KR100706629B1 - A pendulum-type sensing device - Google Patents

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KR100706629B1
KR100706629B1 KR1020050118727A KR20050118727A KR100706629B1 KR 100706629 B1 KR100706629 B1 KR 100706629B1 KR 1020050118727 A KR1020050118727 A KR 1020050118727A KR 20050118727 A KR20050118727 A KR 20050118727A KR 100706629 B1 KR100706629 B1 KR 100706629B1
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pendulum
sensor
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detector
center
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KR1020050118727A
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오상택
이재일
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주식회사 디엠에스
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Abstract

본 발명은, 지지부; 상기 지지부에 장착되는 감지기를 구비하는 감지부; 상기 지지부에 장착되는 힌지부; 및 회전 로울러와, 상기 힌지부를 중심으로 상기 지지부에 회전 가능하게 장착되는 진자 연결부와, 상기 진자 연결부의 일측으로부터 연장되어 일단에 상기 회전 로울러가 장착되는 진자 로울러 아암과, 상기 진자 연결부의 타측으로부터 연장되는 하나 이상의 진자 연장 아암과, 상기 진자 연장 아암의 단부 중 하나 이상에 배치되는 피감지기를 구비하는 진자부;를 포함하고, 상기 진자부의 정지 상태시 상기 피감지기는 상기 감지기의 감지 범위 밖에 배치되며, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과, 상기 힌지부 중심 및 상기 피감지기를 잇는 선분 사이에는 사이각이 형성되는 진자 센서 장치를 제공한다. The present invention, the support; A detector having a detector mounted to the support; A hinge part mounted to the support part; And a rotary roller, a pendulum connecting portion rotatably mounted to the support portion around the hinge portion, a pendulum roller arm extending from one side of the pendulum connecting portion and mounted with the rotary roller at one end thereof, and extending from the other side of the pendulum connecting portion. And a pendulum unit having at least one pendulum extension arm and a sensor to be disposed at at least one of the ends of the pendulum extension arm, wherein the sensor is disposed outside the sensing range of the sensor when the pendulum is stationary. And a pendulum sensor device having an angle formed between a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity and a line segment connecting the hinge center and the sensor to be sensed.

본 발명에 따른 진자 센서 장치는 외부 진동과 같은 원치 않는 진동으로 인하여 자유 상태로 회전 가능하게 장착된 진자부의 미소 진동 운동에 의한 센서 장치의 오인식을 방지하거나 또는 센서 장치의 오인식율을 현저하게 저감시켜 진자 센서 장치의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.The pendulum sensor device according to the present invention prevents the misunderstanding of the sensor device due to the micro-vibration movement of the pendulum mounted rotatably in a free state due to unwanted vibration such as external vibration, or significantly reduces the false recognition rate of the sensor device. The reliability of the pendulum sensor device can be improved.

Description

진자 센서 장치{A PENDULUM-TYPE SENSING DEVICE}Pendulum sensor device {A PENDULUM-TYPE SENSING DEVICE}

도 1은 종래 기술에 따른 진자 센서의 상태를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic diagram showing a state of a pendulum sensor according to the prior art.

도 2a는 본 발명의 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 개략적인 사시도이다.2A is a schematic perspective view of a pendulum sensor device according to an embodiment of the present invention.

도 2b는 도 2a의 일부분에 대한 개략적인 부분 분해 사시도이다.FIG. 2B is a schematic partial exploded perspective view of a portion of FIG. 2A.

도 2c는 도 2a의 일부분에 대한 개략적인 부분 분해 사시도이다.FIG. 2C is a schematic partial exploded perspective view of a portion of FIG. 2A. FIG.

도 2d는 본 발명의 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 작동 상태를 나타내는 개략적인 작동 상태도이다.Figure 2d is a schematic operating state diagram showing the operating state of the pendulum sensor device according to an embodiment of the present invention.

도 3a는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 개략적인 사시도이다.Figure 3a is a schematic perspective view of a pendulum sensor device according to another embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 진자부에 대한 개략적인 정면도이다.Figure 3b is a schematic front view of the pendulum of the pendulum sensor device according to another embodiment of the present invention.

도 3c는 도 3a의 일부분에 대한 개략적인 부분 분해 사시도이다.3C is a schematic partial exploded perspective view of a portion of FIG. 3A.

도 4a는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 정상 회전 작동 상태를 나타내는 개략적인 작동 상태도이다.Figure 4a is a schematic operation state diagram showing a normal rotation operation state of the pendulum sensor device according to another embodiment of the present invention.

도 4b는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 미소 진동 운동 상태를 나타내는 개략적인 작동 상태도이다.Figure 4b is a schematic operating state diagram showing a micro-vibration movement state of the pendulum sensor device according to another embodiment of the present invention.

도 4c는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 진자부에 대한 변형예를 나타내는 개략적인 정면도이다.Figure 4c is a schematic front view showing a modification to the pendulum portion of the pendulum sensor device according to another embodiment of the present invention.

도 4d는 본 발명의 진자부에 대한 변형예를 나타내는 개략적인 정면도이다.4D is a schematic front view showing a modification of the pendulum portion of the present invention.

도 5는 본 발명의 진자 센서 장치의 진자부에 대한 변형예를 나타내는 개략적인 분해 사시도이다.5 is a schematic exploded perspective view showing a modification of the pendulum portion of the pendulum sensor device of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* * Explanation of symbols for main parts of drawings *

10,10'...진자 센서 장치 100...지지부10,10 '... pendulum sensor unit 100 ... support

110...지지축 111...지지축 연결구110 ... Support shaft 111 ... Support shaft end connection

112...감지기 배치홈 113...힌지 고정구112 Detector mounting groove 113 Hinge fixture

120...지지 연장부 121...지지 연장부 연결구120 ... support extension 121 ... support extension end connection

130...지지 고정부 131...지지 고정부 연결구130 ... Support fixture 131 ... Support fixture end connection

141...지지 연결 부재 200...힌지부141.Support connection member 200 ... Hinge section

210...힌지 고정 부재 211...나사홈210 ... Hinge retaining member 211 ... Screw groove

220...힌지 슬리브 300,300',300",300a...진자부220 ... Hinge sleeve 300,300 ', 300 ", 300a ... Pendulum

310,310',310",310a...진자 로울러 아암 320,320',320",320a...진자 연결부310,310 ', 310 ", 310a ... Pendulum Roller Arm 320,320', 320", 320a ... Pendulum Connection

330,330',330",330a...진자 연장 아암 340,340',340",340a...회전 로울러330,330 ', 330 ", 330a ... Pendulum extension arm 340,340', 340", 340a ... rotating roller

350,350',350",350a...피감지기 400...감지부350,350 ', 350 ", 350a ... detector 400 ... detector

410...감지기 420...감지기 라인410 detectors 420 detector lines

본 발명은 진자 센서 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 원치 않는 외란으로 인한 오인식 내지 오작동을 방지하기 위한 구조의 진자 센서 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pendulum sensor device, and more particularly, to a pendulum sensor device of a structure for preventing misunderstanding or malfunction due to unwanted disturbance.

진자 센서기는 힌지점을 중심으로 회전하는 진자와 진자의 운동 여부를 감지하는 감지기로 구성되는 센서기로서, 특히 기판과 같은 작업 대상체가 기판 이송 내지 처리 장치와 같은 각종 기계로의 인입 내지 이송 여부를 판단할 수 있는 신호를 출력하는 장치이다. Pendulum sensor is composed of a sensor that detects the movement of the pendulum and the pendulum rotates around the hinge point, and in particular, whether a work object such as a substrate transfer or transfer to a variety of machines, such as substrate transfer or processing device It is a device that outputs a signal that can be judged.

대한민국 등록실용신안공보 제 2004-6265호에는 종래 기술에 따른 진자 센서의 개략적인 구조가 개시되어 있는데, 이와 같은 종래 기술에 따른 진자 센서는 수직 부재, 수직 부재의 상단에 배치되는 롤러, 수직 부재 하단에 배치되는 자석, 자석과 이격 배치되는 자기 센서를 구비하는데, 이는 간단한 구조로 우수한 감지 기능을 수행할 수 있다는 장점을 갖는다.Republic of Korea Utility Model Publication No. 2004-6265 discloses a schematic structure of a pendulum sensor according to the prior art, the pendulum sensor according to the prior art is a vertical member, a roller disposed on the top of the vertical member, the bottom of the vertical member It has a magnet disposed in, and a magnetic sensor spaced apart from the magnet, which has the advantage that it can perform an excellent sensing function with a simple structure.

하지만, 종래 기술에 따른 진자 센서에 대하여 원치 않는 외란이 발생하는 경우 이에 대한 오인식 내지 오작동의 문제가 끊임없이 제기되어 왔다. 도 1에는 종래 기술에 따른 진자 센서의 개략적인 정면도가 도시되어 있다. 종래 기술에 따른 진자 센서(1)는 힌지(2)를 기준으로 회전하는 수직 부재(3)와, 수직 부재(3)의 상단에 배치된 롤러(4), 하단에 배치되는 자석(6) 및 자석(6)과 이격 배치되는 자기 센서(5)가 구비되는데, 자기 센서(5)의 감지 범위는 도면 부호 "As"로 표시하였다. 기판 이송 장치와 같은 기계 장치에 있어, 기판을 이송하기 위한 원동력 장치, 즉 모터 등을 작동시키는 과정 내지 인접한 기계 장치로 부터 발생한 진동과 같은 원치 않는 외란이 발생하는 경우, 힌지(2)에 의하여 자유 회전 상태로 배치된 수직 부재(3)는 미소 진동 운동과 같은 작은 각도(α)의 회전 운동을 이루게 된다. 따라서, 이와 같은 원치 않는 외란에 의한 수직 부재(3)의 미소 진동 운동이 발생하는 경우, 수직 부재(3)의 하단에 장착된 자석(6)도 함께 힌지(2)를 기준으로 미소 진동 운동을 하게 된다. 이때, 자석(6)의 운동에 의하여 자기 센서(5)에는 자계의 변화가 발생하는데, 이와 같은 자계 변화에 의하여 자기 센서(5)는 수직 부재(3)가 정상 회전 상태, 즉 기판이 이송되는 상태로 인식하게 될 수 있다. 따라서, 사전 설정되지 않는 타이밍에 원치 않는 위치에서 기판이 이송되는 것으로 제어부(미도시)가 판단하여 기판 이송 장치 내지 전체적인 기판 처리 시스템의 작동을 정지시킬 우려가 있으며, 이는 기판 등의 생산 수율을 현저하게 저하시키는 문제점을 수반할 수도 있다.However, when an unwanted disturbance occurs in the pendulum sensor according to the prior art, problems of misunderstanding or malfunction have been raised constantly. 1 shows a schematic front view of a pendulum sensor according to the prior art. The pendulum sensor 1 according to the related art includes a vertical member 3 rotating about the hinge 2, a roller 4 disposed at the top of the vertical member 3, a magnet 6 disposed at the bottom, and A magnetic sensor 5 is provided that is spaced apart from the magnet 6, and the detection range of the magnetic sensor 5 is indicated by reference numeral "As". In a mechanical device, such as a substrate transfer device, when the unwanted disturbance, such as a driving force for transferring a substrate, that is, a process of operating a motor or the like, or vibration generated from an adjacent mechanical device occurs, the hinge 2 frees it. The vertical member 3 disposed in the rotational state achieves a rotational movement of a small angle α such as a micro vibrational movement. Therefore, when the micro vibration movement of the vertical member 3 occurs due to such unwanted disturbance, the magnet 6 mounted on the lower end of the vertical member 3 also performs the micro vibration movement with respect to the hinge 2 together. Done. At this time, a magnetic field change occurs in the magnetic sensor 5 due to the movement of the magnet 6. As a result of the magnetic field change, in the magnetic sensor 5, the vertical member 3 is normally rotated, that is, the substrate is transferred. Can be perceived as a state. Therefore, the controller (not shown) may determine that the substrate is transferred at an undesired timing at an unprecedented timing, and there is a risk of stopping the operation of the substrate transfer apparatus or the entire substrate processing system. It may be accompanied by a problem of deterioration.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 외란으로 인한 오인식 또는 오작동을 방지 내지 현저하게 저하시킬 수 있는 구조의 진자 센서 장치를 제공함을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a pendulum sensor device having a structure capable of preventing or significantly reducing misrecognition or malfunction due to disturbance.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 지지부; 상기 지지부에 장착되는 감지기를 구비하는 감지부; 상기 지지부에 장착되는 힌지부; 및 회전 로울러와, 상기 힌지부를 중심으로 상기 지지부에 회전 가능하게 장착되는 진자 연결부와, 상기 진자 연결부의 일측으로부터 연장되어 일단에 상기 회전 로울러가 장착되는 진자 로울러 아암과, 상기 진자 연결부의 타측으로부터 연장되는 하나 이상의 진자 연장 아암과, 상기 진자 연장 아암의 단부 중 하나 이상에 배치되는 피감지기를 구비하는 진자부;를 포함하고, 상기 진자부의 정지 상태시 상기 피감지기는 상기 감지기의 감지 범위 밖에 배치되며, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과, 상기 힌지부 중심 및 상기 피감지기를 잇는 선분 사이에는 사이각이 형성되는 진자 센서 장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object, a support; A detector having a detector mounted to the support; A hinge part mounted to the support part; And a rotary roller, a pendulum connecting portion rotatably mounted to the support portion around the hinge portion, a pendulum roller arm extending from one side of the pendulum connecting portion and mounted with the rotary roller at one end thereof, and extending from the other side of the pendulum connecting portion. And a pendulum unit having at least one pendulum extension arm and a sensor to be disposed at at least one of the ends of the pendulum extension arm, wherein the sensor is disposed outside the sensing range of the sensor when the pendulum is stationary. And a pendulum sensor device having an angle formed between a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity and a line segment connecting the hinge center and the sensor to be sensed.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 진자 연장 아암은 한 개가 구비되고, 상기 진자 로울러 아암, 상기 진자 연장부 및 상기 진자 연장 아암은 호상(弧狀)으로 배치될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, one pendulum extension arm may be provided, and the pendulum roller arm, the pendulum extension part and the pendulum extension arm may be arranged in an arc shape.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 진자 연장 아암은 두 개가 구비되고, 상기 두 개의 진자 연장 아암은, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분을 중심으로 대칭적으로 배치되고, 상기 진자부는 역 Y 자 구조로 형성될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, two pendulum extension arms are provided, the two pendulum extension arms are symmetrically disposed about a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity, and the pendulum unit It may be formed into an inverted Y structure.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 피감지기는 상기 두 개의 진자 연장 아암 중 어느 하나의 일단에 배치될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, the sensor may be disposed at one end of one of the two pendulum extension arms.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 피감지기는 상기 두 개의 진자부 연장 아암의 일단에 각각 배치될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, the probes may be disposed at one ends of the two pendulum extension arms, respectively.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 진자 연장 아암은 두 개 이상이 구비되되, 상기 두 개 이상의 진자 연장 아암은 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분을 중심으로 비대칭적으로 배치될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, two or more pendulum extension arms may be provided, and the two or more pendulum extension arms may be asymmetrically disposed about a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity. .

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 감지기는 금속 근접 감지기이고, 상기 피감지기는 SUS일 수도 있다.According to the pendulum sensor device, the detector may be a metal proximity detector, and the detector may be SUS.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 감지기는 마그네트 근접 감지기이고, 상기 피감지기는 자석일 수도 있다.According to the pendulum sensor device, the detector may be a magnet proximity sensor, and the sensor may be a magnet.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과 상기 힌지부 중심 및 상기 피감지기를 잇는 선분 사이의 사이각은 25°내지 55°일 수도 있다.According to the pendulum sensor device, an angle between a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity and a line segment connecting the hinge center and the sensor to be sensed may be 25 ° to 55 °.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 진자 연결부, 상기 진자 로울러 아암 및 상기 진자 연장 아암은 일체로 형성될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, the pendulum connecting portion, the pendulum roller arm and the pendulum extension arm may be integrally formed.

상기 진자 센서 장치에 따르면, 상기 진자 연결부, 상기 진자 로울러 아암 및 상기 진자 연장 아암은 분리 합체 가능하게 형성될 수도 있다.According to the pendulum sensor device, the pendulum connecting portion, the pendulum roller arm and the pendulum extension arm may be formed to be separated and coalesced.

본 발명의 다른 일면에 따르면, 피감지기를 구비하는 지지부; 상기 지지부에 장착되는 힌지부; 상기 힌지부를 중심으로 상기 지지부에 회전 가능하게 장착되고, 일단에 회전 로울러를 구비하는 진자부; 및 상기 진자부의 타단에 장착되는 감지기를 구비하는 감지부;를 포함하고, 상기 진자부의 정지 상태시 상기 피감지기는 상기 감지기의 감지 범위 밖에 위치되며, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과, 상기 힌지부 중심 및 상기 감지기를 잇는 선분 사이에는 사이각이 형성되는 진자 센서 장치를 제공할 수도 있다.According to another aspect of the invention, the support having a sensor; A hinge part mounted to the support part; A pendulum portion rotatably mounted to the support portion around the hinge portion and having a rotary roller at one end thereof; And a sensing unit having a sensor mounted at the other end of the pendulum unit, wherein the sensing unit is located outside the sensing range of the sensor when the pendulum unit is in a stopped state, and connects the hinge center and the pendulum center of gravity. It is also possible to provide a pendulum sensor device in which an angle is formed between a line segment and a line segment connecting the center of the hinge portion and the detector.

이하에서는 본 발명에 따른 진자 센서 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a pendulum sensor device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2a에는 본 발명의 일실시예에 따른 진자 센서(10)의 개략적인 사시도가 도시되어 있고, 도 2b 및 도 2c에는 본 발명의 일실시예에 따른 진자 센서(10)의 개략적인 부분 분해 사시도가 도시되어 있다. 본 발명의 일실시예에 따른 진자 센서(10)는 지지부(100), 힌지부(200), 진자부(300) 및 감지부(400)를 구비한다. 2A is a schematic perspective view of a pendulum sensor 10 according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2B and 2C are schematic partial exploded perspective views of a pendulum sensor 10 according to an embodiment of the present invention. Is shown. The pendulum sensor 10 according to an embodiment of the present invention includes a support part 100, a hinge part 200, a pendulum part 300, and a sensing part 400.

지지부(100)는 기판(미도시)의 처리 공정을 위한 기판 이송 장치(미도시)의 일측에 부착된다. 지지부(100)는 지지축(110)과, 지지 연장부(120), 지지 고정부(130) 및 지지 연결 부재(140)를 구비한다. 지지축(110)은 하기되는 바와 같이 진자부를 장착하고, 지지 고정부(130)는 지지 고정구(132)를 관통하는 체결 부재(미도시)를 통하여 지지축(110)을 기판 이송 장치(미도시)에 고정시키는 역할을 수행하며, 지지 연장부(120)는 지지축(110)을 지지 고정부(130)와 연결시키되 지지축(110)을 기판 이송 장치(미도시) 측으로부터 일정 간격을 두고 배치될 수 있도록 함으로써, 진자부(미도시)의 원활한 진자 운동을 가능하게 한다. The support part 100 is attached to one side of a substrate transfer device (not shown) for the treatment process of the substrate (not shown). The support part 100 includes a support shaft 110, a support extension part 120, a support fixing part 130, and a support connecting member 140. The support shaft 110 mounts a pendulum as described below, and the support fixing portion 130 moves the support shaft 110 through a fastening member (not shown) passing through the support fixture 132 (not shown). ) And the support extension part 120 connects the support shaft 110 with the support fixing portion 130, but with the support shaft 110 spaced apart from the substrate transfer device (not shown). By being arranged, a smooth pendulum movement of the pendulum part (not shown) is possible.

지지축(110), 지지 연장부(120) 및 지지 고정부(130)에는 각각 지지축 연결구(111), 지지 연장부 연결구(121) 및 지지 고정부 연결구(131)가 형성되어, 예를 들어 볼트와 같은 지지 연결 부재(141)를 통하여 기판 이송 장치에 고정 장착된다. 여기서, 지지축, 지지 연장부 및 지지 고정부는 서로 분리 형성되는 것으로 도시되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 일예로서 이들이 일체로 형성될 수도 있고 별도의 지지 연결 부재가 아닌 지지축, 지지 연결 부재 내지 지지 고정부에 일체로 형성된 결합 부재로 구성될 수도 있는 등 다양한 설계 변형이 가능하다. The support shaft 110, the support extension part 120, and the support fixing part 130 are formed with a support shaft connector 111, a support extension connector 121, and a support fixture connector 131, respectively. It is fixedly mounted to the substrate transfer device via a support connecting member 141 such as a bolt. Here, the support shaft, the support extension and the support fixing portion are shown to be separated from each other, which is an example for explaining the present invention, they may be formed integrally, but not a separate support connecting member, support shaft, support connecting member to Various design variations are possible, such as being composed of a coupling member integrally formed in the support fixture.

도 2b에는 지지축(110)의 상단부에 대한 개략적인 사시도가 도시되어 있다. 지지축(110)에 형성된 지지축 연결구(111)의 인접 상부에는 하기되는 감지기가 수용되는 감지기 배치홈(112)이 구비된다. 감지기 배치홈(112)의 상단에는 진자부(300)를 회전 가능하게 고정할 수 있도록 힌지부(200)를 수용하는 힌지 고정구(113)가 구비된다. 힌지부(200)는 지지축(110)에 장착된다. 힌지부(200)는 힌지 고정 부재(210)와 힌지 슬리브(220)를 구비하는데, 힌지 고정 부재(210)는 중공 원통형의 힌지 슬리브(220)를 관통하여 지지축(110)의 상단부에 형성된 힌지 고정구(113)에 체결되어 장착된다. 힌지 슬리브(220)는 하기되는 진자부(300)에 형성된 힌지부 관통구(321)를 관통하여 배치됨으로써, 힌지 고정 부재(210)와 진자부(300) 간의 상대 회전 운동으로 인한 구성 요소의 손상을 방지할 수도 있다. 힌지 고정 부재(210)의 상단부에는 나사홈(211)이 형성되어, 힌지 고정 부재(210)를 힌지 고정구(113)에 체결시키는 작업이 보다 용이하게 이루어지게 할 수도 있다. 2b shows a schematic perspective view of the upper end of the support shaft 110. A detector arranging groove 112 is provided at an adjacent upper portion of the support shaft connector 111 formed at the support shaft 110 to accommodate the following detector. The upper end of the detector arrangement groove 112 is provided with a hinge fixture 113 for receiving the hinge portion 200 so as to rotatably fix the pendulum portion 300. The hinge part 200 is mounted to the support shaft 110. Hinge 200 has a hinge fixing member 210 and a hinge sleeve 220, the hinge fixing member 210 is a hinge formed through the hollow cylindrical hinge sleeve 220 at the upper end of the support shaft 110 Fastened to the fastener 113 is mounted. The hinge sleeve 220 is disposed to penetrate through the hinge part through hole 321 formed in the pendulum part 300 to be described below, thereby damaging components due to the relative rotational movement between the hinge fixing member 210 and the pendulum part 300. It can also prevent. A screw groove 211 is formed at the upper end of the hinge fixing member 210, so that the operation of fastening the hinge fixing member 210 to the hinge fixture 113 may be more easily performed.

도 2b에서 힌지 고정 부재(210)는 외주면에 나사산이 형성된 볼트로, 그리고 힌지 고정구(113)는 내측면에 나사산이 형성된 암나사 구조를 취하고 힌지 고정 부재(210)가 힌지 슬리브(220)를 관통하여 배치되는 구조를 취하는 것으로 도시되었으나, 이는 본 발명의 일예로서 본 발명이 이에 국한되지 않는다. 즉, 힌지 고정 부재는 쐐기 형상의 체결 부재로 채택되고 힌지 고정 부재가 힌지 슬리브를 관통하지 않고 직접 힌지부 관통구를 관통하여 힌지 고정구에 장착되는 구조를 취할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다. In FIG. 2B, the hinge fixing member 210 is a bolt having a thread formed on an outer circumferential surface thereof, and the hinge fixing member 113 has a female screw structure having a thread formed on an inner side thereof, and the hinge fixing member 210 penetrates the hinge sleeve 220. Although shown as having a structure that is arranged, this is an example of the present invention is not limited thereto. That is, the hinge fixing member may be adopted as a wedge-shaped fastening member, and the hinge fixing member may have a structure in which the hinge fixing member may be mounted to the hinge fixture by directly penetrating through the hinge part through hole without passing through the hinge sleeve.

진자부(300)는 힌지부(200)를 통하여 지지축(110)에 회전 가능하게 장착된다. 진자부(300)는 회전 로울러(340), 진자 연결부(320), 진자 로울러 아암(310), 진자 연장 아암(330) 및 피감지기(350)를 구비한다. The pendulum part 300 is rotatably mounted to the support shaft 110 through the hinge part 200. Pendulum portion 300 includes a rotary roller 340, a pendulum connection 320, a pendulum roller arm 310, a pendulum extension arm 330 and a sensor 350.

진자 연결부(320)에는 힌지부 관통구(321)가 형성되어 힌지부(200)의 힌지 슬리브(220) 및 힌지 고정 부재(210)가 이를 관통하여 배치됨으로써, 진자부(300)가 지지축(110)에 대하여 상대 회전 운동 가능하다. 진자 연결부(320)의 일측에는 진자 로울러 아암(310)이 형성된다. 진자 로울러 아암(310)에는 로울러 장착구(311)가 형성된다. 회전 로울러 장착 부재(341)가 회전 로울러(340)를 관통하여 진자부(300)의 진자 로울러 아암(310)에 형성된 회전 로울러 장착구(311)에 체결된다. 회전 로울러(340)는 이를 관통하여 진자 로울러 아암(310)의 회전 로울러 장착구(311)에 장착된 회전 로울러 장착 부재(341) 상에서 자유롭게 회전 가능하다. 또한, 경우에 따라서 회전 로울러 장착 부재 이외에 회전 로울러 슬리브가 더 구비되어 회전 로울러 장착구 및 회전 로울러 장착 부재 사이의 원활한 회전을 가능하게 할 수도 있다. The pendulum connecting portion 320 has a hinge part through hole 321 formed therein so that the hinge sleeve 220 and the hinge fixing member 210 of the hinge part 200 are disposed therethrough, so that the pendulum part 300 supports the support shaft ( Relative rotational movement is possible. A pendulum roller arm 310 is formed at one side of the pendulum connecting part 320. The pendulum roller arm 310 is provided with a roller mounting opening 311. The rotary roller mounting member 341 penetrates through the rotary roller 340 and is fastened to the rotary roller mounting hole 311 formed in the pendulum roller arm 310 of the pendulum portion 300. The rotary roller 340 is rotatable freely on the rotary roller mounting member 341 mounted to the rotary roller mount 311 of the pendulum roller arm 310 through it. In addition, in some cases, in addition to the rotary roller mounting member, a rotary roller sleeve may be further provided to enable smooth rotation between the rotary roller mounting hole and the rotary roller mounting member.

진자 연장 아암(330)은 진자 연결부(320)의 타측으로부터 연장 형성된다. 여기서, 진자 연장 아암(330)은 한 개가 구비되고, 다른 구성 요소와의 간섭을 배제하고 제조가 용이하게 형성될 수 있도록 진자 로울러 아암(310), 진자 연결부(320) 및 진자 연장 아암(330)은 호상(弧狀)으로 배치된다.Pendulum extension arm 330 extends from the other side of pendulum connection 320. Here, one pendulum extension arm 330 is provided, and the pendulum roller arm 310, the pendulum connecting part 320, and the pendulum extension arm 330 can be easily formed to exclude interference with other components. Are arranged in an arc shape.

진자 연장 아암(330)의 일측에는 차후 설명되는 피감지기(350)가 장착되는 피감지기 장착구(331)가 형성된다. On one side of the pendulum extension arm 330 is a sensor mounting hole 331 to which the sensor 350 described later is mounted.

감지부(400)는 감지기(410)와 감지기 라인(420)을 구비한다. 감지기(410)는 피감지기(350)에 의하여 발생하는 신호를 출력하고, 감지기 라인(420)은 감지기 (410)로부터 생성된 출력 신호를 제어기(미도시)로 전달한다. 여기 도시되지는 않았으나, 감지기(410)로부터 생성되는 출력 신호는 제어부로 전달됨으로써, 제어부는 진자 센서의 작동 여부를 판단하여 이로부터 기판의 원활한 이송 여부 등의 기판 이송 정보를 판단한다. 감지기(410)는 피감지기(350)의 인접 유무에 따라 ON/OFF 작동 신호를 출력하는 근접 센서로 구성되며, 감지기(410)의 작동 신호 설정은 설계 사양에 따라 NO접점방식(Normally open type)으로 구성하거나 또는 NC접점방식(Normally close type)으로 구성할 수도 있다. 본 실시예에서 피감지기(350)는 SUS와 같은 금속 재료가 사용되었고, 감지기(410)로는 금속 근접 감지기가 사용되었다. 이와 같은 구성은, 구조 및 설계를 단순화시키고 제조 원가를 저하시킬 수 있다는 장점이 있다. 하지만, 본 발명이 이에 국한되지 않고, 피감지기(350)를 자석으로 구성하고 감지기(410)를 자석의 자계 변화를 감지하는 마그네트 근접 감지기로 구성할 수도 있는 등, 필요 설계 사양에 따라 다양한 선택이 가능하다. The detector 400 includes a detector 410 and a detector line 420. The detector 410 outputs a signal generated by the detector 350, and the detector line 420 transmits an output signal generated from the detector 410 to a controller (not shown). Although not shown here, the output signal generated from the detector 410 is transmitted to the controller, so that the controller determines whether the pendulum sensor is operated and determines substrate transfer information such as whether the substrate is smoothly transferred. Detector 410 is composed of a proximity sensor that outputs the ON / OFF operation signal according to the presence or absence of the sensing object 350, the operation signal setting of the detector 410 is NO contact method (Normally open type) according to the design specification It may be configured as or by NC contact method (Normally close type). In the present embodiment, the detector 350 is made of a metal material such as SUS, and the metal proximity sensor is used as the detector 410. Such a configuration has the advantage of simplifying the structure and the design and lowering the manufacturing cost. However, the present invention is not limited thereto, and various selections may be made according to a required design specification, such as configuring the sensor 350 as a magnet and configuring the sensor 410 as a magnet proximity sensor for detecting a magnetic field change of the magnet. It is possible.

도 2d에는 본 발명의 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 작동 상태를 설명하기 위한 개략적인 도면이 도시되어 있다. 여기서, 발명의 설명을 용이하게 하기 위하여 지지부와 같은 일부 구성 요소의 도시는 제외하였다. 여기서 진자 센서 장치, 즉 진자부의 무게 중심은 도면 부호 "G"로 표시하였고, 진자 센서 장치의 정지 상태는 실선으로, 정상 작동 상태, 즉 회전 상태는 점선으로 표시하였다. 감지기(410)의 감지 범위(S)는 반경 r을 이루는 것으로 도시하였다. 힌지부(200)와 무게 중심(G)을 잇는 선분 중, 진자부의 정지 상태시의 선분은 선 O-O로, 회전 상태시는 선 A-A로, 미소 진동 운동 상태시는 선 B-B로 표시하였다. 또한, 힌지부(200)의 중심과 피감지기(350)를 잇는 선분은 선 C-C로 표시하였다. 힌지부(200)와 무게 중심(G)을 연결하는 선분인 선 O-O 및 무게 중심(G)과 피감지기(350)를 연결하는 선분인 선 C-C 사이에는 사이각(γ)이 존재한다. 사이각(γ)이 과도하게 큰 경우, 감지기(400)가 피감지기(350)를 인식하기 곤란하여 기판 이송 장치로 인입되는 기판의 이송 여부를 판독하기 어렵다. 반면, 사이각(γ)이 과도하게 작은 경우, 외란 진동에 의하여 진자부(300)가 미소 진동 운동을 하게 되는 경우, 피감지기(350)가 감지기(400)의 범위(S) 내에 인입되기 용이하여 오인식의 우려가 증대되므로, 사이각(γ)은 설계 사양에 따라 적절하게 선택되는 것이 바람직하다. Figure 2d is a schematic diagram for explaining the operating state of the pendulum sensor device according to an embodiment of the present invention. Here, some components, such as supports, are omitted for ease of explanation of the invention. Here, the pendulum sensor device, that is, the center of gravity of the pendulum part is denoted by reference numeral “G”, and the stationary state of the pendulum sensor device is indicated by a solid line, and a normal operating state, that is, a rotation state is indicated by a dotted line. The detection range S of the detector 410 is shown to form a radius r. Among the line segments connecting the hinge portion 200 and the center of gravity G, the line segment in the stationary state of the pendulum portion is indicated by line O-O, the line A-A in the rotation state, and the line B-B in the micro vibration state. In addition, the line segment connecting the center of the hinge portion 200 and the sensor 350 is represented by a line C-C. An angle γ is present between the line O-O which is a line segment connecting the hinge part 200 and the center of gravity G, and a line C-C which is a line segment connecting the center of gravity G and the sensor 350. If the angle γ is excessively large, it is difficult for the sensor 400 to recognize the sensing object 350, so that it is difficult to read whether the substrate introduced into the substrate transfer device is transferred. On the other hand, when the angle γ is excessively small, when the pendulum portion 300 makes a small vibration movement due to disturbance vibration, the detector 350 is easily introduced into the range S of the sensor 400. Therefore, the fear of misrecognition increases, so it is preferable that the angle? Is appropriately selected according to the design specification.

진자 센서 장치(10)의 정지 상태, 보다 구체적으로 진자부(300)의 정지 상태시, 무게 중심(G)은 힌지부의 중심을 지나며 지면과 수직을 이루는 선분(선 O-O) 상에 배치된다. 진자부(300)의 진자 연장 아암(330)의 일측에는 피감지기(350)가 배치된다. 진자부(300)가 정지 상태에 있는 경우, 피감지기(350)는 감지기(410)의 감지 범위(S) 밖에 배치된다. 기판 이송 장치(미도시)로 인입된 기판(미도시)이 회전 로울러(340)의 상단과 접하는 경우 회전 로울러는 회전 로울러 장착 부재(341)를 중심으로 회전 운동함과 동시에 기판의 이송 방향으로 이송된다. 회전 로울러(340)의 운동에 따라 이를 지지하는 진자부(300)의 진자 로울러 아암(310)도 힌지부(200)를 중심으로 회전 운동을 이루게 된다. 기판이 기판 이송 장치에 완전히 인입되어 이송되는 경우, 기판과 접하는 회전 로울러(340)와 연결된 진자부 (300)는 힌지부(200)를 중심으로 각도 β1까지 각회전을 이루게 된다(선 A-A). 기판의 이송이 종료된 경우, 무게 중심(G)이 힌지부(200)를 지나며 지면에 수직인 선분 상으로 복귀된다(선 O-O). In the stationary state of the pendulum sensor device 10, more specifically, in the stationary state of the pendulum unit 300, the center of gravity G is disposed on a line segment OO passing through the center of the hinge portion and perpendicular to the ground. The sensor 350 is disposed at one side of the pendulum extension arm 330 of the pendulum part 300. When the pendulum part 300 is in the stopped state, the detector 350 is disposed outside the detection range S of the detector 410. When the substrate (not shown) introduced into the substrate transfer device (not shown) is in contact with the upper end of the rotary roller 340, the rotary roller is rotated about the rotary roller mounting member 341 and simultaneously transferred in the transfer direction of the substrate. do. According to the movement of the rotary roller 340, the pendulum roller arm 310 of the pendulum part 300 supporting it also achieves a rotational movement about the hinge part 200. When the substrate is completely inserted into the substrate transfer device, the pendulum portion 300 connected to the rotary roller 340 in contact with the substrate is angularly rotated by an angle β 1 about the hinge portion 200 (line AA). . When the transfer of the substrate is completed, the center of gravity G is returned to the line segment perpendicular to the ground passing through the hinge portion 200 (line OO).

한편, 외부 충격 내지 기판의 이송 과정에서 발생하는 진동으로 인한 진자 센서 장치(10)의 운동은 일점 쇄선으로 표시되었다. 기판 이송 장치의 기판 이송 작업으로 인하여 발생하는 진동 외란은 힌지부(200)를 중심으로 자유 회전 가능한 구조로 지지축(110)에 연결된 진자부(300)로 하여금 작은 폭의 미소 진동 운동을 하게 된다. 미소 진동 운동에 의한 진자부(300)의 회전 각도는 도면 부호 β2로 표시된다. 통상적으로 이와 같은 자유 회전 가능한 진자부의 외란으로 인한 회전 각도(β2)는 약 5°정도의 값을 가지나, 이는 예시적인 값으로 외란 진동으로 인한 진자부의 회전 각도가 이외의 값을 가질 수도 있다. 진자부(300)가 실선으로 도시된 정지 상태로부터 일점 쇄선으로 도시된 미소 진동 운동 상태로 운동하는 과정에서, 진자 연장 아암(330)의 일측에 장착된 피감지기(350)는 감지기(410)의 감지 범위(S) 내로 들어오지 않고 감지 범위 밖에 배치된다. 따라서, 외란 진동으로 인하여 진자부(300)가 미소 진동 운동을 하는 경우에도 진자부(300)의 일단에 형성된 피감지기(350)가 감지부(420)의 범위 밖에 배치됨으로써 감지기(410)가 피감지기(350)를 오인식하지 않게 된다. On the other hand, the movement of the pendulum sensor device 10 due to the vibration generated during the external shock to the substrate transfer process is indicated by a dashed dashed line. The vibration disturbance generated by the substrate transfer operation of the substrate transfer device causes the pendulum portion 300 connected to the support shaft 110 to have a small microscopic vibration movement in a freely rotatable structure around the hinge portion 200. . The rotation angle of the pendulum part 300 by the micro vibration movement is indicated by the reference numeral β 2 . Typically, the rotation angle β2 due to the disturbance of the freely rotatable pendulum portion has a value of about 5 °, but this is an exemplary value and the rotation angle of the pendulum portion due to the disturbance vibration may have a value other than that. In the process of moving the pendulum part 300 from the stationary state shown by the solid line to the micro-vibration movement state shown by the dashed-dotted line, the sensor 350 mounted on one side of the pendulum extension arm 330 is moved by It does not enter the sensing range S but is disposed outside the sensing range. Therefore, even when the pendulum unit 300 performs the micro-vibration movement due to the disturbance vibration, the detector 410 formed at one end of the pendulum unit 300 is disposed outside the detection unit 420 so that the detector 410 is avoided. The sensor 350 is not misrecognized.

상기 본 발명의 일실시예에서 진자부(300)에 형성되는 진자 연장 아암(330)은 한 개가 구비되는 것으로 도시되었으나, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니다. 도 3a에는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치(10')가, 도 3b에는 진자 센서 장치(10')의 진자부(300')가, 그리고 도 3c에는 진자 센서 장치(10')의 일부분에 대한 개략적인 분해 사시도가 도시되어 있다. 진자 센서 장치(10')는 지지부(100), 힌지부(200), 진자부(300') 및 감지부(400)를 구비하는데, 여기서 지지부(100), 힌지부(200) 및 감지부(400)에 대한 구성은 상기 실시예에 기재된 바와 동일한 바, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. Although one pendulum extension arm 330 formed in the pendulum part 300 is illustrated in one embodiment of the present invention, the present invention is not limited thereto. 3A illustrates a pendulum sensor device 10 'according to another embodiment of the present invention, FIG. 3B illustrates a pendulum portion 300' of the pendulum sensor device 10 ', and FIG. 3C illustrates a pendulum sensor device 10'. A schematic exploded perspective view of a portion of is shown. The pendulum sensor device 10 'includes a support part 100, a hinge part 200, a pendulum part 300' and a sensing part 400, where the support part 100, the hinge part 200, and the sensing part ( 400 is the same as described in the above embodiment, a description thereof will be omitted.

도 3b 및 도 3c에 도시된 바와 같이, 진자부(300')는 힌지부(200)를 통하여 지지축(110)에 회전 가능하게 장착된다. 진자부(300')는 회전 로울러(340'), 진자 연결부(320'), 진자 로울러 아암(310'), 진자 연장 아암(330') 및 피감지기(350')를 구비한다. 진자 연결부(320')에는 힌지부 관통구(321')가 형성되어 힌지부(200)의 힌지 슬리브(220) 및 힌지 고정 부재(210)가 이를 관통하여 배치됨으로써, 진자부(300')가 지지축(110)에 대하여 상대 회전 운동 가능하다. 진자 연결부(320')의 일측에는 진자 로울러 아암(310')이 형성된다. 진자 로울러 아암(310')에는 로울러 장착구(311')가 형성된다. 회전 로울러 장착 부재(341')가 회전 로울러(340')를 관통하여 진자부(300')의 진자 로울러 아암(310')에 형성된 회전 로울러 장착구(311')에 체결된다. 회전 로울러(340')는 이를 관통하여 진자 로울러 아암(310')의 회전 로울러 장착구(311')에 장착된 회전 로울러 장착 부재(341') 상에서 자유롭게 회전 가능하다. As shown in FIGS. 3B and 3C, the pendulum portion 300 ′ is rotatably mounted to the support shaft 110 through the hinge portion 200. The pendulum portion 300 'includes a rotating roller 340', a pendulum connecting portion 320 ', a pendulum roller arm 310', a pendulum extension arm 330 'and a probe 350'. Hinge penetrating holes 321 'are formed in the pendulum connecting portion 320' so that the hinge sleeve 220 and the hinge fixing member 210 of the hinge portion 200 are disposed therethrough, whereby the pendulum portion 300 'is disposed. The relative rotational movement is possible with respect to the support shaft 110. A pendulum roller arm 310 'is formed at one side of the pendulum connecting portion 320'. The pendulum roller arm 310 'is provided with a roller mounting opening 311'. The rotary roller mounting member 341 ′ penetrates the rotary roller 340 ′ and is fastened to the rotary roller mounting hole 311 ′ formed in the pendulum roller arm 310 ′ of the pendulum portion 300 ′. The rotary roller 340 'is freely rotatable on the rotary roller mounting member 341' mounted to the rotary roller mount 311 'of the pendulum roller arm 310'.

진자 연장 아암(330')은 진자 연결부(320')로부터 연장 형성되는데, 진자 연장 아암(330')은 두 개가 구비된다. 두 개의 진자 연장 아암(330')은 힌지부(200) 의 중심 및 진자부 무게 중심(G', 도 3c)을 잇는 선분(선 O'-O')을 중심으로 거울 상으로 대칭적인 배치를 이룬다. 즉, 진자 연결부(320'), 진자 연결부(320')로부터 형성된 진자 로울러 아암(310') 및 두 개의 진자 연장 아암(330')은 역 "Y"자 형상을 구비하게 된다. 대칭적으로 배치되는 구조는 간단한 기하 구조를 통하여 생산 공정이 용이해지는 장점이 있다. 피감지기(350')는 진자부(300')의 진자 연장 아암(330')에 배치된다. 진자 연결부(320')로부터 두 개가 연장 형성된 각각의 진자 연장 아암(330')의 단부 일측에는 피감지기 장착구(331')이 형성되어 피감지기(350')를 수용한다. Pendulum extension arm 330 'is formed to extend from pendulum connection 320', and two pendulum extension arms 330 'are provided. The two pendulum extension arms 330 'have a mirror-symmetrical arrangement about a line segment (line O'-O') connecting the center of the hinge portion 200 and the pendulum center of gravity G '(FIG. 3C). Achieve. That is, the pendulum connector 320 ', the pendulum roller arm 310' formed from the pendulum connector 320 'and the two pendulum extension arms 330' have an inverted "Y" shape. Symmetrically arranged structures have the advantage of facilitating the production process through simple geometries. The sensor 350 'is disposed on the pendulum extension arm 330' of the pendulum portion 300 '. A sensing device mounting hole 331 'is formed at one end of each pendulum extension arm 330' extending from the pendulum connecting portion 320 'to receive the sensing device 350'.

도 4a에는 상기한 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진자 센서 장치의 정상 작동 상태, 즉 기판 이송에 따른 진자부의 회전 상태를 도시한다. 여기서, 실선은 진자 센서 장치(10')의 정지 상태, 즉 힌지부 및 무게 중심을 잇는 선분이 지표에 수직인 정지한 상태를 나타내고, 점선은 기판 이송 장치(미도시)로 기판(미도시)이 인입되어 이송되는 경우 진자 센서 장치(10')의 정상 작동하는 회전 상태를 도시한다. 기판 이송 장치로 기판이 이송되는 경우 기판에 의하여 회전 로울러(340)는 기판 이송 방향으로 일정 각도(β1)만큼 힌지부(200)를 중심으로 회전하게 된다. 따라서, 정지 상태시 감지기(320')의 감지 범위(반경 r) 밖에 있던 피감지기(310')는 진자부(300')가 일정 각도(β1)만큼 회전하는 경우 감지기(320')의 감지 범위 내로 인입된다. 따라서, 감지기(320')의 감지 범위 내로 인입된 피감지기(310')에 의하여 감지기(320')는 변화된 신호를 생성하여 제어부(미도시)로 신호를 출력한다. 여기서, 기판의 이송 방향은 도면의 우측으로부터 좌측으로 이송되는 것으로 예시되었으나, 이에 국한되지는 않는다. 예를 들어, 기판 이송 과정에서 작업 오류로 인하여 기판의 역방향 진행이 요구되는 경우, 기판의 역방향 이송 여부를 판별하기 위하여, 진자 센서 장치(10')의 진자부(300')는 도 4a에 도시된 회전 방향의 반대 방향(시계 방향)으로 회전할 수도 있다. 진자부(300')가 시계 방향으로 회전하는 경우, 진자부(300')의 진자 연결부(320')로부터 연장된 두 개의 진자 연장 아암(330') 중, 힌지부(200)와 무게 중심(G')를 잇는 선분(선 O'-O')을 기준으로 우측에 있는 진자 연장 아암(330')에 장착된 피감지기(350')를 통하여 진자부(300')의 회전 여부, 궁극적으로 기판의 이송 여부를 판단하는 감지 신호를 감지기(410)가 출력하게 된다. Figure 4a shows the normal operating state of the pendulum sensor device according to another embodiment of the present invention, that is, the rotation state of the pendulum part according to the substrate transfer. Here, the solid line indicates the stationary state of the pendulum sensor device 10 ', that is, the line segment connecting the hinge portion and the center of gravity is stopped perpendicular to the surface, and the dotted line indicates the substrate (not shown) by the substrate transfer device (not shown). It shows the normal operating rotation state of the pendulum sensor device 10 'when it is pulled in and transported. When the substrate is transferred to the substrate transfer apparatus, the rotation roller 340 rotates about the hinge portion 200 by a predetermined angle β1 in the substrate transfer direction. Therefore, the detector 310 'which is outside the detection range (radius r) of the detector 320' in the stationary state has a detection range of the detector 320 'when the pendulum portion 300' is rotated by a predetermined angle β1. Is pulled into. Accordingly, the detector 320 'generates a changed signal by the detector 310' drawn into the detection range of the detector 320 'and outputs the signal to the controller (not shown). Here, the conveying direction of the substrate is illustrated as being conveyed from the right side to the left side of the drawing, but is not limited thereto. For example, in the case of the substrate transfer process, when the reverse direction of the substrate is required due to an operation error, the pendulum portion 300 'of the pendulum sensor device 10' is shown in FIG. It may also rotate in the opposite direction (clockwise). When the pendulum portion 300 'rotates clockwise, the hinge portion 200 and the center of gravity (of the two pendulum extension arms 330' extending from the pendulum connection portion 320 'of the pendulum portion 300') Whether the pendulum portion 300 'is rotated and ultimately rotated through the sensor 350' mounted on the pendulum extension arm 330 'on the right side with respect to the line segment G') (line O'-O '). The detector 410 outputs a detection signal for determining whether the substrate is transferred.

도 4b에는 기판 이송 장치에서 발생되는 진동과 같은 외란 진동으로 인하여, 자유 회전 상태로 힌지부(200)를 통하여 지지축(110)에 장착된 진자부(300')가 각도 α만큼 미소 진동 운동을 하는 미소 진동 운동 상태를 도시한다. 여기서, 실선은 진자부(300')가 정지 상태에 있는 경우를, 점선은 진자부(300')가 좌우로 외란 진동에 의하여 미소 진동 운동을 하는 상태를 도시한다. 진자부(300')가 외란 진동에 의하여 어느 방향으로 미소 진동 운동을 하더라도 역 "Y" 형태의 진자부(300')에 형성된 두 개의 진자 연장 아암(330') 각각의 일측 단부에 장착된 피감지기(350')는 감지기(410)의 감지 범위(S) 밖에 위치하게 된다. 따라서, 외란 진동으로 인하여 진자 센서 장치(10')의 진자부(300')가 미소 진동 운동을 하더라도 감지기(410)의 오인식으로 인한 오작동 우려가 방지 내지 현저하게 감소된다. In FIG. 4B, due to disturbance vibration such as vibration generated in the substrate transfer device, the pendulum portion 300 ′ mounted on the support shaft 110 through the hinge portion 200 in the free rotation state undergoes the micro vibration movement by the angle α. The micro vibration vibration state is shown. Here, the solid line shows a case in which the pendulum part 300 'is in a stationary state, and the dotted line shows a state in which the pendulum part 300' makes a micro-vibration movement by the disturbance vibration from side to side. Even if the pendulum part 300 'makes a micro-vibration movement in any direction due to disturbance vibration, the blood mounted at one end of each of the two pendulum extension arms 330' formed in the inverted "Y" shaped pendulum part 300 ' The detector 350 ′ is positioned outside the detection range S of the detector 410. Therefore, even if the pendulum part 300 'of the pendulum sensor device 10' is subjected to a micro vibration movement due to disturbance vibration, the risk of malfunction due to misrecognition of the sensor 410 is prevented or significantly reduced.

한편, 힌지부(200)의 중심 및 진자부(300')의 무게 중심(G')을 잇는 선분(선 O'-O')과 힌지부(200)의 중심 및 피감지기(310')를 잇는 선분(선 C'-C') 사이의 사이각(γ')은 25° 내지 55°인 것이 바람직하다. 즉, 사이각(γ')이 25°미만인 경우 외란 진동으로 인하여 진자부(300')가 미소 진동 운동을 하게 되는 경우, 피감지기(310')가 감지기(320')의 감지 범위 내로 인입되어 기판의 이송 여부로 오인식될 가능성이 높다. 또한 사이각(γ')이 55°를 넘는 경우 진자부 및 감지부 간의 기하 구조적인 관계로 인하여 피감지기(310')가 감지기(320')의 감지 범위 내로 인입되는 구조를 이루기 어렵고 궁극적으로 기판 이송 장치에서 기판의 이송 여부를 판독하기 어려우므로, 사이각(γ')은 25° 내지 55°인 것이 바람직하다. On the other hand, the line segment (line O'-O ') connecting the center of the hinge portion 200 and the center of gravity (G') of the pendulum portion 300 'and the center of the hinge portion 200 and the probe 310' It is preferable that the angle γ 'between the connecting line segments (lines C'-C') is 25 ° to 55 °. That is, when the angle γ 'is less than 25 °, when the pendulum portion 300' makes a micro vibration movement due to disturbance vibration, the sensor 310 'is drawn into the detection range of the detector 320'. It is highly likely to be misidentified by the transfer of the substrate. In addition, when the angle γ 'exceeds 55 °, due to the geometrical relationship between the pendulum part and the sensing part, it is difficult to form a structure in which the detector 310' is drawn into the sensing range of the detector 320 'and ultimately, Since it is difficult to read whether or not the substrate is transferred by the transfer apparatus, the angle angle γ 'is preferably 25 ° to 55 °.

상기 다른 실시예에서, 두 개의 진자 연장 아암의 일측 단부에 피감지기가 모두 배치되는 것으로 구성되었으나, 어느 일측에만 구비될 수도 있다. 즉, 도 4c에 도시된 바와 같이, 회전 로울러(340"), 진자 연결부(320"), 진자 로울러 아암(310"), 두 개의 진자 연장 아암(330")을 구비하는 진자부(300")는 한 개의 피감지기(350")만을 진자 연장 아암(330") 중의 어느 하나에만 구비할 수도 있다. 이 때, 근접 센서로 채택되는 감지기(410)의 유형에 따라, 피감지기(350")는 SUS와 같은 금속 재료가 선택되고 감지기(410)가 금속 근접 감지기이거나, 피감지기(350")가 자석으로 선택되고 감지기(410)가 마그네트 근접 감지기로 선택될 수도 있는 등, 설계 사양에 따라 다양한 변형이 가능하다. 도 4c와 같은 구조를 취하는 경우, 두 개의 진자 연장 아암(330") 중 어느 하나에 무게를 감하거나 가함으로써, 서로 대칭적으로 배치되는 두 개의 진자 연장 아암(330") 중 어느 일측에만 배치되는 피감지기(350")로 인한 무게 차이를 보상하여 무게 중심 설정 등의 설계 사양을 단순화 시킬 수도 있다.In the above other embodiment, the sensing device is configured to be disposed at one end of the two pendulum extension arms, but may be provided only on one side. That is, as shown in FIG. 4C, a pendulum portion 300 "having a rotating roller 340", a pendulum connecting portion 320 ", a pendulum roller arm 310" and two pendulum extension arms 330 ". May have only one sensor 350 "only on any of the pendulum extension arms 330". Depending on the type of sensor 410 employed as the proximity sensor, the sensor 350 " Various variations depending on design specifications, such as a metal material such as SUS selected and detector 410 may be a metal proximity detector, or detector 350 "may be selected as a magnet and detector 410 may be selected as a magnet proximity detector. 4c, any of the two pendulum extension arms 330 "disposed symmetrically with each other by subtracting or applying weight to either of the two pendulum extension arms 330". Compensating for the weight difference due to the detector 350 "placed on only one side It may simplify the design specifications, such as the center of gravity configuration.

또한, 도 4a 내지 도 4c에 도시된 다른 실시예 및 이의 변형예의 경우, 두 개의 진자 연결 아암이 힌지부 중심 및 무게 중심을 잇는 선분을 기준으로 서로 대칭적으로 배치되는 구조를 취하였으나, 두 개 이상의 진자 연장 아암이 구비될 수 있다. 즉, 도 4d에 도시된 바와 같이, 진자부(3001)는 진자 연결부(3101), 진자 로울러 아암(3201), 두 개의 진자 연장 아암(3301, 3302), 회전 로울러(3401) 및 피감지기(3501)을 구비한다. 두 개의 진자 연장 아암(3301, 3302)은 힌지부(200) 및 진자부 무게 중심(G1)을 잇는 선분(선 O1-O1)을 중심으로 비대칭적으로 배치될 수도 있다. 피감지기(3501)는 두 개의 진자 연장 아암(3301, 3302) 중 한 개의 진자 연장 아암(3301)에만 장착됨으로써, 다른 한 개의 진자 연장 아암(3302)이 무게 중심을 형성하는 더미 균형자로 역할을 담당하는 구조를 취할 수도 있다.In addition, in the other embodiments and modifications thereof shown in FIGS. 4A to 4C, two pendulum connecting arms are arranged symmetrically with respect to a line segment connecting the hinge center and the center of gravity, but two The pendulum extension arm may be provided. That is, as shown in FIG. 4D, the pendulum portion 300 1 has a pendulum connection portion 310 1 , a pendulum roller arm 320 1 , two pendulum extension arms 330 1 , 330 2 , and a rotating roller 34 1. ) And the sensor 350 1 ). The two pendulum extension arms 330 1 , 330 2 may be arranged asymmetrically about a line segment (line O 1 -O 1 ) connecting the hinge part 200 and the pendulum center of gravity G 1 . Blood sensor (350 1) is a pile to form the two pendulum extension arm (330 1, 330 2) being of mounting only a single pendulum extension arm (330 1), the other one pendulum extension arm (330 2) the center of gravity You can also take the form of acting as a balancer.

또 한편, 상기 실시예들에서 진자부를 구성하는 진자 연결부, 진자 로울러 아암 및 진자 연결 아암들은 서로 일체로 형성되는 것으로 도시되었다. 즉, 도 2a에 도시된 바와 같이 진자부(300)에 구비되는 진자 연결부(320), 진자 로울러 아암(310) 및 진자 연장 아암(330)은 동일 재료의 일체형으로 성형 가공되는 구조를 취할 수도 있다. 이와 같은 구성을 취함으로써, 제조 공정의 단순함에 의하여 제조 원가를 현저하게 낮출 수 있다는 장점이 있다. 하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 도 5에는 별개의 분리 가능한 구성 요소로 형성된 진자 연결부 (320a), 진자 로울러 아암(310a) 및 진자 연장 아암(330a)를 구비하는 진자부(300a)가 도시된다. 여기서, 설명의 명확성을 위하여 회전 로울러(340)의 도시는 생략하였다. 진자부(300a)의 각각의 구성 요소에는 로울러 장착구(311), 힌지부 관통구(321) 및 피감지기 장착구(331) 등이 상기 일실시예와 동일하게 형성되고, 피감지기 장착구(331)에는 피감지기(350)가 장착된다.On the other hand, in the above embodiments, the pendulum connecting part, the pendulum roller arm and the pendulum connecting arm constituting the pendulum part are illustrated as being integrally formed with each other. That is, as illustrated in FIG. 2A, the pendulum connecting part 320, the pendulum roller arm 310, and the pendulum extension arm 330 provided in the pendulum part 300 may have a structure in which the same material is integrally molded. . By taking such a configuration, there is an advantage that the manufacturing cost can be significantly reduced by the simplicity of the manufacturing process. However, the present invention is not limited thereto. 5 shows a pendulum portion 300a having a pendulum connection 320a, a pendulum roller arm 310a and a pendulum extension arm 330a formed of separate separable components. Here, the illustration of the rotary roller 340 is omitted for clarity of explanation. Each component of the pendulum portion 300a includes a roller mounting hole 311, a hinge part through hole 321, a sensor mounting hole 331, and the like, in the same manner as in the above embodiment. 331 is equipped with a detector 350.

진자 연결부(320a)의 양단부면, 즉 진자 로울러 아암(310a) 및 진자 연장 아암(330a)을 향한 일면 상에는 적어도 두 개의 편으로 돌출 형성된 쐐기 형상의 체결 부재(322a, 323a)가 각각 형성된다. 진자 로울러 아암(310a) 및 진자 연장 아암(330a)의 일단부면으로 체결 부재(322a, 323a)의 대응 부위에는 체결 부재(322a, 323a)를 수용하기 위한 수용 부재(312a, 332a)가 형성된다. 수용 부재(312a, 332a)는 체결 부재(322a, 323a)의 형상에 대응하는 형상을 구비한다. 따라서, 수용 부재(312a, 332a)와 체결 부재(322a, 323a)가 맞물림으로써, 분리 가능한 구조의 진자부(300a)를 구성할 수도 있다. 이와 같은 구조를 취함으로써, 각각의 구성 요소가 내지 어느 한 구성 요소가 상이한 재료로 형성됨으로써, 무게 중심의 설계 자유도를 증대시킬 수도 있다. Wedge-shaped fastening members 322a and 323a are formed on both end surfaces of the pendulum connecting portion 320a, that is, on one surface facing the pendulum roller arm 310a and the pendulum extension arm 330a. Receiving members 312a and 332a are formed at corresponding portions of the fastening members 322a and 323a at one end faces of the pendulum roller arm 310a and the pendulum extension arm 330a. The receiving members 312a and 332a have a shape corresponding to the shape of the fastening members 322a and 323a. Therefore, the accommodating member 312a, 332a and the fastening member 322a, 323a can be engaged, and the pendulum part 300a of a detachable structure can also be comprised. By taking such a structure, each component may be formed from different materials from one component, thereby increasing the degree of freedom of design of the center of gravity.

상기 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니다. 즉, 상기 실시예들에서 피감지기는 진자부의 진자 연장 아암에 장착되고 감지기는 지지부에 장착되는 구조를 취하는 것으로 기술되었으나, 피감지기 및 감지기의 위치를 상호 교체함으로써, 피감지기는 지지부에 그리고 감지기는 진자 연장 아암의 일단에 장착되는 구조를 취할 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능 하다.The above embodiments are examples for describing the present invention, but the present invention is not limited thereto. That is, in the above embodiments, the sensor is described as having a structure that is mounted on the pendulum extension arm of the pendulum part and the sensor is mounted on the support part. However, by changing the positions of the sensor and the sensor, the sensor is connected to the support part and the sensor Various modifications are possible, such as having a structure mounted on one end of the pendulum extension arm.

상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 진자 센서 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다. The pendulum sensor device according to the present invention having the configuration as described above has the following effects.

첫째, 외부 진동과 같은 원치 않는 진동으로 인하여 자유 상태로 회전 가능하게 장착된 진자부의 미소 진동 운동에 의한 센서 장치의 오인식을 방지하거나 또는 센서 장치의 오인식율을 현저하게 저감시켜 진자 센서 장치의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.First, to prevent the misunderstanding of the sensor device due to the micro-vibration movement of the pendulum mounted in a free state due to unwanted vibration such as external vibration or to significantly reduce the misunderstanding rate of the sensor device, thereby improving the reliability of the pendulum sensor device. Can be improved.

둘째, 본 발명에 따른 진자 센서는 단순한 설계 구조를 통하여, 진자 센서 제조 원가 문제 및 작동 성능을 월등히 개선시킬 수 있다.Second, the pendulum sensor according to the present invention can significantly improve the pendulum sensor manufacturing cost problem and operation performance through a simple design structure.

셋째, 본 발명에 따른 역 Y자형 진자부를 구비하는 진자 센서 장치의 경우, 본 발명에 따른 진자 센서 장치가 장착되는 기판 이송 장치의 오작동 내지 중복 작업이 요구되는 경우 기판의 역이송에 따른 신호 감지를 용이하게 할 수 있다.Third, in the case of a pendulum sensor device having an inverted Y-shaped pendulum according to the present invention, if a malfunction or overlapping operation of the substrate transfer device to which the pendulum sensor device according to the present invention is mounted is required, signal detection due to reverse transfer of the substrate is required. It can be done easily.

본 발명은 도면에 도시된 일실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (12)

지지부;Support; 상기 지지부에 장착되는 감지기를 구비하는 감지부;A detector having a detector mounted to the support; 상기 지지부에 장착되는 힌지부; 및A hinge part mounted to the support part; And 회전 로울러와, 상기 힌지부를 중심으로 상기 지지부에 회전 가능하게 장착되는 진자 연결부와, 상기 진자 연결부의 일측으로부터 연장되어 일단에 상기 회전 로울러가 장착되는 진자 로울러 아암과, 상기 진자 연결부의 타측으로부터 연장되는 하나 이상의 진자 연장 아암과, 상기 진자 연장 아암의 단부 중 하나 이상에 배치되는 피감지기를 구비하는 진자부;를 포함하고, A rotary roller, a pendulum connecting portion rotatably mounted to the support portion around the hinge portion, a pendulum roller arm extending from one side of the pendulum connecting portion and having the rotary roller mounted at one end thereof, and extending from the other side of the pendulum connecting portion; And a pendulum portion having at least one pendulum extension arm and a sensor to be disposed at at least one of the ends of the pendulum extension arm. 상기 진자부의 정지 상태시 상기 피감지기는 상기 감지기의 감지 범위 밖에 배치되며, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과, 상기 힌지부 중심 및 상기 피감지기를 잇는 선분 사이에는 사이각이 구비되는 진자 센서 장치.In the stationary state of the pendulum, the sensor is located outside the sensing range of the sensor, and a gap is formed between a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity and a line segment connecting the hinge center and the sensor. Pendulum sensor device provided. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진자 연장 아암은 한 개가 구비되고,The pendulum extension arm is provided with one, 상기 진자 로울러 아암, 상기 진자 연장부 및 상기 진자 연장 아암은 호상(弧狀)으로 배치되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The pendulum roller arm, the pendulum extension part and the pendulum extension arm are arranged in an arc shape. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진자 연장 아암은 두 개가 구비되고, The pendulum extension arm is provided with two, 상기 두 개의 진자 연장 아암은, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분을 중심으로 대칭적으로 배치되고, 상기 진자부는 역 Y 자 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The two pendulum extension arms are arranged symmetrically about a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity, and the pendulum is formed in an inverted Y-shaped structure. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 피감지기는 상기 두 개의 진자 연장 아암 중 어느 하나의 일단에 배치되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The pendulum sensor device according to claim 1, wherein the pendulum sensor is disposed at one end of either of the two pendulum extension arms. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 피감지기는 상기 두 개의 진자부 연장 아암의 일단에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The pendulum sensor device, characterized in that each of the two pendulum extending arm is disposed at one end. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진자 연장 아암은 두 개 이상이 구비되되, 상기 두 개 이상의 진자 연장 아암은 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분을 중심으로 비대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The pendulum extension arm is provided with two or more, wherein the two or more pendulum extension arms are arranged asymmetrically about a line segment connecting the hinge center and the pendulum center of gravity. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 감지기는 금속 근접 감지기이고, 상기 피감지기는 SUS인 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The detector is a metal proximity detector, and the detector is SUS. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 감지기는 마그네트 근접 감지기이고, 상기 피감지기는 자석인 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The detector is a magnet proximity sensor, and the sensor is a magnet. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과 상기 힌지부 중심 및 상기 피감지기를 잇는 선분 사이의 사이각은 25°내지 55°인 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.A pendulum sensor device, wherein an angle between a line segment connecting the center of the hinge part and the center of gravity of the pendulum and a line segment connecting the center of the hinge part and the sensor to be sensed is 25 ° to 55 °. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 진자 연결부, 상기 진자 로울러 아암 및 상기 진자 연장 아암은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The pendulum connecting unit, the pendulum roller arm and the pendulum extension arm are integrally formed. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 진자 연결부, 상기 진자 로울러 아암 및 상기 진자 연장 아암은 분리 합체 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 진자 센서 장치.The pendulum connecting unit, the pendulum roller arm and the pendulum extension arm are formed to be separated and coalesced. 피감지기를 구비하는 지지부;A support having a sensor; 상기 지지부에 장착되는 힌지부; A hinge part mounted to the support part; 상기 힌지부를 중심으로 상기 지지부에 회전 가능하게 장착되고, 일단에 회전 로울러를 구비하는 진자부; 및A pendulum portion rotatably mounted to the support portion around the hinge portion and having a rotary roller at one end thereof; And 상기 진자부의 타단에 장착되는 감지기를 구비하는 감지부;를 포함하고,And a detector having a detector mounted at the other end of the pendulum unit. 상기 진자부의 정지 상태시 상기 피감지기는 상기 감지기의 감지 범위 밖에 위치되며, 상기 힌지부 중심 및 상기 진자부 무게 중심을 잇는 선분과, 상기 힌지부 중심 및 상기 감지기를 잇는 선분 사이에는 사이각이 형성되는 진자 센서 장치.In the stationary state of the pendulum, the sensor is located outside the sensing range of the detector, and an angle is formed between a line connecting the hinge center and the pendulum center of gravity and a line segment connecting the hinge center and the detector. Pendulum sensor device.
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