 4 내지 10㎛, 콤 핑거의 돌출 길이는 100 내지 170㎛, 콤 핑거 사이의 갭은 2 내지 10㎛ 정도인 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하여, 미러의 크기가 크고 큰 구동각도를 가지면서도 동적 변형량이 적어서 고해상도의 화질을 구현할 수 있다. 아울러, 정전기 방식으로 구동되는 스캐너를 용이하게 제작할 수 있으며, 최적의 조건에서 설계가 가능하므로, 생산성이 우수하고 전력 소모가 작은 효과가 있다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.

또한, 본 실시예에서는 정전기 방식 스캐너의 미러 구조를 예로 들고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 외부 입력에 의해 구동되는 다양한 종류의 엑츄에이터 등에 본 구조가 광범위하게 적용될 수 있음은 명백하다.

도 2는 본 발명에 따른 미러 구조의 전면을 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 미러구조의 배면을 도시한 사시도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 미러구조(100)는 광원을 반사하는 미러(110)가 구비된다. 미러(110)는 원반 형태이며, 그 전면은 광원을 반사하는 물질로 표면이 이루어져 있다. 상기 미러(110)의 직경은 사용하고자 하는 광원의 파장에 따라 조절 가능하나 약 1.2 내지 2 mm 정도일 수 있다. 미러(110)의 배면은 수직 리브(210) 및 수평 리브(220)가 형성되어 있으며, 이에 대하여는 자세히 후술하기로 한다.

상기 미러(110)의 중심(111)을 지나는 바(bar) 형태의 회동축(120)이 형성된다. 상기 회동축(120)을 중심으로 상기 미러(110)는 외부입력에 따라 일정 주파수로 진동할 수 있다. 이때, 상기 회동축(120)은 토션(torsion)을 받으면서 변형을 일으키며 상기 미러(110)를 진동시킨다.

상기 회동축(120)은 그 양 끝단에 축소된 직경을 구비한 스프링축(121)을 포함한다. 상기 스프링축(121)은 미도시된 엥커(anchor)에 연결되어 고정된다. 상기 회동축(120)은 그 횡단면이 직사각형 형태인 직육면체 형태일 수 있다.

상기 회동축(120)과 일정 이격거리를 가지면서 나란히 형성된 콤 축(comb axis, 130)이 제공된다. 상기 콤 축(130)은 상기 회동축(120)의 양 옆으로 각각 형성되며, 상기 콤 축(130)의 측면에는 외측방향으로 다수개의 콤 핑거(comb finger, 131)가 일정 간격을 가지며 형성된다. 상기 콤 핑거(131)는 도시하지 않은 고정 콤과 인접 배치되어 있으며, 상기 고정 콤과 상호간 정전기력이 작용하여 미러(110)를 진동시킬 수 있는 구동력을 전달하는 역할을 한다.

상기 회동축(120)과 콤 축(130)은 일정 간격으로 배치된 연결축(125)에 의하 여 상호간 연결된다. 상기 연결축(125)은 상기 회동축(120) 및 콤 축(130)의 연장 방향과 직교된 방향을 이루면서 상기 회동축(120) 및 콤 축(130)을 연결한다.

상기 미러(110)의 배면에는 상기 회동축(120)과 직교되는 방향으로 다수개 형성된 수직 리브(210)와, 상기 회동축(120)과 일정한 이격거리를 가지며, 상기 수직 리브(210)와 수직한 방향으로 형성된 수평 리브(220)가 형성된다.

수직 리브와 수평 리브가 형성된 미러의 배면을 도 4에서 확대 도시하였다. 이에 도시된 바와 같이, 다수개의 수직리브(210)가 일정 폭(w)을 가지면서, 상호간 간격(g)만큼 떨어져서 배치된다. 상기 수평리브(220)는 중심축(126)의 중심으로부터 일정 이격거리(d)를 가지며 상기 수직리브(210)와 직교하도록 배치된다. 여기서, 중심축(126)이란, 미러의 중심(111)을 지나며, 회동축(120)의 중앙을 관통하는 가상의 축이다. 미설명 부호 Mt는 미러의 두께이며, t는 미러의 두께와 수직리브(210)의 높이를 합친 길이이다.

종래 기술에서 설명한 바와 같이, 상기 수직 리브의 폭(w), 수직 리브의 간격(g), 수평 리브의 이격거리(d), 미러의 두께(Mt) 및 미러와 수직 리브의 두께의 합(t) 등은 모두 구동시 회전관성 모멘트와 동적 변형량에 영향을 미치는 인자들이다. 즉, 회전관성 모멘트가 작아서 구동시 미러의 구동각도가 커야 하나, 동적 변형량이 기준치 이하여야만 한다. 전술한 바와 같이, 이러한 모순되는 요구를 모두 충족시킬 수 있는 최적의 조건을 찾아야 하는 것이다.

이를 위하여 도 5를 제시한다. 도 5는 상기 미러의 인자들의 값을 변화해 가면서 회전관성 모멘트에 따른 동적 변화량을 도시한 것이다.

바람직한 설계가 되기 위해서는 회전관성모멘트 및 동적 변형량이 모두 작아지는 인자를 추출해 내야 한다. 즉, 회전관성 모멘트가 작아서 구동시 미러의 구동각도가 일정기준 이상이 되어야 하며, 동적 변형량이 작아서 미러에서 입사 후 반사되는 광원이 원하는 위치에 주사될 수 있어야 고해상도의 화질을 얻을 수 있다. 상기 조건을 만족하는 최적의 설계치는 A점에서 이루어짐을 알 수 있다.

이러한 최적 설계를 위해서는 실험계획법 등이 사용되어 최적의 인자를 선정할 수 있다. 그 일예로, 미러의 직경이 1.2 ~ 2.0 mm인 경우, 수직 리브의 폭(w)은 20~40㎛, 수직 리브간의 피치 간격은 100~140㎛, 미러의 두께(Mt)는 20~40㎛, 미러와 수직 리브의 두께의 합(t)은 100~140㎛로 할 수 있다.

수직 리브는 실리콘의 식각에 의하여 형성하는 것이 미러의 회전관성 모멘트를 감소시키는데 도움이 된다. 그러나, 수직 리브만으로는 동적 변형량을 만족시키기 어렵다. 수직 리브는 그 상면이 미러에 연결되며, 식각에 의하여 미러의 두께는 약 20~40㎛ 정도로 감소하므로, 수직리브들을 연결하는 강성이 작기 때문이다. 따라서, 수직 리브를 직교 방향으로 연결하는 수평 리브가 필요하게 되는데, 이 경우 수평 리브를 다수개 형성하여 연결하는 것은 다시 미러의 회전관성 모멘트를 증가시키게 되므로, 원하는 구동각도를 구현할 수 없게 된다.

따라서, 본 발명에서는 수평 리브를 한 개만 구성하고, 수평 리브의 위치를 최적화하여 동적 변형량을 최소화한다. 이러한 수평 리브가 중심축과 이격된 거리(d)가 중요한 변수인데, 이를 도 6에 나타내었다.

도 6은 이격거리에 따른 동적변화량을 도시한 그래프이다. 이에 도시된 바 와 같이, 상기 미러(110)의 직경은 사용하고자 하는 광원의 파장에 따라 조절 가능하나 약 1.2 내지 2 mm 정도일 경우, 수평리브가 중심축과 이격된 거리(d)는 550 내지 850 ㎛ 정도가 적당하다.

즉, 이격거리에 따라 강성이 변화하여 동적 변형량이 변하며, 이격된 거리(d)가 550 내지 850 ㎛ 정도 특히, 700 내지 750 ㎛ 정도일 때, 동적 변화량이 최소가 되어 동적 변형량이 G 칼라(Green color)의 파장인 450nm 정도의 1/10 수준인 45nm 이하가 되는 것을 확인할 수 있다. 전술한 바와 같이, 상기 미러의 직경은 파장이나 요구되는 화질에 따라 변화할 수 있으나, 미러의 직경에 대한 이격된 거리(d)의 비는 대략 0.4 내지 0.6 정도인 것이 바람직하다. 이때, 수평리브의 폭은 20~40㎛, 수평리브의 높이는 80~110㎛ 정도이다.

또한, 미러를 최적화한 후에는 콤축 및 콤 핑거의 설계를 최적화하여 구동각도를 최대화하는 작업을 수행하여야 한다. 이러한 설계 작업을 설명하기 위하여 도 7 및 도 8을 제시한다. 도 7은 본 발명의 스프링축을 확대하여 도시한 사시도이고, 도 8은 스프링 축의 길이에 구동각도의 변화를 도시한 그래프이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 스프링축(121)의 폭을 Sw, 스프링축(121)의 길이를 SL, 콤 축(130)의 길이를 BL이라고 정의한다. 전술한 바와 같이, 상기 콤 핑거(131)는 도시하지 않은 고정 콤과 인접 배치되어 있으며, 상기 고정 콤과 상호간 정전기력이 작용하여 미러(110)를 진동시킬 수 있는 구동력을 전달하는 역할을 한다. 그리고, 상기 스프링축(121) 및 회동축(120)은 토션을 받으면서 미러(110)를 진동시키게 된다. 이때, 상기 비틀림 응력(torsional stress)은 1GPa 이하여야 한 다. 이러한 비틀림 응력에 영향을 미치는 인자는 스프링축의 폭(Sw), 스프링축의 길이(SL), 콤축의 길이(BL) 등이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 구동각도가 최대가 되면서 스프링축에서 발생하는 비틀림 응력이 최소화되어야 한다. 즉, 구동각도가 원하는 수준 이상이 되어야 하며, 비틀림 응력은 일정치 이하가 되어야 파손의 위험 등에서 안전하다.

이러한 최적 설계를 위해서는 실험계획법 등이 사용되어 최적의 인자를 선정할 수 있으며, 상기 조건을 만족하는 최적의 설계치는 B점에서 이루어짐을 알 수 있다.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 회동축의 길이가 2000 내지 3000 ㎛ 정도일 경우, 스프링축의 길이는 700 내지 1200㎛, 스프링축의 폭은 70 내지 120㎛ 정도인 것이 바람직하다. 또한, 콤 핑거의 폭은 4 내지 10㎛, 콤 핑거의 돌출 길이는 100 내지 170㎛, 콤 핑거 사이의 갭은 2 내지 10㎛ 정도인 것이 좋다.

따라서, 이와 같은 최적화된 설계로 인하여 동적 변형량이 적으면서도 동시에 구동각도 및 비틀림 응력 등이 원하는 수준을 만족시킬 수 있게 된다. 아울러, 고해상도의 화질을 제공하기 위하여 정전기 방식의 광스캐너를 용이하게 제작할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따르면 미러의 크기가 크고 큰 구동각도를 가지면서도 동적 변형량이 적어서 고해상도의 화질을 구현할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면 정전기 방식으로 구동되는 스캐너를 용이하게 제작 할 수 있으며, 최적의 조건에서 설계가 가능하므로, 생산성이 우수하고 전력 소모가 작은 효과가 있다.

또한, 미러크기, 회전관성 모멘트, 구동각도 및 동적 변형량 등 상호간 커플링 되어 있는 변수들의 최적의 설계 인자를 도출하여 미러가 고속 회전이 가능하면서도 정확한 위치에 영상신호를 주사할 수 있어서 고해상도의 화질을 구현할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

광원을 주사(走査)하는 스캐너의 미러 구조에 있어서,

광원을 반사하며, 진동 가능한 미러;

상기 미러를 지지하며, 상기 미러의 진동시 중심축이 되는 회동축;

상기 미러의 배면에 돌출 형성되되, 상기 회동축과 수직인 관계를 이루는 복수개의 수직 리브; 및

상기 회동축과 일정한 이격 거리를 가지며, 상기 수직리브와 수직인 관계를 이루는 수평 리브;

를 포함하는 미러 구조.
제1항에 있어서,

상기 미러는 원반 형태로서, 그 직경이 대략 1.2 내지 2.0 mm이며, 상기 수평리브의 이격거리는 0.55 내지 0.85 mm 인 것을 특징으로 하는 미러 구조.
제2항에 있어서,

상기 수직 리브의 폭은 20~40㎛, 수직 리브 간의 피치 간격은 100~140㎛, 미러의 두께는 20~40㎛, 미러와 수직리브의 두께의 합은 100~140㎛ 인 것을 특징으로 하는 미러 구조.
제1항에 있어서,

상기 미러는 원반 형태로서, 그 직경에 대한 상기 수평리브의 이격거리의 비가 0.4 내지 0.6인 것을 특징으로 하는 미러 구조.
제 4항에 있어서,

상기 수직 리브의 폭은 20~40㎛, 수직 리브 간의 피치 간격은 100~140㎛, 미러의 두께는 20~40㎛, 미러와 수직리브의 두께의 합(t)은 100~140㎛ 인 것을 특징으로 하는 미러 구조.
제 1항에 있어서,

상기 수직 리브 및 상기 수평 리브는 상기 미러의 배면을 식각하여 형성한 것을 특징으로 하는 미러 구조.
제 1항에 있어서,

상기 회동축은 그 양 끝단에 축소된 직경을 구비한 스프링축을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미러 구조.
제 7항에 있어서,

상기 회동축은 그 길이가 대략 2000 내지 3000 ㎛, 상기 스프링축의 길이는 700 내지 1200㎛, 스프링축의 폭은 70 내지 120㎛ 정도인 것을 특징으로 하는 미러 구조.
미러;

상기 미러를 지지하는 회동축;

상기 회동축의 양 옆에 각각 나란히 배치된 콤축;

상기 콤축의 측면에 돌출 형성된 다수의 콤 핑거;

상기 콤 핑거와 정전기력이 작용하는 고정 콤;

상기 미러의 배면에 돌출 형성되되, 상기 회동축과 수직인 관계를 이루는 복수개의 수직 리브; 및

상기 회동축과 일정한 이격 거리를 가지며, 상기 수직리브와 수직인 관계를 이루는 수평 리브;

를 포함하는 광스캐너.
제 9항에 있어서,

상기 미러는 원반 형태로서, 그 직경이 대략 1.2 내지 2.0 mm이며, 상기 수평리브의 이격거리는 0.55 내지 0.85 mm 인 것을 특징으로 하는 광스캐너.
제 10항에 있어서,

상기 수직 리브의 폭은 20~40㎛, 수직 리브 간의 피치 간격은 100~140㎛, 미러의 두께는 20~40㎛, 미러와 수직리브의 두께의 합은 100~140㎛ 인 것을 특징으로 하는 광스캐너.
제9항에 있어서,

상기 미러는 원반 형태로서, 그 직경에 대한 상기 수평리브의 이격거리의 비가 0.4 내지 0.6인 것을 특징으로 하는 광스캐너.
제9항에 있어서,

상기 회동축은 그 양 끝단에 축소된 직경을 구비하며 연장되는 스프링축을 포함하는 것을 특징으로 하는 광스캐너.
제9항에 있어서,

상기 회동축의 길이가 2000 내지 3000 ㎛ 정도이고, 스프링축의 길이는 700 내지 1200㎛, 스프링축의 폭은 70 내지 120㎛ 정도인 것을 특징으로 하는 광스캐너.
제14항에 있어서,

상기 콤 핑거의 폭은 4 내지 10㎛, 콤 핑거의 돌출 길이는 100 내지 170㎛, 콤 핑거 사이의 갭은 2 내지 10㎛ 정도인 것을 특징으로 하는 광스캐너.
제9항에 있어서,

상기 수직 리브 및 상기 수평 리브는 상기 미러의 배면을 식각하여 형성한 것을 특징으로 하는 광스캐너.