KR100701602B1

KR100701602B1 - A defect detection device of thin film

Info

Publication number: KR100701602B1
Application number: KR1020050026473A
Authority: KR
Inventors: 김근식; 박근형; 김영철
Original assignee: 충청북도; 충북대학교 산학협력단
Priority date: 2005-03-30
Filing date: 2005-03-30
Publication date: 2007-03-29
Also published as: KR20060104359A

Abstract

본 발명은 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형 입사 적외선이 박막을 통과하여 입사될 때 박막의 결함 부위에서 적외선 산란이 일어남을 이용한 필름 결함 검출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film film defect detecting apparatus, and more particularly, to a film defect detecting device using infrared scattering occurs at the defect site of the thin film when the linear incident infrared light is incident through the thin film.

본 발명에 따른 박막 필름 검출 장치는 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 상기 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대와 상기 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 상기 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔과 상기 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈과 상기 적외선 센서모듈이 얹혀지며 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대와 상기 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부와 상기 적외선 센서모듈은 평면과 상기 평면에 삼각형 모양의 빗면이 평면의 양 폭과 직각으로 결합된 양 측면으로 구성됨을 특징으로 한다.The thin film detection apparatus according to the present invention is supported by a pedestal and the base plate is installed on both sides of the upper left and right, and the inspection thin film is placed on the upper surface and the transfer jig combined with the transfer guide of the base plate is left and right sides As long as it maintains a predetermined gap for detecting a transport line installed in the transport line, a transport means for transporting the transport table, and a laser line beam installed on the bottom surface of the base plate to emit infrared light and scattered infrared light emitted from the laser line beam. A pair of infrared sensor modules and the infrared sensor module are mounted on the base plate and the support fixed to the base plate and the infrared rays detected by the infrared sensor module to compare the analysis and determine whether there is a defect and the monitoring unit and the infrared sensor module Is a plane and the sides of which a triangular bevel is joined to the plane at right angles to both widths of the plane. Characterized by configured.

적외선, 박막 필름, 결함, 산란, 검출장치 Infrared, thin film, defects, scattering, detector

Description

A defect detection device of thin film

도 1은 본 발명에 따른 박막 필름 결함 검출 장치를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a thin film defect detection apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 적외선 센서 모듈에 대한 사시도2 is a perspective view of an infrared sensor module according to the present invention;

도 3는 본 발명에 따른 지지대와 적외선 센서 모듈의 결합도3 is a coupling view of the support and the infrared sensor module according to the present invention

도 4은 본 발명에 따른 산란 적외선 검출 측정 개략도4 is a schematic diagram of scattered infrared detection measurement according to the present invention

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 베이스판1: base plate

11 : 받침대 12 : 이송가이드 11: pedestal 12: transfer guide

2 : 이송대2: transfer table

21 : 이송지그 21: transfer jig

3 : 이송수단3: transfer means

31 : 볼 스크류 32 : 모터 31: ball screw 32: motor

4 : 레이저 라인빔4: laser line beam

5 : 적외선 센서 모듈5: infrared sensor module

51 : 평면 52 : 측면 51: flat 52: side

6 : 지지대6: support

7 : 박막7: thin film

8 : 적외선8: infrared

9 : 모니터링부9: monitoring unit

91 : 비교부 91: comparison unit

박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다.Thin-film transistor liquid crystal display devices were originally developed for notebooks and are now used in personal computer monitors, televisions, and small communication devices.

이러한 박막트랜지스터 액정표시장치의 기술 요소는 컬러필터, 액정, 필름 등의 기초소재와 편광필름, 백라이트유닛, 기판 유리 등의 주요 부품과 각종 검사 장비 등이 있으며, 이중에서 편광필름은 액정셀의 양면에 부착하여 백라이트에서 나오는 빛의 투과를 조절하는 기능을 하는 것으로 필수 부품 중의 하나로서, 편광발생 방법에 따라 여러 가지가 있으나 시판되고 있는 것은 롤에 필름형태로 감겨진 각 재료를 접착시키는 제조방법으로 생성된다.The technical elements of the thin film transistor liquid crystal display include basic materials such as color filters, liquid crystals, films, main components such as polarizing film, backlight unit, and substrate glass, and various inspection equipments. This is one of the essential parts. It is a function of controlling the transmission of light from the backlight. Is generated.

이러한 제조과정에서 공기나 불순물 등의 층간 혼입이나 내부 결함이 발생하게 되 거나 절단 시 절단면 가장자리에서 결함이 생기는 경우가 종종 발생되며 이러한 결함은 화질에 결정적으로 나쁜 영향을 주기 때문에 일반적으로 전수 검사를 수행하게 된다.In such manufacturing process, interlayer mixing or internal defects such as air or impurities are often generated, or defects occur at the edges of the cutting edges during cutting, and these inspections generally have a total inspection because they have a detrimental effect on image quality. Done.

지금까지 이러한 전수 검사는 숙련된 작업자에 의한 육안검사로 대부분 이루어지고 있어 인력과 검사 시간이 많이 소요되는 문제점을 가지고 있다.Until now, such a total inspection has been mostly made by visual inspection by skilled workers, which has a problem that requires a lot of manpower and inspection time.

또한, 작업자의 주관적인 판단에 따라 결함 유무를 판단함으로써 작업자에 많이 의존하게 되어 검사의 신뢰성을 저하 시키는 문제점을 가지고 있다.In addition, by determining the presence or absence of a defect according to the subjective judgment of the operator has a problem that the dependence on the operator much reduces the reliability of the inspection.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 결함 부위에서 적외선이 산란됨을 이용하여 제품의 결함 유무를 자동으로 검출함으로서 검사 인력과 시간을 줄일 수 있는 박막 필름 결함 검출 장치를 제공함에 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been invented to solve the above problems, to provide a thin film film defect detection device that can reduce the inspection manpower and time by automatically detecting the presence of a product defect by using infrared scattering at the defect site. The purpose.

또한, 객관적 판단 기준에 따라 결함 유무를 판단함으로써 검사의 신뢰성을 증대시키는 목적도 가지고 있다.In addition, it has the purpose of increasing the reliability of the inspection by determining the presence or absence of defects according to the objective judgment criteria.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막 필름 검출 장치는 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 상기 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대와 상기 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 상기 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔과 상기 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈과 상기 적외선 센서모듈이 얹혀지며 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대와 상기 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부와 상기 적외선 센서모듈은 평면과 상기 평면에 삼각형 모양의 빗면이 평면의 양 폭과 직각으로 결합된 양 측면으로 구성됨을 특징으로 한다.The thin film detection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object is supported on a pedestal and the inspection plate is placed on the upper surface and the base plate is installed on both sides of the upper, left and right surfaces of the base plate A transfer jig coupled with a transfer guide is provided on the left and right sides of the transfer tray, a transfer means for transferring the transfer tray, and a laser line beam installed on the bottom surface of the base plate to emit infrared rays and scattering emitted from the laser line beam. A pair of infrared sensor modules having a predetermined gap for detecting the infrared rays and the infrared sensor module are mounted on the base plate and fixed to the base plate, and the infrared rays detected by the infrared sensor module are analyzed to determine whether there is a defect. And the monitoring unit and the infrared sensor module to inform the result of the triangle on the plane and the plane And the inclined plane of the features comprised in the both side surfaces bonded to both the width and perpendicular to the plane.

이와 같은 구성에 따라 본 발명에 따른 박막 필름 결함 검출 장치는 베이스판 하면에 설치된 적외선 방출장치로 부터 방사된 적외선이 박막을 통과하여 상기 적외선 센서모듈 사이로 들어오게 되면 박막을 통과한 적외선의 산란여부를 측정함으로써 박막 필름의 결함 여부를 판단할 수 있는 것이다.According to the configuration described above, the thin film defect detection apparatus according to the present invention, if infrared radiation emitted from the infrared emitting device installed on the bottom surface of the base plate passes through the thin film and enters between the infrared sensor modules, the scattering of the infrared light passing through the thin film. By measuring, the defect of a thin film can be judged.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 이러한 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.The invention will become more apparent through the preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings. Hereinafter will be described in detail to enable those skilled in the art to easily understand and reproduce through these embodiments.

도 1 은 본 발명에 따른 박막 필름 결함 검출 장치를 나타낸 사시도이며, 도 2 는 본 발명에 따른 적외선 센서 모듈에 대한 사시도이며, 도 3은 지지대와 적외선 센서 모듈의 결합도이다.1 is a perspective view showing a thin film defect detection apparatus according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of the infrared sensor module according to the present invention, Figure 3 is a coupling of the support and the infrared sensor module.

도 1 내지 도 3 에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 박막 필름 결함 검출 장치는 받침대(11)에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드(12)가 설치된 베이스판(1)과 상면에 검사용 박막(7)이 얹혀지며 상기 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그(21)가 좌,우 측면에 설치된 이송대(2)와 상기 이송대를 이송하기 위한 이송수단(3)과 상기 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔(4)과 상기 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈(5)과 상기 적외선 센서모듈이 얹혀지며 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대(6)와 상기 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부(9)로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 1 to 3, the apparatus for detecting a thin film defect according to the present invention is supported on a pedestal 11 and for inspection on the base plate 1 and the upper surface on which upper and lower transfer guides 12 are installed on both sides. A transfer jig 21 on which the thin film 7 is mounted and coupled to the transfer guide of the base plate is provided on the left and right sides, and the transfer means 3 and the base plate for transferring the transfer table. A laser line beam (4) installed on the lower surface and a pair of infrared sensor modules (5) and the infrared sensor module that maintain a predetermined gap for detecting scattered infrared rays emitted from the laser line beam are placed thereon. It is composed of a monitoring unit (9) for determining whether there is a defect by comparing and analyzing the support 6 fixed to the base plate and the infrared rays detected by the infrared sensor module.

또한, 상기 적외선 센서모듈은 평면(51)과 상기 평면에 삼각형 모양의 빗면이 평면의 양 폭과 직각으로 결합된 양 측면(52)으로 이루어져 있다.In addition, the infrared sensor module is composed of a flat surface 51 and both side surfaces 52 of which a triangular oblique surface is coupled at right angles to both widths of the flat surface.

이하에서는 본 발명에 따른 적외선 센서 모듈을 이용한 박막 필름의 결함을 검출하는 작동 상태를 도4를 참고로 설명하기로 한다.Hereinafter, an operating state of detecting a defect of a thin film using the infrared sensor module according to the present invention will be described with reference to FIG. 4.

상기 베이스판 하면에 설치된 상기 레이져 라인빔으로부터 선형 적외선(8) 방출되면 방출된 적외선은 상기 베이스판 상부에 놓인 상기 이송대의 상면에 얹혀진 검사용 박막(7)을 투과하게 된다.When the linear infrared ray 8 is emitted from the laser line beam installed on the lower surface of the base plate, the emitted infrared ray passes through the inspection thin film 7 placed on the upper surface of the transfer table placed on the base plate.

상기 박막에 결함이 없으면 박막에 투과된 상기 적외선은 상기 박막 위에 설치된 양 적외선 센서 모듈(5) 사이의 갭으로 입사되어지나 상기 박막에 결함이 있으면 결함부위에서 상기 박막에 입사된 적외선이 산란을 일으키게 된다.If there is no defect in the thin film, the infrared rays transmitted through the thin film are incident to the gap between both infrared sensor modules 5 installed on the thin film, but if the thin film is defective, the infrared rays incident on the thin film at the defective portion cause scattering. do.

이렇게 산란된 적외선은 상기 박막 위에 설치된 상기 적외선 센서 모듈로 입사되게 되어 상기 적외선 센서 모듈과 연결된 모니터링부(9)의 비교부(91)에 의해서 상기 박막의 결함여부가 판단되게 된다.The scattered infrared rays are incident on the infrared sensor module installed on the thin film, and the defect of the thin film is determined by the comparing unit 91 of the monitoring unit 9 connected to the infrared sensor module.

이러한 비교부에서의 결함여부 판단 방법과 이들 결과를 표시하는 방법등은 이미 공지된 기술들이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.The method of determining whether there is a defect in the comparison unit and the method of displaying these results are already known techniques, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기 레이져 라인빔으로부터 방출되는 적외선은 진행되면서 폭이 증대되는 선형의 레이져 라인빔으로서 상기 박막에 빛이 도달할 때는 레이저 라인빔 폭이 최소한 상기 박막의 폭 보다 넓어서 상기 박막의 폭 전체에 대한 결함 유무를 동시에 검출하게 되며, 상기 이송수단에 의한 상기 이송대의 전, 후 이송을 통해 전체 박막의 이상 유무를 검출하게 된다.The infrared ray emitted from the laser line beam is a linear laser line beam which increases in width as it progresses. When light reaches the thin film, the width of the laser line beam is at least wider than the width of the thin film so that there is a defect in the entire width of the thin film. Simultaneously detect and detect the presence or absence of abnormality of the entire thin film through the transfer of the transfer table by the transfer means.

또한, 이미 널리 사용되고 있는 상기 이송수단의 상기 모터 제어와 상기 박막의 이송대에 대한 착, 탈을 자동으로 수행함으로써 상기 박막의 결함 유무에 대한 자동 검출을 하게 된다.In addition, by automatically performing the motor control of the transfer means and the attachment and detachment of the transfer table of the thin film which is already widely used to automatically detect the presence or absence of defects of the thin film.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 박막 필름 검출 장치는 레이져 라인빔의 결함 부위에서의 산란 특성을 이용하여 박막의 결함을 자동으로 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다.As described above, the apparatus for detecting a thin film according to the present invention can automatically detect a defect of a thin film by using scattering characteristics at a defect portion of a laser line beam, thereby saving a working time for detecting and increasing work efficiency. Can be.

또한, 객관적인 비교 자료에 의해서 결함 유무를 판정함으로써 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to improve the reliability of the inspection by determining the presence or absence of defects based on objective comparison data.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the invention from this description. Therefore, the scope of the invention should be construed by the claims described to include examples of many such variations.

Claims

A base plate (1) supported by the pedestal (11) and having transfer guides (12) installed on both left and right upper surfaces thereof;

A transfer table 2 on which an inspection thin film 7 is placed on an upper surface and a transfer jig 21 coupled to a transfer guide of the base plate is installed at left and right sides thereof;

Transport means (3) for transporting the transport table;

A laser line beam (4) installed on a lower surface of the base plate to emit infrared rays;

A pair of infrared sensor modules 5 which maintain a predetermined gap for detecting scattered infrared rays emitted from the laser line beam;

A support 6 on which the infrared sensor module is mounted and fixedly installed on the base plate;

A monitoring unit 9 for comparing and analyzing the infrared rays detected by the infrared sensor module to determine whether there is a defect and to inform a result;

The infrared sensor module is a thin film defect detection device, characterized in that consisting of a plane 51 and both sides 52 of the triangle-shaped inclined surface on the plane is coupled at a right angle to both widths of the plane.

delete

The method of claim 1,

The transfer means is a thin film defect, characterized in that the motor 32 and the ball screw 31

Detection device