KR100688828B1 - Apparatus for irradiating ultraviolet rays to fabricate organic light emitting display - Google Patents

Apparatus for irradiating ultraviolet rays to fabricate organic light emitting display Download PDF

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KR100688828B1 KR1020050080283A KR20050080283A KR100688828B1 KR 100688828 B1 KR100688828 B1 KR 100688828B1 KR 1020050080283 A KR1020050080283 A KR 1020050080283A KR 20050080283 A KR20050080283 A KR 20050080283A KR 100688828 B1 KR100688828 B1 KR 100688828B1
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ultraviolet
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이지용
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

An apparatus for irradiating ultraviolet rays to fabricate an organic light emitting display is provided to prevent a hardening property of central products from deteriorating when being applied to an OLED compact product by making an ultraviolet uniformity uniformly in a hardening process. In an apparatus for irradiating ultraviolet rays to fabricate an organic light emitting display, a chamber is provided for an adhering process of a device substrate(1) on which an organic light emitting element is formed and a sealing substrate(2). An ultraviolet generation unit installed on an outside of the chamber irradiates the ultraviolet rays to the device substrate(1). At least more than two transparent support plates support the device substrate(1) and the sealing substrate(2). An opaque support frame is installed for supporting the support plates. Reflection units(160,260) guide the ultraviolet rays, generated from the ultraviolet generation unit, to the device substrate(1) where the support frame is installed by reflecting the ultraviolet rays by various angles.

Description

유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치{APPARATUS FOR IRRADIATING ULTRAVIOLET RAYS TO FABRICATE ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY}UV irradiation device for manufacturing organic light emitting display device {APPARATUS FOR IRRADIATING ULTRAVIOLET RAYS TO FABRICATE ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY}

도 1은 종래의 유기 발광표시장치 제조를 위한 자외선 조사장치를 개략적으로 도시한 구성도,1 is a configuration diagram schematically showing an ultraviolet irradiation device for manufacturing a conventional organic light emitting display device;

도 2는 종래의 자외선 조사장치에서 지지 프레임에 의한 미경화 구역을 나타내는 개략도, Figure 2 is a schematic diagram showing the uncured area by the support frame in the conventional ultraviolet irradiation device,

도 3은 본 발명에 따른 자외선 조사장치의 제1 실시예를 개략적으로 도시한 구성도,3 is a configuration diagram schematically showing a first embodiment of an ultraviolet irradiation device according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 제1 실시예에서 반사판에 의한 자외선 조사범위를 나타내는 개략도,Figure 4 is a schematic diagram showing the ultraviolet irradiation range by the reflecting plate in the first embodiment according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 자외선 조사장치의 제2 실시예를 개략적으로 도시한 구성도,5 is a configuration diagram schematically showing a second embodiment of the ultraviolet irradiation device according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 제2 실시예에서 반사판에 의한 자외선 조사범위를 나타내는 개략도,6 is a schematic view showing the ultraviolet irradiation range by the reflecting plate in the second embodiment according to the present invention;

도 7은 본 발명에 따른 자외선 조사장치의 제3 실시예를 개략적으로 도시한 구성도,7 is a configuration diagram schematically showing a third embodiment of the ultraviolet irradiation device according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 제3 실시예에서 반사판에 의한 자외선 조사범위를 나 타내는 개략도.8 is a schematic diagram showing the ultraviolet irradiation range by the reflecting plate in the third embodiment according to the present invention.

♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing ♣

1 : 디바이스 기판 2 : 밀봉 기판1 device substrate 2 sealing substrate

3 : UV 마스크 4 : 홀더3: UV mask 4: holder

110 : 챔버 111 : 투명 플레이트110: chamber 111: transparent plate

120 : UV 램프 130 : 석영 플레이트120: UV lamp 130: quartz plate

140 : 지지대 150 : 지지 프레임140: support 150: support frame

160, 260 : 반사수단 161 : 제1 반사판160, 260: reflecting means 161: first reflecting plate

162 : 제2 반사판 261,262,263 : 반사판162: second reflector 261, 262, 263: reflector

본 발명은 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자외선 조사의 불균형을 방지하여 균일한 제품 특성을 얻을 수 있는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultraviolet irradiating device for manufacturing an organic light emitting display device, and more particularly to an ultraviolet irradiating device for manufacturing an organic light emitting display device that can obtain a uniform product characteristics by preventing the imbalance of ultraviolet irradiation.

일반적으로, 유기 발광표시장치는 전자(electron) 주입 전극(cathode)과 정공(hole) 주입 전극(anode)으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광하는 발광 표시 장치이다.In general, an organic light emitting display device injects electrons and holes into an emission layer from an electron injection electrode and a hole injection electrode, respectively, to inject the injected electrons. ) Is a light emitting display that emits light when an exciton combined with a hole falls from an excited state to a ground state.

상기 유기 발광표시장치를 구동하는 방식은 패시브 매트릭스형(passive matrix type)과 액티브 매트릭스형(active matrix type)으로 나눌 수 있다. 상기 패시브 매트릭스형 유기 발광표시장치는 그 구성이 단순하여 제조 방법 또한 단순 하나 높은 소비 전력과 표시 소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할수록 개구율이 저하되는 단점이 있다. 따라서, 소형의 표시 소자에 적용할 경우에는 상기 패시브 매트릭스형 유기 발광표시장치를 사용하는 반면, 대면적의 표시 소자에 적용할 경우에는 상기 액티브 매트릭스형 유기 발광표시장치를 사용한다.A method of driving the organic light emitting display device may be divided into a passive matrix type and an active matrix type. The passive matrix organic light emitting display device has a simple structure and a simple manufacturing method. However, the passive matrix type organic light emitting display device has a high power consumption and a large area of the display device, and the opening ratio decreases as the number of wirings increases. Therefore, the passive matrix type organic light emitting display device is used when applied to a small display device, whereas the active matrix type organic light emitting display device is used when the display device is applied to a large display device.

그러나, 종래의 유기 발광표시장치는 유기 발광층 재료와 캐소드 전극 물질이 내습성 및 내산화성이 낮아서 디스플레이의 동작에 열화를 발생시키고, 이러한 열화는 흑점(dark spot)이라 불리는 비발광영역을 생성시킨다. 시간이 지남에 따라 흑점 영역은 주위로 확산되어 결국, 소자 전체가 발광되지 않게 되는 문제점이 있다. However, in the conventional organic light emitting display device, the organic light emitting layer material and the cathode electrode material have low moisture resistance and oxidation resistance, resulting in deterioration in the operation of the display, and this deterioration generates a non-light emitting area called a dark spot. As time passes, the dark spot region diffuses around, resulting in the entire device not emitting light.

따라서, 상기한 문제점을 해결하기 위해, 수분 및 산소에 최대한 노출되지 않도록 하는 봉지(encapsulation) 공정을 수행하는데, 이는 유기 발광소자가 형성된 디바이스 기판에 밀봉 기판을 합착한 후 자외선(UV) 램프를 조사하여 밀봉 수지를 경화시킴으로써, 디바이스 기판과 밀봉 기판의 접착이 이루어지게 하는 공정이다.Accordingly, in order to solve the above problems, an encapsulation process is performed to prevent exposure to moisture and oxygen as much as possible. This is performed by bonding an encapsulation substrate to a device substrate on which an organic light emitting element is formed and irradiating an ultraviolet (UV) lamp. To harden the sealing resin, thereby adhering the device substrate to the sealing substrate.

이와 같은 유기 발광소자의 봉지를 위한 자외선 조사장치를 도 1에 개략적으로 도시하였는 바, 이를 참조로 종래의 자외선 조사장치를 설명한다.An ultraviolet irradiating apparatus for encapsulating such an organic light emitting device is schematically illustrated in FIG. 1, and a conventional ultraviolet irradiating apparatus will be described with reference to this.

자외선 조사를 위한 챔버(10) 내부에 유기 발광소자가 형성된 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)이 설치되고, 상기 챔버(10) 밖에는 상기 디바이스 기판(1)에 자외선을 조사하기 위한 UV 램프(20)가 설치된다. A device substrate 1 and an encapsulation substrate 2 having an organic light emitting element formed therein are installed in the chamber 10 for ultraviolet irradiation, and a UV lamp for irradiating ultraviolet rays to the device substrate 1 outside the chamber 10. 20 is installed.

상기 챔버(10)는 UV 램프(20)의 자외선에 의해 상기 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2) 사이의 밀봉 수지를 경화시키기 위해서 일정영역이 자외선의 투과도가 높은 투명 재질의 플레이트(11)로 구성되는데, 상기 투명 플레이트(11)로는 일반적으로 석영(Quartz)이 적용된다.The chamber 10 is a plate 11 made of a transparent material having a high transmittance of ultraviolet rays in order to cure the sealing resin between the device substrate 1 and the sealing substrate 2 by ultraviolet rays of the UV lamp 20. The transparent plate 11 is generally made of quartz (Quartz).

또한, 상기 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)을 지지하기 위한 투명 재질의 구조물이 구비되는데, 상기 구조물은 상기 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)의 합착공정 중 가해지는 압력을 견딜 수 있고, 자외선의 투과도가 높은 재질인 석영, 강화유리, 강화 플라스틱류 등이 사용가능하며, 일반적으로 석영 플레이트(Quartz)(30)가 적용된다.In addition, a structure made of a transparent material for supporting the device substrate 1 and the sealing substrate 2 is provided, and the structure withstands the pressure applied during the bonding process of the device substrate 1 and the sealing substrate 2. Quartz, tempered glass, tempered plastics, and the like, which are materials having high UV transmittance, may be used, and a quartz plate 30 is generally applied.

상기 석영 플레이트(30)의 양측에는 소정 길이의 지지대(40)가 설치되어 상기 석영 플레이트(30)를 지지한다.Both sides of the quartz plate 30 are provided with a support 40 having a predetermined length to support the quartz plate 30.

또한, 상기 석영 플레이트(30)와 밀봉 기판(2) 사이에는 디바이스 기판(1)의 유기층이 UV 조사시 영향을 받지 않도록 화소영역을 가려주는 UV 마스크(3)가 설치되는데, 상기 UV 마스크(3)는 상기 UV 램프(20)에 의해 자외선이 디바이스 기판(1) 전체에 조사되어 소자가 열화되는 것을 방지하고, 밀봉 수지가 도포된 부위에만 자외선이 조사되도록 한다.In addition, a UV mask 3 is disposed between the quartz plate 30 and the encapsulation substrate 2 to cover the pixel region so that the organic layer of the device substrate 1 is not affected by UV irradiation. ) Is irradiated with ultraviolet rays to the entire device substrate 1 by the UV lamp 20 to prevent deterioration of the device, and to allow ultraviolet rays to be irradiated only to a portion to which the sealing resin is applied.

또한, 상기 석영 플레이트(30)의 상면 양측에는 디바이스 기판(1) 및 밀봉 기판(2)을 지지하기 위한 홀더(4)가 설치된다. In addition, holders 4 for supporting the device substrate 1 and the sealing substrate 2 are provided on both sides of the upper surface of the quartz plate 30.

이와 같이 구성된 자외선 조사장치에서, 상기 UV 램프(20)를 이용하여 자외선을 디바이스 기판(1)에 조사하면 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2) 사이의 밀봉 수지가 경화되어 유기 발광소자의 봉지작업이 완료된다. In the ultraviolet irradiation device configured as described above, when ultraviolet rays are irradiated onto the device substrate 1 using the UV lamp 20, the sealing resin between the device substrate 1 and the sealing substrate 2 is cured to encapsulate the organic light emitting device. The task is complete.

그러나, 대형기판(4세대급 이상)을 적용하는 유기 발광표시장치의 합착 공정의 경우, 상기 석영 플레이트(30)를 730×920㎟ 이상 대형으로 제작하는데 어려움이 존재하기 때문으로 2분할 이상의 다분할 제작이 필요하다. However, in the bonding process of the organic light emitting display device to which a large substrate (4th generation class or more) is applied, the quartz plate 30 is divided into two or more divisions because of difficulty in manufacturing the quartz plate 30 to 730 × 920 mm 2 or more. Need to make

이 경우 각 석영 플레이트(30)를 지지하기 위한 별도의 프레임 구조물이 필요하게 되는데, 도 1에서 보는 바와 같이, 2분할 석영 플레이트(30)의 경우 각 석영 플레이트(30)를 지지하기 위한 지지 프레임(50)이 중앙에 설치된다. In this case, a separate frame structure for supporting each quartz plate 30 is required. As shown in FIG. 1, in the case of the two-part quartz plate 30, a support frame for supporting each quartz plate 30 ( 50) is installed in the center.

상기 지지 프레임(50)은 SUS와 같은 금속 재질로 되는 것이 일반적이며, 상기 석영 플레이트(30)의 하면에 소정깊이로 삽입되어 견고하게 지지하도록 설치된다.The support frame 50 is generally made of a metal material such as SUS, and is installed to be firmly supported by being inserted into a lower surface of the quartz plate 30 at a predetermined depth.

그러나, 이 경우 상기 지지 프레임(50)이 금속 재질이므로 상기 UV 램프(20)에서 발사하는 자외선이 지지 프레임(50)을 통과하지 못하고 상기 지지 프레임(50)에 의해 차단되어 디바이스 기판(1)의 전면(全面)에 균일하게 조사되지 못하는 문제점이 발생하였다.However, in this case, since the support frame 50 is made of a metal material, ultraviolet rays emitted from the UV lamp 20 do not pass through the support frame 50 and are blocked by the support frame 50 so that the device substrate 1 may be blocked. There was a problem that the entire surface was not uniformly irradiated.

즉, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 지지 프레임(50)에 의해 자외선 조사가 제대로 이루어지지 않는 디바이스 기판(1)의 중앙부위(A)는 자외선이 50% 미만의 조사 정도를 가지게 되는 문제점이 있다.That is, as shown in Figure 2, the central portion (A) of the device substrate 1, which is not properly irradiated with ultraviolet rays by the support frame 50 has a problem that the ultraviolet ray has a degree of irradiation of less than 50% have.

이와 같이 자외선 조사에 의한 경화 공정에서 기판 내 자외선 균일도가 불균일하게 되는 경우, OLED 소형 제품 적용 시 중앙부 제품들의 경화 특성이 저하될 수 있으므로 이에 대한 해결책이 요구된다.As such, when UV uniformity in the substrate becomes uneven in the curing process by ultraviolet irradiation, the curing characteristics of the central products may be degraded when the OLED small product is applied, and a solution for this is required.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 대형기판을 적용하는 합착 공정에서 석영 플레이트를 지지하는 지지 프레임에 의한 자외선 조사의 불균형을 방지하여 균일한 제품 특성을 얻을 수 있는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치를 제공하는데, 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, the organic substrate which can obtain a uniform product characteristics by preventing the imbalance of ultraviolet irradiation by the support frame for supporting the quartz plate in the bonding process applying a large substrate It is an object of the present invention to provide an ultraviolet irradiation device for manufacturing a light emitting display device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 유기 발광소자가 형성된 디바이스 기판과 밀봉 기판의 합착공정을 위한 챔버와, 상기 챔버 외부에 설치되어 상기 디바이스 기판에 자외선을 조사하기 위한 자외선 발생수단과, 상기 디바이스 기판과 밀봉 기판을 지지하기 위한 적어도 2개 이상의 투명재질의 지지 플레이트와, 상기 지지 플레이트를 지지하기 위해 설치되는 불투명 재질의 지지 프레임과, 상기 자외선 발생수단으로부터 발생하는 자외선을 다양한 각도로 반사시켜 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 디바이스 기판으로 유도하는 반사수단을 포함하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치가 제공된다.In order to achieve the above object, in the present invention, the chamber for the bonding process of the device substrate and the sealing substrate on which the organic light emitting element is formed, the ultraviolet ray generating means for irradiating ultraviolet rays to the device substrate is provided outside the chamber; At least two transparent support plates for supporting the device substrate and the sealing substrate, an opaque support frame installed to support the support plate, and reflecting ultraviolet rays generated from the ultraviolet light generating means at various angles There is provided an ultraviolet irradiation device for manufacturing an organic light emitting display device including reflecting means for guiding the device substrate at a position where the support frame is installed.

여기서, 상기 지지 플레이트는 석영(Quartz) 플레이트인 것을 특징으로 한다. Here, the support plate is characterized in that the quartz (Quartz) plate.

또한, 상기 반사수단은 상기 지지 플레이트의 양측 하면에 설치되어 상기 자외선 발생수단에서 조사하는 자외선을 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 디바이스 기판으로 반사시키며, 상기 지지 플레이트와 평행하게 설치되어 상기 자외선 발생수단에서 조사되는 자외선을 1차로 반사시키는 제1 반사판과, 상기 제1 반사판에서 반사되는 자외선을 2차로 반사하여 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 디바이스 기판으로 반사시키도록 소정의 각도로 설치되는 제2 반사판으로 구성될 수 있다. In addition, the reflecting means is installed on both lower surfaces of the support plate to reflect the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet generating means to the device substrate at the position where the support frame is installed, installed in parallel with the support plate in the ultraviolet generating means A first reflecting plate that primarily reflects the irradiated ultraviolet rays, and a second reflecting plate which is installed at a predetermined angle to reflect the ultraviolet rays reflected by the first reflecting plate to the device substrate at the position where the support frame is installed. Can be.

상기 제1, 제2 반사판은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지도록 형성될 수도 있다.The first and second reflecting plates may be formed to have curved surfaces to reflect ultraviolet rays at various angles.

또한, 상기 반사수단은 상기 자외선 발생수단의 주위에 설치되는 것도 가능하며, 이 경우 상기 반사수단은 복수의 반사판으로 구성되며, 각각의 반사판이 소정의 각도로 상기 자외선 발생수단의 후면과 측면을 감싸도록 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the reflecting means may be installed around the ultraviolet generating means, in which case the reflecting means is composed of a plurality of reflecting plates, each reflecting plate wraps the back and side of the ultraviolet generating means at a predetermined angle It is preferable to be installed so that.

여기서, 상기 반사판은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지도록 형성될 수도 있다.Here, the reflector may be formed to have a curved surface to reflect ultraviolet rays at various angles.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

첨부한 도 3은 본 발명에 따른 자외선 조사장치의 제1 실시예를 개략적으로 도시한 구성도로서, 자외선 조사를 위한 챔버(110) 내부에 유기 발광소자가 형성된 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)이 설치되고, 상기 챔버(110) 밖에는 상기 디바이스 기판(1)에 자외선을 조사하기 위한 자외선 발생수단이 설치되는데, 상기 자외선 발생수단으로는 통상적으로 사용되는 UV 램프(120)가 설치된다. 3 is a configuration diagram schematically illustrating a first embodiment of an ultraviolet irradiation device according to the present invention, in which a device substrate 1 and an encapsulation substrate (1) in which an organic light emitting element is formed in a chamber 110 for ultraviolet irradiation. 2) is installed, and the ultraviolet ray generating means for irradiating the ultraviolet rays to the device substrate 1 is provided outside the chamber 110, the UV lamp 120 is commonly used as the ultraviolet ray generating means.

상기 챔버(110)의 일정영역에는 UV 램프(120)의 자외선에 의해 상기 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2) 사이의 밀봉 수지를 경화시키기 위해서 자외선의 투과도가 높은 투명 재질의 플레이트(111)가 구비되며, 상기 플레이트(111)로는 석영(Quartz) 플레이트가 적용된다.In the predetermined region of the chamber 110, a plate 111 made of a transparent material having a high transmittance of ultraviolet rays in order to cure the sealing resin between the device substrate 1 and the sealing substrate 2 by ultraviolet rays of the UV lamp 120. Is provided, the plate 111 is a quartz (Quartz) plate is applied.

또한, 상기 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)을 지지하기 위한 구조물로서, 투명재질의 지지 플레이트(130)가 구비된다. In addition, as a structure for supporting the device substrate 1 and the sealing substrate 2, a transparent support plate 130 is provided.

상기 지지 플레이트(130)는 상기 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)의 합착공정 중 가해지는 압력을 견딜 수 있고, 자외선의 투과도가 높은 재질로 구성되어야 하며, 본 발명에서는 상기 지지 플레이트(130)로 석영(Quartz) 플레이트(130)를 적용하였다.The support plate 130 may withstand the pressure applied during the bonding process of the device substrate 1 and the sealing substrate 2, and should be made of a material having high UV transmittance, and in the present invention, the support plate 130 ) Was applied to the quartz plate 130.

그러나, 본 발명에서 상기 지지 플레이트(130)로 석영만을 한정하는 것은 아니며, 강화유리, 강화 플라스틱류 등도 사용가능함은 물론이다.However, in the present invention, the support plate 130 is not limited to quartz, and tempered glass, tempered plastics, and the like may also be used.

통상, 대형기판(4세대급 이상)을 적용하는 유기 발광표시장치의 합착 공정의 경우, 상기 석영 플레이트(130)를 730×920㎟ 이상 대형으로 제작하는데 어려움이 존재하기 때문으로 2분할 이상의 다분할 제작이 필요하며, 이 경우 각 석영 플레이트(130)를 지지하기 위한 별도의 지지 프레임(150)이 요구된다. In general, in the bonding process of an organic light emitting display device to which a large substrate (4th generation or more) is applied, the quartz plate 130 is divided into two or more divisions because of difficulty in manufacturing the quartz plate 130 in a size larger than 730 × 920 mm 2. Fabrication is required, in which case a separate support frame 150 is required to support each quartz plate 130.

상기 지지 프레임(150)은 SUS와 같은 금속 재질로 되며, 상기 석영 플레이트(130)의 하면에 소정깊이로 삽입되어 견고하게 지지하도록 설치된다.The support frame 150 is made of a metal material such as SUS, and is installed to be firmly supported by being inserted into a lower surface of the quartz plate 130 at a predetermined depth.

또한, 상기 석영 플레이트(130)의 양측에는 소정 길이의 지지대(140)가 설치되어 상기 석영 플레이트(130)를 지지한다.In addition, the support plate 140 of a predetermined length is installed on both sides of the quartz plate 130 to support the quartz plate 130.

또한, 상기 석영 플레이트(130)와 밀봉 기판(2) 사이에는 디바이스 기판(1)의 유기층이 UV 조사시 영향을 받지 않도록 화소영역을 가려주는 UV 마스크(3)가 설치되는데, 상기 UV 마스크(3)는 상기 UV 램프(20)에 의해 자외선이 디바이스 기판(1) 전체에 조사되어 소자가 열화되는 것을 방지하고, 밀봉 수지가 도포된 부위에만 자외선이 조사되도록 한다.In addition, a UV mask 3 is disposed between the quartz plate 130 and the encapsulation substrate 2 to cover the pixel region so that the organic layer of the device substrate 1 is not affected by UV irradiation. ) Is irradiated with ultraviolet rays to the entire device substrate 1 by the UV lamp 20 to prevent deterioration of the device, and to allow ultraviolet rays to be irradiated only to a portion to which the sealing resin is applied.

또한, 상기 석영 플레이트(130)의 상면 양측에는 디바이스 기판(1) 및 밀봉 기판(2)을 지지하기 위한 홀더(4)가 설치된다. In addition, holders 4 for supporting the device substrate 1 and the sealing substrate 2 are provided on both sides of the upper surface of the quartz plate 130.

이와 같은 구성을 가진 본 발명의 제1 실시예는 상기 UV 램프(120)로부터 발생하는 자외선을 다양한 각도로 반사시켜 상기 지지 프레임(150)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 유도하기 위한 반사수단(160)이 설치된다. The first embodiment of the present invention having such a configuration reflects ultraviolet rays generated from the UV lamp 120 at various angles to reflect the device to the device substrate 1 at the position where the support frame 150 is installed. 160 is installed.

상기 반사수단(160)은 상기 석영 플레이트(130)의 양측 하면에 설치되어 상기 UV 램프(120)에서 조사하는 자외선을 반사시키며, 본 발명의 제1 실시예에서는 상기 반사수단(160)으로 상기 석영 플레이트(130)와 평행하게 설치되어 상기 UV 램프(120)에서 조사되는 자외선을 1차로 반사시키는 제1 반사판(161)과, 상기 제1 반사판(161)에서 반사되는 자외선을 2차로 반사하여 상기 지지 프레임(150)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 반사시키는 제2 반사판(162)을 제안한다.The reflecting means 160 is installed on both lower surfaces of the quartz plate 130 to reflect ultraviolet rays emitted from the UV lamp 120. In the first embodiment of the present invention, the reflecting means 160 is used as the quartz. The first reflector 161 is installed in parallel with the plate 130 to reflect the ultraviolet rays emitted from the UV lamp 120 and the ultraviolet rays reflected from the first reflecting plate 161 are secondly reflected to support the first reflector. A second reflecting plate 162 is proposed which reflects to the device substrate 1 at the position where the frame 150 is installed.

이때 상기 제1, 제2 반사판(161,162)은 반사율이 우수한 금속물질로 이루어지는 것이 바람직하며, 본 발명에서는 이를 특정하지 않는다.In this case, the first and second reflector plates 161 and 162 are preferably made of a metal material having excellent reflectance, and the present invention is not specified.

또한, 상기 제2 반사판(162)은 제1 반사판(161)과 소정의 각도를 가지도록 설치되며, 설치각도는 디바이스 기판(1)의 크기나 석영 플레이트(130)의 두께 등에 따라 얼마든지 변경가능하다. In addition, the second reflecting plate 162 is installed to have a predetermined angle with the first reflecting plate 161, and the mounting angle can be changed as much as the size of the device substrate 1, the thickness of the quartz plate 130, or the like. Do.

이와 같은 본 발명의 제1 실시예는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 UV 램프(120)에서 조사하는 자외선이 제1 반사판(161)에 의해 제2 반사판(162)으로 1차 반사되며, 이 반사된 자외선이 제2 반사판(162)에 의해 상기 지지 프레임(150)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 1차 반사되면서 자외선을 디바이스 기판(1)의 중앙부위로 반사시킬 수 있게 된다. As shown in FIG. 4, in the first embodiment of the present invention, ultraviolet rays emitted from the UV lamp 120 are primarily reflected by the first reflector 161 to the second reflector 162. The reflected ultraviolet rays are first reflected by the second reflector 162 to the device substrate 1 at the position where the support frame 150 is installed, thereby reflecting the ultraviolet rays toward the center portion of the device substrate 1.

따라서, 상기 UV 램프(120)에서 발사하는 자외선이 상기 제1, 제2 반사판(161,162)을 통해 디바이스 기판(1)의 중앙부위에 반사되어 디바이스 기판(1)의 전면(全面)에 자외선을 균일하게 조사할 수 있는 것이다. Therefore, the ultraviolet rays emitted from the UV lamp 120 are reflected at the central portion of the device substrate 1 through the first and second reflecting plates 161 and 162 to uniform the ultraviolet rays on the entire surface of the device substrate 1. Can be investigated.

이와 같은 본 발명의 자외선 조사장치는 자외선 조사에 의한 경화 공정에서 디바이스 기판 내 자외선 균일도가 균일하게 됨으로써, OLED 소형 제품 적용 시 중앙부 제품들의 경화 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.Such an ultraviolet irradiating apparatus of the present invention is uniform in the ultraviolet uniformity in the device substrate in the curing process by the ultraviolet irradiation, it is possible to prevent the curing characteristics of the central products when the OLED small product is applied.

또한, 도면에서는 도시하지 않았지만, 상기 제1, 제2 반사판(161,162)은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지도록 형성될 수도 있다. In addition, although not shown in the drawings, the first and second reflecting plates 161 and 162 may be formed to have curved surfaces to reflect ultraviolet rays at various angles.

한편, 첨부한 도 5는 본 발명에 따른 자외선 조사장치의 제2 실시예를 개략적으로 도시한 구성도로서, 본 발명의 제2 실시예는 자외선 조사를 위한 챔버(210)와, 자외선을 조사하기 위한 자외선 발생수단인 UV 램프(220)와, 디바이스 기판(1)과 밀봉 기판(2)을 지지하기 위한 적어도 2개 이상의 석영(Quartz) 플레이트(230) 와, 상기 석영 플레이트(230)의 양측에 설치되는 소정 길이의 지지대(240)와, 각 석영 플레이트(230)를 지지하기 위한 별도의 지지 프레임(250)을 구비하며, 이와 같은 구성은 본 발명의 제1 실시예와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, Figure 5 is a schematic diagram showing a second embodiment of the ultraviolet irradiation device according to the present invention, the second embodiment of the present invention is a chamber 210 for ultraviolet irradiation and to irradiate ultraviolet UV lamp 220 which is a means for generating ultraviolet light, at least two quartz plates 230 for supporting the device substrate 1 and the sealing substrate 2, and on both sides of the quartz plate 230 It is provided with a support 240 of a predetermined length to be installed, and a separate support frame 250 for supporting each quartz plate 230, such a configuration is the same as the first embodiment of the present invention, a detailed description thereof Will be omitted.

여기서, 본 발명의 제2 실시예는 상기 UV 램프(220)로부터 발생하는 자외선을 다양한 각도로 반사시켜 상기 지지 프레임(250)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 유도하기 위한 반사수단(260)이 설치되는데, 상기 반사수단(260)은 상기 UV 램프(220)의 주위에 설치되는 복수의 반사판(261,262,263)으로 구성된다.Here, the second embodiment of the present invention reflects the ultraviolet rays generated from the UV lamp 220 at various angles reflecting means 260 for inducing the device substrate 1 in the position where the support frame 250 is installed Is installed, the reflecting means 260 is composed of a plurality of reflecting plates (261, 262, 263) installed around the UV lamp 220.

상기 반사판(261,262,263)은 상기 UV 램프(220)의 후면과 측면을 감싸도록 설치되는데, 도 5에서 보는 바와 같이, 각각의 UV 램프(220)의 후면에 소정의 각도로 결합되는 2개의 반사판(261,262)이 설치되며, 상기 UV 램프(220) 중 최외곽에 위치한 UV 램프(220)에는 UV 램프(220)의 측면을 감싸는 별도의 반사판(263)이 더 설치된다. The reflecting plates 261, 262 and 263 are installed to surround the rear and side surfaces of the UV lamp 220. As shown in FIG. 5, two reflecting plates 261 and 262 are coupled to the rear surface of each of the UV lamps 220 at predetermined angles. ) Is installed, and a separate reflecting plate 263 surrounding the side of the UV lamp 220 is further installed on the outermost UV lamp 220 of the UV lamp 220.

상기 반사판(263)은 상기 UV 램프(220)에서 조사되는 자외선을 지지 프레임(250)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 반사시킬 수 있는 각도로 설치되며, 본 발명에서는 설치각도를 한정하지 않는다.The reflection plate 263 is installed at an angle capable of reflecting the ultraviolet light emitted from the UV lamp 220 to the device substrate 1 at the position where the support frame 250 is installed, and the installation angle is not limited in the present invention. .

한편, 도 5에서는 UV 램프(220)의 후면에 2개의 반사판(261,262)을 도시하였으나, 본 발명의 제2 실시예에서 상기 반사판(261,262)의 갯수를 이에 한정하는 것은 아니며, 상기 반사판(261,262)이 2개 이상으로 구성되는 것도 가능하다.In FIG. 5, two reflecting plates 261 and 262 are shown on the rear surface of the UV lamp 220, but the number of the reflecting plates 261 and 262 is not limited thereto, and the reflecting plates 261 and 262 are not limited thereto. It is also possible to consist of two or more.

이와 같은 본 발명의 제2 실시예는 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 UV 램프(220)에서 조사하는 자외선이 UV 램프(220)의 후면에 설치된 복수의 반사판(261, 262)에 의해 다양한 각도로 반사되며, 상기 UV 램프(220)의 측면을 감싸는 별도의 반사판(263)에 의해 상기 지지 프레임(250)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 자외선을 반사시킬 수 있게 된다. As shown in FIG. 6, the second embodiment of the present invention has various angles due to the plurality of reflecting plates 261 and 262 disposed on the rear surface of the UV lamp 220, from which the UV light emitted from the UV lamp 220 is exposed. It is reflected to, and by the separate reflector plate 263 surrounding the side of the UV lamp 220 it is possible to reflect the ultraviolet rays to the device substrate 1 of the position where the support frame 250 is installed.

따라서, 상기 UV 램프(220)에서 발사하는 자외선이 디바이스 기판(1)의 중앙부위에 반사되어 디바이스 기판(1)의 전면(全面)에 자외선을 균일하게 조사할 수 있는 것이다. Therefore, the ultraviolet rays emitted from the UV lamp 220 are reflected at the central portion of the device substrate 1 so that the ultraviolet rays can be uniformly irradiated on the entire surface of the device substrate 1.

이와 같이 본 발명의 자외선 조사장치는 자외선 조사에 의한 경화 공정에서 디바이스 기판 내 자외선 균일도가 균일하게 됨으로써, OLED 소형 제품 적용 시 중앙부 제품들의 경화 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.As described above, the ultraviolet irradiating apparatus of the present invention becomes uniform in the UV uniformity in the device substrate in the curing process by ultraviolet irradiation, thereby preventing deterioration of curing characteristics of the central products when the OLED small product is applied.

또한, 도면에서는 도시하지 않았지만, 상기 반사판(261,262,263)은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지도록 형성될 수도 있다. In addition, although not shown in the drawings, the reflective plates 261, 262, and 263 may be formed to have curved surfaces to reflect ultraviolet rays at various angles.

한편, 도 7은 본 발명에 따른 자외선 조사장치의 제3 실시예를 개략적으로 도시한 구성도로서, 상술한 제1 실시예의 반사수단(160)과 제2 실시예의 반사수단(260)이 같이 적용되는 자외선 조사장치를 도시한 것이다. On the other hand, Figure 7 is a schematic diagram showing a third embodiment of the ultraviolet irradiation device according to the present invention, the reflecting means 160 of the first embodiment described above and the reflecting means 260 of the second embodiment is applied together The ultraviolet irradiation device is shown.

즉, 본 발명의 제3 실시예에서의 상기 반사수단(160,260)은 석영 플레이트(330)의 양측 하면에 설치되어 상기 UV 램프(320)에서 조사하는 자외선을 상기 지지 프레임(350)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 반사시키는 제1 반사수단(160)과, 상기 UV 램프(320)의 주위에 설치되어 자외선을 상기 지지 프레임(350)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 반사시키는 제2 반사수단(260)으로 구성된다. That is, the reflecting means (160,260) in the third embodiment of the present invention is installed on both lower surfaces of the quartz plate 330 to the ultraviolet rays irradiated from the UV lamp 320 at the position where the support frame 350 is installed A first reflecting means 160 for reflecting to the device substrate 1 and a second reflecting means disposed around the UV lamp 320 to reflect ultraviolet rays to the device substrate 1 at the position where the support frame 350 is installed. It is composed of the reflecting means 260.

여기서, 상기 제1 반사수단(160)은 상기 석영 플레이트(350)와 평행하게 설치되어 상기 UV 램프(320)에서 조사되는 자외선을 1차로 반사시키는 제1 반사판(161)과, 상기 제1 반사판(161)에서 반사되는 자외선을 2차로 반사하여 디바이스 기판(1)의 중앙으로 반사시키는 제2 반사판(162)으로 구성된다.Here, the first reflecting means 160 is installed in parallel with the quartz plate 350, the first reflecting plate 161 for first reflecting the ultraviolet rays irradiated from the UV lamp 320 and the first reflecting plate ( The second reflector 162 reflects the ultraviolet rays reflected from the 161 to the center of the device substrate 1.

또한, 상기 제2 반사수단(260)은 상기 UV 램프(220)의 주위에 설치되는 복수의 반사판(261,262,263)으로 구성된다.In addition, the second reflecting means 260 is composed of a plurality of reflecting plates 261, 262, 263 installed around the UV lamp 220.

상기 반사판(261,262,263)은 상기 UV 램프(220)의 후면과 측면을 감싸도록 설치되는 것으로, 각각의 UV 램프(220)의 후면에는 소정의 각도로 결합되는 2개의 반사판(261,262)이 설치되고, 상기 UV 램프(220) 중 최외곽에 위치한 UV 램프(220)에는 UV 램프(220)의 측면을 감싸는 별도의 반사판(263)이 더 설치된다. The reflecting plates 261, 262, and 263 are installed to surround the rear and side surfaces of the UV lamp 220, and two reflecting plates 261, 262 are installed at the rear of each of the UV lamps 220 at predetermined angles. The UV lamp 220 positioned at the outermost of the UV lamps 220 is further provided with a separate reflector plate 263 surrounding the side of the UV lamp 220.

이와 같은 본 발명의 제3 실시예는 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 UV 램프(320)에서 조사하는 자외선이 상기 제1 반사수단(160)과 제2 반사수단(260)에 의해 상기 지지 프레임(350)이 설치된 위치의 디바이스 기판(1)으로 반사되므로, 디바이스 기판(1)의 전면(全面)에 자외선을 균일하게 조사할 수 있게 된다. As shown in FIG. 8, in the third embodiment of the present invention, the ultraviolet rays irradiated from the UV lamp 320 are applied to the support frame by the first reflecting means 160 and the second reflecting means 260. Since it is reflected by the device board | substrate 1 of the position in which 350 is provided, it becomes possible to irradiate an ultraviolet-ray uniformly to the whole surface of the device board | substrate 1. As shown in FIG.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the scope of the invention.

이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 의하면 대형기판을 적용하는 합착 공정에서 석영 플레이트를 지지하는 지지 프레임에 의한 자외선 조사의 불균형을 방지하 여 자외선을 균일하게 조사할 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, there is an effect that the ultraviolet rays can be uniformly irradiated by preventing the imbalance of the ultraviolet irradiation by the support frame supporting the quartz plate in the bonding process for applying the large substrate.

따라서, 자외선 조사에 의한 경화 공정에서 디바이스 기판 내 자외선 균일도가 균일하게 됨으로써, OLED 소형 제품 적용 시 중앙부 제품들의 경화 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.Therefore, the uniformity of ultraviolet rays in the device substrate in the curing process by ultraviolet irradiation can be prevented from lowering the curing characteristics of the central products when the OLED small product is applied.

Claims (13)

유기 발광소자가 형성된 디바이스 기판과 밀봉 기판의 합착공정을 위한 챔버;A chamber for bonding the device substrate and the sealing substrate on which the organic light emitting element is formed; 상기 챔버 외부에 설치되어 상기 디바이스 기판에 자외선을 조사하기 위한 자외선 발생수단;Ultraviolet generating means installed outside the chamber to irradiate ultraviolet rays to the device substrate; 상기 디바이스 기판과 밀봉 기판을 지지하기 위한 적어도 2개 이상의 투명재질의 지지 플레이트;At least two transparent support plates for supporting the device substrate and the sealing substrate; 상기 지지 플레이트를 지지하기 위해 설치되는 불투명 재질의 지지 프레임;A support frame made of an opaque material installed to support the support plate; 상기 자외선 발생수단으로부터 발생하는 자외선을 다양한 각도로 반사시켜 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 상기 디바이스 기판으로 유도하는 반사수단;Reflecting means for reflecting the ultraviolet rays generated from the ultraviolet generating means at various angles to guide the device substrate at the position where the supporting frame is installed; 을 포함하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.UV irradiation device for manufacturing an organic light emitting display device comprising a. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지 플레이트는 석영(Quartz) 플레이트인 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.The support plate is a UV irradiation apparatus for manufacturing an organic light emitting display, characterized in that the quartz (Quartz) plate. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반사수단은 상기 지지 플레이트의 양측 하면에 설치되어 상기 자외선 발생수단에서 조사하는 자외선을 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 상기 디바이스 기판으로 반사시키는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the reflecting means is provided on both lower surfaces of the support plate to reflect the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet generating means onto the device substrate at the position where the supporting frame is installed. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 반사수단은 상기 지지 플레이트와 평행하게 설치되어 상기 자외선 발생수단에서 조사되는 자외선을 1차로 반사시키는 제1 반사판과, 상기 제1 반사판에서 반사되는 자외선을 2차로 반사하여 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 상기 디바이스 기판으로 반사시키도록 소정의 각도로 설치되는 제2 반사판으로 구성되는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.The reflecting means is installed in parallel with the support plate and the first reflecting plate for reflecting the ultraviolet rays irradiated by the ultraviolet generating means primarily, and the second reflection of the ultraviolet rays reflected from the first reflecting plate in the position where the support frame is installed And a second reflecting plate disposed at a predetermined angle to reflect the device substrate. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 제1, 제2 반사판은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the first and second reflecting plates have curved surfaces to reflect ultraviolet rays at various angles. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반사수단은 상기 자외선 발생수단의 주위에 설치되어 자외선을 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 상기 디바이스 기판으로 반사시키는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the reflecting means is provided around the ultraviolet generating means to reflect ultraviolet rays to the device substrate at the position where the support frame is installed. 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 반사수단은 복수의 반사판으로 구성되며, 각각의 반사판이 소정의 각도 로 상기 자외선 발생수단의 후면과 측면을 감싸도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.The reflecting means is composed of a plurality of reflecting plate, each of the reflecting plate UV irradiation apparatus for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that is installed so as to surround the back and side of the ultraviolet generating means at a predetermined angle. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 반사판은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the reflector has a curved surface to reflect ultraviolet rays at various angles. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반사수단은 상기 지지 플레이트의 양측 하면에 설치되어 상기 자외선 발생수단에서 조사하는 자외선을 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 디바이스 기판으로 반사시키는 제1 반사수단과, 상기 자외선 발생수단의 주위에 설치되어 자외선을 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 상기 디바이스 기판으로 반사시키는 제2 반사수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.The reflecting means is provided on both lower surfaces of the support plate, the first reflecting means for reflecting the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet generating means to the device substrate at the position where the support frame is installed, and is installed around the ultraviolet generating means And second reflecting means for reflecting the light onto the device substrate at the position where the support frame is installed. 제9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제1 반사수단은 상기 지지 플레이트와 평행하게 설치되어 상기 자외선 발생수단에서 조사되는 자외선을 1차로 반사시키는 제1 반사판과, 상기 제1 반사판에서 반사되는 자외선을 2차로 반사하여 상기 지지 프레임이 설치된 위치의 상기 디바이스 기판으로 반사시키도록 소정의 각도로 설치되는 제2 반사판으로 구성되는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.The first reflecting means is installed in parallel with the support plate, the first reflecting plate to reflect the ultraviolet rays irradiated by the ultraviolet generating means first, and the second reflecting the ultraviolet rays reflected from the first reflecting plate is installed with the support frame An ultraviolet irradiating device for manufacturing an organic light emitting display device, comprising a second reflecting plate provided at a predetermined angle to reflect the device substrate at a position. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 제1, 제2 반사판은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the first and second reflecting plates have curved surfaces to reflect ultraviolet rays at various angles. 제9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제2 반사수단은 복수의 반사판으로 구성되며, 각각의 반사판이 소정의 각도로 상기 자외선 발생수단의 후면과 측면을 감싸도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the second reflecting means comprises a plurality of reflecting plates, and each reflecting plate is installed to surround the rear and side surfaces of the ultraviolet generating means at a predetermined angle. 제12항에 있어서, The method of claim 12, 상기 반사판은 자외선을 다양한 각으로 반사시키도록 굴곡면을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 자외선 조사장치.And the reflector has a curved surface to reflect ultraviolet rays at various angles.
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