KR100696551B1 - Mask frame assembly and thin layer deposition apparatus therewith - Google Patents

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Abstract

A mask frame assembly for a thin layer deposition apparatus is provided to reduce error occurrence by forming a deposition pattern on a precise position of a substrate without an error. A mask frame assembly includes a mask(110), a mask frame(120), and at least one magnet member(114). The mask(110) has an opening(112a) of a predetermined pattern and a strip for forming the opening. The mask frame supports the mask and at least one magnet member is attached to the mask away from the opening. By a magnetic force between an upper magnet disposed on an upper portion of the mask assembly and the magnet member, the mask is prevented from being partially deformed downwardly.

Description

마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 박막 증착 장치{Mask frame assembly and thin layer deposition apparatus therewith}Mask frame assembly and thin layer deposition apparatus therewith}

도 1은 종래의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다. 1 is an exploded perspective view schematically showing a conventional mask frame assembly for thin film deposition.

도 2는 종래의 마스크 프레임 조립체를 이용한 박막 증착 장치를 개략적으로 으로 도시하는 측단면도이다.2 is a side cross-sectional view schematically showing a thin film deposition apparatus using a conventional mask frame assembly.

도 3은 본 발명에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이다.3 is an exploded perspective view of a mask frame assembly for thin film deposition according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체를 이용한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시하는 측단면도이다. 4 is a side cross-sectional view schematically showing a thin film deposition apparatus using the mask frame assembly according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110 : 마스크 120 : 프레임 110: mask 120: frame

114 : 자석부재 110a : 테두리부114: magnet member 110a: the edge portion

110b : 액티브 표시부의 사이 112 : 액티브 표시부110b: between active display sections 112: active display sections

112a: 개구부 112b : 스트립112a: opening 112b: strip

130 : 기판 140 : 갭 플레이트130 substrate 140 gap plate

142 : 증착 용기 150 : 자석 플레이트142 deposition chamber 150 magnet plate

170 : 진공챔버170: vacuum chamber

본 발명은 마스크가 증착 장치에서 조립되었을 때 국부적으로 처지는 현상을 방지할 수 있는 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 박막 증착 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크의 하부에 자석을 설치하여 상부 자석과의 자력을 증대하여 마스크의 국부적 처짐을 방지하도록 된 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 박막 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask frame assembly and a thin film deposition apparatus using the same, which can prevent local sagging when the mask is assembled in the deposition apparatus, and more particularly, by installing a magnet in the lower portion of the mask and a magnetic force with the upper magnet. The present invention relates to a mask frame assembly and a thin film deposition apparatus using the same to increase localization of a mask to prevent local sagging.

전계발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다. The electroluminescent display device is a self-luminous display device, and has attracted attention as a next generation display device because of its advantages of having a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed.

전계발광 디스플레이 장치는 발광층(EML : Emission layer) 형성 물질에 따라 무기 전계발광 디스플레이 장치와 유기 전계발광 디스플레이 장치로 구분되며, 이 중 유기 전계발광 디스플레이 장치는 무기 전계발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.The electroluminescent display device is classified into an inorganic electroluminescent display device and an organic electroluminescent display device according to the emission layer (EML) forming material. Among these, the organic electroluminescent display device has a higher luminance and driving voltage than the inorganic electroluminescent display device. And it has the advantage of excellent response speed characteristics and multi-colorization is possible.

일반적인 유기 전계발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기 전계발광 소자에는 서로 대향된 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층이 된다. 상기 중간층에는 다양한 층들이 구비될 수 있는 바, 예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 발광 층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 들 수 있다. 유기 전계발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.An organic electroluminescent device provided in a general organic electroluminescent display device may be an intermediate layer including at least a light emitting layer between electrodes facing each other. The intermediate layer may be provided with various layers, for example, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer or an electron injection layer. In the case of organic electroluminescent devices, these intermediate layers are organic thin films formed of organic material.

상기와 같은 구성을 가지는 유기 전계발광 소자를 제조하는 과정에서, 기판 상에 형성되는 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등의 유기박막들은 증착 장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성될 수 있다. In the process of manufacturing the organic electroluminescent device having the above configuration, organic thin films, such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer or an electron injection layer formed on the substrate is deposited using a deposition apparatus (deposition) It can be formed by the method of.

즉, 유기 전계발광 소자의 박막을 이루는 상기 유기물은 10-6 내지 10-7 torr의 진공도에 250 내지 450℃ 정도의 온도범위에서 증발 또는 승화하므로, 상기 증착 방법은 일반적으로 진공챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착될 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 제작한다. That is, the organic material constituting the thin film of the organic electroluminescent device is evaporated or sublimed in a temperature range of about 250 to 450 ℃ to a vacuum degree of 10 -6 to 10 -7 torr, the deposition method is generally equipped with a substrate in a vacuum chamber Thereafter, a thin film is manufactured by heating a heating vessel containing a material to be deposited and evaporating or subliming the material to be deposited therein.

한편, 상기와 같은 전계발광 소자에는 서로 대향되는 전극이 구비되며, 특히 능동 구동형 전계발광 소자의 경우에는 금속으로 형성되는 전극들을 구비한 박막 트랜지스터들이 구비되는 바, 상기와 같은 전극 등도 증착 등의 방법을 통해 형성될 수 있다.On the other hand, the electroluminescent device as described above is provided with electrodes facing each other, in particular, in the case of the active-driven electroluminescent device is provided with thin film transistors having electrodes formed of a metal, such an electrode and the like It can be formed through the method.

이러한 전극재료는 유기재료와 비교하여 일반적으로 고온에서 증발하게 되는데, 이러한 증발온도는 재료의 종류에 따라 다양하다. 일반적으로 이용되는 마그네슘(Mg)은 500 내지 600℃, 은(Ag)은 1000℃ 이상에서 증발한다. 또한 전극재료로서 이용되는 알루미늄(Al)은 1000℃ 내외에서 증발하며, 리튬(Li)은 300℃ 정도에 서 증발한다.The electrode material is generally evaporated at a high temperature in comparison with the organic material, the evaporation temperature varies depending on the type of material. Magnesium (Mg) generally used is 500 to 600 ° C, and silver (Ag) is evaporated at 1000 ° C or more. In addition, aluminum (Al) used as an electrode material evaporates at around 1000 ° C, and lithium (Li) evaporates at about 300 ° C.

상기와 같은 증착에 의해 유기막 또는 금속막 등을 형성함에 있어서, 상기 유기막 또는 금속막을 특정한 패턴을 가지도록 형성하기 위해 마스크가 이용된다. 즉, 유기막 또는 금속막 등을 형성할 대상에 소정 패턴의 개구부들이 형성된 마스크를 장착한 후 증착을 행함으로써, 상기 마스크에 형성된 소정 패턴의 개구부들을 통해 노출된 부분에만 유기막 또는 금속막 등이 증착되도록 하여 원하는 패턴으로 증착이 이루어지도록 하는 것이다. In forming the organic film or the metal film by the above-described deposition, a mask is used to form the organic film or the metal film to have a specific pattern. That is, by depositing a mask in which openings of a predetermined pattern are formed on an object to form an organic film or a metal film, and depositing the same, the organic film, the metal film, or the like is exposed only to portions exposed through the openings of the predetermined pattern formed in the mask. The deposition is performed so that the deposition is performed in a desired pattern.

이 경우, 마스크를 기판 등에 밀착시킨 후 증착이 이루어지는데, 종래의 마스크의 경우 마스크의 자중에 의해 마스크의 중앙부가 기판 등에 밀착되지 못한다는 문제점이 있었다. In this case, vapor deposition occurs after the mask is brought into close contact with the substrate or the like, but in the case of a conventional mask, there is a problem that the central portion of the mask is not brought into close contact with the substrate or the like due to its own weight.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 텐션 마스크가 개발되었다. 도 1은 이러한 텐션 마스크가 구비된, 종래의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다. 도시된 바와 같이 하나의 금속박판(11)에 전계발광 디스플레이 장치를 이루는 단위 기판을 복수개 증착할 수 있도록 단위 마스크(12)들이 구비되어 있으며, 상기 마스크(10)는 프레임(20)에 인장력이 가하여지도록 고정된다. To solve this problem, tension masks have been developed. 1 is an exploded perspective view schematically showing a conventional mask deposition assembly for thin film deposition, equipped with such a tension mask. As shown, the unit masks 12 are provided to deposit a plurality of unit substrates constituting the electroluminescent display device on one metal plate 11, and the mask 10 is applied with a tensile force to the frame 20. Fixed to

이러한 종래의 마스크(10)는 대량생산을 위해 상대적으로 그 크기가 크므로, 마스크를 격자상의 프레임(20)에 고정할 때 균일하게 인장력이 가하여져 있다 하여도 상술한 바와 같은 자중에 의한 문제는 심화된다. 특히 대면적 금속 박판 마스크는 각 단위 마스크(12)들에 형성된 개구부(12a)들의 너비를 설정된 공차 범위 내로 유지되도록 프레임(20)에 용접하여야 한다. 이때에 마스크(10)의 처짐을 방지하기 위하여 각 방향으로 인장력을 가하여 프레임(20)에 용접하여 마스크 프레임 조립체가 제작된다. 이러한 마스크 프레임 조립체를 제작함에 있어서, 프레임(20)은 금속박판(11)으로 된 마스크(10)를 견고하게 지지해 줄 수 있어야 한다. Since the conventional mask 10 has a relatively large size for mass production, even if a tensile force is uniformly applied when the mask is fixed to the grid-shaped frame 20, the problem caused by the above-described weight Deepen. In particular, the large-area metal sheet mask should be welded to the frame 20 to maintain the width of the openings 12a formed in the unit masks 12 within a set tolerance range. At this time, in order to prevent sagging of the mask 10, a mask frame assembly is manufactured by applying a tensile force in each direction to weld the frame 20. In manufacturing such a mask frame assembly, the frame 20 should be able to firmly support the mask 10 made of a thin metal plate (11).

한편, 도 2에는 이와 같은 종래의 구조의 마스크 프레임 조립체(10, 20)를 이용하여 유기물을 증착하는 증착 장치가 도시되고 있다. 마스크를 이용하여 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 박막을 증착하기 위해서 진공 챔버(70)에 설치된 유기막 증착 용기(crucible: 42)와 대응되는 측에 마스크 프레임 조립체를 설치하고 그 상부에 박막이 형성된 기판(30)을 장착한다. 그리고 그 상부에는 마스크의 처짐을 자석의 인장력으로 감소시키고자 자석 플레이트(50)가 배치되며, 선택적으로 기판(30)과 자석 플레이트(50) 사이에 갭 플레이트(40)가 장착되어 기판을 보호하는 역할을 하게 된다. 그러나, 이와 같이 기판의 상부에 자석 플레이트를 설치하여 자력을 이용하여 마스크의 처지는 정도를 감소시키고자 하였으나, 이에도 불구하고, 기판(30) 자체가 처지게 되어 기판가 갭 플레이트 사이에 틈(30a)가 발생하게 될 뿐만 아니라, 기판과 마스크 사이에서도 마스크가 처지게 되어 틈(10a)이 발생하게 되는 문제점이 있었다.Meanwhile, FIG. 2 illustrates a deposition apparatus for depositing an organic material using the mask frame assemblies 10 and 20 having such a conventional structure. In order to deposit a thin film of the organic electroluminescent display device using a mask, a substrate having a mask frame assembly installed on a side corresponding to the organic film deposition container 42 installed in the vacuum chamber 70 and having a thin film formed thereon ( 30). In order to reduce the deflection of the mask to the tensile force of the magnet, the magnet plate 50 is disposed, and the gap plate 40 is optionally mounted between the substrate 30 and the magnet plate 50 to protect the substrate. It will play a role. However, in order to reduce the deflection of the mask by using a magnetic force by installing a magnet plate on the upper portion in this way, despite this, the substrate 30 itself is sag, so that the substrate 30a between the gap plate In addition to this, there is a problem that the gap is caused by the mask sagging between the substrate and the mask.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 박막 증착 장치에서 마스크를 이용하여 증착할 때 마스크의 국부적인 처짐을 방지하도록 마스크 하부에 자석이 설치된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 박막 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve a number of problems including the above problems, a thin film deposition mask frame assembly having a magnet installed under the mask to prevent the local deflection of the mask when deposited using a mask in the thin film deposition apparatus and It is an object to provide a thin film deposition apparatus using the same.

상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는, In order to achieve the above object and other various objects, the mask frame assembly according to the present invention,

소정 패턴의 개구부와 상기 개구부를 형성하도록 스트립을 갖는 마스크;A mask having a strip to form an opening of the predetermined pattern and the opening;

상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및A mask frame supporting the mask; And

상기 마스크의 개구부를 피하여 부착된 적어도 하나의 자석 부재를 포함한다. At least one magnet member attached avoiding the opening of the mask.

여기서, 상기 자석 부재는 상기 마스크의 하부에 부착된다. Here, the magnet member is attached to the lower portion of the mask.

한편, 상기 자석 부재는 스트립에 부착되어 있는 것이 바람직하다. On the other hand, the magnet member is preferably attached to the strip.

선택적으로 상기 자석부재는 상기 마스크의 테두리부에 부착되어 있는 것이 바람직하다.Optionally, the magnet member is attached to the edge of the mask.

선택적으로, 상기 자석부재는 개구부를 포함하는 액티브 표시부의 사이에 부착되어 있는 것이 바람직하다. Optionally, the magnet member is preferably attached between the active display portions including the openings.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박막 증착 장치는, 소정 패턴의 개구부와 상기 개구부를 형성하도록 스트립을 갖는 마스크, 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임, 및 상기 마스크의 개구부를 피하여 부착된 적어도 하나의 하부 자석 부재를 포함하는 마스크 프레임 조립체와;On the other hand, the thin film deposition apparatus according to the present invention for achieving the above object, the mask having a strip to form an opening of the predetermined pattern and the opening, the mask frame for supporting the mask, and avoiding the opening of the mask A mask frame assembly comprising at least one lower magnet member;

상기 마스크 조립체의 상부에 위치된 상부 자석 플레이트와;An upper magnetic plate located on top of the mask assembly;

상기 마스크 조립체와 상기 상부 자석 사이에 개재되는 기판과;A substrate interposed between the mask assembly and the upper magnet;

상기 기판에 박막층을 증착하기 위한 증착용기를 포함한다. It includes a deposition container for depositing a thin film layer on the substrate.

여기서, 상기 하부 자석 부재와 상기 상부 자석 플레이트 간에는 인력이 작용한다. Here, an attractive force acts between the lower magnet member and the upper magnet plate.

선택적으로 상기 상부 자석 플레이트와 상기 기판 사이에 갭 플레이트를 추가로 구비될 수 있다. Optionally, a gap plate may be further provided between the upper magnet plate and the substrate.

한편, 상기 자석 부재는 스트립에 부착되어 있는 것거나, 상기 마스크의 테두리부에 부착되어 있거나, 개구부를 포함하는 액티브 표시부의 사이에 부착되어 있을 수 있다.The magnet member may be attached to a strip, attached to an edge portion of the mask, or attached between an active display portion including an opening.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도이다. 3 is an exploded perspective view of a mask frame assembly for thin film deposition according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 액티브 표시부(112)를 형성하는 다수의 개구부(121a)가 소정의 형상으로 형성된 마스크(110)가 프레임(120)에 결합된다. 상기 마스크(110)는 액티브 표시부(112)에서 개구부(112a)를 형성하도록 스트립(112b)를 포함한다. 따라서, 개구부(112a)와 개구부 사이에 스트립(112b)이 반복적으로 위치하여 이러한 개구부(112a)를 통하여 기판상에 증착이 이루어지게 되므로 개구부와 스트립이 액티브 표시부를 이루게 된다. As illustrated in FIG. 3, a mask 110 having a plurality of openings 121a forming the active display unit 112 in a predetermined shape is coupled to the frame 120. The mask 110 includes a strip 112b to form the opening 112a in the active display unit 112. Therefore, since the strip 112b is repeatedly positioned between the opening 112a and the opening, and the deposition is performed on the substrate through the opening 112a, the opening and the strip form the active display unit.

한편, 마스크(110)는 프레임(120)에 결합되게 되는데, 마스크(110)상에 형성 된 개구부(112a)의 정확한 위치 설정을 위하여, 결합 방법으로는 접착제에 의한 접합, 레이저 용접 또는 저항가열 용접 등 다양한 방법들이 적용될 수 있으나, 정밀도의 변화 등을 고려하여 레이저 용접방법을 사용하는 것이 바람직하다.On the other hand, the mask 110 is to be coupled to the frame 120, in order to accurately position the opening 112a formed on the mask 110, the bonding method by bonding, laser welding or resistance heating welding by adhesive Although various methods may be applied, it is preferable to use a laser welding method in consideration of a change in precision.

도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 마스크(110)에 개구부(112a)들을 형성함에 있어서 복수개의 단위 마스크가 되는 액티브 표시부(112)가 구비되도록 개구부들을 형성할 수도 있고, 필요에 따라서는 전체가 하나의 디스플레이 장치에 대응되도록 개구부들이 형성되게 할 수도 있다.As shown in FIG. 3, in forming the openings 112a in the mask 110, the openings may be formed such that an active display unit 112 serving as a plurality of unit masks is provided. The openings may be formed to correspond to the display device.

도 3에서 복수개의 개구부(112a)는 테두리부(110a)를 제외하고 그 내측에 배열되며, 개구부(112a)와 스트립(112b)으로 이루어진 다수개의 액티브 표시부(112)도 소정의 간격으로 매트릭스 형식으로 배열된다. 따라서 액티브 표시부(112)들 간에도 소정의 면적으로 개구부가 없는 부분이 형성된다. In FIG. 3, the plurality of openings 112a are arranged inside the plurality of openings 112a except for the edge portion 110a, and the plurality of active display portions 112 including the openings 112a and the strips 112b are also arranged in a matrix form at predetermined intervals. Are arranged. Therefore, a portion having no predetermined area is formed between the active display units 112.

이 경우, 상기 개구부들(112a)은 서로 불연속적인 도트형, 스트라이프형 또는 이들의 혼합 형태 등, 필요에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.In this case, the openings 112a may be formed in various shapes as necessary, such as discrete dots, stripes, or a mixture thereof.

한편, 상기와 같은 구조의 마스크(110)와 결합하게 되는 프레임(120)은 마스크(110)가 부착될 수 있는 대응되는 형상을 가진다. 도 3을 참조하면, 프레임(120)은 사각형의 마스크(110)의 테두리가 프레임에 안착될 수 있는 크기를 가진 구조를 가진다. Meanwhile, the frame 120 coupled to the mask 110 having the above structure has a corresponding shape to which the mask 110 may be attached. Referring to FIG. 3, the frame 120 has a structure in which an edge of the rectangular mask 110 may be seated on the frame.

한편, 상기 마스크(110)의 하부에서 개구부(112a)가 형성된 부분을 피하여 자석 부재(114)가 부착된다. 상기 자석 부재(114)는 마스크의 처짐이 특히 심한 곳에 부착되는 것이 바람직하며, 주로 마스크(110)의 중앙부가 처지게 되므로 이 부분을 비롯하여 소정의 위치에 자성을 띠는 자석 부재(114)가 배치된다. 상기 자석 부재는 영구 자석일 수도 있으며, 전류가 흐를때만 자성을 나타낼 수도 있다. 또한, 상기 자석 부재(114)는 반드시 하나일 필요는 없으며, 마스크(110)이 하부에서 필요한 곳마다 자석 부재를 설치할 수 있다. On the other hand, the magnet member 114 is attached to the lower portion of the mask 110 to avoid the portion formed with the opening (112a). The magnet member 114 is preferably attached to a place where the deflection of the mask is particularly severe. Since the central portion of the mask 110 is mainly sag, the magnet member 114 having magnetic properties at a predetermined position including this portion is disposed. do. The magnet member may be a permanent magnet or may exhibit magnetism only when a current flows. In addition, the magnet member 114 does not necessarily need to be one, and the magnet member may be installed wherever the mask 110 is needed from the bottom.

도 3에서는 자석 부재(114)가 스트립 형태이지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 개구부(112a)를 가리지 않는 형상이라면 어떠한 형상이라도 가능하다. In FIG. 3, the magnet member 114 is in the form of a strip, but is not limited thereto. Any shape may be used as long as the magnet member 114 does not cover the opening 112a.

특히 상기 자석 부재(114)는 스트립(112b)에 부착될 수도 있고, 마스크(110)의 테두리부(110a)에 부착될 수도 있으며, 액티브 표시부의 사이(110b)에 부착될 수도 있다. In particular, the magnet member 114 may be attached to the strip 112b, may be attached to the edge portion 110a of the mask 110, or may be attached between the active display portions 110b.

한편, 이러한 구조의 프레임(120)은 스테인레스 스틸 또는 니켈 합금으로 이루어질 있으며, 상기 프레임은 그 외에도 무게와 강성면에서 유리한 다른 재료로 형성될 수도 있다. On the other hand, the frame 120 of this structure is made of stainless steel or nickel alloy, the frame may be formed of other materials that are advantageous in terms of weight and rigidity.

도 4는 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체를 이용한 박막 증착 장치에서 증착이 이루어지는 과정을 개략적으로 도시하는 측단면도이다.Figure 4 is a side cross-sectional view schematically showing a process of the deposition is performed in a thin film deposition apparatus using a mask frame assembly according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 소정의 패턴의 개구부(112a)와, 개구부를 형성하도록 스트립(112b)을 갖는 마스크(110)는 마스크를 지지하는 프레임(120)에 결합되어 마스크 프레임 조립체를 형성한다. 전술한 바와 같이, 이러한 마스크 프레임에서 형성된 개구부를 회피하여 하나 이상의 자석 부재(114)가 마스크(110)의 하부에 부착되어 있다. As shown in FIG. 3, a mask 110 having a predetermined pattern of openings 112a and a strip 112b to form the openings is coupled to a frame 120 supporting the mask to form a mask frame assembly. . As described above, one or more magnet members 114 are attached to the bottom of the mask 110 to avoid openings formed in the mask frame.

한편, 이러한 구조의 마스크 프레임 조립체의 상부에는 증착이 일어나게 될 기판(130)이 배치되고, 상기 기판(130)이 상부에는 기판을 보호하고 기판의 표면에 대한 공차를 보정하기 위한 갭 플레이트(140)가 배치될 수 있다. 상기 갭 플레이트(140)는 반드시 필요한 구성요소는 아니지만, 기판(130) 보호를 위하여 구비되는 것이 바람직하다. On the other hand, a substrate 130 on which the deposition will occur is disposed on the mask frame assembly having such a structure, and the substrate 130 has a gap plate 140 for protecting the substrate and correcting a tolerance on the surface of the substrate. Can be arranged. The gap plate 140 is not a necessary component, but is preferably provided to protect the substrate 130.

상기 갭 플레이트(140)의 상부에는 상부 자석 플레이트(150)가 배치된다. 따라서 도 4와 같은 배치의 증착 장치에서 상부 자석 플레이트(150)가 구동될 경우, 자석 플레이트(150)는 마스크(110)에 자기력을 가하게 되어 마스크(110)는 기판(130)의 표면 바싹 부착되게 되는데, 본 발명에서는 이에 추가하여 마스크(110)의 하부에 별도의 자석 부재(114)를 추가로 부착하여 둠으로써 상부 자석 플레이트(150)와 자석 부재(114)간의 자기장에 따른 인력이 보강되어 마스크의 국부적인 처짐이 방지된다. The upper magnet plate 150 is disposed on the gap plate 140. Therefore, when the upper magnet plate 150 is driven in the deposition apparatus of FIG. 4, the magnet plate 150 exerts a magnetic force on the mask 110 so that the mask 110 closely adheres to the surface of the substrate 130. In the present invention, in addition to the additional magnet member 114 is attached to the lower portion of the mask 110 in addition to the attraction force according to the magnetic field between the upper magnet plate 150 and the magnet member 114 is reinforced Local sagging of the is prevented.

도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 증착 장치에서는 마스크의 처짐 뿐만 아니라 기판 자체도 국부적으로 처질 수 있는데, 도 3 및 도 4에 도시된 본 발명에 따른 증착 장치에서는 기판을 받치고 있는 마스크(110)의 하부와 그 상부에 이중으로 자기장을 일으키는 자석 부재(114)와 상부 자석 플레이트(150)가 배치됨으로써 마스크(110) 뿐 아니라 기판(130)의 국부적인 처짐도 방지되게 된다. 따라서, 갭 플레이트(140)와 기판(130) 사이에 틈이 발생되는 것이 방지되고, 나아가 기판(130)과 마스크(110) 사이에 틈이 발생되는 것이 방지된다. As shown in FIG. 2, in the conventional deposition apparatus, not only the sag of the mask but also the substrate itself may be locally sag. In the deposition apparatus according to the present invention shown in FIGS. 3 and 4, the mask 110 supporting the substrate is shown. By placing the magnet member 114 and the upper magnet plate 150 to generate a magnetic field in the lower part and the upper part of the upper part, local sagging of the substrate 130 as well as the mask 110 is prevented. Therefore, the gap between the gap plate 140 and the substrate 130 is prevented from occurring, and further, the gap between the substrate 130 and the mask 110 is prevented from occurring.

한편, 이러한 구조로 적층된 구성요소들은 도 4에 도시된 바와 같은 증착 장치에 의해 증착을 행하게 된다. Meanwhile, the components stacked in such a structure are deposited by a deposition apparatus as shown in FIG. 4.

도 4를 참조하면, 마스크(110)를 이용하여 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 박막, 즉 적, 녹, 청색의 유기 발광층 등의 박막들을 증착하기 위해서는 진공 챔버(170)에 설치된 유기막 증착 용기(crucible: 142)와 대응되는 측에 마스크 프레임 조립체를 설치하고, 그 상부에 박막이 형성될 기판(130)을 장착한다. 그리고 그 상부에 프레임(120)에 지지된 마스크(110)를 기판(130)에 밀착시키기 위해 배치된 자석 플레이트(150)를 구동하여 자기장을 일으켜서 상기 마스크(110)가 기판(130)에 밀착되도록 하며, 이 과정에서 마스크(110)의 하부에도 별도의 자석 부재(114)가 설치되어 있으므로 마스크(110)가 기판(130)에 더욱 확실하게 밀착되게 된다. 이러한 상태에서 상기 유기막 증착 용기(142)의 작동으로 이에 장착된 유기물이 기화되어 기판(130)에 증착되게 된다. Referring to FIG. 4, in order to deposit thin films of the organic electroluminescent display device, that is, thin films such as red, green, and blue organic light emitting layers, using the mask 110, an organic film deposition container provided in the vacuum chamber 170 may be used. The mask frame assembly is installed on the side corresponding to 142, and the substrate 130 on which the thin film is to be formed is mounted. Then, the magnetic plate 150 is driven by driving the magnet plate 150 disposed to closely contact the mask 110 supported by the frame 120 to the substrate 130 so that the mask 110 adheres to the substrate 130. In this process, since a separate magnet member 114 is installed under the mask 110, the mask 110 is more tightly adhered to the substrate 130. In this state, the organic material attached thereto is vaporized by the operation of the organic film deposition container 142 to be deposited on the substrate 130.

이러한 과정에서 기판(130)과 마스크(110)사이에 틈이 존재하지 않고 마스크가 기판에 매우 밀접하게 밀착되어 있으므로 마스크상의 패턴이 오차 없이 기판상에 나타나게 된다. In this process, since there is no gap between the substrate 130 and the mask 110 and the mask is closely attached to the substrate, the pattern on the mask appears on the substrate without error.

여기서, 마스크(110)의 하부에 자석 부재(114)가 배치되는 위치는 전술한 위치에 한정되지 않으며, 마스크가 국부적으로 처지는 것을 방지하기 위하여 처지는 부위상에서 마스크의 개구부를 가리지 않는 범위 내에서 적절히 선택될 수 있다. Here, the position where the magnet member 114 is disposed below the mask 110 is not limited to the above-described position, and in order to prevent the mask from sagging locally, it is appropriately selected within a range not covering the opening of the mask on the sagging portion. Can be.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 따르면, 박막이 형성될 기판과 박막 성형 패턴을 가진 마스크가 밀참되에 있어서, 마스크가 국부적으로 처지는 형상이 제거되어 기판의 정확한 위치에 오차없이 증착 패턴이 성형되어 제품의 오차 발생이 현저하게 감소된다. According to the mask frame assembly for thin film deposition of the present invention made as described above, in the mask is masked with a substrate and a thin film forming pattern on which the thin film is to be formed, the shape where the mask is locally sag is eliminated, so that an error occurs in the correct position of the substrate. Without the deposition pattern is molded, the error occurrence of the product is significantly reduced.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (11)

소정 패턴의 개구부와 상기 개구부를 형성하도록 스트립을 갖는 마스크;A mask having a strip to form an opening of the predetermined pattern and the opening; 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및A mask frame supporting the mask; And 상기 마스크의 개구부를 피하여 부착된 적어도 하나의 자석 부재를 포함하며,At least one magnet member attached avoiding the opening of the mask, 상기 자석 부재는 상기 마스크의 하부에 부착되어 있는 마스크 프레임 조립체.And the magnet member is attached to the bottom of the mask. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자석 부재는 스트립에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.And the magnet member is attached to the strip. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자석부재는 상기 마스크의 테두리부에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.And the magnet member is attached to an edge portion of the mask. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자석부재는 개구부를 포함하는 액티브 표시부의 사이에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.And the magnet member is attached between the active display portions including the openings. 소정 패턴의 개구부와 상기 개구부를 형성하도록 스트립을 갖는 마스크, 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임, 및 상기 마스크의 개구부를 피하여 부착된 적어도 하나의 하부 자석 부재를 포함하는 마스크 프레임 조립체와;A mask frame assembly comprising an opening of a predetermined pattern and a mask having a strip to form the opening, a mask frame for supporting the mask, and at least one lower magnet member attached to avoid the opening of the mask; 상기 마스크 프레임 조립체의 상부에 위치된 상부 자석 플레이트와;An upper magnet plate positioned on the mask frame assembly; 상기 마스크 프레임 조립체와 상기 상부 자석 플레이트 사이에 개재되는 기판과;A substrate interposed between the mask frame assembly and the upper magnet plate; 상기 기판에 박막층을 증착하기 위한 증착용기를 포함하며,It includes a deposition container for depositing a thin film layer on the substrate, 상기 하부 자석 부재는 상기 마스크의 하부에 부착되어 있는 박막 증착 장치.And the lower magnet member is attached to a lower portion of the mask. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 하부 자석 부재와 상기 상부 자석 플레이트 간에는 인력이 작용하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.A thin film deposition apparatus, characterized in that an attractive force acts between the lower magnet member and the upper magnet plate. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 상부 자석 플레이트와 상기 기판 사이에 갭 플레이트를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.Thin film deposition apparatus further comprises a gap plate between the upper magnet plate and the substrate. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 자석 부재는 스트립에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장 치.And the magnet member is attached to the strip. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 자석 부재는 상기 마스크의 테두리부에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.And the magnet member is attached to an edge portion of the mask. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 자석 부재는 개구부를 포함하는 액티브 표시부의 사이에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.And the magnet member is attached between the active display portions including the openings.
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