KR100693100B1 - Glass holder unit having reinforced structure and inspection apparatus using the same - Google Patents

Glass holder unit having reinforced structure and inspection apparatus using the same Download PDF

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KR100693100B1
KR100693100B1 KR1020060060277A KR20060060277A KR100693100B1 KR 100693100 B1 KR100693100 B1 KR 100693100B1 KR 1020060060277 A KR1020060060277 A KR 1020060060277A KR 20060060277 A KR20060060277 A KR 20060060277A KR 100693100 B1 KR100693100 B1 KR 100693100B1
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(주)오엘케이
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Abstract

A glass holder unit having a reinforcing structure and an inspection apparatus using the same are provided to improve a yield rate and productivity by enabling a worker to inspect a stain or a defect of a glass substrate promptly, accurately, and easily. A glass holder unit includes a glass holder plate on which a glass substrate is loaded and a connection flange for connection of the glass holder plate and a multi-articulation robot. The glass holder unit includes a front surface rib(23), a support bar(22), side surface ribs(26), and corner ribs(28). The front surface rib is engaged with the connection flange. The support bar is engaged with the front surface of the glass holder plate by interposing the connection flange. The side surface ribs are bent perpendicularly at both ends of the support bar and are engaged with both side surfaces of the glass holder plate. The corner ribs are engaged with four vertexes of the glass holder plate. The front surface ribs are arranged in parallel at upper and lower parts with respect to the connection flange.

Description

보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛 및 이를 이용하는 검사장치{Glass holder unit having reinforced structure and inspection apparatus using the same}Glass holder unit having reinforced structure and inspection apparatus using the same {Glass holder unit having reinforced structure and inspection apparatus using the same}

도 1은 종래 글라스 홀더 유닛을 보인 평면도1 is a plan view showing a conventional glass holder unit

도 2는 본 발명에 따른 글라스 홀더 유닛을 나타내는 사시도2 is a perspective view showing a glass holder unit according to the present invention

도 3은 본 발명에 따른 글라스 홀더 유닛을 나타내는 평면도3 is a plan view showing a glass holder unit according to the present invention;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

20:글라스 홀더 플레이트 25:연결 플랜지20: glass holder plate 25: connection flange

22:서포트바 23:전면리브22: support bar 23: front rib

24:중간리브 26:측면리브24: Middle rib 26: Side rib

28:코너리브28: corner rib

본 발명은 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 매크로 검사 공정에서 진동, 뒤틀림, 처짐 발생에 의해 글라스 기판의 검사 불량이 발생되지 않도록 다관절 로봇과 글라스 홀더 유닛의 연결구조를 개선한 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a glass holder unit having a reinforcing structure, and more particularly, to a connection structure between an articulated robot and a glass holder unit such that inspection defects on the glass substrate are not generated due to vibration, distortion, and sag in the macro inspection process. A glass holder unit having an improved reinforcement structure.

일반적으로 평판 디스플레이 패널을 제조하는 공정에서는, 글라스 기판의 결함 유무 검사로, 육안으로 이루어지는 매크로 검사와 현미경과 같은 장비를 이용하는 마이크로 검사가 수행된다. 매크로 검사에서는 글라스 기판의 표면에 조명 광을 조사하거나, 백라이트 유닛을 이용하여 유리 기판의 후명에 조명 광을 조사하여 작업자가 육안으로 글라스 기판의 표면에 존재하는 흠, 오염 등의 결함을 검출하고, 마이크로 검사에서는 작업자가 육안으로 보이지 않는 결함을 현미경 광학계에 의하여 글라스 기판을 확대 관찰함으로써 글라스 기판의 이물렸裡熏불량 패턴의 결함을 검출한다.Generally, in the process of manufacturing a flat panel display panel, a defect inspection of a glass substrate is performed, and macro inspection by visual observation and micro inspection using equipment, such as a microscope, are performed. In the macro inspection, the illumination light is irradiated onto the surface of the glass substrate, or the illumination light is irradiated to the backside of the glass substrate using a backlight unit, and the operator visually detects defects such as flaws and stains on the surface of the glass substrate, In the micro-inspection, the defect of the foreign material pattern of the glass substrate is detected by magnifying and observing the glass substrate with the microscope optical system for the defect which an operator does not see visually.

본 출원인이 출원한 한국특허출원 10-2004-117910호에는 글라스 기판의 매크로 검사장치로서 다관절 로봇을 이용하는 장치가 개시되어 있다. 이 검사장치에서는, 글라스 기판의 결함 유무 검사 시, 검사자의 조작에 따라 다관절 로봇이 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트 유닛 등의 조명광에 조사하여 글라스 기판의 결함 유무를 검사한다.Korean Patent Application No. 10-2004-117910 filed by the present applicant discloses an apparatus using a multi-joint robot as a macro inspection apparatus of a glass substrate. In this inspection apparatus, when inspecting the glass substrate for defects, the articulated robot moves the glass holder unit in various directions and irradiates illumination light such as a backlight unit to inspect the glass substrate for defects according to the inspector's operation.

도 1은 종래 글라스 홀더 유닛을 보인 평면도이다.1 is a plan view showing a conventional glass holder unit.

종래 글라스 홀더 유닛(10)과 다관절 로봇(5)의 연결구조는, 글라스 홀더 유닛의 전면에 서포트바(12)를 개재하여 연결 플랜지(15)가 형성되고, 그 연결 플랜지(15)에 다관절 로봇(5)이 결합되도록 구성된 일명, 외팔보 구조로 이루어져 있다. 따라서, 작동이 신속한 장점이 있는 반면 진동, 뒤틀림, 처짐이 발생하기 쉬운 단점이 있다.In the connection structure of the glass holder unit 10 and the articulated robot 5, the connection flange 15 is formed on the front surface of the glass holder unit via the support bar 12, and the connection flange 15 Articulated robot 5 is a so-called cantilever structure is configured to be coupled. Therefore, while the operation has the advantage of being rapid, there is a disadvantage that vibration, distortion, sagging is likely to occur.

글라스 홀더 유닛(10)이 지나치게 견실하게(무겁게) 설계되면, 작동 신뢰성이 저하되고, 그 반대의 경우 글라스 홀더 유닛(10)의 변형과 회전시 언밸런스가 유발된다.If the glass holder unit 10 is designed too rigidly (heavy), the operating reliability is lowered, and vice versa, unbalance occurs when the glass holder unit 10 is deformed and rotated.

또한, 검사장비 내에는 고배율 확대의 실체 현미경과 CCD 카메라가 부착되어 있어 매크로 검사를 통한 육안 관찰이나 간이 마이크로 검사를 통한 전자적 디스플레이 관찰이 용이한데, 다관절 로봇(5)의 급속회전 및 정지 동작에 따른 진동, 뒤틀림, 처짐으로 인하여 미세 결함의 검사 결과에 대한 정확성을 보장할 수 없는 문제점이 상존하고 있다.In addition, a stereo microscope and a CCD camera with high magnification are attached to the inspection equipment for easy visual observation through macro inspection or electronic display observation through simple micro inspection. Due to the vibration, distortion and deflection, there is a problem that cannot guarantee the accuracy of the inspection result of the micro defects.

따라서 본 발명은 글라스 홀더 유닛과 다관절 로봇의 연결구조를 개선하여 다관절 로봇을 이용한 매크로 검사 공정에서, 진동, 뒤틀림, 처짐 발생에 의해 검사 불량이 유발되는 것을 사전에 방지할 수 있는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛을 제공함에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention improves the connection structure between the glass holder unit and the articulated robot in the macro inspection process using the articulated robot, a reinforcement structure that can prevent the inspection failure is caused in advance by the occurrence of vibration, distortion, deflection The object is to provide a glass holder unit having.

이러한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 플레이트와, 다관절 로봇과의 연결을 위해 상기 글라스 홀더 플레이트(프레임)의 전면에 돌출 형성되는 연결 플랜지와, 상기 연결 플랜지를 개재하여 상기 글라 스 홀더 플레이트의 전면에 결합되는 서포트바를 구비하는 글라스 홀더 유닛에 있어서, 상기 연결 플랜지에 결합되는 전면리브와, 상기 서포트바의 양단에서 직각으로 절곡 형성되어 상기 글라스 홀더 플레이트의 양 측면에 결합되는 측면리브와, 상기 글라스 홀더 플레이트의 네 모서리에 결합되는 코너리브를 포함하는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a glass holder plate loaded with a glass substrate, a connection flange protruding from the front surface of the glass holder plate (frame) for connection with the articulated robot, and through the connection flange. In the glass holder unit having a support bar coupled to the front surface of the glass holder plate, the front rib coupled to the connecting flange, and bent at right angles at both ends of the support bar are formed on both sides of the glass holder plate Provided is a glass holder unit having a reinforcing structure including side ribs coupled to each other and corner ribs coupled to four corners of the glass holder plate.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사를 위한 검사장치로서, 적어도 6자유도를 갖는 다관절 로봇; 검사 대상인 글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 유닛; 및 상기 다관절 로봇과 상기 글라스 홀더 유닛을 연결하는 연결 플랜지; 를 포함하며, 상기 글라스 홀더 유닛은, 사각 형태를 갖고 알루미늄 소재로 이루어지는 글라스 홀더 플레이트; 상기 연결 플랜지와 결합되는 전면리브; 상기 연결 플랜지를 개재하여 상기 글라스 홀더 플레이트의 전면에 결합되는 서포트바; 상기 서포트바의 양단에서 직각으로 절곡 형성되어 상기 글라스 홀더 플레이트의 양 측면에 결합되는 측면리브; 및 상기 글라스 홀더 플레이트의 네 모서리에 결합되는 코너리브를 구비하는 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, an inspection apparatus for macro inspection of a flat panel display panel, comprising: an articulated robot having at least six degrees of freedom; A glass holder unit into which a glass substrate to be inspected is loaded; And a connecting flange connecting the articulated robot and the glass holder unit. The glass holder unit includes a glass holder plate having a rectangular shape and made of aluminum; A front rib coupled to the connection flange; A support bar coupled to the front surface of the glass holder plate via the connection flange; Side ribs formed at right angles at both ends of the support bar and coupled to both sides of the glass holder plate; And a corner rib coupled to four corners of the glass holder plate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a glass holder unit having a reinforcing structure according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 글라스 홀더 유닛을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 글라스 홀더 유닛을 나타내는 평면도이다.2 is a perspective view showing a glass holder unit according to the present invention, Figure 3 is a plan view showing a glass holder unit according to the present invention.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 글라스 홀더 유닛은, 글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 플레이트(20)와, 다관절 로봇(5 : 도 1참조)과의 연결을 위해 상기 글라스 홀더 플레이트(20)의 전면에 돌출 형성되는 연결 플랜지(25)와, 상기 연결 플랜지(25)를 개재하여 상기 글라스 홀더 플레이트(20)의 전면에 결합되는 서포트바(22)와, 상기 연결 플랜지(25)에 일체로 결합되는 전면리브(23)와, 상기 서포트바(22)의 양단에서 직각으로 절곡 형성되어 상기 글라스 홀더 플레이트(20)의 양 측면에 결합되는 측면리브(26)와, 상기 글라스 홀더 플레이트(20)의 네 모서리에 결합되는 코너리브(28)로 구성된다.As shown in the drawing, the glass holder unit according to the present invention includes a glass holder plate 20 on which a glass substrate is loaded, and the glass holder plate 20 for connection with an articulated robot 5 (see FIG. 1). A connection flange 25 protruding from the front of the support bar, a support bar 22 coupled to the front surface of the glass holder plate 20 via the connection flange 25, and integrally connected to the connection flange 25. Front ribs 23 to be coupled, side ribs 26 formed at right angles at both ends of the support bar 22, and coupled to both sides of the glass holder plate 20, and the glass holder plate 20. Consists of a corner rib 28 coupled to the four corners of the.

상기 전면리브(23)는 연결 플랜지(25)를 기준으로 상하에 각각 평행하게 배치되고, 그 사이에 강도를 높이기 위해 다수의 중간리브(24)가 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 연결 플랜지와 상기 서포트바는 일체로 형성될 수도 있다.The front ribs 23 are arranged parallel to each other up and down with respect to the connecting flange 25, it is preferable that a plurality of intermediate ribs 24 are formed in order to increase the strength therebetween. In addition, the connecting flange and the support bar may be integrally formed.

본 발명에 따른 글라스 홀더 유닛의 구조를 부연 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the structure of the glass holder unit according to the present invention will be described in detail.

상기 연결 플랜지(25)에 전면리브(23)가 결합되는 데, 이때 전면리브(23)는 글라스 홀더 플레이트(20)의 전면 폭보다 작은 크기로 하여도 무방하고, 도면에 도시된 바와 같이, 모서리부가 예리하지 않은 경사형 구조로 형성되어도 좋다.The front ribs 23 are coupled to the connection flange 25, wherein the front ribs 23 may be smaller than the front width of the glass holder plate 20, and as shown in the drawing, the edges It may be formed in an inclined structure with no sharp edges.

상기 전면리브(23)의 재질과 두께는 연결 플랜지(25)의 것에 준하여 유사한 규격 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 물론, 연결 플랜지(25)는 다관절 로봇(5)에 착탈되는 부분이므로, 전면리브(23)와 달리 양호한 내마모성을 요하는 점에 차이가 있다. 이때, 상기 전면리브(23)는 연결 플랜지(25)를 기준으로 상하로 평행하게 배치되는 복층 구조이고, 그 사이에 다수의 중간리브(24)가 구비된다.Material and thickness of the front rib 23 is preferably set to a similar standard range according to the connection flange (25). Of course, since the connection flange 25 is a part detachable from the articulated robot 5, there is a difference in that it requires good wear resistance, unlike the front rib (23). At this time, the front rib 23 is a multi-layer structure arranged in parallel up and down with respect to the connecting flange 25, a plurality of intermediate ribs 24 are provided therebetween.

상기 중간리브(24)는 전면리브(23)의 길이를 고려하여 적절한 수로 배치하나, 글라스 홀더 유닛의 급속 회전 시, 진동이 유발되지 않도록 간격을 균일하게 하는 것이 바람직하다. 상기 연결 플랜지(25), 전면리브(23), 중간리브(24)는 용접으로 결합하여 일체화하는 것이 좋다. 만일 조립, 유지관리의 목적으로 볼트 체결이 필요한 경우 그 설치 수량을 최소화하는 것이 바람직하다.The intermediate ribs 24 are disposed in an appropriate number in consideration of the length of the front ribs 23, but it is preferable to make the intervals uniform so as not to cause vibration during rapid rotation of the glass holder unit. The connecting flange 25, the front rib 23, the intermediate rib 24 is preferably joined by welding. If bolting is required for assembly and maintenance purposes, it is desirable to minimize the number of installations.

상기 서포트바(22), 전면리브(23), 플랜지(25) 전체를 글라스 홀더 플레이트(20)와 일체형으로 할 경우, 조립 및 향후 유지보수의 어려움이 있으므로, 글라스 홀더 플레이트(20)와 서포트바(22) 또는 서포트바(22)와 연결 플랜지(25) 사이를 분리하는 것이 좋다. 서포트바(22)를 연결 플랜지(25) 및 전면리브(23)와 일체형으로 하고, 글라스 홀더 플레이트(20)와 서포트바(22) 사이가 분리되도록 하는 것이 글라스 홀더 유닛의 뒤틀림 방지와 진동 흡수에 유리하다.When the support bar 22, the front ribs 23, and the entire flange 25 are integrally formed with the glass holder plate 20, the glass holder plate 20 and the support bar are difficult to assemble and future maintenance. (22) Or it is good to separate between the support bar 22 and the connecting flange (25). The support bar 22 is integrated with the connecting flange 25 and the front rib 23, and the separation between the glass holder plate 20 and the support bar 22 is to prevent distortion of the glass holder unit and to absorb vibration. It is advantageous.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 서포트바(22)의 양단에서 측면리브(26)가 직각으로 연장되어 글라스 홀더 플레이트(20)의 측면에 결합된다. 다관절 로봇(5)에 연결되는 연결 플랜지(25)가 위치하는 서포트바(22) 부분은 반대측 자유단 위치에 비하여 굽힘/비틀림 모멘트가 크게 작용한다. 측면리브(26)가 도면에 도시한 것처럼 서포트바(22)와 함께 “ㄷ”자 형태로 연결되면, 이 부분의 강도가 보강되어 자유단에서의 뒤틀림과 처짐 현상이 완화되는 것이다. 측면리브(26)는 삼각형 또는 사다리꼴 형태도 무방하며, 그 크기는 글라스 홀더 유닛의 길이, 글라스 탑재 중량을 고려하여 결정하는 것이 바람직하다.In addition, according to the present invention, the side ribs 26 extend at right angles at both ends of the support bar 22 and are coupled to the side surfaces of the glass holder plate 20. The portion of the support bar 22 where the connecting flange 25 is connected to the articulated robot 5 has a greater bending / torsion moment than the opposite free end position. When the side ribs 26 are connected to the “c” shape together with the support bar 22 as shown in the drawing, the strength of this portion is reinforced to alleviate the warping and sagging at the free end. The side ribs 26 may have a triangular or trapezoidal shape, and the size thereof is preferably determined in consideration of the length of the glass holder unit and the glass mounting weight.

또, 본 발명에 따르면, 상기 글라스 홀더 플레이트(20)의 네 모서리에 코너 리브(28)가 결합된다. 코너리브(28)는 “ㄱ”자 형태로 형성하여 글라스 홀더 플레이트(20)의 모서리에 용접하거나 볼트로 체결하는 것이 바람직하다. 서포트바(22) 측에 인접한 부분의 코너리브(28)를 반대측의 코너리브(28)보다 크게 하는 것이 좋다. 도면에는 하나의 모서리에 하나의 코너리브(28)를 나타내었으나 복수로 사용할 수도 있다.In addition, according to the present invention, the corner ribs 28 are coupled to four corners of the glass holder plate 20. Corner rib 28 is formed in the shape of a "b" is preferably welded to the edge of the glass holder plate 20 or fastened with bolts. It is preferable to make the corner ribs 28 of the portion adjacent to the support bar 22 side larger than the corner ribs 28 on the opposite side. In the figure, one corner rib 28 is shown at one corner, but a plurality of corner ribs 28 may be used.

이와 같이 전면리브(23), 중간리브(24), 측면리브(26), 코너리브(28)를 적절한 위치에 결합함으로써 글라스 홀더 유닛을 더욱 경량화 할 수 있고, 다관절 로봇 구동에 따른 진동을 완화하여 검사 정확도를 높일 수 있다.By combining the front ribs 23, the intermediate ribs 24, the side ribs 26, and the corner ribs 28 at the appropriate positions, the glass holder unit can be further reduced in weight, and vibrations caused by the articulated robot are alleviated. The inspection accuracy can be increased.

상기 글라스 홀더 유닛을 설계함에 있어서, 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 소요 강도를 유지하면서 전면리브(23), 중간리브(24), 측면리브(26), 코너리브(28)의 크기를 최소화할 수 있는 치수를 산출하는 것이 바람직하다.In designing the glass holder unit, dimensions for minimizing the sizes of the front ribs 23, the middle ribs 24, the side ribs 26, and the corner ribs 28 while maintaining the required strength through computer simulation are provided. It is preferable to calculate.

한편, 최근 각종 평판 디스플레이 장치가 경쟁적으로 대형화되는 추세에 있고, 이에 따라 글라스 기판의 크기도 점차 증가할 뿐 아니라, 매크로 검사장치의 크기도 증가되고 있다. 예컨대 8세대와 9세대의 글라스 기판은 각각 1950 mm X 2250 mm와 2400 mm X 2800 mm의 크기를 갖는다. 반면, 종래와 같은 매크로 검사장치를 사용하는 경우에는 너무 넓은 공간을 차지하여 효율성이 저하된다.On the other hand, various flat panel display devices have recently become increasingly large in size. As a result, the size of the glass substrate is gradually increased, and the size of the macro inspection device is also increased. For example, 8th and 9th generation glass substrates have dimensions of 1950 mm x 2250 mm and 2400 mm x 2800 mm, respectively. On the other hand, when using the conventional macro inspection apparatus occupies too much space, the efficiency is reduced.

본 발명의 경우, 전면리브(23), 중간리브(24), 측면리브(26), 코너리브(28)를 추가적으로 설치하는 대신 전체적 또는 부분적으로 초경량 알루미늄 소재를 사용할 수 있으므로, 글라스 홀더 유닛의 크기와 중량을 줄이는데 유리하다. 더구나 통상 글라스 홀더 유닛 상에는 다수의 진공패드가 설치되어 글라스의 하중을 분산 한다. 향후, 글라스 기판의 크기 및 중량이 커지는 경우에도 균일한 하중 분포와 연계되면 초경량 알루미늄 소재로 형성된 글라스 홀더 유닛의 적용이 가능하다.In the case of the present invention, instead of additionally installing the front ribs 23, the intermediate ribs 24, the side ribs 26, the corner ribs 28, an ultra-light aluminum material may be used, in whole or in part, so that the size of the glass holder unit It is advantageous to reduce the weight. In addition, a plurality of vacuum pads are usually provided on the glass holder unit to distribute the load of the glass. In the future, even when the size and weight of the glass substrate are increased, it is possible to apply the glass holder unit formed of the ultra-light aluminum material in connection with the uniform load distribution.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예들을 기초로 상세히 설명되었지만, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 점은 명백하다. 본 명세서에 기재된 어떤 사항도 본 발명의 범위를 첨부된 특허청구의 범위보다 좁히려는 것은 아니다. 전술한 실시예들은 예시를 위한 것이며 이와 다른 실시 형태를 갖는 것을 배제하고자 하는 것은 아니다.Although the invention has been described in detail based on the embodiments shown in the accompanying drawings, it is apparent that various modifications are possible without departing from the scope of the invention. Nothing described herein is intended to narrow the scope of the invention to the scope of the appended claims. The foregoing examples are for illustrative purposes only and are not intended to exclude those having other embodiments.

이상의 구성 및 작용에 따르면, 본 발명은 평판 디스플레이 제조 현장에서 검사장비의 작업자가 신속, 정확, 용이하게 글라스 기판의 얼룩이나 결함을 검사하여 수율을 높이고 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the above configuration and operation, the present invention can improve the yield and improve the productivity by inspecting the stain or defect of the glass substrate quickly, accurately, and easily by the operator of the inspection equipment in the flat display manufacturing site.

Claims (9)

글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 플레이트 및 상기 글라스 홀더 플레이트와 다관절 로봇과의 연결을 위한 연결 플랜지를 구비하는 글라스 홀더 유닛으로서,A glass holder unit having a glass holder plate on which a glass substrate is loaded and a connecting flange for connecting the glass holder plate to an articulated robot, 상기 연결 플랜지와 결합되는 전면리브;A front rib coupled to the connection flange; 상기 연결 플랜지를 개재하여 상기 글라스 홀더 플레이트의 전면에 결합되는 서포트바;A support bar coupled to the front surface of the glass holder plate via the connection flange; 상기 서포트바의 양단에서 직각으로 절곡 형성되어 상기 글라스 홀더 플레이트의 양 측면에 결합되는 측면리브; 및Side ribs formed at right angles at both ends of the support bar and coupled to both sides of the glass holder plate; And 상기 글라스 홀더 플레이트의 네 모서리에 결합되는 코너리브;Corner ribs coupled to four corners of the glass holder plate; 를 포함하는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛.Glass holder unit having a reinforcing structure including a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 전면리브는 상기 연결 플랜지를 기준으로 상하에 각각 평행하게 배치되고, 그 사이에 다수의 중간리브가 형성되는 것을 특징으로 하는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛.The front ribs are arranged parallel to each other up and down on the basis of the connecting flange, a plurality of intermediate ribs are formed between the glass holder unit having a reinforcing structure. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 연결 플랜지와 상기 전면리브는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛.And the connecting flange and the front rib are integrally formed. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 연결 플랜지와 상기 서포트바는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛.The connecting flange and the support bar is a glass holder unit having a reinforcing structure, characterized in that formed integrally. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 글라스 홀더 플레이트는 알루미늄 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 보강구조를 갖는 글라스 홀더 유닛.The glass holder plate is a glass holder unit having a reinforcing structure, characterized in that made of aluminum material. 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사를 위한 검사장치로서,An inspection apparatus for macro inspection of a flat panel display panel, 적어도 6자유도를 갖는 다관절 로봇;An articulated robot having at least six degrees of freedom; 검사 대상인 글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 유닛; 및A glass holder unit into which a glass substrate to be inspected is loaded; And 상기 다관절 로봇과 상기 글라스 홀더 유닛을 연결하는 연결 플랜지;A connecting flange connecting the articulated robot and the glass holder unit; 를 포함하며,Including; 상기 글라스 홀더 유닛은,The glass holder unit, 사각 형태를 갖고 알루미늄 소재로 이루어지는 글라스 홀더 플레이트;A glass holder plate having a square shape and made of aluminum; 상기 연결 플랜지와 결합되는 전면리브;A front rib coupled to the connection flange; 상기 연결 플랜지를 개재하여 상기 글라스 홀더 플레이트의 전면에 결합되는 서포트바;A support bar coupled to the front surface of the glass holder plate via the connection flange; 상기 서포트바의 양단에서 직각으로 절곡 형성되어 상기 글라스 홀더 플레이트의 양 측면에 결합되는 측면리브; 및Side ribs formed at right angles at both ends of the support bar and coupled to both sides of the glass holder plate; And 상기 글라스 홀더 플레이트의 네 모서리에 결합되는 코너리브;Corner ribs coupled to four corners of the glass holder plate; 를 구비하는 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사장치.Macro inspection apparatus of the flat panel display panel having a. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 전면리브는 상기 연결 플랜지를 기준으로 상하에 각각 평행하게 배치되고, 그 사이에 다수의 중간리브가 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사장치.The front ribs are arranged parallel to each other up and down relative to the connecting flange, a plurality of intermediate ribs are formed between the macro inspection apparatus of the flat panel display panel. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 연결 플랜지와 상기 전면리브는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사장치.And the connecting flange and the front rib are integrally formed. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 연결 플랜지와 상기 서포트바는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 매크로 검사장치.And the connecting flange and the support bar are integrally formed.
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